DE19619358A1 - Optisches Filter mit Interferenzfilter-Mehrfachschicht und Verwendung - Google Patents
Optisches Filter mit Interferenzfilter-Mehrfachschicht und VerwendungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein optisches Filter mit Interferenzfilter-Mehrfachschicht auf einem
Substrat, wobei die Strahlung wenigstens einer Emissionslinie oder eines Spektralbereichs re
flektiert und die Strahlung anderer Spektralbereiche transmittiert wird sowie eine Verwendung
des optischen Filters.
Aus der US 4,320,936 ist ein Interferenz- bzw. Mehrfachschichtfilter bekannt, welches UV-
Strahlung im Spektralbereich von 200 bis 250 nm reflektiert, jedoch Strahlung im Spektralbe
reich mit einer Wellenlänge von mehr als 250 nm transmittiert. Vom Substrat aus gesehen be
stehen gemäß einem Ausführungsbeispiel in Fig. 9 die dielektrischen Schichten Nr. 1, 3 und 5
aus hochrefraktivem Zirkondioxid, die Schichten Nr. 7, 9 und 11 aus Aluminiumoxid, die Schich
ten 2, 4, 6, 8 und 10 aus niedrigberechenden Magnesiumfluioriden, wobei die optische Schicht
dicke der jeweiligen Schichten 50 nm für eine Wellenlänge von 230 nm beträgt. Die elektri
schen Mehrfachschichtfilter werden vorzugsweise in der Halbleiterfertigung für die Bestrahlung
maskierter Halbleitersubstrate durch Entladungslampen eingesetzt.
Weiterhin ist aus der DE-OS 25 30 195 eine Hochleistungs-Bogenentladungslampe bekannt,
die einen selektiven Filterbelag auf der Außenwand einer Glasumhüllung aufweist, wobei der
aus abwechselnden Schichten von Titanoxid (TO₂) und Siliziumoxid (SiO₂) bestehende Filterbe
lag so ausgebildet ist, daß er gewünschte Strahlung durchläßt und gleichzeitig Teile der uner
wünschten Strahlung reflektiert, für welche die Wandung der Entladungsröhre durchlässig ist.
Die als Reflektor wirkenden Filterbeläge reflektieren wirksam Strahlung im Bereich zwischen
800 und 1200 nm.
Weiterhin ist aus der DE 39 02 144 eine Deuterium-Lampe mit einer Interferenzfilter-Mehrfach
schicht aus im Wechsel angeordneten Aluminiumoxid- und Siliziumdioxid- oder Magnesiumflu
oridschichten bekannt, wobei die physikalische Schichtdicke jeder Schicht im Bereich von 10
bis 70 nm liegt und die der Kolbenoberfläche zugekehrte erste wirksame Schicht des Interfe
renzfilters aus Aluminiumoxid besteht. Die Interferenzfilter-Mehrfachschicht absorbiert Strah
lung mit einer Wellenlänge im Bereich von 190 bis 200 nm, besitzt jedoch für Wellenlängen grö
ßer als 200 nm eine sehr hohe Transmission.
Die Erfindung stellt sich die Aufgabe, ein optisches Filter zu schaffen, das Linien im Spektrum
von Wasserstoff und Deuterium - d. h. die Wasserstoff- und Deuterium-Emissionslinien - in ih
rer Intensität reduziert, so daß wenigstens annäherungsweise ein kontinuierliches Spektrum
entsteht; darüber hinaus soll eine Möglichkeit angegeben werden, Sauerstoff-Spektrallinien im
Wellenlängenbereich von 495,9 nm bis 500,7 nm zu dämpfen. Weiterhin soll eine Verwendung
des Filters für physikalische bzw. analytische Aufgaben angegeben werden.
Die Aufgabe wird anordnungsgemäß dadurch gelöst, daß die Transmission des Filters in wenig
stens einem der Wellenlängenbereiche von 434,0 nm bis 500,7 nm und von 654 bis 656,3 nm
geringer ist als im übrigen Wellenlängenbereich von 160 nm bis 1200 nm.
Vorzugsweise ist die Interferenzfilter-Schicht einseitig auf ein Substrat aufgebracht.
Als vorteilhaft erweist es sich, daß durch die Mehrfachbeschichtung praktisch alle Wasserstoff-
bzw. Deuterium-Linien in ihrer Intensität gedämpft werden können, so daß durch eine verhält
nismäßig einfache Maßnahmen ein Kontinuum der spektralen Energieverteilung zu erzielen ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Anordnung nach Anspruch 1 sind in den Ansprüchen 2 bis 4
angegeben.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das optische Filter als eigenes Bauteil ausgebildet,
wobei die Interferenzfilterschicht auf einem Substrat aus Quarzglas aufgebracht ist; hierbei er
weist es sich als vorteilhaft, daß eine optimale Anpassung der Filter-Charakteristik auf den je
weiligen Anwendungsfall durch einfachen Austausch von optischen Filtern mit abweichender
Charakteristik möglich ist.
Als besonders günstige Ausführungsform für die Praxis hat sich ein optisches Filter mit ebener
Substrat-Oberfläche erwiesen.
Die Aufgabe wird verwendungsgemäß durch die Ansprüche 5 und 6 gelöst.
Vorzugsweise wird in der Verwendung nach Anspruch 6 das optische Filter im Strahlengang
zwischen einer Strahlenquelle als Deuterium- bzw. Wasserstofflampe und einem Detektor bzw.
Sensor für Analysezwecke eingesetzt, um ein kontinuierliches Strahlungsspektrum im Bereich
von 160 bis 700 nm zu erzielen.
In einer ersten Verwendung gemäß Anspruch 5 erweist es sich als vorteilhaft, daß bei Beob
achtung astronomischer Objekte, insbesondere bei Gasnebeln die verhältnismäßig hellen Emissionslinien bei Wellenlängen von 434,0, 486,1, 495,9, 500,7 und 656,3 nm durch Reduzie
rung ihrer Intensität einen hohen Kontrast zwischen Gasnebel und Hintergrund ermöglichen, so
daß im Hintergrund befindliche Sterne mit einem im wesentlichen kontinuierlichen Spektrum
kontrastreich dargestellt werden können. Vorzugsweise ist die Interferenzfilter-Mehrfachschicht
auf der der Strahlung zugekehrten Seite des Substrats angeordnet.
In einer zweiten Verwendung gemäß Anspruch 6 erweist es sich als vorteilhaft, daß bei Deuteri
um- bzw. Wasserstoff-Lampen als Strahlenquelle in der Analysetechnik die Spektrallinien als
Störfaktoren eliminiert werden können, wobei es sich als besonders vorteilhaft erweist, das opti
sche Filter an beliebigen Stellen des Strahlenganges einzusetzen, beispielsweise im Bereich
der Lampe oder im Bereich des Detektors.
Dabei ist es möglich, das optische Filter als eigenes Bauteil in den Strahlengang einzusetzen;
die Interferenzfilter-Mehrfachschicht ist dabei vorzugsweise auf der der Strahlung zugekehrten
Seite des Substrats aufgebracht. Hierbei erweist sich die einfache Austauschbarkeit des Filters
im Hinblick auf eine optimale Anpassung der Filter-Charakteristik als vorteilhaft.
Weiterhin ist es möglich, das optische Filter auf den Sensor bzw. Detektor des Analysegerätes,
der vorzugsweise als Diode oder Dioden-Array ausgebildet ist, aufzubringen; als vorteilhaft er
weist sich dabei der vereinfachte Aufbau des Analysegerätes.
Darüber hinaus ist es in einer weiteren Ausführungsform möglich, die Interferenzfilter-Mehr
fachschicht auf den Lampenkolben der Deuterium- bzw. Wasserstoff-Lampe als Strahlenquelle
aufzubringen, wie es beispielsweise auch aus der eingangs genannten DE-OS 25 30 195
bekannt ist; hierbei ist eine optimale Anpassung der Interferenzfilter-Mehrfachschicht an die
spektrale Energieverteilung der Lampe möglich.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist die Interferenzfilter-Mehrfachschicht auf einen
für den Durchtritt des Strahlengang vorgesehenen Bereich der Meß-Küvette der Analysevor
richtung aufgebracht.
Nachstehend ist der Gegenstand der Erfindung anhand der Fig. 1a, 1b, 1c, 2 und 3 näher
erläutert.
Fig. 1a zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes Filter mit Substrat und darauf aufge
brachte Interferenzfilter-Mehrfachbeschichtung;
Fig. 1b stellt schematisch Transmission und Reflexion am Filter dar;
Fig. 1c zeigt eine bespielhafte Transmissionskurve des Filters, wobei die Wellenlänge X in
Nanometern und der Transmissionsgrad T in Prozent angegeben ist;
Fig. 2 zeigt schematisch den Einsatz des Filters im Strahlengang eines Teleskopes; das
auf Gasnebel im Weltraum gerichtet ist;
Fig. 3 zeigt den Einsatz des Filters bei einer Wasserstoff- bzw. Deuterium-Lampe in der
Analysetechnik.
Gemäß Fig. 1a besteht ein Interferenzfilter aus einem strahlungsdurchlässigen Substrat 1 bei
spielsweise Quarzglas, auf das eine Mehrzahl von Schichten 2, 3, 4 . . . n mit abwechselnd ho
hen und niedrigem Brechungsindex in einer Schichtdicke aufgetragen ist, die beispielsweise im
Bereich von 20 bis 70 nm liegt. Die Gesamtzahl der Schichten ist symbolisch mit dem Zeichen
n bezeichnet. Im nachfolgenden Beispiel zu Fig. 1c gilt n = 15. Aufbau und Wirkungsweise sol
cher Interferenzfilter sind beispielweise aus der US 4,320,936 bekannt.
Entsprechend Fig. 1a ist der Schichtenaufbau aus Einzelschichten den Wellenlängenberei
chen von 434 nm, von 484 bis 486,1 nm, von 495,5 nm bis 500,7 nm und von 654 bis 656,3 nm
angepaßt, wobei die Strahlung dieser Linien bzw. Spektralbereiche gemäß der nachstehend er
läuterten Fig. 1c geringer als die übrige Strahlung im Bereich von 160 bis 1200 nm bzw. im
dargestellten Bereich von 400 bis 700 nm transmittiert wird. Auf die Interferenzschicht auftre
tende Strahlung ist gemäß Fig. 1b symbolisch mit Ziffer 16 bezeichnet, die transmittierte
Strahlung mit Bezugsziffer 17, während die reflektierten Strahlen der vorstehend genannten
Wellenlängen mit Ziffern 18,19, 20 und 21 bezeichnet sind. Als Werkstoff mit hochbrechenden
Eigenschaften hat sich insbesondere Zirkonoxid bewährt, als Werkstoff für Schichten niedrig
brechender Eigenschaften beispielsweise Magnesiumfluorid; darüber hinaus ist es auch mög
lich, Aluminiumoxid als Werkstoff von Schichten für das Filter einzusetzen.
Fig. 1c zeigt die bereits zuvor erwähnte beispielhafte Transmissionskurve eines erfindungsge
mäßen optischen Filters, bei dem senkrecht eintretende Strahlung im Wellenlängenbereich von
434 nm, von 484 bis 486,1 nm, von 495,9 bis 500,7 nm in ihrer Intensität gedämpft wird, wobei
das übrige Spektrum im Bereich der sichtbaren Strahlung von 400 bis 700 nm weitgehend un
gedämpft das Filter passieren kann; ein solches Filter kann beispielsweise von der Firma OME-
GA OPTICAL INC., 3 Grove Street, Brattleboro, Vermont, USA, hergestellt werden. Die Mehr
fachschicht weist abwechselnd Schichten mit hohem Brechungsindex H und Schichten mit
niedrigem Brechungsindex L auf. Die Schichtfolge ist ausgehend von der auf dem Substrat be
findlichen Schicht 1 bis zur äußeren Schicht 15, die in Fig. 1a mit n bezeichnet ist, in der nach
folgenden Tabelle aufgeführt.
Fig. 2 zeigt schematisch den Einsatz des erfindungsgemäßen Filters in der Astrophysik. Filter
23 befindet sich dabei im Strahlengang eines Spiegel-Teleskops 24.
Die von einem Gasnebel 25 ausgehende Strahlung 26 mit einem Linienspektrum der Wellen
längen 434 nm, 486,1 nm, 495,9 nm, 500,7 nm und 656,3 nm wird durch Filter 23 im Strahlen
gang des Teleskops 24 abgeschwächt, so daß vom Teleskop aus gesehen vor oder hinter dem
Gasnebel stehende Sterne 27 durch Erhöhung des Kontrastes wesentlich besser erkennbar
sind; dies bedeutet, daß die Strahlung 26′ von Sternen, welche im wesentlichen ein kontinuierli
ches Spektrum hat, den Filter 23 nahezu verlustfrei durchdringen kann, während die Emissions
linien des Gasnebels den Filter nicht durchdringen können, so daß Kontrast und Erkennbarkeit
der Sterne 27 wesentlich erhöht werden. Die Betrachtung des Bildes kann wahlweise visuell
über ein Okular 28 erfolgen oder mittels eines hier nicht dargestellten Silizium-Bildsensors, bei
spielsweise einer CCD-Kamera, erfolgen.
Gemäß Fig. 3 wird das erfindungsgemäße Filter 23 in einer Analysevorrichtung 29 eingesetzt,
bei der eine Wasserstoff- bzw. Deuteriumlampe als Strahlenquelle 30 vorgesehen ist. Die ent
lang der optischen Achse 31 auftretende Strahlung 32 durchläuft Filter 23 sowie die das zu
analysierende Gas enthaltende Meßzelle bzw. Meß-Küvette 33 und tritt nach Verlassen der Kü
vette in den Eingangsbereich 34 des Sensors bzw. Detektors 35 eines Analysegerätes 35 ein;
als Analysegerät kann beispielsweise ein Spektralfotometer oder ein HPLC-UV-Detektor einge
setzt werden. Weiterhin ist es in der Praxis möglich, Meß-Küvette 33 gegen eine mit einem Re
ferenzgas gefüllte Küvette 33′ zwecks Eichung zu vertauschen. Als besonders vorteilhaft er
weist es sich bei einer Anordnung gemäß Fig. 3, daß praktisch ein kontinuierliches Spektrum
der Strahlenquelle 30 entsteht, wobei die bei Anwendung von Deuterium- bzw. Wasserstofflam
pen störenden Emissionslinien durch Filter 23 entfernt sind; es ist somit beispielsweise möglich,
auf verhältnismäßig einfache Weise die Zusammensetzung des in der Küvette 33 befindlichen
Gases bzw. der Substanz durch Spektralanalyse zu bestimmen.
Claims (8)
1. Optisches Filter mit Interferenzfilter-Mehrfachschicht auf einem Substrat, wobei die Strah
lung wenigstens einer Emissionslinie oder eines Spektralbereiches reflektiert und Strah
lung anderer Spektralbereiche transmittiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Trans
mission des Filters in wenigstens einem der Wellenlängenbereiche von 434,0 bis 500,7
nm und von 654 bis 656,3 nm geringer ist als im übrigen Spektralbereich von 160 bis
1200 nm.
2. Optisches Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transmission des
Filters in wenigstens einem der Wellenlängenbereiche von 434,0 nm, von 484 bis 486,1
nm, von 495,9 nm bis 500,7 nm und von 654 bis 656,3 nm geringer ist als im übrigen
Wellenlängenbereich von 160 nm bis 1200 nm.
3. Optisches Filter nach Anspruch 1 der 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mehrfach-In
terferenzfilterschicht aus 8 hoch- und 7 niedrigbrechenden Schichten besteht, wobei der
Brechungsindex der hochbrechenden Schichten 2,35 und der der niedrigbrechenden
Schichten 1,35 beträgt.
4. Optisches Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als
Substrat (1) der Interferenzfilter-Mehrfachschicht Quarzglas vorgesehen ist.
5. Verwendung eines optischen Filters nach einem der Ansprüche 1 bis 4 im Strahlengang
von astronomischen Teleskopen zur Dämpfung der Emissionslinien von Gasnebeln im
Weltraum.
6. Verwendung eines optischen Filters nach einem der Ansprüche 1 bis 4 im Strahlengang
zwischen einer Deuterium- bzw. Wasserstofflampe und einem Detektor in der
Analysetechnik.
7. Verwendung des optischen Filters nach Anspruch 6 zur Bildung eines kontinuierlichen
Strahlungsspektrum im Bereich von 160 bis 700 nm.
8. Verwendung eines optischen Filters nach Anspruch 6 oder 7 in Form einer auf einen
Lampenkolben der Deuterium- oder Wasserstofflampe aufgebrachte
Interferenzfilter-Mehrfachschicht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1996119358 DE19619358C2 (de) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | Verwendung eines optischen Filters mit Interferenzfilter-Mehrfachschicht |
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ID=7794248
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE1996119358 Expired - Fee Related DE19619358C2 (de) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | Verwendung eines optischen Filters mit Interferenzfilter-Mehrfachschicht |
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Country | Link |
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DE (1) | DE19619358C2 (de) |
Families Citing this family (1)
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DE102009014425B4 (de) * | 2009-03-26 | 2011-02-03 | Heraeus Noblelight Gmbh | Deuteriumlampe |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3102301A1 (de) * | 1980-02-01 | 1982-01-21 | Jenoptik Jena Gmbh | "interferenzspiegel mit hoher reflexion fuer mehrere spektralbaender" |
EP0300579A2 (de) * | 1987-07-22 | 1989-01-25 | Philips Patentverwaltung GmbH | Optisches Interferenzfilter |
WO1990009032A1 (de) * | 1989-01-25 | 1990-08-09 | Heraeus Instruments Gmbh | Deuterium-lampe für spektralanalyse-vorrichtungen |
DD298692A5 (de) * | 1989-11-06 | 1992-03-05 | Jenoptik Carl Zeiss Jena Gmbh,De | Interferenzfilter fuer zwei wellenlaengen |
-
1996
- 1996-05-14 DE DE1996119358 patent/DE19619358C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3102301A1 (de) * | 1980-02-01 | 1982-01-21 | Jenoptik Jena Gmbh | "interferenzspiegel mit hoher reflexion fuer mehrere spektralbaender" |
EP0300579A2 (de) * | 1987-07-22 | 1989-01-25 | Philips Patentverwaltung GmbH | Optisches Interferenzfilter |
WO1990009032A1 (de) * | 1989-01-25 | 1990-08-09 | Heraeus Instruments Gmbh | Deuterium-lampe für spektralanalyse-vorrichtungen |
DD298692A5 (de) * | 1989-11-06 | 1992-03-05 | Jenoptik Carl Zeiss Jena Gmbh,De | Interferenzfilter fuer zwei wellenlaengen |
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