DE19618967A1

DE19618967A1 - Gas discharge lamp

Info

Publication number: DE19618967A1
Application number: DE19618967A
Authority: DE
Inventors: Akira Satomi
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 1995-05-16
Filing date: 1996-05-10
Publication date: 1996-11-21
Also published as: KR960042900A; JPH08315780A; TW346637B; JP3228073B2; KR100389998B1

Abstract

The gas discharge lamp has an emitter (11) with electrodes (31) inside and hermetically sealed end pieces (12). Inside each of these is a glass tube (1), a metal plate (5) on the emitter side of the tube and an inner terminal (3) fastened to the plate, extending towards the emitter and joining it. The outer terminal (4) passes through the end piece. It is joined electrically to the metal plate by a conducting foil (2) wrapped around the outside of the glass tube. There is are two separators (m) clamping the metal plate between them, both being thinner than the plate, the one on the emitter side being very thin indeed.

Description

Die Erfindung betrifft eine Entladungslampe. Die Erfindung betrifft insbesondere eine Quecksilber-Hochdrucklampe oder eine Quecksilber-Höchstdrucklampe, welche für hohe Ströme geeignet ist.The invention relates to a discharge lamp. The invention relates in particular to a high pressure mercury lamp or a high-pressure mercury lamp, which is suitable for high currents suitable is.

Eine Entladungslampe wird in der fotochemischen Industrie, bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen und zu ähnlichen Zwecken weit verbreitet verwendet.A discharge lamp is used in the photochemical industry, in the manufacture of semiconductor devices and to widely used for similar purposes.

Eine Quecksilber-Hochdrucklampe oder eine Quecksilber- Höchstdrucklampe für hohe Ströme weist während des Leucht betriebs der Lampe einen äußerst großen Druck sowie eine in höchstem Maß große Heizkraft innerhalb ihrer Leuchtröhre auf, weil eine große Menge Quecksilber eingekapselt wird, welches zum Hauptbestandteil des Emissionsgases wird. A high pressure mercury lamp or a mercury High pressure lamp for high currents points during the glow operating the lamp an extremely large pressure as well as an in highest level of heating power within your tube on because a lot of mercury is encapsulated which becomes the main component of the emission gas.

Es besteht deshalb ein Bedarf an Wärmebeständigkeit sowie Druckdichtheit eines hermetisch abschließenden Teils der Lampe, welche einem derartigen Druck sowie einer derartigen Wärmeerzeugung standhalten können.There is therefore a need for heat resistance as well Pressure tightness of a hermetically sealed part of the Lamp which has such a pressure and such Can withstand heat generation.

Aus diesem Grund wird bei einer herkömmlichen Quecksilber- Hochdrucklampe oder einer herkömmlichen Quecksil ber-Höchstdrucklampe eine sogenannte Folie-Siegel-Anordnung verwendet, bei welcher eine hermetisch abschließende Anord nung nicht dadurch hergestellt wird, daß die Leuchtröhre und ein Anschluß zum Zweck der Versorgung unmittelbar aneinan der angeschweißt werden, sondern bei welcher zur Ab dichtung eine leitende Folie verwendet und die leitende Fo lie sowie der Anschluß zum Zweck der Versorgung aneinander angeschweißt werden.For this reason, a conventional mercury High pressure lamp or a conventional mercury A so-called foil-seal arrangement via ultra-high pressure lamp used, in which a hermetic arrangement is not produced by the fact that the tube and a connection for the purpose of supply directly to each other which are welded, but with which to Ab seal uses a conductive film and the conductive fo lie and the connection for the purpose of supply to each other be welded on.

Fig. 4 zeigt die Folie-Siegel-Anordnung einer herkömmlichen Quecksilber-Hochdrucklampe. In der Darstellung bezeichnet ein Bezugszeichen 10 eine Entladungslampe, welche nachfol gend auch als "Lampe" bezeichnet wird, und welche aus einem Emissionsteil 11 sowie hermetisch abschließenden Teilen 12 besteht, die an beiden Enden des Emissionsteils 11 gebildet werden. Innerhalb des hermetisch abschließenden Teils 12 werden ein säulenförmiges Glasbauteil 1 und eine leitende Folie 2 in der Weise angeordnet, daß sich diese entlang der Außenumfangsfläche des Glasbauteils 1 erstreckt. Fig. 4, the foil seal arrangement showing a conventional high-pressure mercury lamp. In the illustration, a reference numeral 10 denotes a discharge lamp, which is also referred to hereinafter as a "lamp", and which consists of an emission part 11 and hermetically sealing parts 12 , which are formed at both ends of the emission part 11 . A columnar glass component 1 and a conductive film 2 are arranged within the hermetically sealing part 12 in such a way that they extend along the outer peripheral surface of the glass component 1 .

Die leitende Folie 2 wird auf der Seite des Emissionsteils 11 an einen Innenanschluß 3 und auf einer ihr entgegenge setzten Seite an einen Außenanschluß 4 elektrisch ange schlossen. Zum Anschluß der leitenden Folie 2 an den Innen anschluß 3 wird ein Metallblech 5 hierzwischen angeordnet, wodurch die elektrisch leitende Eigenschaft in ausreichendem Maß gehalten wird. Das Metallblech 5 weist eine bestimmte Dicke auf, um eine Elektrode 31 und den Innenanschluß 3 in ausreichendem Maß zu halten. Ferner wer den der Innenanschluß 3 und das Metallblech 5 miteinander befestigt.The conductive film 2 is electrically connected on the side of the emission part 11 to an inner connection 3 and on an opposite side to an outer connection 4 . To connect the conductive film 2 to the inner connection 3 , a metal sheet 5 is arranged between them, whereby the electrically conductive property is kept to a sufficient extent. The metal sheet 5 has a certain thickness in order to hold an electrode 31 and the inner connection 3 sufficiently. Furthermore, who the inner connection 3 and the metal sheet 5 attached to each other.

Andererseits wird zwischen dem Emissionsteil 11 und dem hermetisch abschließenden Teil 12 ein Zwischenbereich 13 gebildet, in welchem ein Bauteil zum Festhalten 6 angeord net wird, welches den Innenanschluß 3 festhält.On the other hand, an intermediate region 13 is formed between the emission part 11 and the hermetically sealing part 12 , in which a component for holding 6 is arranged which holds the inner connection 3 .

Zum Herstellen des hermetisch abschließenden Teils 12 wer den in Quarzglas, welches den Emissionsteil 11 sowie das hermetisch abschließende Teil 12 bildet, das Glasbauteil 1, die leitende Folie 2, die Elektrode 31 und dergleichen in vorgegebenen Positionen angeordnet. Dann wird die gesamte Anordnung um die Längsachse gedreht und zugleich in diesem Zustand von außerhalb des hermetisch abschließenden Teils 12 her unter Verwendung eines Brenners oder dergleichen ei ner Wärmebehandlung unterzogen. Zwischen der Innenseite dieses hermetisch abschließenden Teils 12 und der Außensei te des Glasbauteils 1 wird die leitende Folie 2 hermetisch angeschweißt.To manufacture the hermetically sealing part 12 , the glass component 1 , the conductive foil 2 , the electrode 31 and the like are arranged in predetermined positions in quartz glass, which forms the emission part 11 and the hermetically sealing part 12 . Then, the entire assembly is rotated about the longitudinal axis and, at the same time, is subjected to heat treatment from outside the hermetic part 12 using a burner or the like in this state. Between the inside of this hermetically sealing part 12 and the outside of the glass component 1 , the conductive foil 2 is welded hermetically.

Zum Herstellen des Zwischenbereiches 13 wird ein Teil, welcher dem Bauteil zum Festhalten 6 entspricht, einem Wärmeverpressen unterzogen, indem ebenfalls das gesamte Quarzglas gedreht wird. Durch Anschweißen des vorstehend beschriebenen Bauteils zum Festhalten 6 und des Quarzglases aneinander wird der Zwischenbereich 13 gebildet, welcher entlang der Verjüngung des Glasbauteils 1 einen Teil mit einem kleineren Durchmesser K aufweist. In order to produce the intermediate region 13 , a part which corresponds to the component for holding 6 is subjected to heat compression by likewise rotating the entire quartz glass. By welding the above-described component for holding 6 and the quartz glass to one another, the intermediate region 13 is formed, which has a part with a smaller diameter K along the taper of the glass component 1 .

Bei einer derartigen Entladungslampe ist bei der Wärmebe handlung des hermetisch abschließenden Teils folgendes nachteilig:With such a discharge lamp is at the heat action of the hermetically sealed part the following disadvantageous:

Das Glasbauteil 1 sowie das Bauteil zum Festhalten 6 beste hen aus Glas, während das Metallblech 5 Metall mit einem hohen Schmelzpunkt, wie Molybdän oder dergleichen, ist. Die beiden weisen erheblich unterschiedliche Wärmeausdehnungs koeffizienten auf. Das Metallblech 5 muß zudem steif sein und benötigt eine zusätzliche bestimmte Dicke, um den In nenanschluß 3 sowie die Elektrode 31 zu halten.The glass component 1 and the component for holding 6 are made of glass, while the metal sheet 5 is metal with a high melting point, such as molybdenum or the like. The two have significantly different coefficients of thermal expansion. The metal sheet 5 must also be rigid and requires an additional certain thickness in order to hold the inner connection 3 and the electrode 31 .

Als Folge davon kommen das Glasbauteil 1 sowie das Bauteil zum Festhalten 6 mit dem Metallblech 5 in Kontakt, wenn sie beim Wärmebehandlungsvorgang schmelzen. Durch Erwärmen oder Abkühlen in diesem Zustand werden die Ausdehnungskraft so wie die Kontraktionskraft des Metallbleches 5 auf das vor stehend beschriebene Glasbauteil 1 sowie das Bauteil zum Festhalten 6 unmittelbar ausgeübt, und als Folge davon tre ten in dem Glasbauteil 1 sowie dem Bauteil zum Festhalten 6 feine Risse auf.As a result, the glass member 1 and the holding member 6 come into contact with the metal sheet 5 when they melt during the heat treatment process. By heating or cooling in this state, the expansion force as well as the contraction force of the metal sheet 5 are exerted directly on the glass component 1 described above and the component for holding 6 , and as a result thereof, th in the glass component 1 and the component for holding 6 fine Cracks.

Wenn die Entladungslampe, weiche derartige feinen Risse aufweist, betrieben wird, vergrößern sich die Risse, weil der Gasdruck in dem Emissionsteil 11 äußerst hoch ist, wo durch Gaslecken oder eine Zerstörung des hermetisch ab schließenden Teils 12 auftritt.If the discharge lamp, which has such fine cracks, is operated, the cracks increase because the gas pressure in the emission part 11 is extremely high, where gas leakage or destruction of the hermetically closing part 12 occurs.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Entla dungslampe anzugeben, bei welcher verhindert werden kann, daß in einem Glasbauteil, welches innerhalb eines herme tisch abschließenden Teils angeordnet wird, sowie einem Bauteil zum Festhalten Risse auftreten.The invention has for its object a Entla to specify the lamp which can be prevented that in a glass component, which within a herme table final part is arranged, as well as a Component for holding cracks occur.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Entladungslampe aus einem Emissionsteil, innerhalb dessen Elektroden angeordnet werden, sowie hermetisch abschließen den Teilen besteht, welche an beiden Enden dieses Emissionsteils gebildet werden, wobei innerhalb eines jeden hermetisch abschließenden Teils ein ungefähr säulenförmiges Glasbauteil angeordnet wird, sowie ferner ein Metallblech, welches auf der Seite des Emissionsteils dieses Glasbau teils angeordnet wird, ein Innenanschluß, welcher an diesem Metallblech befestigt wird, welcher sich innerhalb des vor stehend beschriebenen Emissionsteils erstreckt, und dessen Spitze an die vorstehend beschriebene Elektrode angeschlos sen wird, ein Außenanschluß, welcher sich von dem vorste hend beschriebenen hermetisch abschließenden Teil nach außen hin erstreckt, eine leitende Folie, deren ein Ende sich an das vorstehend beschriebene Metallblech anschließt, welche sich auf einer Außenseite des vorstehend beschriebe nen Glasbauteils in seiner Längsrichtung erstreckt, und de ren ein anderes Ende an den vorstehend beschriebenen Außen anschluß elektrisch angeschlossen wird, sowie ein Trennbau teil vorhanden sind, welches zwischen dem vorstehend be schriebenen Glasbauteil und dem vorstehend beschriebenen Metallblech eingeklemmt wird, und welches eine Dicke auf weist, welche kleiner ist als die Dicke des vorstehend be schriebenen Metallblechs. The object is achieved in that a Discharge lamp from an emission part, within which Electrodes are arranged and sealed hermetically the parts that exist at both ends of this Emission part are formed, each within hermetically sealing part an approximately columnar Glass component is arranged, and also a metal sheet, which is on the side of the emission part of this glass building is partially arranged, an internal connection, which on this Metal sheet is attached, which is inside the front extends emission part described above, and its Tip connected to the electrode described above an external connection which differs from the previous one described hermetically sealing part extends outward, a conductive film, one end of which connects to the metal sheet described above, which is described on an outside of the above NEN glass component extends in its longitudinal direction, and de ren another end to the outside described above connection is electrically connected, as well as a partition are available, which between the above be written glass component and that described above Metal sheet is clamped, and which has a thickness has which is smaller than the thickness of the above be written metal sheet.

Die Aufgabe der Erfindung wird ferner dadurch gelöst, daß zwischen dem vorstehend beschriebenen hermetisch ab schließenden Teil und dem vorstehend beschriebenen Emis sionsteil ein Zwischenbereich vorhanden ist, innerhalb des sen ein Bauteil zum Festhalten angeordnet wird, durch wel ches der vorstehend beschriebene Innenanschluß hindurch verläuft, und daß auch zwischen diesem Bauteil zum Fest halten und dem vorstehend beschriebenen Metallblech ein zweites Trennbauteil angeordnet wird, welches eine geringe re Dicke aufweist als das vorstehend beschriebene Metall blech.The object of the invention is further achieved in that hermetically between the above closing part and the emis described above an intermediate area exists within the sen a component is arranged to hold, by which ches through the internal connection described above runs, and that between this component to the festival hold and the metal sheet described above second separating component is arranged, which is low re thickness than the metal described above sheet.

Die Aufgabe der Erfindung wird darüber hinaus dadurch gelöst, daß das vorstehend beschriebene Trennbauteil sowie das vorstehend beschriebene zweite Trennbauteil Vorsprünge aufweisen.The object of the invention is also thereby solved that the separating component described above as well the second partition member protrusions described above exhibit.

Durch die erfindungsgemäße Maßnahme, durch welche zwischen dem Glasbauteil und dem Metallblech sowie zwischen dem Bau teil zum Festhalten und dem Metallblech Trennbauteile, wie beispielsweise Metallfolien, angeordnet werden, können Kon takte des Glasbauteils mit dem Metallblech sowie des Bau teils zum Festhalten mit dem Metallblech während des Vor gangs der Wärmebehandlung des hermetisch abschließenden Teils verhindert werden.By the measure according to the invention, by which between the glass component and the metal sheet as well as between the building part to hold on and the metal sheet separating components, such as For example, metal foils can be arranged, Kon cycle of the glass component with the metal sheet and the construction partly to hold onto the metal sheet during the pre heat treatment of the hermetically sealed Partly be prevented.

Ferner sind dadurch, daß die Metallfolie im Vergleich zu dem Metallblech oder dergleichen äußerst dünn ist, die Ausdehnungskraft sowie die Kontraktionskraft der Me tallfolie an sich äußerst klein, welche die Metallfolie auf das Glasbauteil sowie das Bauteil zum Festhalten ausübt, auch wenn während der Vorgänge der Erwärmung sowie der Kühlung des hermetisch abschließenden Teils das Glasbau teil sowie das Bauteil zum Festhalten schmelzen und mit der vorstehend beschriebenen Metallfolie in Kontakt kommen. Furthermore, the fact that the metal foil compared to the sheet metal or the like is extremely thin, the expansion force and the contraction force of the me tall foil itself is extremely small, which the metal foil on exercises the glass component and the component to hold on, even if during the processes of warming as well as the Cooling the hermetically sealed part of the glass structure melt part and the component to hold on and with the metal foil described above come into contact.

Dadurch wird eine Rißbildung verhindert.This prevents cracking.

Ferner können dadurch, daß die Metallfolie die Vorsprünge aufweist, in dem Zustand, in welchem das Glasbauteil sowie das Bauteil zum Festhalten geschmolzen und mit der Metall folie in Kontakt gekommen sind, sowie in dem anschließenden Kühlungszustand die Ausdehnungskraft sowie die Kontrak tionskraft der Metallfolie von der Metallfolie selbst mit tels ihrer Vorsprünge absorbiert werden. Man kann deshalb die Rißbildung noch vorteilhafter verhindern.Furthermore, the fact that the metal foil the projections has, in the state in which the glass component and the component to hold it melted and with the metal foil have come into contact, as well as in the subsequent Cooling condition, the expansion force and the contract tion force of the metal foil from the metal foil itself are absorbed by their projections. One can therefore prevent the formation of cracks even more advantageously.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung weiter beschrieben. Es zeigen:The invention will be further elucidated below with the aid of the drawing described. Show it:

Fig. 1 eine Gesamtansicht der erfindungsgemäßen Entla dungslampe; Figure 1 is an overall view of the discharge lamp Entla invention.

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines hermetisch ab schließenden Teils der erfindungsgemäßen Entla dungslampe; Fig. 2 is a schematic representation of a hermetically closing part of the discharge lamp according to the invention;

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer für die erfin dungsgemäße Entladungslampe verwendeten Metallfo lie; und Fig. 3 is a schematic representation of a metal foil used for the discharge lamp according to the invention; and

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines hermetisch ab schließenden Teils einer herkömmlichen Entladungs lampe. Fig. 4 is a schematic representation of a hermetically closing part of a conventional discharge lamp.

Fig. 1 zeigt schematisch eine Entladungslampe. In der Dar stellung bezeichnet das Bezugszeichen 10 eine Entladungs lampe, welche nachfolgend auch als "Lampe" bezeichnet wird, und welche aus einem Emissionsteil 11 sowie hermetisch ab schließenden Teilen 12 an seinen beiden Enden besteht. In nerhalb des Emissionsteils 11 werden ein Paar Elektroden 31 angeordnet, welche durch Innenanschlüsse 3 gehalten werden. Fig. 1 shows schematically a discharge lamp. In the Dar position, the reference numeral 10 denotes a discharge lamp, which is also referred to below as a "lamp", and which consists of an emission part 11 and hermetically sealing parts 12 at both ends. A pair of electrodes 31 , which are held by internal connections 3 , are arranged within the emission part 11 .

Andererseits wird in jedem hermetisch abschließenden Teil 12 eine leitende Folie 2 eingelegt, wodurch ein elektri scher Anschluß eines Außenanschlusses 4, welcher sich von dem hermetisch abschließenden Teil 12 nach außen hin er streckt, an die Elektrode 31 durchgeführt wird.On the other hand, a conductive foil 2 is inserted into each hermetically sealed part 12 , whereby an electrical connection of an external connection 4 , which extends from the hermetically sealed part 12 to the outside, is carried out on the electrode 31 .

Für die Entladungslampe wird eine Quecksilber-Hochdrucklam pe oder eine Quecksilber-Höchstdrucklampe verwendet, wie beispielsweise eine Quecksilber-Höchstdrucklampe mit Nenn werten von 70 V sowie 5000 W, welche durch ihre Emission hauptsächlich Licht mit einer Wellenlänge von 365 nm mit hohem Wirkungsgrad ausstrahlt.A high-pressure mercury lamp is used for the discharge lamp pe or a high pressure mercury lamp used, such as for example a high pressure mercury lamp with nominal values of 70 V and 5000 W, which are due to their emission mainly light with a wavelength of 365 nm radiates high efficiency.

Fig. 2 zeigt schematisch die Anordnung des hermetisch ab schließenden Teils 12. In dem hermetisch abschließenden Teil 12 werden ein Glasbauteil 1 angeordnet, und die lei tende Folie 2 in der Weise angeordnet, daß sie sich entlang der Außenumfangsfläche dieses Glasbauteils 1 erstreckt. Das Glasbauteil 1 ist ungefähr zylindrisch gebildet, dessen En de auf der Seite des Emissionsteils eine Verjüngung auf weist, deren Spitze kegelstumpfförmig gebildet wird. Fig. 2 shows schematically the arrangement of the hermetically from closing part 12th In the hermetically sealing part 12 , a glass component 1 is arranged, and the conductive foil 2 is arranged such that it extends along the outer peripheral surface of this glass component 1 . The glass component 1 is approximately cylindrical, the end of which has a taper on the side of the emission part, the tip of which is frustoconical.

Das Glasbauteil 1 besteht beispielsweise aus Quarzglas und weist beispielsweise eine Größe mit einem Außendurchmesser von 25 mm sowie einer Gesamtlänge von 45 mm auf.The glass component 1 consists, for example, of quartz glass and has, for example, a size with an outer diameter of 25 mm and an overall length of 45 mm.

Durch die leitende Folie 2 werden der Innenanschluß 3 und der Außenanschluß 4 miteinander elektrisch verbunden. Die leitende Folie 2 besteht aus streifenförmigem Metall, wel ches sich entlang der Außenumfangsfläche des Glasbauteils 1 in seiner Längsrichtung erstreckt. Diese leitende Folie 2 besteht beispielsweise aus Molybdän und weist beispielswei se eine Größe mit einer Breite von 10 mm sowie einer Länge von 65 mm auf.The inner connection 3 and the outer connection 4 are electrically connected to one another by the conductive film 2 . The conductive film 2 is made of strip-shaped metal, which extends along the outer peripheral surface of the glass member 1 in its longitudinal direction. This conductive film 2 consists for example of molybdenum and has, for example, a size with a width of 10 mm and a length of 65 mm.

Es werden beispielsweise fünfleitende Folien 2 verwendet und in dem Umfangsbereich des Glasbauteils 1 mit gleichem Abstand zueinander angeordnet. Der Grund für die Verwendung mehrerer leitenden Folien auf diese Weise liegt darin, die elektrische Kapazität zu erhöhen. Man kann die Anzahl der leitenden Folien sowie ihre Größe entsprechend dem Wert des zugeführten Stromes auf geeignete Weise gestalten.For example, five conductive foils 2 are used and are arranged in the circumferential area of the glass component 1 at the same distance from one another. The reason for using multiple conductive foils in this way is to increase the electrical capacity. The number of conductive foils and their size can be suitably designed in accordance with the value of the current supplied.

Das Glasbauteil 1 weist an seinem Ende auf der Seite des Emissionsteils eine Verjüngung auf, entlang welcher auch die leitende Folie 2 sich in der Weise erstreckt, daß sie sich auf den Innenanschluß 3 hin richtet. Die leitende Fo lie 2 wird auf einer Stirnseite des Glasbauteils 1 ungefähr rechtwinklig umgebogen, und ihr vorderer Teil kommt mit dem Innenanschluß 3 in Kontakt. Der Grund für die Anordnung einer derartigen Verjüngung liegt darin, die Druckdichtheit des hermetisch abschließenden Teils 12 zu erhöhen. The glass component 1 has a taper at its end on the side of the emission part, along which the conductive film 2 also extends in such a way that it is directed towards the inner connection 3 . The conductive foil 2 is bent approximately at a right angle on an end face of the glass component 1 , and its front part comes into contact with the inner connection 3 . The reason for the arrangement of such a taper is to increase the pressure tightness of the hermetically sealing part 12 .

Auf der Stirnseite des Glasbauteils 1 auf der Seite des Emissionsteils wird ein Metallblech 5, welches eine im we sentlichen gleiche Größe aufweist wie die vorstehend be schriebene Stirnseite, in der Weise angeordnet, daß es den Innenanschluß 3 orthogonal schneidet.On the end face of the glass component 1 on the side of the emission part, a metal sheet 5 , which has a substantially the same size as the above-described end face, is arranged in such a way that it cuts the inner connection 3 orthogonally.

Durch die Anordnung eines derartigen Metallblechs 5 wird das Anschweißen der leitenden Folie 2 an das vorstehend be schriebene Metallblech 5 in höchstem Maß vereinfacht, und man kann die Leitfähigkeit der leitenden Folie 2 sowie des Innenanschlusses 3 erhöhen. Das Anschweißen der leitenden Folie 2 an das Metallblech 5 wird durch eine Punkt schweißung oder dergleichen durchgeführt.By arranging such a metal sheet 5 , the welding of the conductive film 2 to the metal sheet 5 described above be simplified to the greatest extent, and you can increase the conductivity of the conductive film 2 and the inner terminal 3 . The welding of the conductive film 2 to the metal sheet 5 is carried out by spot welding or the like.

Ferner wird das Metallblech 5 in seiner Mitte an den Innen anschluß 3 angeschlossen. Das Anschlußverfahren hierfür wird nicht auf ein besonderes Verfahren beschränkt. Man kann jedoch den Anschluß beispielsweise dadurch durchführen, daß der Innenanschluß 3 und das Metallblech 5 aneinander angeschweißt werden, oder daß die Mitte des Me tallblechs 5 mit einer Öffnung versehen wird, in welche ei ne Basis des Innenanschlusses 3 eingesteckt und ange schweißt wird. In jedem Fall ist es erforderlich, daß das Metallblech 5 eine bestimmte Steifheit sowie eine bestimmte Dicke aufweist, welche zum Festhalten des Innenanschlusses 3 sowie der Elektrode 31 ausreichend sind.Furthermore, the metal sheet 5 is connected in the middle to the inner connection 3 . The connection procedure for this is not limited to a special procedure. However, it is to connect, for example, perform characterized in that the inner terminal 3 and the metal sheet 5 are welded to each other, or that the center of Me tallblechs is provided with an opening 5, in which ei ne base of the inner lead 3 is inserted and attached is welded. In any case, it is necessary that the metal sheet 5 have a certain stiffness and a certain thickness, which are sufficient to hold the inner connection 3 and the electrode 31 .

Das Metallblech 5 besteht aus Metall mit einem hohen Schmelzpunkt. Es wird beispielsweise Tantal, Niob, Wolfram, Molybdän oder dergleichen verwendet. Das Metallblech 5 weist beispielweise eine Größe mit einem Außendurchmesser von 18 mm sowie einer Dicke von 0.5 mm auf. The metal sheet 5 is made of metal with a high melting point. For example, tantalum, niobium, tungsten, molybdenum or the like is used. The metal sheet 5 has, for example, a size with an outer diameter of 18 mm and a thickness of 0.5 mm.

Zwischen dem Glasbauteil 1 und dem Metallblech 5 wird ein Trennbauteil M angeordnet. Für dieses Trennbauteil M wird beispielsweise eine Metallfolie verwendet. Es wird eine in Fig. 3 (a) dargestellte runde Metallfolie oder eine in Fig. 3 (b) dargestellte runde Metallfolie, auf welcher Vorsprünge gebildet sind, verwendet.A separating component M is arranged between the glass component 1 and the metal sheet 5 . A metal foil is used for this separating component M, for example. A round metal foil shown in Fig. 3 (a) or a round metal foil shown in Fig. 3 (b) on which protrusions are formed are used.

Für diese Metallfolie M wird beispielsweise eine Mo lybdänfolie verwendet. Es ist erwünscht, daß der Außen durchmesser hiervon gleich dem Außendurchmesser des Metall blechs 5 oder in geringem Maß größer als der Außendurchmes ser des Metallblechs 5 ist. Es liegen ein Außendurchmesser bei 20 mm und eine Dicke bei ca. 15 µmm. Die Vorsprünge werden beispielsweise durch Prägen hergestellt und weisen einen Außendurchmesser beispielsweise von ca. 3 mm auf. Man kann ferner auch beispielsweise zwei bis drei Metallfolien M übereinanderlegen und verwenden.For this metal foil M, for example, a Mo lybdenum foil is used. It is desirable that the outer diameter thereof is equal to the outer diameter of the metal sheet 5 or slightly larger than the outer diameter of the metal sheet 5 . The outer diameter is 20 mm and the thickness is approx. 15 µmm. The projections are produced, for example, by stamping and have an outside diameter of, for example, approximately 3 mm. It is also possible, for example, to place two to three metal foils M on top of one another and use them.

Zwischen dem Emissionsteil 11 und dem hermetisch ab schließenden Teil 12 wird ein Zwischenbereich 13 gebildet, in welchem ein Bauteil zum Festhalten 6 enthalten ist, wel ches den Innenanschluß 3 festhält. Dieses Bauteil zum Fest halten 6 wird ungefähr zylindrisch gebildet. Seine Verbin dungsfläche mit dem Emissionsteil 11 wird im Hinblick auf den Emissionsraum "ungefähr kegelförmig" gebildet, und auch seine Verbindungsfläche mit dem hermetisch abschließenden Teil 12 wird im Hinblick auf das Metallblech 5 "sich verjüngend" gebildet.Between the emission part 11 and the hermetically closing part 12 , an intermediate region 13 is formed, in which a component for holding 6 is included, which holds the inner connection 3 . This component to hold 6 is approximately cylindrical. Its connec tion surface with the emission part 11 is formed "approximately conical" with respect to the emission space, and also its connection surface with the hermetically sealing part 12 is formed "tapered" with regard to the metal sheet 5 .

Das Bauteil zum Festhalten 6 weist in seiner Mitte eine Durchgangsöffnung auf, durch welche der Innenanschluß 3 sich von dem hermetisch abschließenden Teil 12 her in Rich tung auf den Emissionsteil 11 hindurch erstreckt. Ferner wird der Innenanschluß 3 mit einem Stopper 30 umwickelt, wodurch eine Positionsabweichung des Bauteils zum Fest halten 6 verhindert werden kann. Der Stopper 30 besteht beispielsweise aus Molybdän.The component for holding 6 has in its center a through opening through which the inner connection 3 extends from the hermetically sealing part 12 in the direction of the emission part 11 . Furthermore, the inner connection 3 is wrapped with a stopper 30 , whereby a positional deviation of the component to hold 6 can be prevented. The stopper 30 is made of molybdenum, for example.

Dieses Bauteil zum Festhalten 6 besteht beispielsweise aus Quarzglas und weist beispielsweise eine Größe mit einem Außendurchmesser auf der Seite des Emissionsteils 11, wel cher um 0.5 bis 1.0 mm kleiner als ein Innendurchmesser des hermetisch abschließenden Teils 12 ist, sowie mit einem Außendurchmesser auf der Seite des hermetisch abschließen den Teils 12 auf, der im wesentlichen gleich dem Außen durchmesser des Metallblechs 5 ist, oder der bei ca. 90% des Außendurchmessers des Metallblechs 5 liegt.This component for holding 6 consists, for example, of quartz glass and has, for example, a size with an outside diameter on the side of the emission part 11 , which is 0.5 to 1.0 mm smaller than an inside diameter of the hermetically sealing part 12 , and with an outside diameter on the side of the hermetically seal the part 12 , which is substantially equal to the outer diameter of the metal sheet 5 , or which is approximately 90% of the outer diameter of the metal sheet 5 .

Ferner kann erfindungsgemäß zwischen dem Metallblech 5 und dem Bauteil zum Festhalten 6 ein weiteres Trennbauteil M1 angeordnet werden. Für dieses Trennbauteil M1 kann eben falls eine Metallfolie verwendet werden. In diesem Fall wird sie jedoch im Unterschied zu den in Fig. 3 gezeigten Metallfolien mit einer Öffnung für den Innenanschluß 3 ver sehen und ringförmig gebildet werden.Furthermore, according to the invention, a further separating component M1 can be arranged between the metal sheet 5 and the component for holding 6 . A metal foil can also be used for this separating component M1. In this case, however, in contrast to the metal foils shown in FIG. 3, it will see ver with an opening for the inner connection 3 and be formed in a ring.

Die leitende Folie 2 wird auf einer dem Emissionsteil 11 entgegengesetzten Seite an ein schalenartiges Metallbauteil 21 angeschweißt und über dieses Metallbauteil 21 an den Außenanschluß 4 elektrisch angeschlossen. Das Glasbauteil 1 sowie das Metallbauteil 21 werden mit einer Öffnung 22 ver sehen, in welche der Außenanschluß 4 eingesteckt wird. Fer ner wird auch auf dem Außenanschluß 4 ein Bauteil zum Fest halten 7 angeordnet.The conductive foil 2 is welded to a shell-like metal component 21 on a side opposite the emission part 11 and is electrically connected to the external connection 4 via this metal component 21 . The glass component 1 and the metal component 21 will see ver with an opening 22 , into which the external connection 4 is inserted. Fer ner a component to hold 7 is also arranged on the external connection 4 .

Zur Herstellung einer derartigen Entladungslampe 10 wird als erstes das hermetisch abschließende Teil 12 einer Wärmebehandlung unterzogen, indem mittels einer Glasdreh bank oder dergleichen eine Baugruppe aus dem Quarzglas und dem Glasbauteil 1 oder dergleichen, welche die Entladungs lampe bilden, gedreht wird, und in dem hermetisch ab schließenden Teil 12 werden das Glasbauteil 1 und die lei tende Folie 2 unmittelbar aneinander anliegend dicht ange ordnet. Das Bauteil zum Festhalten 6 und der Zwischenbe reich 13 werden auch in derselben Weise unmittelbar anein ander anliegend dicht angeordnet.To produce such a discharge lamp 10 , the hermetically sealing part 12 is first subjected to a heat treatment, by means of a glass lathe or the like, an assembly of the quartz glass and the glass component 1 or the like, which form the discharge lamp, is rotated, and in the hermetic from the closing part 12 , the glass component 1 and the lei film 2 are directly adjacent to each other tightly arranged. The component for holding 6 and the Zwischenbe rich 13 are also directly adjacent to each other tightly arranged in the same way.

Bei einem derartigen Vorgang der Wärmebehandlung des herme tisch abschließenden Teils 12 wird durch die Abtrennung durch die Metallfolie M verhindert, daß das Glasbauteil 1 und das Metallblech 5 unmittelbar miteinander in Kontakt kommen, obwohl sie unterschiedliche Ausdehnungskoeffizienten durch die Wärme aufweisen.In such a process of heat treatment of the hermetically sealing part 12 , the separation by the metal foil M prevents the glass component 1 and the metal sheet 5 from coming into direct contact with one another, although they have different coefficients of expansion due to the heat.

Wie vorstehend beschrieben ist, liegen die Dicke der Me tallfolie M insgesamt bei ca. 30 µm sowie die Dicke des Metallblechs 5 bei ca. 0.5 mm. Man kann deshalb da durch, daß die Metallfolie M im Vergleich zu dem Metall blech 5 eine äußerst geringe Dicke aufweist, die Rißbildung in dem Glasbauteil 1 verhindern, weil die Ausdehnungskraft sowie die Kontraktionskraft, welche die Metallfolie M auf das Glasbauteil 1 ausübt, äußerst gering sind, auch wenn während der Vorgänge der Erwärmung sowie der Kühlung des hermetisch abschließenden Teils 12 das Glasbauteil 1 schmilzt und mit der Metallfolie M in Kontakt kommt.As described above, the total thickness of the metal foil M is approximately 30 μm and the thickness of the metal sheet 5 is approximately 0.5 mm. One can therefore because that the metal foil M compared to the metal sheet 5 has an extremely small thickness, prevent the formation of cracks in the glass component 1 , because the expansion force and the contraction force which the metal foil M exerts on the glass component 1 , extremely low are, even if the glass component 1 melts and comes into contact with the metal foil M during the processes of heating and cooling the hermetically sealing part 12 .

Bei dem Vorgang der Wärmebehandlung des hermetisch ab schließenden Teils 12 wird durch die Abtrennung durch die Metallfolie M1 ebenfalls verhindert, daß das Bauteil zum Festhalten 6 und das Metallblech 5 unmittelbar miteinander in Kontakt kommen, welche unterschiedliche Ausdehnungs koeffizienten aufweisen. Man kann deshalb die Rißbildung in dem Bauteil zum Festhalten 6 verhindern, weil die Aus dehnungskraft sowie die Kontraktionskraft, welche die Me tallfolie M1 auf das Bauteil zum Festhalten 6 ausübt, eben falls äußerst gering sind.In the process of heat treatment of the hermetically closing part 12 is also prevented by the separation by the metal foil M1 that the component for holding 6 and the metal sheet 5 come into direct contact with each other, which have different expansion coefficients. One can therefore prevent the formation of cracks in the component for holding 6 , because the expansion force and the contraction force that the metal foil M1 exerts on the component for holding 6 are also extremely low.

Wenn ferner auf der Metallfolie M sowie der Metallfolie M1 Vorsprünge gebildet sind, können in dem Zustand, in welchem das Glasbauteil 1 sowie das Bauteil zum Festhalten 6 ge schmolzen und mit der zugehörigen Metallfolie in Kontakt gekommen sind, sowie in dem anschließenden Kühlungszustand die Ausdehnungskraft sowie die Kontraktionskraft der Me tallfolien von den Metallfolien selbst mittels ihrer Vorsprünge absorbiert werden. Man kann deshalb die Rißbil dung in dem Glasbauteil 1 oder in dem Bauteil zum Festhalt en 6 noch vorteilhafter verhindern.Further, if projections are formed on the metal foil M and the metal foil M1, in the state in which the glass component 1 and the component for holding 6 have melted and come into contact with the associated metal foil, and in the subsequent cooling state, the expansion force and the contraction force of the metal foils are absorbed by the metal foils themselves by means of their projections. One can therefore prevent the crack formation in the glass component 1 or in the component for holding en 6 even more advantageously.

Ferner wird die Form des Glasbauteils 1 nicht auf die zy lindrische Form beschränkt, sondern kann eine Acht ecksäulenform, Sechsecksäulenform oder eine andere Form sein.Furthermore, the shape of the glass component 1 is not limited to the cylindrical shape, but may be an octagonal column shape, hexagonal column shape or another shape.

Man kann außerdem die Anzahl der leitenden Folie 2 entspre chend der Größe des Glasbauteils 1 auf geeignete Weise auswählen. Die leitende Folie 2 kann ferner unmittelbar an den Außenanschluß 4 angeschlossen werden, ohne das Metall bauteil 21 zu verwenden.You can also select the number of conductive film 2 accordingly, the size of the glass component 1 in a suitable manner. The conductive film 2 can also be connected directly to the external connection 4 without using the metal component 21 .

Die Erfindung kann zwar allgemein für Entladungslampen mit einer Folie-Siegel-Anordnung eine weite Anwendung finden, ist jedoch insbesondere für eine Entladungslampe für hohe Ströme mit einem Nennstrom von größer/gleich 60 A geeignet.The invention can generally be used for discharge lamps find a wide application in a foil-seal arrangement, however, is especially for a discharge lamp for high Currents with a nominal current of greater than or equal to 60 A are suitable.

Claims

1. Discharge lamp, characterized by the following features: an emission part ( 11 ), within the electrodes ( 31 ) of which are arranged, and hermetically sealing parts ( 12 ) which are formed at both ends of this emission part ( 11 ), with each hermetically sealing Part ( 12 ) an approximately columnar glass component ( 1 ) is arranged, and also a Me tallblech ( 5 ), which is arranged on the side of the emission part ( 11 ) of this glass component ( 1 ), an inner connection ( 3 ), which in this Sheet metal ( 5 ) is fastened, which extends within the above-described emission part ( 11 ), and whose tip is closed to the above-described electrode ( 31 ), an external connection ( 4 ) which is hermetically sealed from the above-described one the part ( 12 ) extends outwards, a conductive film ( 2 ), one end of which is on the metal sheet described above ( 5 ) which extends on an outside of the above-described glass construction part ( 1 ) in its longitudinal direction, and whose other end is electrically connected to the above-described external connection ( 4 ), and a separating component (M) are present, which is clamped between the glass component ( 1 ) described above and the metal sheet ( 5 ) described above, and which has a thickness which is smaller than the thickness of the metal sheet ( 5 ) described above.

2. Discharge lamp according to claim 1, characterized in that between the hermetically sealing part ( 12 ) and the emission part ( 11 ) described above, an intermediate region ( 13 ) is present, within which a component for holding ( 6 ) is arranged , through which the inner connection ( 3 ) described above runs through, and that between this component for holding ( 6 ) and the metal sheet ( 5 ) described above, a second partition (M1) is arranged, which has a smaller thickness than the metal sheet ( 5 ) described above.

3. Discharge lamp according to claim 1 or 2, characterized, that the separation component described above (M) and the second separating component (M1) described above Have projections.