DE19520318A1 - Sensoranordnung mit einem durch einen Joule-Thomson Kühler gekühlten Sensor und Elektronikbauteilen - Google Patents
Sensoranordnung mit einem durch einen Joule-Thomson Kühler gekühlten Sensor und ElektronikbauteilenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung mit einem durch
einen Joule-Thomson Kühler gekühlten Sensor und
Elektronikbauteilen.
Solche Sensoren sind insbesondere infrarotempfindliche
Sensoren für Sucher, die ein infrarot strahlendes Ziel
verfolgen. Solche Sucher werden in Suchköpfen von
zielsuchenden Flugkörpern benutzt.
Die EP-A-0 604 790 beschreibt eine Sensoranordnung mit
einem gekühlten Sensor. Der Sensor ist im Vakuumraum eines
Dewar-Gefäßes angeordnet. Das Dewar-Gefäß weist einen
inneren und einen äußeren Gehäuseteil auf. Die Gehäuseteile
sind beide topfförmig ausgebildet. Der äußere Gehäuseteil
greift um den inneren Gehäuseteil. Die beiden Gehäuseteile
begrenzen den Vakuumraum des Dewar-Gefäßes. Der "Boden" des
inneren Gehäuseteils trägt auf seiner vakuumseitigen
Außenseite den Sensor.
Der innere Gehäuseteil umschließt in seinem Innenraum einen
Joule-Thomson-Kühler. Ein solcher Joule-Thomson-Kühler
enthält einen Wärmetauscher in Form einer gewendelten
Vorlaufleitung und eine Entspannungsdüse am Ende der
Vorlaufleitung im Bereich des "Bodens" des Dewar-Gefäßes.
Ein Kühlgas unter Druck wird durch die Vorlaufleitung
geleitet und tritt an der Entspannungsdüse aus. Dabei wird
das Kühlgas entspannt und abgekühlt. Das entspannte und
abgekühlte Kühlgas fließt dann durch den Wärmetauscher zum
offenen Ende des Dewar-Gefäßes hin. Dabei kühlt es das
vorlaufende, unter Druck stehende Kühlgas im Gegenstrom.
Das so vorgekühlte Kühlgas wird dann durch die Entspannung
beim Austritt aus der Düse weiter abgekühlt. Dadurch lassen
sich schließlich sehr tiefe Temperaturen erreichen. Das
Kühlgas kühlt dabei den Sensor entsprechend. Nach
durchlaufen des Wärmetauschers tritt es am "warmen",
offenen Ende des Dewar-Gefäßes aus.
Bei der EP-A-0 604 790 weist das Dewar-Gefäß einen
flanschartigen Sockel auf. Der Sockel besteht aus einem
ersten Sockelteil, der an dem äußeren Gehäuseteil angeformt
ist, und einen zweiten Sockelteil, der an dem inneren
Gehäuseteil angeformt ist. Eine ringscheibenförmige Platine
ist abdichtend zwischen erstem und zweitem Sockelteil
gehalten und begrenzt einen Vakuumraum. Auf der Platine
sind Elektronikbauteile, darunter integrierte Schaltungen,
montiert. Die Anordnung von Elektronikbauteilen unmittelbar
an dem "warmen" Ende des Dewar-Gefäßes gestattet eine
sensornahe Signalverarbeitung der Sensorsignale und
verringert die Anfälligkeit gegen elektromagnetische
Störungen.
Solche Elektronikbauteile entwickeln jedoch Wärme. Diese
Wärme kann bei üblichen Suchköpfen schlecht abgeleitet
werden. Die Wärmeableitung müßte über die Kugellager von
Kardanrahmen erfolgen, in denen der Infrarotdetektor eines
Suchers am Flugkörper üblicherweise gelagert ist, was lange
Wege für die abzuleitende Wärme und einen schlechten
Wärmeübergang bedingt. Außerdem wird der Sucher selber im
Betrieb heiß, so daß keine Wärmeabfuhr durch Abstrahlung
erfolgt. Das kann verschiedene nachteilige Folgen haben:
Die Zuverlässigkeit der Bauteile wird verringert. Es
besteht die Gefahr einer Überhitzung von Bauteilen. Dadurch
kann ein Systemausfall des Suchers eintreten.
Weiterhin beeinträchtigt die Wärmeentwicklung am Eingang
des Joule-Thomson-Kühlers die Funktion des Joule-Thomson-
Kühlers. Der Gasstrom, der für die Kühlung des Sensors auf
eine vorgegebene Temperatur erforderlich ist, erhöht sich
dadurch. Das begrenzt die Flugzeit, wenn das Kühlgas unter
Druck von einer Druckflasche geliefert wird. Im Extremfall
kann die temperaturabhängige Leistungsgrenze des Joule-
Thomson-Kühlers überschritten werden. Auch das führt zu
einer Verschlechterung der Kühlleistung und ggf. zum
Systemausfall.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Wärmeabfuhr
von Elektronikbauteilen bei gekühlten Sensoren der eingangs
genannten Art zu verbessern.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß mit
den Elektronikbauteilen Wärmetauschermittel in
wärmeleitendem Kontakt sind, die von dem aus dem Joule-
Thomson-Kühler austretenden expandierten Kühlgas
durchflossen sind.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß das
rückströmende, expandierte Kühlgas auch nach dem Durchgang
durch den Wärmetauscher des Joule-Thomson-Kühlers und
Vorkühlung des unter Druck zugeführten vor laufenden
Kühlgases noch kühl genug ist, um bei geeigneter Ausbildung
der an den Elektronikbauteilen vorgesehenen
Wärmetauschermittel eine nennenswerte Wärmemenge von den
Elektronikbauteilen aufzunehmen und abzuführen. Es wird
dann das expandierte, "verbrauchte" Kühlgas, das sonst
ungenutzt in die Atmosphäre austreten würde, noch
ausgenutzt, um die Elektronikbauteile zu kühlen. Dabei ist
vorteilhaft, daß die für die Kühlung des Sensors
erforderliche Kühlgasmenge umso größer wird, je höher die
Temperatur des Flugkörpers ist. Eine entsprechend größere
Menge von "verbrauchtem" Kühlgas steht dann auch für die
Kühlung der Elektronikbauteile zur Verfügung.
Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der
Unteransprüche.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend unter
Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch einen Sensor in Form
eines IR-Detektors mit einem Joule-Thomson-Kühler,
einem Dewar-Gefäß mit flanschartigem Sockel und
gekühlten Elektronikbauteilen.
Fig. 2 ist eine schematisch-perspektivische Darstellung
und zeigt den Aufbau eines Wärmetauschers zum
Kühlen von Elektronikbauteilen.
In Fig. 1 ist mit 10 ein topfförmiges Dewar-Gefäß
bezeichnet. Das Dewar-Gefäß 10 weist einen Außenteil 12 und
einen Innenteil 14 auf. Der Außenteil 12 greift mit Abstand
um den Innenteil 14. Dazwischen ist ein Vakuumraum 16
gebildet. Ein Sensor 18 in Form eines IR-Detektors sitzt
innerhalb des Vakuumraumes 16 auf der vakuumseitigen
Oberfläche eines "Bodens" 20 des topfförmigen Innenteils
14. An dem Boden 20 ist weiterhin eine Kaltblende 22
angebracht. Die Kaltblende 22 wird mit dem Sensor 18
gekühlt und schirmt den Sensor 18 gegen IR-Strahlung ab,
die aus der Umgebung, z. B. von warmen Wandungsteilen des
Flugkörpers, direkt auf den Sensor 18 fällt. Der Außenteil
12 bildet im Bereich des "Bodens" ein Fenster 24.
Der Außenteil 12 ist mit einem glockenförmigen Randteil 26
in einem Durchbruch 28 eines Montageflansches 30 abdichtend
befestigt. An einer Schulter 32 des Durchbruchs 28 liegt
eine Ringscheibe 34 an. Die Ringscheibe 34 ist innen an der
zylindrischen Mantelfläche des Innenteils 14 abdichtend
befestigt. Die Ringscheibe 34 bildet die in Fig. 1 untere
Begrenzung des Vakuumraumes 16.
In dem Innenteil 14 und damit in dem Dewar-Gefäß 10 sitzt
ein Joule-Thomson-Kühler 36. Der Joule-Thomson-Kühler 36
enthält einen Wärmetauscher 38 mit einem gewendelten Rohr
40 für die Zufuhr von Kühlgas unter Druck. Das Kühlgas wird
dem Rohr 40 über eine Kühlgas-Leitung 42 zugeführt. Das
Kühlgas tritt am Ende des Rohres 40 direkt gegenüber dem
Boden 20 aus einer Entspannungsdüse 44 aus. Bei der
Entspannung kühlt sich das Kühlgas ab. Das Kühlgas kann
beispielsweise Luft, Stickstoff oder Argon sein. Das
entspannte und abgekühlte Kühlgas strömt dann im Gegenstrom
von oben nach unten in Fig. 1 durch den Wärmetauscher 38 dem
zugeführten, unter Druck stehenden Kühlgas, das von unten
nach oben in Fig. 1 fließt, entgegen. Dadurch wird das unter
Druck stehende Kühlgas vorgekühlt. Nach der Entspannung des
vorgekühlten Kühlgases nimmt dieses eine nochmals
erniedrigte Temperatur an. Das setzt sich fort, wobei sehr
niedrige Temperaturen erzeugt und z. B. Luft verflüssigt
werden kann. Dabei wird auch der Boden 20 mit dem Sensor 18
und der Kaltblende 22 entsprechend abgekühlt.
An dem Montageflansch 30 am "warmen Ende" der
Sensoranordnung sitzt eine Leiterplatte 46 mit
Elektronikbauteilen 48 und 50, die im Betrieb
Dissipationswärme entwickeln. Die Leiterplatte ist durch
eine an dem Montageflansch 30 angebrachte Kappe 52
abgedeckt. Die Wärme von den Elektronikbauteilen 48 und 50
kann, wie oben beschrieben, schlecht abgeleitet werden.
Dadurch können die ebenfalls geschilderten nachteiligen
Wirkungen eintreten.
Aus diesem Grunde sind die Elektronikbauteile 48 und 50 auf
Wärmetauschern 54 bzw. 56 angeordnet. Die Wärmetauscher 54
und 56 sind von "verbrauchtem" Kühlgas durchströmt, das aus
dem Joule-Thomson-Kühler 36 am warmen Ende austritt und
nach dem Stand der Technik in die Atmosphäre austreten
würde. Dieses verbrauchte Kühlgas wird hier in einer Kammer
58 aufgefangen und über Leitungen 60 und 62 in die
Wärmetauscher 54 bzw. 56 geleitet.
Die Wärmetauscher 54 und 56 sind nach Art von Fig. 2
aufgebaut.
Jeder Wärmetauscher 54 oder 56 besteht aus einer Mehrzahl
von dünnen Siliziumplatten 64, 66, 68, 70, 72 und 74. In
die Oberflächen der Siliziumplatten 64, 66, 68, 70, 72 und
74 sind jeweils eine Vielzahl von parallelen Kanälen 76
eingearbeitet. Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, sind die
Siliziumplatten so aufeinandergelegt und miteinander
verbunden, daß die Nuten 76 in jeder der Siliziumplatten
64, 66, 68, 70, 72 und 74 gekreuzt zu den Nuten in den
jeweils benachbarten Siliziumplatten verlaufen. Die Nuten
76 in den Siliziumplatten 64, 68 und 72 verlaufen von links
nach rechts in Fig. 2. Die Nuten in den dazwischen liegenden
Siliziumplatten 66, 70 und 74 verlaufen von vorn nach
hinten. Wenn die Siliziumplatten 64, 66, 68, 70, 72 und 74
miteinander verbunden sind, entsteht ein System von
zueinander gekreuzten Kanälen zur Erzeugung eines
Kreuzstroms. Die Platten 64 . . . 74 können auch so angeordnet
werden, daß sie einen Gegenstromwärmetauscher bilden.
Das Kühlgas verläßt den Wärmetauscher des Joule-Thomson-
Kühlers mit einer Temperatur, die geringfügig, um 8 bis
10°C niedriger ist als die Umgebungstemperatur. Von den
thermischen Eigenschaften her, sind die üblichen Kühlgase
Luft, Stickstoff oder Argon nicht sehr gut als Kühlmittel
für einen Wärmetauscher geeignet. Sie besitzen nur geringe
Dichte, eine begrenzte Wärmekapazität und eine schlechte
Wärmeleitfähigkeit. Diese schlechten Eigenschaften werden
durch die geschickte Auslegung des Wärmetauschers 54 bzw.
56 weitgehend kompensiert.
Zu diesem Zweck muß der Wärmetauscher 54 oder 56 kleine und
kompakte Abmessungen, angepaßt an den jeweils zu kühlenden
Elektronikbauteil 48 bzw. 50 besitzen. Im Verhältnis zum
Wärmetauscher-Volumen muß die Wärmetauscher-Fläche sehr
groß sein. Das Material des Wärmetauschers 54 oder 56 muß
eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit besitzen. Dadurch tritt
nur eine geringe Temperaturdifferenz zwischen dem
Elektronikbauteil 48 oder 50 und dem Wärmetauscher 54 bzw.
56 auf. Der Druckverlust des Kühlgases beim Durchströmen
des Wärmetauschers 54 oder 56 muß gering sein. Zwischen der
Oberfläche des Wärmetauschers 54 oder 56 und dem Kühlgas
liegt ein geringer Wärmeübergangs-Koeffizient vor. Durch
die große Oberfläche der durchströmten Kanäle ergibt sich
eine gute Wärmeübertragung.
Die Abmessungen der Grundflächen der Wärmetauscher 54 und
56 entsprechen ungefähr denen der zu kühlenden
Elektronikbauteile 48 bzw. 50. Bei dem in Fig. 2
dargestellten Ausführungsbeispiel haben die Wärmetauscher
54 und 56 eine Grundfläche von 12 mm × 25 mm und eine
Gesamtdicke von 2 mm. Die einzelnen Siliziumplatten 64, 66, 68, 70, 72 und 74
haben eine Dicke von jeweils 0,1 mm. Die
Nuten 76 bzw. Kanäle besitzen einen Querschnitt von 0,07 mm
× 0,1 mm.
Die Herstellung der Kanäle erfolgt durch bekannte Verfahren
der Mikrosystemtechnik (MST). Das kann durch das LIGA-
Verfahren geschehen oder durch anisotropes Ätzen der
Siliziumplatten. Silizium hat gute Leitfähigkeit. Die
einzelnen Siliziumplatten 64, 66, 68, 70, 72 und 74 können
durch Verschweißen oder Kleben miteinander verbunden
werden.
Es sind etwa sechzehn Lagen von Siliziumplatten vorgesehen.
In jeder Siliziumplatte sind etwa einhundert Nuten 76 bzw.
Kanäle gebildet. Jede Nut 76 bzw. jeder Kanal ist 25 mm
lang. Die Rippen zwischen den Nuten 76 haben eine Breite
von 0,025 mm. Die Gesamtlänge aller Kanäle wird vierzig
Meter. Die Wärmetauscher-Fläche ist insgesamt 14 000 mm².
Das Wärmetauscher-Volumen ist 800 mm³. Das Verhältnis von
Wärmetauscher-Fläche zu Wärmetauscher-Volumen wird damit
17,5 mm-1. Durch wahlweise Parallel- oder Serienschaltung
der Kanäle kann der hydraulische Durchmesser des
Wärmetauschers an die Verhältnisse optimal angepaßt werden.
Das Kühlgas ist hochrein, da es schon für den
vorgeschalteten Kühlprozeß hochrein eingespeist wird.
Dadurch können die Kanäle sehr eng gemacht werden, ohne daß
ein Verstopfen der Kanäle zu befürchten ist. Bei höherer
Temperatur ist eine höhere Kühlleistung an den
Wärmetauschern 54 und 56 erforderlich. Bei höherer
Temperatur ist aber auch der Kühlgasstrom höher, der von
dem Joule-Thomson-Kühler verlangt wird. Für einen Joule-
Thomson-Kühler mit einer Kühlleistung von etwa 400 mW mit
Luft von 300 bis 100 bar als Kühlgas bei einer
Umgebungstemperatur von 70°C ist der für den Joule-Thomson-
Kühler erforderliche Gasstrom so groß, daß damit ein
Wärmestrom von etwa 350 bis 650 mW von den gefährdeten
Elektronikbauteilen abgeleitet werden kann. Dabei liegt die
Temperatur der Elektronikbauteile dann maximal 20°C über
der Umgebungstemperatur.
Mit den beschriebenen Wärmetauschern lassen sich relativ
große Wärmeübergangszahlen von α = 1.0 kW/m²K bei
vergleichsweise geringen Druckverlusten von 100 bis 250
mbar erreichen.
Claims (9)
1. Sensoranordnung mit einem durch einen Joule-Thomson
Kühler (36) gekühlten Sensor (18) und
Elektronikbauteilen (48, 50), dadurch gekennzeichnet,
daß mit den Elektronikbauteilen (48, 50)
Wärmetauschermittel (54, 56) in wärmeleitendem Kontakt
sind, die von dem aus dem Joule-Thomson-Kühler (36)
austretenden expandierten Kühlgas durchflossen sind.
2. Sensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß
- (a) der Joule-Thomson-Kühler (36) in einem topfförmigen Dewar-Gefäß (10) so angeordnet ist, daß der "Boden" (20) des Dewar-Gefäßes (10) durch expandierendes Kühlgas gekühlt wird, wobei das expandierte Kühlgas im Gegenstrom durch einen Wärmetauscher (38) zum Vorkühlen des unter Druck zugeführten Kühlgases zum offenen Ende des Dewar-Gefäßes (10) fließt,
- (b) der zu kühlende Sensor (18) am "Boden" (20) der topfförmigen Dewar-Gefäßes (10) angeordnet ist,
- (c) am offenen Ende des Dewar-Gefäßes (10) ein Fuß gebildet ist, an dem die Elektronikbauteile (48, 50) sitzen, und
- (d) das zurückströmende, expandierte Kühlgas gesammelt und durch die Wärmetauschermittel (54, 56) geleitet wird.
3. Sensoranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Wärmetauschermittel
miniaturisierte Wärmetauscher (54, 56) aus gut
wärmeleitendem Material aufweisen, die durch
Mikrosystemtechnik hergestellte feine Kühlkanäle (76)
aufweisen.
4. Sensoranordnung nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Wärmetauscher (54, 56) aus
Silizium bestehen.
5. Sensoranordnung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Wärmetauscher (54, 56) mit den
Kanälen (76) versehene Blöcke sind, deren Abmessungen
jeweils ungefähr denen eines zugehörigen zu kühlenden
Elektronikbauteils (48, 50) entsprechen.
6. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmetauscher jeweils
von aufeinandergesetzten Platten (64, 66, 68, 70, 72, 74)
mit parallelen Nuten (76) gebildet sind.
7. Sensoranordnung nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Platten (64, 66, 68, 70, 72, 74) so
aufeinandergesetzt sind, daß die Nuten (76)
benachbarter Platten gekreuzt zueinander verlaufen.
8. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmetauscher (54, 56)
zwischen einem Elektronikbauteil (48, 50) und einer
Grundplatte (46) angeordnet sind, auf welcher der
Elektronikbauteil (48, 50) montiert ist.
9. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmetauscher auf einem
Elektronikbauteil angeordnet sind.
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