DE19511687A1 - Durchflußmengenaufnehmer - Google Patents
DurchflußmengenaufnehmerInfo
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Description
Meßanordnungen zum Bestimmen der Menge eines strömenden
Mediums sind in einer Reihe von Publikationen zu finden.
Basis der beschriebenen Lösungen stellt das elektrocalorische
Wirkprinzip dar. Ein Hauptaugenmerk gilt dabei der Ermittlung
der Luftmenge im Ansaugkanal von Brennkraftmaschinen. Der
artige Lösungen sind unter anderem in den Schriften
DE OS 33 03 885, DE OS 34 44 347, DE OS 36 17 770,
DE OS 36 28 017, DE OS 39 31 308, EP 0235 360 und
US 44 09 828 aufgeführt.
Die Meßaufnehmer bestehen dabei aus einem Heizwiderstand
und einem Meßwiderstand, der in Fließrichtung hinter dem
Heizwiderstand angeordnet ist. Die Durchflußmenge wird auf
der Grundlage von Änderungen der Wärmemenge ermittelt. Durch
den Heizwiderstand erfolgt eine Erwärmung des zu messenden
Fluids. Die Widerstände sind Bestandteile einer Widerstands
brückenschaltung, wobei die Temperaturdifferenz zwischen
dem Heizwiderstand und dem Fluid auf einem konstanten Wert
gehalten wird und die erforderliche Kompensation ein Maß
der Flußmenge ist.
Diese Lösungen werden im Ansaugrohr von Brennkraftmaschinen
installiert und sind für eine Miniaturisierung bei einer
Massenproduktion wenig geeignet. Durch den Einsatz von
Metalldrähten als Widerstände wird dieser Umstand noch
unterstrichen.
In den Schriften DE OS 36 04 202, DE OS 36 23 109,
DE OS 42 41 333 und EP 0147 831 werden einzelne Meßfühler
aufgezeigt, die in den Fluidstrom installiert werden müssen.
Sie unterscheiden sich durch spezielle Konstruktionen und
Anordnungen der Heiz-, Meßwiderstände und Auswerteelektronik
voneinander. Für eine Miniaturisierung sind diese Anordnungen
nicht geeignet.
Ein thermischer Durchflußsensor ist in der DE OS 36 28 017
aufgezeigt. Grundlage bildet ein Siliziumchip auf dem über
einem elektrisch isolierendem Film sowohl der Heiz- als auch
mit einem räumlichen Abstand der Meßwiderstand angeordnet
sind. Das Siliziumchip ist unterhalb parallel zu einem der
beiden Widerstände weggeätzt. Damit befindet sich zwischen
dem Fluid und mindestens einem der Widerstände der elektrisch
isolierende Film, der damit einen der Widerstände trägt.
Hauptaugenmerk gelten dem Substrat, auf dem sowohl der Heiz-
als auch der Meßwiderstand angeordnet sind, wobei zumindest
ein Teil des Substrates, der mindestens einem dieser Wider
stände entspricht sowie zusätzlich angrenzende Teile dieses
Bereiches weggeätzt sind. Dazu wird das Substrat auf einer
Stützplatte befestigt und der so beschriebene Sensor im zu
messenden Fluidstrom plaziert.
Damit muß dieser Sensor innerhalb des Gefäßsystems des Fluids
angeordnet werden.
Der im Patentanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt das Problem
zugrunde, einen leicht zu installierenden Sensor zu schaffen,
der sich weiterhin durch seinen einfachen Aufbau verbunden
mit einer guten Reproduzierbarkeit in der Massenfertigung
auszeichnet.
Dieses Problem wird mit den im Patentanspruch 1 aufgeführten
Merkmalen gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere
darin, daß ein kompletter Sensor mit einfach handzuhabenden
Anschlußmöglichkeiten zur Verfügung steht. Insgesamt ist
dieser leicht durch entsprechende Plastspritzeinrichtungen
herstellbar. Das Substrat kann durch die bekannten Verfahren
der Halbleiterindustrie auch in großen Stückzahlen über die
Anwendung von Wafern produziert werden. Mit dem Einsatz von
herausgeführten elektrischen Kontakten in einem in der
elektronischen Bauelementeindustrie angewandten Anschlußraster
von 2,5 mm ergibt sich eine einfache Montagemöglichkeit mit
den bestehenden Verfahren der Bauelementeträgertechnologie.
Somit ist die Lösung in mit elektronischen Bauelementen
versehenen Baugruppen integrierbar. Damit ergeben sich kom
pakte Baueinheiten, die wiederum Bestandteil weiterer Geräte
bestandteile sein können. Die Realisierung selbst und die
Herstellung von auf spezifische Anwendungsmöglichkeiten
angepaßter Standardbaueinheiten, die innerhalb eines
Baukastensystems einsetzbar sind, sind damit leicht möglich.
Mit der Realisierung eines Bypasses in einer weiteren
Ausführungsform können größere Flußmengen ausgewertet werden.
Weiterhin ist bei dieser Anwendung die Gefahr einer Ver
stopfung durch im Fluid vorhandene Schmutzpartikel geringer.
Der Nachteil einer Verstopfung des Kanals oder des Bypasses
wird mit der Realisierung einer durchgehenden Nut mit den
Abmessungen der Grundfläche des Grabens sowohl in der Grund
platte als auch in den Rohrwandungen der rohrförmigen Stutzen
und Wegfall der Wand zwischen den Stutzen behoben. Damit
können hochviskose Medien oder Medien mit Partikeln mengen
mäßig ausgewertet werden. Durch den Einsatz mehrerer Meß
widerstände vor und nach dem Heizwiderstand ist eine bessere
Empfindlichkeit unabhängig der Fließrichtung des Fluids er
reichbar. Der Durchflußmengenaufnehmer eignet sich besonders
für eine Miniaturisierung.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patent
ansprüchen 2 bis 4 angegeben.
Die Weiterbildung nach Patentanspruch 2 ermöglicht eine ein
fache Montagemöglichkeit des Substrates, eine einfache
Kontaktiermöglichkeit der Widerstände zu den herausgeführten
elektrischen Kontakten und durch vollständige Kapselung der
elektrischen Bauteile eine einfache und unkomplizierte Hand
habung des Durchflußmengenaufnehmers. Weiterhin wird durch
diese Anordnung der Widerstände erreicht, daß der elektrische
Widerstandswert unabhängig von sich einstellenden mechanischen
Spannungen bei der Montage des Substrates auf die Grundplatte
bleibt.
Eine einfache Realisierungsvariante für das Befestigen auf
der Grundplatte zeigt die Weiterbildung nach Patentanspruch
3.
Die auf der Grundplatte angeordneten Anschlagelemente nach
der Weiterbildung nach Patentanspruch 4 führen zu einer
paßgenauen und einfachen Montage des Substrates auf der
Grundplatte.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen
dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Schnittdarstellung des Durchflußmengenaufnehmers,
Fig. 2 eine Schnittdarstellung einer weiteren Variante des
Durchflußmengenaufnehmers mit einem Bypass,
Fig. 3 eine Schnittdarstellung einer dritten Variante des
Durchflußmengenaufnehmers mit einer Nut sowohl in
der Grundplatte als auch in den Rohrwandungen der
Stutzen und
Fig. 4 Anordnung eines Widerstandes.
An Hand der Fig. 1, die den Durchflußmengenaufnehmer im
Schnitt darstellt, wird das erste Ausführungsbeispiel näher
erläutert. Grundlage bildet das elektrokalorische Wirkprinzip.
Über Heizwiderstände wird das Fluid erwärmt und die Reaktion
des Fluids über Meßwiderstände erfaßt. Dazu werden auf einem
Substrat 3, welches aus Silizium besteht, sowohl die Heiz
widerstände als auch in Fließrichtung vor und nach diesen
mehrere Meßwiderstände räumlich voneinander getrennt und prallel
zueinander plaziert. Damit besteht eine elektrische Isolation
zwischen den einzelnen Widerständen. Dabei handelt es sich
um implantierte einkristalline Siliziumwiderstände, die
entsprechend der Fig. 4 so angeordnet sind, daß das elek
trische Feld im Widerstand in einem Winkel von 45° zu der
Kristallrichtung <110< steht. Durch das Aufbringen mehrerer
Widerstände als Meßwiderstände wird eine höhere Empfindlichkeit
erreicht. Mit der Anordnung der Meßwiderstände in einer mög
lichen Fließrichtung hinter und vor den Heizwiderständen
ist eine Strömungsumkehr erfaßbar. Weiterhin befinden sich
auf dem Substrat 3 Kontaktstellen, die mit den einzelnen
Anschlüssen der Widerstände elektrisch leitend verbunden
sind. Diese Kontaktstellen stellen gleichzeitig Bondstellen
dar, so daß eine leichte elektrische Kontaktierung zwischen
den Bondstellen und elektrischen Drahtkontakten 5 gegeben
ist. Diese elektrischen Drahtkontakte 5 sind so um das Sub
strat 3 plaziert und aus dem Gehäuse 4 herausgeführt, daß
ein Raster von 2,5 mm eingehalten wird. Damit ist der Durch
flußmengenaufnehmer durch Montagetechnologien für elek
tronische Bauelemente auf entsprechende Bauelementeträger
leicht montierbar und mit diesem kontaktierbar. Auf dem
Bauelementeträger ist die Auswerteelektronik angeordnet und
damit entsteht eine abgeschlossene Funktionseinheit, die
analog eines Baukastensystems aufbaubar und anwendbar ist.
Das Substrat 3 weist auf der mit den Widerständen bestückten
gegenüberliegenden Seite einen geätzten Graben auf. Dieser
Graben ist kürzer als das Substrat 3, berührt die Substrat
kanten nicht und befindet sich in Fließrichtung unterhalb
der Widerstände. Das Substrat 3 ist mit einer Grundplatte
2 so verklebt, daß der Graben und die Oberfläche der Grund
platte 2 einen vollständig gasdichten Hohlraum bilden. Die
Positionierung des Substrates 3 auf der Grundplatte 2 wird
durch sechs Anschlagelemente 8 unterstützt. Die Grundplatte
2 ist auf der anderen Seite mit rohrförmigen Stutzen, die
als Einlaß- 1 und Auslaßstutzen 7 fungieren, fest verbunden.
Mittig unterhalb der Heizwiderstände befindet sich eine Rohr
wand 6, so daß eine räumliche Trennung des Einlaß- 1 und
Auslaßstutzens 7 vorhanden ist. In den Rohrwandungen der
Stutzen und der Grundplatte 2 sind zu den Enden des Grabens
je eine durchgehende Öffnung vorhanden. Damit entsteht ein
durchgehender Hohlraum vom Einlaßstutzen 1 über die durch
gehende Öffnung in dessen Rohrwand und der Grundplatte 2
zum Graben des Substrates 3 und von dort über die durchgehende
Öffnung der Grundplatte 2 und der Rohrwand des Auslaßstutzens
7 zu diesem selbst hin.
Ein zweites Ausführungsbeispiel wird an Hand der Fig. 2,
die den Durchflußmengenmesser mit einem Bypass zeigt, näher
erläutert.
Der Aufbau dieses Ausführungsbeispieles ist bis auf einen
Unterschied analog dem ersten. Der Unterschied besteht in
einer Öffnung oder mehreren Öffnungen, die als Bypass fun
gieren, in der Rohrwand 6 zwischen dem Einlaß- 1 und Aus
laßstutzen 7. Diese ist dem zu messenden Durchflußmengen
anpaßbar und es ergibt sich ein universeller Einsatz. Die
Erfassung der Durchflußmenge erfolgt über den Kanal, der
durch die durchgehenden Öffnungen in den Rohrwänden der Ein
laß 1 und Auslaßstutzen 7, der Grundplatte 2 und dem Graben
im Substrat 3 gebildet wird. Dadurch ist es möglich, wesent
lich größere Durchflußmengen als im ersten Ausführungsbeispiel
zu erfassen.
Weitere Ausführungsbeispiele ergeben sich durch das Einbringen
von Nuten in die Grundplatte 2 oder in die Grundplatte 2
und die Rohrwandungen der Einlaß- 1 und Auslaßstutzen 7.
Diese Nuten entsprechen den Abmessungen der Grundfläche des
Grabens im Substrat 3.
Im Falle einer Nut in der Grundplatte 2 entsteht analog zum
zweiten Ausführungsbeispiel ein Kanal, der sich dadurch
auszeichnet, daß der Querschnitt durch die Tiefe des Grabens
des Substrates 3 und der Dicke der Grundplatte 2 bestimmt
wird. Natürlich müssen bei dieser Lösung die Öffnungen in
den rohrförmigen Einlaß- 1 und Auslaßstutzen zu der Nut hin
vorhanden sein.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel entsprechend der
Schnittdarstellung der Fig. 3 ist die Nut sowohl in der
Grundplatte 2 als auch in den Rohrwänden des Einlaß- 1 und
Auslaßstutzens 7 mit mindestens den Abmessungen der Grund
fläche des Grabens im Substrat 3 realisiert. Dabei kommt
das Fluid direkt mit dem Substrat 3 in Kontakt. Entfällt
zusätzlich bei diesem Ausführungsbeispiel die Rohrwand 6,
kann der Durchfluß auch stark verschmutzter Fluide mit dieser
Anordnung ausgewertet werden. Die Nutwandungen sind dabei
vom Graben im Substrat 3 zu den Einlaß- 1 und Auslaßstutzen
7 hin abgeschrägt.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird das komplette
Substrat 3 direkt in dem Fluidstrom plaziert, wodurch ein
umfassender Kontakt des Substrates 3 mit dem Fluid gegeben
ist.
Die Ausführungsbeispiele unterstreichen die universellen
Anwendungsmöglichkeiten des beschriebenen Durchflußmengen
aufnehmers sowohl in der Makro- als auch Mikrotechnik.
Claims (4)
1. Durchflußmengenaufnehmer nach dem elektrokalorischem
Prinzip, gekennzeichnet dadurch, daß auf einem Substrat (3)
Heizwiderstände und in Fließrichtung jeweils vor und nach
diesen mindestens zwei Meßwiderstände, wobei die Anschlüsse
der Heizwiderstände und der Meßwiderstände elektrisch mit
Kontaktstellen verbunden sind, räumlich voneinander getrennt
und parallel zueinander angeordnet sind, daß sich auf der
gegenüberliegenden Oberfläche in Fließrichtung ein Graben
unterhalb der Heizwiderstände und der Meßwiderstände befindet,
daß dieser Graben kürzer als das Substrat (3) ist und die
Substratkanten nicht berührt, daß das Substrat (3) mit dem
Graben so auf einer Grundplatte (2) mit daran befestigten
rohrförmigen Einlaß- (1) und Auslaßstutzen (7) plaziert ist,
daß entweder durch zwei durchgehende Öffnungen in der Grund
platte (2) und der Wandungen der rohrförmigen Einlaß- (1)
und Auslaßstutzen (7) zu den Enden des Grabens des Substrates
(3) hin, oder durch eine Nut in der Grundplatte (2) mit
Öffnungen in den Wandungen der rohrförmigen Einlaß- (1) und
Auslaßstutzen (7) zu der Nut hin oder durch eine Nut in der
Grundplatte (2) und den Wandungen der rohrförmigen Einlaß-
(1) und Auslaßstutzen (7) mit der Länge des Grabens und zu
diesem positioniert, wobei die rohrförmigen Einlaß- (1) und
Auslaßstutzen (7) miteinander verbunden und entweder durch
eine Rohrwand (6) voneinander getrennt sind oder daß diese
Rohrwand (6) mindestens eine Öffnung in Längsrichtung zum
Substrat (3) aufweist, ein durchgehender Hohlraum vom
rohrförmigen Einlaßstutzen (1) über entweder dessen Öffnung,
den Graben im Substrat (3), der Öffnung des rohrförmigen
Auslaßstutzens (7) oder der Nut in der Grundplatte (2) mit
den Öffnungen in den Wandungen der rohrförmigen Einlaß- (1)
und Auslaßstutzen (7) oder der Nut in der Grundplatte (2)
und den Wandungen der rohrförmigen Einlaß- (1) und Auslaß
stutzen (7) zum rohrförmigen Auslaßstutzen (7) vorhanden
ist.
2. Durchflußmengenaufnehmer nach Patentanspruch 1, gekenn
zeichnet dadurch, daß sich das Substrat (3) in einem
abgeschlossenem Gehäuse (4) befindet und aus Silizium
besteht, daß die Heiz- und Meßwiderstände implantierte
Siliziumwiderstände, die so angeordnet sind, daß das
elektrische Feld im Widerstand mit einem Winkel von 45° zu
der Kristallrichtung <110< des Siliziums steht, darstellen
und daß die Kontaktstellen als Bondstellen, wobei diese mit
aus dem Gehäuse (4) herausgeführten elektrischen Draht
kontakten (5) verbunden sind, ausgeführt sind.
3. Durchflußmengenaufnehmer nach den Patentansprüchen 1 und
2, gekennzeichnet dadurch, daß das Substrat (3) bis auf die
Grabenfläche flächig auf der Grundplatte (2) verklebt ist.
4. Durchflußmengenaufnehmer nach den Patentansprüchen 1 bis
3, gekennzeichnet dadurch, daß sich auf der Grundplatte (2)
mindestens ein Anschlagelement (8) für das Substrat (3) be
findet.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995111687 DE19511687A1 (de) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | Durchflußmengenaufnehmer |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995111687 DE19511687A1 (de) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | Durchflußmengenaufnehmer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19511687A1 true DE19511687A1 (de) | 1996-10-02 |
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ID=7758164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE1995111687 Withdrawn DE19511687A1 (de) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | Durchflußmengenaufnehmer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19511687A1 (de) |
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- 1995-03-30 DE DE1995111687 patent/DE19511687A1/de not_active Withdrawn
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Legal Events
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8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |