DE19510857A1

DE19510857A1 - Glove box for clean-room operations, e.g. semiconductor mfr.

Info

Publication number: DE19510857A1
Application number: DE1995110857
Authority: DE
Inventors: Willi Dipl Ing Ebert; Peter Dipl Chem Wolfram
Original assignee: Fraunhofer Institut fuer Nachrichtentechnik Heinrich Hertz Institute HHI
Current assignee: Fraunhofer Institut fuer Nachrichtentechnik Heinrich Hertz Institute HHI
Priority date: 1995-03-17
Filing date: 1995-03-17
Publication date: 1996-09-19

Abstract

An arrangement for carrying manipulation of an object under clean room conditions in an enclosure (4) accessible through built-in gloves (3) and connected to an inert gas circulation system (9, 10, 12, 13) has a section of flexible hose (16) attached to the suction connection (17) for the inert gas. The free end (20) of the hose is open and nozzle-shaped with a reduced opening, and a filter (18) can be inserted between the hose and the suction connection.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Durchführung von Manipulationen an einem Objekt unter Reinraumbedingungen in einem abgeschlossenen, mit Handschuhen druckdicht verbundenen Behälter, der an ein Inertgas-Kreislaufsystem anschließbar und dazu mit einem Saugstutzen und einem Inertgasauslaß versehen ist. In die Handschuhe kann von außerhalb des Behälters hineingegriffen werden, das aktivierbare Kreislaufsystem dient der Reinhaltung des Behälterinnenraums, indem das Inertgas über den Saugstutzen aus dem Behälter abgesaugt und gereinigt über den Inertgasauslaß wieder in den Behälter nachströmt.The invention relates to a device for performing Manipulations on an object under clean room conditions in one sealed container, connected pressure-tight with gloves, to the an inert gas circulation system can be connected and with a suction nozzle and is provided with an inert gas outlet. In the gloves can be from outside the Be reached into the container, the circulatory system can be activated Keep the interior of the container clean by passing the inert gas over the Suction nozzle sucked out of the container and cleaned over the Inert gas outlet flows back into the container.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der Betriebsanleitung "MBraun Inert Gas System" der Firma MBraun, Garching, Deutschland, Ausgabe 01/1989 bekannt. Bei dieser auch als Handschuhkasten oder Glovebox bezeichneten Vorrichtung wird die Inertgasatmosphäre im Behälterinnenraum von gasförmig vorliegenden Verunreinigungen, insbesondere von Spuren von Wasser und Sauerstoff, reingehalten. Dazu wird das Inertgas ohne eine Stömungslenkung aus dem Behälterinneren über eine einfache Öffnung abgesaugt, wobei es die gasförmigen Verunreinigungen mit sich zieht, und über eine Filtertrommel mit einem Molekularsieb und einem Kupferkatalysator geleitet. Dort werden die gasförmigen Verunreinigungen abgeschieden. Das gereinigte Inertgas wird dann wieder dem Behälter zugeführt. Die Filtertrommel wird automatisch in bestimmten Abständen regeneriert, indem ein Regenerationsgas über die Filter geleitet wird, das die gasförmigen Verunreinigungen an sich bindet. Dafür wird die gesamte Anlage für einen längeren Zeitraum stillgelegt.Such a device is from the operating instructions "MBraun Inert Gas System "from MBraun, Garching, Germany, edition 01/1989. In this device, also known as a glove box or glovebox the inert gas atmosphere in the container interior becomes gaseous Impurities, especially traces of water and oxygen, kept clean. For this purpose, the inert gas is released from the Aspirated container interior through a simple opening, it being the gaseous impurities, and with a filter drum a molecular sieve and a copper catalyst. There are the gaseous impurities separated. The cleaned inert gas is then fed back to the container. The filter drum is automatically in regenerated at certain intervals by adding a regeneration gas over the filter is passed, which binds the gaseous impurities. For that the entire facility was shut down for a long period of time.

Die der Erfindung zugrundeliegende Problematik ist darin zu sehen, auch alle anderen im Behälterinneren auftretenden Verunreinigungen, insbesondere alle Arten von Materialpartikeln und Stäuben, sicher und einfach aus dem Behälterinneren entfernen zu können. Dabei soll aber die nur für gasförmige Verunreinigungen regenerierbare Filtertrommel nicht belastet werden.The problem underlying the invention is to be seen therein, including all of them other contaminants occurring inside the container, especially all Types of material particles and dusts, safe and easy from the To be able to remove the inside of the container. But it should only be for gaseous ones Contaminable regenerable filter drums are not loaded.

Diese Problematik wird von der Erfindung dadurch gelöst, daß ein an den Saugstutzen anschließbarer, flexibler Schlauchabschnitt vorgesehen ist, der an seinem vom Saugstutzen abgewandten Ende offen und düsenartig verengt ausgebildet ist und daß ein zwischen Saugstutzen und Schlauchabschnitt einfügbarer Filter vorgesehen ist.This problem is solved by the invention in that a to Suction nozzle connectable, flexible hose section is provided, which its end facing away from the suction port is open and narrowed like a nozzle is formed and that between the suction nozzle and hose section insertable filter is provided.

Die Erfindung sieht mit einfachen Mitteln im Behälterinnenraum eine zusätzliche Staubabsaugvorrichtung vor. Diese nutzt den Abgasstrom des Inertgases. Durch die düsenartige Querschnittsverengung wird am freien Schlauchende die Absauggeschwindigkeit und damit die Absaugkraft derart erhöht, daß auch alle auftretenden schwereren Verunreinigungen, insbesondere Staub und Materialpartikel, sicher aus dem Behälterinneren entfernt werden können. Der flexible Schlauch ermöglicht den Zugang zu jeder Stelle in der Glovebox und lenkt die Saugströmung. Er kann über die Handschuhe einfach geführt werden. Die abgesaugten Partikel werden, noch bevor sie das Behälterinnere verlassen, in einem Filter aufgefangen. So bleibt das Inertgas-Kreislaufsystem außerhalb der Glovebox völlig unbelastet von den groben Verunreinigungen. Ein Zusetzen der empfindlichen Filtertrommel und damit ein kompletter Filtertausch, der neben den Regenerationsphasen noch zusätzliche Betriebsausfallzeiten bedeuten würde, entfällt. Statt dessen kann der im Behälterinneren vorhandene Filter über die Handschuhe einfach ausgetauscht werden.With simple means, the invention sees an additional inside the container Dust extraction device in front. This uses the exhaust gas flow from the inert gas. By the nozzle-like cross-sectional constriction becomes the free end of the hose Suction speed and thus the suction force increased so that all occurring heavier impurities, especially dust and Material particles that can be safely removed from the inside of the container. Of the flexible hose allows access to anywhere in the glovebox and directs the suction flow. It can be easily guided over the gloves. The extracted particles are, before they leave the interior of the container, caught in a filter. This keeps the inert gas cycle system outside the glovebox is completely free from coarse dirt. A clogging the sensitive filter drum and thus a complete filter replacement that in addition to the regeneration phases, additional downtimes would mean dropped. Instead, the one inside the container can be used Filters over the gloves can be easily replaced.

Die Wirkung der erfindungsgemäßen Vorrichtung bezüglich der Staubabsaugung kann noch erhöht werden, wenn an das offene Ende des Schlauchabschnittes zusätzliche Arbeitsmittel, insbesondere verschiedene Düsen, anschließbar sind. Je nach Anwendungsfall können Düsen mit unterschiedlichem Austrittsquerschnitt aufgesetzt werden. Eine Anpassung an die Größe der zu entfernenden Schmutzpartikel ist so möglich. Auch andere Vorsätze, beispielsweise feine Bürsten oder Pinsel, sind einsetzbar. Vorzugsweise besteht der Schlauchabschnitt aus einem Teflonmaterial, so daß sich keine Verunreinigungen am Schlauchabschnitt, insbesondere an dessen Innenseite ablagern können. The effect of the device according to the invention with respect to Dust extraction can be increased even further if at the open end of the Hose section additional tools, especially various Nozzles, can be connected. Depending on the application, nozzles can be used different outlet cross-section. An adjustment to the size of the dirt particles to be removed is possible. Others too Attachments, such as fine brushes or brushes, can be used. The hose section preferably consists of a Teflon material, so that there is no contamination on the hose section, in particular on the hose section Can deposit inside.

Die durch die zusätzliche Reinigung des Behälterinnenraums anfallenden Schmutzpartikel können einfach entfernt werden über den zwischen dem Saugstutzen und dem Schlauchabschnitt anordenbaren Filter. Handelt es sich hierbei vorteilhaft um eine einfache Filterscheibe aus Reinraum-Filterpapier, ist die Entsorgung des verbrauchten Filters problemlos und der Filterwechsel einfach und kostengünstig. Bei Verwendung einer Filterscheibe ist es besonders günstig, wenn diese auf einen Gittereinsatz auflegbar ist. Der Gittereinsatz unterstützt die weiche Filterscheibe und verhindert ein mögliches Zerreißen durch zu starke Krümmungen oder Einsaugen in den Saugstutzen.The additional cleaning of the container interior Dirt particles can easily be removed via the between the Suction nozzle and filter can be arranged on the hose section. Is it is advantageous here around a simple filter disk made of clean room filter paper the disposal of the used filter without problems and the filter change simple and inexpensive. It is special when using a filter disc cheap if it can be placed on a grid insert. The grid insert supports the soft filter disc and prevents possible tearing due to excessive curvatures or suction in the suction nozzle.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist der Schlauchabschnitt durch Aufschieben auf eine Hülle des Saugstutzens an diesen anschließbar. Besonders die weiche Filterscheibe kann dabei einfach über den Saugstutzen gelegt werden, so daß sie durch das Aufschieben sicher festgehalten und gegen das Behälterinnere abgeschlossen wird. Zusätzliche Anschlußteile oder Zwischenteile für die Filterbefestigung und -ummantelung sind dann nicht erforderlich. Bevorzugt kann der Saugstutzen aber auch mit einem Kleinflansch versehen sein, mit dem ein Klemmflansch für den Anschluß des Schlauchabschnitts verbindbar ist. Eine einfache, aber sichere Verbindung, die gut lösbar ist, ist so realisiert. Die Filterscheibe und der Gittereinsatz können dabei zwischen Kleinflansch und Klemmflansch sicher fixiert werden.According to a further embodiment of the invention, the hose section can be connected to this by sliding onto a sleeve of the suction nozzle. In particular, the soft filter disc can be easily placed over the suction nozzle be placed so that they are held securely by sliding and against the interior of the container is closed. Additional connecting parts or Intermediate parts for filter attachment and sheathing are then not required. However, the suction nozzle can preferably also have a small flange be provided with a clamping flange for connecting the Hose section is connectable. A simple but secure connection that is easy to solve, is realized in this way. The filter disc and the grid insert can be securely fixed between the small flange and the clamping flange.

Das Kreislaufsystem zur Reinigung der Glovebox ist sicher dann aktiviert, wenn in der Glovebox gearbeitet wird. Wenn das Kreislaufsystem unabhängig vom Betriebszustand der Glovebox ständig aktivierbar ist, sind die Reinigungsmaßnahmen mit der Staubabsaugdüse ohne vorangehende Maßnahmen stets durchführbar. Dadurch wird der Bedienkomfort erhöht. Außerdem wird durch die ständige Absaugung erreicht, daß die vor der Filterscheibe angesammelten Schmutzpartikel auch dort haften bleiben und nicht gegebenenfalls in das Behälterinnere zu rückgelangen.The circulatory system for cleaning the glovebox is certainly activated when is worked in the glovebox. If the circulatory system is independent of The operating state of the glovebox can be activated at all times Cleaning measures with the dust extraction nozzle without previous Measures can always be carried out. This increases the ease of use. In addition, the constant suction ensures that the before Filter disc accumulated dirt particles also stick there and not to get back into the container if necessary.

Die genannten Vorteile der Erfindung sind von besonderer Bedeutung, wenn nach einer anderen Ausgestaltung mit dem Behälter ein Arbeitsraum mit einem Beschichtungsreaktor zur Herstellung von Halbleitermaterialien direkt verbindbar ist. In einem solchen Beschichtungsreaktor werden z. B. III/V-Halbleiter mittels Gasphasenepitaxie hergestellt. Dabei werden die auf einem Wafer, der über die Vorkammer der Glovebox mit den Arbeitshandschuhen in den Beschichtungsreaktor eingebracht wird, schichtweise abzulagernden Stoffe in gasförmigem Zustand in den Reaktionsraum geleitet. Während des Wachstumsvorganges lagern sich dann auch Partikel an der Reaktorinnenfläche ab. Außerdem können beim Reaktionsprozeß auch direkt Partikel aus den Gasen ausfallen. Mit dem flexiblen Schlauchabschnitt, der in seiner Länge entsprechend den Dimensionen des Behälterinnenraums und des angeschlossenen Arbeitsraums bemessen sein kann, läßt sich nun in besonders einfacher Weise auch der Beschichtungsreaktor vor einem Beladungsvorgang säubern. Der ganze Reaktionsraum kann ausgesaugt und damit von Schmutzpartikeln aller Art befreit werden. Eine ständige Gaszirkulation ermöglicht die vorbereitenden Reinigungsarbeiten. Das Kreislaufsystem mit dem Reinigungsgas wird durch den flexiblen Schlauchabschnitt auf an die Glovebox angeschlossene Zusatzräume erweitert. Tote Winkel, die eine ungelenkte Gasströmung nicht erreichen würde, sind vermieden.The advantages of the invention mentioned are of particular importance if according to another embodiment with the container a work space with a Coating reactor for the production of semiconductor materials can be connected directly is. In such a coating reactor z. B. III / V semiconductors Gas phase epitaxy established. The are on a wafer that over the Antechamber of the glovebox with the work gloves in the Coating reactor is introduced, substances to be deposited in layers gaseous state passed into the reaction chamber. During the During the growth process, particles are also deposited on the inner surface of the reactor from. In addition, particles can also directly from the reaction process Gases fail. With the flexible hose section that is in length according to the dimensions of the container interior and the connected work space can now be measured in particular the coating reactor also simply before a loading process clean. The entire reaction space can be sucked out and thus by All kinds of dirt particles are freed. Constant gas circulation enables the preparatory cleaning work. The circulatory system with the Cleaning gas is applied to the glovebox through the flexible hose section connected additional rooms expanded. Blind spot that is an unguided Gas flow would not be avoided.

Im folgenden soll anhand von Erläuterungen zu den Figuren das Wesentliche der Erfindung noch veranschaulicht werden. Dabei zeigt die Fig. 1 schematisch die erfindungsgemäße Vorrichtung in einem Ausführungsbeispiel mit einem angeschlossenen Beschichtungsreaktor und die Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für den Anschluß des Schlauchabschnittes an den Saugstutzen.In the following, the essence of the invention will be illustrated with the aid of explanations of the figures. The Fig. 1 schematically 2 shows the inventive device in an embodiment with an attached coating reactor and Figs., An embodiment for the connection of the hose portion of the suction nozzle.

In der Fig. 1 ist eine Glovebox 1 dargestellt, an deren abgeschlossenen Behälter 2 an der Vorderseite zwei Arbeitshandschuhe 3 druckdicht angeschlossen sind. Die Arbeitshandschuhe 3 sind im umgestülpten Zustand dargestellt, sie werden beim Arbeitseinsatz durch den Bediener in die Glovebox 1 hineingestülpt. Die Glovebox 1 weist in ihrem Behälterinneren 4 eine reine Inertgasatmosphäre auf. Bei dem Gas handelt es sich im Beispiel um Stickstoff. Über eine nicht weiter dargestellte Druckregeleinrichtung kann der Druck p_i im Behälterinneren 4 eingestellt werden. Im allgemeinen liegt er weit unter dem Luftdruck. Be- und entladen wird die Glovebox 1 über eine als Schleuse ausgebildete Vorkammer 5. Der offene bzw. geschlossene Zustand der Vorkammer 5 gegenüber der Glovebox 1 ist durch eine gestrichelte Linie angedeutet. Weiterhin ist der Behälter 2 der Glovebox 1 an seiner hinteren Seite mit einem Arbeitsraum 6 verbunden, der einen Beschichtungsreaktor 7 zur Herstellung von Verbindungshalbleiterscheiben 8 aufweist. Die Verschließbarkeit des Arbeitsraumes 6 gegenüber dem Behälter 2 ist wiederum durch eine gestrichelte Linie angedeutet.In Fig. 1 a glove box 1 is shown, at the front two work gloves 3 a pressure-tight at the sealed container 2 are connected. The work gloves 3 are shown in the inverted state, they are put into the glovebox 1 by the operator during work. The glovebox 1 has a pure inert gas atmosphere in its container interior 4 . In the example, the gas is nitrogen. The pressure p _i in the interior of the container 4 can be set by means of a pressure control device (not shown further). Generally it is well below atmospheric pressure. The glove box 1 is loaded and unloaded via a pre-chamber 5 designed as a lock. The open or closed state of the antechamber 5 with respect to the glovebox 1 is indicated by a dashed line. Furthermore, the container 2 of the glovebox 1 is connected on its rear side to a work space 6 which has a coating reactor 7 for the production of compound semiconductor wafers 8 . The closability of the working space 6 with respect to the container 2 is again indicated by a dashed line.

Zur Reinigung des Behälterinneren 4 von vornehmlich Wasser- und Sauerstoffspuren weist die Glovebox 1 ein Kreislaufsystem 9 auf, in dem der Stickstoff umgeführt wird. Der Umlauf wird durch ein Gebläse 10 bewirkt. Die gasförmigen Verunreinigungen werden zusammen mit dem Stickstoff über einen Saugstutzen 11 aus dem Behälterinneren 4 abgesaugt und dann über eine regenerierbare Filtertrommel 12 geleitet, die in ihrem Innern ein Molekularsieb und einen Kupferkatalysator aufweist. Dort werden die gasförmigen Verunreinigungen wieder vom Stickstoff getrennt. Nach einer Abkühlung des gereinigten Inertgases in einer Kühlvorrichtung 13 wird es der Glovebox 1 über einen Inertgasauslaß 14 wieder zugeführt. Das Kreislaufsystem 9 ist an- und abschaltbar. Im Beispiel ist es unabhängig vom Betriebszustand der Glovebox 1 während der Hauptarbeitszeit ständig aktiviert.To clean the interior of the container 4 from primarily traces of water and oxygen, the glovebox 1 has a circulatory system 9 in which the nitrogen is circulated. The circulation is effected by a fan 10 . The gaseous impurities are sucked out of the interior of the container 4 together with the nitrogen via a suction nozzle 11 and then passed through a regenerable filter drum 12 which has a molecular sieve and a copper catalyst in its interior. There the gaseous impurities are separated from the nitrogen again. After the cleaned inert gas has cooled in a cooling device 13 , it is fed back to the glove box 1 via an inert gas outlet 14 . The circulatory system 9 can be switched on and off. In the example, it is constantly activated during main working hours, regardless of the operating state of Glovebox 1 .

Zur Entfernung von Schmutzpartikeln aller Art, wie beispielsweise Ablagerungen oder Stäube bei der Halbleiterherstellung, weist die Glovebox 1 eine zusätzliche Staubabsaugvorrichtung 15 auf. Diese besteht aus einem flexiblen Schlauchabschnitt 16, der an eine Hülle 17 des Saugstutzens 11 durch einfaches Überschieben angeschlossen sein kann. Dadurch wird gleichzeitig ein Filter 18 in Form einer einfachen Filterpapierscheibe 19 sicher positioniert. Da das Filterpapier selbst zu keiner Kontaminierung führen darf, ist dafür spezielles Reinraum-Filterpapier, z. B. Absormat CC 454 G der Firma Clear Clean, Lübeck (DE) zu verwenden. Weitere Angaben über eine mögliche Verbindungsform sind der Fig. 2 zu entnehmen. Der Filter 18 dient der Abscheidung der groben Schmutz- und Staubpartikel und ist einfach auszuwechseln. Der flexible Schlauchabschnitt 16 besteht aus einem Teflonmaterial, das Anlagerungen von Verunreinigungen verhindert. Er ist an seinem vom Saugstutzen 11 abgewandten Ende 20 offen und düsenförmig verengt. Im Beispiel weist er eine Düse 21 auf. Durch die Erhöhung der Absauggeschwindigkeit durch den Düseneffekt können mit der Staubabsaugvorrichtung 15 alle groben Verunreinigungen im Behälterinneren 4 und im Innern des Arbeitsraums 6 sicher entfernt werden. Die ständige Aktivierung des Kreislaufsystems 9 gewährleistet die dauernde Bereitschaft der Staubabsaugvorrichtung 15 und die sichere Staubabscheidung an der Filterscheibe 19. To remove dirt particles of all kinds, such as deposits or dusts in semiconductor production, the glovebox 1 has an additional dust extraction device 15 . This consists of a flexible hose section 16 , which can be connected to a sleeve 17 of the suction nozzle 11 by simply sliding it over. As a result, a filter 18 in the form of a simple filter paper disk 19 is simultaneously securely positioned. Since the filter paper itself must not lead to contamination, special clean room filter paper, e.g. B. Absormat CC 454 G from Clear Clean, Lübeck (DE). Further information on a possible form of connection can be found in FIG. 2. The filter 18 serves to separate the coarse dirt and dust particles and is easy to replace. The flexible hose section 16 is made of a Teflon material that prevents the accumulation of contaminants. It is open at its end 20 facing away from the suction nozzle 11 and narrowed in a nozzle shape. In the example, it has a nozzle 21 . By increasing the suction speed through the nozzle effect, all coarse impurities in the interior of the container 4 and in the interior of the work space 6 can be safely removed with the dust extraction device 15 . The constant activation of the circulatory system 9 ensures the permanent readiness of the dust extraction device 15 and the safe dust separation on the filter disk 19 .

Die Fig. 2 zeigt eine Ausbildung der Verbindung zwischen dem Schlauchabschnitt 16 und dem Saugstutzen 11, bei der dieser mit einem Kleinflansch 22 mit einem Durchmesser von 40 mm (KF 40) versehen ist. Die Strömungsrichtung des Inertgases ist durch einen Pfeil angedeutet. Zwischen dem Kleinflansch 22 und der einen Anschlußseite 23 eines Klemmflansches 24 befindet sich ein Dichtring 25 mit einem Gittereinsatz 26, auf den die Filterscheibe 19 aufgelegt wird. Der Filtereinsatz 26 verhindert das Zerreißen der Filterscheibe 19 durch zu starke Krümmungen oder Einsaugen. Der Kleinflansch 22 und der Klemmflansch 24 sind mittels einer Klemmvorrichtung 27 lösbar miteinander verbunden. Der flexible Schlauchabschnitt 16, im Beispiel wiederum ein Teflonschlauch, wird in eine, der einen Anschlußseite 23 des Klemmflansches 24 gegenüberliegende andere Anschlußseite 28 des Klemmflansches 24 eingeführt und dort mit einer Überwurfmutter 29 festgeklemmt. Fig. 2 shows a configuration of the connection between the hose portion 16 and the suction nozzle 11, at which this mm with a small flange 22 having a diameter of 40 (KF 40) is provided. The direction of flow of the inert gas is indicated by an arrow. Between the small flange 22 and the one connecting side 23 of a clamping flange 24 there is a sealing ring 25 with a grid insert 26 , on which the filter disk 19 is placed. The filter insert 26 prevents the filter disk 19 from tearing due to excessive curvatures or suction. The small flange 22 and the clamping flange 24 are detachably connected to one another by means of a clamping device 27 . The flexible hose section 16 , again a Teflon hose in the example, is inserted into another connection side 28 of the clamping flange 24 opposite the one connecting side 23 of the clamping flange 24 and clamped there with a union nut 29 .

BezugszeichenlisteReference list

1. Glovebox
2. Behälter
3. Arbeitshandschuh
4. Behälterinneres
5. Vorkammer
6. Arbeitsraum
7. Beschichtungsreaktor
8. Verbindungshalbleiterscheibe
9. Kreislaufsystem
10. Gebläse
11. Saugstutzen
12. Filtertrommel
13. Kühlvorrichtung
14. Inertgasauslaß
15. Staubabsaugvorrichtung
16. flexibler Schlauchabschnitt
17. Hülle
18. Filter
19. Filterscheibe
20. offenes Ende von 16
21. Düse
22. Kleinflansch
23. eine Anschlußseite von 24
24. Klemmflansch
25. Dichtring
26. Gittereinsatz
27. Klemmvorrichtung
28. andere Anschlußseite von 24
29. Überwurfmutter
p_i Innendruck Inertgasatmosphäre 1. Glovebox
2. Container
3. Work glove
4. Inside the container
5th antechamber
6. Work room
7. Coating reactor
8. compound semiconductor wafer
9. Circulatory system
10. Blower
11. Suction nozzle
12. Filter drum
13. Cooling device
14. Inert gas outlet
15. Dust extraction device
16. flexible hose section
17. Envelope
18. Filter
19. Filter disc
20. open end of 16
21. Nozzle
22. Small flange
23. a connection side of 24
24. Clamping flange
25th sealing ring
26. Grid insert
27. Clamping device
28. other connection side of 24
29. Union nut
p _i Internal pressure of inert gas atmosphere

Claims

1. Device for carrying out manipulations on an object under clean room conditions in a closed container, pressure-tightly connected with gloves, which can be connected to an inert gas circulation system and is provided with a suction nozzle and an inert gas outlet, characterized in that one at the suction nozzle ( 11 ) connectable, flexible hose section ( 16 ) is provided, which is open and constricted in a nozzle-like manner at its end ( 20 ) facing away from the suction nozzle ( 11 ) and that a filter ( 18 ) can be inserted between the suction nozzle ( 11 ) and hose section ( 16 ) .

2. Device according to claim 1, characterized in that at the open end ( 20 ) of the hose section ( 16 ) additional working means, in particular different nozzles ( 21 ), can be connected.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the hose section ( 16 ) consists of a Teflon material.

4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the filter ( 18 ) between the outlet opening ( 11 ) and the hose section ( 16 ) consists of a filter disc ( 19 ) made of clean room filter paper.

5. The device according to claim 4, characterized in that the filter disc ( 19 ) on a grid insert ( 26 ) can be placed.

6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the hose section ( 16 ) can be connected to this by pushing onto a sleeve ( 17 ) of the suction nozzle ( 11 ).

7. The device according to claim 6, characterized in that the suction nozzle ( 11 ) is provided with a small flange ( 22 ) with which a clamping flange ( 24 ) for the connection of the hose section ( 16 ) can be connected.

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the circulatory system ( 9 ) regardless of the operating state of the container ( 2 ) can be activated continuously.

9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that with the container ( 2 ) a work space ( 6 ) with a coating reactor ( 7 ) for the production of semiconductor materials ( 8 ) can be connected directly.