DE19505076A1

DE19505076A1 - Feeder tube vacuum sealing method for maintaining vacuum in e.g. X=ray tube

Info

Publication number: DE19505076A1
Application number: DE19505076A
Authority: DE
Inventors: Werner Dipl Ing Mueller
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1995-02-15
Filing date: 1995-02-15
Publication date: 1996-09-05
Anticipated expiration: 2015-02-16
Also published as: DE19505076C2

Abstract

The method involves predeforming (5) a feeder tube (2) connected to a vacuum container (1) prior to welding or soldering to the container. After using the tube for the purpose of creating a vacuum in the container, it is cold pressed together in the area of the deformation to create a cold weld joint. The deformation stage of the tube is accompanied by a heat treatment which ensures good cold deformation properties in the tube material. The final cold pressing pref. results in a cutting of the tube. The pre-deforming as well as the cold deforming is carried out using ball-shaped stamps. The tube is made of Cu, Ni, Al or alloys of these or alloy steel.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum vakuumdichten Ver schließen eines in ein evakuiertes Volumen mündenden metalli schen Rohres aufweisend den Verfahrensschritt, daß das Rohr durch ein Kaltverformungsverfahren derart verformt wird, daß der Durchlaßquerschnitt des Rohres im Bereich der Verformung gleich Null ist und eine Kaltpreßverschweißung im Bereich der Verformung auftritt.The invention relates to a method for vacuum-tight Ver closing of a metal opening into an evacuated volume rule tube having the process step that the tube is deformed by a cold working process such that the passage cross section of the tube in the area of the deformation is zero and a cold press welding in the area of Deformation occurs.

Ein derartiges Verfahren ist bei Karlheinz Lochner et al., "Verbesserung des Vakuums in Isoliergefäßen aus Glas", Vakuum in der Praxis, 1994, Nr. 3, Seite 182, VCH Verlagsges. GmbH, Weinheim 1994, beschrieben. Wird das Verfahren der eingangs genannten Art verwendet, um den Pumpstutzen eines zu evakuie renden Hohlraumes zu verschließen, so bietet dies gemäß der genannten Druckschrift im Vergleich zu anderen Verfahren, z. B. dem Abschmelzen eines gläsernen Pumpstutzens, den Vor teil, daß der im Zuge des Verschließens in dem Hohlraum auf tretende Druckanstieg vergleichsweise gering, da keine Aus gasungen auftreten.Such a method is described in Karlheinz Lochner et al., "Improving the vacuum in glass insulating vessels", vacuum in practice, 1994, No. 3, page 182, VCH Verlagsges. GmbH, Weinheim 1994. Will the procedure of the beginning mentioned type used to evakuie the pump neck of a closing cavity, this offers according to the compared to other processes, e.g. B. the melting of a glass pump nozzle, the pre part that in the course of the closure in the cavity pressure increase occurring comparatively small, since no off gassings occur.

Versuche bei der Röntgenröhrenherstellung haben dennoch ge zeigt, daß bei Röntgenröhren, deren Pumpstutzen nach einem Verfahren der eingangs genannten Art verschlossen wird, un mittelbar im Anschluß an den Verschlußvorgang ein Druckan stieg auftritt.Attempts in X-ray tube production have nevertheless been successful shows that with X-ray tubes, the pump nozzle after a Procedure of the type mentioned is closed, un indirectly after the closure process a pressure rose occurs.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, bei dem der im Anschluß an das Verschließen eines evakuierten Raumes auftretende Druck anstieg möglichst gering ist. The invention has for its object a method of Specify the type mentioned, in which the following closing an evacuated room increase is as small as possible.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch ein Ver fahren zum vakuumdichten Verschließen eines metallischen Roh res, aufweisend die Verfahrensschritte:According to the invention, this object is achieved by a Ver drive to vacuum-tight sealing of a metallic raw res, showing the process steps:

a) pre-deforming the tube in such a direction that locally there is a passage cross section, which in the Ver is less than that of the undeformed tube, and
b) final deformation of the tube by a cold forming process ren at least substantially in the direction of the preform tion such that the passage cross section is zero and cold press welding occurs.

Versuche haben gezeigt, daß der Druckanstieg im Vergleich zum Stand der Technik geringer ist, wenn das Rohr nach dem erfin dungsgemäßen Verfahren verschlossen wird.Experiments have shown that the pressure increase compared to the State of the art is lower if the pipe after inventing method according to the invention is closed.

Es wird vermutet, daß in das Material des Rohres eindiffun dierte bzw. eingelagerte Gasmoleküle infolge der beim Verfor men des Rohres auftretenden Gefügeveränderungen frei werden. Dies würde bedeuten, daß in einem evakuierten Raum, der durch eine Kaltpreßverschweißung im Bereich des Rohres verschlossen wird, unweigerlich ein Druckanstieg infolge der frei werden den Gasmoleküle auftritt. Dieser Druckanstieg ist im Falle des erfindungsgemäßen Verfahrens geringer, da das Rohr be reits vorverformt ist und somit zum Verschließen des Rohres bzw. evakuierten Raumes eine geringfügige Verformung des Roh res im Zuge der Endverformung ausreicht und eine entsprechend geringe Anzahl von Gasmolekülen frei wird. Die im Zuge der Vorverformung des Rohres frei werdenden Gasmoleküle können sich selbstverständlich nicht im Sinne eines Druckanstieges auswirken.It is believed that the material of the pipe diffuses dated or stored gas molecules as a result of the Verfor changes in the structure of the pipe. This would mean that in an evacuated room through a cold press weld in the area of the pipe is closed will inevitably become an increase in pressure as a result of the the gas molecules occurs. This pressure increase is in the fall of the method according to the invention less, since the tube be is already pre-deformed and thus to close the tube or evacuated room a slight deformation of the raw res in the course of the final deformation is sufficient and one accordingly small number of gas molecules is released. The in the course of Pre-deformation of the tube released gas molecules can of course not in the sense of an increase in pressure impact.

Als weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist eine höhere Standzeit der zum Endverformen des Rohres dienen den Formwerkzeuge zu nennen. Als zusätzlicher Vorteil ist zu nennen, daß dann, wenn das Rohr durch Schweißen oder Löten mit einem ein zu evakuierendes Volumen aufweisenden Gegen stand verbunden wird, der Abstand der verformten bzw. zu ver formenden Stelle des Rohres von der Lötnaht geringer als im Falle herkömmlicher Verfahren sein kann, ohne daß es zu unzu lässigen Beanspruchungen der Schweiß bzw. Lötnaht kommen kann, sofern das Rohr in bereits vorverformtem Zustand mit dem Gegenstand verbunden wird. Bei Röntgenröhren bietet dies den Vorteil, daß das die Röntgenröhre üblicherweise umgebende Schutzgehäuse kompakter sein kann.Another advantage of the method according to the invention is a longer service life for the final deformation of the pipe to call the molding tools. As an added benefit is too call that when the pipe is welded or soldered with a counter that has a volume to be evacuated stood connected, the distance of the deformed or ver shaping point of the tube from the solder seam less than in Case can be conventional, without being too excessive casual stresses on the sweat or solder seam can, provided the pipe is already pre-deformed with the object is connected. This offers for X-ray tubes the advantage that that which usually surrounds the x-ray tube Protective housing can be more compact.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist der zusätzliche Verfahrensschritt vorgesehen, daß sich an die Vorverformung eine Wärmebehandlung des Rohres im Sinne der Erzeugung einer guten Kaltverformbarkeit des Materials des Rohres zumindest in dem vorverformten Bereich anschließt. Hierdurch wird zum einen sichergestellt, daß die Endverformung mit geringen Ver formungskräften möglich ist, was sich günstig im Sinne der Standzeit der Umformwerkzeuge auswirkt. Es kommt hinzu, daß sich infolge der guten Verformbarkeit des Materials des Roh res in dem verformten Bereich die beim Endverformen des Roh res auftretenden Verformungen im wesentlichen auf den bereits vorverformten Bereich beschränken, so daß der Abstand zu einer eventuellen Schweiß- oder Lötnaht weiter verringert werden kann. Außerdem führt die Wärmebehandlung zu einer Ver ringerung der in dem Material des Rohres vorhandenen Gasmole küle, so daß der im Zusammenhang mit dem Endverformen auftre tende Druckanstieg in einem evakuierten Raum nochmals gerin ger ist.According to one embodiment of the invention, the additional Process step provided that the pre-deformation a heat treatment of the pipe in the sense of generating a good cold formability of the material of the tube at least in the preformed area. This will become one ensures that the final deformation with low Ver is possible, which is favorable in the sense of Service life of the forming tools. In addition, due to the good deformability of the raw material res in the deformed area that the final deformation of the raw res occurring deformations mainly on the already restrict pre-deformed area so that the distance to a possible weld or solder seam is further reduced can be. In addition, the heat treatment leads to a Ver reduction of the gas moles present in the material of the pipe cool so that it occurs in connection with the final deformation pressure increase in an evacuated room is.

Unter Umständen kann auf die sich an die Vorverformung an schließende Wärmebehandlung verzichtet werden, wenn die Vor verformung des Rohres durch ein Warmverformungsverfahren er folgt. Under certain circumstances it can depend on the pre-deformation closing heat treatment can be dispensed with if the pre deformation of the tube by a hot forming process follows.

Gemäß einer Variante der Erfindung erfolgt die Endverformung in einem solchen Maße, daß das Rohr im Bereich der Verformung durchtrennt wird. Es sind also keine zusätzlichen Verfahrens schritte zum Abtrennen des jenseits der Verformung befind lichen Teiles des Rohres erforderlich.According to a variant of the invention, the final deformation takes place to such an extent that the tube is in the area of deformation is severed. So there are no additional procedures steps to separate the beyond the deformation Lichen part of the pipe required.

Zumindest die Vor- oder die Endverformung erfolgt zwischen den einander gegenüberliegenden, parallel zueinander verlau fenden, balligen Umformkanten zweier Umformstempel.At least the preliminary or final deformation takes place between the opposite, parallel to each other fender, spherical forming edges of two forming stamps.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung besteht ein durch das erfindungsgemäße Verfahren verschlossene Rohr aus Kupfer, Aluminium, Nickel, einer Kupfer, Nickel oder Aluminium enthaltenden Legierung oder aus Edelstahl.According to one embodiment of the invention, there is a through the method according to the invention sealed tube made of copper, Aluminum, nickel, a copper, nickel or aluminum containing alloy or stainless steel.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist ein Gegenstand ein evakuiertes Volumen auf, in das ein Rohr mün det, das durch das erfindungsgemäße Verfahren verschlossen ist und aus Kupfer, Aluminium, Nickel, einer Kupfer, Nickel oder Aluminium enthaltenden Legierung oder aus Edelstahl besteht. Ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Gegenstandes sieht den Verfahrensschritt vor, daß das Rohr in vorverformten Zustand mit dem Gegenstand verlötet oder verschweißt wird. Das nach dem Verschließen des Rohres an den Gegenstand verbleibende Rohrstück kann dann besonders kurz sein.According to a further embodiment of the invention, a Object to an evacuated volume into which a pipe can open det, which is closed by the inventive method is and made of copper, aluminum, nickel, a copper, nickel or aluminum-containing alloy or stainless steel consists. A method of making one The subject of the process step is that the tube in pre-deformed state soldered to the object or is welded. That after closing the pipe to the The remaining piece of pipe can then be particularly short his.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist das Vakuumgehäuse einer Röntgenröhre als Pumpstutzen ein Rohr auf, das durch ein erfindungsgemäßes Verfahren verschlossen ist und aus Kupfer, Aluminium, Nickel, einer Kupfer, Nickel oder Aluminium enthaltenden Legierung oder aus Edelstahl besteht. Auch hier kann das nach dem Verschließen des Rohres an dem Vakuumgehäuse verbleibende Rohrstück besonders kurz sein, wenn es in bereits vorverformtem Zustand mit dem Vakuumgehäuse verlötet oder verschweißt wird. According to a further embodiment of the invention, this Vacuum housing of an x-ray tube as a pump nozzle a pipe on that is closed by a method according to the invention is and made of copper, aluminum, nickel, a copper, nickel or aluminum-containing alloy or stainless steel consists. This can also be done here after closing the pipe pipe section remaining on the vacuum housing is particularly short be if it is already pre-deformed with the Vacuum housing is soldered or welded.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beigefügten Zeich nungen erläutert, in denen der Herstellungsprozeß eines Gegenstandes, nämlich einer Röntgenröhre, dargestellt ist, der ein evakuiertes Volumen aufweist, in das ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren verschlossenes Rohr, nämlich der Pumpstutzen der Röntgenröhre, mündet.The invention based on the attached drawing explained in which the manufacturing process of a An object, namely an X-ray tube, is shown, which has an evacuated volume into which an after Method according to the invention closed tube, namely the Pump connector of the X-ray tube, opens.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 den mit dem Pumpstutzen versehenen Teil des Vakuumge häuses einer Röntgenröhre im Längsschnitt, Fig. 1 the provided with the pump connection portion of the Vakuumge häuses ray tube in longitudinal section;

Fig. 2 den in Fig. 1 dargestellten Bereich der Röntgenröhre in einem teilweisen Querschnitt, Fig. 2 the area shown in Fig. 1, the X-ray tube in partial cross-section,

Fig. 3 den in das Vakuumgehäuse der Röntgenröhre gemäß den Fig. 1 und 2 eingelöteten Pumpstutzen während seiner Herstellung im Längsschnitt, Fig. 3 shows the in the vacuum housing of the X-ray tube shown in FIGS. 1 and 2 soldered pump port, during its manufacture in the longitudinal section

Fig. 4 einen Schnitt gemäß Linie IV-IV in Fig. 3, Fig. 4 shows a section according to line IV-IV in Fig. 3,

Fig. 5 in zu der Fig. 1 analoger Darstellung die Röntgen röhre während des Verschließens des Pumpstutzens, Fig. 5 analogously to the Fig. 1 representation of the X-ray tube during the closure of the pump connection piece,

Fig. 6 in zu der Fig. 2 analoger Darstellung die Röntgen röhre mit verschlossenem Pumpstutzen, und Fig. 6 in an analogous representation to Fig. 2, the X-ray tube with a closed pump nozzle, and

Fig. 7 den Schnitt gemäß Linie VII-VII in Fig. 6. Fig. 7 shows the section according to line VII-VII in Fig. 6.

Gemäß den Fig. 1 und 2 besteht das Vakuumgehäuse 1 der in diesen Figuren teilweise dargestellten Röntgenröhre im Be reich des Pumpstutzens 2 aus einem zylindrischen Rohrab schnitt 1a, in den ein kreisscheibenförmiger Boden 1b vaku umdicht eingelötet oder eingeschweißt ist (Naht 3). Referring to FIGS. 1 and 2, the vacuum housing 1 of the X-ray tube partially shown in these figures, in the loading range of the pump nozzle 2 of a cylindrical Rohrab section 1 a, b in which a circular disk-shaped bottom 1 vaku umdicht soldered or welded is (seam 3).

Der Rohrabschnitt 1a weist eine Öffnung auf, in die der Pumpstutzen 2 eingepaßt ist, der mit dem Rohrabschnitt 1a vakuumdicht verlötet oder verschweißt ist (Naht 4).The pipe section 1 a has an opening into which the pump nozzle 2 is fitted, which is soldered or welded to the pipe section 1 a in a vacuum-tight manner (seam 4 ).

Der Pumpstutzen 2, der im Falle des beschriebenen Ausfüh rungsbeispieles an sich die Gestalt eines zylindrischen Roh res hat, weist eine Vorverformung 5 auf, die in einer solchen Richtung erfolgt ist, daß sich lokal ein Durchlaßquerschnitt q (siehe Fig. 4) ergibt, der im Vergleich zum Durchlaßquer schnitt des unverformten Rohres geringer ist.The pump nozzle 2 , which has the shape of a cylindrical raw res in the case of the exemplary embodiment described, has a pre-deformation 5 which has occurred in such a direction that there is locally a passage cross section q (see FIG. 4) which compared to the passage cross section of the undeformed tube is less.

Die Vorverformung 5 wird gemäß den Fig. 3 und 4 mittels zweier Stempel 6a und 6b hergestellt. Die Stempel 6a und 6b weisen einander gegenüberliegende, parallel zueinander ver laufende, ballige Umformkanten 7a, 7b auf, so daß die Vorver formung 5 die Gestalt einer beidseitigen Eindellung des Pumpstutzens 2 hat.The preliminary deformation 5 is produced according to FIGS. 3 and 4 by means of two stamps 6 a and 6 b. The punches 6 a and 6 b have mutually opposite, parallel ver running, spherical forming edges 7 a, 7 b, so that the preliminary deformation 5 has the shape of a bilateral indentation of the pump nozzle 2 .

Das Vorverformen kann bei Raumtemperatur durch Kaltverformung oder bei erwärmtem Pumpstutzen 2 durch Warmverformung erfol gen.The pre-forming can be carried out at room temperature by cold working or, in the case of a heated pump nozzle 2, by hot working.

In beiden Fällen ist es zweckmäßig, wenn sich an die Herstel lung der Vorverformung 5 eine Wärmebehandlung des Pumpstut zens 2 im Sinne der Erzeugung einer guten Kaltverformbarkeit des Materials des Pumpstutzens 2 zumindest im Bereich der Vorverformung 5 anschließt. Die Art der Wärmebehandlung hängt von dem Material des Pumpstutzens 2 ab. Als Materialien eig nen sich Kupfer, Aluminium, Nickel, Legierungen, die Aluminium, Kupfer oder Nickel enthalten, oder Edelstahl. Wenn die Vorverformung 5 des Pumpstutzens 2 durch Warmverformung erfolgt, kann die Wärmebehandlung unter Umständen entfallen.In both cases, it is expedient if a heat treatment of the pump nozzle 2 is connected to the production of the preliminary deformation 5 in the sense of producing good cold deformability of the material of the pump nozzle 2 at least in the region of the preliminary deformation 5 . The type of heat treatment depends on the material of the pump connector 2 . Suitable materials are copper, aluminum, nickel, alloys containing aluminum, copper or nickel, or stainless steel. If the pre-deformation 5 of the pump connector 2 is carried out by hot deformation, the heat treatment may not be necessary.

Nach Herstellung der Vorverformung 5 und einer sich eventuell anschließenden Wärmebehandlung wird der Pumpstutzen 2 in der in den Fig. 1 und 2 dargestellten Weise in das Vakuumgehäuse 1 eingelötet bzw. eingeschweißt.After preparation of the pre-deformation and a 5 to any subsequent heat treatment of the pump port 2 in the embodiment illustrated in FIGS. 1 and 2 manner is soldered into the vacuum housing 1 and sealed.

Im Anschluß hieran wird die Röntgenröhre über den Pumpstutzen 2 mit einer Vakuumpumpe verbunden und in an sich bekannter Weise ausgeheizt und evakuiert.Following this, the X-ray tube is connected to a vacuum pump via the pump connection 2 and heated and evacuated in a manner known per se.

Zum vakuumdichten Verschließen des Pumpstutzens 2 und damit des Vakuumgehäuses 1 wird der Pumpstutzen 2 im Bereich der Vorverformung 5 endverformt, und zwar derart, daß der Durch laßquerschnitt gleich Null ist und eine Kaltpreßverschweißung 10 entsteht (siehe Fig. 7).For the vacuum-tight closing of the pump connector 2 and thus the vacuum housing 1 , the pump connector 2 is finally deformed in the area of the pre-deformation 5 , in such a way that the passage cross-section is zero and a cold-press weld 10 is formed (see FIG. 7).

Auch das Endverformen erfolgt gemäß Fig. 5 mittels zweier Umformstempel 8a, 9a, und zwar zwischen deren einander gegen überliegenden, parallel zueinander verlaufenden, balligen Umformkanten 9a und 9b.The final shaping also takes place according to FIG. 5 by means of two shaping punches 8 a, 9 a, namely between their opposing, parallel, spherical shaping edges 9 a and 9 b.

Das Endverformen erfolgt in der aus den Fig. 6 und 7 ersicht lichen Weise in einem solchen Maße, daß der Pumpstutzen 2 nicht nur vakuumdicht verschlossen wird, sondern der, von der Röntgenröhre aus gesehen, jenseits der Verformungsstelle lie gende, nach dem Verschließen der Röntgenröhre überflüssige Teil des Pumpstutzens 2 abgetrennt wird.The final deformation is carried out in the manner shown in FIGS . 6 and 7 to such an extent that the pump nozzle 2 is not only closed in a vacuum-tight manner, but rather, as seen from the x-ray tube, beyond the deformation point, after the x-ray tube has been closed superfluous part of the pump connector 2 is separated.

Die Ausrichtung der Umformkanten 9a und 9b der Umformstempel 8a und 8b entspricht, wie aus Fig. 5 einerseits und Fig. 3 und 4 andererseits ersichtlich ist, wenigstens im wesent lichen der der Umformkanten 6a und 6b der Umformstempel 7a und 7b, so daß Vor- und Endverformen wenigstens im wesent lichen in der gleichen Richtung erfolgen.The orientation of the forming edges 9 a and 9 b of the forming die 8 a and 8 b corresponds, as can be seen from FIG. 5 on the one hand and FIGS. 3 and 4 on the other hand, at least essentially that of the forming edges 6 a and 6 b of the forming die 7 a and 7 b, so that preliminary and final deformations take place at least substantially in the same direction.

Als wesentlichste Vorteile der Erfindung sind zu nennen, daßThe main advantages of the invention are that

a) due to the pre-forming of the pump nozzle 2, the pressure rise occurring in the course of the vacuum-tight sealing is smaller in comparison to the prior art, and
b) the length a (see Fig. 6) of the residual on the vacuum housing 1, part of the pump neck 2 and thus the Ab was the deformed position of the pumping spout 2 may be lower from the seam 4 as in the prior art, because the pump port 2 is already is connected to the vacuum housing 1 in the pre-deformed state.

Die Erfindung wird vorstehend am Beispiel einer Röntgenröhre erläutert. Sie ist jedoch auch bei anderen Gegenständen und überall dort einsetzbar, wo metallische Rohre vakuumdicht zu verschließen sind.The invention is described above using the example of an X-ray tube explained. However, it is also with other objects and can be used wherever metallic pipes are vacuum-tight are closed.

Claims

1. Process for vacuum-tight sealing of a metallic pipe ( 2 ) opening into an evacuated volume, comprising the process steps

a) pre-deforming the tube ( 2 ) in such a direction that there is locally a passage cross-section (q) which is lower in comparison to that of the undeformed tube ( 2 ), and
b) final deformation of the tube ( 2 ) by a cold deformation process at least substantially in the area of the preliminary deformation ( 5 ) and at least essentially in the direction of the preliminary deformation such that the passage cross section is zero and a cold pressure welding ( 10 ) occurs.

2. The method according to claim 1, comprising the additional step of a subsequent to the pre-forming the heat treatment of the tube ( 2 ) in the sense of producing a good cold deformability of the material of the tube ( 2 ) at least in the area of the pre-deformation ( 5 ).

3. The method according to claim 1 or 2, wherein the Vorver mold done by a hot forming process.

4. The method according to any one of claims 1 to 3, in which the final deformation takes place to such an extent that the tube ( 2 ) is cut.

5. The method according to any one of claims 1 to 4, in which at least the preliminary or the final deformation between the opposing, parallel to each other fenden, spherical forming edges ( 7 a, 7 b or 9 a, 9 b) two To form stamp ( 6 a, 6 b or 8 a, 8 b) is done.

6. tube ( 2 ), which is closed by a method according to one of claims 1 to 5 and made of copper, aluminum, nickel, nickel, a copper, aluminum or nickel-containing alloy or stainless steel.

7. Object, which has an evacuated volume, into which a tube ( 2 ) opens, which is closed by a method according to any one of claims 1 to 5 and made of copper, aluminum, nickel, copper, aluminum or nickel-containing Alloy or stainless steel.

8. A method for producing the article according to claim 7, comprising the step of soldering or welding the tube ( 2 ) to the article in the pre-shaped state.

9. X-ray tube, the vacuum housing ( 1 ) as a pump nozzle has a tube ( 2 ) which is closed by a method according to one of claims 1 to 5 and made of copper, aluminum, nickel, copper, aluminum or nickel containing alloy or stainless steel.

10. The method for producing the X-ray tube according to claim 9, comprising the step of the pump nozzle in the pre-deformed state with the vacuum housing ( 1 ) is soldered or welded.