DE1944518U - MEASURING CELL FOR LOW ABSOLUTE PRESSURE WITH A METAL DIAPHRAGM. - Google Patents

MEASURING CELL FOR LOW ABSOLUTE PRESSURE WITH A METAL DIAPHRAGM.

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DE1944518U
DE1944518U DE1966S0055500 DES0055500U DE1944518U DE 1944518 U DE1944518 U DE 1944518U DE 1966S0055500 DE1966S0055500 DE 1966S0055500 DE S0055500 U DES0055500 U DE S0055500U DE 1944518 U DE1944518 U DE 1944518U
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low absolute
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Sealing Of Jars (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

Meßzelle für niedrige Absolütdrücke mit einer "';..Measuring cell for low absolute pressures with a "'; ..

Metallmembran - ~: ·■ : ' . /'-\\ ■'."■ '■■■_■Metal membrane - ~ : · ■ : '. / '- \\ ■'. "■ '■■■ _ ■

Bei den bekannten Heßzellen für niedrige AbsOlutdrücke", ist eine Metallmembran mit dem Rand ei-ner die Membran- ·. kontur nachbildenden Fläche verschweißt« Die Membran, ist auf der einen Seite .mit dem Meßumformer verbunden■;. und schließt auf der anderen Seite einen1 evakuierten' Raum ab. Der Druck in diesem Raum/dient als Bezugs- "'■■■'.'■' druck,.während die andere Membranfläche; dem zu messenden Druck ausgesetzt v/ird. Bei_ tjberlast, d."h. wenn der zu mess-ende Druck'den Meßbereich, "überschreitet","', legt \ sich die Membran in die Konturen der Fläche auf ·.'■In the known Heßzellen for low absolute pressures, "a metal diaphragm with the edge of the transducer is welded ei-ner the membrane · outline simulating surface" The membrane is, on one side .with connected ■;.. And closes on the other side a 1 evacuated 'space. The pressure in this space / serves as a reference "' ■■■ '.' ■ ' pressure, while the other membrane surface; exposed to the pressure to be measured. In the event of overload, i.e. "when the pressure to be measured""exceeds" the measuring range, the membrane rests in the contours of the surface

PA 9/510/2073r 4.1.66/Gra/Rid,PA 9/510/2073 r 4.1.66 / Gra / Rid,

■ PA 9/510/2073 -. 2 -"'...; _ - _- '\ '■■':. .■ PA 9/510/2073 -. 2 - "'...; _ - _-' \ '■■' :..

ihrer Rückseite (Membranbett) und wird auf diese .; Weise abgestützt,., so daß sie nicht beschädigt werden kann» Der Raum hinter.der Membran'ist bei . . den bekannten Meßz.ellen mit einem Anschlußstutzen -; zum Anschluß einer Verbindung für eine Vakuumpumpe ' versehen« Mit Hilfe der Pumpe wird.der Raum eva- . - ; kuiert und der 'Stutzen luftdicht verschlossen« : '. .its back (membrane bed) and is on this.; Supported so that it cannot be damaged. "The space behind. The membrane" is in. . the known measuring cells with a connection piece - ; to connect a connection for a vacuum pump 'provided «With the help of the pump, the room is evacuated. -; kuiert and the 'nozzle hermetically sealed': '. .

Hach der vorliegenden Feuerung soll das Evakuieren.The evacuation should take place according to the present firing.

'über einen besonderen Anschluß stutzen eingespart ■ /: werden» Gemäß der Heuerung wird dies dadurch-erreicht, daß ein den evakuierten Raum abschließender Deckel im Vakuum mit dem Elektronenstrahl aufgeschweißt, ist/ Die Meßzelle wird hierbei fertig montiert und zum ." . Schluß der Deckel-aufgeschweißt." Der Raum hinter der'' saved with a special connection piece ■ /: "According to the hiring, this is achieved by that a cover closing off the evacuated space is welded on in a vacuum with the electron beam / The measuring cell is assembled and ready for. ". Finally the lid welded on. "The space behind the

. Membran ist infolgedessen, nach Abschluß des Schweißvorganges evakuiert»: :. ."■"■' ■ ■ ■ : - .. As a result, the membrane is after completion of the welding process evacuated »::. . "■" ■ '■ ■ ■: -.

Eine gemäß der ,!Teuerung aufgebaute Meß zelle soll an Hand der Zeichnung naher erläutert werden. Ein : . " flanschförmiger Körper 1 ist auf der einen Stirn- ■' fläche entsprechend der Membrankontur ausgearbeitet. ;.-Die Membran 2 ist" am Rand auf eine ringförmige ; Fläche 9 aufgeschweißt und-in der Mitte mit 'der. ·;" ; Scheibe 3 verschweißt..Auf dieser iot eine Kupp- : A measuring cell constructed according to the,! Inflation will be explained in more detail with reference to the drawing. A : . "flange-shaped body 1 is worked out on one end face corresponding to the membrane contour.; .- The membrane 2 is" at the edge on an annular; Surface 9 welded on and-in the middle with 'the. ·; "; Washer 3 welded .. On this iot a coupling :

■■■■':' ' . ■-■' ■../.:■■■:,■■■■■ ':' '. ■ - ■ '■ ../ .: ■■■:, ■

ΡΛ 9/510/2073 ^ . — 3 .- : : :;;\ y ;;-:;:.■■■. y;: "ΡΛ 9/510/2073 ^. - 3 .-:::; ; \ Y ;; -:; : . ■■■. y ; : "

lungsvorrichtung 8 befestigt, wplche.die Membran ■'; mit dem nicht ^dargestellten Waagebalken/eines Meß- ......ventilation device 8 attached, wplche.the membrane ■ '; with the not ^ shown balance beam / a measuring ......

Umformers-verbindet. Der zu messende niedrige Ab-: ----. Converter connects. The low level to be measured : ----.

solutdruck- wirkt auf die Außenflache der Metall-; ; membran 2. Die Scheibev-3 ist über Verbindung^- . ; teile 6 mit einer ringförmigen Feder 5 verbunden, ;■ die auf der Rückseite, des Flansches '.1'. befestigt _isto ■ Diese Feder dient zur Geradführung der Membran./ Der Raum hinter der Membran ist' von dem Deckel 7'abgeschlossen. Dieser Deckel ist am Hand 10 im Vakuum \ mit dem Elektronenstrahl aufgesehweißt„ Der-Schweiß-Vorgang "wird zum Schluß durchgeführt, so daß-der Eaum hinter .der Membran Ohne besondere zusätzliche M3ß~ nahmen evakuiert ist. - °.; " ; λ ί solutdruck- acts on the outer surface of the metal; ; membrane 2. The disk v -3 is via connection ^ -. ; parts 6 connected to an annular spring 5 ,; ■ the one on the back, of the flange '.1'. attached _is o ■ This spring is used to guide the membrane in a straight line./ The space behind the membrane is 'closed off by the cover 7 '. This cover is aufgesehweißt on hand 10 in vacuum \ with the electron "The welding operation" is performed at the end, so that evacuated-of took Eaum behind .the membrane without special additional M3ß ~ - °;.. "; λ ί

1 Schutzanspruch v . .'.V1. ' ■ :: :- 1 BI. Zeichnungen . - . ;.;" >' ■:■-..-■■"■.: .1 right to protection v . . '. V 1 . '■::: - 1 BI. Drawings . -. ;.; ">'■: ■ -..- ■■" ■ .:.

Claims (1)

■'■■■■■· P.A.023 01HU66■ '■■■■■ P.A.023 01HU66 PA 9/510/2073 . ■ - A- .: ';.'■■, :PA 9/510/2073. ■ - A- .: ';.' ■■,: S Q h u t ζ a n Spruche ' ,""'■".'■ SQ hat ζ an Spruche ' , ""' ■ ". '■ Meßzelle für niedrige "Absolutdrücke, mit einer Metallmembran, die sich bei Überdruck gegen-eine die.Membrankontur nachbildende-Flache (Membranbett) .abstüzt und " das eine Ende eines evakuierten Raumes abschließt9 . dadurch gekennzeichnet, daß der den evakuierten Eaum ." am anderen Ende abschließende Beckel im Vakuum mit dem Elektronenstrahl aufgeschweißt ist. .: ." : ' ;Measuring cell for low "absolute pressures", with a metal membrane which, when there is excess pressure, supports itself against a surface (membrane bed) which simulates the membrane contour and which closes off one end of an evacuated space 9 . characterized in that the evacuated area "at the other end closing Beckel is welded in a vacuum with the electron beam..:." : ';
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2129670A1 (en) * 1970-06-19 1971-12-23 Alfa Romeo Spa Membrane device sensitive to absolute pressure
DE3101985A1 (en) * 1980-02-04 1981-11-26 Gould Inc., 60008 Rolling Meadows, Ill. FLUID PRESSURE TRANSMITTING MEMBRANE ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
DE3404532A1 (en) * 1984-02-09 1985-08-14 Lee Wang Industry Ltd., Chiayi, Taiwan Manometer

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