DE1907542C3

DE1907542C3 - Device for floating evaporation in an ultra-high vacuum

Info

Publication number: DE1907542C3
Application number: DE19691907542
Authority: DE
Inventors: Jean van Mol; Joyeux Jean; Parengh Maurits; Geel; Audenhove (Belgien)
Original assignee: European Atomic Energy Community Euratom
Current assignee: European Atomic Energy Community Euratom
Priority date: 1968-04-05
Filing date: 1969-02-11
Publication date: 1977-06-16

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Schwebeverdampfung im Ultrahochvakuum mit einer mit Sichtfenstern versehenen Vakuumkammer, in welcher Abdeckmasken für die Sichtfenster, ein Substrathalter und ein Schwebeinduktor vorgesehen sind.The invention relates to a device for floating evaporation in an ultra-high vacuum with a Vacuum chamber provided with viewing windows, in which cover masks for the viewing windows, a substrate holder and a floating inductor are provided.

Durch Schwebeverdampfung im Ultrahochvakuum, z. B. 10" bis 10 ^ιΛ Torr, lassen sich dünne Schichten auf beliebige Substrate ohne Benutzung eines Tiegels aufbringen. Die Technik der Schwebeverdampfung im Vakuum ist bereits bekannt.By floating evaporation in an ultra-high vacuum, z. B. 10 "to 10 ^ιΛ Torr, thin layers can be applied to any substrate without using a crucible. The technique of floating evaporation in a vacuum is already known.

Für gewisse Zwecke, beispielsweise für die verunreinigungsfreie Herstellung ultrareiner Überzüge, muß die Verdampfung im Ultrahochvakuum durchgeführt werden, was eine Reihe schwieriger technischer Probleme mit sich bringt. So muß alles unternommen werden, um ein zu häufiges Aufheben des nur in langwieriger Arbeit herstellbaren Ultrahochvakuums zu vermeiden. Die entsprechende Vorrichtung muß also die Möglichkeit bieten, mehrere aufeinanderfolgende Verdampfungen durchzuführen, ohne das Vakuum aufzuheben. Wahrend sämtlicher Arbeitsgänge muß die vollständige Dichtheit der Kammer gewährleistet sein. Weiterhin sollte die Kammer verhältnismäßig kleine Abmessungen haben, um die Desorptionsentgasung und damit die Förderleistung der Pumpen und die Pumpdauer zu verringern. Außerdem müssen alle im Hochvakuum angeordneten mechanischen Einrichtungen besonders gut durchdachtsein, um jegliches Festfressen zu vermeiden und dem Erfordernis völlig sauberer Oberflächen und des Ausschließen von reibungsherabsetzenden Legierungen oder Werkstoffen zu genügen. Derartige Legierungen oder Werkstoffe enthalten normal .schmierfähige Metalle, die im Ultrahochvakuum einen zu hohen Dampfdruck haben und folglich verdampfen wurden. Die Verwendung von Graphit ist dabei auszuschließen, da Graphit auf Grund seiner Porosität große Gasmengen freisetzt. Das Verkleinern der Kammerabmessungen bedingt die Verkleinerung der sich in der Kammer befindenden mechanischen Einrichtungen. Dabei müssen die abgedichteten Durchführungen besonders sorgfältig ausgeführt und die mechanischen Einrichtungen einfach sein.For certain purposes, e.g. for the impurity-free production of ultra-pure coatings, the evaporation must be carried out in ultra-high vacuum, which is a number of difficult technical Brings problems. Every effort must be made to prevent the to avoid ultra-high vacuums that can only be produced in tedious work. The corresponding device must therefore offer the possibility of carrying out several successive evaporations without to break the vacuum. The chamber must be completely sealed during all operations to be guaranteed. Furthermore, the chamber should have relatively small dimensions to the To reduce desorption degassing and thus the delivery rate of the pumps and the pumping time. Besides that all mechanical devices arranged in a high vacuum must be particularly well thought out, to avoid any seizure and the need for completely clean surfaces and the Excluding friction-reducing alloys or materials is sufficient. Such alloys or materials contain normally .lubricating metals, which in an ultra-high vacuum have high vapor pressure and have consequently evaporated. The use of graphite is to be excluded because graphite releases large amounts of gas due to its porosity. Shrinking the Chamber dimensions require the reduction in size of the mechanical devices located in the chamber. The sealed bushings must be carried out particularly carefully and the mechanical facilities be simple.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Schwebeverdampfung im Ultrahochvakuum zu schaffen, die den vorerwähnten Erfordernissen Rechnung trägt.The invention is based on the object of a device for floating evaporation in an ultra-high vacuum to create that takes the aforementioned requirements into account.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Platte zum Transport von Trägern für zu verdampfende Werkstoffe, die jeden dieser Träger unter den Induktor führt und von außen mittels einer verschiebbaren Stange bewegbar ist, und eine weitere von außen mittels einer auf der Achse des Induktors in der Höhe verschiebbaren Stange betätigbare zweite Einrichtung zum Verschieben der Abdeckmasken für die Sichtfenster und zum Einschieben der Träger von unten in das Innere des Induktors.According to the invention, this object is achieved by a plate for transporting carriers for those to be evaporated Materials that each of these carriers leads under the inductor and from the outside by means of a sliding Rod is movable, and another from the outside by means of a on the axis of the inductor in the height-adjustable rod actuatable second device for moving the cover masks for the viewing window and for inserting the carrier from below into the interior of the inductor.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näherAn embodiment of the invention is shown in the drawing and will be described in more detail below

beschrieben. Ei. zeigtdescribed. Egg. indicates

Fig. 1 eine Gesamtansicht der Vorrichtung nach der Erfindung,Fig. 1 is an overall view of the device according to the invention,

Fig. 2 einen Schnitt in senkrechter Ebene durch den Probenträger nach der Erfindung.2 shows a section in a vertical plane through the sample carrier according to the invention.

In Fig. 1 ist ein Teil der Wandung 1 der Vakuumkammer dargestellt, die den Boden dieser Kammer bildet. Die Kammer ist mit Sichtfenstern 2 versehen, die nicht unbedingt einander diametral gegenüberliegend angeordnet sein müssen. Über einem Induktor 4 zum Bewirken des Schwcbens und der Erhitzung der zu verdampfenden Proben ist ein Schichtträgerhalter 3 angeordnet. Ein Auffangtiegel 29 sowie die sich in Probenträgern 6 befindenden zu verdampfenden Proben oder Chargen 5 sind auf einer Transporteinrichtung angeordnet, die gemäß Fig. 1 als eine Drehscheibe 10 ausgebildet ist. Diese Drehscheibe wird mit Hilfe eines aus Zahnrad 7 und Zahnstange 8 bestehenden Systems in Drehbewegung versetzt, bei welchem die Zahnstange an einer Stange 9 ausgebildet ist, die die Wand der Kammer mit Hilfe einer abdichtenden Metallbalg-Durchführung ähnlich denen handelsüblicher Ultrahochvakuumventile durchlagt, die in Fig. 1 nicht dargestellt ist. Es ist also durch eine von außen her gesteuerte einfache Verschiebebewegung der Stange möglich, die Drehscheibe 10 in Drehbewegung zu versetzen. Die Drehscheibe ist derart angeordnet, daß jede der Proben annähernd genau senkrecht unter den Induktor geführt werden kann.In Fig. 1, part of the wall 1 is the vacuum chamber shown, which forms the bottom of this chamber. The chamber is provided with viewing windows 2, which are not necessarily diametrically opposed to each other must be arranged. Above an inductor 4 for causing the floating and heating of the A layer support holder 3 is arranged for samples to be evaporated. A collecting crucible 29 as well as the Samples or batches 5 to be evaporated located in sample carriers 6 are on a transport device arranged, which is designed as a turntable 10 according to FIG. 1. This turntable comes with With the help of a system consisting of a toothed wheel 7 and a rack 8 in rotation, in which the rack is formed on a rod 9 which seals the wall of the chamber by means of a Metal bellows bushing similar to that of commercially available ultra-high vacuum valves that is not shown in FIG. It is therefore through a simple displacement movement controlled from the outside the rod possible to set the turntable 10 in rotary motion. The turntable is like that arranged so that each of the samples can be guided almost exactly vertically under the inductor.

Eine zweite Stange 12 durchragt mittels einer nicht dargestellten abdichtenden Durchführung 19 (Metallbalg) die Wandung 1. Ganz wie die Stange 9 ist auch sie nur in Längsrichtung verschiebbar und ihre Verstellungen werden von außen her durch die Hand des Bedienenden gesteuert. Die Stange 12 weist im Inneren der Kammer eine Verlängerung 13 von geringerem Querschnitt auf, so daß an der Verbindungsstelle zwischen der eigentlichen Stange 12 und der Verlängerung 13 ein Absatz 14 entsteht. Die Verlängerung 13 der Stange setzt sich in einem Hohlzylinder 15 aus nicht leitendem und nicht porösem Werkstoff, beispielsweise aus Quarz oder »Pyrex«, fort. Die Stange 12-13-15 ist koaxial mit dem Induktor und nur durch Verschiebung in Richtung dieser Achse verstellbar.A second rod 12 protrudes by means of a sealing passage 19 (metal bellows), not shown. the wall 1. Just like the rod 9, it is also only displaceable in the longitudinal direction and its Adjustments are controlled from the outside by the operator's hand. The rod 12 has in Inside the chamber an extension 13 of smaller cross-section, so that at the junction between the actual rod 12 and the extension 13 a shoulder 14 is formed. The extension 13 of the rod sits in a hollow cylinder 15 made of non-conductive and non-porous material, for example made of quartz or "Pyrex", continued. The rod 12-13-15 is coaxial with the inductor and can only be adjusted by shifting in the direction of this axis.

Die Verlängerung 13 der Stange 12 durchragt einen Körper in Form einer zylindrischen Buchse 16, die reibungsfrei um sie herumgleiten kann. Ihre innere Seitenfläche ist mit einer schraubenlinienförmigen Nut 17 versehen, mit welcher ein an der Verlängerung 13 der Stange 12 befestigter Zapfen 18 in Eingriff steht. In der Wandung 1 ist eine der zylindrischen Buchse als Sitz dienende Ausnehmung 20 ausgebildet. An der Außenfläche der zylindrischen Buchse 16 sind Stäbchen 21 befestigt, an welchen wiederum Masken 22 angebracht sind, die die Sichtfenster 2 abdecken können.The extension 13 of the rod 12 penetrates a body in the form of a cylindrical bush 16 which can slide around them without friction. Its inner side surface is with a helical shape Groove 17 is provided with which a pin 18 attached to the extension 13 of the rod 12 engages stands. In the wall 1, one of the cylindrical bushing serving as a seat recess 20 is formed. On the outer surface of the cylindrical socket 16, rods 21 are attached, on which in turn masks 22 are attached, which can cover the viewing window 2.

Fig. 2 zeigt im besonderen und im einzelnen einen zur Verwendung in der an Hand von Fig. 1 beschriebenen Vorrichtung geeigneten Probenträger 6. Dieser Probenträger ist zum Transport einer Probe 5 bestimmt. Er hat die Form eines zylindrischen Hohlkörpers 6' mit einer die Form einer Ringscheibe aufweisenden radialen Erweiterung 23. Der Probenträger wird in einer kreisrunden öffnung 24, die einen zwischen dem Radius der Ringscheibe 23 und dem Radius des Zylinders 6' liegenden Radius hat, derart angeordnet, daß der Probenträger noch eine gewisse Be weglichkeit besitzt. Im Innerei! des Probenträgers ist ein Absatz 25 ausgebildet, auf dem sich ein reißstiltfnnniges Behältnis 26 aus nicht leitendem und nicht porösem Werkstoff, beispielsweise aus Quarz, ahstützt, welches als Tiegel dient, in den die zu verdampfende Metallprobe 5 hineingelegt wird Der Kopf des Behältnisses ist derart dimensioniert, daß dieses im Inneren des Probenträgers nach oben verschiebbar ist. Die Abmessungen seiner Spitze r.ind derart, daß sie sich in das bereits beschriebene Rohr 15 (Fig. 1) einpassen läßt. Der untere Teil 27 des Probenträgers 6 ist kegelstumpfförmig ausgebildet, um sein Zentrieren um das Rohr IS bei dessen Hochführen zu ermöglichen. Der dicke Teil 28 des Probenirägers hat einer.FIG. 2 shows in particular and in detail one for use in that described with reference to FIG Sample carrier 6 suitable for the device. This sample carrier is intended for transporting a sample 5. It has the shape of a cylindrical hollow body 6 'with one having the shape of an annular disk radial expansion 23. The sample carrier is in a circular opening 24, which is between the radius of the annular disk 23 and the radius of the cylinder 6 ', arranged in such a way that the sample carrier still has a certain loading possesses portability. Inside! of the sample carrier a shoulder 25 formed on which a tear-stilted Container 26 made of non-conductive and non-porous material, for example made of quartz, supports, which serves as a crucible into which the metal sample 5 to be evaporated is placed The container is dimensioned in such a way that it can be displaced upwards in the interior of the sample carrier. The dimensions of its tip r. Are such that they fit into the tube 15 (Fig. 1) already described leaves. The lower part 27 of the sample carrier 6 is frustoconical in order to center it to enable the pipe IS when it is raised. The thick portion 28 of the sample holder has one.

^J5 Innendurchmesser, der das senkrechte Gleiten des Rohres 15 (in dem Probenträger) ermöglicht. ^J 5 internal diameter which enables the tube 15 to slide vertically (in the sample carrier).

Die im vorstehenden beschriebene Vorrichtung nach der Erfindung hat folgende Arbeitsweise. Nachdem in der Kammer 1 mit Hilfe nicht dargestellter Pumpen ein Ultrahochvakuum hergestellt worden ist, wird durch Betätigung der Bedienungsstange 9 von außen her ein Probenträger 6 in annähernd zentrierte Lage um die Achse 11 gebracht. Darauf führt der Bedienende die Stange 12 nach oben, was zur Folge hat.The above-described device according to the invention operates as follows. After an ultra-high vacuum has been established in chamber 1 with the aid of pumps (not shown), a sample carrier 6 is approximately centered by actuating the operating rod 9 from the outside Position brought about axis 11. The operator then leads the rod 12 upwards, which has the consequence.

daß die zylindrische Buchse i6 unter Einwirkung des Zapfens 18 und ihres Eigengewichts (Prin/in Schraube-Mutter) in Drehbewegung versetzt wiu: Die an den Enden der Stäbchen 21 angebrachten Al· deckmasken 22 geben dabei die Sichtfenster 2 frei.that the cylindrical socket i6 under the action of the pin 18 and its own weight (Prin / in Screw-nut) set in rotation wiu: The aluminum cover masks 22 attached to the ends of the rods 21 expose the viewing windows 2.

Das Steigungsmaß der schüuibenlinienfumiigen Nui ist abhängig von der angestrebten Verschiebung der Abdeckmasken. Di r Absatz 14 bewirkt das Anheben der zylindrischen Buchse 16, nachdem der Zapfen 18 sich über die gesamte Länge der Nut 17 abzuglich einer dem Durchmesser des Zapfens entsprechenden Strecke hochbewegt hai. E^;.s ist in der Tat zweckdienlich, daß der Zapfen sich nicht aus der Nut herausbewegt, da sonst nach seinem Heraustreten aus dem Inneren der zylindrischen Buchse 16 die Buchse sich entweder infolge der Trägheit oder infolge von Schwingungen um einen Winkel drehen könnte, der die Rückkehr des Zapfens in seine untere Stellung unmöglich macht, da sich der obere Eingang der Nut nicht mehr senkrecht unter dem Zapfen befindet.The slope of the Schüuibenlinienfumiigen Nui depends on the desired displacement of the cover masks. The shoulder 14 causes the cylindrical bush 16 to be raised after the pin 18 has moved up over the entire length of the groove 17 minus a distance corresponding to the diameter of the pin. E ^; It is in fact expedient that the pin does not move out of the groove, otherwise, after it has emerged from the interior of the cylindrical sleeve 16, the sleeve could rotate through an angle that would cause the return, either as a result of inertia or as a result of vibrations of the pin in its lower position makes impossible because the upper entrance of the groove is no longer perpendicular under the pin.

Darauf wird die Aufwärtsbewegung fortgesetzt und das Rohr 15 von unten her in den Probenträger eingeführt. The upward movement is then continued and the tube 15 is inserted into the sample carrier from below.

Da der Probenhaiter nur einfach mit seiner Ringscheibe 23 auf die Drehscheibe 10 aufgesetzt ist, kann er sich während der Hochführbewegung des Rohres »5 in der öffnung 24 seitlich verschieben und sich so allmählich um das Rohr herum und somit also zu der Achse 11 zentrieren.Since the sample holder is simply placed with its annular disk 23 on the rotary disk 10, can he moves laterally during the upward movement of the tube »5 in the opening 24 and so gradually center around the pipe and thus to the axis 11.

Das Zentrieren der Probe 5 umfaßt zwei Stufen, und zwar ein Grobzentrieren mit Hilfe der die Drehscheibe 10 betätigenden Stange 9, gefolgt von einem Feinzentrieren durch Verstellen des Probenträgers 6 im Verlaufe des Hochführens der Stange 12, und wird benutzt, um die Verwendung einer Einrichtung nach Art einer Mikrometerschraubc zu vermeiden.The centering of the sample 5 comprises two stages, namely a rough centering with the aid of the rotary disk 10 actuating rod 9, followed by fine centering by adjusting the sample carrier 6 during the raising of the rod 12, and is used to follow the use of a device Type of a micrometer screw to avoid.

Eine derartige Einrichtung bewirkt in der Tat eine höhere Genauigkeit bei der Herstellung der mechanischen Einrichtungen sowie viel engere Montagetoleranzen, was bei unter Ultrahochvakuum gesetzten Einrichtungen die Gefahr des Fressens mit sich bringt. Andererseits würde die Verwendung einer mikrometrischen Einrichtung, da die Einwirkung des atmospärischen Druckes auf den Metallbalg eine resultie-Indeed, such a device results in greater precision in the manufacture of the mechanical ones Facilities as well as much tighter assembly tolerances, which is when placed under ultra-high vacuum Facilities brings with it the risk of seizure. On the other hand, the use of a micrometric Facility, since the action of atmospheric pressure on the metal bellows results in

rende Kraft (fast 5 kg) erzeugt, die bestrebt ist, die Stange 9 in das Innere der Kammer hineinzuschieben, die Verwendung einer diese Kraft aufhebenden Vorrichtung notwendig machen.generating force (almost 5 kg) which strives to push the rod 9 into the interior of the chamber, make the use of a device that cancels this force necessary.

Nach Durchführung der Feinzentrierung des Probenträgers kommt das seine Aufwärtsbewegung fortsetzende Rohr 15 mit der Spitze des reißstiftförmigen Behälters 26 in Eingriff und hebt ihn bis in die Mitte der Induktionsspule des Induktors 4. Darauf wird der Spule Hochfrequenzstrom zugeführt und die Probe in den Schwebezustand versetzt. Seit dem Wegdrehen der Masken 22 kann der Bedienende das Zentrieren des Probenträgers um das Rohr 15 sowie das Erzielen des Schwebezustandes der Probe in der Mitte des Induktors 4 überwachen.After the fine centering of the sample carrier has been carried out, that which continues its upward movement comes Tube 15 engages with the tip of the pen-shaped container 26 and lifts it to the center of the induction coil of the inductor 4. The coil is then fed with high-frequency current and the sample in shifted the limbo. Since the mask 22 has been turned away, the operator can do the centering of the sample carrier around the tube 15 and the achievement of the suspended state of the sample in the middle of the inductor 4 monitor.

Nachdem das Schweben der Probe herbeigeführt worden ist, genügt das Absenken des Rohres 15 durch den Bedienenden in der Weise, daß es den reißstiftförmigen Behälter auf dem Probenträger absetzt, wobei es an seinem Hubende die Abdeckmasken 22 wieder vor die Sichtfenster zurückführt. Dann beginnt die Verdampfung unter Freihaltung der Sichtfenster von jeglichem Dampfniederschlag (der sich an den Masken absetzt), so daß ihre Durchsichtigkeit erhalten bleibt.After the sample has been suspended, it is sufficient to lower the tube 15 the operator in such a way that it deposits the pencil-shaped container on the sample carrier, wherein at its end of its stroke, it brings the masking mask 22 back in front of the viewing window. Then the Evaporation while keeping the viewing windows free of any vapor deposits (which can be found on the masks drops) so that their transparency is retained.

Während des Fortschreitens der Verdampfunj führt man durch Drehen der Drehscheibe 10 denjeni gen Tiegel unter den Induktor, der beim Unterbre chen der Verdampfung die Metallchargen aufnehmei soll. Das Anhalten der Verdampfung (sowie das Her abfallen des schmelzflüssigen Tropfens in den Tiegel wird durch Unterbrechen des Hochfrequenzstrome: bewirkt. Auf diese Weise kann der im vorstehendei beschriebene Arbeitszyklus mit einer anderen MetallAs the evaporation progresses, turning the turntable 10 leads to denjeni The crucible under the inductor, which picks up the metal batches when the evaporation is interrupted target. The stopping of the evaporation (as well as the falling of the molten drop into the crucible is caused by interrupting the high frequency currents: In this way, the person mentioned in the foregoing work cycle described with a different metal

ίο charge ohne Aufhebung des Vakuums sogleich wie derholt werden.ίο charge without releasing the vacuum as soon as be repeated.

Aus der vorstehenden Beschreibung ist unschwei zu entnehmen, daß die Vorrichtung nach der Erfin dung von äußerst einfacher Bauart ist. Es sind für da;From the above description it can be seen that the device according to the invention is of an extremely simple design. There are for there;

>5 Wechseln bzw. Austauschen der zu verdampfender Proben, ihr Anbringen in dem Induktor sowie für die Verstellungen der Sichtfenslermasken nur zwei abge dichtete Durchführungen notwendig.> 5 Change or exchange of the Samples, their installation in the inductor and the adjustment of the viewing window masks only two sealed bushings necessary.

Bei dem im vorstehenden beschriebenen Ausführungsbeispiel ist die Transporteinrichtung eine Drehscheibe, jedoch leuchtet ein, daß sich, ohne den Bereich der Erfindung zu verlassen, jegliche mil Öffnungen 24 versehene Platte verwenden läßt, deren Bewegungen sich von außen her durch eine einfache Verschiebebewegung steuern lassen.In the embodiment example described above, the transport device is a turntable, however, it will be understood that without departing from the scope of the invention, any mil Openings 24 provided plate can be used, the movements of which can be controlled from the outside by a simple Control the shifting movement.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Device for floating evaporation in a Uitrahüchvakuum with a window provided Vacuum chamber in which masking masks for the viewing windows, a substrate holder and a floating inductor are provided, marked by a plate (10) for transport of supports (6) for materials to be evaporated, each of these supports (6) under the inductor (4) leads and is movable from the outside by means of a displaceable rod (9), and another of outside by means of a rod (12) which can be moved vertically on the axis (11) of the inductor (4) 13, 15) actuatable second device (16, 17, 18) for moving the cover masks (22) for the viewing window (2) and for inserting the carrier (6) from below into the interior of the inductor.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the carrier (6) are formed from a tubular cylindrical body which on its outside has a radial extension (23) in the form of an annular disc and on its inside a shoulder (25) in the form of a Ring ^a 5 strip for carrying a crucible (26) containing the material (5) to be evaporated, and the lower opening (27) of the carrier (6) is designed in the shape of a truncated cone.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, there- 3 <> characterized in that the crucible (26) is displaceable over the shoulder (25) of the carrier (6) pen-shaped quartz container is.

4. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the plate (10) with opening cn (24) is provided, the diameter of which is between the diameter of the annular disc (23) and the outer diameter of the tubular cylindrical body (6).

5. Device according to one of claims 1, 2 4 "or 4, characterized in that the plate (10) is a turntable, the rotation of which is caused by the rod (9) by means of a toothed rack (8) is brought about.

6. Apparatus according to claim 1, characterized in that the vertically displaceable Rod (12, 13, 15) has an extension piece (13) which is located in a cylindrical tube (15) made of non-conductive and non-porous material, which extends from below into the carrier (6) and slide it onto the pencil-shaped container (26), and the rod at their displacement means a device for displacing the cover masks (22) out of the viewing opening the viewing window (2) actuated.

7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the device for moving the cover mask (22) from a pin (18) which is attached to the extension piece (13) is, which has a smaller cross-section than the rod carrying it (12), so that on the Connection point between the rod (12) and its extension piece (13) a shoulder (14) arises, and from one of the extension piece (13) surrounding it can be displaced without friction cylindrical bushing (16), which has a formed in its inner side surface and with the pin (18) engaging helical groove (17) and the outer side surface thereof Holding rods (21) for the cover masks (22) is deceptive.