Stopfbuchsloses Ventil für aggressive Mittel Die Neuerung bezieht
sich auf ein stopfbuchsloses Ventil für aggressive Mittel mit einem Ventilkörper
und einer Membran, die durch eine Bewegungsvorrichtung auf den Ventilsitz gepreßt
werden kann. Die Membran besteht neuerungsgemäß aus Polytetrafluoräthylen (Handelsname
: Teflon) und ist zweckmäßigerweise in Form eines flachen Napfes ausgebildet.Stuffing box-free valve for aggressive media The innovation relates to
relies on a glandless valve for aggressive media with a valve body
and a diaphragm pressed onto the valve seat by a moving device
can be. The membrane is now made of polytetrafluoroethylene (trade name
: Teflon) and is expediently designed in the form of a flat cup.
An Hand eines Ausführungsbeispieles sollen die Vorzüge und weitere
Einzelheiten der Neuerung erläutert werden. Die Figur zeigt ein Ventil in zusammengebautem
Zustand.
-lmhmov
Der Ventilkörper 2 kann beispielsweise massiv aus Silber bestehen. Silber ist sehr
widerstandsfähig gegen gewisse aggressive Medien. Für andere Zwecke kann eine Vergoldung
des Ventilkörpers nützlich sein. Auf dem Ventilsitz ruht die Membran 3, die aus
Polytetrafluoräthylen besteht. Sie hat die Gestalt eines flachen Napfes. Mit ihrám
Rand liegt sie ständig auf dem Ventilkörper 2 au-'. saubere Bearbeitung der beiden
Flächen läßt sich hier eine sichere Abdichtung erreichen. Das durch das Ventil geleitete
Mittel strömt durch zwei Bohrungen 4 und 5 des Ventilkörpers 2 und durch den Raum
zwischen Ventilkörper 2 und Membran 3. Es kommt also nur mit den Teilen 2 und 3
in Berührung. Zwei Pfeile 6 und 7 deuten die Zu-und Abströmrichtung des Mittels
an.The advantages and further details of the innovation are to be explained using an exemplary embodiment. The figure shows a valve in the assembled state. -lmhmov
The valve body 2 can for example consist of solid silver. Silver is very resistant to certain aggressive media. For other purposes, gold plating of the valve body can be useful. The membrane 3, which consists of polytetrafluoroethylene, rests on the valve seat. It has the shape of a flat bowl. With her edge she is constantly on the valve body 2 '. A reliable seal can be achieved here by clean machining of the two surfaces. The medium passed through the valve flows through two bores 4 and 5 of the valve body 2 and through the space between the valve body 2 and membrane 3. It only comes into contact with parts 2 and 3. Two arrows 6 and 7 indicate the inflow and outflow direction of the agent.
Eine Überwurfkappe 8 ist auf den Ventilkörper 2 geschraubt und hält
die Membran 3. In der Überwurfkappe 8 ist eine Schraubspindel 9 geführt, die mit
einem stempelförmigen Glied 10 auf die Membran 3 wirkt. Der Boden des flachen Napfes,
der durch die Membran gebildet wird, kann mit Hilfe der Schraubspindel 9 auf den
Ausgang Bohrungen 4 und 5 gedrückt werden, wodurch das Ventil geschlossen wird.
Vorteilhaft kann der Rand der einen Bohrung etwas erhöht ausgeführt sein, wodurch
der Anpreßdruck auf der verminderten Fläche vergrößert wird.A union cap 8 is screwed onto the valve body 2 and holds
the membrane 3. In the cap 8, a screw spindle 9 is guided, which with
a stamp-shaped member 10 acts on the membrane 3. The bottom of the flat bowl,
which is formed by the membrane, can with the help of the screw 9 on the
Output holes 4 and 5 are pressed, whereby the valve is closed.
Advantageously, the edge of the one hole can be made slightly increased, as a result of which
the contact pressure on the reduced area is increased.
Wird die Schraubspindel 9 in der entgegengesetzten Richtung bewegt,
so wird die Membran 3 abgehoben und gibt die Öffnung frei. Der Druck des strömenden
Mittels kann dabei unterstützend wirken.If the screw spindle 9 is moved in the opposite direction,
so the membrane 3 is lifted and releases the opening. The pressure of the pouring
Means can have a supportive effect.
Die Membran 3 kann leicht auf der Drehbank hergestellt werden.The membrane 3 can easily be made on the lathe.
Der Rand des Napfes ist möglichst breit ausgeführt, damit eine genügende
Auflagefläche gewährleistet ist. Er wird zwischen den Teilen 2 und 8 in der Weise
gehalten, daß ein Fließen des Kunststoffes weitgehend verhindert ist. Die balgenförmigen
Wände sind stark hinterdreht, wodurch eine geringe Wandstärke und damit eine leichte
Biegemöglichkeit erreicht ird.The edge of the bowl is made as wide as possible so that it is sufficient
Support surface is guaranteed. He is between parts 2 and 8 in the way
held that a flow of the plastic is largely prevented. The bellows-shaped
Walls are heavily undercut, resulting in a low wall thickness and thus a light
Bending option is achieved.
Die Hauptvorteile des neuerungsgemäßen Ventils liegen in seiner Einfachheit,
Robustheit und einfachen Herstellbarkeit. Der Ventilkörper kann je nach dem Verwendungszweck
aus verschiedenen Materialien hergestellt werden, z. B. aus säurefestem und hitzebeständigem
Material, gegebenenfalls auch aus Keramik.
Das Ventil ist besonders für eine Anwendung in der Halbleiter-
technik mit ihren hohen Ansprüchen an die Reinheit er verwen-
eispiels-
deten Materialien geeignet. Das strömende Mittel, beispiels-
weise Silikochloroform (SiHC13) in Dampf-oder flüssiger
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Form, Wasserstoffgas oder Flußsäure, kommt lediglich mit dem Ventilkörper 2 und
der Membran 3 in Berührung. Ist der Ventilkörper also aus Silber hergestellt und
gegebenenfalls noch vergoldet, so ist die sichere Gewähr gegeben, daß das strömende
Mittel beim Durchlaufen des Ventils keinerlei Verunreinigungen, insbesondere Bor,
aufnimmt. Der Werkstoff Polytetrafluoräthylen ist deshalb besonders gut geeignet,
weil er auch bis zu Tempe-
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raturen von etwa 200 C beständig gegen die meisten organischen
und anorganischen Säuren, Basen und Lösungsmittel ist und in
sehr reiner Form im Handel erhältlich ist.
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5Schutzansprüche
1 Figur
The main advantages of the valve according to the invention are its simplicity, robustness and ease of manufacture. The valve body can be made of various materials depending on the intended use, e.g. B. made of acid-proof and heat-resistant material, possibly also made of ceramic. The valve is particularly suitable for use in semiconductor
technology with its high purity requirements.
exemplary
suitable materials. The flowing means, for example
wise silicochloroform (SiHC13) in vapor or liquid
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Form, hydrogen gas or hydrofluoric acid, only comes into contact with the valve body 2 and the membrane 3. If the valve body is made of silver and, if necessary, gold-plated, there is a reliable guarantee that the flowing medium does not absorb any impurities, in particular boron, when it passes through the valve. The material polytetrafluoroethylene is particularly suitable because it can be used up to temperatures 0
Temperatures of around 200 C resistant to most organic
and inorganic acids, bases and solvents is and in
very pure form is commercially available.
6th
5 Protection claims
1 figure