DE1808567C - Vakuumregelventil und Betnebsverfahren hierzu - Google Patents
Vakuumregelventil und Betnebsverfahren hierzuInfo
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Description
2. Die eingespannte Membran ist mit einer in. Ab- gnet kann jedoch auch anders gestaltet sein. Zur
hängigkeit vom Meßfühler regelbaren Tauch- Halterung des Magneten im Gehäuseunterteil 1 ist
spule verbunden, die in einen Luftspalt des außen an das Magnetteil 7 ein mit Bohrungen 8 verMagneten
eintaucht. - sehener Halterungsring 9 angesetzt. Zwischen den
3. Die Membran weist mindestens eine Ausneh- 5 beiden Magnetteilen 6 und 7 ergibt sich ein ringförmung
auf. miger Spalt 10, in dem die elektrische Spule rl ange-
Bei einem solchen Aufbau kann die durch die ordnet ist, deren elektrische Zuleitung über eine
Ausnehmung von jedem Differenzdruck entlastete Durchführung 22 im Gehäuseunterteil 1 nach außen
Membran mit dem Ventilelement der Bewegung der geführt ist. Die Spule 11 ist an einer ringförmigen
Tauchspule unmittelbar und genau folgen, so daß die io gewellten Membran 12 befestigt, die ihrerseits a"m
Einstellung aller Durchlaßwerte nahezu trägheitslos offenen Ende des Gehäuseunterteils 1 angeschraubt
erfolgt. Damit sind sehr genaue Regel vorgänge mög- ist. Die Membran ist beim Anschrauben gegen das
Hch, und es gelingt bei der Anwendung in Kxyostaten Gehäuseunterteil 1 begrenzt verschiebbar, so daß die
trotz hoher und/oder wechselnder Wärmebelastung Spule 11 genau im Spalt 10 des Magneten 4 zentrier-
bis zu tiefsten Temperaturen im .ereich von 4,2 his 15 bar ist. Damit wird erreicht, daß sie sich reir mgsfrei
I0K eine Temperaturkonstanz (T/T iinte<-halb von im Spalt des Magneten bewegt.
1 ()-■"', in günstigen Fällen sogar unterhalb 10~β zu er- An der Membran 12 ist auch das Ventilelement 13
reichen. befestigt. Das Ventilelement 13 weist einen ebenen
Es kann außerdem zweckmäßig sein, daß in den Randteil 14 auf, der bei vollständig geschlossenem
einen Teilraum des Ventilgehäuses beide Ventilan- 20 Zustand des Ventils als Dichtungstiäche dient. Das
Schlüsse münden, daß in dem anderen Teilraum der obere Ende des Veniüelements 13 weist einen in
Tauchspulenantrieb untergebracht ist und daß das Richtung zum Ventilsitz abnehmenden Durchmesser
Ventilelement einen freien Innenraum aufweist, der auf, so daß das Ventileleinent 13 eine gerundete Form
über einen Faltenbalg an einen feststehenden Teil des hat, die "üne kontinuierliche Veränderung des Durch-Tauchspulensystems
angeschlossen ist und einen 25 laßquerschnittes des Ventiis begünstigt. Das Ventilkomprimierbaren
Ausgleichsraum bildet, der über element 13 ist als Hohlkörper ausgebildet, ist also
einen Durchlaß im Ventilelement mit dem Inn^nraum besonders leicht, und es ist mit einer Ausnehmung 15
des Ventilanschlusses verbunden ist, in dessen An- versehen, die einen Druckausgleich zwischen beiden
satz das Ventilelement eingreift. Das Ventilelement Seiten des Ventilelements 13 ermöglicht, so daß das
wird bei dieser Ausbildung besonders leicht. Der 30 Ventilelement 13 keiner Druckbelastung unterliegt.
Faltenbalg dichtet den komprimierbaren Innenraum Zur Abdichtung des Innenraumes des Ventilelements
gegen den umgebenden Teilraum des Ventilgehäuses 13 gegen den restlichen Innenraum des Ventilgehäuab
und kann gleichzeitig die Führung des Ventil- ses ist ein Faltenbalg 16 mit dem Ventilelement 13
elementes verbessern. verbunden, dessen freies Ende gehäusefest und gas-
Ein. sehr leicht bewegbare Membran kann in einer 35 dicht am Magnetstück 6 gehaltert ist.
vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung gegebenen Gaseintritt 17 und Gasaustritt 18 des Ventils sind falls dadurch erreicht werden, daß diese Membran in hier am Gehäusedeckeistück 2 angeordnet und mit mehrere Membranstreifen unterteilt ist. Anschlußflanschen 19, 20 versehen. Das Gehäuse-Beieiner vorteilhaften Ausbildung des Drossel ven- deckelstück 2 trägt au ^h den mit einem Dichtungstils kann das elektrodynamische Tauchspulensystei^ 40 element versehenen Ventilsitz 21.
mit einer veränderbaren wecnselspanniingsüb^rlager- Wie Fig. la zeigt, ist die Membran 12 mit Bohten Gleichspannung gespeist werden. Damit kann rungen 23 zum Druckausgleich innerhalb des Gteine Schwingungscharakteristik des Ventilelements häuses 1, 2 versehen.
vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung gegebenen Gaseintritt 17 und Gasaustritt 18 des Ventils sind falls dadurch erreicht werden, daß diese Membran in hier am Gehäusedeckeistück 2 angeordnet und mit mehrere Membranstreifen unterteilt ist. Anschlußflanschen 19, 20 versehen. Das Gehäuse-Beieiner vorteilhaften Ausbildung des Drossel ven- deckelstück 2 trägt au ^h den mit einem Dichtungstils kann das elektrodynamische Tauchspulensystei^ 40 element versehenen Ventilsitz 21.
mit einer veränderbaren wecnselspanniingsüb^rlager- Wie Fig. la zeigt, ist die Membran 12 mit Bohten Gleichspannung gespeist werden. Damit kann rungen 23 zum Druckausgleich innerhalb des Gteine Schwingungscharakteristik des Ventilelements häuses 1, 2 versehen.
erreicht und darr/t die Stell- und Schaltcigenschaften Fig- 2 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform
des Ventils verbessert werden. 45 des Ventils, bei der das Ventilgehäuse aus einem
In den Figuren bind Ausführun^sbeispiele der Er- Unterteil 25, einem Mittelteil 26 und eiiiem Deckelfmdung
dargestellt; es zeigt stück 27 besteht, die durch die Flanschverbindungen
F i g. I einen Schnitt durch ein Ventil mit einem 28 und 29 miteinander verbunden sind (30, 31--
Permanentmagneten im elektrodynamischen System, Dichtungcelemente). Das Gehäuseunterteil 25 ist mit
Fig. la einen um 90° gedrehten Schnitt durch 5° einem in das Ventilgehäuse hineinragenden eine
dasselbe Ventil an der in Fig. 1 mit A-A' gekenn- durchgehende axiale Bohrung aufweisenden zylin-
zeichneten Stelle, drischen Zapfen versehen, auf den die Wicklung 32
Fig. 2 einen Schnitt durch ein Ventil mit einem des Elektromagneten aufgebracht ist. Die elektrische
Elektromagneten im elektrodynamischen System. Zuleitung drs Elektromagneten ist über eine Durch-
F ig. 2 a einen um 1X)0 gedrehten Schnitt durch das- 55 führung 33 im Mittelteil 26 des V^ntilgehäuscs nach
selbe Ventil an der in Fig. 2 mit B-B' gekennzeich- außen geführt. Unterteil 25 und Mittelteil 26 des
neten Stelle. Ventilgehäuses sind gleichzeitig Bestandteil des Elek-
Wie Fig. 1 zeigt, besteht das Ventilgehäuse aus tromagnel :n und sind dementsprechend so geformt,
einem topfförmigen Unterteil 1 und einem Deckel- daß sich ein ringfö; miger Spalt 34 für die elektrische
stück 2, die dur.li eine Flanschverbindung 3 lösbar 60 Spule 35 ergibt. Der Magnet kann jedoch auch
und begrenzt gegeneinander verschiebbar miteinander anders geformt sein und a'~ gesondertes Bauelement
verbunden sind. Innerhalb des topfförmigen Gehäuse- in das Ventilgehäuse eingesetzt sein. Die Spule 35.
Unterteils 1 in cii. Permanentmagnet 4 angeschraubt. deren Zuleitung ebenfalls über eine Durchführung 36
Der Permanentmagnet 4 ist rotationssymmetrisch im Mittelteil 26 des Ventilgehäuses nach außen ge-
und besteht hier aus einem pcrmanentinagnelischen 65 führt ist, ist hier an drei bandförmigen gewellten
konusförmigen Kernstück 5, an weiches zur Erzielung Memhranelemcnten 37 gehaltert, die am Mittelteil 26
der gewünschten Magnetform zwei aus Eisen beste- des Ventilgehäuses befestigt sind und die neben der
hetui: Drehteile 6 und 7 fest angesetzt sind. Dlt Ma- Spule 35 auch das Ventilelement 38 tragen. Das Ven-
ülelement38 ist ebenso ausgebildet, wie es bereits Die besonderen Vorteile eines solchen Ventils
an Hand von Fig. 1 beschrieben wurde, weist jedoch liegen darin, daß eine kontinuierliche Durchllußver-
keine durchgehende Ausnehmung zum D.ruckaus- änderung möglich ist, da die Spule und damit das
gleich auf. Die Gaseintrittsöffnung 39 mit Anschluß- Ventilelement jede beliebige Stellung zwischen dem
flansch 40 und der Ventilsitz 41 sind wiederum am 5 vollständig gcölinctcn Zustand und dem vollständig
Gehäusedeckelstück 27 angeordnet, während sich der geschlossenen Zustand einnehmen kann. Bei Betiiti-
Gasaustritt 42 mit dem Anschlußflansch 43 bei dieser gung des Ventils durch ein Signal eines Meßfühlers
Ausführung am Gehäuseunterteil 25 befindet. In die- in einem Kryostaten oder einem anderen Teil einer
scm Fall ist also das Ventilelement 38 der zwischen Vakuumapparatur ist der sich einstellende Ventilhub
Gaseintritt und Gasaustritt herrschenden Druck- io und damit die Durchlaßquerschnittveränderung je-
differenz ausgesetzt, was jedoch durch eine ent- weils der Sollwertabweichung an der Meßstclle direkt
sprechende Dimensionierung des Ventilelements und proportional. Da die beweglichen Teile des vorge-
dcs Magneten ohne weiteres ausgeglichen werden schlagenen Ventils massearm sind, wird eine hohe
kann. Ansprechgeschwindigkeit erreicht. Es ist jeweils nur
Das Ventil ist vorteilhaft überall dort in Vakuum- 15 ein minimaler Regelhub erforderlich. Daraus ergibt
apparaturen zu verwenden, wo ein automatisch sich eine extrem hohe Stellgeschwindigkeit. Das Vensteuerbares
Ventil mit hoher Ansprechempfindliehkeit tilclement arbeilet nahezu reibungsfrei, wodurch sich
benötigt wird. Besondere Vorteile bietet die Anwen- eine ausgez.eichnete Einstellreproduzierbarkeit und
dung des Ventils zur Druck- bzw. Temperatur- eine hohe Einstellgenauigkeit ergibt. Weitere Vorteile
regelung in Kryostaten. Dabei ist das Ventil in die zur ao liegen darin, daß die beweglichen Ventilteile praktisch
Förderpumpe führende Abgasleitung des Kryostaten keiner Abnutzung unterliegen und daß das Ventil
eingesetzt. Die elektrische Zuleitung 22 bzw. 36 der weitgehend unabhängig ist von der Arbeitstempera-Spule
11 bzw. 35 des elektrodynamischen Systems tür. Da bei einem solchen Ventil kein Bypaß erforderist
über ein geeignetes an sich bekanntes Regelgerät lieh ist, sondern der gesamte Durchsatz geregelt wird,
mit einem Druck- oder Temperaturmeßfühler im 25 ist der Betrieb mit diesem Ventil in höherem Maße
Kryostaten verbunden, während im Fall des zweiten wartungsfrei (keine Bypaßcinstellung von Hand er-Ausführungsbeispiels
der Elektromagnet 32 im aii- fordciiich), als es von herkömmlichen Vaki.mm-Drosgemeinen
an eine Gleichspannungsquelle angeschlos- sclventilen bekannt ist.
sen ist. Sowohi die der Antriebsspule als auch die Ferner ist die Ruhelage der Spule und damit die
dem Magneten zugeführte Spannung kann wechsel- 30 Ruhestellung des Ventils auf elektrischem Wege ver-
spannungsüberlagert sein. änderbar, durch Überlagern einer Wechselspannung
Im stationären Betrieb gelangt bei positiver oder auf die Spule oder auch den Elektromagneten kann
negativer Abweichung des Druckes bzw. der Tem- cine bestimmte vorteilhafte Schwingungscharakteristik
peratur im Kryostaten vom Sollwert ein entsprechen- des Ventils erreicht werden, und das Ventil kann gedes
Spannungssignal vom Meßfühler zur Spule des 35 gebenenfalls auch als Auf/Zu-Ventil verwendet wer-
elektrodynamischen Systems, die dadurch weiter in den (öffnen und Schließen durch Umpolen der
den Magneten hineingezogen oder weiter aus dem Spannung).
Magneten herausgelenkt wird, wodurch das Ventil Das Ventil zeichnet sich also durch eine vielweiter
geöffnet oder weiter geschlossen wird, was zum scitige Verwendbarkeit und eine auf elektrischem
Ausgleich der Sollwertabweichung der geregelten 40 Wege in weiten Grenzen variable Betricbscharakte-Größe
führt. ristik aus.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Vakuumregelventil zur Druck- bzw. Tempe- elektromagnetisch gesteuertes Ventil für die Abdichratursteuerung
in Kryostaten, wobei der Ventil- 5 tung bei hohen Drücken vorbekannt, welches ein mit
durchlaß in Abhängigkeit von einem im Kryo- abnehmendem Querschnitt gestaltetes Ventilelement
staten angeordneten Meßfühler veränderbar ist, aufweist, das zur Schaffung der verschiedenen Durchgekennzeichnet
durch die Kombination laßwerte in einen Ventilanschluß mit veränderbarer folgender an sich bekannter Merkmale: Tauchtiefe eintaucht.. Hierzu ist das Ventilelement an
1. Ein in seiner Lage gegenüber dem Ventilsitz 10 einer vorgespannten elastischen Membran, die eine
kontinuierlich einstellbares, mit abnehmen- Wand der vom Medium durchströmten Ventilkamdem
Querschnitt gestaltetes Ventilelement mer bildet>
befestigt, und diese Membran wird mit
(13, 38) ist an einer im Ventilgehäusequer- einem Ringmagneten ausgelenkt. Ein derartiges elekschnitt
eingespannten Membran (12, 37) be- tromagnetisches System erlaubt zwar die Einstellung
fcstj„t '5 verschiedener Durchflußwerte durch Regelung der
2. Die eingespannte Membran ist mit einer in Stromstärke, es ist jedoch für die Erreichung kleiner
Abhängigkeit vom Meßfühler regelbaren Einstellzeiten ungeeignet, weil sich im durch die
Tauchspule (11, 35) verbunden, die in einen Membran abgeschlossenen Innenraum des Ring-Luflspalt
(10, 34) eines Magneten (4 5; 35) magneten ein relrtiv starres Luftpolster bildet das
eintaucht 20 durch seine Dämpfungswirkung ein unmittelbares
3. Die Membran weist mindestens eine Aus- Nachfolgen der Lage der Menbran bei Änderungen
nehmung (23) auf. der S'romstärke verhindert.
Zum Stande der Technic gehören ferner Belüf-
2. Vakuumregelventil nach Anspruch I/ da- tungsventile, z. B. nach der USA.-Patentschrift
durch gekennzeichnet, daß in den einen Teilraum 25 3 167 094. Diese zeigt ein Schnellschaltventil mit
des Ventilgehäuses (1, 2) beide Ventilanschlüsse einem Anschlußstück, d»= wahlweise mit einer Va-(17,
18) münzen, daß in dem anderen Teilraum kuumleitung oder mit der Umgebungsatmosphäre verder
Tauchspulenantrieb un.^rgebracht ist und bindbar ist. Das Ventil besitzt zwei stabile Betriebsdaß
das Ventilelement (1?,) einen freien Innen- lagen, nämlich mit freigegebenem Durchlaß zur Varaum
aufweist, der über einen . ;>Itenbalg (16) an 3° kuumleitung und mit belüftetem Ansatzstück. Das
einen feststehenden Teil des Tauchspulensystems Einnehmen der Betriebslagen und die Abdichtung
(4, M) angescnlossen ist und einen komprimier- werden jeweils durch den äußersten Luftdiuck und
baren Ausgleichsraum bildet, der über einen durch das Vakuum in der Ansaugleitung unterstützt.
Durchlaß (15) im Ventilelement (13) mit dem Zur Bewegung des Ventiidemeutes dient ein Tauch-Innenraum
des Ventüanschlusses (18) verbunden 35 spulenantrieb, und dessen Tauchspule ist an einer
ist, in dessen Ansatz das Ventilelemenl (13) Ringmembran aufgehängt. Dabei handelt es sich
eingreift. jedoch nicht um ein Vakuumregelung, denn das
3. Vakiiumregelventil nach Anspruch I, da- Prinzip eines Wechsels zwischen dem stabile.i Bedurch
gekennzeichnet, daß die Membran in triebszustand der Belüftung und dem des Anschlusmehrere
Membranstreifen (37) unterteilt ist. 40 ses an die Vakuumleitung erlaubt keine Einstellung
4. Betriebsverfahren für ein Vakuumregelventil von verschiedenen Durchlaßwerten. Außerdem ist
nach einem der Ansprüche I bis 3, dadurch ge- kein Ventilelement mit abnehmendem Querschnitt,
kennzeichnet, daß das Tauchspulensystem mit sondern eine Rohrhülse mit einem schneidenförmigen
einer veränderbaren, wechselspannungsüberlager- Rand und einer kegelmantelförmigen Auflagefläche
ten Gleichspannung gespeist wird. 45 vorgesehen. Ein solches elektromagnetisches Ventil
is' somit für die rasche und praktisch trägheitslose
Einstellung verschiedener Durchlaßwerte prinzipiell
ungeeignet. In gleicher Weise muß die USA.-Patentschrift 3 001 549 betrachtet werden, in der ein
Die Erfindung betrifft ein Vakuumregelvcntil zur 50 in zwei Endlagen steuerndes Überdruckventil zur Ab-Druck-
bzw. Temperatursteuerung in Kryostaten, tastung von Lochkarten beschrieben wird. Der dort
wobei der Ventildurchlaß in Abhängigkeit von einem vorhandene Tauchspulenantrieb liefert lediglich die
im Kryostaten angeordneten Meßfühler veränderbar Stellimpulse, wobei die jeweils angesteuerte Endlage
ist. Außerdem ist ein vorteilhaftes Betriebsverfahren durch einen Schnappniechanismus mit Unterstützung
angegeben. 55 des Diflerenzdruckes des strömenden Mediums c.
Für verschiedene Anwendungs/.wccke werden Va- reicht wird.
kuiimregelventile benötigt, bei denen die Einstellung Die Erfindung geht von der Aufgabenstellung aus,
einer veränderbaren Durchlaßöffnung mit besonders ein Vakiiumregelventil mit kleiner Einstellzeit zu
kleiner Einstellzeit erfolgt, so daß bei Verwendung schaffen, bei dessen Anwendung die Regelsclnva.ikunderartiger
Vakiiumrcgelventile in Regelsystemen nur 60 gen in Kryostaten auf ein zulässiges Maß herabgesetzt
geringe Regclschwankungen auftreten. Ein bevorzug- werden können. Das Kennzeichnende der Erfindung
tes Anwendungsgebiet liegt in der Konstanthaltung ist in der Kombination folgender an sich bekannter
einstellbarer tiefer Temperaliiren in verdampfer- Merkmale zu sehen:
kryostalen, wobei das Vakuumregclvenlil zwischen I. Ein in seiner Lage gegenüber dem Ventilsitz
dem Verdampfer des Kryostaten und der Vakuum- 65 kontinuierlich einstellbares, mit abnehmendem
purine in1 der Abgasleitung angeordnet ist und in Ab- Querschnitt gestaltetes Ventilelemeiit ist an
hiingi[-kci! von der Temperatur am Verdampferkörper einer im Venlilgehäusei|iiersclinitt eingespannten
oder an der Probe gesteuert wird (Lit.: beispielsweise Membran befestigt.
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