DE1690274A1 - Process for the production of wiring boards with more than two line levels (multilayer circuit boards) - Google Patents

Process for the production of wiring boards with more than two line levels (multilayer circuit boards)

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DE1690274A1
DE1690274A1 DE19671690274 DE1690274A DE1690274A1 DE 1690274 A1 DE1690274 A1 DE 1690274A1 DE 19671690274 DE19671690274 DE 19671690274 DE 1690274 A DE1690274 A DE 1690274A DE 1690274 A1 DE1690274 A1 DE 1690274A1
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Description

IELEFUNKIN Patentverwertungsge SeilschaftIELEFUNKIN Patent exploitation team

m« b» H* Ulm (Donau), Elisabethenstr.3m «b» H * Ulm (Danube), Elisabethenstrasse 3

Ulm (Donau), 22. Juni 1967 ΪΈ/PT-Ka/Eg - U 81/67Ulm (Danube), June 22, 1967 ΪΈ / PT-Ka / Eg - U 81/67

"Verfahren zur Herstellung von mehr als zwei Leitungsebenen aufweisende Verdrahtungeplatten (Hehrschichtleiterplatten)""Method of making more as wiring boards having two line levels (Multilayer circuit boards) "

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von mehr als zwei Leitungeebenen aufweisende Verdrahtungsplatten (Mehrschichtleiterplatten), die aus aufeinander geschichteten und miteinander verklebten, flächenhaften Leitungezüge für die einzelnen Leiterebenen tragende Trägerplatten aus Isoliermaterial zusammengesetzt sind und die mit Metallbelägen ausgekleidete, die gesamte Verdrahtungsplatte durchsetzende Ausnehmungen aufweisen; Leitungszüge der Leiterebenen stehen mit diesen Metal1-belägen in den Ausnehmungen in leitender Verbindung und außerdem sind an diese Metallbeläge in den Ausnehmungen die Bauelemente angeschlossen.The invention relates to a method for producing Wiring boards (multilayer circuit boards) which have more than two line unevenness and are made up of one another layered and glued to one another, planar cable runs for the individual conductor levels are composed of supporting plates made of insulating material and which have recesses lined with metal coverings and penetrating the entire wiring board; Cable runs of the conductor levels are in conductive connection with these Metal1 coverings in the recesses and In addition, the components are connected to these metal coverings in the recesses.

Derartige Mehrechichtititerplatten konmen deshalb immer mehr sum Einsatz, weil die Verbindungsmöglichkeiten, dieSuch multiple titre plates are therefore always acceptable more sum use because the connectivity that

- 2 ~ 109820/1673- 2 ~ 109820/1673

- 2 - U 81/67- 2 - U 81/67

eine doppelkaschierte leiterplatte bietet, bei der heutigen Technik oft nicht ausreichen. Bei derartigen Mehrschichtleiterplatten werden die Bauelemente beispielsweise unmittelbar auf der Oberfläche der Hehrschichtleiterplatte aufgebracht» wobei die Anschlüsse der Bauelemente Bit den metallisierten Ausnehmungen elektrisch leitend verbunden sind. Derartige Mehrschichtleiterplatten können aber auch zur Herstellung der Verbindungen, zwischen Steckkarten benutzt werden, auf denen die Bauelemente aufgebracht sind. In diesem Falle werden die Metallisierungen in den Ausnehmungen über Eontakte mit den Leitungsbahnen auf den Steckkarten leitend verbunden.a double-laminated circuit board offers, with today's Technology is often not enough. In multilayer circuit boards of this type, the components are, for example, directly on the surface of the multilayer circuit board applied »with the connections of the components bit electrically connected to the metallized recesses are. Such multi-layer circuit boards can also be used to produce the connections between plug-in cards on which the components are applied. In this case, the metallizations in the recesses are connected to the conductive paths on the Plug-in cards conductively connected.

Se ist bekannt, Mehrschichtleiterplatten nach folgendem Verfahren herzustellen: Ss wird von Trägerplatten ausgegangen, die nur eine Metallisierung auf einer ihrer Oberflächen aufweisen. Durch Einsatz üblicher Verfahren (Siebdruck oder Aufbringen des negativen Leitungsbildes mit fototechnischen Mitteln und Ätzen) wird dann aus den Metallisierungen das gewünschte Leitungsmueter erzeugt, allerdings mit Ausnahme der Leitungsmuster, die bei der fertigen Mehrsohichtleiterplatte an der Oberfläche liegen· Die Trägerplatten mit dem Leitungsmuster für die einzelnen Leiterebenen werden danach miteinander verklebt, was bei dem bisher bekannten Verfahren durch Einlegen einerSe is known, multilayer circuit boards according to the following Manufacturing process: Carrier plates are assumed that only have a metallization on one of their surfaces. By using the usual methods (screen printing or applying the negative line image with phototechnical means and etching) the desired conductor mueter is then produced from the metallizations, however, with the exception of the line patterns, which are on the surface of the finished multi-layer printed circuit board The carrier plates with the conductor pattern for the individual conductor levels are then glued together, which is the case with the previously known method by inserting a

_ 3 -109820/1673'_ 3 -109820/1673 '

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Prepreg-SOlie und durch Erhitzen und Zusammenpressen der gestapelten Trägerplatten in einem besonderen Werkzeug geschieht· Bei diesem Vorgang erweicht die Prepreg-Folie und verklebt die aufeinanderliegenden Trägerplatten miteinander. Danach werden in die zusammengeklebten Mehrschichtplatten die benötigten Ausnehmungen z. B. durch Bohren eingebracht· Hierauf werden diese Bohrungen durch- ^ verkupfert. Wegen dieser Durchverkupferung konnten auf den Oberflächen der Mehrschichtleiterplatte die Leitungsmuster noch nicht aufgebracht werden. Schließlich wird dann auch das Leitungsmuster auf der Oberfläche der Mehrschichtleiterplatte aufgebracht.Prepreg-SOlie and by heating and pressing the stacked carrier plates in a special tool happens · During this process, the prepreg film softens and glued the support plates lying on top of one another. Then the required recesses z. B. by Drilling introduced. These holes are then copper-plated. Because of this through-copper plating, the the conductor patterns are not yet applied to the surfaces of the multilayer circuit board. Finally will then the line pattern is also applied to the surface of the multilayer circuit board.

Das bekannte Herstellungsverfahren für derartige Mehrschichtleiterplatten hat verschiedene Nachteile. So ist das für die Verklebung benötigte Werkzeug sehr teuer, da es notwendig ist, die Mehrschichtleiterplatte auf eine ganz bestimmte Temperatur zu erhitzen, und weil außerdem ein hoher Druck erzeugt werden muß. Außerdem entsteht bei dem bekannten Verfahren ein hoher Prozentsatz an Ausschuß. Dieser hohe Prozentsatz kommt insbesondere deshalb zustande, weil der Kontakt der Leiter der einzelnen Leiterebenen mit den durch Durchverkupferung erzeugten Kupferbelägen der Ausnehmungen sehr kritisch ist. Im Zeitpunkt der Durchver-The known manufacturing process for such multilayer circuit boards has various disadvantages. So is the tool required for gluing is very expensive because it is necessary to put the multilayer circuit board on a to heat a very specific temperature, and because, in addition, a high pressure must be generated. In addition, at the known method a high percentage of rejects. This high percentage is mainly due to the contact between the conductors and the individual conductor levels the copper coatings of the recesses produced by copper plating is very critical. At the time of the

109820/1673109820/1673

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- 4 - U 81/67- 4 - U 81/67

kupferung umgibt nämlich der einzelne Leitungssug eine Bohrung nur mit der sehr kleinen Innenfläche eines sehr dünnen Rings· Schließlich ist es auch nachteilig, daß beim Zustandekommen einer ungenauen Bohrung ein nahezu fertiges und damit bereits teueres Teil zu Ausschuß wird.Copper surrounds the individual cable suction Drilling only with the very small inner surface of a very thin ring · Finally, it is also disadvantageous that if an imprecise hole occurs, an almost finished and therefore already expensive part becomes scrap.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgäbe besteht darin, ein Herstellungsverfahren für derartige Leiterplatten zu schaffen, das die oben erwähnten Nachteile nicht aufweist, bei dem also keine sehr teuren Werkzeuge benötigt werden, bei dem der Ausschuß bei der Herstellung sehr gering ist und bei dem bei Zustandekommen einer unexakten Bohrung nicht bereite ein sehr teures, weil nahezu fertiges Bauteil weggeworfen werden muß-The object on which the invention is based is to create a manufacturing process for such circuit boards that does not have the disadvantages mentioned above, So in which no very expensive tools are needed, in which the scrap is very low in the production and in the case of an inexact drilling that does not result in a very expensive component, because it is almost finished must be thrown away-

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß von Trägerplatten mit beidseitiger Metallisierung ausgegangen wird, daß in diese Trägerplatten vorzugsweise gleichzeitig für all· Trägerplatten einer Verdrahtung «platt θ die Ausnehmungen eingebracht werden, daß danach diese Ausnehmungen mit einer ersten Metallschicht ausgekleidet werden, und mit Ausnahme an den beiden Oberflächen der fertigen Verdrahtungsplatte aus den Metallisierungen der Trägerplatten in an sich bekannter Weise der geforderten Leitungemuster erzeugt werden,This object is achieved in that of Carrier plates with metallization on both sides are assumed that these carrier plates are preferably carried out simultaneously for all · carrier plates of a wiring «flat θ the recesses be introduced that then these recesses are lined with a first metal layer, and with Exception on the two surfaces of the finished wiring board from the metallizations of the carrier boards in themselves the required line pattern can be generated in a known manner,

«. 5 — 109820/1673 «. 5 - 109820/1673

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daß danach die Trägerplatten vorzugsweise unter Zwischenlegung einer Isolierfolie miteinander verklebt werden, daß nach Entfernen von KLeberresten in den Ausnehmungen und gegebenenfalls der, die Ausnehmungen durchsetzenden Isolierstoff-Folienteile eine zweite Metallisierung der durchgehenden Ausnehmungen durchgeführt wird und daß schließlich die benötigten Leitungsmuster auf der Oberfläche der Verdrahtungsplatte hergestellt werden.that then the carrier plates are glued together, preferably with an insulating film in between, that after removing glue residue in the recesses and optionally the insulating film parts penetrating the recesses, a second metallization of the through recesses is carried out and that finally the required line patterns are produced on the surface of the wiring board.

Da von Trägerplatten mit zweiseitiger Metallisierung ausgegangen wird, ist die Dicke der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Leiterplatte gegenüber den nach dem bekannten Verfahren hergestellten Leiterplatten außerdem noch weniger groß.Since carrier plates with two-sided metallization are assumed, the thickness is that according to the invention Process produced printed circuit board compared to the printed circuit boards produced by the known method also even less big.

Gemäß einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird vor dem gemeinsamen Einbringen der Ausnehmungen in alle Trägerplatten das Leiterbild auf einer der späteren Oberflächen der Verdrahtungsplatte aufgebracht« Dieses beispielsweise fototeohnisch aufgebrachte Leiterbild erleichtert das Einbringen der Ausnehmungen, also beispielsweise das Bohren. Zur Erleichterung der Herstellung der Verdrahtungeplatten ist es außerdem günstig, an den Trägerplatten über die Sollplattengröße hinausragende Teile vorzusehen. Beispieleweise könnenAccording to one embodiment of the method according to the invention the conductor pattern is applied to one of the later surfaces of the wiring board before the recesses are made jointly in all carrier plates the introduction of the recesses, for example drilling. To facilitate the manufacture of the wiring boards is It is also advantageous to provide parts on the carrier plates that protrude beyond the target plate size. For example, you can

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die Trägerplatten einen ringsherum gehenden Band von z. B, 15 nun aufweisen. In diese über die Sollplattengröße hinausragenden Teile werden Führungsöffnungen eingebracht, z. B- eingestanzt. Bei der gemeinsamen Herstellung der Ausnehmungen und gegebenenfalls auch beim Verkleben der Platten werden diese öffnungen in Führungsstifte eines fialtewerkzeugs eingeführt. Hierdurch ist gewährleistet, daß die übereinander zu stapelnden Platten Immer exakt aufeinander liegen, daß also beim Verkleben die Bohrungen in den einzelnen Platten miteinander fluchten. Nach dem Verkleben werden dann die überstehenden Teile mit den FührungBÖ'ffnungen abgetrennt. Stellt man auch in den Teilen, mit denen das Leitungsmuster aufgebracht wird, also die Filmnegative, bzw» Drucksiebe entsprechende Führungsöffnungen her, die beispielsweise gemeinsam mit den Führungsöffnungen in den Trägerplatten eingebracht werden können, so ist auch bei der Herstellung des Leitungsnrueters einer Trägerplatte sichergestellt, daß Filmnegativ, bzw· Drucksieb und die zugehörige Leiterplatte die richtige Lage zueinander haben. Hierzu werden die Führungeöffnungen in den Trägerplatten und den Filmnegativen, bzw. Drucksieben in Führungsstifte eingeführt.the carrier plates a circumferential band of z. B, 15 now have. Guide openings are made in these parts protruding beyond the target plate size, e.g. B - stamped. When the recesses are produced together and, if necessary, also when the plates are glued, these openings are introduced into guide pins of a fistewool. This ensures that the plates to be stacked on top of one another are always exactly on top of one another, so that the holes in the individual plates are aligned with one another when gluing. After gluing, the protruding parts are then separated with the guide openings. If you also make guide openings in the parts with which the line pattern is applied, i.e. the film negatives or »printing screens, which can be made in the carrier plates together with the guide openings, for example, a carrier plate is also ensured during the production of the line nueter, that the film negative or printing screen and the associated circuit board are in the correct position in relation to one another. For this purpose, the guide openings in the carrier plates and the film negatives or printing screens are inserted into guide pins.

Das Werkzeug zum Einbringen der Führungs öffnungen in dieThe tool for making the guide openings in the

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Trägerplatten und gegebenenfalls die Filmnegative oder Drucksiebe ist äußerst einfach« Es besteht aus zwei Platten, z. B. Metallplatten, von denen die eine Führungsstifte für die aweite Platte und diese entsprechende Bohrungen aufweist. Biese Führungsetifte bewirken, daß die Platten bei jedem Arbeitsgang in gleicher Stellung ubereinanderliegen. Zwischen diesen beiden Platten werden die aufgestapelten Trägerplatten und gegebenenfalls die Filmnegative oder Drucksiebe eingepreßt. Die beiden Metallplatten weisen an den Stellen, an denen die Führungsöffnungen in diesen Trägerplatten einzubringen sind, Löcher auf, durch die hindurch mit Hilfe eines eingedrückten Stempels die Führungsöffnungen hergestellt werden. Beim. Herstellen der Ausnehmungen in den Trägerplatten werden diese Führungsöffnungen in Führungsstifte in einem entsprechenden Werkzeug eingeführt.Carrier plates and optionally the film negatives or Printing screens is extremely simple. «It consists of two plates, e.g. B. metal plates, one of which is guide pins for the wide plate and this has corresponding holes. These guide pins ensure that the plates at lie on top of each other in the same position for each work step. Between these two plates are stacked Carrier plates and optionally the film negatives or Pressed in pressure screens. The two metal plates point at the points where the guide openings in them Carrier plates are to be introduced, holes through which the guide openings are made with the help of an indented punch. At the. Production of the recesses In the carrier plates, these guide openings are introduced into guide pins in a corresponding tool.

Zum Verkleben kann das oben beschriebene Werkzeug ebenfalls eingesetzt werden« Es muß dann an den Stellen der einen Metallplatte, wo die Führungeöffnungen in den Trägerplatten liegen, lediglich mit Führungsstiften versehen sein. Natürlich kann für diesen Arbeitsgang auch ein zweites Werkzeug vorgesehen sein. Auch beim Kleben werden die aufgestapelten Trägerplatten zusammengedrückt. 2»um Kleben wird ein flüssiger Kleber, z. B. Araldit, auf die Trägerplatten aufgebracht, z. B.The tool described above can also be used for gluing Metal plate, where the guide openings are in the carrier plates, only be provided with guide pins. Naturally a second tool can also be provided for this operation. Even when gluing, they are piled up Carrier plates pressed together. 2 »To glue a liquid glue, z. B. araldite, applied to the carrier plates, for. B.

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auf ge strichen· um die Antrocknung dee Klebers zu beschleunigen, können die im oben beschriebenen Werkzeug zusammengepreßten Trägerplatten erwärmt werden.on coated to accelerate the drying of the adhesive, the carrier plates pressed together in the tool described above can be heated.

Der flüssige Kleber dringt auch in die durchgehenden Bohrungen der Mehrschichtleiterplatte ein. Außerdem sind die Bohrungen bei Verwendung einer Isolierfolie zur Isolierung der Leitungszüge zweier aneinandergrenzender Trägerplatten nicht mehr durchgehend. Gemäß einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden diese störenden Teile aus den durchgehenden Bohrungen dadurch entfernt» daß ein zweiter Bohrvorgang mit einem in seinem Durchmesser gegenüber dem vordem benutzten Bohrer etwas kleineren (z. B« 0,05 && kleiner) Bohrer durchgeführt wird. Dieser Bohrvorgang gewährleistet, daß die metallisierten Wände der durchgehenden öffnungen vom Kleber befreit werden, und daß auch die störenden Isolierfolienteile beseitigt werden. Dieser Bohrvorgang ist unkritisch, da sich der Bohrer selbst zentriert. Die zweite Durchverkupferung, die wiederum durch stromloses Abscheiden von Kupfer und elektrolytisches Nachverkupfern erzeugt wisd, verstärkt die ursprünglichen Durchverkupferungen der Trägerplatten und verbindet derartige benachbarte Durchverkupferungen durch Überkupfern des die Bohrung umgebenden, durch die durchbohrteThe liquid adhesive also penetrates the through holes in the multilayer circuit board. aside from that are the holes when using an insulating film to isolate the cable runs of two adjacent ones Carrier plates no longer continuous. According to one embodiment of the method according to the invention, these interfering parts are removed from the through bores by a second drilling process with one in his The diameter of the drill was slightly smaller (e.g. 0.05 && smaller) compared to the previously used drill will. This drilling process ensures that the metalized walls of the through openings are freed from adhesive, and that the disruptive parts of the insulating film are also eliminated. This drilling process is not critical because the Self-centered drill. The second through-copper plating, in turn by electroless deposition of copper and electrolytic After-copper plating produces wisd, reinforces the original copper plating of the carrier plates and connects them Such neighboring through-copper plating by over-copper plating of the hole surrounding the hole through which the hole was drilled

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Isolierstoffolie gebildeten Rings. Durch die doppelte Verkupferung ist dabei sichergestellt, daß die Verbindungen »wischen den Leitungszügen und den Durchverkupferungen unkritisch sind, wodurch die Ausschußquote sehr gering wird. Schließlich kann man die Leitungszüge an den Oberflächen der Mehrschichtplatte auch noch mit einem Zinnbelag versehen. Isolierstoffolien formed ring. Because of the double copper plating it is ensured that the connections »between the lines and the copper plating are uncritical which means that the reject rate is very low. Finally, you can see the lines on the surfaces the multilayer board is also provided with a tin coating.

Anhand der Zeichnung soll das erfindungsgemäße Verfahren sowie der durch das erfindungsgemäße Verfahren zustande kommende Gegenstand noch näher erläutert werden.The method according to the invention should be based on the drawing as well as the result of the method according to the invention upcoming subject will be explained in more detail.

Wie bereits erwähnt, wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren von Trägerplatten ausgegangen, die beidseitig metallisiert sind. Eine derartige Trägerplatte ist in Figur 1a dargestellt und mit 1 bezeichnet. Die beiden Metallisierungen tragen die Bezugszeichen 2 und 3» Zur Erleichterung des Fertigungsablaufs weisen die Trägerplatten über ihre Sollgröße hinausragende Teile auf. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist angenommen, daß die Trägerplatten allseitig ein Übermaß von z. B. 15 mm aufweisen. Diese Teile liegen in der Zeichnung oberhalb bzw. unterhalb der gestrichtelt eingezeichneten Linien. Sie sind mit 1a und 1b bezeichnet. Mit Hilfe des oben be-As already mentioned, the method according to the invention is based on carrier plates that are on both sides are metallized. Such a carrier plate is shown in FIG. 1 a and denoted by 1. The two Metallizations have the reference symbols 2 and 3 »To facilitate the production process, the carrier plates parts protruding beyond their nominal size. In the illustrated embodiment it is assumed that the carrier plates on all sides an excess of z. B. 15 mm exhibit. These parts are above or below the dashed lines in the drawing. They are labeled 1a and 1b. With the help of the

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schriebenen. Werkzeuges werden an die überstehenden Teile 1a und 1b Pührungsöffnungen eingebracht, und zwar vorzugsweise für alle Trägerplatten einer Mehrschichtleiterplatte gleichzeitig« Außerdem können gleichzeitig auch Führungsöffnungen in die für das Aufbringen der Leitungsmuster benötigten Drucksiebe bzw. Filmnegative eingebracht werden. Die Führungsöffnungen sind in der Figur 1b erkennbar und mit 4· bezeichnet. Beim Ausführungsbeispiel der Zeichnung wurde angenommen, daß eine Sechsschichtleiterplatte hergestellt werden soll· Zum Einbringen der Ausnehmungen in die Trägerplatten werden die für eine Verdrahtungsplatte benötigten Trägerplatten mit ihren Führungsöffnungen in. Führungsstifte 6 eingefädelt (siehe Schnittdarstellung der Figur 1b). Dann werden die durchgehenden Ausnehmungen 5 ζ. Β. durch Bohrung eingebracht. Zur Erleichterung des Bohrvorgangs kann auf einer der Oberflächen der Trägerplatten das Leiterbild aufgebracht werden, z. B. auf fototechnische Weise. Hierauf werden, wie in Figur 1c (Schnittdarstellung) dargestellt, die Ausnehmungen 5 in den einzelnen Trägerplatten in bekannter Weise mit einem Metallbelag 6 versehen, z. B. durch das bekannte Verfahren der Durohverkupferung. Die Stärke des in die Ausnehmungen eingebrachten Belags kann z. B. 35/um betragen. Hierauf werden auf den Oberflächen der einzelnen Leiterplatten nach den bekannten Verfahren die Leitungs-wrote. Tool are attached to the protruding parts 1a and 1b guide openings introduced, preferably for all carrier plates of a multilayer circuit board at the same time «In addition, guide openings into the printing screens or film negatives required for applying the line pattern. The guide openings can be seen in FIG. 1b and denoted by 4 ·. In the embodiment of the drawing was Assumed that a six-layer printed circuit board is to be produced · For making the recesses in the carrier plates the carrier plates required for a wiring board are threaded with their guide openings into guide pins 6 (see sectional illustration in FIG. 1b). Then the through recesses 5 ζ. Β. introduced through hole. To facilitate the drilling process the conductive pattern can be applied to one of the surfaces of the carrier plates, e.g. B. in a photo-technical way. Then, as shown in Figure 1c (sectional view), the recesses 5 in the individual carrier plates provided in a known manner with a metal coating 6, for. B. by the known process of Durohverkupferung. The strenght the coating introduced into the recesses can, for. B. 35 / um be. The line is then placed on the surfaces of the individual printed circuit boards using the known methods.

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muster erzeugt, allerdings nicht auf den. Oberflächen, die bei der fertigen Mehrschichtleiterplatte außen liegen. Hierauf werden die Trägerplatten einer Mehrschichtleiterplatte miteinander verklebt. Hiereu können die einzelnen Trägerplatten mit ihren Führungsöffnungen wiederum auf Führungsstifte 7 (siehe Schnittdarstellung der Figur 1d) eines Hilfewerkeeuges aufgefädelt werden. Zwischen aneinandergrenzende Trägerplatten 1 werden zur Isolierung der Leitungßzüge benachbart liegender Trägerplatten gegeneinander Isolierstoffolien 8 eingelegt. Vor dem Auffädeln der einzelnen Trägerplatten 1 auf die Führungsstifte 7 werden die Trägerplatten auf beiden Seiten mit einem Kleber bestrichen. Als Kleber kann beispielsweise Araldlt verwendet werden. Während der Auetrocknung des Klebers sind die aufeinandergeschichteten Trägerplatten 1 zwischen die Platten 9 und 10 einer Klebepresse eingespannt* Zur Beschleunigung der Austrocknung kann die Klebepresse mit den aufeinandergestapelten eingespannten Trägerplatten in einen Ofen mit einer Temperatur von z. B- 100° gebracht werden. Die vergrößert dargestellten Kleberschichten sind in der Figur 1d mit 11 bezeichnet.pattern generated, but not on the. Surfaces that are on the outside of the finished multilayer circuit board. The carrier plates of a multilayer printed circuit board are then used glued together. The individual carrier plates with their guide openings can in turn open here Guide pins 7 (see sectional view of Figure 1d) of an auxiliary work can be threaded. Between contiguous Carrier plates 1 are used to isolate the lines of adjacent carrier plates from one another Insulating foils 8 inserted. Before threading of the individual carrier plates 1 on the guide pins 7, the carrier plates on both sides with a Coated with glue. For example, Araldlt can be used as an adhesive. While the glue is drying out are the stacked carrier plates 1 between the plates 9 and 10 clamped in a glue press * Zur The gluing press can accelerate the drying process with the carrier plates stacked on top of one another an oven at a temperature of e.g. B- 100 °. The adhesive layers shown enlarged are denoted by 11 in FIG. 1d.

Bei der Verklebung gelangt Kleber auch in die durchgehenden Ausnehmungen 5« Die dort eingedrungene Klebemasse 1st in Figur 1d mit 12 bezeichnet. Biese Klebemasse In den durch-During the gluing process, the adhesive also gets into the continuous recesses FIG. 1d denoted by 12. This adhesive mass In the through-

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gehenden Ausnehmungen 5 sowie die die Ausnehmungen 5 durchsetzenden Teile 13 der Isolierstoffolien 3 müssen nunmehr beseitigt werden. Dies geschieht am günstigsten durch eine aweite Bohrung, und zwar mit einem Bohrer, der einen etwas kleineren Durchmesser hat als der bei der ersten Bohrung benutzte Bohrer, War beispielsweise der Durchmesser des zuerst benutzten Bohrers 1 mm, so benutzt man nunmehr einen Bohrer von z, B, 0,95 nm· Durch diesen zweiten Bohrvorgang werden die Klebermasse 12 sowie die Folienteile 13 in den Bohrungen 5 beseitigt. Bei einer Stärke der Metallisierung in den Bohrungen von z, B. 35/um bleibt bei diesem zweiten Bohrvorgang von dieser Metallisierung noch 25/Um erhalten. Durch den zweiten Bohrvorgang wird jedoch gewährleistet, daß die Metallisierung überall vom Kleber gereinigt ist. Die durchbohrte Mehrschichtleiterplatte ist in Figur 1e im Schnitt dargestellt. Nunmehr wird eine zweite Durchverkupferung vorgenommen, durch die der Metallbelag 6 in den einzelnen Trägerplatten verstärkt wird und gleichzeitig die Metallbeläge 6 benachbarte Leiterplatten miteinander verbunden werden. Hierbei werden also die zwischenliegenden Isolierstoffolien 8 in den durchgehenden Bohrungen metallisch überbrückt. Die durchverkupferten Bohrungen sind in der Figur 1f gezeigt. Nunmehr werden auf den Oberflächen der Mehrschichtleiterplatte die benötigten Leitungsmuster aufgebracht, die ge-Extending recesses 5 as well as the parts 13 of the insulating films 3 which penetrate the recesses 5 must now be eliminated. The best way to do this is through a wide hole, with a drill that has a slightly smaller diameter than the drill used for the first hole.If the diameter of the first drill used was 1 mm, then a drill of z B, 0.95 nm · This second drilling process removes the adhesive compound 12 and the foil parts 13 in the bores 5. In the case of a thickness of the metallization in the bores of, for example, 35 μm, this metallization still retains 25 μm in this second drilling process. However, the second drilling process ensures that the metallization is cleaned from the adhesive everywhere. The perforated multilayer circuit board is shown in section in FIG. 1e. A second through-copper plating is now carried out, by means of which the metal covering 6 is reinforced in the individual carrier plates and at the same time the metal covering 6 of adjacent printed circuit boards are connected to one another. In this case, the insulating foils 8 lying between them are bridged by metal in the through bores. The copper-plated bores are shown in FIG. 1f. Now the required line patterns are applied to the surfaces of the multilayer printed circuit board.

- 13 109820/1673 - 13 109820/1673

- 13 - U 81/67- 13 - U 81/67

gebenenf alls noch stromlos verzinnt werden können. Danach werden die überstehenden feile, also die oberhalb und unterhalb der gestrichelten Linien (Figur 1) dargestellten Teile abgeschnitten. Die Mehrschichtleiterplatte ist damit fertiggestellt. if necessary, can still be tin-plated without current. Thereafter the protruding file, i.e. the parts shown above and below the dashed lines (Figure 1) cut off. The multilayer circuit board is now complete.

Die Figur 1f der Zeichnung zeigt praktisch den durch das erfindungsgemäße Verfahren erzeugten Gegenstand, der aus Trägerplatten mit doppelter Metallisierung erzeugt wird, wobei diese Trägerplatten miteinander verklebt werden
gegebenenfalls unter Zwischenlage von Isolierstoffolien. Außerdem weist der Gegenstand durchgehende Öffnungen mit Metallbelägen auf. In den einzelnen Leiterebenen befinden sich die benötigten Leitungsmuster·
FIG. 1f of the drawing shows practically the object produced by the method according to the invention, which is produced from carrier plates with double metallization, these carrier plates being glued to one another
if necessary with the interposition of insulating foils. In addition, the object has through openings with metal coverings. The required line patterns are located in the individual conductor levels

109820/1673109820/1673

Claims (10)

U 81/67U 81/67 PatentansprücheClaims 1· Verfahren zur Herstellung von mehr als zwei Leitungsebenen aufweisende Verdrahtungsplatten (Mehrschichtplatten), die aus aufeinandergeschichteten und miteinander verklebten, flächenhafte Leitungszüge für die einzelnen Leiterebenen tragenden Trägerplatten aus Isoliermaterial zusammengesetzt sind und mit Metallbelägen ausgekleidete, die gesamte Verdrahtungsplatte durchsetzende Ausnehmungen auf· weisen, wobei Leitungszüge der Leiterebenen mit diesen Metallbelägen in leitender Verbindung stehen und außerdem an diese Metallbeläge in den Ausnehmungen Bauelemente angeschlossen sind, dadurch gekennzeichnet, daß von Trägerplatten sit beidseitiger Metallisierung ausgegangen wird, daß in diese Trägesplatten vorzugsweise gleichzeitig für alle Trägerplatten einer Verdrahtungsplatte die Ausnehmungen eingebracht werden, daß danach diese Ausnehmungen mit einer ersten Metallschicht ausgekleidet werden, und mit Ausnahme an den beiden Oberflächen der fertigen Verdrahtungsplatte aus den Metallisierungen der Trägerplatten in an sich bekannter Weise die geforderten Leitungsmuster erzeugt werden, daß danach die Trägerplatten vorzugsweise unter Zwischenlegung einer Isolierfolie miteinander verklebt werden, daß nach Ent-1 Process for the production of wiring boards with more than two line levels (multilayer boards), those made of stacked and glued together, Extensive cable runs for the individual conductor levels load-bearing support plates are composed of insulating material and lined with metal coverings, the entire Have recesses penetrating the wiring board, line runs of the conductor planes with these Metal coverings are in conductive connection and also connected to these metal coverings in the recesses components are, characterized in that it is assumed that the carrier plates are metallized on both sides, that in these carrier plates, preferably at the same time for all carrier plates of a wiring board, the recesses be introduced that then these recesses are lined with a first metal layer, and with the exception The required line patterns are generated on the two surfaces of the finished wiring board from the metallizations of the carrier plates in a manner known per se, that then the carrier plates are glued together, preferably with an insulating film in between, that after - 15 109820/1673' - 15 109820/1673 ' - 15 - U 81/67- 15 - U 81/67 fernen von Kleberresten in den Ausnehmungen und gegebenenfalls der die Ausnehmungen durchsetzenden Isollerstoffolienteile eine zweite Metallisierung der durchgehenden Ausnehmungen durchgeführt wird und daß schließlich die benötigten Leitungsmuster auf den Oberflächen der Verdrahtungsplatte hergestellt werden.remove adhesive residues in the recesses and, if necessary the Isollerstoffolienteilteile penetrating the recesses a second metallization of the through recesses is carried out and that finally the required Wiring patterns on the surfaces of the wiring board getting produced. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem gemeinsamen Einbringen der Ausnehmungen in allen Trägerplatten das Leiterbild auf einer der Oberflächen der Verdrahtungsplatte aufgebracht wird.2. The method according to claim 1, characterized in that before the common introduction of the recesses in all Carrier plates the conductor pattern is applied to one of the surfaces of the wiring board. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet« daß die Trägerplatten mit beidseitiger Metallisierung zur Erleichterung der Herstellung der Verdrahtungsplatten über ihre Sollplattengröße hinausragende Teile aufweisen, daß in diese Teile Führungsöffnungen eingebracht, ζ. Β· eingestanzt,werden, daß die Platten zur gemeinsamen Herstellung der Ausnehmungen und/oder beim Verkleben mit diesen Öffnungen in Führungsstifte eingeführt sind und daß die überstehenden Teile nach dem Verkleben entfernt werden. 3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that « that the carrier plates with double-sided metallization to facilitate the production of the wiring boards have parts protruding beyond their nominal plate size that guide openings are made in these parts, ζ. Β · punched, that the plates for the common production of the recesses and / or when gluing with them Openings are inserted in guide pins and that the protruding parts are removed after gluing. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß4. The method according to claim 3, characterized in that - 16 109820/1673 - 16 109820/1673 - 16 - U 81/67- 16 - U 81/67 auch in den Filmnegativen "bzw. den Drucksieben für Herstellung der Leitungsmuster entsprechende Führungsöffnungen vorzugsweise gemeinsam mit den Führungsöffnungen in den Trägerplatten eingebracht, z. B. eingestanzt, werden und daß für die Herstellung der Leitungsmuster eine Trägerplatte und ein Filmnegativ bzw. ein Drucksieb mit diesen Führungsöffnungen in Führungsstifte eingeführt werden.also in the film negatives "or the printing screens for production the line pattern corresponding guide openings preferably together with the guide openings in the Carrier plates introduced, z. B. punched, and that a carrier plate for the production of the line pattern and a film negative or a printing screen having these guide holes is inserted into guide pins. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4·, dadurch gekennzeichnet, daß der Kleber durch Hitzeeinwirkung ausgehärtet wird.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that that the adhesive is hardened by the action of heat. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß als Kleber Araldit verwendet wird.6. The method according to any one of claims 1 to 5 »characterized in that that araldite is used as an adhesive. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zum Entfernen der Kleberreste und gegebenenfalls von Isolierstoffolienteilen aus den als Bohrungen ausgebildeten Ausnehmungen ein zweiter Bohrvorgang mit einem gegenüber dem ersten Bohrvorgang etwas kleineren Bohrerdurchmesser durchgeführt wird.7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that that to remove the adhesive residue and possibly from Isolierstoffolientteile from the as holes formed recesses a second drilling process with a slightly smaller drill diameter compared to the first drilling process is carried out. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7 t dadurch gekennzeichnet, daß die die Ausnehmungen auskleidende Metall-8. The method according to any one of claims 1 to 7 t, characterized in that that the metal lining the recesses - 17 -- 17 - 109820/1673109820/1673 - 17 - U 81/67- 17 - U 81/67 schicht durch stromloses Verkupfern und durch elektrolytisches Nachverkupfern erzeugt wird.layer is generated by electroless copper plating and by electrolytic post-copper plating. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitungszüge auf den Oberflächen mit einem Zinnbelag versehen werden.9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that that the cable runs are provided with a tin coating on the surfaces. 10. Vorrichtung zum Einbringen der Fübrungsöffnungen in die Trägerplatten und gegebenenfalls in die Filmnegative oder Drucksiebe nach Anspruch 3 und 4·, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Platten, insbesondere Stahlplatten, mit Fübrungsstiften in der einen und entsprechende öffnungen in der anderen Platte übereinander angeordnet sind, zwischen die die mit Führungsöffnungen zu versehenden Trägerplatten usw. eingeklemmt werden, daß diese Platten an den Stellen, an denen die Führungsöffnungen an den Trägerplatten usw. anzubringen sind, Offnungen aufweisen, und daß ein Stempel10. Device for introducing the guide openings in the carrier plates and optionally in the film negatives or printing screens according to claims 3 and 4, characterized in, that two plates, in particular steel plates, with guide pins in one and corresponding openings in the other plate are arranged one above the other, between which the carrier plates to be provided with guide openings etc. are clamped so that these plates at the points where the guide openings on the carrier plates etc. are to be attached, have openings, and that a stamp zum Einbringen der Führungsöffnungen vorge#ehen ist, der durch diese öffnungen durchgepreßt wird.for introducing the guide openings is provided, the is pressed through these openings. 11« Vorrichtung zum Verkleben der mit Führungsöffnungen versehenen Trägerplatten nach Anspruch 3* dadurch gekennzeichnet, daß eine Vorrichtung gemäß Anspruch 10 verwendet wird, bei der anstelle der öffnungen in der einen Platte Führungeetifte für die Aufnahmeöffnungen der Trägerplatten vorgesehen sind·11 «Device for gluing the guide openings provided carrier plates according to claim 3 *, characterized in that a device according to claim 10 is used is, in which instead of the openings in one plate guide pins are provided for the mounting openings of the carrier plates 109820/1673109820/1673 LeerseiteBlank page
DE19671690274 1967-06-28 1967-06-28 Process for the production of wiring boards with more than two line levels (multilayer circuit boards) Pending DE1690274A1 (en)

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