DE1573668A1 - Piezoelektrischer Druckgeber und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Description

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4)ipl.In£.Iir,I)r.h".ο. Hans IrIST, Graz (üsterreich)

Pi-esoelektrisoher Druckgeber und Verfahren zu seiner Herstellung

Die Erfindung bezieht- sich-"auf einen piezoelektrischen [Druckgeber mit einem innerhalb des G-ebergehäuses von einer Vbrspannhülse eingeschlossenen Piesoelement und einer clem Heßdrucic ausgesetaten Heiiibrane_? die an der Yorspannhülse anliegt uni ".ac Innere des G-ebergehäuses gegen die Drucknießstelle hin abaichtet«

Bei. einer bekannten Ausführung .eines solchen. Druckgebers_; die in der deutschen Auslegeschrift 1 904--·780 beschrieben ist, bildet eine scheibenförmige Membrane die der Meßstelle zugewendete abschließende Stirnfläche des Druckgebers. Die Membrane ist sowohl am stirnseitigen Eingrand des G-ebergehäuses als auch an dem als Druckstempel dienenden Boden der Torspannhülse durch Schweißung befestigt. Im Bereich des Hingspaltes zwischen G-ebergehäuse und Tor spannhülse ist" die Membrane mit einer ein-

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springenden ringförmigen Sicke versehen. Biese Ausführung v/eist jedoch sowohl fertigungstechnische als auch funktionelIe Nachteile auf» So ist es insbesondere bei Druckte hem siit Wasserkühlung kleiner und kleinster AbHiessiiiiger._y wie sie s.E. , bei der. Druckmessung in den Zylindern einer iireiinkraftra-'aschine verwendet werden, außerordentlich schwierig, einwandfreie, dichte Schweißnähte an der I-Ieaibrane zu ersielen» I^ie I-Iembrane muß auch mit einer größeren Wandstärke ausgeführt, werden, &J.B dies ihrem Zweck als abdichtend^ ur.d dreiickubeirtriigendea Element entspricht. Die dadurch verminderte Elastizität tier Membrane v/irkt sich jedoch ungünstig auf die Charakteristik des Druckgebers aus. Im allgemein en besteht; nämlich das .Bestreben» einen möglichst linearen Verlauf der Charakteristik des LrUCigebers zu erhalt en« Diese Linearität der Gebercharakte^istii·: geht jedoch durch den Einfluß einer v/en-ig flexiblen.Heabra.ne verloren» nachteilig wirken sie?-: mich durch den Schweifs vor gang verursachte innere .Spannungen der I-IeEibrane auf aas ^eSergebrris aus» Die bekannte Ausführung xs-ydaher für eine v/irtschaftlichcöerienerzeugungj die^: gleichbleibende BigenSchäften οία Ilennv/erte des Produktes voraussetzt, kaum geeignet. 3in weiterer Nachteil des bekannten Druckgebers besteht Ir. der exponierten Anordnung der_vl'iesibrane,- die somit unraittelbe.r der «Gefahr vor.. Zieschädigungen ausgesetzt ist.

Bekannt sind ferner Ausführungen,, bei denen eine ringförmige Membrane den liingspalt awiachen Gebergeiiäiise und Stempel überbrückt. Hiebei bereitet die Abdichtung des CJehäiise inner en gegenüber der Meßstelle häufig erhebliche Schwierigkeiten. Eine

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einwandfreie Abdichtung ist aber unbedingt anzustreben, um das Piezoeleraent vor dem Eindringen von i'euchtiskeit, Verbrennungsgas, en u.dgl. wirksam au schützen... Bei JDruckgeberii .mit Ringmembrane ist überdies die Gefahr eines unbeabsichtigten Verspannens und einer dadurch, bedingtezi Deformation der Kemb'rane bei deren Eontage besonders groß.

Die Erfindung bezweckt eine Verbesserung der bekannten Ausführungen piezoelektrischer Druckgeber sowohl in funktionellßr als auch in fertiguiigsteclinischer Hinsicht. Dieses Zielwird erfindungsgeK-äiS durch, eine zusätzliche vorzugsweise zylindrische Hülse mit einem dünnwandigen, mit der Hülse au3 einem Stück bestehenden Boden erreicht, v/elcher die Ilembrane bildet und welcher an e'er unteren Stirnfläche der Vorspannhülse anliegt, wobei vorzugsweise die Innenfläche der liembrane mit einer in die Innenwand der Hülse einspringer.der. Ausrundung' in den Schaft der Hülse übergeht, Durch ^Λ ic-se -Ausbildung erhält die Kenibrane eine Randversteifung, welche sie vor Verspaunuiigen und Deformstionen bei der montage f.-chützt. ler in Verhältnis zur lienbrrm^ einr große Y/anärv*.rke £uiv/ei"?:ile Schaft der Hülse ist ohneweitei?s in der Lage, die-bein Einpressen oder An- ■ "■ schv/eißen der Hülse auftretender. .Ic::*?ge- oder Üchv.^rei.iepaiuivjiger. vreitgeheiid aufnunelunen und von der .Ie~cr?.iie abzuhalten. I-Iitfels-. der Hülse liiix sich aber auch die j-e^^ritvorspaiinuiig der Piezoelemente nit großer-^ Genauigkeit -einsT^lle:;. 'J±e G-ec:.L-.t\"orspaniiiuig eingibt sich n^ür-lich -:urc·. '-->litive überlagerung -ier anfLtnglichen Torspannung .!es i'"'_zoele;;i:ttes lurch uie Tors^-nT--hülae und dt,. _.ruches, den ..lie au ier 7or?p .;:*:h"ll;5e i£.i'i'::i

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Andruck dex¹ Membrane an der Vor spannhülse ist nötig, um bei der Messung von Unterdrücken ein Abheben der Membrane von der Vorspannhülse und damit eine Verfälschung des Meßergebnisses su vermeiden. Da sich dieser Anteil an der Gesamtvorspannung des Pie ζ ο element es -durch entsprechende Maßtoleranzen der Hülse-, sowie andere nachstehend näher beschriebene Maßnahmen verändern bzw. einstellen läßt, ist es ohneweiters möglich, bei der Serienerzeugung von Druckgebern die vorgesehene, Gesamtvorspannimg einheitlich einzuhalten. Durch die erfindungsgemäße

Ausbildung wird überdies die Montage des Druckgebers bedeutend vereinfacht und die Gefahr einer Beschädigung' der Membrane beim Einpressen oder Anschweißen derselben wesentlich verringert. Die Kembrane kann überdies in einer geschützten Lage im Inneren des Gebergehäuses angeordnet werden, z.B. bei einer Ausführung, bei der der Schaft der Hüle der Heßstelle zugewendet ist.

Bei Ausführung der Membrane mit einer Ausrundung ist überdies die für die Druckübertragung von der ließstelle auf das Sebereleisent verfügbare wirksame Membranfläche bei sonst gleichen Abmessungen wesentlich vergrößert, was sieh in einer Steigerung der Meßempfindlichkeit des Druckgebers günstig auswirkt. Man erreicht außerdem eine höhere lebensdauer der Membrane, da diese infolge der Ausrundung auch eine größere Standzeit besitzt.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann'die Standzeit der Ilenbrane noch wesentlich dadurch gesteigert ■werden, daß man die Ausrundung mit hoc?iglanzpolierter Oberflache ausführt. Man beseitigt dadurch schädliche Kerb-

Wirkungen auch durch kleinste 0berflächenunebenheiten, wie

±Liefen u.dgl. ,von der vorangegangenen Bearbeitung im Bereich der Ausrundung. Es hat sich gezeigt,· daß eine derart ausgebildete Membrane ein Vielfaches der mit üblichen Membranen bisher erreichbaren Iiastwechs elanzahl en erträgt.

In Anwendtmg der Erfindung auf geschweißte Druckgeber wird weiters ein Herstellungsverfahren angegeben, das erfindungsgemäß darin besteht, daß die Hülse mit einem ihre freie ringförmige Stirnfläche begrenzenden Stützflansch, dieser mit einer Ringnut hergestellt und das Gebergehäuse an der der Meßstelle zugekehrten ringförmigen Stirnfläche mit einem der Ringnut entsprechenden erhabenen Zentrierrand versehen wird, worauf die Hülse mit der Ri&iut auf den Zentrierrand des G-ebergehäuses aufgesetzt, mit dem Gebergehäuse zwischen den Elektroden eines ¥iderstandsschweißgerätes verschweißt wird, wobei die Vorspannung des Piezoelementes gemessen und der Schweißvorgang bei Erreichen eines vorgegebenen Sollwertes der Vorspannung beendet, wird und anschließend die Hülse durch Abdrehen des Stützflansohes auf Eertigmaß bearbeitet wird. Dieses Verfahren erweist sich für die serienmäßige Herstellung von Druckgebern in mehrfacher Hinsicht als vorteilhaft. So erübrigt sich die Anordnung eigener Zentrierelemente, wie Zwischenringe od.dgl. beim Zusammenbau des Druckgebers und der" Schweißvorgang wird zugleich erheblich vereinfacht. Da wegen der relativ'kleinen Übergangsquerschnitte im Bereich des Zentrierrandes eine hohe"Strömdichte an der Schweißstelle erzielbar ist,, ergibt sich-eine einwandfreie Beschaffeuhedt der

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Schweißnaht. Die Membrane selbst erfährt hingegen während des Schweißvorganges nur eine mäßige Erwärmung, sodaß eine Deformation durch \/ärne spannungen weitgehend vermieden ist. Die Elastizität der Membrane wird durch die Schweißung nicht beein trächtigt, da die Schweißnaht nicht an der Membrane selbst sondern an der Stirnseite der Hülse liegt. Die ständige Überwachung der Vorspannung des Piezoelementes während des· Schweiß vorganges, vorzugsweise auf elektronischem Wege durch direkte Ladungsines sung, und die selbsttätige Beendigung des Schweißvor ganges gewährleisten "die Einhaltung der vorgegebenen Sollwerte der Vorspannung sowie annähernd gleicher Charakteristiken bei der serienmäßigen Herstellung von Druckgebern.

Bei flüssigkeitsgekühlten piezoelektrischen Druckgebern der eingangs erwähnten Art ist es bekannt, zwischen Gebergehäuse rind Torspannhülse einen Ringraum vorzusehen, der durch zwei diametral gegenüberliegende, axial verlaufende Wülste einer in den Hingraum eingesetzten Leithülse zweigeteilt ist und wobei einer der beiden Ringraum-Seile mit einem Zulaufstutzen und der andere mit einem AId lauf stutzen für das Kühlmittel': in Verbindung s'teht. In diesem Ealle ist die Membrane als eine Ringscheibe ausgebildet und der Bodenteil der Vorspannhülse durchsetzt die Membrane in ihrem Mittelteil. Im Bereich des von der Membrane abgeschlossenen Gehäuseinneren ist der Bodenteil der Vorspannhülse mit senkrecht zur Geberachse verlaufenden Durchgangsböhrungen versehen, welche die beiden genannten Ringraum-Ieile miteinander verbinden und so einen Übertritt des Kühlmittels von einem Ringraum-Teil zum

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■ anderen über den zu kühlenden Bodenteil der Vorspannhülse be-■I - " - ■

^; Werkstelligen. Diese Ausführung hat den !lacht eil einer verhältnismäßig großen Masse der Vorspannhülse, was deren Eigenfrequenz in unliebsamer V/eise herabsetzt. Außerdem ist die doppelte Abdichtung der . Hingmaaibrane verhältnismäßig schwierig.

Die für eine weitgehende Temperaturunabhängigkeit des Gebers erforderliche Kühlung des Bodenteils der Vorspannhülse läßt sich nun bei einem Geber der genannten Bauart in weiterer Ausgestaltung der Erfindung dadurch erzielen, daß bei diesem in an sich bekannter Weis© zwischen Gebergehäuse und Vorspannhülse ein Eingratun vorgesehen ist, der'durch zwei diametral gegenüberliegende etwa'axial verlaufende Leisten od.dgl. Abschiußelemente in zwei gleiche üingraumteile geteilt ist, von üenen einer mit' einem Zulaufstutsen, der andere mit einen Ablaufstutzen für das Kühlmittel in Verbindung steht. Der f.r. <inr ICernbrane anliegende Boden der Vorspannhülse weist zur llembr?ne hin offene Kanäle auf, welche die beiden Ringraun-l'eile'miteinander verbinüen. Vadurch ergibt sich nicht nur eine äußerst wirksame Kühlung tttid einfache Herstellung, sondern es ka:ir_ r-uch- die Ilasse der Vorspannhülse, da keine■'-durchgehender. Bohrungen iaehr vorhanden sind, auf eir. Hiiidestraaß herabgesetzt werden, wodurch sich die Eigenfrequenz ir. solchei* Weise erhöht, daß sie keinen störenden Einfluß bei deY-IIessung mehr ausübt. "■ \

;Hähere Einzelheiten der Erfindung gehen aus der nach- .'

folgenden ^epchre-lbimg von Ausfüiirunssbeispielen'en Hand^ier ' Seicimxuig irervor. Ss zeigen: Pi^. 1 eine Au^;öführungsförn des

Druckgebers gsnäS der Erfindtmg in geschvfeiSter Bauweise und

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Fig. 2 eine andere Ausführungsform deserfindungsgemäßen Druckgebers, beide Darstellungen im Axialschnitt, Pig.3 zeigt ein Detail der Ausführungsform gemäß Pig. 1 und Fig. 4 ein Detail des Ausführungsbeispieles gemäß Fig. 2, beide in vergrößerter SclmittdarStellung. Fig. 5 zeigt einen'piezoelektrischen Druckgeber gemäß einer weiteren Ausführung nach der Erfindung im Axial schnitt, Fig. 6 in~einem Teilschnitt nach der Linie YI-Yt in Fig; 5 und Fig. 7 im Schnitt nach der Linie VII-VII in Fig. 6.

Uei sämtlichen Ausführungen ist das Geberelement 3 zentrisch innerhalb des G-ebergehäuses 1 angeordnet, dessen zylindrischer Schaft 2 mit -einem Außengewinde zum .Einschrauben des l;ruci:gebers in eine Aufnahmebohrung versehen ist. Las Üeberelement 3 enthält innerhalb einer Vorspannl'ülse 4. das Piezoeleirent, beicpielsweisf; Schichtquarze, samt den augehörigen Lle;:trcd<"-r.. Die z.3. als Rohrfeder ausgebildete Vorspannhülse 4 hat -:'-ie aufgäbe, in an sich bekannter ■ Uei se die au'ch "bei eirLW?Hdfreie:r. Jchliff der Schichtquarse auftretende Spaltfederung an den lerührungsflachen vcn ochiclvtq.ui-.rz und Elektroden aiiszuschalten und einen annähernd linearen Verlauf der Charakteristik des Piezoelementes zu gevrährleisten. An der der ileßstelle abgev/endeten Seite des Gehäuses 1 lauft das C'eborelement 3 in eiil-Ansc} lußstück 6 aus.

Lei der gcschv/eißten Ausführung des Druclrgebers gemäß Fig. 1 ist die der .leßstelle zugewandte Stirnseite des Gotergehäuses 1 durch eine stumpf angeschweißte irr. wesentlic:ien zylindrische Hülse 7 verschlossen, deren dünnv/s.r_diger iioaen 3

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eine an der Stirnflache der Vorspannhülse 4 federnd anliegende Membrane bildet.

Die liier ebene Innenfläche 9 der Membrane geht mit einer in die Innenwand 10 der Hülse einspringenden Ausrundung 11 in den Schaft der Hülse 7 über. Zur Vermeidung von feinsten Kerben, die eine vorzeitige Zerstörung der Membrane hervorrufen könnten, ist die Oberfläche der Ausrundung 11 hochglanzpoliert ausgeführt. Die Hülse 7 umgibt ein Druckring 14, welcher auf der der Meßstelle zugewandten Seite des Gebergehäuses 1 aufgepreßt ist. Der Druckring 14 stützt sich rrit seiner Stirnfläche abdichtend in der Aufnahmebohrung der ließstelle ab» .Bei ausgebautem Druckgeber schützt .er die Ilembrane ■ vor Beschädigungen.

Der Druckgeber gemäß Mg. 2 und 4, bei dem die zylindrische Hülse nit 7* und die mit dem ersteren Ausführungsbeispiel gleichartigen Teile derselben »lit 8¹ bis 11' bezeichnet sind, unterscheidet sich von der Ausführung nach I?ig. 1 und 3 hauptsächlich durch die Anordnung und Befestigungsweise der Hülse 7¹ am Gebergehäuse. Das Geberelement 3 befindet sich innerhalb des Gebergehäuses 1 in einem hohlzylindrischen Einsatz 15, · dessen eine ringförmige Stirnfläche an der Schulter 5 des Geberelementes 3 anliegt. Die andere der Meßstelle zugekehrte . ringförmige Stirnfläche des Einsatzes 15 liegt mit der Stirnfläche der Vorspannhülse 4 in einer Ebene. Die Hülse 7' ist mit ihrer Öffnung der Meßstelle zugekehrt in das Gebergehäuse 1 eingesetzt, wobei ihr Boden 8 V an der Vorspannhülse 4 und der

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4- "li.'.u.irii'.-oi-i^-

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jijen Stirnfläche ue:; LiiiGatiscj 15 anxiejfc. Xa uie öffnung der Hülse 7' i^t eino axial aurcribohrut/ uil^:zxOrmi,i;e Jxaope 1u .,it ihrem zylindrisch en" uciicft 17 eingepreßt, i/ie'-Kappe 1υ !jtiitzt 'sich mix ihre..· Abaatz au de-.· jjtirnöei jigen iuingf lache' uea Crebei%"eLäuseü 1 ab und fixiert ua^ic dia .uug de:.¹ liülfjo. 7' iiü'Cfeii."iiöe 1. ß±c jjrucljbeuaicOül^oiu.o d-jr i,O:au find et bei "dieaer ^uöi'i'dix'Ui'-j 3o..:it aurch ai^'.wiiaiüo^i-uiitj d kappe T υ ■i'-'Cü'ct, "'■■■■■ ,

Lu ir8bejj'^ek.-uae T siüd ua die Vurcp keitcr'IuLio 1^. L.as₀eüoari:, u.io bei iei^ .^u der i·i^j. 1 bi^ 4 'iber siiuCorcciieiido Aiiric iCüiiilxlÜGSi^cei'C -versorgt ',/

1'¹Ur die _o*eschveiiji;e

i^vig. 1 und 5 iäm vor"ceilL..x"tei'^;.#'ei.je d-.ö nacfirj bene Herstellungsverfovureii geKiili-3 dor xJrfindun^ angewendet werden. Vor dem - Zusammenbau vreist uie ^dIse 7 an inrer freien · rin^x'orai^en otirnfiiicjie eine Lingiiut V2 'Una. aas 'ieoergeiiiAise an aer der i-ießsteile su^ekei.rten rii^rürnii^er- otii-nx'lLLche eirrea der ilingnut 12 ents^recxienden' eriiaberieri Zen'crierre.xia 20 auf (ji'ig. 2) ._; Die 'Hülse 7 ist überdies, wie durcii strioLlierte Linien angedeutet, an iiirem Unfsing mix einer/. utützflaiiscL versehen." Die Hülse 7 wird nun mit iiirer Üingnut 12 auf den Zentrierrahd -20--des GebergeL-.useu 1 aufgesetzi;.

Diese beiden !ieile werden nun zwischen die Elektroden ' eines wieäerstandoscliweiiger .tes gebrucht, wobei ßicL die ilälie 7 mit ihrem otützxlansch i3 und das G-eber_o"ehiluse 1 min seiner utirnflilcne ^e an einer der beiden Llelctroden

beschrie

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Während des nachfolgenden [ichw^eißvorganges üben die Elektroden auf die zu verschreibenden feile einen axialen Druck aus. Die Hitze konzentriert sich auf den Bereich des Zentrierranaes 20, da dort infolge der querschnittsver jungung die höchste stromdichte■■ vorhanden ist. Xm weiteren Verlauf der öcliweißung lcoimnt der joden 6 der Hülse 7 mit der Utirnflaiche der Vorspannhülse 4 in Berührung und übt auf diese einen zunehmenden axialen 'Druck aus. Das in der-'Vorspannhülse 4 eingeschlossene Piezoelement erhält daher eine zunehmende zusätzliche Vorspannung durch die Membrane. Die uesaratvorspannung des Piezoeiementes wird hiebei laufend gearessen. und der Schweißvorgang in dem Augenblick beendet, in dem der vorgegebene Sollwert der Vorspannung erreicht v/ird. Dies ii^in vor^ugov/oise aelbsttätig auf elektronischem "v.ege ^ejcLeiieii, indem die -oadung des Piezocleuenfces geiatsjen und bei 'Jrroiciien-des der bollvorspanniui_Q -ent'e'prtchenden 'nerteb iit otrouEufuiir zu ueu Elektroden des \r*iderst uidsachvieiiigei^ltei unterbroche.il vriru.

-.ac:. erfolgter vJcir./eiiaun-ti wiri'dii, Luise 7 iurcl. zudrehen dev dtHtw^l-.iijches 13 auf Je^ti^i^i bearbeiteu."

Bei dtr Jeberausfülirunt=; ncc:. iij. ό bi.: 7 sind der tuitere Teil des viebereleuientes 5, insbeson xtre aie Vort'janiii^ülse 4, von einen iiinji-uu^ 1ö uageben, der von; xlülilr.ittel ■ durcLströmt' ist und su diese::. Jweck einerseits ::;iw' einea juiluiSstuüsen 21 ium andererseits ui"c eine-: ALl-uX.:mutzen 22 in Verbindung steht. Der iiin^rauia Io ist- durci: s;vei ^iaEietral gegenüberliegende Leisten. 2p in zv/ei gleiche 2eile geteilt, von denen

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einer mit dem genannten Zulaufstutzen 21 und der andere mit dem Ablaufstutzen 22 in Verbindung steht. Die Leisten 23, die bis knapp an die Vorspannhülse 4 heranreichen, können vorteilhaft in das Gebergehäuse 1 eingeklebt oder eingelötet sein. Im Bodenteil 4' der Vorspannhülse 4 sind zur Membrane hin offene Kanäle 24 vorgesehen, welche die beiden durch die Leisten 25 gebildeten Teilräume des iiingraumes 18 miteinander verbinden und vom Kühlmittel mit relativ hoher Geschwindigkeit durchströmt werden. Dadurch ist eine sehr gute Kühlung des. iBodenteiles 4' der Vorspannhülse 4 und der Membrane b erzielt, wodurch eine weitgehende Temperaturunabhängigkeit des J-ebers eraielt ist. Die offenen Kanäle 24' sind außerdem sehr leicht herstellbar und benötigen nur eine geringe Stärke dec Bodenteiles 4¹ der Vorspannhülse 4, codaß die Massen klein und damit die Eigenfrequenz des Gebers hoch gehalten werden kann. ua. die viembrane 8 ständig rait Vorspannung an dem Bodenteil 4' der Vorspannliülse 4 anliegt, ist ein ständiger Abschluß der Kanäle 24 in ld.ch.tung der Geberachse durck die /lembrane 6 gewährleistet.

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Claims (1)

1. E a t e g t a a s ρ r ü c h. e ;

   lc PiezoelektrischerDruckgeber mit einem innerhalb des \re/berr gehäuses von einer_: Vor spannhülse eingeschlossenen Piesoelemenb -und einer, dem Meßdruck ausgesetzten Membrane-, die an der Vorspannhülse anwiest und das Innere des Creberge* häuaes gegen die DruclaneiAel^Le hin abdichtet, g e ke η η ** ze i c Ii η e t d u r cn eine zusätzliche vorzugsweise zylindrische Hiilse (7,7') mit einem dünnwandigen, mit der Hülse aus einem Stück bestehenden Boden (8,8'),. welcher die Heinbrane bildet und welcher an der unteren Stirnfläche der · Vorspaiinhülse, (4) anliegt, wobei vorzugsweise die" Innenfläche (9i9') der i-iembrane' mit einer in die■ Innem/aiid (10,10* el ei·'Hülse. (.7>7^!) eiiiapringenden Ausrundung (11,11')" in den jjchaft der iKilse (7,7¹I übergeht·.

   2, Piesoelektrisclier Druckgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausrundung (11,11') eine hochglanzpolierte OberflUehG ailfweiat.

   3.- Vericihren zur. Herstellung eines piezoelektrischen üruckge- " bers nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß . die Hülse (7) mit einem ihre freie ringförmige Stirnfläche, begrenzenden otützflansch (13), dieser mit einer Hingnut (12) hergestellt und das ü-ebergehäuse (1) an der der Heßstelle zugekehrten ringförmigen Stirnfläche mit einem der Ringnut (12) entsprechenden erhabenen Zentrierrad (2Q) versehen wird, worauf die Hülse (7) mit der Hingnut (12) auf den Zentrier^ rand (20) des G-ebergehäuses (1) aufgesetzt, mit dem Greberge-

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   hause awischen den Llelrtrodeh eines Uiderstandsschweißgerütes verschweißt wird, wobei die Vorspannung des Pieaoe lern ent es (5) gemessen und' der aehweißvargang bei Erreichen eines vorgegebenen Sollwertes der Vorspannung beendet wird und a.n.s.chließend die Hülse (7) durch Abdrehen des ütutariansches (13) auf ^ertigniaß bearbeitet v/ird.

   4. Piezoelektrischer Iiruck_o'eber nach Ansprueii 1 oder-2, dao.urch ^eiceiinaeichi.et, daß in an aich bekanrit-er weise zwischen G-eber^ehäuse (1) und'Vorspannhülse (4)- ein iiin^raun (1o) - vorgesehen iat, der durch zwei diametral ^e^enüberlie^enae, etwa axial verlaufende Leisten (23) od.dgl. Abschlußeleuente in zwei gleiche liingraumteile geteilt ist, von denen einer mit einem Zulauf stutzen (21), der andere-mit einer/i Ablauf-

   stutzen. (22) für das Kühlmittel in Verbindung steht, ana dais der an der iienibrahe (υ) anliegende ijoden (4¹) aer Vorspannhülse zur Membrane hin offene Kanäle (24) aufweist, welche

   -die beiden ilingraum-Teile- miteinander verbinden.

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