DE1564513A1

DE1564513A1 - Method and device for the vacuum-tight closing of a duct

Info

Publication number: DE1564513A1
Application number: DE19661564513
Authority: DE
Inventors: Karl-Heinz Boettcher
Original assignee: Philips Patentverwaltung GmbH
Current assignee: Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Priority date: 1966-12-17
Filing date: 1966-12-17
Publication date: 1970-01-08
Also published as: DE1564513B2; JPS4931717B1; GB1161020A; NL6716845A; SE321726B

Description

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AnmslcLr: Philips Patentverwaltung GmbH. . - Aktei PHD- 965AnmslcLr: Philips Patentverwaltung GmbH. . - PHD- 965 file

Anmeldung voaf 16.Dezember 1966Registration from December 16, 1966

Philips PatentVerwaltung GmbH., Hamburg 1, Mönckebergstr,Philips PatentVerwaltung GmbH., Hamburg 1, Mönckebergstr,

"Verfahren und Vorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Durchführung""Method and device for vacuum-tight sealing of a bushing"

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Durchführung, die aus einem durch ein Metallröhrchen geführten Metalldraht besteht. Solche Durchführungen werden häufig bei 'elektrischen Bauelementen verwendet.The invention relates to a method and a device for vacuum-tight closing of a passage which consists of a metal wire passed through a metal tube. Such bushings are often used in 'electrical Components used.

Es war bereits bekannt, solche Durchführungen durch Weichoder Hartlöten vakuumdicht zu verschließen. Lötungen haben jedoch den Nachteil, teuer zu sein und das Material, in das die Durchführung eingesetzt ist, normalerweise Glas, thermisch so zu beanspruchen, daß Risse und Sprünge und damit Undichtigkeiten auftreten können. Werden die Lötungen wegen des zuletzt genannten Nachteils mit geringerer Wärmeenergie -durchgeführt, so besteht die Gefahr, daß sie nicht vakuumdicht werden.It was already known that such bushings were made by Weichoder Brazing to close vacuum-tight. Have soldering however, the disadvantage of being expensive and the material in which the bushing is inserted is usually glass, to be thermally stressed in such a way that cracks and fissures and thus leaks can occur. Will the soldering Because of the last-mentioned disadvantage, carried out with less thermal energy, there is a risk that it will not become vacuum-tight.

Es v/ar weiter bekannt, Durchführungen der genannten Art durch Zusammenquetschen oder Einschnüren des Metallrohrchens zu verschließen..Ein so hergestellter Verschluß ist jedoch nur selten vakuumdicht, da das normalerweise aus ITi-Fe bestehende Röhrchen nach dem Zusammenpressen wieder etwas auffedert, während der durch das Röhrchen geführte, normalerweise aus Kupfer bestehende Draht seine Form beibehält. Durch das Auffedern des Röhrchens bildet sich zwischen ihm und dem Draht ein feiner Spalt, der gasdurchlässig ist,It is also known, bushings of the type mentioned by squeezing or constricting the metal tube to close .. A closure made in this way is only rarely vacuum-tight, because that is normally the case ITi-Fe springs up the existing tube a little after being compressed, while the one that is guided through the tube wire usually made of copper will retain its shape. When the tube springs open, it forms between it and the wire there is a fine gap that is permeable to gas,

(EV-2105) 909882/0960 _ _(EV-2105) 909882/0960 _ _

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die genannten Nachteile der bekannten Verfahren zum Verschließen einer •Durchführung, die aus einem durch ein Met allröhr chen geführten Metalldraht besteht, zu beseitigen.The invention is based on the stated disadvantages of the known methods for closing a • Execution from a tube led through a metal tube Metal wire is made to eliminate.

Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß das Metallröhrchen eingeschnürt und danach der Draht so in das Röhrchen gestaucht wird, daß sich der Draht am Ende des Röhrchens bis über den ursprünglichen Innendurchmesser des Röhrchens hinaus verdickt.The invention is characterized in that the metal tube is constricted and then the wire so into the Tube is compressed so that the wire at the end of the tube extends beyond the original inner diameter thickened out of the tube.

Vorzugsweise wird der Draht so in das Röhrchen gestaucht, daß es durch das Drahtmaterial bauchig aufgetrieben wird.The wire is preferably compressed into the tube in such a way that it is bulged out by the wire material.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird das Verfahren mit einer Vorrichtung durchgeführt, die aus zwei Paar Backen besteht, von denen das erste Paar das Röhrchen einschnürt und das zweite Paar" den Metalldraht erfaßt und in das Röhrchen staucht.According to a further embodiment of the invention, the method is carried out with a device that consists of two There is a pair of jaws, of which the first pair constricts the tube and the second pair grips the metal wire and compresses into the tube.

Vorzugsweise weist das erste Backenpaar eine bauchige Ausnehmung auf, die zwischen dem die Einschnürung des Röhrchens erzeugenden Teil der Backen und dem- dem zweiten Backenpaar zugewandten Rand der Backen liegt, und die die durch das Hineinstauchen des Drahtes in das Röhrchen hervorgerufene Ausbauchung des Röhrchens begrenzt.The first pair of jaws preferably has a bulbous recess between which the constriction of the tube generating part of the jaws and the edge of the jaws facing the second pair of jaws, and the through the Immersing the wire into the tube caused bulging of the tube is limited.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand der beigefügten Zeichnungen an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.The invention is explained in more detail below with reference to the accompanying drawings using an exemplary embodiment.

Es zeigen:Show it:

5M.g. 1 eine noch zu verschließende, aus einem durch ein Metallröhrchen geführten Metalldraht bestehende Durchführung,5M.g. 1 one to be closed, from one through one Metal tube guided metal wire existing bushing,

Pig. 2 und 3 zwei Schritte des Verfahrens zum vakuumdichten Verschließen der in Pig. 1 dargestellten Durchführung,Pig. 2 and 3 two steps of the process for vacuum sealing Locking the in Pig. 1 implementation shown,

Fig. 4 die vakuumdicht verschlossene Durchführung und Pig. 5 eine Einzelheit der Verschließvorrichtung.4 shows the vacuum-tight bushing and Pig. 5 shows a detail of the closing device.

909882/0960 * _ ₃ _909882/0960 * _ ₃ _

1 zeigt im Schnitt eine Durchführung, wie sie häufig "bei elektrischen Bauelementen verwendet wird, deren Innenraum vakuumdicht von der Umgebung abgeschlossen werden muß. Sie Durchführung besteht a.us einem nur teilweise dargestellten, mit dem Bauelement oder seinem Gehäuse verbundenen, aus einem isolierenden Material, wie zum Beispiel GrIaB oder Keramik, bestehenden Körper 1, in den auf nicht zur Erfindung gehörige Weise ein Röhrehen 2 eingeschmolzen oder eingelötet ist· ^urch das vorzugsweise aus einer Nickel-Eisen-Legierung bestehende Röhrchen, das zum Beispiel' einen Innendurchmesser von'1_e5 mm aufweist, ist ein aus Kupfer bestehender Draht mit einem Außendurchmesser von ζ·Β. 1,2 mm geführt.1 shows in section a bushing as it is often used in electrical components, the interior of which must be sealed off from the environment in a vacuum-tight manner , such as, for example, GrIaB or ceramic, existing body 1, in which a row of tubes 2 is melted or soldered in a manner not belonging to the invention '1 _e 5 mm, a wire made of copper with an outer diameter of ζ · Β 1.2 mm is guided.

Die in 3Pig· 1 gezeigte durchführung wird dadurch vakuumdicht verschlossen, daß das lietallröhrchen 2 eingeschnürt und danach der Draht 5 so in das Röhrchen gestaucht wird, daß sich der Draht am "^nde des Röhrcheiis bis über den ursprünglichen InnendiiroiiiEessez' des Röhrcliens hinaus verdickte The bushing shown in 3Pig · 1 thereby becomes vacuum-tight closed so that the lietallröhrchen 2 constricted and then the wire 5 is compressed into the tube that the wire thickened at the end of the tube beyond the original inner diirocyte of the tube

beiden Stufen des Verschlie;Bverfahrens₅ nämlich Einschnüren des fiöhrchens und Stauchen öes Drahtes ₉ ainä susesanen mit den wesentlichen Seilen der "Vorrichtung zu ihrer Durchführung in den Figo 2 und 3 dargestellt«,two stages of the closing process ₅ namely constriction of the small tube and upsetting of the wire ₉ ainä susesanen with the essential ropes of the "device for its implementation shown in FIGS. 2 and 3 ",

Bie Fig· 2 zeigt ein erstes Baekenpaar 4* weiche© das Röhrchen 2 und ein zweites Baekenpaar 0$ welches den Draht 3 erfaßt. Beide Backenpaare sind mit Ausnehmungen, versehen, die so ausgebildet sind, daß das erste B?ckenpaar 4» wenn es das Röhrchen 2 umfaßt, dieses bis auf einen ^>urehmesser einschnürt, der gleich dem -ourcninesser des unverformten Drahtes 3, oder etwas geringer ist«, Die zweiten. Backen 5 sind mit Ausnehmungen versehen, die den Draht 3 so stramm erfassen, daß er, wenn im nächsten Verfahrensschritt die zweiten Backen 5 nach unten gegen die ersten Backen 4 bewegt werden, den Draht 3 mitgenommen, und in das Röhrchen gestaucht wird. Die ersten Backen 4 sind oberhalb ihres die Einschnürung des Röhrchens und des Drahtes bewirkendenFIG. 2 shows a first pair of blades 4 * soft © the tube 2 and a second pair of blades 0 $ which grips the wire 3. Both pairs of jaws are provided with recesses, which are designed in such a way that the first pair of jaws 4 "when it encompasses the tube 2, constricts it except for a knife that is equal to the curcninesser of the undeformed wire 3, or slightly less is «, the second. Jaws 5 are provided with recesses which grasp the wire 3 so tightly that when the second jaws 5 are moved downwards against the first jaws 4 in the next process step, the wire 3 is carried along and compressed into the tube. The first jaws 4 are above their causing the constriction of the tube and the wire

909882/0960 _BAD O909882/0960 _B AD O

Teiles mit einer etwa tonnenförmigen Ausnehmung versehen, die es dem in das Röhrchen durch die Abwärtsbewegung der zweiten Backen hineingestauchten Draht gestattet» das Röhrchen bauchig aufzutreiben und sich bis über den ursprünglichen Innendurchmesser des Röhrchens hinaus zu * verdicken.Part provided with an approximately barrel-shaped recess, which allows the wire compressed into the tube by the downward movement of the second jaws to do so Tubes bulging and expanding beyond the original inner diameter of the tube * thicken.

Die fertig verschlossene Durchführung ist in Fig. 4 im Schnitt gezeigt. Diesem Schnittbild läßt sich entnehmen, daß das verformte Röhrchen 2, das etwas elastischer ist als der Draht 3, über eine verhältnismäßig lange Strecke fest an dem Draht anliegt und praktisch kalt mit ihm verschweißt ist.The completely closed implementation is shown in FIG Section shown. It can be seen from this sectional view that the deformed tube 2, which is somewhat more elastic than the wire 3, lies firmly against the wire over a relatively long distance and is practically cold with it is welded.

Versuche haben gezeigt, daß so hergestellte Durchführungen eine höhere Dichtigkeit als 10~ Torr 1/sec. aufweisen. Sie gestatten es zudem, den Draht 3 oberhalb der Verschlußstelle mehrfach abzubiegen, ohne daß dadurch die Vakuumdichtigkeit des Verschlusses beeinträchtigt wird. Dies ist wahrscheinlich darauf zurückzuführen, daß sich bei dem Verfahren nach der Erfindung der gestauchte Draht auch oberhalb des -^ndes des Röhrchens verbreitert und besonders intensiv mit dem Röhrchenende verfließt.Tests have shown that bushings produced in this way have a tightness greater than 10 ~ Torr 1 / sec. exhibit. They also allow the wire 3 to be bent several times above the closure point without compromising the vacuum tightness the closure is impaired. This is probably due to the fact that the method according to the invention, the compressed wire is also widened and above the end of the tube flows particularly intensely with the end of the tube.

Die Pig. 5 zeigt im vergrösserten Maßstab die Ausbildung des ersten Backenpaares 4 und eine Vorderansicht und eine Draufsicht der rechten Backe. Wie die l'igur 1, ebenso wie die ^'ig. 2 und 3 erkennen läßt, lassen sich bei der Ausnehmung drei Abschnitte 6,7 und 8 unterscheiden. Der Abschnitt 8 hat einen Durchmesser, der praktisch gleich dem Außendurchmesser des unverformten Röhrchens 2 ist. Der mittlere Abschnitt 7 hat einen Durchmesser, der gleich oder kleiner ist, als der Durchmesser des unverformten Drahtes 3 und schnürt Draht und Röhrchen beim Zusammenführen der beiden Backen eng ein. Der dritte Abschnitt 6 ist etwa tonnenförmig ausgebildet und hat einen maximalen Durchmesser, äer gröi3er ist, vorzugsweise um den Faktor 1,2, als der Außendurchmesser des unverformten Röhrchens Z. Er gestattet es, dem nach unten gestauchten Draht 3 dr-s r.chrchen, wie in den Jig. 2 bis 4 ^ezei£t, br.uchi:-· c-.v.fzutreiber..The Pig. 5 shows, on an enlarged scale, the design of the first pair of jaws 4 and a front view and a top view the right cheek. Like the l'igur 1, just like the ^ 'ig. 2 and 3 can be seen in the recess distinguish between three sections 6, 7 and 8. The section 8 has a diameter which is practically equal to the outer diameter of the undeformed tube 2 is. The middle section 7 has a diameter that is equal to or smaller is than the diameter of the undeformed wire 3 and cords wire and tube when the two are brought together Bake tight. The third section 6 is roughly barrel-shaped formed and has a maximum diameter, outer diameter is larger, preferably by a factor of 1.2, than the outer diameter of the undeformed tube Z. It allows the downwardly compressed wire 3 dr-s r.chrchen, as in the Jig. 2 to 4 ^ ezei £ t, br.uchi: - · c-.v.fzutreiber ..

BAD ORIGiNALORIGINAL BATHROOM

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Claims

1.) A method for the vacuum-tight closing of a bushing which consists of a metal wire guided through a metal tube, preferably for electrical components, characterized in that the metal tube is constricted and then the wire is compressed into the tube so that the wire is at the - ^ The end of the tube is thickened beyond the original inner diameter of the tube.

2. The method according to claim 1, characterized in that the wire is compressed into the tube that the tube is bulged by the wire material.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the metal tube consists of thinly nickel-plated nickel-iron and the metal wire of silver-plated copper.

ο Device for carrying out the method according to claim 1 or 3, characterized by two pairs of jaws, of which the first pair constricts the tube and the second pair grasps the metal wire and compresses it into the tube.

5 «Device according to claim 4 for carrying out the method according to claim 2, characterized in that the first pair of jaws has a bulbous recess, -that lies between the part of the jaws producing the constriction of the tube and the edge of the jaws facing the second pair of jaws, and which limits the bulging of the tube caused by the wire plunging into the tube.

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