DE1564310A1 - Electron gun - Google Patents

Electron gun

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DE1564310A1
DE1564310A1 DE19661564310 DE1564310A DE1564310A1 DE 1564310 A1 DE1564310 A1 DE 1564310A1 DE 19661564310 DE19661564310 DE 19661564310 DE 1564310 A DE1564310 A DE 1564310A DE 1564310 A1 DE1564310 A1 DE 1564310A1
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axis
cooling block
filament
heat
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DE19661564310
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Jones Derrick A
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3M Co
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Minnesota Mining and Manufacturing Co
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    • H01J3/02Electron guns
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Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

M 199*1M 199 * 1

Minnesota Mining and Manufacturing Company, Saint Paul, Minnesota 55 101 ♦ V.St.A. Minnesota Mining and Manufacturing Company, Saint Paul, Minnesota 55 101 ♦ V.St.A.

ElektronenstrahlerzeugerElectron gun

Die Erfindung bezieht sich auf Verbesserungen bei Elektronenstrahlerzeuger^ The invention relates to improvements in electron guns

Mit der Erfindung soll ein Elektronenstrahlerzeuger geschaffen werden, der einen neuartigen massiven Kühlblock und eine vereinfachte Lagerung des Heizdrahtes und des Gitters hat· Ferner soll ein Elektronenstrahlerzeuger geschaffen werden, dessen Heizdraht eine längere Ve rwendung s dau e r au fwe ist.With the invention, an electron gun is to be created that has a new type of massive cooling block and has a simplified storage of the heating wire and the grid · Furthermore, an electron gun be created, the heating wire of which is a longer period of use s.

Die bekannten Elektronenstrahlerzeuger, Elektronenschleudern oder Elektronenspritzen weisen einen Heizdraht, ein Gitter und eine Anode auf, die durch eine Lagerhaltung gegenseitig axial fluchtend angeordnet und in einem Gehäuse eingeschlossen sind, das luftleer gepumpt werdenThe well-known electron guns, electron guns or electron syringes have a heating wire, a grid and an anode, which are kept by storage are mutually axially aligned and enclosed in a housing that are evacuated by pump

kann»can"

909042/08909042/08

kann. Die Beziehung zwischen diesen Einzelteilen und insbesondere die Art und Weise, in der diese felinzelt-eile gegenseitig inner alb des Gehäuses angeordnet sind, ist bei allen bekannten Elektronenschleudern so ausgeführt, daß sich die Elektronenemissionseigrmschnften beim Aufwärmen der Elektronenschleuder ändern. Diese Änderung in den Strahlungseigenschf;±"ten wird ;iurch die Wärme ausdehnung unu Wärine zusammenziehung der verschiedenen Einzelteile der Elektronenschleuder verursaciit. Insbesondere wird eine derartige Änderung durch die Lagerung hervorgerufen, die bisher verwendet wurde, um den Heizfaden und das Gitter in der Elektronenschleuder aufzustellen.can. The relationship between these individual parts and, in particular, the way in which these individual parts hurry are mutually arranged inside the housing, is designed in all known electron spinners in such a way that that the electron emission levels collided change when the electron gun warms up. This change in the radiation properties is caused by the Heat expansion and contraction of the various Individual parts of the electron gun cause. In particular, such a change is made possible by the Storage that was previously used to hold the filament and the grid in the electron gun to set up.

Mit der Erfindung werden die meisten Schwierigkeiten, die durch die Wäreeausdehnung und -zusammenziehung bisher entstanden, behoben. Die Erfindung schafft eine El ektronensc.nl euder, in der eine vorherbestimmte und gleichförmige Beziehung zwischen der Elektronenab^cabeflache und der Gitteröffnung aufrechterhalten wird.With the invention most of the difficulties those caused by expansion and contraction previously created, fixed. The invention creates an El ektronensc.nl euder in which a predetermined and uniform relationship between the electron surface area and the grid opening is maintained.

Der erfindungsgemäße Elektronenstrahlerzeuger mit axial fluchtendem Heizfaden, Gitter und Anode kennzeichnetThe electron gun according to the invention with axially aligned filament, grid and anode

a) durch einen Wärme senkblock oder Kühlblock aus zwei Halbteilen, die aus einem festen, wärmebeständigen,a) by a heat sink block or cooling block made of two Half-parts made of a solid, heat-resistant,

elektrischelectric

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BAD OFBGiNALBAD OFBGiNAL

elektrisch, leitfähigen Material bestehen und die an ihren vorderen Endabschnitten auf der Fluch.tungsach.se des Gerätes aneinanderliegen, wobei jeder Halbteil eine Kühleinrichtung aufweist und zwischen den beiden HaIbtjeilen eine ununterbrochene Schicht aus einem festen, wärmebeständigen, elektrisch nicht leitfähigen Material vorhanden ist;electrically conductive material and the their front end sections on the Fluch.tungsach.se of the device lie against one another, each half part having a cooling device and between the two halves an uninterrupted layer of a solid, heat-resistant, electrically non-conductive material is available;

b) durch einen festen, wärmebestiindigen, elektrisch leitfähigen Anodenträger mit einem in seiner Mitte vorhandenen Durchlaß;b) by a solid, i Heat-resistant indigenous electrically conductive anode support with an existing passage in its center;

e) durch einen festen, wärmebeständigen, elektrisch nicht le:> tfälixTen Abstandsring, der in seiner Mitte einen Durchlaß hat und der sowohl den Anodenträger im Abstand zum Kühlblock hält als auch den Durchlaß des Anodenträgers mit der Fluchtungsachse axial ausrichtet;e) by a solid, heat-resistant, electrically non-le:> Fixed spacer ring that is in its center has a passage and both the anode support in Keeps a distance from the cooling block and also axially aligns the passage of the anode support with the alignment axis;

d) durch einen Heizfaden mit einem Scheitelabschnitt und zwei Schenkelabschnitten, von denen jeder Schenkel mit einem anderen. Halbteil elektrisch verbunden und der Scheitelabschnitt mit der Fluchtungsachse ausgerichtet ist;d) through a filament with a crown portion and two leg portions, each leg of which with someone else. Half part electrically connected and the Apex portion is aligned with the alignment axis;

e) durch einen Gitteraufbau mit einem Gitter, das in seinem Mittelabschnitt eine Öffnung oder Bohrung hat und das nahe dem Heizfaden quer zur Geräteachse angeordnet e) by a grid structure with a grid which has an opening or bore in its central portion and that arranged near the filament transversely to the device axis

ordnet ist, so daß diese Bohrung oder Öffnung koaxial mit der Achse des Elektronenstrahlerzeugers verläuft, wobei der Gitteraufbau ferner einen Gitterträger aufweist, der aus dem Kühlblock ragt, um das Gitter einzustellen und das Gitter mit einer elektrischen Spannung zu verbinden, undis arranged so that this bore or opening is coaxial runs with the axis of the electron gun, the lattice structure also having a lattice girder, which protrudes from the cooling block to adjust the grid and the grid with an electrical voltage to connect, and

f) durch eine Anode, die dem Anodenträger zugeordnet ist und koaxial mit der Achse des Elektronenstrahlerzeugers verläuft.f) by an anode which is assigned to the anode support and is coaxial with the axis of the electron gun.

Die Erfindung ist nachstehend an. Hand der Zeichnungen beschrieben· In den Zeichnungen istThe invention is below. Hand of the drawings · In the drawings is

Fig. 1 eine auseinander gezogene schaubildliche Teilansicht einer Ausführung des klektronenstrahlerzeu— gers;1 is an exploded perspective partial view of an embodiment of the klektronenstrahlerzeu— gers;

Fig. 2 eine Draufsicht nach Linie 2-2 der Fig.1FIG. 2 is a plan view along line 2-2 of FIG

Fig. 3 ein senkrechter Schnitt nach Linie 3-3 der Fig. 2;Fig. 3 is a vertical section along line 3-3 of Fig. 2;

Fig. 4 eine Ansicht nach Linie 4-4 der Fig. 1;Figure 4 is a view taken along line 4-4 of Figure 1;

Fig. 5 ein vergrößerter Querschnitt nach Linie 5-5 der Fig.3;FIG. 5 is an enlarged cross-section along line 5-5 of FIG. 3;

Fig. 6 ein vergrößerter senkrechter Schnitt nach Linie 6-6 der Fig. 4, wobei einige Kantenteile weggebro— chen sind;6 is an enlarged vertical section along line 6-6 of FIG. 4, with some edge portions broken away. chen are;

Fig. 7 ein vergrößerter senkrechter Schnitt nach Linie 7-7 der Fig. 2, wobei einige Kantenteile weggebrochen sind;Fig. 7 is an enlarged vertical section along line 7-7 of Fig. 2, with some edge portions broken away are;

Fig« 8 eine auseinander gezogene Ansicht der flaüeÄa^sfüiirürig;;Fig. 8 is an exploded view of the flaüeÄa ^ sfüiirig ;;

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

Flg. 9 eine Abänderung· der Mittelzone von Fig. 4;Flg. 9 shows a modification of the central zone of FIG. 4;

Fig.10 ein vergrößerter senkrechter Schnitt nach Linie 10-10 der Fig. 9 und10 is an enlarged vertical section according to Line 10-10 of Figs. 9 and

Fig. 11 ist ein vergrößerter senkrechter Schnitt des Mittelabschnittes des Heizfadenmantels oder der Heizfadenhülle.Fig. 11 is an enlarged vertical section the central portion of the filament jacket or filament sheath.

Der in den Fig. 1 bis 8 dargestellte Elektronenstrahlerzeuger weist drei Hauptteile aufl Einen Wärmesenkblock Oder Kühlblock 14, einen Anodenträger 15 und einen Abstandsring 13»The electron gun shown in Figs has three main parts: a heat sink block Or cooling block 14, an anode support 15 and a spacer ring 13 »

Der Wärme senkblock oder Hohlblock 14 besteht aus den beiden Halbteilen 14 A und 14 B und einer ununterbrochenen Schicht 16 aus festen, wärmebeständigen, elektrisch, nicht leitfähigen Material (Fig. 6). Die Schicht 16 ±st vorzugsweise möglichst dünn. Jeder Halbteil i4a und i4b besteht aus einem festen, wärmebeständigen, elektrisch leitfähigen Material» z.B. aus Metall od.dgl., vorzugsweise aus Aluminium. Die Halbteile i4a und i4B sind mit Kühleinrichtungen versehen.The heat sink block or hollow block 14 consists of the two half-parts 14 A and 14 B and one uninterrupted Layer 16 of solid, heat-resistant, electrical, non-conductive material (Fig. 6). Layer 16 ± st preferably as thin as possible. Each half part i4a and i4b consists of a solid, heat-resistant, electrically conductive material such as metal or the like, preferably made of aluminium. The half parts i4a and i4B are with Provide cooling facilities.

In der in den Fig« 1 bis 8 dargestellten Ausführung erfolgt das Kühlen (Fig. 3) durch Luftkühlung unter Verwendung von radial gerichteten, axial auf Abstand stehenden, parallel verlaufenden Rippen 17 für den Halbteil 14aIn the embodiment shown in FIGS. 1 to 8 takes place cooling (Fig. 3) by air cooling using radially directed, axially spaced apart, parallel ribs 17 for the half part 14a

undand

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und Rippen 18 für den Halbteil 14 B. Anstatt mit Luft können die Halbteile i4a und 14B auch mit Flüssigkeit gekühlt werden, die über zweckdienliche, in dem Kühlblock 14 vorhandene Durchlässe (nicht dargestellt) in Umlauf gebracht wird.and ribs 18 for the half part 14 B. Instead of with air the half parts i4a and 14B can also be filled with liquid are cooled via appropriate passages (not shown) in the cooling block 14 in FIG Is circulated.

Die Halbteile i4a und i4b sind so ausgeführt, daii ihre vorderen Endabschnitte 82 bzw. 83 auf der Fluchtungsachse 19 des Elektronenstrahlerzeugers 10 aneinander liegen« Bei der dargestellten Ausführung fällt zwar die Mitte oder Achse der Halbteile i4a und i4b mit der Fluchtungsachse 19 des Gerätes 10 zusammen, es ist jedoch nur notwendig, daß die Halbteile i4a und 14B in dichter Berührung miteinander an einer einzigen Stelle 21 stehen, die sich auf der Achse 19 ui vorderer. Ende des Kühlblockes 14 befindet· Vorzugsweise fällt die Mittelachse des Kühlblockes 14 mit der Fluchtungsachse des Gerätes an der Stelle 21 zusammen·The half parts i4a and i4b are designed so that their front end portions 82 and 83 on the alignment axis 19 of the electron gun 10 to one another lie «In the embodiment shown, the center or axis of the half parts i4a and i4b coincides with the Alignment axis 19 of the device 10 together, however, it is only necessary that the half parts i4a and 14B in closer Contact each other at a single point 21, which is on the axis 19 ui front. End of the cooling block 14 is · Preferably, the central axis of the cooling block 14 coincides with the alignment axis of the device at position 21 together

Die Schicht 16 kann aus einem üblichen festen, wärmebeständigen, elektrisch nicht leitenden Material bestehen. Sind die Halbteile i4a und i4B aus Metall, z.B· aus Aluminium, dann werden die Oberflächenteile des Aluminiums eloxiert, so daß auf jedem Halbteil i4a und 14B eine Schicht 22 bzw. 23 aus Aluminiumoxyd vorhanden ist.· Eine derartige eloxierte Schicht hat sehr gute dielektrische Eigenschaften und ist eine gute Sperr-The layer 16 can be made of a conventional solid, heat-resistant, consist of electrically non-conductive material. If the half parts i4a and i4B are made of metal, e.g. made of aluminum, then the surface parts of the aluminum are anodized so that i4a and 14B a layer 22 or 23 of aluminum oxide is present. · Such an anodized layer has very good dielectric properties and is a good barrier

s chi ch ts chi t

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BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

schicht für den elektrischen Strom. Ζλν-ischen den Schichten 22 und 23 kann eine Schicht 24 aus Epoxyhar» zur Vervollständigung der Schicht i6 eingesetzt werden» Diese Schicht 24 dient nicht nur als eine zusätzliche, nicht leitfähige Sperrschicht zwischen den Halbteilen i4a und i4b, sondern klebt auch <li« Halbteile i4a und i4B zusammen und verbindet diese Teile miteinander, so daß mit dieser Ausführung ein Kühlblock 14 geschaffen ist, der ein monolithartiges Gefüge hat. Ja nach der Art der Ausführung können die Halbteile i4a und 14B durch eine vorzugsweise nicht leitfähige Klemmvorrichtung (nicht dargestellt) miteinander verbunden werden.layer for the electric current. For layers 22 and 23, a layer 24 of epoxy resin "can be used to complete layer i6". This layer 24 not only serves as an additional, non-conductive barrier layer between half-parts i4a and i4b, but also sticks <li "half-parts i4a and i4B together and connects these parts to one another, so that with this embodiment a cooling block 14 is created which has a monolith-like structure. Depending on the type of design, the half parts i4a and 14B can be connected to one another by a preferably non-conductive clamping device (not shown).

In einem Abstand von der Schicht 16 ist in jedem Halbteil i4a und i4b der dargestellten Ausführung je ein Kanal 26 bzw. 27 angeordnet. Die Kanäle 26 und 27 sind so gelagert, daß eine durch die !iitte der Kanäle verlaufende angenommene Linie die Achse 19 des Ge-. ates 10 schneidet. Ks ist nur ein einziger Kanal in dem einen oder in dem anderen Halbteil i4a oder i4B notwendig« Xn der dargestellten Ausführung sind zwei Kanäle vorhanden, mti das nachstehend noch beschriebene Einmitten zu erleichtern.At a distance from the layer 16, in each half part i4a and i4b of the embodiment shown, a respective channel 26 or 27 is arranged. The channels 26 and 27 are mounted in such a way that an assumed line running through the middle of the channels marks the axis 19 of the frame. ates 10 cuts. Only a single channel is necessary in one or the other half-part 14a or 14B. In the embodiment shown, there are two channels to facilitate the centering described below.

Der Anodenträger 15 besteht aus einem festen,, wärme— The anode support 15 consists of a solid "heat"

BADBATH

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beständigen, elektrisch leitfähigen Material, z.B· Metall od.dgl., vorzugsweise Aluminium. Der dargestellte Anodenträger 15 hat einen Durchlaß 28, der den Anodenträger in Längsrichtung und in der Mitte durchsetzt. Der Durchlaß 28 fluchtet koaxial mit der Achse 19. Bei der dargestellten Ausführung hat der Anodenträger 15 einen mit dem Träger aus einem Stück bestehenden Fußteil 29, aus dem nach hinten eine auf dem Umfang gelegene, in Umfangsrichtung sich erstreckende Abstandshülse 30 ragt.. Mit dem Fußteil 29 aus einem Stück besteht auch ein nach hinten ragendes Tragrohr 32» das die Wände des Durchlasses 28 bUrtet. Bei der dargestellten Ausführung weist das Tragrohr 32 auf seiner Innenwand einen Gfe-Windeabsciinitt 33 auf· In der Abstandshiilse 30 ist eine Bohrung oder eine Öffnung 34 vorhanden, so daß die zwisehen Hülse 30 und Rohr 32 Vorhandene Köaa&er36 mit■— tels einer Vakuuiöptjmpe (nicht dargesteilt) leäüöfit■ ■ Jlijtft»*- leer gewacht worden kann, wenn das Gerät; 10 «ss?&e"iten ^tyResistant, electrically conductive material, e.g. metal Or the like., Preferably aluminum. The anode support 15 shown has a passage 28 through which the anode support interspersed lengthways and in the middle. The passage 28 is coaxially aligned with the axis 19. In the illustrated Execution, the anode carrier 15 has a foot part 29 consisting of one piece with the carrier, from which to the rear a spacer sleeve 30 located on the circumference and extending in the circumferential direction protrudes .. With The foot part 29 is made of one piece and there is also a rearwardly projecting support tube 32 which forms the walls of the passage 28 bUrtet. In the embodiment shown the support tube 32 has a Gfe-Windeabsciinitt on its inner wall 33 on · In the spacer sleeve 30 is a Bore or opening 34 present so that the between sleeve 30 and tube 32 Existing Köaa & er36 with ■ - by means of a vacuum opening (not shown) leäüöfit ■ ■ Jlijtft »* - can be woken up empty when the device; 10 «ss? & E" iten ^ ty

gen MatteJ*Lal beöUehettde -A^s^anAs^iai^ "13 tett #itt* Ma*te!bohrung 37«gen MatteJ * Lal beöUehettde -A ^ s ^ anAs ^ iai ^ "13 tett # itt * Ma * te! bore 37 «

BAD QFUGINALBAD QFUGINAL

der Achse 19 des Gerätes 10 aus. Die hintere Fläche 38 • des Abstandsringes 13 hat eine Ausnehmung zur Aufnahme der vorderen Abschnitte der Halbteile i4a und i4b» Der Abstandsring 13 hat in seiner vorderen Fläche 4i eine auf dem "Umfang vorhandene Schulter 39 zur Aufnahme der Ab s t andshülse 30.the axis 19 of the device 10. The rear surface 38 • the spacer ring 13 has a recess for receiving of the front sections of the half-parts i4a and i4b »The Spacer ring 13 has a in its front surface 4i on the "circumference existing shoulder 39 to accommodate the Ab stand 30.

In der dargestellten Ausführung sind die Halbteile i4a und i4B, die Schicht 16, der Abstandsring 13 und der Anodenträger 15 aus einem für Gas undurchlässigen Material. Zur Aufrechterhaltlang eines gasdichten Zustandes zwischen dem Abstandsring 13 und dem angrenzenden Kühl— block 14 bzw· dem Anodeaträter 15 ist der Kühlblock 14 und die gegenüberstehende Fläche des Anodenträgers 15 je mit einer Ringnut 42 bzw« 43 versehen, in denen zweckmässig dimensionierte Dichtringe 44 bzw. 45 eingesetzt sind. Bei zusammengesetztem Gerät 10 könne also während des Arbeitens der Kühlblock 14, der Abstandsring 13 und der Anodenträger 15 der Außenluft ausgesetzt werden.In the embodiment shown, the half parts are i4a and i4B, layer 16, spacer ring 13 and the Anode support 15 made of a material impermeable to gas. To maintain a gas-tight state between the spacer ring 13 and the adjoining cooling block 14 or the anode filter 15 is the cooling block 14 and the opposite surface of the anode support 15 each provided with an annular groove 42 or 43, in which it is expedient dimensioned sealing rings 44 and 45 are used. When the device 10 is assembled, it is possible during of working the cooling block 14, the spacer ring 13 and the anode support 15 are exposed to the outside air.

Der Anodenträger 15 ist in üblicher ¥eise gasdicht mit einem Rohrteil oder Rohr 74 verbunden, das zu einem anderen Ausiüetungsteil (nicht dargestellt) gehört. Mit einem Dichtring 75 wird eine gasdichte Verbindung zwi-The anode support 15 is conventionally connected in a gas-tight manner to a pipe part or pipe 74, which becomes a other equipment part (not shown) belongs. With a sealing ring 75 is a gas-tight connection between

«r tischen dem Rohr 74 und dem Anodenträger 15 hergestellt. « R tables the tube 74 and the anode carrier 15 produced.

SinSin

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Ein von dem Gerät 10 erzeugter Elektronenstrahl kann also über das Rohr 74 zu einer Zielfläche geleitet werden. Die Kammer 36 wird beim Arbeiten des Gerätes TO mittels einer Vakuumpumpe (nicht dargestellt) luftleer gemacht, die an die in dem Anodenträger vorhandene Öffnung oder Bohrung 34 angeschlossen wird.An electron beam generated by the device 10 can thus be directed to a target surface via the tube 74 will. The chamber 36 is when the device TO evacuated by means of a vacuum pump (not shown), which is attached to the existing in the anode support Opening or bore 34 is connected.

In fluchtende Bohrungen 7*> und 78 oder in fluchtende Bohrungspaare 7° und 78 im Kühlblock 14 bzw» im Abstandsring 13 wird eine Schraubenbolzen-Gewindemutter-Verbindung (nicht dargestellt) eingesetzt, um den Abstandsring 13 mit dem Kühlblock 14 zu verbinden. Der Anodenträger 15 kann in gleicher Vieise mit dem Abstandsring durch eine Schraubenbolzenverbinclun,:·; (nicht dnrge<teilt) verbunden werden, wobei Bohrungen oder Bohrungspp.are 88 verwendet werden, die von den im Abstandsring 13 vorhandenen Bohrungen 78 um 90 ¥inicelgr?rde auf Abstand stehen.In aligned bores 7 *> and 78 or in aligned Hole pairs 7 ° and 78 in the cooling block 14 or »in the spacer ring 13, a bolt and nut connection (not shown) is inserted around the spacer ring 13 to connect to the cooling block 14. The anode support 15 can in the same way with the spacer ring by a screw bolt connection: ·; (not dnrge <divides) connected, with holes or drilling parts 88 are used, those of the existing in the spacer ring 13 Holes 78 spaced 90 ¥ inch apart stand.

Ein haarnadelähnlicher Heizaraht 47 mit einem Scheitel-49 und zwei vom Scheitel ausgehenden Schenkeln 48 liegt quer über das vordere Ende des Kühlblocks 14, wobei der eine Schenkel 48 mit dem Halbteil 14A und der andere Schenkel mit dem Halbteil 14B verbunden ist. Zur Be-A hairpin-like heating stitch 47 with a parting 49 and two legs 48 extending from the apex across the front end of the cooling block 14, one leg 48 with the half part 14A and the other Leg is connected to the half part 14B. For loading

festigung sind in den Halbteilen i4a und 14B Bohrunr^n vorhanden, dif i'x. ^rit sprechenden Schenkel 48 des Heiz—Fixing are in the half parts 14a and 14B Bohrunr ^ n present, dif i'x. ^ rit speaking leg 48 of the heating—

fadens 47thread 47

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fadens 47 (Fig. 7) aufneJiinen. Zum Festlegen der Stellung des Heizfadens 47 in bezug auf den Kühlblock i4 sind in den Halbteilen 14A und 14B zwei diametral entgegengesetzte j radial gerichtete Bohrungen 51 bzw, 52 vorhanden» Jede Boltnmg 51 und 52 steht mit einem Schenkel 48 des Heizfadens 47 in «Verbindung. Wenn Stopfen 53 in die Bohrungen 51 bzw. 52 eingesetzt und dann gegen die Schenkel 48 mit Madenpckrauhen 54 gedruckt werden, dann TiercJen die Schenkel. 48 gegen die Vfnnxi des zugehwenden Hailbteils 14A bzw. i4b geklemmt, so daß auf thread 47 (Fig. 7). To set the position of filament 47 with respect to cooling block i4 in the half parts 14A and 14B two diametrically opposed j radially directed bores 51 or 52 available » Each bolt 51 and 52 has one leg 48 of the filament 47 in «connection. When plug 53 inserted into the bores 51 and 52 and then against the legs 48 are printed with maggot roughening 54, then animals' thighs. 48 clamped against the Vfnnxi of the facing Hailbteils 14A or i4b, so that on

lfeise der Heizdraht 47 im Kühl block festgehalten wird. l the heating wire 47 is held firmly in the cooling block.

ir Sch<?iibel 49 des Heizfadens 47 fluchte* mit der Achse tS^ äes Seirätes 10. Die Schenkel 48 sind elektrisch mit eimern :Ha3übefceil 1i4a bzw. 14B verbunden* Der Heizfaden kann miss jjse<3:eitt dFür diesen Zweck geeigneten Material ^»B. aus ^o^lfraim ^Draht oder Band), oder* aus einemir plate 49 of the filament 47 is aligned with the axis tS ^ äes Seirätes 10. The legs 48 are electrically connected with buckets : Ha3übefceil 1i4a or 14B * The filament can be miss jjse <3: any material suitable for this purpose ^ »B. from ^ o ^ lfraim ^ wire or ribbon), or * from a

.der iSeJtziaäen ^ in ;<teJi iEffiiMiÄOfe ik: .der iSeJtziaänen ^ in; <teJi iEffiiMiÄOfe ik:

sie dicht an der Fluchtungsachse 19 des Gerätes 10 und nahe dem Gitter 16 liegt. Diese ebene Fläche steht senkrecht zu der Fluchtungsachse 19 und steht auch senkrecht zur Öffnung 57 des Gitters 56. Ein derartig abgeflachter oder wölbungsfreier Heizdraht 47 (Fig. 10) wird in den bevorzugten Ausführungen verwendet, Ein mit einem abgeflachten oder wölbungsfreien Scheitel 49 versehener Heizdraht 47 konzentriert in den Elektro— nenschleudern 10 und 10' die Emission der Elektronen aus der Scheitelzone 49 des Heizdrahtes.it is close to the alignment axis 19 of the device 10 and close to the grid 16. This flat surface stands perpendicular to the alignment axis 19 and stands also perpendicular to the opening 57 of the grille 56. A Such a flattened or warp-free heating wire 47 (Fig. 10) is used in the preferred embodiments, one with a flattened or domed apex 49 provided heating wire 47 concentrated in the electrical nenschlutern 10 and 10 'the emission of electrons from the apex zone 49 of the heating wire.

Ein scheifaenähnliches Gitter 5b, das aus einem auf diesem Gebiete bekannten, geeigneten Material, z.B. aus rostfreiem Stahl, besteht, hat bei der in den Fig. 1 bis 8 dargestellten Ausführung in seinem Mittelabschnitt 58 eine die Mitte durchsetzende Öffnung 57· Der Mittelabschnitt 58 ist dünner als der angrenzende Umfangsabschnitt *A scheifaenähnliches grating 5b known from one in the art and suitable material such as stainless steel, there has, in the illustrated in FIGS. 1 to 8 run in its central portion 58 a, the center opening passing through the central portion 58 is 57 · thinner than the adjoining circumferential section *


In Draufsicht hat das Gitter 56 eine elliptische Form und ist nahe den entgegengesetzten End.ab schnitt en seiner Längsachse 61 mit zwei Bohrungen 62 versehen, von denen jede Bohrung auf der Längsachse 61 liegt. Die Öffnung 57 durchsetzt die Mitte des Gitters 56 und liegt daher ebenfalls auf der Längsachse 61. In jeder Bohrung 62 befindet sich ein Stift (Fig. 8). Über jedem Stift 63 liegt eine Hülse 64.

In plan view, the grid 56 has an elliptical shape and is provided with two bores 62 near the opposite end of its longitudinal axis 61, each bore lying on the longitudinal axis 61. The opening 57 penetrates the center of the grating 56 and therefore also lies on the longitudinal axis 61. A pin is located in each bore 62 (FIG. 8). A sleeve 64 lies over each pin 63.

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Beim Zusammensetzen des. Gerätes 10 wird jeder Stift 63 und jede zugehörende Hülse 64 in je einen Kanal 26 und 27 eingeschoben und mit einem aus Epoxyharz od.dgl· bestehenden Kitt 85 eingekittet. Eine Lehre (nicht dargestellt) hält die Stifte 63 und die Htilsen 64 beim Einkitten an ihren Stellen.As the device 10 is assembled, each pin 63 becomes and each associated sleeve 64 is pushed into a respective channel 26 and 27 and is covered with one made of epoxy resin or the like Putty 85 cemented in. A jig (not shown) holds the pins 63 and the sleeves 64 during cementing in their places.

Jeder Stift 63 wird vor seinem Einkitten mit einem leitfähigen Draht 71 verbunden, der so lang ist, daß er den zugehörenden Kanal, z.B. den Kanal 26 durchsetzt und aus dem Kanal 26 ragt, so daß ein elektrischer Anschluß hergestellt werden kann. Gitter 56, Stifte 63 und Draht 71 bestehen aus elektrisch leitfähigem Material. Die Hülsen 64 und der Kitt 85 bestehen aus einem elektrisch nicht leitfähigen Material oder aus Isoliermaterial«Before being cemented in, each pin 63 is connected to a conductive wire 71 which is so long that it penetrates the associated channel, for example the channel 26 and protrudes from the channel 26, so that an electrical Connection can be established. Grid 56, Pins 63 and wire 71 are made of electrically conductive material. The sleeves 64 and the putty 85 are made made of an electrically non-conductive material or of insulating material «

Nachdem die Hülsen 64 und die Stifte 63 richtig an ihren Stellen angebracht worden sind, wird der vorstehende Abschnitt jedes Stiftes 63 in Richtung des Durchmessers durchbohrt, um zwei parallel gerichtete Bohrungen 67 und 08 zu schaffen, die die Stifte in Querrichtung durchsetzen. In jedem Stift 63 befindet sich eine Bohrung 68. Nach, dem Aufschieben des Gitters 56 über die vorstehenden Enden der Stifte 63 fluchten die Bohrungen 68 mit den entsprechenden Bohrungen 67 im Gitter 56 r so daß das Gitter 56 in einem richtigen Abstand vonAfter the sleeves 64 and pins 63 have been properly installed in place, the protruding portion of each pin 63 is pierced in the direction of the diameter to create two parallel bores 67 and 08 which pass through the pins in the transverse direction. In each pin 63 there is a bore 68. After sliding the grid 56 over the protruding ends of the pins 63, the bores 68 are aligned with the corresponding bores 67 in the grid 56 r so that the grid 56 is at a correct distance from

demto the

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dem Heizdraht 47 und dem Kühlblock 14 gehalten wird. Das Gitter 56 wira in der gewünschten feststehenden Stellung auf den vorstehenden Enden der Stifte 63 von einem Draht 69 gehalten, dessen entgegengesetzte Endabschnitte so gebogen sina, daß sie die Bohrungen 68 und 67 durchsetzen und auf diese Weise das Gitter in der gewünschten Raumstellung halten. Der Mittelabschnitt des Drahtes 69 kann in dem zusammgesetzten Gerät 10 an benachbarten Abschnitten des Abstandsringes 13 anliegen, so daß der Abstnndsring 13 ein Herausfallen des Drahtes 59 aus den Bohrungen 67 und 68 verhindert. the heating wire 47 and the cooling block 14 is held. The grid 56 wira in the desired fixed Position on the protruding ends of the pins 63 held by a wire 69, the opposite of which End sections are bent so that they penetrate the bores 68 and 67 and in this way the grid hold in the desired room position. The central portion of the wire 69 can be in the assembled Device 10 on adjacent sections of the spacer ring 13 rest, so that the spacer ring 13 prevents the wire 59 from falling out of the bores 67 and 68.

Zum Auswechseln des Gitters oder zur Ausführung anderer Reparaturen am Gerät wird der Drpht 69 aus dem auseinander genommene η Gerät einfach herausgezogen und dann das Gitter 56 von den Kühlblock 14 abgenommen.To change the grille or to carry out other repairs on the device, the Drpht 69 is disassembled The η device taken is simply pulled out and then the grille 56 is removed from the cooling block 14.

Bei der beschriebenen Ausführung kann das Gitter 56 leicht über dem Heizdraht 47 eingemittet werden. Sobald dieIn the embodiment described, the grille 56 can easily be centered over the heating wire 47. As soon as the

inin

Stifte 63 und die Hülsen 64 die Kanäle 26 und 27 eingesetzt worden sind, ist auch der Draht 71 von den Wänden des Halbleiters i4a (Fig.3) isoliert, so daß ein elektrischer Kontakt mit dem Gitter 56 von dem hinteren Abschnitt des Kühlblocks i4 beim Arbexten des Gerätes 10 hergestellt werden kann und hierdurch, das Gitter 56 auf der gewünschten Spannung in bezi-g aiii*Pins 63 and the sleeves 64 the channels 26 and 27 have been inserted, the wire 71 is also insulated from the walls of the semiconductor i4a (Fig.3), so that an electrical contact with the grid 56 of the rear portion of the cooling block i4 when Arbexten of the device 10 can be produced and thereby, the grid 56 on the desired tension in relation to aiii *

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den fie L^c* rah t gehalten wird.the fie L ^ c * rah t is held.

Das Gitter 56 ist so ausgeführt, daXi die Kondensator— Wirkungen zwischen dem Gitter und der zugehörenoen Struktur des Gerätes 10 .cuf einem Kleinstwert gehalten werden«The grid 56 is designed in such a way that the capacitor effects between the grid and the associated structure of the device 10 are kept to a minimum.

M,ine aus bekanntem Material, z.B. rostfreiem Stahl od.dgl. bestehende zylindrische Anode 72 liegt innerhalb des Durchlasses 28» Kin Gewinde aoscimitt 73 der Außenwand der Anode 72 wird in d«-»n Gev/indeabschnitt 33 des Tragrohres 32 von Anodenträger 15 eingeschraubt· Ein derartiger Gewindeeingriff ermöglicht nicht nur die Herstellung einer festen. Verbindung zwischen der· Anode 72 und dem Tragrohr 32, sondern ermöglicht axich die Wahl eines gewünschten feststehenden Abstandes zwischen dem Heizdraht 47 und der Anode 72» Der rückwärtige Teil der Anode 72 hr+t einen Abschnitt 90 mit einer verengerten öffnung. Dieser Abschnitt 90 erzeugt ein erwünschtes und bevorzugtes elektrisches Feld zum Beschleunigen des Elektronpnstromesj der die Zone des in dem Gerät vorhandenen Gitters 5b verlässt.M ine made of known material such as stainless steel or the like. existing cylindrical anode 72 lies within the Passage 28 »Kin thread aoscimitt 73 of the outer wall the anode 72 is in the Gev / indabschnitt 33 of the support tube 32 screwed in from anode support 15 · One such Thread engagement not only enables manufacturing a fixed one. Connection between the anode 72 and the Support tube 32, but axich allows the choice of one desired fixed distance between the heating wire 47 and the anode 72 »The rear part of the Anode 72 hr + t a section 90 with a narrowed opening. This section 90 creates a desired one and preferred electric field for accelerating the electron current in the zone of the device existing grid 5b leaves.

Im Abstandsrinf; 13 sind Ausnehmungen zum Versenken der Schrauben und Gewindemuttern (nicht dargestellt) vorhanden, die den Kühlblock i4 und den Anodenträger 15 mit dem Abstandsring 13 verbinden.In the spacer; 13 there are recesses for countersinking the screws and threaded nuts (not shown) which connect the cooling block i4 and the anode support 15 to the spacer ring 13.

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BADBATH

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In den Fie· 9 bis 11 ist eine abgeänderte Ausführung eines Elektronenstrahlerzeugers 10' dargestellt»In Figs. 9 to 11 there is a modified embodiment an electron gun 10 'shown »

Der Unterschied zwischen der in den Fig. 9 his 11 dargestellten Ausführung und der in den Fig. 1 bis 8 dargestellten Ausführung besteht in einer zusätzlichen Heizdrahtummantelung oder einer lieizdrahthülle 80, die zwi.--ch.en dem G-itter 56 und dem Kühlblock 14 angeordnet ist. Zwei in d^r Hülle HO vorhandene Bohrungen fluchten mit den im Gitter 56 vorhandenen Bohrungen 62, so dr-ß die Stifte 63 nicht nur zum Kinmitten des Gitters 56, sondern auch zum Einmitten der Heizdrahthülle 80 in bezug auf den Kühlblock 14 und den Heizdraht 47 verwendet werden k imen.The difference between the embodiment shown in FIGS. 9 to 11 and the embodiment shown in FIGS. 1 to 8 consists in an additional heating wire sheathing or a heating wire sheath 80 between the grid 56 and the cooling block 14 is arranged. Two existing in d ^ r Case HO bores aligned with those present in the grid 56 holes 62 so dr-ß the pins 63 not only to Kinmitten of the grating 56, but also for centralizing the Heizdrahthülle 80 with respect to the cooling block 14 and the heating wire 47 can be used.

Die Heizdralithülle 80 bestellt mis einor Scheibe f?us einem festen, wärmebeständigen, elektrisch leitfälligen Material, z.H. aus Aluminium, rostfeicun Stahl, Molybdän od.dgl. Die Oberflächen dieser Scheibe sind mit einer dünnen Schicht 84 (Fig. 1i) eines elektrisch nicht leitfähigen Mat«riales überzogen, das die Hülle 80 von dem Heizdrrlit 47, dem Gitter 56 und einem Halbteil des Kühlblockes i4 isoliert. Dieses Isoliermaterial kann irgend ein bekannter Stoff sein. Besteht die Hülle 80 aus Metall, z. B. Aluminium, dann wird einfach, die Schicht 84 durch 1 loxieren der Oberfläche der Scheibe hergestellt. Die Mitte der Heizdreh.thülle 80 hat eineThe heating wire sleeve 80 is ordered with a washer a solid, heat-resistant, electrically conductive material, e.g. made of aluminum, rustproof steel, molybdenum or the like. The surfaces of this disk are electrically non-conductive with a thin layer 84 (Fig. 1i) Coated conductive material that separates the shell 80 from the heating element 47, the grid 56 and a half-part of the cooling block i4 insulated. This insulating material can be any known substance. If the shell 80 is made of metal, e.g. B. aluminum, then that becomes easy Layer 84 is made by anodizing the surface of the disc. The middle of the Heizdreh.thülle 80 has a

Mittelbohrung 81Center hole 81

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" 17 " 156A310" 17 " 156A310

Mittelbohrung 81, in die der Scheitei.1 k-9 des Heizdrohtes •sowie die zugehörenden Schenkel kS (Pig« 10) ragen. Die Bohrung 81 verläuft koaxial mit der Achse 19 des Gerätes 1OlCentral bore 81 into which the Scheitei.1 k-9 of the heating threat • and the associated legs kS (Pig «10) protrude. The bore 81 runs coaxially with the axis 19 of the device 10l

Die Hülle 80 ist mit einem der Halbteile des Kühlblocks 14 elektrisch verbunden. Diese elektrische Verbindung kann in einfacher Weise durch Verwendung einer Schraube 89 (Fig· 9) hergestellt werden, die über eine nicht isolierte Bohrung in der Hülle 80 in einen nicht isolierten Kanal (nicht dargestellt), der sich in dem einen Halbteil des Kühlblocks i4 befindet, eingeschraubt ist.The shell 80 is electrically connected to one of the half parts of the cooling block 14. This electrical connection can be made in a simple manner by using a screw 89 (Fig. 9) which does not have a isolated bore in the sheath 80 in a non-isolated channel (not shown), which is in the half of the cooling block i4 is screwed in is.

Die Hülle 80 oder der Mantel 80 ist so ausgeführt, daß der Heizdraht 1-+ gegen dc->s Gitter 56 abgeschirmt ist. Die Hülle 80 engt die Bewegung der Ionen ein, die das Bestreben haben, die Heizdrahtschenkel 48 beim Arbeiten des Gerätes 10· zu erodieren.The sheath 80 or the jacket 80 is designed in such a way that the heating wire 1- + is shielded from dc-> s grid 56. The shell 80 restricts the movement of the ions that cause the Strive to have the heating wire legs 48 when working of the device 10 · to erode.

Die die Bohrung 81 der Hülle 80 in Umfangsrichtung um- · gebende Lippe soll die elektrische Kapazität verringern.The circumferential direction around the bore 81 of the casing 80 giving lip is supposed to reduce the electrical capacity.

Fig· 11 zeigt einen Schnitt durch eine aus Aluminium bestehende Heizdrahthülle 80, deren Oberfläche eloxiert sind, um die Hülle 80 mit einer Schicht 8k aus Aluminiumoxyd zu versehen» Besteht die Hülle nicht aus Aluminium, sondern aus einem anderen Material, dann kann die Schicht11 shows a section through a heating wire sheath 80 made of aluminum, the surface of which is anodized in order to provide the sheath 80 with a layer 8k of aluminum oxide

• 82*.• 82 *.

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84 aus irgend einem anderen zweckdienlich.cn Isolierstoff z.B. aus Kunstharz od.dgl. geformt werden.84 of any other suitable insulating material e.g. made of synthetic resin or the like. be shaped.

Beim Arbeiten wird bei dem Gerät 10 oder 101 die Anode und der Anodenträger 15 im wesentlichem auf Krdspannung gehalten. Der Kiihlblock i4f der Heizdraht 47 und das Gitter 5° werden je nach Wunsch oder je nsch der Anlage auf einer hohen Spannung, beispielsweise 20 000 V oder höher gehalten, hin Strom fließt in dem einen Halbteil des Kühlblockes 14 über dem Heizdraht 47 und aus dem anderen Halbteil des Kühlblockes. Mit dem Kühlblock 14 wird ein elektriscner Anscnluß durch Schraubenbolzen (nicht dargestellt) hergestellt, die die Bohrungen 76 (Fig. 1) durchsetzen· Die geeignete Spannung für dns Gitter $6 wird dadurch erhalten, daß die gewiinsciite Spannung an eine Klemme 77 gelegt wird, die mit dem Draht 71 (Fig· 3) elektrisch verbunden ist.When working with the device 10 or 10 1, the anode and the anode support 15 are essentially kept at Krd tension. The cooling block i4 f, the heating wire 47 and the grid 5 ° are kept at a high voltage, for example 20,000 V or higher, as desired or depending on the system; current flows in one half of the cooling block 14 over the heating wire 47 and out the other half of the cooling block. An electrical connection is made to the cooling block 14 by means of screw bolts (not shown) which penetrate the bores 76 (FIG. 1). The appropriate voltage for the grid 6 is obtained by applying the desired voltage to a terminal 77 which is electrically connected to wire 71 (Fig. 3).

Die erfindungsgemäßen Elektronenstrahlerzeuger sind selbstbeschleunigend, wobei im wesentlichen die gesamte Beschleunigung den Elektronen aus dem Heiznraht bei ihrer Bewegung von dem Gitter zur Anode erteilt wird. Da die Arbeitswf»i-jf» vor. 'i.T' l:f ro ■ r ti iil.lerzeu^ern bekannt i.= t und diese Arbeitsweise keinen Teil der Erfindung bildet, erfolgt hier keine weitere Beschreibung.The electron guns of the invention are self-accelerating, with essentially all of them Accelerating the electrons from the heating wire at their Movement is imparted from the grid to the anode. Since the Arbeitswf »i-jf» before. 'i.T' l: f ro ■ r ti iil.lerzeu ^ ern known i. = t and this operation does not form part of the invention, no further description is given here.

Beiat

BAD ORIGINAL 90 98Λ2/0843 BATH ORIGINAL 90 98Λ2 / 0843

Bei bekannten iilektronenstrahiorzetx.jern besteht eine Kelativbev-Pfomg des Heizfadens zur Gitteröf fnunß·. Hierdurch entsteuen Wechsel in tier Strahlung sowie eine unsymmetrische ürosion des Heizfadens. Bei der neuen Ausfiihnini; und bpponiiers bei der Vervendunii der Keizfadeniiülle oder des heizi'ademiu>ntels HO wird im wesentlichen lediglich die Strahlung fläch ο dor Heizf rdenoberflache auf EleK:troiit»nstrahlun,ii?temper; tür gehalten. Hierdurch wird die V.ärm<!verzernin·,· in den ];eizf adensch^nkelflachen und die ,Ificuzciti^e lononerosion dieser Heizfpdenschen keiflachen verringert. Diese lonenerosionsvenninderung ist bei vielen {jeAvfarblichen Anwenrtuii on, in denen verhältnismäßig niedrige Vakuumverhäitnisse beim Arbeiten aufreciit frujüten x-.erdon, spJir \vic.iti;v. Das unter diesen Verhältnis; en voriiaiidejie Gas £eiiüfjt zur Bescn.leuni^ung der lonenero-ioa des übliclien hoizf adens, vcr/;lichen mitIn known electron beam radiators, there is a Kelativbev-Pfomg of the filament to the grid opening. In this way, changes in animal entsteuen radiation as well as an asymmetrical ürosion of the filament. With the new Ausfiihnini; and bpponiiers in the use of the germinal thread sheath or the heating academy HO is essentially only the radiation surface ο the heating element surface on elec: troiit »nstrahlun, ii? temper; held door. This reduces the veins in the thigh areas and the ionic erosion of these hot plates. This ion erosion reduction is common in many applications in which relatively low vacuum conditions are used when working. That under this relationship; en voriiaiidejie Gas £ eiiüfjt to accelerate the lonenero-ioa of the usual hoizf adens, vcr /; common with

dem Zustand, der et ami besteht, v;enn der KlektronenstrahlstiL.di^
c-r in einem hohen Valcuum gehalten werden kann.
the state which exists et ami, v; enn the KlektronstrahlstiL.di ^
cr can be kept at a high level.

Der Abstand zwischen den Bohrungen, in die die Heizfadenschenkel des neuen Gerätes eingeschoben werden, wird klein gehalten, und zwar durch Verringerung der Isolfitionsdicke des Kühlblockes in der Zone, welche die die Heizfadenschenkel aufnehmenden beiden Bohrungen trennt. Der Heizdraht Kann daher eine einfache haarnadelähnliche Au.'·führung mit sehr Kurzen Seiten uncä einem scharfen Sciieitelr.-diui? für wirksame Elektx-onenstrahlung haben«The distance between the holes into which the filament legs of the new device will be small held by reducing the insulation thickness of the cooling block in the zone which the filament legs receiving two holes separates. The heating wire can therefore be a simple hairpin-like one Au. '· Guide with very short sides and a sharp one Sciieitelr.-diui? for effective electron radiation "

DieseThese

909842/0843 ^909842/0843 ^

Diese Heizdrahtausführung verbessert wesentlich, dip Värmebestandigkeit des neuen Gerätes.This heating wire design significantly improves the thermal resistance of the new device.

Das neue ^erät kann zu ReiniffungszwecKen oder zum Auswechseln von Teilen leicht auseinander genommen wcrdnn. Im auseinandergeiioiuiienen Zustande können Korrektionen, Änderungen, Renaraturen usw. bei kleinster StilJ setzzeit schnell ausgeführt werden.The new device can be used for cleaning purposes or for replacement parts can be easily taken apart. In the separated state, corrections, Changes, repairs, etc. in the shortest possible time run quickly.

Line zusagende Tiefe beim Eloxieren von Aluminiumflachen, wie iie bei den neuen Gerät verwendet werden, reicht von etwa 0,005 cm bis etwa 0,02 cm A 0„ (Aluminiumoxyd)» Eine bevorzugte Dicke des zum Aneinanderkleben der beiden Halbteile des Kühlblockes dienenden Epoxyharzes beträgt etwa 0,0005 cm bis 0,0025 cm. Nachdem diese beiden Halbteile au!" diese weist miteinander verbunden worden sind, können die ialbteil** mffechinell bearbeitet werden, um eine genaue iie;:ic;J:un.·-·: zviscjicn den Halbteilen zu se. jfien.Line depth when anodizing aluminum surfaces, as used in the new devices, ranges from about 0.005 cm to about 0.02 cm A 0 "(aluminum oxide)" A preferred thickness of the epoxy resin used to glue the two half-parts of the cooling block together is about 0.0005 cm to 0.0025 cm. ! Have been after these au two halves "this has joined together, can be edited ialbteil ** mffechinell to get an accurate iie; ic; J: un · - ·: zviscjicn the halves to se fien j...

Di« dargestellten und beschriebenen Ausführungen sind nur als Erläuterungsbeispiele zu werten, die im Kahmen der Patentansprüche abgeändert und abf-r τ-;».!!·1 ■·.? t .-^W! >:x *c'l 1 1 .,The embodiments shown and described are only to be regarded as explanatory examples, which are modified in the context of the patent claims and abf-r τ -; ». !! · 1 ■ ·.? t .- ^ W! >: x * c'l 1 1.,

PatentansprücheClaims

ORIGINALORIGINAL 909842/08A3909842 / 08A3

Claims (1)

Z 21 - Z 21 - 156431D156431D PatentansprücheClaims λ») Elektronenstrahlerzeuger mit axial fluchtenden Heiz— faden, Gitter und Anode gekennzeichnet λ ») Electron beam generator marked with axially aligned heating filament, grid and anode a) durch einen Kühl— oder Wärmesenkblock (i4) aus zwei Halbteilen (i4a,i4b), die aus einem festen, wärmebeständigen, elektrisch leitfähigen Material bestehen und die an ihren vorderen Endabsciinitten auf der Fluchtungs— achse (19) des Gerätes (io) aneinanderliegen, wobei jeder Halbteil eine Kühleinrichtung aufweist und zwischen den beiden Halbteilen eine ununterbrochene Schicht (i6) aus einen festen wärmebeständigen, elektrisch nicht lritfähi— gen Material vorhanden ist;a) by a cooling or heat sink block (i4) made of two Half parts (i4a, i4b), which are made of a solid, heat-resistant, electrically conductive material and which at their front end segments on the alignment axis (19) of the device (io) lie against each other, each Half part has a cooling device and an uninterrupted layer (i6) between the two half parts a solid, heat-resistant, electrically non-irritating gen material is available; b) durch einen festen, wärmebeständxgen, elektrisch leit— fähigen Anodenträger (15) mit einem in seiner Mitte vorhandenen Durchlaß (28); b) by a solid, heat-resistant, electrically conductive capable anode support (15) with a passage (28) in its center; c) durch einen festen, wärmebeständigen, elektrisch nicht leitfähigen Abstandsring (13)» der in seiner Mitte einen Durchlaß (37) hat und der sowohl den Anodenträger (i5) im Abstand zum Kühlblock (i4) hält als auch den Durchlaß (28) des Anodenträgers (i5) mit der Fluchtungsachse (19) axial ausrichtet;c) by a solid, heat-resistant, electrically not conductive spacer ring (13) »which has a passage (37) in its center and which both supports the anode support (i5) at a distance from the cooling block (i4) as well as the passage (28) of the anode support (i5) with the alignment axis (19) axially aligns; d) durch einen Heizfaden (1*7) mit einem Scheitel (49) und zwei Schenkeln (4-8), von denen jeder Schenkel mit einem anderen Halbteil (i4a, -i4b) elektrisch verbundend) through a filament (1 * 7) with a vertex (49) and two legs (4-8), each leg with electrically connected to another half part (i4a, -i4b) undand 909842/0843 BAp909842/0843 BA p und der Scheitel (4q) mit der Fluchtungsachse (i9) ausgerichtet ist;and the vertex (4q) aligned with the alignment axis (i9) is; e) durch einen Gitteraufbau (56) mit einem Gitter, das in seinem Mittelabschnitt (58) eine Bohrung (57) hat und nahe dem Heizfaden (47) quer zur Geräteachse angeordnet ist, so daß diese Bohrung odfir öffnung (57) koaxial mit der Achpe (iw) des Klektronenstrahlerzeugers verläuft, wobei dor Giτ,teraul'bau ferner einen Gitterträger aufweist, der aus dem Kühlblock (i4) ragt, um das Gitter einzustellen und das Gitter mit einer elektrischen Spannung zu verbinden unde) by a grid structure (56) with a grid that has a bore (57) in its central section (58) and arranged near the filament (47) transversely to the device axis is, so that this bore odfir opening (57) is coaxial with the Achpe (iw) of the Klektronjetgenerator runs, with the Giτ, teraul'bau also a lattice girder which protrudes from the cooling block (i4) to adjust the grid and the grid with an electrical Connect voltage and f) durch eine Anode (72), die dem Anodenträger (l5) zugeordnet ist und koaxial mit der Achse des fcJLektronenstrahlerzeugers verläuft.f) by an anode (72) which is attached to the anode support (l5) is assigned and coaxial with the axis of the electron beam generator runs. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Heizfadenummantelung (80) aus einer Platte aus einem festen, wärmebestän4igen, elektrisch leitfähigen Material, die zwischen dem Gitter (5i>) und dem Kühlblock (i*0 angeordnet ist und in ihrer Mitte eine Bohrung aufweist, die koaxial mit der Achse des Gerätes verläuft und in die der Heizfadenscheitel (49) ragt, und durch eine elektrisch nicht leitfähige Einrichtung (22,23)» die die Platte von dem Heizfaden, dem Gitter und einem der Halbteile (i^A, i4b) isoliert.2. Apparatus according to claim 1, characterized by a filament sheath (80) made from a sheet of solid, heat-resistant, electrically conductive Material between the grid (5i>) and the cooling block (i * 0 is arranged and in its center a Has a bore which runs coaxially with the axis of the device and into which the filament apex (49) protrudes, and by an electrically non-conductive device (22,23) »the plate from the filament, the Lattice and one of the half parts (i ^ A, i4b) isolated. BAD ÖRJGINALBATH ORJGINAL 909842/0843909842/0843 3· Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine (rittertragvorri ciitung (63»t>4, 85) mit einer Verbindungseinrichtung zum lösbaren Befestigen des Gitters.3 · Device according to claim 1, characterized through a (knight yield provision (63 »t> 4, 85) with a Connection device for releasably attaching the grid. h, !elektronenstrahlerzeuger mit verhältnismäßig gerin— gen Wärme abweichungs eigen soil aft en und langer Heizfadenverwendunpsdaiier, bei .er Heizfaden, Gitter und Anode axial fluchten, gekennzeichnet durch h,! electron gun with relatively gerin- gen heat deviation intrinsically soil aft en Heizfadenverwendunpsdaiier and long, axially aligned with .he filament, grid and anode, characterized by a) einen kühlblock (ι2+) · aus metallischen Halbteilen (i^A, i4b) die m ihren vorderen Abschnitten r.uf der Achse ^ 19) des Gprätos (lO) aneinandf rlipgpn, f ferner jeder Kalbteil r^ine Kühleinrichtung aufweist und einer der Halbteilr einen axial gerichteten Kanal enthält;a) a cooling block (ι 2 +) · made of metallic half parts (i ^ A, i4b) which m their front sections r.uf the axis ^ 19) of the Gprätos (lO) rlipgpn, f furthermore each calf part has a r ^ ine cooling device and one of the half parts includes an axially directed channel; b) durch eine ununterbrochene Schicht (16) aus einem festen, wärmebpf-tandigpii, gasundurchlässigen, elektrisch nicht leitfähigen Material, das zwischen den Halbteilen (i4a, 14B) liegt;b) by an uninterrupted layer (16) of one solid, wärmebpf-tandigpii, gas-impermeable, electrical non-conductive material between the half-parts (i4a, 14B) lies; c) durch einen mctalli.sclien Ano<Ienträ;;pr (i5) niit einem in seiner Mitte vorhandenen Durchlaß (28);c) by a mctalli.sclien Ano <Ienträ ;; pr (i5) niit a passage (28) present in its center; d) durch ©inen festen, wärm^bestänuigen, gasundurchlässigen, elektrisch nicht leitendem Abstandsring (13) mit einer in seiner Mhtte vorhandenen Bohrung, wobei der Abstandsring sowohl den Anoüentrager (15) im Abstand zu dem Küilblock (i4) hält als auch den Durchlaß mit der Actise (19) des Gerätes axial atisrichtetjd) by means of a solid, heat-resistant, gas-impermeable, electrically non-conductive spacer ring (13) with a bore in its Mhtte, the spacer ring holding both the anus support (15) at a distance from the cooling block (i4) and the passage axially aligns with the Actise (19) of the device 909842/0843909842/0843 e) durch einen haarnadelähnlichen Heizdraht (^7) mit einem Scheitel (k(j) und zwei anschließenden Schenkeln (k8), wobei der Scheitel (k?) mit der Achse (19) des Gerätes fluchtet und jeder Schenkel (ktt) mit je einem Ende eines Halbteiles ( 1 ^A oder i4b) verbunden i.ct;e) by a hairpin-like heating wire (^ 7) with a vertex (k ( j) and two connecting legs (k8) , where the vertex (k?) is aligned with the axis (19) of the device and each leg (ktt) with each one end of a half part (1 ^ A or i4b) connected i. c t; f) durch ein ί choi benähiiliches Gitter (56) mit einem in i;ein»m Mittelabschnitt vorhandenen Durchlaß, wobei das Gitter (56) nahe dem Hc-izdraht (^7) quer zur Achse des Gerätes so angeordnet ist, dali der JJurchlaß koaxial mit der Achse (icy Gerätes vc-r.i Miii't 5 {r,) durch ei no zwischen ün· (Utter (5ί') und den Kühlblock (i'O vorh uidc'iic Gittt>rtra;.;vorrichtung (63,64,85) mit einer elektrisch. l<d ti'iihi gen Lei tvorriclitun;,, die sich von dem Gitter durcn d'-n Kanal Jii iidurchf rst reckt, und mit einer < irktri: eh nicht 1 «iti ähi,'7eii Isolicrvorric ituii,r, dif on Leiter von «om Kühl b J ock isolifii't, voboi d<-r I^itf-r und d.i' 1;nlicrvoiTinhtimi1; ,'jemein.vc.rn eine giiKundurcLl'- i-fri^r J;ichtun·"·; mit dem Uärmesenlcblock bilden;f) through a grid (56) close to it with a passage in the middle section, the grid (56) near the wire (^ 7) being arranged transversely to the axis of the device so that the passage coaxial with the axis (icy device vc-ri Miii't 5 { r ,) through a no between ün · (Utter (5ί ') and the cooling block (i'O vorh uidc'iic grid>rtra;.; device (63 , 64,85) with an electrical line that stretches from the grille through the canal, and with an '7eii Isolicrvorric ituii, r, dif on head of «om Kühl b J ock isolifii't, voboi d <-r I ^ itf-r and di'1; nlicrvoiTinhtimi 1 ;, 'jemein.vc.rn a giiKundurcLl'- i-fri ^ r J; ichtun · "·; form with the Uärmesenlcblock; h) durch eine zylindrische Ar ο de (7'0? tue mit dom Ano— denträger vrrbunt'r-n und koaxial zur Achse des Gerätes angeordnet ist, undh) by a cylindrical ar ο de (7'0? tue with dom anode support vrrbunt'r-n and is arranged coaxially to the axis of the device, and i) durch eine Vorrichtung (44, 4?)» die den Kühlblock (l4), die Schicht (ΐυ), den Anodenträ^er (l5) den Abstan'isrin;·1 (13J in einer ;;p sunaurchlässi jjen Stellung zueinander hält.i) by a device (44, 4) »which the cooling block (l4), the layer (ΐυ), the Anodenträ ^ he (l5) the Abstan'isrin;? · 1 (13J in a p ;; sunaurchlässi jjen position to each other holds. 909842/0843909842/0843 la. -«ADla. - «AD 5· Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine Heizfadenummantelung (&O) aus einer Platte aus einem festen, wärmebeständigen, elektrisch leitfähigen Material, die zwischen dem Gitter und dem Kühlblock angeordnet ist und in ihrer Mitte eine Bohrung aufweist, die koaxial mit der Achse des Gerätes verläuft und in die der Heizfadenscheitel (^9) ragt, und durch eine elektrisch nicht leitfähige Einrichtung, die die Platte von dem Heizjr'aden, dem Gitter und einem der Halbteile (i4a, i4B) isoliert.5 · Device according to claim 4, characterized by a filament sheath (& O) from a plate a solid, heat-resistant, electrically conductive Material placed between the grille and the cooling block with a hole in its center, which runs coaxially with the axis of the device and into which the filament apex (^ 9) protrudes, and through an electrically non-conductive device that separates the plate from the heater, the grid and one of the Half parts (i4a, i4B) insulated. 6. Elektronenstrahlerzeuger mit verhältnismäßig geringen Wärmeabweichungseigenschaften und langer Heizfaden— Verwendungsdauer, bei der Heizfaden, Gitter und Anode axial fluchten, gekennzeichnet durch6. Electron beam generator with relatively low heat dissipation properties and long filament— Period of use during which the filament, grid and anode are axially aligned, indicated by a) einen Kühlblock (i^) aus metallischen Halbteilen (i^A» 1^-B) , die an ihren vorderen Abschnitten auf der Achse (19) des Gerätes (io) aneinanderliegen, ferner jeder Halbteil eine Kühleinrichtung aufweist und einer der Halbteile einen axial gerichteten Kanal enthält;a) a cooling block (i ^) made of metallic half-parts (i ^ A »1 ^ -B), at their anterior portions on the Axis (19) of the device (io) lie against one another, furthermore each half part has a cooling device and one the half-part includes an axially directed channel; b) durch eine ununterbrochene Schicht (16) aus einem festen, wärmebeständigen, gasundurchlässigen, elektrisch nicht leitfähigen Material, das zwischen den Halbteilen (14A, i4b) liegt;b) by an uninterrupted layer (16) of one solid, heat-resistant, gas-impermeable, electrical non-conductive material sandwiched between the half parts (14A, i4b); c) durch einen metallischen Anodenträger (-15) mit einem in seiner Mitte vorhanden Durchlaß (28);c) by a metallic anode support (-15) with a in its center there is a passage (28); BAD 90984270843 BATH 90984270843 d) durch einen festen, wärmebeständigen, gasundurchlässigen, elektrisch nicht leitenden Abstandsring (13) mit einer in seiner Mitte vorhandenen Bohrung, wobei der Abstandsring sowohl den Ano(lentrager (15) im Abstaid zu dem Kühlblock (i4) hält als auch den J)urchlaß mit der Achse (19) des Gerätes axial ausrichtet;d) by a solid, heat-resistant, gas-impermeable, electrically non-conductive spacer ring (13) with an existing hole in its center, the spacer ring both the Ano (lentrager (15) in the Abstaid to the cooling block (i4) as well as the J) passage axially aligns the axis (19) of the device; e) durch einen haarnadelähnlichen Heizdraht (47) mit einem Schoitel (4y) und zwei anschließenden Schenkeln (48), wobei der Scheitel (^9) mit der Achse (19) des Gerätes fluchtet und jeder Schenkel (48) mit je einem Ende eines Halbteiles (i4a oder i4b) verbunden ist;e) with a hairpin-like heating wire (47) a Schoitel (4y) and two connecting legs (48), where the vertex (^ 9) coincides with the axis (19) of the Device is aligned and each leg (48) is connected to one end of a half-part (i4a or i4b); f) durch ein scheibenähnliches Gitter (56) mit einem in seinem Mittelabscnnitt vorhandenen Durchlaß, wobei das Gitter {5t·) nahe dem Heizdraht (47) quer zur Achse des Gerätes so angeordnet ist, aai> eier Durchlaß koaxial mit der Achse des Gerätes verläuft;f) through a disk-like grille (56) with a passage in its middle section, the grille (5t ·) near the heating wire (47) being arranged transversely to the axis of the device so that a passage runs coaxially with the axis of the device ; g) durch eine zwischen dem Gitter (;>6) und dem Kühlblock (i4) vorhandene Gittertragvorrichtung (63»64,85) mit einer elektrisch leitfähigen Leitvorrichtung, die sich von dem Gitter durch den Kanal hindurcherstreckt, und mit einer elektrisch nicht leitfähigen Isolifirvorrichtung, die d«-n Leiter von dem Kühlblock (i4) isoliert, wobei der Leiter und die Isoliervorrichtung gemeinsam eine gasundurchlässige Dichtung mit dem Wärmesenkblock bildenj g) through a grid support device (63 »64,85) present between the grid (;> 6) and the cooling block (i4) with an electrically conductive guide device that extends from the grid through the channel, and with an electrically non-conductive insulating device which insulates the conductor from the cooling block (i4), the conductor and the insulating device together forming a gas-impermeable seal with the heat sink block h) durch eine zylindrische Anode (72) , die mit dem AnOi— denträger verbunden und koaxial zur Achse des Gerätesh) by a cylindrical A n ode (72) connected to the the wearer AnOi- and coaxial with the axis of the apparatus angeordnetarranged 909842/08 43 BAD OTOQiNAL909842/08 43 BAD OTOQiNAL angeordnet ist;is arranged; i) durch eine Vorrichtung (44, 45), die den Kühlblock (1'»), die S Cj i cht (i6), den An ο dent rä c;er (15) und den Abstand sr inc; (13) in einer gasundurchlässigen Stellung zueinander hält undi) by a device (44, 45), which the cooling block (1 '»), the S Cj i cht (i6), the An ο dent rä c; er (15) and the Distance sr inc; (13) in a gas-impermeable position holds to each other and j) durch eine Heizfadenummantelung (80) aus einer Platte aus einem rosten, wärmebeständigen, elektrisch leitfä— hif;en Material, die zvi.-clien dem Gitter und dem Kühlblock angeordnet i:-t und in ihrer Mitte eine Bohrung nulVeiPt, die koaxial mit dor Achse; des Gerätes verläuft und in dd* dor Ueizi>denscheitel (49) ragt, und durch eine elektrisch nicht lciti'ähige Einridtung, die die Platte von dom Heizfaden (47), dem Gitter (56) und einem der Halbteile (14a, 14b) isoliert«j) by a filament sheath (80) made of a plate made of a rusting, heat-resistant, electrically conductive material, which is arranged in the middle of the grille and the cooling block and in its center a hole which is coaxial with the axis; the device extends and protrudes into dd * dor Ueizi> denscheitel (49), and an electrically non lciti'ähige Einridtung that the plate of dom filament (47), the grid (56) and one of the half portions (14a, 14b) isolated" 7« Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Gittertrngvorriclitun,;· (62p4,85) mit einer Verbindungseinrichtung zum lesbaren Bei'c stipen des Gitt-erse 7 «A device according to claim 6, characterized by a Gittertrngvorriclitun, · (62p4,85) with a connecting means for readably Bei'c Stipen of Gitt-ers e M 1994
Ho/ p.
M 1994
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