DE1472229B2

DE1472229B2 - X-ray spectrometer additional device for a particle beam device, in particular an electron microscope

Info

Publication number: DE1472229B2
Application number: DE19651472229
Authority: DE
Inventors: Ekkehard Dipl.-Phys. Dr.; Selwitschka Raimund; 8OOO München Fuchs
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1965-12-23
Filing date: 1965-12-23
Publication date: 1970-05-27
Also published as: DE1472229A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Röntgenspektrometer-Zusatzeinrichtung für ein Korpuskularstrahlgerät und gibt ein neues Konstruktionsprinzip für die wahlweise Bewegung eines von mehreren Spektrometerkristallen in den Weg der zu analysierenden Röntgenstrahlung an.The invention relates to an additional X-ray spectrometer device for a particle beam device and gives a new construction principle for the optional movement of one of several spectrometer crystals in the path of the X-rays to be analyzed.

Es ist bekannt, die Verwendungsmöglichkeit beispielsweise eines Elektronenmikroskops hinsichtlich der Zahl der mit ihm durchführbaren Untersuchungen dadurch zu erweitern, daß man an dem Mikroskop eine Zusatzeinrichtung für röntgenspektrometrische Untersuchungen der von dem mikroskopischen Objekt unter Bestrahlung mit einem Elektronenstrahl emittierten Röntgenstrahlung anordnet. Zu diesem Zweck weist das Mikroskop ungefähr in Höhe der Objektebene eine Austrittsöffnung für die Röntgenstrahlung auf, und im Bereich dieser Austrittsöffnung befindet sich die Zusatzeinrichtung. Diese enthält zumindest einen Spektrometerkristall, der sich im Bereich der zu analysierenden Röntgenstrahlung befindet und infolge geeigneter Krümmung die Röntgenstrahlung fokussiert in einen Röntgendetektor reflektiert. Bekanntlich müssen dabei der Winkel &, den der Kristall mit dem zu analysierenden Röntgenstrahl bildet, die Wellenlänge λ der für das jeweilige Objekt charakteristischen Röntgenstrahlung sowie der Netzebenenabstand d des Spektrometerkristalls die Braggsche Gleichung 2 d sin §■ = λ erfüllen. Der Kristallwinkel ist also von der jeweiligen Wellenlänge /. abhängig. Da ferner die maximale Intensität der in den Röntgendetektor, ζ. Β. ein Zählrohr, gelangenden Röntgenstrahlung bei einem einzigen Kristall mit einem bestimmten Krümmungsradius nur für einen bestimmten Winkel ■& erreicht wird, ist es in der Regel zwecks Vergrößerung des mit hinlänglich großer Intensität auswertbaren Winkelbereichs erforderlich, mehrere Kristalle auswechselbar in der Zusatzeinrichtung vorzusehen.It is known to expand the possibility of using an electron microscope, for example, in terms of the number of examinations that can be carried out with it by arranging an additional device on the microscope for x-ray spectrometric examinations of the x-rays emitted by the microscopic object when irradiated with an electron beam. For this purpose, the microscope has an exit opening for the x-ray radiation approximately at the level of the object plane, and the additional device is located in the area of this exit opening. This contains at least one spectrometer crystal which is located in the area of the X-ray radiation to be analyzed and, due to a suitable curvature, reflects the X-ray radiation in a focused manner into an X-ray detector. As is known, the angle & that the crystal forms with the X-ray to be analyzed, the wavelength λ of the X-ray radiation characteristic of the respective object and the lattice plane spacing d of the spectrometer crystal must satisfy Bragg's equation 2 d sin § ■ = λ. The crystal angle is therefore of the respective wavelength /. addicted. Furthermore, since the maximum intensity of the in the X-ray detector, ζ. Β. a counting tube, reaching the X-ray radiation at a single crystal with a specific radius of curvature for a certain angle ■ & is achieved, it is usually necessary for the purpose of increasing the evaluable with sufficiently large intensity angle range to provide a plurality crystals interchangeably in the auxiliary device.

Bekannte Lösungen dieses Problems bei nicht als Zusatzeinrichtungen gedachten Röntgenspektrometern bestehen darin, mehrere, beispielsweise vier Spektrometerkristalle in trommelartiger Anordnung einander gegenüberstehend anzuordnen. Durch Drehen dieser trommelartigen Anordnung können dann wahlweise einzelne Kristalle in den Weg der zu analysierenden Röntgenstrahlung geschwenkt werden.Known solutions to this problem in the case of X-ray spectrometers not intended as additional devices consist of several, for example four, spectrometer crystals in a drum-like arrangement to be arranged opposite one another. By rotating this drum-like arrangement you can then, optionally, individual crystals can be swiveled into the path of the X-ray radiation to be analyzed.

Gerade bei Zusatzanordnungen zu Korpuskularstrahlgeräten, wie Elektronenmikroskopen oder Elektronenbeugungseinrichtungen, die unmittelbar an dem Gerät angeordnet werden sollen, bestehen aber besondere Beschränkungen hinsichtlich des zur Verfügung stehenden Platzes. So erfordert eine trommelartige Anordnung mehrerer Spektrometerkristalle, wenn man nicht mit einer geringen Anzahl von Kristallen vorliebnimmt, einen relativ großen Durchmesser der Zusatzanordnung.Especially with additional arrangements for corpuscular beam devices, such as electron microscopes or electron diffraction devices, which are to be arranged directly on the device, there are special restrictions with regard to the available standing place. For example, a drum-like arrangement of several spectrometer crystals requires if one is not satisfied with a small number of crystals, a relatively large diameter the additional arrangement.

Aus der französischen Patentschrift 1349 238 ist ein Halter für Präparate in Röntgenspektrometem bekannt, bei dem der Präparatwechsel durch Längsverschiebung vorgenommen wird.From French patent 1349 238 is a holder for specimens in X-ray spectrometers is known, in which the specimen change by longitudinal displacement is made.

Demgegenüber handelt es sich bei der Erfindung um eine besondere Halterung und Verschiebbarkeit von Kristallen, wobei in neuartiger Weise zwecks Änderung des Kristallwinkels schwenkbar gelagerte Schienen für die Aufnahme der reihenförmigen Kristallanordnung vorgesehen sind.In contrast, the invention is a special mount and displaceability of crystals, which in a novel way can be pivoted for the purpose of changing the crystal angle Rails are provided for receiving the row-shaped crystal arrangement.

Die französische Patentschrift 1 357 367 beschreibt eine sich dadurch auszeichnende Spektrometeranordnung, daß sowohl der Kristall als auch der Detektor in Richtung der Achse der Anordnung bewegbar sind. Dabei geht es aber nicht um den Kristallwechsel, sondern es soll durch diese mit einem spezieilen hohlzylindrischen Kristall in Kombination mit einem Abschatter arbeitende Anordnung vermieden werden, daß, wie bei anderen Konstruktionen, die Röntgenstrahlung mit steigender Wellenlänge stärker von der zu durchsetzenden Luftstrecke absorbiertThe French patent specification 1 357 367 describes a spectrometer arrangement which is characterized by that both the crystal and the detector are movable in the direction of the axis of the arrangement are. It is not about the crystal change, but it should specialize through this Hollow cylindrical crystal in combination with a shading working arrangement avoided that, as with other constructions, the X-ray radiation becomes stronger with increasing wavelength absorbed by the air gap to be penetrated

ίο wird.ίο will.

Die dem Erfindungsgegenstand zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, eine Zusatzeinrichtung der genannten Art zu schaffen, die besonders raumsparend ist und bei der der Einfallswinkel der Strahlung bei einem Wechsel des Kristalls nicht verändert werden muß und somit exakt eingehalten werden kann. Die Erfindung löst diese Aufgabe dadurch, daß mehrere Spektrometerkristalle unterschiedlicher Krümmung in einer zur Richtung der Röntgenstrahlung senkrecht verlaufenden Reihe angeordnet und mittels allen Kristallen gemeinsamer, in Längsrichtung der reihenförmigen Kristallanordnung verlaufender Schienen in dieser Richtung durch Antriebsmittel verschiebbar geführt sind und daß die Schienen zwecks Veränderung des Kristallwinkels in einem die Spektrometerkristalle aufnehmenden Gehäuse mittels eines weiteren Antriebes schwenkbar gelagert sind. Von besonderem Vorteil ist die Verwendung des neuen Konstruktionsprinzips dann, wenn die Zusatzeinrichtung sowohl mehrere Kristalle als auch mehrere Röntgendetektoren enthält. Auch zum Wechsel der Detektoren war es bisher üblich, eine Schwenkung der Detektoren um eine Achse vorzunehmen, und zwar um diejenige Achse, die auch für die Schwenkbewegung zwecks Abtastung des Spektrums der Röntgenstrahlung die Bezugsachse darstellt. Während also bei bekannten Konstruktionen für Röntgenspektrometereinrichtungen die verschiedenen Kristalle trommelartig angeordnet sind, wird bei der Erfindung unter Abgehen von dem bekannten Konstruktionsprinzip eine reihenweise Anordnung der verschiedenen Kristalle verwendet und durch Verschieben der gesamten Kristallanordnung der jeweils gewünschte Kristall in seine Betriebsstellung gebracht. Ein Vorteil dieses Konstruktionsprinzips besteht darin, daß alle Kristalle in einem einzigen Arbeitsgang justierbar sind, da sie sich bezüglich ihrer für die Justierung entscheidenden Winkellage stets in Arbeitsstellung befinden. Bei der bekannten Trommelanordnung muß die Justierung der Kristalle dagegen individuell erfolgen, da zunächst jeder Kristall durch Drehen der Trommel in die Arbeitsstellung gebracht werden muß, bevor er justiert werden kann. Im folgenden werden weitere Ausgestaltungen der Erfindung angegeben.The object underlying the subject matter of the invention is to provide an additional device of the to create mentioned type, which is particularly space-saving and in which the angle of incidence of the radiation does not have to be changed when changing the crystal and can therefore be precisely adhered to. The invention solves this problem in that several spectrometer crystals of different Curvature arranged in a row perpendicular to the direction of the X-ray radiation and by means of all crystals common, running in the longitudinal direction of the row-shaped crystal arrangement Rails are guided displaceably in this direction by drive means and that the rails for the purpose of changing the crystal angle in a housing accommodating the spectrometer crystals are pivotably mounted by means of a further drive. The use is of particular advantage of the new design principle when the additional device has both several crystals as well contains several X-ray detectors. To change the detectors, it has been customary to use a Swiveling the detectors to make about an axis, around the axis that is also used for the pivoting movement for the purpose of scanning the spectrum of the X-ray radiation represents the reference axis. So while in known constructions for X-ray spectrometer devices, the various Crystals are arranged like a drum, is in the invention departing from the known construction principle a row-wise arrangement of the different crystals is used and by moving them of the entire crystal arrangement, the respectively desired crystal is brought into its operating position. One advantage of this design principle is that all crystals can be used in a single operation are adjustable, since they always differ with regard to their angular position, which is decisive for the adjustment are in working position. In the known drum arrangement, however, the adjustment of the crystals must can be done individually, as each crystal is initially put into the working position by turning the drum must be brought before it can be adjusted. In the following, further refinements of the Invention specified.

Die Antriebsmittel können Zahnräder, Zahnstangen u. dgl. in geeigneter Anordnung enthalten, da lediglich eine einfache Verschiebebewegung vorgenommen zu werden braucht. Ein besonders einfache und daher bei der Erfindung bevorzugte Lösung sieht jedoch eine ebenfalls in Richtung der Verschiebebewegung verlaufende, mit allen Spektrometerkristallen in Verbindung stehende Antriebsstange vor, die mittels eines in ein die Spektrometerkristalle aufnehmendes Gehäuse eingesetzten Antriebes, vorzugsweise eines Drehtriebes, in ihrer Längsrichtung verschiebbar ist. Diese Antriebsstange ist also mit ihrem einen Ende an den Spektrometerkri-The drive means can contain gears, racks and the like in a suitable arrangement, since only a simple sliding movement needs to be made. A particularly simple one and therefore preferred solution in the invention, however, also looks in the direction of the displacement movement running, with all the spectrometer crystals connected drive rod, which by means of a in the spectrometer crystals receiving housing used drive, preferably a rotary drive, in its longitudinal direction is movable. One end of this drive rod is connected to the spectrometer

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stallen und mit ihrem anderen Ende an dem Antrieb verschiebenden Teilen, nämlich jetzt den Röntgenbefestigt, so daß sie bei ihrer Verschiebebewegung zu- detektoren, gebildet und eine Verschiebung ungefähr gleich die gewünschte Verschiebung der Spektro- senkrecht zur Richtung der Röntgenstrahlung vormeterkristalle bewirkt. genommen.stallen and with their other end on the drive moving parts, namely now attached to the X-ray, so that when they move to- gether with detectors, they are formed and a displacement approximately equal to the desired shift of the spectro perpendicular to the direction of the X-rays vormeterkristalle causes. taken.

Man kann die Kristalle der Anordnung auf einer 5 Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfin-Trägerplatte befestigen; an der die Antriebsmittel, im dung ist die Aufnahme für die Röntgendetektoren Beispiel also die Antriebsstange, angreifen und die ein in Achsrichtung geschlitztes, mit einem Antrieb an den Schienen verschiebbar gehalten ist. Diese für die Schwenkbewegung in Verbindung stehendes Trägerplatte ist also praktisch ein auf den Schienen Rohr, durch dessen Schlitz an zumindest einem der unter dem Einfluß der Antriebsmittel gleitender io Röntgendetektoren vorgesehene Fortsätze diese gegen Schlitten. Diese Anordnung bietet den Vorteil, daß Verdrehung sichernd hindurchgreifen, die mit den die verschiedenen Kristalle lediglich einmal auf der Schienensegmenten im Eingriff stehen. Diese aus Antriebsplatte justiert zu werden brauchen, auf der einem geschlitzten Rohr bestehende Aufnahme nimmt sie starr angeordnet sind. also an der Verschiebebewegung zwecks Auswech-Den Schienen und der Trägerplatte kann man 15 selns des jeweils in Betriebsstellung befindlichen Konstruktionselemente zuordnen, die den Betriebs- Detektors nicht teil, so daß die Begrenzungswände Stellungen der einzelnen Spektrometerkristalle ent- des Schlitzes in Verbindung mit den durch sie hinsprechende Raststellungen definieren. Hierfür lassen durchgreifenden Fortsätzen an den Röhren eine Versich beispielsweise in Kerben federnd einrastende drehung derselben verhindern. Die Schienenseg-Kugeln verwenden. Diese Kugeln können in Aus- 20 mente bilden Teile eines Kreises, so daß sie der nehmungen in der Trägerplatte unter Federdruck an- Bahn der Fortsätze bei der zum Zwecke des Abgeordnet sein und in die in den Schienen angebrach- tastens des Spektrums der Röntgenstrahlung erfolten Kerben einrasten. genden Schwenkbewegung der Röhren angepaßt sind Wie bereits eingangs ausgeführt, ist der Kristall- und stets im Eingriff mit den Fortsätzen bleiben, winkel & abhängig von der Wellenlänge λ der für das 25 Dadurch ist sichergestellt, daß bei jeder durch jeweils untersuchte Objekt charakteristischen Rönt- Schwenkbewegung erzielten Stellung des Detektors genstrahlung. Es ist daher erforderlich, die Kristall- sofort ein Wechsel des jeweils in Betriebsstellung beanordnung derart schwenkbar zu haltern, daß der findlichen Röntgendetektor vorgenommen werden Winkel & des jeweils in der Betriebsstellung befind- kann.The crystals of the arrangement can be attached to a 5 In a preferred embodiment of the Erfin support plate; on which the drive means, in the example the receptacle for the X-ray detectors, attack the drive rod, and which is slid in the axial direction and is held displaceably on the rails by a drive. This carrier plate, which is connected for the pivoting movement, is practically a tube on the rails, through the slot of which on at least one of the X-ray detectors that slide under the influence of the drive means, these extensions are provided against the slide. This arrangement offers the advantage that twisting engages through which the various crystals only engage once on the rail segments. These need to be adjusted from the drive plate, on which a slotted tube takes existing receptacle, they are rigidly arranged. So the shifting movement for the purpose of exchanging the rails and the support plate can be assigned to the construction elements in each operating position that do not part of the operating detector, so that the boundary walls positions the individual spectrometer crystals of the slot in connection with the through them Define appropriate locking positions. For this purpose, penetrating projections on the tubes can prevent rotation of the same, for example resiliently latching in notches. Use the rail saw balls. These spheres can form parts of a circle so that they adjoin the recesses in the carrier plate under spring pressure click into place. As already stated at the beginning, the crystal and always remain in engagement with the projections, angle & dependent on the wavelength λ of the for the 25th This ensures that with each X-ray swiveling movement characteristic of each examined object achieved position of the detector counter-radiation. It is therefore necessary that crystal, a change of angle & befind- respectively in the operating position in each case immediately beanordnung pivotably to hold in the operating position, that the-sensitive X-ray detector are made of.

liehen Kristalls geändert werden kann. Dies läßt sich 30 Eine zweckmäßige Weiterbildung der Erfindung bei der Erfindung dadurch erreichen, daß die Schie- sieht vor, daß die Schienensegmente durch Streben nen zwecks Veränderung des Kristallwinkels in dem zu einer käfigartigen Anordnung zusammengefaßt Gehäuse mittels eines weiteren Antriebs schwenkbar sind, die mittels eines Antriebsorgans unter Abgelagert sind. Im einzelnen läßt sich dies konstruktiv Stützung auf die Innenwand eines die Röntgendetekso ausführen, daß die Schienen zu einer Einheit mit- 35 toren aufnehmenden Gehäuses verschiebbar ist. Die tels Abstandsscheiben zusammengefaßt sind, von Innenwand dieses Gehäuses muß dann entsprechend denen die auf der einen Seite der Kristallanordnung fein bearbeitet werden, so daß sie als Gleitfläche für liegenden von der Antriebsstange durchsetzt werden, die käfigartige Anordnung dienen kann. Eventuell während eine auf der anderen Seite der Kristall- müssen schienenartige Gleitflächen auf der Innenanordnung liegende Abstandsscheibe mit dem wei- 40 wand des Gehäuses angeordnet werden, teren Antrieb verbunden ist. Man wird in der Regel Auch hier kann das Antriebsorgan eine Antriebsmit zwei Abstandsscheiben auskommen, von denen stange sein, die mittels eines in das Gehäuse eingejede an einem Ende der Schienen angeordnet ist. Die setzten Antriebs, vorzugsweise eines Drehtriebes, in eine Abstandsscheibe besitzt eine Ausnehmung, ihrer Längsrichtung verschiebbar ist. durch die bei Verwendung einer Antriebsstange als 45 Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfin-Antriebsmittel diese Stange — gegebenenfalls die dung für den Fall, daß die Zusatzeinrichtung sowohl Schieneneinheit stützend — hindurchgreifen kann, mehrere Kristalle als auch mehrere Röntgendetekwährend die auf der anderen Seite der Kristallanord- toren enthält, sind die reihenförmige Spektrometernung liegende Abstandsscheibe mit dem weiteren kristallanordnung und die gemeinsame Achse der Antrieb, der zum Schwenken der Anordnung zwecks 50 Röntgendetektoren parallel zueinander in einem geVeränderung des Kristallwinkels dient, verbunden ist. meinsamen Gehäuse verschiebbar angeordnet. Die Wie bereits eingangs bemerkt, kann man häufig Bewegung der Kristallanordnung und der Detektoren zwecks Erfassung eines großen Wellenlängenbereichs erfolgt also in derselben Richtung, mehrere Röntgendetektoren, in der Regel zwei, wahl- Von besonderem Vorteil ist die Tatsache, daß die weise in den Weg der von dem Kristall reflektierten 55 für die Kristallanordnung einerseits und die Detek-Röntgenstrahlung bringen wollen. Dies kann dadurch toren andererseits vorgesehenen Konstruktionseleerfolgen, daß mehrere Röntgendetektoren nebenein- mente zumindest teilweise zusammengefaßt werden anderliegend und gemeinsam ungefähr senkrecht zu können. Dies gilt in erster Linie hinsichtlich des Anihrer zwecks Abtastung des Röntgenspektrums er- triebs für die Schwenkbewegung der Detektoren und folgenden Schwenkbewegung verschiebbar in einer 60 des Antriebs für die Schwenkbewegung der Kristallgemeinsamen Aufnahme gehalten sind und daß die anordnung zum Zwecke der Änderung des Kristall-Röntgendetektoren bei allen durch Schwenkbewe- winkeis #. Bekanntlich drehen sich bei der Abtastung gung erzielten Stellungen mit der Schwenkbewegung des Röntgenspektrums der jeweils in Betriebstellung angepaßten Schienensegmenten im Eingriff stehen, befindliche Röntgendetektor und der jeweils ausgedurch deren Parallelverschiebung wahlweise einer 65 wählte Kristall um eine gemeinsame Achse, aber der der Röntgendetektoren in den Weg der von dem Detektor mit der doppelten Winkelgeschwindigkeit Kristall reflektierten Röntgenstrahlung bewegbar ist. wie der Kristall. Eine Vereinigung der beiden An-Auch hier wird also eine Anordnung aus den zu triebe ist daher dann möglich, wenn gemäß einerborrowed crystal can be changed. This can be achieved in that the rail provides that the rail segments can be pivoted by means of struts for the purpose of changing the crystal angle in the housing combined to form a cage-like arrangement by means of a further drive, which by means of a Drive organ are deposited under. In detail, this structural support can be carried out on the inner wall of an X-ray detector in such a way that the rails can be displaced to form a housing that accommodates a unit with gates. The means of spacer washers are summarized from the inner wall of this housing must then be finely machined in accordance with those on one side of the crystal arrangement so that they are penetrated as a sliding surface for lying by the drive rod, the cage-like arrangement can serve. Possibly while a spacer disk lying on the other side of the crystal rail-like sliding surfaces must be arranged on the inner arrangement with the far wall of the housing, the lower drive is connected. As a rule, the drive member can also be a drive with two spacer disks, one of which is a rod, which is arranged at one end of the rails by means of one in the housing. The set drive, preferably a rotary drive, in a spacer disc has a recess, its longitudinal direction is displaceable. through the use of a drive rod as 45. In the preferred embodiment of the invention drive means this rod - if necessary the manure in the event that the additional device both supporting the rail unit - can reach through, several crystals as well as several X-ray detectors while the on the other side of the crystal gates, the row-shaped spectrometer lying spacer is connected to the further crystal arrangement and the common axis is the drive, which is used to pivot the arrangement for the purpose of 50 X-ray detectors parallel to one another in a change in the crystal angle. common housing slidably arranged. As already noted at the beginning, the crystal arrangement and the detectors can often be moved in order to cover a large wavelength range, i.e. in the same direction, several X-ray detectors, usually two, can be selected. The fact that the wise in the way of the 55 reflected by the crystal for the crystal arrangement on the one hand and want to bring the Detek X-rays. This can be achieved by the fact that several X-ray detectors next to one another are at least partially combined so that they lie opposite one another and are approximately perpendicular together. This applies primarily with regard to the drive for the purpose of scanning the X-ray spectrum for the pivoting movement of the detectors and subsequent pivoting movement are held displaceably in a 60 of the drive for the pivoting movement of the common crystal receptacle and that the arrangement for the purpose of changing the crystal X-ray detectors all by means of swivel movement #. It is known that the positions achieved during the scanning process rotate with the pivoting movement of the X-ray spectrum of the rail segments that are adapted in the operating position, the X-ray detector located and the crystal selected by its parallel displacement around a common axis, but that of the X-ray detectors is in the way of the X-rays reflected by the detector at twice the angular velocity of the crystal can be moved. like the crystal. A union of the two drives is also here an arrangement of the drives is therefore possible if, according to a

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zweckmäßigen Weiterbildung der Erfindung die Auf- Objekt 4 unter einem gewissen Winkel gegen die nähme für die Detektoren zur Durchführung der Achse 6 des Elektronenstrahls geneigt hält. Dieser Schwenkbewegung über ein 1:2-Übersetzungsgetriebe Winkel ist so bemessen, daß die von dem Elekmit dem zur Veränderung des Kristallwinkels dienen- tronenstrahl ausgelöste Röntgenstrahlung durch den den weiteren Antrieb in Verbindung steht. Hierdurch 5 Kanal 7 in die allgemein mit 8 bezeichnete Zusatzwird ein getrennter Antrieb für die Durchführung einrichtung gelangt.expedient development of the invention, the object 4 at a certain angle against the would take for the detectors to carry out the axis 6 of the electron beam holds inclined. This Pivoting movement via a 1: 2 transmission angle is dimensioned so that the from the Elekmit the X-ray radiation released by the electron beam that is used to change the crystal angle the other drive is connected. As a result, 5 channel 7 becomes the addition generally designated 8 a separate drive for the implementation device arrives.

der Schwenkbewegung der Röntgendetektoren über- Verständlicherweise ist der Aufbau der einzelnen flüssig. Selbstverständlich ist es auch möglich, die Teile des Mikroskops, also beispielsweise der Schleu-Kristallanordnung über ein 2 : 1-Untersetzungs- seneinrichtung, im Rahmen der Erfindung unwichtig, getriebe mit einem Schwenkantrieb für die Detek- io so daß diese Konstruktionseinzelheiten nicht näher toren zu verbinden. Entscheidend ist, daß zur Durch- angegeben zu werden brauchen,
führung beider Schwenkbewegungen nur ein Antrieb Dagegen bezieht sich die Erfindung auf die Auserforderlich ist. bildung der Zusatzeinrichtung 8 für die Durchfüh-Wie bereits eingangs ausgeführt, sind bei Zusatz- rung röntgenspektrometrischer Untersuchungen des einrichtungen zu Korpuskularstrahlgeräten die Platz- 15 in dem Mikroskop befindlichen Objektes 4. Dabei Verhältnisse besonders kritisch. Man muß sich da- kann bei Vorliegen eines durchstrahlbaren Objektes 4 her genau überlegen, an welcher Stelle der Zusatz- gleichzeitig eine elektronenmikroskopische oder eine einrichtung man die einzelnen Antriebsknöpfe u. dgl. elektronendiffraktometrische Untersuchung eineranordnen will. Als besonders zweckmäßig hat es seits und eine röntgenspektrometrische Untersuchung sich bei der erfindungsgemäßen Anordnung erwiesen, 20 andererseits durchgeführt werden. Handelt es sich daß die in das Gehäuse eingesetzten, vorzugsweise um ein für Elektronen nicht durchlässiges Objekt, so als Drehtriebe ausgebildeten Antriebe für den kann eine solche gleichzeitige Untersuchung nur Kristall- und gegebenenfalls den Detektorwechsel auf dann vorgenommen werden, wenn das Elektroneneiner Stirnfläche des Gehäuses, dagegen der weitere mikroskop bzw. allgemein das Korpuskularstrahl-Antrieb zur Veränderung des Kristallwinkels in 25 gerät zur Durchführung von Oberflächenuntereinem weiteren Gehäuse auf der anderen Stirnfläche suchungen an kompakten Objekten eingerichtet ist. des Gehäuses angeordnet sind. Dadurch ist die freie In dem Gehäuse 9 der Zusatzeinrichtung 8, das Zugänglichkeit der Antriebe sowie weiterer Betäti- mittels der aus durchsichtigem Material bestehenden gungsmittel gewährleistet, die im Rahmen des wei- Platte 10 unter Zwischenlage der Dichtung 11 teren Antriebs wirksam werden. 30 vakuumdicht abgedeckt werden kann, befinden sichThe swivel movement of the X-ray detectors understandably the structure of the individual is fluid. Of course, it is also possible to use the parts of the microscope, for example the Schleu crystal arrangement, via a 2: 1 reduction device, unimportant within the scope of the invention, gear with a swivel drive for the detector so that these construction details are not given in detail associate. The decisive factor is that it is necessary to indicate
management of both swivel movements only one drive In contrast, the invention relates to the requirement. Formation of the additional device 8 for the implementation As already explained at the beginning, when X-ray spectrometric examinations of the device are added to corpuscular beam devices, the object 4 located in the microscope is particularly critical. In the presence of a radiolucent object 4, one must carefully consider at which point of the additional electron microscope or device one wants to arrange the individual drive buttons and the like electron diffractometric examination. It has proven to be particularly expedient on the one hand and an X-ray spectrometric examination to be carried out on the other hand in the case of the arrangement according to the invention. If the object used in the housing, preferably an object that is not permeable to electrons, is designed as a rotary drive for the drives, such a simultaneous examination can only be carried out when the crystal and, if necessary, the detector are changed if the electrons in one of the end faces of the housing, on the other hand, the further microscope or, in general, the particle beam drive for changing the crystal angle in the device is set up to carry out surface searches on compact objects under a further housing on the other end face. of the housing are arranged. This ensures the free In the housing 9 of the additional device 8, the accessibility of the drives as well as further actuation means consisting of transparent material, which are effective in the context of the white plate 10 with the interposition of the seal 11 lower drive. 30 can be covered vacuum-tight are located

Die beschriebene Kristall- und Röntgendetektor- eine allgemein mit 12 bezeichnete Anordnung mehanordnung kann infolge der genannten Ausrichtung rerer Kristalle sowie eine allgemein mit 13 bezeichdieser beiden Teil anordnungen in einem wannenför- nete Anordnung mehrerer Röntgendetektoren. Auf mig ausgebildeten Gehäuse untergebracht werden, die Einzelheiten dieser Anordnungen soll später dessen offene, vorzugsweise obere Seite mittels einer 35 an Hand der weiteren Figuren eingegangen wer-Platte aus durchsichtigem Material vakuumdicht ab- den; es sei an dieser Stelle lediglich bemerkt, deckbar ist. In der Regel wird es genügen, diese daß in der Kristallanordnung 12 auf einer Trägerdurchsichtige Platte unter Zwischenfügung von Dich- platte 14 mehrere Kristalle, von denen lediglich tungen aufzulegen, da der äußere Luftdruck die er- der mit 15 bezeichnete in dieser Ansicht sichtforderliche Dichtwirkung hervorrufen wird. Es ist 40 bar ist, gemeinsam befestigt sind und daß diese zweckmäßig, daß die Detektoren in dem wannenför- Kristallanordnung durch Bewegung des Trägers 14 migen Gehäuse auf der der Abdeckplatte abge- senkrecht zur Zeichenebene so verschoben werden kehrten Seite der Spektrometerkristallanordnung kann, daß wahlweise einer der Kristalle in den Weg liegen, da man gegebenenfalls eine Nachjustierung der den Kanal 7 durchsetzenden, zu analysierenden der einzelnen Spektrometerkristalle vornehmen und 45 Röntgenstrahlung bewegt werden kann. Der jeweils dazu die Kristallanordnung leicht zugänglich sein in der Betriebsstellung befindliche Kristall, in F i g. 1 muß. Die Verwendung einer Abdeckung aus durch- also der Kristall 15, reflektiert infolge seiner konsichtigem Material hat den Vorteil, daß man laufend kaven Krümmung die Röntgenstrahlung fokussiert in die Stellung der Kristalle beobachten kann. Will man den jeweils in Betriebsstellung befindlichen Röntgenhierauf verzichten, so kann natürlich auch eine Ab- 50 detektor der Anordnung 13. Diese Anordnung 13 deckung aus einem anderen Material Verwendung enthält ein Rohr 16, in dem mehrere Detektoren finden. hintereinander mit ihrer gemeinsamen Achse senk-The crystal and X-ray detector described, a generally designated 12 arrangement, multiple arrangement can be designated as a result of the mentioned alignment of rerer crystals as well as one generally with 13 of these both partial arrangements in a trough-shaped arrangement of several X-ray detectors. on mig trained housing are housed, the details of these arrangements will be later its open, preferably upper side, entered by means of a who plate on the basis of the other figures made of transparent material, vacuum-tight; it should only be noted at this point, is coverable. As a rule, it will be sufficient to have several crystals in the crystal arrangement 12 on a transparent plate with the interposition of a sealing plate 14, of which only due to the fact that the external air pressure is the one indicated by 15 in this view Will cause sealing effect. It is 40 bar is attached together and that this expedient that the detectors in the well-crystal arrangement by moving the carrier 14 shaped housing on which the cover plate can be shifted perpendicular to the plane of the drawing On the other side of the spectrometer crystal assembly, that optionally one of the crystals in the way because the channel 7 penetrating the channel 7 to be analyzed may be readjusted of the individual spectrometer crystals and 45 X-rays can be moved. Each in addition, the crystal arrangement is easily accessible in the operating position crystal, in FIG. 1 got to. The use of a cover made of through-so the crystal 15, reflected as a result of its consistent Material has the advantage that the x-ray radiation is continuously focused in a cave curvature can observe the position of the crystals. If you want the X-ray that is in the operating position on it An area detector of the arrangement 13 can of course also be dispensed with. This arrangement 13 Cover made of a different material use contains a tube 16 in which several detectors Find. one behind the other with their common axis lowering

Im folgenden wird die Erfindung an Hand der recht zur Ebene der F i g. 1 angeordnet sind. EbensoIn the following, the invention will be explained on the basis of the right to the level of FIG. 1 are arranged. as well

figürlich dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert. wie bei der Kristallanordnung 12 erfolgt der Wechselillustrated embodiments explained. as in the case of the crystal arrangement 12, the change takes place

F i g. 1 gibt schematisch eine Übersicht über die 55 des jeweils in der Betriebsstellung befindlichen De-F i g. 1 gives a schematic overview of the 55 of the de-

erfindungsgemäße Anordnung in ihrer Anwendung tektors in der Anordnung 13 durch Verschiebung derinventive arrangement in its application tector in the arrangement 13 by shifting the

auf den Fall, daß die Zusatzeinrichtung sowohl Anordnung in Richtung ihrer senkrecht zur Ebenein the event that the additional device both arrangement in the direction of their perpendicular to the plane

mehrere Röntgendetektoren als auch mehrere Kri- der F i g. 1 liegenden Achse.several X-ray detectors as well as several Kri- der F i g. 1 horizontal axis.

stalle enthält, von denen jeweils ein Element wahl- Die Aufnahme 16 für die Röntgendetektoren stehtContains stalls, each of which has an element of choice. The receptacle 16 stands for the X-ray detectors

weise in den Weg der zu analysierenden Röntgen- 60 über den Arm 17 mit dem in F i g. 1 nur andeutungs-wise in the way of the x-ray to be analyzed 60 via the arm 17 with the one shown in FIG. 1 only hint

strahlung gebracht werden kann. Das in diesem Aus- weise dargestellten Getriebe 18 in Verbindung, dasradiation can be brought. The transmission 18 shown in these documents in connection, the

führungsbeispiel als Elektronenmikroskop ausge- seinerseits mit einem Antrieb für die Schwenkbewe-example as an electron microscope with a drive for the swivel movement

führte Korpuskularstrahlgerät ist durch die Objektiv- gung der Kristallanordnung 12 zum Zwecke der Ab-guided corpuscular beam device is through the lensing of the crystal arrangement 12 for the purpose of

linse 1, die Projektivlinse 2 und die Objekt- tastung des Spektrums der Röntgenstrahlung derLens 1, the projective lens 2 and the object scanning of the spectrum of the X-ray radiation

schleuse 3 angedeutet. Das zu untersuchende Ob- 65 jeweils zu untersuchenden Probe 4 in Verbindunglock 3 indicated. The object to be examined 65 in each case to be examined sample 4 in connection

jekt 4 befindet sich in einer nicht näher dargestellten steht. Durch die Verwendung eines 1: 2-Uberset-ject 4 is located in a not shown. By using a 1: 2 translation

Objektpatrone 5, deren in diesem Zusammenhang zungsgetriebes ist es möglich, die DetektoranordnungObject cartridge 5, whose in this context tongue gear, it is possible to use the detector arrangement

allein wichtiges Merkmal darin besteht, daß sie das 13 mit doppelter Winkelgeschwindigkeit wie dieThe only important feature is that they run the 13 at twice the angular velocity of the

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Kristallanordnung 12 durch ein und denselben An- Um die erforderliche Schwenkbewegung der Kri-Crystal arrangement 12 by one and the same connection.

trieb antreiben zu lassen. Dieser Antrieb befindet sich stalle zum Abtasten des Röntgenspektrums zu ernicht in dem Gehäuse 9, sondern in dem weiteren möglichen, sind die Schienen 32 und 33 mittels der Gehäuse 19, das auf der in F i g. 1 hinteren Stirn- beiden Abstandsscheiben 38 und 39 zu einer Schieflache des Gehäuses 9 befestigt ist. Diese Anordnung 5 nenanordnung ergänzt. Von diesen beiden Scheiben bietet den Vorteil, daß, wie an Hand der weiteren ist die in den F i g. 2 und 3 linke Scheibe so ausge-Figuren im einzelnen noch erläutert wird, die Bedie- bildet, daß die Antriebsstange 34 durch sie hindurchnungsknöpfe für den Kristall- und. den Detektor- greift und demgemäß an der Stelle 40 mit der Trägerwechsel auf der vorderen Stirnfläche des Gehäuses 9 platte 14 verbunden werden kann. Demgegenüber ist frei zugänglich angeordnet werden können, da eine io die andere Abstandsscheibe 39 mit der Antriebswelle Inanspruchnahme des dort vorhandenen Platzes und 41 zur Durchführung der Schwenkbewegung der eine Beeinträchtigung der Bedienbarkeit dieser EIe- Kristalle 15 ... 15 e verbunden. Dadurch ist sichermente durch Anordnung der Antriebsmittel in dem gestellt, daß unabhängig von der jeweiligen Winkelzusätzlichen Gehäuse 19 auf der hinteren Stirnfläche stellung der Kristalle ein Kristallwechsel durch des Gehäuses 9 ausgeschlossen ist. Die Verwendung 15 Betätigen der Stange 34 vorgenommen werden des zusätzlichen Gehäuses 19 bietet den weiteren kann.drive to let drive. This drive is not used to scan the X-ray spectrum in the housing 9, but in the further possible, the rails 32 and 33 are by means of the Housing 19, which is based on the in F i g. 1 rear end-two spacer washers 38 and 39 to form an inclined surface of the housing 9 is attached. This arrangement 5 added to the arrangement. From these two discs has the advantage that, as is shown in the further examples in FIGS. 2 and 3 left disk so out-figures will be explained in detail, the operation forms that the drive rod 34 push buttons through it for the crystal and. the detector engages and accordingly at the point 40 with the carrier change on the front face of the housing 9 plate 14 can be connected. In contrast is can be arranged freely accessible, since one io the other spacer 39 with the drive shaft Claiming the space available there and 41 to carry out the pivoting movement of the an impairment of the operability of these EIe crystals 15 ... 15 e connected. This makes it safe by arranging the drive means in that provided that regardless of the respective angle additional housing 19 on the rear end face position of the crystals through a crystal change of the housing 9 is excluded. The use 15 actuating the rod 34 can be made of the additional housing 19 provides the further can.

Vorteil, daß die in ihm enthaltenen Teile keine Be- Dasselbe gilt bezüglich der die beiden Röntgen-The advantage that the parts contained in it do not

einträchtigung des Vakuums durch Gase oder infolge detektoren 42 und 43 enthaltenden und ferner das Verwendung von Öl und Fett verursachen können. die Aufnahme bildende geschlitzte Rohr 16 aufwei-Mit 20 ist der Antriebsmotor für den Wechsel von 20 senden Röhrenanordnung 13. Auch hier ist in diesem Kristall und Detektoren bzw. sein Gehäuse bezeichnet. Ausführungsbeispiel eine über einen Knopf 44 be-Die gesamte Anordnung ist zweckmäßigerweise tätigbare Antriebsstange 45 vorgesehen, die nur in durch flanschartige Stützen21 in erforderlicher An- Fig. 1 erkennbar ist und an ihrem in dieser Figur zahl an dem Mikroskop gehalten. Diese Stützen 21, rechten Ende mit dem Schienensegment 46 in Verdie das Gehäuse 9 beispielsweise unter Verwendung 25 bindung steht. Ein weiteres derartiges Schienensegdes Tisches 21a und von Schrauben 22 halten, sind ment ist über Stangen 47 mit dem erstgenannten ihrerseits beispielsweise mittels eines Metallbandes Segment 46 starr zu einem Käfig verschraubt und mit 23, das das Mikroskop umschlingt, an diesem gehal- 48 bezeichnet. Diese Schienensegmente 46 und 48 ten. Das Metallband 23 kann teilweise in dem Mantel wirken, wie bezüglich des Detektors 42 im einzelnen des Mikroskops versenkt angeordnet sein, um ein 30 dargestellt ist, mit durch den Schlitz 49 in dem die Abrutschen zu verhindern, wie dies im linken Teil Aufnahme bildenden Rohr 16 hindurchgreifenden der F i g. 1 schematisch, d. h. ohne Berücksichtigung Ansätzen 50 zusammen. Dabei können entweder für von konstruktiven Einzelheiten, angedeutet ist. jeden der Detektoren solche. Ansätze vorgesehenImpairment of the vacuum by gases or as a result of detectors 42 and 43 containing and also the Use of oil and fat can cause. the receiving slotted tube 16 aufwei-mit 20 is the drive motor for the change of 20 send tube assembly 13. Here, too, is in this one Crystal and detectors or its housing designated. Embodiment a be-Die via a button 44 entire arrangement is expediently provided actuatable drive rod 45, which only in can be recognized by flange-like supports 21 in the required Fig. 1 and by their in this figure number held on the microscope. These supports 21, right end with the rail segment 46 in Verdie the housing 9 is binding, for example, using 25. Another such rail segdes Tables 21a and hold screws 22 are ment is via rods 47 with the former in turn, for example, by means of a metal band segment 46 rigidly screwed to a cage and with 23, which wraps around the microscope, denotes held 48 on this. These rail segments 46 and 48 The metal band 23 can function partially in the jacket, as with respect to the detector 42 in detail of the microscope be arranged sunk to a 30 is shown, with through the slot 49 in which the To prevent slipping, as in the left part of the receptacle forming tube 16 reaching through the F i g. 1 schematically, d. H. without considering approaches 50 together. Either for of constructive details, is indicated. each of the detectors such. Approaches provided

Mit 24 ist eine Einrichtung zum Auswechseln von sein, die dann mit verschiedenen Schienensegmenten im Wege der zu analysierenden Röntgenstrahlung 35 zusammenwirken, oder die verschiedenen Detekoren befindlichen Filtern 25 bezeichnet. sind miteinander verbunden, so" daß es genügt, einenWith 24 there is a device for exchanging his, which is then with different rail segments cooperate by way of the X-ray radiation 35 to be analyzed, or the various detectors located filters 25 designated. are connected so "that it is sufficient to have one

Die F i g. 2, 3 und 4 zeigen in drei zueinander einzigen von ihnen mit solchen Ansätzen zu versehen, senkrechten Ansichten bzw. Schnitten wesentliche Da der Ansatz 50 das Schienensegment 46 beider-Einzelheiten eines Ausführungsbeispiels der erfin- seits umgreift und das Schienensegment 46, wie aus dungsgemäßen Zusatzeinrichtung. Dabei sind die- 40 Fig. 3 ersichtlich, kreisringartig innerhalb des Gejenigen Teile, die bereits in F i g. 1 erschienen, mit häuses 9 angeordnet ist, ist die Möglichkeit gegeben, denselben Bezugszeichen versehen. Betrachtet man durch Verschieben der Betätigungsstange 45 in Richzunächst die Einrichtung zum Wechsel der verschie- tung ihrer Achse in jeder Stellung der Röntgendetekdenen, mit 15, 15 a, 15 b usw. bezeichneten Kristalle, türanordnung 13 einen Wechsel des jeweils in Beso erkennt man, daß die einzelnen Kristalle unter 45 triebsstellung befindlichen Detektors vorzunehmen. Verwendung von Stiften und Schrauben, die lediglich Dabei gleitet die käfigartige Anordnung 46, 47, 48 im Falle des Kristalls 15 mit 30 bezeichnet sind, an auf der Innenfläche des Gehäuses 9, die demgemäß der bereits in F i g. 1 angegebenen Trägerplatte 14 entsprechend bearbeitet sein muß. befestigt sind. Diese Trägerplatte 14 umgreift mittels Wie F i g. 4 zeigt, sind die beiden Betätigungszusätzlicher Elemente 31 zwei Schienen 32 und 33, 50 knöpfe 35 und 44 für den Kristall- bzw. den Detekvon denen in F i g. 1 lediglich die Schiene 32 erkenn- torwechsel an der einen Stirnfläche des Gehäuses 9 bar ist. Diese Schienen verlaufen ebenso wie die leicht zugänglich angeordnet. Beiderseits des Betätireihenförmige Anordnung der einzelnen Kristalle gungsknopfes 44 befindet" sich der Zählrohrstecker 15 ... 15 e an der Trägerplatte 14 senkrecht zu der 51 mit dem Gaseinlaß 51a sowie der Zählrohrstecker in Fig. 3 mit 7a bezeichneten Achse des Kanals 7 55 51 b für ein Proportionalzählrohr. Auf dieser Stirn-(s. Fig. 1). Durch Betätigen der Antriebsstange 34 fläche kann ferner ein Belüftungsventil angeordnet mittels des Knopfes 35 ist es möglich, die Kristall- sein.The F i g. 2, 3 and 4 show in three to each other only one of them to be provided with such approaches, vertical views or sections essential Since the approach 50 encompasses the rail segment 46 of both details of an embodiment of the invention and the rail segment 46, as from the additional device according to the invention . The 40 Fig. 3 can be seen, circular ring-like within the Ge those parts which are already shown in FIG. 1 appeared, is arranged with housing 9, it is possible to provide the same reference numerals. If one looks at first the device for changing the shifting of its axis in each position of the X-ray detectors by moving the actuating rod 45 in the direction, with crystals denoted by 15, 15 a, 15 b etc., door arrangement 13 a change of the respectively in Beso can be seen that to make the individual crystals under the detector located in the drive position. Use of pins and screws, which only slide the cage-like arrangement 46, 47, 48 in the case of the crystal 15 with 30, on the inner surface of the housing 9, which is accordingly the one already shown in FIG. 1 specified carrier plate 14 must be processed accordingly. are attached. This support plate 14 engages around by means of As F i g. 4 shows, the two operating additional elements 31 are two rails 32 and 33, 50 buttons 35 and 44 for the crystal and the detector, respectively, of those in FIG. 1 only the rail 32, a detector change on one end face of the housing 9 is bar. These rails run just like the easily accessible ones. On both sides of the actuator row arrangement of the individual crystals supply button 44 is "the counter tube connector 15 ... 15 e on the support plate 14 perpendicular to the 51 with the gas inlet 51a and the counter tube connector in Fig. 3 with 7a designated axis of the channel 7 55 51 b for A proportional counter tube. On this face (see Fig. 1). By actuating the drive rod 34 surface, a ventilation valve can also be arranged by means of the button 35, it is possible to open the crystal.

anordnung 12 mit ihrer Trägerplatte 14 auf den Auf der anderen, in den F i g. 2 und 3 rechtenarrangement 12 with its carrier plate 14 on the other, in the F i g. 2 and 3 right

Schienen 32 und 33 gleitend so lange zu verschieben, Stirnfläche des wannenförmig ausgebildeten Gehäubis der gewünschte Kristall 15 ... 15 e sich im Weg ,60 ses 9 ist dagegen das weitere Gehäuse 19 angeordnet, der zu analysierenden Röntgenstrahlung befindet. das den Antrieb für die Schwenkbewegung von Kri-Zur Erleichterung dieser Einstellung ist in einer Aus- stall und Zählrohr aufnimmt und mit dem Gehäuse nehmung in der Trägerplatte 14 die Kugel 36 unter 20 vereinigt ist. Der Antrieb erfolgt durch den in der Wirkung der Blattfeder 37 gegen die Schiene 32 F i g. 5 dargestellten Getriebemotor 52 über Wechseldrückend gelagert, so daß sie in eine Kerbe 32« 65 räder 53 und 54, deren Anordnung auch Fig. 6 od. dgl. in dieser Schiene einrastet. Derartige Kerben *«a zeigt. Durch Auswechseln dieser Räder lassen sich trägt die Schiene an der Betriebsstellung der einzel- ·; verschiedene ,Übersetzungsverhältnisse erreichen, nen Kristalle 15 ... 15 e entsprechenden Stellen. §g[ Hierdurch wird die Welle 55 !angetrieben, die ihrer-Rails 32 and 33 to slide so long to move the front surface of the tub-shaped housing the desired crystal 15 ... 15 e in the way, 60 ses 9, however, the further housing 19 is arranged, which is to be analyzed X-rays. that the drive for the pivoting movement of Kri-To facilitate this setting is accommodated in a stall and counter tube and with the housing recess in the support plate 14, the ball 36 is combined under 20. The drive takes place through the action of the leaf spring 37 against the rail 32 F i g. 5 illustrated gear motor 52 mounted via alternating pressure so that it engages in a notch 32 «65 wheels 53 and 54, the arrangement of which is also shown in FIG. 6 or the like in this rail. Such notches * «a shows. By exchanging these wheels, the rail can be carried to the operating position of the individual ·; different, transmission ratios achieve, nen crystals 15 ... 15 e corresponding places. §G [This drives the shaft 55!

seits über die Stirnräder 56 und 57 (s. auch F i g. 3) die Schnecke. 58 antreibt. Die Schnecke 58 wirkt mit dem Schrägstirnrad 59 (F i g. 2) zusammen, das fest mit der Antriebsachse 60 für die Kristallanordnung 12 und die Detektoranordnung 13 verbunden ist.on the other hand the worm via the spur gears 56 and 57 (see also FIG. 3). 58 drives. The screw 58 acts with the helical gear 59 (Fig. 2) together, which is fixed to the drive shaft 60 for the crystal arrangement 12 and the detector arrangement 13 is connected.

Um eine Möglichkeit zum einfachen Übergang von der motorischen Winkeleinstellung von Detektor und Kristall zu der schnellen Einstellung von Hand zu haben, muß eine Möglichkeit gegeben sein, um die verschiedenen Räder des Getriebes außer Eingriff zu bringen. Zu diesem Zweck wird gemäß der dargestellten Ausführungsform der Erfindung mittels der Umschaltwippe 61 (F i g. 2, 3), die um die Achse 55 schwenkbar ist, die Schnecke 58 außer Eingriff mit dem Schrägstirnrad 59 gebracht. Mit 62 ist ein ausrastbarer Stift bezeichnet, der im Zusammenwirken mit dem festen Arm 63 die beiden Endlagen der Umschaltwippe. 61 fixiert. Die schnelle Winkeleinstellung von Röntgendetektor und Kristall kann nunmehr durch Betätigen des Handrades 64 (F i g. 2) erfolgen, das mit der Antriebswelle 60 in Verbindung steht»In order to provide an option for a simple transition from the motorized angle adjustment of the detector and To have crystal for the quick adjustment by hand, there must be some way to do that to disengage different gears of the transmission. For this purpose, according to the illustrated Embodiment of the invention by means of the toggle rocker 61 (F i g. 2, 3), which around the axis 55 is pivotable, the worm 58 is brought out of engagement with the helical gear 59. At 62 there is a disengageable Denotes pin which, in cooperation with the fixed arm 63, the two end positions of the Rocker switch. 61 fixed. The fast angle adjustment of the X-ray detector and crystal can now by operating the handwheel 64 (Fig. 2), which is connected to the drive shaft 60 »

In F i g. 7 ist nochmals ein Schema für den Antrieb zum Schwenken der Kristalle und der Detektoren wiedergegeben. Ein Eingehen auf diese Darstellung dürfte sich erübrigen, da sämtliche Bezugszeichen bereits an Hand der F i g. 2 bis 5 erläutert sind.In Fig. 7 is again a diagram for the drive for pivoting the crystals and the detectors reproduced. It should be superfluous to go into this illustration, since all the reference symbols already on the basis of FIG. 2 to 5 are explained.

Der beschriebene Aufbau der Zusatzeinrichtung mit der Anordnung der Kristalle und der Röntgendetektoren quer zur Richtung der zu analysierenden Röntgenstrahlung, wobei die Betätigungsknöpfe für den Kristall- und den Detektorwechsel auf der einen Stirnseite dieses Gehäuses und die Antriebsmittel für die Schwenkbewegung der genannten Elemente auf der anderen Stirnfläche dieses Gehäuses angeordnet sind, bietet den weiteren Vorteil, ohne Behinderung des Kristall- und des Detektorwechsels in dem weiteren Gehäuse 19 für den Antrieb zur Schwenkbewegung Mittel zur Ablesung des jeweils eingestellten Kristallwinkels vorzusehen. Zu diesem Zweck ist gemäß den Fig. 2 und 5 auf der Welle 60 eine Skalentrommel 65 befestigt, die ihrerseits neben einer Winkelskala den Nonius 66 trägt. Die Skala sowie der Nonius werden mittels einer Glühlampe 67 auf der Skalentrommel 65 von hinten bestrahlt, so daß der Spiegel 68 den jeweils, interessierenden Skalenwert über das Objektiv 69 auf die Mattscheibe 70 wirft, die in der Wand des weiteren Gehäuses 19 angeordnet ist.The described structure of the additional device with the arrangement of the crystals and the X-ray detectors transversely to the direction of the X-ray radiation to be analyzed, the operating buttons for the crystal and the detector exchange on one end of this housing and the drive means for the pivoting movement of said elements is arranged on the other end face of this housing are, offers the further advantage, without hindering the crystal and detector change in the further Housing 19 for the drive for the pivoting movement, means for reading the respectively set Provide crystal angle. For this purpose, according to FIGS. 2 and 5 on the shaft 60 is a The scale drum 65 is attached, which in turn bears the vernier 66 in addition to an angular scale. The scale as well the vernier are irradiated from behind by means of an incandescent lamp 67 on the scale drum 65, so that the mirror 68 the respective, interesting scale value via the objective 69 on the ground glass 70 throws, which is arranged in the wall of the further housing 19.

Verständlicherweise, lassen sich konstruktive Einzelheiten der Erfindung auch abweichend von den dargestellten Ausführungbeispielen ausführen. Beispielsweise ist es nicht erforderlich, den Kanal 7 in dem Korpuskularstrahlmikroskop horizontal anzuordnen; er kann vielmehr auch schräg verlaufen, wobei dann gegebenenfalls der Winkel, den das Objekt 4 mit der Achse 6 des Korpuskularstrahles bildet, entsprechend geändert werden muß. Auch kann das erfindungsgemäße Prinzip in den Fällen Anwendung finden, in denen die Zusatzeinrichtung für die Röntgenspektrometrie entweder mehrere Kristalle oder mehrere Röntgendetektoren enthält, dagegen nur ein Detektor bzw. nur ein Kristall vorhanden ist. Auch kann verständlicherweise die Befestigung der Zusatzeinrichtung an dem Korpuskularstrahlgerät in anderer Weise konstruktiv gelöst werden. Der Kanal kann auch einen erheblich größeren Durchmesser haben, als in Fig. 1 angedeutet. Die verschiedenen Antriebe sind vakuumdicht durch das jeweilige Gehäuse geführt.Understandably, there are constructive details the invention also perform differently from the illustrated embodiments. For example it is not necessary to arrange the channel 7 horizontally in the particle beam microscope; Rather, it can also run obliquely, in which case the angle that the Object 4 forms with the axis 6 of the corpuscular beam, must be changed accordingly. Even the principle according to the invention can be used in cases in which the additional device for X-ray spectrometry either several crystals or contains several X-ray detectors, whereas only one detector or only one crystal is present is. Understandably, the attachment of the additional device to the particle beam device can also be used can be solved constructively in another way. The canal can also be a considerably larger one Have a diameter as indicated in FIG. 1. The various drives are vacuum-tight thanks to the respective housing out.

Claims

Patent claims:

1. X-ray spectrometer additional device for a particle beam device, in particular an electron microscope, which can be attached to the device at least approximately in the area of an object located in the device and in which a spectrometer crystal located in the path of the X-ray radiation emitted by the object to be analyzed transfers the X-rays into an X-ray detector reflected, characterized in that several spectrometer crystals (15, 15 a ... 15 e) of different curvature are arranged in a row perpendicular to the direction of the X-ray radiation and by means of all crystals (15, 15a ... 15e) common in the longitudinal direction of the row-shaped Crystal arrangement running rails (32, 33) are guided displaceably in this direction by drive means (34, 35) and that the rails (32, 33) for the purpose of changing the crystal angle in a housing (9) receiving the spectrometer crystals by means of a further drive (52, 64) are pivoted.

2. Additional device according to claim 1, characterized in that the drive means one also running in the direction of the displacement movement, with all spectrometer crystals related drive rod (34) included, which by means of a in the housing (9) used drive (35), preferably a rotary drive, displaceable in its longitudinal direction is.

3. Additional device according to claim 1 or 2, characterized in that the crystals (15, 15 a ... 15 e) of the arrangement on a carrier plate (14) are attached to which the. Drive means, in the example the drive rod (34), attack and which is held displaceably on the rails (32, 33).

4. Additional device according to claim 3, characterized in that the rails (32, 33) and the support plate (14) structural elements (36, 37), such as balls resiliently latching into notches, assigned to the operating positions of the individual spectrometer crystals (15, 15 «... ISe) define corresponding locking positions.

5. Additional device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the Rails (32, 33) to form a unit by means of spacers (38, 39) are summarized, of which the one on one side of the crystal arrangement lying (38) are penetrated by the drive rod, while one on the other Spacer (39) with the further drive (52, 64) lying on the side of the crystal arrangement connected is.

6. Additional device according to one of claims 1 to 5, characterized in that several X-ray detectors (42, 43) lying next to one another and together at least approximately perpendicular to them for the purpose of scanning the X-ray spectrum swiveling movement that takes place displaceable in a common receptacle (16) are held and that the X-ray detectors in all positions achieved by pivoting

gene with the pivoting movement adapted rail segments (46, 48) are in engagement, through whose parallel shift either one of the X-ray detectors in the path of the Crystal reflected X-ray radiation is movable.

7. Additional device according to claim 6, characterized in that the receptacle is an in Slotted in the axial direction, connected to a drive for the pivoting movement Tube (16) is provided through its slot (49) on at least one of the X-ray detectors Extensions (50) which secure against rotation reach through with the rail segments (46, 48) are in engagement.

8. Additional device according to claim 6 or 7, characterized in that the rail segments (46, 48) are combined by struts (47) to form a cage-like arrangement which by means of a drive element (45) with support on the inner wall of one of the X-ray detectors receiving housing (9) is displaceable.

9. Additional device according to claim 8, characterized in that the drive member a drive rod (45), which by means of a drive inserted into the housing, preferably a rotary drive (44), is displaceable in its longitudinal direction.

10. Additional device according to one of the claims 1 to 5 and one of claims 6 to 9, characterized in that the row-shaped spectrometer crystal arrangement (15, 15 a . .15 e) and the common axis of the X-ray detectors (42, 43) are parallel are arranged displaceably to one another in a common housing (9).

11. Additional device according to claim 10, characterized in that the receptacle (16) for the X-ray detectors to carry out the pivoting movement via a 1: 2 transmission gear (18) is connected to the further drive (52, 64) serving to change the crystal angle.

12. Additional device according to one of claims 5 to 11, characterized in that the drives (35, 44) used in the housing, preferably designed as rotary drives, for the crystal and possibly the detector change on one end face of the housing (9), on the other hand the further drive (52, 64) for changing the crystal angle in another Housing (19) are arranged on the other end face of the housing (9).

13. Additional device according to claim 12, characterized in that the housing (9) is trough-shaped formed and its open side by means of a plate (10) made of transparent material can be covered in a vacuum-tight manner.

14. Additional device according to claim 13, characterized in that the X-ray detectors (42, 43 ) lie in the trough-shaped housing (9) on the side of the spectrometer crystal arrangement (15, 15a ... 15e) facing away from the cover plate (10).

For this purpose 2 sheets of drawings