DE1448502C

DE1448502C - Measuring microscope with image doubling for measuring the size of an object

Info

Publication number: DE1448502C
Authority: DE
Inventors: Harold Horace Barnet Hertfordshire Hopkins (Großbritannien)
Original assignee: W Watson and Sons Ltd
Current assignee: W Watson and Sons Ltd
Publication date: 1971-05-19

Description

Die Erfindung betrifft ein Meßmikroskop mit Bildverdoppelung zur Messung der Größe eines Objekts, bei dem von einem das Bild des Objekts übertragenden Strahl zwei Bilder in dem gleichen Blickfeld erzeugt werden und bei dem eine optische Einrichtung mit ebener Oberfläche zur Teilung des Strahlengangs den das Objektbild übertragenden Strahl durch Amplitudenteilung in zwei Strahlen aufspaltet, wobei zwei gegeneinander geneigte Reflektoren vorgesehen sind, die so angeordnet sind, daß jeder der beiden geteilten Strahlen nacheinander in eine den beiden Strahlen entgegengesetzte Richtung entsprechend reflektiert wird.The invention relates to a measuring microscope with image doubling for measuring the size of a Object in which a beam transmitting the image of the object has two images in the same Field of view are generated and in which an optical device with a flat surface for dividing the Beam path splits the beam transmitting the object image into two beams by dividing the amplitude, wherein two mutually inclined reflectors are provided which are arranged so that each of the two divided beams one after the other in a direction opposite to the two beams is reflected.

Es sind bereits Doppelbildokulare bekannt, die für den angegebenen Meßzweck geeignet sind. Diese Geräte enthalten zur Strahlenablenkung Prismensysteme, welche dazu geeignet sind, zwei um 180° versetzte Bilder des' Priifobjekts zu erzeugen, die durch Verschieben des Mikroskops oder des Meßschlittens zur Deckung zu bringen sind. In solchen Prismensystemen treten aber viele Reflektionsvorgänge auf, so daß ein Verlust an Bildqualität unvermeidbar ist. ■Double image eyepieces are already known which are suitable for the specified measuring purpose. This Devices contain prism systems for deflecting rays, which are suitable for two by 180 ° to generate offset images of the test object by moving the microscope or the measuring slide are to be brought to congruence. However, many reflection processes occur in such prism systems so that a loss of image quality is inevitable. ■

Ferner ist es bekannt, zur Erzeugung von Doppelbildern zwei getrennte Glasplatten zu verwenden, die je eine Hälfte des Blickfelds bedecken. Sollen beide Bilder gleich hell erscheinen, so muß das Auge genau auf die optische Achse des Mikroskops ausgerichtet werden. Außerdem ergeben sich erhebliche mechanische Schwierigkeiten sowohl beim Einstellen der Platten als auch bei einer genauen Drehung der Glasplatten um gleiche entgegengesetzte Beträge. .It is also known to use two separate glass plates to produce double images, which each cover half of the field of view. If both images are to appear equally bright, the eye must be precise aligned with the optical axis of the microscope. In addition, there are significant mechanical Difficulties both in adjusting the plates and in an accurate rotation of the Glass plates by equal opposite amounts. .

Bei einer weiteren bekannten Ausführungsform eines Doppelbildmikroskops werden zur Erzeugung des Doppelbildes doppelbrechende Kristalle verwendet. Solche Kristalle werfen erhebliche Schwierigkeiten bei der Herstellung auf. Ferner ist ihre Anwendung zur Messung von Objekten, die ihrerseits doppelbrechend sind, problematisch. Bei der bekannten, mit doppelbrechenden Kristallen ausgestatteten Vorrichtung können die Bilder nur in diskreten, begrenzten Beträgen voneinander getrennt werden, wenn die Kristalle nicht als abgeschrägte Teile ausgebildet sind. Eine Herstellung solcher geeigneter Kristalle ist aber sehr schwierig.In a further known embodiment of a double image microscope, of the double image used birefringent crystals. Such crystals present considerable difficulties of manufacture. It is also used to measure objects which in turn are birefringent are problematic. In the known device equipped with birefringent crystals the images can only be separated from each other in discrete, limited amounts if the Crystals are not designed as beveled parts. A production of such suitable crystals is however very difficult.

Es sind auch Doppelbildmikroskope bekannt, die zur Erzeugung von zwei Bildern eines Objekts zwei getrennte Objektive verwenden. Hierbei werden die von jedem Objektiv kommenden Strahlen jeweils von einem Reflektor reflektiert, der entweder als für sich verschiebbarer Spiegel oder als Prisma ausgebildet sein kann. Da bei einer voneinander unabhängigen Verschiebung der einzelnen Reflektoren die Meßgcnauigkcil davon abhängt, mit welcher Genauigkeit die Einstellungen jedes Reflektors bestimmt werden können, diese Einslellungcn aber durch sehr kleine Winkelbewcgungen erzielt werden, die nicht genau zu messen sind, führen geringe Meßungenauigkeiten zu groL'en Fehlern hei der Bestimmung der Objektgröße.There are also double image microscopes known, which are used to generate two images of an object use separate lenses. Here, the rays coming from each lens are respectively reflected by a reflector, which is designed either as a sliding mirror or as a prism can be. Since with a mutually independent displacement of the individual reflectors the measuring accuracy depends on the accuracy with which the settings of each reflector are determined can, but these settings can be achieved by very small angular movements that are not exactly are measured, small measurement inaccuracies lead to large errors in determining the object size.

Der Erfinder hat sich daher die Aufgabe gestellt, einen Aufbau eines Doppelbildmikroskops anzugeben, durch den es möglich ist, unter Vermeidung der oben genannten Nachteile die Bilder im Blickfeld gegeneinander /u bewegen, um die Größe eines Objekts mit gröiJerer Genauigkeit als bisher bestimmen zu können.The inventor has therefore set himself the task of specifying a structure for a double image microscope, by which it is possible, while avoiding the disadvantages mentioned above, the images in the field of view against each other Move / u to determine the size of an object with greater accuracy than before.

Dies wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß die beiden Reflektoren aus zwei starr auf einem gemeinsamen, senkrecht zur Ebene der strahlenteilenden Einrichtung meßbar verstellbaren Rahmen zueinander geneigt angebrachten Planspiegeln bestehen. This is achieved according to the invention in that the two reflectors of two rigidly on one common, measurably adjustable frame perpendicular to the plane of the beam-splitting device There are plane mirrors inclined to one another.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat den Vorteil, daß ihre Herstellung einfacher als bei den bekannten Vorrichtungen ist. Es werden lediglich vier optisch zusammenwirkende Flächen benötigt. Hierdurch werden die sich addierenden, durch die erforderlichen optischen Flächen bedingten Bildfehler verringert.The device according to the invention has the advantage that it is easier to manufacture than the known ones Devices is. Only four optically interacting surfaces are required. This will be the cumulative image errors caused by the required optical surfaces are reduced.

ίο Außerdem wird durch die Vorrichtung relativ wenig Licht verschluckt, daher ist es möglich, einen gewöhnlichen Projektionsschirm und eine gewöhnliche Lichtquelle zu verwenden. Durch die starre Anordnung der beiden Planspiegel auf einem gemeinsamen bewegliehen Rahmen erhält das Gerät eine größere Stabilität, so daß durch mechanische Störungen verursachte Fehler entfallen. Da zwischen der Bewegung des Rahmens und der Bewegung der Bilder ein lineares Verhältnis besteht, kann die Größe des zu messenden Objekts auf einfache Weise und sehr genau bestimmt werden.ίο In addition, the device makes relatively little Light is swallowed, so it is possible to use an ordinary projection screen and light source to use. Due to the rigid arrangement of the two plane mirrors on a common movable The frame receives the device a greater stability, so that caused by mechanical disturbances Errors are eliminated. Since there is a linear movement between the movement of the frame and the movement of the images Relationship exists, the size of the object to be measured can be determined easily and very precisely will.

Vorzugsweise ist der Rahmen so ausgebildet, daß er um eine in der Ebene der strahlenteilenden Einrichtung liegende Achse drehbar ist.The frame is preferably designed in such a way that it surrounds one in the plane of the beam-splitting device lying axis is rotatable.

Weiterhin hat sich eine Ausführungsform als vorteilhaft erwiesen, bei der die beiden Planspiegel und die strahlenteilende Einrichtung auf demselben Rahmen angeordnet sind, der linear verschiebbar ausgebildet ist.Furthermore, an embodiment has proven to be advantageous in which the two plane mirrors and the beam-splitting device are arranged on the same frame, which is designed to be linearly displaceable is.

Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung an Hand von beispielsweisen Ausführungsformen eines erfindungsgemäßen Gerätes, und zwar
F i g. 1 ein Schema des Gerätes,Further details of the invention emerge from the following description on the basis of exemplary embodiments of a device according to the invention, specifically
F i g. 1 a scheme of the device,

F i g. 2 das einem Mikroskop einverleibte Gerät in etwas vergrößertem Maßstab,
F i g. 3 eine andere Ausführungsform der F i g. 2, F i g. 4, 5, 6, 7 und 8 Bilder des Objektes.
Gemäß Fig. l.und 2 besitzt das Mikroskop ein Objektiv 20, welches an dem einen Ende eines Hohlzylinders 21 angeordnet ist, sowie ein Okular 19. Das Gerät ist, wie aus F i g. 2 ersichtlich, zwischen dem Objektiv 20 und dem Okular 19 eines Mikroskopes angeordnet. Das Gerät besteht aus zwei Planspiegeln 12 und 13 und einem eine stahlenteilende Einrichtung darstellenden Glaskörper 11, welcher zwei optische Oberflächen 14 und 15 aufweist. Die Oberfläche 14 ist teilweise reflektierend ausgebildet. Ein Strahl 16 des Objektivs 20 ermöglicht die Wiedergabe des Objektes 10, welches durch das Mikroskop betrachtet werden kann. Dieser Strahl 16 fällt auf den Glaskörper 11 und wird beim Durchtritt durch dessen Oberfläche 15 gebrochen. Die andere Oberfläche 14 wird von dem gebrochenen Strahl 18 durchsetzt, während ein anderer Teil in Form des Strahles 17 reflektiert wird. Der Strahl 18 wird durch die beiden Spiegel 13 und 12 nacheinander reflektiert und durchsetzt den Glaskörper 11, um in das Okular 19 einzufallen. Der Strahl 17 hingegen wird durch die Spiegel 12 und 13 nacheinander reflektiert und gelangt in das Okular 19, nachdem er durch die Oberfläche 14 des Glasblocks 11 reflektiert wurde.F i g. 2 the device incorporated into a microscope on a slightly enlarged scale,
F i g. 3 shows another embodiment of FIG. 2, fig. 4, 5, 6, 7 and 8 images of the object.
According to FIGS. 1 and 2, the microscope has an objective 20, which is arranged at one end of a hollow cylinder 21, and an eyepiece 19. The device is, as shown in FIG. 2, arranged between the objective 20 and the eyepiece 19 of a microscope. The device consists of two plane mirrors 12 and 13 and a glass body 11 which represents a steel-dividing device and which has two optical surfaces 14 and 15. The surface 14 is partially reflective. A beam 16 of the objective 20 enables the reproduction of the object 10, which can be viewed through the microscope. This beam 16 falls on the glass body 11 and is refracted when it passes through its surface 15. The other surface 14 is penetrated by the refracted beam 18, while another part in the form of the beam 17 is reflected. The beam 18 is reflected one after the other by the two mirrors 13 and 12 and passes through the glass body 11 in order to enter the eyepiece 19. The beam 17, on the other hand, is reflected one after the other by the mirrors 12 and 13 and reaches the eyepiece 19 after it has been reflected by the surface 14 of the glass block 11.

Ein Prisma 24 ist zwis:hen dem Glaskörper 11 und dem Okular 19 angeordnet, um das den Glaskörper 11 verlassende Licht durch eine Blende 25 in das Okular zu lenken. Die beiden Strahlen 17 und 18 ergeben Bilder in der Brennpunktebene des Okulars 19. Wenn die Spiegel 12 und 13 in der in der Zeichnung darge-A prism 24 is arranged between the glass body 11 and the eyepiece 19, around which the glass body 11 Directing leaving light through a diaphragm 25 into the eyepiece. The two rays 17 and 18 result Images in the focal plane of the eyepiece 19. When the mirrors 12 and 13 in the position shown in the drawing

3 43 4

stellten Lage sich befinden, so liegen die beiden Bilder Defokussierung des Bildes dadurch, daß die Ebeneposed position are, so are the two images defocusing of the image by the fact that the plane

in .Ein der Brennpunktebene des Okulars übereinander- der beiden Bilder entlang der entsprechenden optischenin .Ein the focal plane of the eyepiece one above the other - the two images along the corresponding optical

gelagert. Ist das Objektiv 10 von runder Form, wie Achse in einem Abstand Z bewegt wird. Z entsprichtstored. If the lens 10 is round in shape, how axis is moved a distance Z. Z corresponds to

in F i g. 4 gezeigt, so ergeben die beiden Strahlen der Gleichungin Fig. 4, the two rays give the equation

übereinandergelagerte Bilder P und Q (F i g. 5). 5 , ζ = (2ύηΦ) νsuperimposed images P and Q (FIG. 5). 5, ζ = (2ύηΦ) ν

Die beiden Spiegel 12 und 13 sind in einem gemeinsamen Rahmen 31 gehalten. Dieser Rahmen ist um Diese Defokussierung kann in Kauf genommen eine Achse verdrehbar, welche zur Zeichenebene werden, wenn sie klein genug ist, um keine Wirkung senkrecht steht und etwa den Punkt C schneidet. auf die Qualität des Bildes auszuüben. Diese telezen-Dieser Punkt C ist jener, in welchem der Strahl 16 io trische Anordnung ist vorgenommen, um jegliche originär in die beiden Strahlen 17 und 18 aufgeteilt Fehler in der Vergrößerung auszuschließen, welche wird. Die Verdrehung des Rahmens 31 erfolgt über sich aus einer solchen Defokussierung ergeben. Im einen Knopf 32 und eine Spindel 22. Ein vorstehender wiedergegebenen Beispiel sind die Dimensionen fol-Arm 28 des Rahmens 31 ist unter Last einer Feder 23 gende:
in Kontakt mit der Verstellspindel 22 gehalten. 15 _AB j_{st 49} ^_{1 mm}
Eine Skala 27 ist mit der Spindel 22 verbunden. ^q j_st 33555 mm'The two mirrors 12 and 13 are held in a common frame 31. This frame can be rotated around an axis which can be taken into account, which axis becomes the plane of the drawing if it is small enough to have no effect and approximately intersects point C. to exercise on the quality of the image. This telezen-This point C is the one at which the beam 16 io-tric arrangement is made in order to exclude any errors in the magnification which was originally divided into the two beams 17 and 18. The rotation of the frame 31 takes place as a result of such a defocusing. In a button 32 and a spindle 22. An example shown above are the dimensions of the fol-arm 28 of the frame 31 is under the load of a spring 23:
held in contact with the lead screw 22. 15 _AB j _{st 49} ^ _{1 mm}
A scale 27 is connected to the spindle 22. ^ q j _st 33555 mm '

Werden die beiden Spiegel um die Achse C gedreht, ßp j_st 29^595 mm,If the two mirrors are rotated around the axis C , ßp j _st 29 ^ 595 mm,

so werden die beiden Bilder P und Q in der Brenn- q£ j_st \2,S mm!
punktebene des Okulars auseinandergeschert (F i g. 6),so the two images P and Q are in the focal q £ j _st \ 2, S mm!
point plane of the eyepiece sheared apart (Fig. 6),

d. h., die beiden Bilder P und Q liegen, sich gegenseitig 2° Wenn die Spiegel um 1° gedreht werden, so ergibt z. T. schneidend, nebeneinander. Das Ausmaß der sich eine Bildtrennung von 4 mm.
seitlichen Trennung ist bei gegebener Stellung der Gemäß der Ausführungsform der Fig. 3 sind alle Rotationsachse C eine Funktion des Winkels, um jene Teile, welche auch in Fig. 1 und 2 erscheinen, den das Spiegelpaar 12 und 13 gedreht wurde. Die rnit den dortigen Bezugszeichen versehen. Ein MikroSkala 27 ist so ausgebildet, daß die seitliche Tren- 25 skopobjektiv 20 ist am einen Ende eines Rohrs 21 nung der beiden Bilder unmittelbar abgelesen werden befestigt, welches die zwei Längenkorrekturlinsen 29 kann. und 30 enthält. Ein Glaskörper 11 und zwei Spiegel 12that is, the two images P and Q are mutually 2 °. If the mirrors are rotated by 1 °, then z. T. cutting, side by side. The extent of an image separation of 4 mm.
According to the embodiment of FIG. 3, all the axes of rotation C are a function of the angle around those parts which also appear in FIGS. 1 and 2 that the pair of mirrors 12 and 13 was rotated. They are provided with the reference numerals given there. A microscale 27 is designed so that the lateral separating lens 20 is attached to one end of a tube 21 where the two images can be read directly, which the two length correction lenses 29 can use. and 30 contains. A glass body 11 and two mirrors 12

Im Fall der F i g. 6 ist der gegenseitige Übergriff und 13 sind auf einem gemeinsamen Rahmen 31 der beiden Bilder P und Q schraffiert dargestellt. befestigt, welcher in.seiner Längsrichtung verschiebbar Wird die Spiegeleinheit 12, 13 etwas mehr gedreht, 30 angeordnet ist. Eine Mikrometerschraube 22 welche so kann eine vollkommene'Trennung der beiden durch einen Knopf 32 zu betätigen ist, ist dazu beBilder P und Q,erfolgen, wie in F i g. 7 dargestellt. stimmt, mit ihrem einen Ende gegen einen Arm eines Das Mikroskop kann also dazu benutzt werden, die um die Achse 34 verdrehbaren Winkelstücks 33 abGröße des kleinen Objektes zu messen. Die Spiegel 12 zustutzen. Der andere Arm des Winkelstücks 33 steht und 13 werden zu diesem Zweck in einer Richtung 35 ™ Eingriff mit einem Fortsatz 28 des Rahmens 31, gedreht, bis die beiden Bilder P und Q des Objektes. 10 der unter dem Einfluß einer Feder 40. gegen diesen sich gerade noch berühren, wie in F i g. 7 dargestellt.. Arm des Winkelstücks 33 angelegt wird. Das eine Ende Daraufhin wird die Drehrichtung der beiden Spiegel eines Stabes 36 ist verschiebbar in einer Höhlung 39 12 und 13 umgekehrt, bis die beiden Bilder P und Q des Bedienungsknopfes 32. Das andere Ende des sich an den anderen beiden Seiten gegenseitig berühren 40 Stabes 36 steht im Eingriff mit einem Zahnrad 35, (Fig. 8). Durch die umgekehrte Verdrehung des welches auf der Schraube 22 verschiebbar ist. Das Spiegelrahmens sind die beiden Bilder P und Q also Rad 35 wird also mit dem Knopf 32 · verdreht. Das in ihrer Lage ausgetauscht. Auf der Skala 27 läßt sich Rad 35 steht im Eingriff mit einem Zahnrad 37, der Drehwinkel zwischen den beiden Endstellungen welches ein Zählwerk 38 antreibt. Der Knopf 32 des Spiegelpaars 12 und 13 ablesen, und dieser 45 besitzt eine Skala 41, deren Stellung gegenüber einem Drehwinkel läßt Schlüsse auf die Größe des Objektes Zeiger 42 ablesbar ist.
zu. Der aus dem Glaskörper 11 austretende Strahl ge-In the case of FIG. 6 is the mutual overlap and 13 are shown hatched on a common frame 31 of the two images P and Q. attached, which is displaceable in its longitudinal direction. If the mirror unit 12, 13 is rotated a little more, 30 is arranged. A micrometer screw 22, which can be actuated to completely separate the two by means of a button 32, is shown in Figures P and Q , as shown in FIG. 7 shown. true, with its one end against an arm of a The microscope can thus be used to measure the angle piece 33, which can be rotated about the axis 34, from the size of the small object. Cut the mirrors 12. The other arm of the elbow 33 stands and 13 are rotated for this purpose in a direction 35 ™ engagement with an extension 28 of the frame 31, until the two images P and Q of the object. 10 which, under the influence of a spring 40, just touch each other against it, as in FIG. 7 shown .. Arm of the elbow 33 is applied. One end thereupon the direction of rotation of the two mirrors of a rod 36 is slidable in a cavity 39 12 and 13 reversed until the two images P and Q of the control button 32. The other end of the rod 36 touching each other on the other two sides is in engagement with a gear 35, (Fig. 8). The reverse rotation of the which is slidable on the screw 22. The mirror frame are the two images P and Q, so wheel 35 is rotated with button 32. That exchanged in their position. On the scale 27 can be wheel 35 is in engagement with a gear 37, the angle of rotation between the two end positions which a counter 38 drives. Read the button 32 of the pair of mirrors 12 and 13, and this 45 has a scale 41, the position of which in relation to an angle of rotation allows conclusions to be drawn about the size of the object pointer 42.
to. The beam emerging from the glass body 11

Der optische Abstand zwischen dem Objektiv 20 langt über ein Prisma 24 und nach Durchsetzung einesThe optical distance between the objective 20 reaches over a prism 24 and after enforcing one

und der Brennpunktebene des Okulars 19 kann Fadenkreuzes 45 in das Okular 19. Die Wirkung eines dadurch vergößert werden, daß zwischen der Linse 20 5° erfindungsgemäßen Gerätes nach F i g. 3 ist ähnlichand the focal plane of the eyepiece 19 can crosshairs 45 in the eyepiece 19. The effect of a be enlarged by the fact that between the lens 20 5 ° device according to the invention according to FIG. 3 is similar

und dem Glaskörper 11 Längenkorrekturlinsen 29 der des Gerätes nach F i g. 2 mit der Abweichung, daßand the glass body 11 length correction lenses 29 of the device according to FIG. 2 with the exception that

und 30 (Doppellinsen) angeordnet werden. die Verdrehung des Knopfes 32 eine lineare Verschie-and 30 (double lenses) are arranged. the rotation of the knob 32 a linear shift

Im gezeichneten Beispiel stellt F den Punkt dar, in bung des Rahmens 31 in der Pfeilrichtung A derIn the example shown, F represents the point in exercise of the frame 31 in the direction of the arrow A

welchem sich die durch die Spiegel 12 und 13 gebil- F i g. 3 zur Folge hat; diese lineare Verschiebung hat deten Ebenen schneiden. Die lineare Verstellung dieses 55 die gleiche Folge wie die Verdrehung in der x-Richtungwhich the formed by the mirrors 12 and 13 F i g. 3 entails; has this linear displacement cut the planes. The linear adjustment of this 55 has the same consequence as the rotation in the x-direction

Punktes F in der Richtung χ (das ist die Richtung der Fig. 1 und 2; die im Okular 19 erscheinendenPoint F in the direction χ (that is the direction of FIGS. 1 and 2; those appearing in the eyepiece 19

senkrecht zur Längsachse des Glaskörpers 11, und Bilder sind die gleichen wie die im Okular der F i g. 1perpendicular to the longitudinal axis of the glass body 11, and images are the same as those in the eyepiece of FIG. 1

zwar in Positiv-Negativ-Verschiebung) verursacht eine und 2 erscheinenden. Die seitliche Trennung der imalthough in positive-negative shift) causes one and 2 to appear. The lateral separation of the im

seitliche Trennung der beiden Bilder. Die tatsächliche Okular erscheinenden Bilder kann am Zählwerk 38 Bildtrennung S ist also im Fall einer Verschiebung 60 und an der Skala 41 abgelesen werden,lateral separation of the two pictures. The actual images appearing in the eyepiece can be read from the counter 38 Image separation S is in the case of a shift 60 and from the scale 41,

durch die Gleichung . Das Fadenkreuz 45 ist in der Brennpunktebene desby the equation. The crosshair 45 is in the focal plane of the

5 _ . Okulars 19 angeordnet und besitzt zwei parallele5 _. Arranged eyepiece 19 and has two parallel

^X ~ ~λ · a> Linien, so daß die Richtung des gegenseitigen Über- ^X ~ ~ λ a> lines, so that the direction of the mutual crossing

^{4 sin φ} griffs der Bilder im Okular 19 festgestellt werden kann, ^{4 sin φ} handle of the images in the eyepiece 19 can be determined

gegeben, in der Φ den Winkel zwischen den beiden 65 und zwar relativ zur Gestalt des Objektes 10, das durchgiven, in the Φ the angle between the two 65 and relative to the shape of the object 10, which is through

Spiegeln 12 und 13 darstellt. das Mikroskop betrachtet wird.Represents mirrors 12 and 13. the microscope is viewed.

Jede Bewegung des Punktes F in einer zur Längs- Das den Strahlengang teilende Gerät kann auchAny movement of the point F in a direction to the longitudinal The device dividing the beam path can also

achse des Blocks 11 parallelen Richtung bedingt eine zweifarbig sein, um so zwei Bilder mit komplemcn-axis of the block 11 parallel direction requires a two-color, so two images with complemcn-

tären Farben zu erzeugen. Der sich überlappende Teil der beiden Bilder erscheint dann weiß. Für kleine Veränderungen der beiden Spiegel 12 und 13 kann auch ein Hebel benutzt werden. Der Hebel ist so ausgebildet, daß der kurze Arm eine kleine Veränderung des Ge-. häuses 31 ergibt, wenn der längere Arm in seiner Lage verstellt wird.to produce tary colors. The overlapping part the two images then appear white. For small changes of the two mirrors 12 and 13 can also a lever can be used. The lever is designed so that the short arm a small change in the gear. Housing 31 results when the longer arm is in place is adjusted.

Die beiden Spiegel brauchen nicht notwendig um den Punkt C gedreht zu werden. Die Rotationsachse der beiden Spiegel kann auch eine andere sein. Wenn *° die Rotationsachse der beiden Spiegel nahe am Punkt F liegt, dann ist eine größere Rotation des Spiegelpaars erforderlich, um eine Scherung S zu erzeugen. Dabei ergibt sich jedoch eine größere Defokussierung Z. Die Rotationsachse kann auch weiter vom Punkt F ent- ¹S fernt liegen. Das ergibt jedoch eine geringere Empfindlichkeit. Wenn ein großer Übergriff S zu erzeugen ist, dann ist es von Vorteil, wenn die Rotationsachse einen Punkt nahe dem Punkt C schneidet.The two mirrors do not need to be rotated around point C. The axis of rotation of the two mirrors can also be different. If * ° the axis of rotation of the two mirrors is close to the point F , then a greater rotation of the mirror pair is necessary in order to generate a shear S. In this case, however, a larger defocus Z. The axis of rotation results may continue from the point F corresponds S ¹ are removed. However, this results in a lower sensitivity. If a large overlap S is to be generated, then it is advantageous if the axis of rotation intersects a point near point C.

soso

Claims

Patent claims:

1. Measuring microscope with image doubling for measuring the size of an object, in which ^{two images are generated in the same field of view from a beam a} 5 transmitting the image of the object and in which an optical device with a flat surface for dividing the beam path denotes the The beam transmitting the object image is split into two beams by amplitude splitting, two mutually inclined reflectors being provided which are arranged so that each of the two split beams is reflected one after the other in a direction opposite to the two beams, characterized in that the two reflectors consist of two consist rigidly on a common, perpendicular to the plane of the beam-splitting device (11) measurably adjustable frame (31) attached to each other inclined plane mirrors (12, 13).

2. Measuring microscope according to claim 1, characterized in that the plane of the surfaces (14) the beam-splitting device (11) intersects the angle between the two plane mirrors (12, 13).

3. Measuring microscope according to one of claims 1 and 2, characterized in that the frame (31) is rotatable about an axis lying in the plane (14) of the beam-splitting device (11).

4. measuring microscope according to claim 1 and 2, characterized in that the two plane mirrors (12, 13) and the beam-splitting device (11) are arranged on the same frame (31) and the frame (31) is arranged to be linearly displaceable.

5. Measuring microscope according to one of the preceding claims, characterized in that the positions of the plane mirrors (12, 13) can be adjusted to change the angle formed by them.

6. Measuring microscope according to one of the preceding claims, characterized in that the frame (31) in one direction by an adjusting screw (32) and in the other direction is movable by a return spring (40).

1 sheet of drawings