DE1439563A1 - Process for the production of semiconductor devices with alloyed electrodes - Google Patents

Process for the production of semiconductor devices with alloyed electrodes

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DE1439563A1
DE1439563A1 DE19611439563 DE1439563A DE1439563A1 DE 1439563 A1 DE1439563 A1 DE 1439563A1 DE 19611439563 DE19611439563 DE 19611439563 DE 1439563 A DE1439563 A DE 1439563A DE 1439563 A1 DE1439563 A1 DE 1439563A1
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Germany
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alloy
roughened
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alloy material
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Dieterich Dipl-Ing Alfons
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Telefunken Patentverwertungs GmbH
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Telefunken Patentverwertungs GmbH
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/24Alloying of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, with a semiconductor body

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Description

@rVerL'ahren zur IIerstellung von `:I@4lbleit@r@.n@rdn.ui gen mit legierten @@lelArc;den-' -- Die L;r@E-inrlun be-trifi-t ein- Very@ircri zur r;#tll#in.g von Ii#.lb- leiter,nardnün äeny in sbe:o.ude@re Tr@insiwtoren oder Dioden, mit let-°ierten :_illektroden. »ei der i-I(:rstellun,:; von, Le;ierun-;elektrclden ist ..es. @il?lich, Blas Leg ierungsriaterial :in 'est.@alt -Von Legierungspillen auf ei-- -Ialbleicerkt#r# er auf ,-"ubrin;en und in ;1i.esen ei.uzule#iereno lii dieses Zeck wird das he;lerung:=@ti@aeri@.l zunähst streifen-- £t@-c=@@i:@ @.4lis;cY;@@lrtl)abe_i cr,"yE.ben 'wich Legierungsbleche, aus denen Le;ierun@;"3@°cheir@ellen :.@.@@;@est@nzt werden. Die ku,t;elfdr@@ii-- ,;en werden aus diesen aüsgestanzten üegierungs-r "cheibchen durch _u ;@chme7_z@;rz in einer inerten oder rnduz_i.eren- ei en .ii ti :( ;@f)hlire gewonnen. `Tor allem bei der Ve@@°v-rendun; von Legierungsmaterialien mit ei- ner Bleisubstanz wie 2.B# Blei-Gallium war es bisher nicht f.möghich, . ZEgieri.@.nsele#troden r-_itzufriedens`t@a`E?#@#e#r 7r'I{f;# sationszonenherzustellen. 'jur- Veriieidürigdieser @@lrd- erfindutigsg emiG vorge--Ichlagen, dafl> dis Legieriiii#-sma°teriäl vör@ - f der Legieren auf«erauht wird. Das Aufreauhen des 1, egierungsm aterials kann' z . B. mit` einem Glashaarpinsel erfol"en. Ebenso können dafür °e in Mctal.lpirisyei, oder andereiilfsi:li.-ctel Verwendung finden, die geeignet sind, zumindest °die der .Halbleiteroberfldche zugekehrte-,Sei te der ° Legieruii;spille auf zurauhen. Es besteht °beispielsweise e`di2° #!föglichkeit, nach-.`#dhem-bisFleir`'4üb- lich.en. Verfahren das Legierungsmaterial zü Blechen äusz,uwalzen und die 'Legierungspillen aus diesen Blechen. auuzüstanJ@en. "Jer Unterschied gegenüber dem bekannten: Verf-zhren besteht jodöch d arin, daC clie Le glerung sbl eche vor dem Ausstanzen der Legie- rungspillen° auf gerauht'I werden. Ein weiterer =Unterschied be- steht, darin,. daß bei a_nvliendünzdes erfindungsgemäßen Verfah- rcns das bisherige Aufschmelzen der . ausgestanzten Legierungs- scheibchen zu kuelförmi en Legierungspillen zweckmäßigerweisc unterbleibt. _ _ . , . Sollten ..jedoch die Legierungspillen bereits in kugelförmiger Gestalt vorliegen und sogar durch .Aufschmelzen ge;tonnen worden sein, so besteht natürlich auch die Möglichkeit, die Legierungskugeln n ch nachträglich vor dem Legieren aufzurauhen. Das i':ufrauhen der Legierungskugeln kann z.B. in-einem Gefäß erfolgen, dessen Innenwand mit zum Aufrauhen geeigneten Borsten versehen ist. Aerden die L.egierungskugeln in ein solches Gefäß eingebracht, s.o kann das Aufrauhen einfach durch lin- und Herbewegen des Gefäßes erzielt werden. @ rVerL'ahren to create `: I @ 4lbleit @ r @ .n @ rdn.ui gen with alloyed @@ lelArc; den- ' - The L; r @ E-inrlun be-trifi-t- Very @ ircri to r; # tll # in.g of Ii # .lb- lleiter, nardnün äeny in sbe: o.ude@re Tr @ insiwtoren or diodes, with last: _illectrodes. »Ei der iI (: rstellun,:; von, Le; ierun-; elektrclden is ..es. @Il ?lich, Blow alloy material: in 'est. @ Alt -By alloy pills on one- -Ideally notice # r # he, - "ubrin; en and in; 1i.esen ei.uzule # iereno lii this purpose will be the answer: = @ ti @ aeri @ .l first strip-- £ t @ -c = @@ i: @ @ .4lis; cY; @@ lrtl) abe_i cr, "yE.ben 'avoided alloy sheets which Le; ierun @; "3 @ ° cheir @ ellen:. @. @@; @ est @ nzt. The ku, t; elfdr @@ ii-- ,; s are made from these die-cut alloy r "slice through _u; @ chme7_z @; rz in an inert or rnduz_i.eren- ei en .ii ti :(; @f) hlire won. `Tor all at the Ve @@ ° v-rendun; of alloy materials with a A lead substance such as 2.B # lead gallium has not yet been used f.möghich,. ZEgieri. @. Nsele # troden r-_itzufriedens`t @ a`E? # @ # E # r 7r'I {f; # production zones. 'jur- Veriieidürig this @@ lrd- Inventive emiG presented that> dis Legieriiii # -sma ° teriäl vör @ - f of alloys on "is rauht. The roughening of the 1 , egierungsm aterials can 'z. B. with a glass hair brush. Likewise, ° e in M ctal.lpirisyei, or other auxiliaries find use which are suitable at least ° the one facing the semiconductor surface, side of the ° Legieruii; spille auf zuauhen. There is ° for example e`di2 ° #! The possibility to-.` # dhem-bisFleir`'4üb- lich.en. Process the alloy material for sheet metal and the 'alloy pills made from these sheets. auuzüstanJ @ en. "Jer Difference to the well-known: consumption is iodic d arin that the alloy is bl eche before punching out the alloy rungspillen ° to be roughened'I. Another = difference is, therein ,. that with a_nvliendünz of the method according to the invention rcns the previous melting of the. stamped alloy Disks for spherical alloy pills are expediently c is omitted. _ _. ,. Should ..but the alloy pills should already be spherical Shape and even been toned by melting it there is of course also the possibility of subsequently roughening the alloy balls before alloying. The alloy balls can be roughened, for example, in a vessel, the inner wall of which is provided with bristles suitable for roughening. If the alloy balls are placed in such a vessel, roughening can be achieved simply by moving the vessel back and forth.

Die Erfindung soll an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. Bei der Herst--llung von Legierungspillen wird das Legierungsmaterial aus Blei-Gallium zunächst zu Legierungsblechen ausgewalzt, die eine Gtärkei von ungefähr 0"3 mm haben.,. Die durch Auswalzen gewonnenen Legierungsbleche werden anschließend mittels eines geeigneten Haarpinsels aufgerauht und in einem Methanolbad gespült. Nach der Spülbehandlung werden aus den Legierungsstreifen Scheibchen ausgestanzt, die dann unmittelbar auf den Halbleiterkörper auflegiert wer-. den. Ein Aufschmelzen der Legierungsscheibchen zu kugelförmigen Legierungspillen wird also nicht vorgenommen, wenig die ' ' Legierungsbleche gemäß *dcr airiindung vor den. Ausstanzen und Spülen aufgerauht worden sind.The invention is to be explained in more detail using an exemplary embodiment. In the manufacture of alloy pills, the alloy material is made from lead gallium first rolled into alloy sheets with a thickness of approximately 0 "3 mm.,. The alloy sheets obtained by rolling are then made using a roughened with a suitable hair brush and rinsed in a methanol bath. After the rinsing treatment discs are punched out of the alloy strips, which then immediately open the semiconductor body are alloyed. the. A melting of the alloy discs So spherical alloy pills are not made, little the alloy sheets according to * the air connection before the. Punching and rinsing have been roughened.

Claims (4)

P a t e n*t a n s p r ü c h e -). Verfahren'zur.H-erstellunü von Hal.bleiteranordnungen,_inebesondere Transistoren oder Dioden, mit legierten, Elelttroderi,dadurch gekennzeichnet, daß das Legierungsmaterial vor dem Legieren aufgerauht wird. P a t e n * t a n s p r ü c h e -). Process for the H-creation of semiconductor arrangements, _in particular Transistors or diodes with alloyed Elelttroderi, characterized in that the alloy material is roughened before alloying. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,-daß das Legierungsmaterial mit einem Haarpinsel aus Glas oder Metall behandelt wird. -2. The method according to claim 1, characterized in that the alloy material with a hair brush made of glass or metal is treated. - 3. Verfahren nach Anspruch-1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Legierungsmaterial zu Blechen ausgewalzt und vor dem . Ausstanzen von Legierungsscheibchen aufgerauht wird, und daß die ausgestanzten Legierungsscheibchen auf den Halbleiterkristall auflegiert 'werden: 3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that that the alloy material rolled into sheets and before. Punching out alloy discs is roughened, and that the stamped alloy disks on the semiconductor crystal are imposed ': 4. Verfahren nach Anspruch 1-oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß b;:i Vor:,ondung vors ku, elfö-rinib auf-escIT:._olzenon Leöierungspillen diese kugelförziigen Legierungspillen vor dem Legierenaufgerauht werden. -5: Verfahren nach.fnsprueh 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierungspillen in einen Gefäß hin- und herbewegt werden,- dessen Innenwand mit zum Aufrauhen geeigneten Borsten versehen ist.4. The method according to claim 1 or 2, characterized in that that b;: i Before:, ondung vors ku, elfö-rinib auf-escIT: ._ olzenon Leöierungspillen these spherical alloy pills are roughened before alloying. -5: procedure nach.fnsprueh 4, characterized in that the alloy pills in a vessel be moved to and fro, - its inner wall with bristles suitable for roughening is provided.
DE19611439563 1961-06-02 1961-06-02 Process for the production of semiconductor devices with alloyed electrodes Pending DE1439563A1 (en)

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