DE1428239B2

DE1428239B2 - Axial flow turbomolecular pump

Info

Publication number: DE1428239B2
Application number: DE19621428239
Authority: DE
Inventors: Henri Louis; Meulien Louis Paul Henri; Courbevoie; Desroches Louis Jacques; Rubet Leonide; Marchai Raymond Hippolyte Firmin; Paris; Lutz Jean Antony; Garnier (Frankreich)
Original assignee: Societe Nationale dEtude et de Construction de Moteurs dAviation SNECMA
Current assignee: Safran Aircraft Engines SAS
Priority date: 1961-08-04
Filing date: 1962-08-01
Publication date: 1972-11-16
Also published as: GB1019273A; LU42063A1; DE1428239A1; BE619944A; CH465124A

Description

Welle (40) vorgesehen ist.Shaft (40) is provided.

4. Turbopumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Lager (19, 41) der Lageranordnung in Schwerpunktnähe des Rotors angeordnet ist.4. Turbo pump according to one of claims 1 to 3, characterized in that a bearing (19, 41) of the bearing arrangement is arranged near the center of gravity of the rotor.

In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist ein Lager der Lageranordnung in Schwerpunktnähe des Rotors angeordnet. Dadurch wird auftretenden Biegemomenten an der Hohlwelle entgegengewirkt.In an advantageous embodiment of the invention, a bearing of the bearing arrangement is close to the center of gravity of the rotor arranged. This counteracts any bending moments that occur on the hollow shaft.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nachstehend an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt .Embodiments of the invention are explained in more detail below with reference to the drawing. It shows .

F i g. 1 einen Achsenschnitt durch eine Turbomolekularpumpe mit waagerechter Achse und F i g. 2 einen Achsenschnitt durch eine Turbomolekularpumpe mit senkrechter Achse.F i g. 1 shows an axis section through a turbo molecular pump with a horizontal axis and F i g. 2 shows an axial section through a turbomolecular pump with a vertical axis.

Die beiden in der Zeichnung veranschaulichten Turbomolekularpumpen sind mit einer Reihe von Rotorscheiben 1 versehen, zwischen denen am GehäuseS der Pumpe befestigte Statorscheiben 2 angeordnet sind. Die Scheiben 1 und 2 sind in ringförmigen, mit 3 und 4 bezeichneten Zonen unterbrochen; die öffnungen sind für den Durchtritt der Moleküle des verdünnten Gases genügend groß; sind je-The two turbo molecular pumps illustrated in the drawing come with a number of Rotor disks 1 provided, between which on the housingS the pump fixed stator disks 2 are arranged. The discs 1 and 2 are in ring-shaped, with 3 and 4 designated zones interrupted; the openings are for the passage of the molecules of the diluted gas sufficiently large; are each

Die Erfindung betrifft eine axialdurchströmte Turbomolekularpumpe mit durchbrochenen Stator- und Rotorscheiben, deren zylindrisches Gehäuse an einer Stirnseite mit einer Durchströmöffnung versehen und deren Rotor in dem Gehäuse gelagert ist.The invention relates to an axially perfused turbomolecular pump with perforated stator and rotor disks, the cylindrical housing of which is provided with a throughflow opening on one end face and the rotor of which is mounted in the housing.

Turbomolekularpumpen sind in verschiedenener Bauweise bekannt. So ist es beispielsweise bekannt (deutsche Patentschrift 1015 573), die Ansaugöffnung bei einer Turbomolekularpumpe in der MitteTurbomolecular pumps are known in various designs. For example, it is known (German patent specification 1015 573), the suction opening of a turbo molecular pump in the middle

der Seitenwandung des zylindrischen Gehäuses und 45 doch im einzelnen nicht dargestellt,
je einen Pumpenauslaß an den Gehäusestirnseiten Die Rotorscheiben 1 sind bei 6 verdickt und mit anzuordnen. Dabei ist die die Rotorscheiben tra- Spannbolzen 7 an einem Flansch 9, der vor der ergende Welle beidseitig in an den stirnseitigen Dek- sten Rotorscheibe 1 angeordnet ist, und an einem kein des Gehäuses ausgebildeten Lagern gelagert. Flansch 10 weiter hinten befestigt. Die Flansche 9 Die Durchführung der Welle auf der einen Stirnseite 50 und 10 sind an ihrem äußeren Rand bei 9 α und 10 a des Gehäuses ist abgedichtet. verstärkt.the side wall of the cylindrical housing and 45 not shown in detail,
One pump outlet each on the housing front sides. The rotor disks 1 are thickened at 6 and are to be arranged with. The clamping bolt 7 carrying the rotor disks is supported on a flange 9, which is arranged in front of the generating shaft on both sides in the end caps of the rotor disk 1, and on a bearing that is not embodied in the housing. Flange 10 attached further back. The flanges 9 the implementation of the shaft on one end face 50 and 10 are at its outer edge at 9 α and 10 a of the housing is sealed. reinforced.

Es ist ferner bei Pumpen bekannt (französische Der ringförmige Flansch 10, der mit BohrungenIt is also known in pumps (French The annular flange 10, the with holes

Patentschrift 866 706), den Pumpenrotor auf einen 12 zur Verbindung des Raumes B mit dem Raum CPatent specification 866 706), the pump rotor on a 12 to connect space B with space C.

Wellenstummel aufzusetzen und die Welle nur einsei- versehen ist, ist an einer Hohlwelle 13 angeformt, de-Put on shaft stub and the shaft is only provided on one side, is formed on a hollow shaft 13, the-

tig in einer Gehäusestirnwandung der Pumpe zu la- 55 ren Ansaugöffnung 31 und dem Raum F zugekehrtestig in a housing end wall of the pump to be 55 ren suction opening 31 and the space F facing

gern. Ende mit einem mit Schrauben 14 befestigten Deckelgladly. End with a lid fastened with screws 14

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe 15 verschlossen ist. Die Hohlwelle 13 wirkt mit ih-In contrast, the invention has object 15 is closed. The hollow shaft 13 acts with ih-

zugrunde, eine Turbomolekularpumpe zu schaffen, rem vorderen Ende 13 α mit einer Ringrippe 16 desbased on creating a turbo molecular pump, rem front end 13 α with an annular rib 16 of the

bei der die Durchströmung vom Einlaß zum Auslaß Flansches 9 zusammen, während zwischen dem In-in which the flow from the inlet to the outlet flange 9 together, while between the inlet

ohne Umlenkung erfolgt und dabei eine Verunreini- 60 nenrand der Rotorscheiben 1 und der Außenflächetakes place without deflection and thereby a contamination edge of the rotor disks 1 and the outer surface

gung des Vakuums mit Schmiermitteldämpfen durch der Hohlwelle 13 ein leichtes Spiel vorgesehen ist,A slight play is provided for the creation of the vacuum with lubricant vapors through the hollow shaft 13,

die der Vakuumseite zugekehrte Lageranordnung des um eine örtliche Abdichtung im Raum B zu vermei-the bearing arrangement of the facing the vacuum side to avoid a local seal in space B

Rotors vermieden wird. den.Rotor is avoided. the.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß bei der Tür- Die Hohlwelle 13 trennt von dem Raum 5 einenThis task is according to the invention in the case of the door. The hollow shaft 13 separates one from the space 5

bomolekularpumpe der eingangs geschilderten Art 65 inneren Raum D und einen weiteren Raum E ab, derbomolecular pump of the type described above 65 inner space D and a further space E , the

dadurch gelöst, daß die Lageranordnung des Rotors durch den Deckel 15, den Flansch 9 und das vorderesolved in that the bearing assembly of the rotor through the cover 15, the flange 9 and the front

innerhalb einer die Rotorscheiben tragenden Hohl- Ende 13 a der Hohlwelle 13 begrenzt ist. Zugleichis limited within a hollow end 13 a of the hollow shaft 13 carrying the rotor disks. Simultaneously

welle vorgesehen ist, deren der auf der Stirnseite des trennt der kreisförmige, vollwandige Flansch 9 denShaft is provided, the one on the front side of which separates the circular, full-walled flange 9 the

spielfrei zentriert, da eine radiale Ausdehnung des Lagers 19 vermieden ist. Dies ist darauf zurückzuführen, daß der Flansch 10 die Form einer Scheibe aufweist und sich in axialem Abstand von dem Lager 5 19 befindet. Somit hat die Zentrifugalkraft, die in der Ebene des Flansches 10 wirkt, infolge der elastischen Verformung des dazwischenliegenden, zylindrischen Teiles der Hohlwelle 13 kaum mehr einen Einfluß in der Ebene des Lagers 19. Radiale Verformungen derCentered without play, since radial expansion of the bearing 19 is avoided. This is due to, that the flange 10 has the shape of a disk and is axially spaced from the bearing 5 19 is located. Thus, the centrifugal force that acts in the plane of the flange 10, due to the elastic Deformation of the intermediate, cylindrical part of the hollow shaft 13 hardly any more influence in the plane of the bearing 19. Radial deformations of the

mit dem zu evakuierenden Raum verbundenen
Raum F von den inneren, weiter hinten gelegenen
Räumen B und E ab, die ihrerseits gegen den innerhalb der Hohlwelle gelegenen Raum D abgedichtet
sind.connected to the room to be evacuated
Space F from the inner ones further back
Space B and E , which in turn are sealed against space D located inside the hollow shaft
are.

Die Hohlwelle ist um ein gehäusefestes Tragteil
17 angeordnet, das auf dem größeren Teil seiner
Länge einen großen Durchmesser hat, aber am Ende
in einen Lagerzapfen 17 a geringeren DurchmessersThe hollow shaft is around a supporting part fixed to the housing
17 arranged, which on the greater part of his
Length has a large diameter, but at the end
in a journal 17 a smaller diameter

übergeht. Das Tragteil 17 ist am Gehäuse 5 der io Aufnahmebohrung des Lagers 18 sind vernachlässig-Pumpe befestigt. Die Lagerung der Hohlwelle 13 er- bar, da der Deckel 15 vollwandig ist. folgt durch Kugellager 18 und 19; der Außenring des Die Pumpe ist ferner, wie in der Zeichnung dar-transforms. The support part 17 is on the housing 5 of the io receiving bore of the bearing 18 are negligible pump attached. The storage of the hollow shaft 13 was possible because the cover 15 is solid. followed by ball bearings 18 and 19; the outer ring of the pump is also, as shown in the drawing

ersteren sitzt in dem Deckel 15 und der Außenring gestellt, an ihrer einen Stirnseite mit einer großen des zweiten Lagers in einem ringförmigen Flansch Ansaugöffnung 31 versehen, die an den zu evakuie-13 b der Hohlwelle, während die Innenringe auf dem 15 renden Raum angeschlossen ist und an der anderen Lagerzapfen 17 α befestigt und durch eine Abstands- Stirnseite mit einer Austrittsöffnung 32, an die sich hülse gehalten sind. eine übliche (nicht dargestellte) Vakuumpumpe an-the former is placed in the cover 15 and the outer ring is provided on one end face with a large suction opening 31 of the second bearing in an annular flange, which is connected to the evakuie-13 b of the hollow shaft, while the inner rings are connected to the 15-generating space and on the other bearing pin 17 α attached and through a spacer end face with an outlet opening 32, to which the sleeve are held. a conventional (not shown) vacuum pump

Ein Verschlußstück 20 verschließt das freie au- schließt, die dazu bestimmt ist, ein Vorvakuum zu ßere Ende des Tragteils 17, während durch kleine schaffen. Somit bewegt sich der Gasstrom in der Kanäle 21 der Raum G mit der Lagerung 18 und 19 20 durch Pfeile angedeuteten Richtung von der Ansaugverbunden ist. Diese Anordnung ist getroffen, um zur Austrittsöffnung auf einem in Richtung der Rotaeine Ölschmierung der Lager zu gestatten, wobei das tionsachse X-Y im wesentlichen geradlinigen mittle-Öl aus dem Raum G kommt und der Rückfluß durch ren Weg. Insbesondere bietet das Fehlen von Biegunden Raum D in das Innere der Hohlwelle 13 und in- gen auf der Ansaugseite, also auf der Seite des höhefolge einer auf der Hohlwelle befestigten Sammel- 25 ren Vakuums, einen bemerkenswerten Vorteil, da hülse 23 durch im Tragteil 17 vorgesehene Kanäle 22 Förderverluste durch eingeschnürte oder nicht geraderfolgt, linige Strömungswege vermieden sind. In der Aus-Es wird darauf hingewiesen, daß infolge der dich- führungsform gemäß F i g. 2 ist die Rotationsachse ten Trennung des Raumes D, der Ölteile enthält, von X-Y vertikal angeordnet und erfolgt der Durchtritt den Innenräumen B und E mittels des Deckels 15 30 der Moleküle in dieser Hauptrichtung von oben nach und der Hohlwelle 13, und auf Grund der Abdich- unten.A closure piece 20 closes the free area, which is intended to create a forevacuum to the outer end of the support part 17, while through small ones. Thus, the gas flow moves in the ducts 21 of the space G with the bearings 18 and 19, 20 in the direction from which the intake is connected, indicated by arrows. This arrangement is made in order to permit oil lubrication of the bearings to the outlet opening on one in the direction of the rotary shaft, the axis of operation XY essentially straight-line medium oil coming from the space G and the return flow through ren path. In particular, the lack of flexible space D in the interior of the hollow shaft 13 and on the suction side, i.e. on the side of the height sequence of a collecting vacuum attached to the hollow shaft, offers a remarkable advantage, since the sleeve 23 passes through the support part 17 provided channels 22 conveying losses due to constricted or not straight, linear flow paths are avoided. In the Aus-Es it is pointed out that as a result of the seal guide form according to FIG. 2 is the axis of rotation th separation of the space D, which contains oil parts, from XY arranged vertically and the passage through the interiors B and E takes place by means of the cover 15 30 of the molecules in this main direction from above and the hollow shaft 13, and due to the seal - below.

tung dieser letztgenannten Räume von dem Raum F Die Rotorscheiben 1 sind mittels der Spannbol-tion of these last-mentioned spaces from space F The rotor disks 1 are by means of the clamping bolts

mittels des Flansches 9, die Lagerung 18 und 19 so- zen 7 zwischen den beiden äußeren Flanschen 33 und wie das Schmiersystem vollkommen vom Vakuum- 34 zusammengedrückt. Diese ringförmigen Flansche raum getrennt sind. Es ist in der Tat unerläßlich, daß 35 mit einem verstärkten äußeren Rand 33 α und 34 a keine Spuren von Schmiermittel in den zu evakuie- sind an einer Hohlwelle 35 und einem Rohr 36 angerenden Raum gelangen.by means of the flange 9, the bearings 18 and 19 and 7 between the two outer flanges 33 and, like the lubrication system, completely compressed by the vacuum 34. These annular flanges are space separated. It is in fact essential that 35 with a reinforced outer edge 33 α and 34 a no traces of lubricant get into the space to be evacuated on a hollow shaft 35 and a pipe 36.

Der Antrieb des Rotors erfolgt durch einen in der
Pumpe eingebauten Elektromotor, der in einer Axialebene einen Luftspalt ausweist und aus einem Stator 40
in Form einer auf dem Tragteil 17 befestigten
Scheibe 25, die mit Wicklungen in Form einer flachen Spule und mit Zuleitungen versehen ist sowie
einem Rotor besteht, der aus ferromagnetischen
Ringmagneten 26 bestehen kann, die an einem zylin- 45 Räume sind von dem außerhalb der Hohlwelle liedrischen Gehäuse 27 befestigt sind, das einen genden Raum B und der letztere wiederum von dem Flansch 28 aufweist, an dem sich die Köpfe 29 der äußeren, unter Vakuum stehenden Raum F getrennt. Spannbolzen abstützen, während sich die Schrauben In dem Deckel 39 ist das äußere Ende der WelleThe rotor is driven by an in the
Electric motor built into the pump, which has an air gap in an axial plane and consists of a stator 40
in the form of a mounted on the support part 17
Disc 25, which is provided with windings in the form of a flat coil and with leads as well
consists of a rotor made of ferromagnetic
Ring magnets 26 can exist, which are attached to a cylindrical 45 spaces from the outside of the hollow shaft lied housing 27, which has a low space B and the latter in turn from the flange 28, on which the heads 29 of the outer, under vacuum standing room F separated. Support the clamping bolts while the screws are in the cover 39 is the outer end of the shaft

30, die auf das mit einem Gewinde 8 versehene Ende 40 befestigt, deren Lagerung an einem zylindrischen, der Spannbolzen geschraubt sind, an dem Flansch 9 5° hohlen Tragteil 43 mittels Wälzlager 41 und 42 erabstützen, folgt. Das Tragteil geht in eine kegelförmige, über Die Anordnung des Rotors auf dem gehäusefe- einen Flansch 45 fest mit dem Gehäuse 5 verbundene sten Tragteil 17 ermöglicht es, die Gefahr von Vi- Wandung 44 über. Das hohle Tragteil 43 ist zwibrationen in dem normalen Drehzahlbereich sowie sehen der Welle 40 und der Hohlwelle 36 angeordbei erhöhter Drehzahl zu vermeiden. Dies ergibt sich 55 net. Dadurch liegt der rotierende Lagerteil innen und daraus, daß die kritische Drehzahl höher ist als die der feststehende Lagerteil außen, was bezüglich der Rotordrehzahl, obwohl die Kugellager kleine Durchmesser aufweisen. Hierzu trägt die große Biegesteifigkeit bei, die man durch das Anordnen des Lagers
in der Nähe des Schwerpunktes des Rotors erhält. 60
Unmittelbar neben diesem Lager ist der Durchmesser
des Tragteils 17 wesentlich vergrößert. Das zweite
Lager 18 ist nur dazu bestimmt, die Momente um
den Schwerpunkt des Rotors aufzunehmen. Somit30, which is attached to the end 40 provided with a thread 8, the bearing of which is screwed to a cylindrical clamping bolt, which supports it on the flange 9 5 ° hollow support part 43 by means of roller bearings 41 and 42, follows. The support part merges into a conical, over The arrangement of the rotor on the housing part one flange 45 firmly connected to the housing 5 allows the risk of VI wall 44 over. The hollow support part 43 is to avoid vibrations in the normal speed range and see the shaft 40 and the hollow shaft 36 arranged at increased speed. This results in 55 net. As a result, the rotating bearing part is inside and because the critical speed is higher than that of the stationary bearing part outside, which is related to the rotor speed, although the ball bearings have small diameters. This is due to the great flexural rigidity that is achieved by arranging the bearing
near the center of gravity of the rotor. 60
Immediately next to this bearing is the diameter
of the support part 17 is significantly enlarged. The second
Bearing 18 is only intended for the moments around
record the center of gravity of the rotor. Consequently

werden trotz des kleinen Durchmessers der Kugella- 65 Kraft, die durch das Gewicht des Rotors hervorgeru-despite the small diameter of the ball, the force caused by the weight of the rotor

ger höhere Eigenschwingungszahlen erhalten. fen wird, durch das untere Lager 42 aufgenommenger get higher natural frequencies. fen is received by the lower bearing 42

Der Rotor der Pumpe ist sowohl während des wird, das mit schrägen Lagerflächen versehen seinThe rotor of the pump is both provided with inclined bearing surfaces

normalen Betriebszustandes als auch beim Anfahren kann. Die Einbausicherheit in axialer Richtung istnormal operating condition as well as when starting up. The installation safety in the axial direction is

formt. Der Raum B steht mit dem Innenraum H der Pumpe durch Kanäle 37 in dem Flansch 34 in Verbindung. forms. The space B communicates with the interior H of the pump through channels 37 in the flange 34.

Das Rohr 35, das durch einen Boden 38 stirnseitig geschlossen ist, und die Hohlwelle 36 sind mittels eines Deckels 39 miteinander ausgerichtet, der mit nicht dargestellten Öffnungen versehen ist, durch die die inneren Räume/ und / verbunden sind. DieseThe tube 35, which is closed at the end by a bottom 38, and the hollow shaft 36 are means a cover 39 aligned with each other, which is provided with openings, not shown, through the the inner spaces / and / are connected. These

sehr großen Drehzahlen und der mechanischen Beanspruchungen, denen die Pumpe ausgesetzt ist, einen bemerkenswerten Vorteil bildet.very high speeds and the mechanical stresses to which the pump is exposed forms notable advantage.

Das obere Lager 41 ist in oder nahe einer Ebene angeordnet, die quer durch den Schwerpunkt des Rotors verläuft. Es soll dadurch eine große radiale Steifigkeit bieten und kann als Rollenlager ausgebildet sein, während die in axialer Richtung wirkendeThe upper bearing 41 is arranged in or near a plane which is transverse through the center of gravity of the rotor runs. It should thereby offer great radial rigidity and can be designed as a roller bearing while the one acting in the axial direction

durch einen Anschlag 46 gewährleistet, der nur unter außergewöhnlichen Umständen wirksam ist, wenn nach oben gerichtete und von Differenzialdrücken herrührende Kräfte größer als das Gewicht des Rotors sind oder wenn das Lager 42 zerstört wird.guaranteed by a stop 46, which is only effective under exceptional circumstances when upward forces resulting from differential pressures greater than the weight of the rotor or if the bearing 42 is destroyed.

Die Pumpe wird durch einen Elektromotor angetrieben, der z. B. eine Bauart mit einem in einer axialen Ebene liegenden Luftspalt aufweist und mit Wicklungen versehen ist, die an zwei Scheiben 47 angeordnet sind, die ein Teil des Stators bilden und an der Wandung 44 der Hohlwelle befestigt sind, während der Rotor 48 z. B. aus einem ferromagnetischen Ringmagneten besteht, der auf einer Welle 49 befestigt ist, das sich in (nicht dargestellten) vom Stator des Motors getragenen Lagern dreht.The pump is driven by an electric motor which z. B. one type with one in an axial Has a plane air gap and is provided with windings which are arranged on two disks 47 are, which form part of the stator and are attached to the wall 44 of the hollow shaft, while the rotor 48 z. B. consists of a ferromagnetic ring magnet attached to a shaft 49 which rotates in bearings (not shown) carried by the stator of the motor.

Die Welle 49 ist mit der Welle 40 des Rotors mittels Keilnuten 50 verbunden, so daß bezüglich der Stellung der Rotoren von Pumpe und Motor gewisse Freiheitsgrade ermöglicht sind und ein Auseinanderbau erleichtert ist.The shaft 49 is connected to the shaft 40 of the rotor by means of splines 50 so that with respect to the Position of the rotors of the pump and motor allows certain degrees of freedom and disassembly is relieved.

Am Ende der Welle 49 des Elektromotors kann eine kleine Hilfspumpe51 zur Schmiermittelförderung vorgesehen sein, z.B. eine Zentrifugalpumpe, die durch einen axialen Kanal 52 aus einer ölwanne, die von der unterhalb der Wandung 44 befestigten Wandung 53 abgeschlossen ist, Schmiermittel ansaugt und in eine Leitung 54 fördert, die zu den Lagern führt. Das Zurückfließen des Schmiermittels in den inneren Raum K, der über eine Leitung 55 unter dem Druck des Vorvakuums gehalten wird, in die ölwanne erfolgt durch die Schwerkraft; der Teil des Schmiermittels, der in den Raum/ gelangt ist, wird am Fuße desselben gesammelt und in den inneren Räumer durch ein oder mehrere Kanäle 58 zurückgeführt. Der ölbehälter wird durch Wasser gekühlt, das durch eine Kühlschlange oder eine Ummantelung 56 fließt, die die kegelige Wandung 44 umgibt. Diese Kühlung vermeidet, daß öldämpfe, die in den inneren Raumi? gelangen können, eine beachtenswerte Druckhöhe erreichen.At the end of the shaft 49 of the electric motor, a small auxiliary pump 51 can be provided for conveying lubricant, e.g. a centrifugal pump which sucks in lubricant through an axial channel 52 from an oil pan, which is closed off by the wall 53 attached below the wall 44, and into a line 54 promotes that leads to the camps. The return of the lubricant into the inner space K, which is kept under the pressure of the fore-vacuum via a line 55, into the oil pan is effected by gravity; the part of the lubricant that has entered the space / is collected at the foot of the same and returned to the inner reamer through one or more channels 58. The oil container is cooled by water flowing through a cooling coil or jacket 56 that surrounds the conical wall 44. This cooling prevents oil vapors from entering the inner space. can reach a remarkable pressure height.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

Claims: Housing arranged suction opening end facing is closed with a lid. This results in an axial flow through the pump from the suction opening arranged at the end to at least the exit of the gas flow from the rotor disks, so that flow losses are largely avoided. The bearing arrangement of the rotor is accommodated in a hollow shaft which is tightly closed on the vacuum side by a cover

1. Axial flow turbomolecular pump with perforated stator and rotor disks, the cylindrical housing of which is provided with a throughflow opening on one end face and its Rotor is mounted in the housing, thereby characterized in that the bearing assembly

(18, 19, 41, 42) of the rotor inside one which is io so that lubricant vapors do not hit the vacuum rotor disks (1) carrying hollow shaft (13, 36) can get around the pump.

is provided, which faces the suction opening (31) arranged on the end face of the housing End is closed with a lid (15, 39).

2. Turbo pump according to claim 1, characterized in that that the bearing arrangement (18, 19) of the rotor between the hollow shaft (13) and an extending into the hollow shaft, fixed to the housing Support part (17) is provided.

3. Turbo pump according to claim 1, characterized in that the bearing arrangement (41, 42) of the rotor between a supporting part (43) fixed to the housing and a part extending within the supporting part, with the hollow shaft (36) connected 25 is preferred.

In a first advantageous embodiment of the invention, the bearing arrangement of the rotor is between the hollow shaft and a supporting part fixed to the housing and extending into the hollow shaft is provided. This bearing arrangement is preferred for a turbo molecular pump with a horizontal axis of rotation.

In a second embodiment of the invention, the bearing arrangement of the rotor is between a support part fixed to the housing and one which extends within the support part and is connected to the hollow shaft Shaft provided. This embodiment is used in a pump with a vertical axis of rotation