u 1 a Z p u m p
Die Nzfiadung betrifft eine itolekulvrpumpey
bei der die Vor-
diohtung In radialer Riohtung exi:olgt.
Die Wirkungewelee der Molokularpumpen beruht bekanntliah
darauf,
daß Guteilehen beim Auftreffen auf echnellbewegte Begreazunge-
flächeia eine aungtallohe- Gonobwiadigkeitakompo»ate
in Bewapmao'
riohtu*4 der I?läohen beko»en.
Kolekularquapen gibt es in verechiede:gen AusfübrufflXormen.
Bekannt sind Kolokularpumpea mit apira;förmig au4torduotdm
Kanälen.
In festetehenden,Gehäune und rotterenden.walzenförmigen
oder
soheibenftraigen Körpern, die den GanzulekUlen
den Bewoguplapult
erteilen. Weiterhin sind Molekularpumpen bekanntg
bei denen die
rotierenden Urper, *" spiralf,*Jrmig angeordnete Kanäle
#haben,
und j die sie begrenzeiaden Gebäuaewände glatt
*lud.'
Der Nachteil dieser Anordnungen besteht darin# daß in zwei
be-
nachbarten Kanalabschaltten während des Betriebes erhobliobt'Druok-
unterschiede auftreten. dill man den hierdurch bedingten
Rückstron
geriug halteng dann muß an der Trennwand zwischen den Kanalab-
aohnitten der Abstand zwischen rotierenden und ruhendem Elbment
sehr kleiu gehalten werden (Upül - U#ü2 mm). Diese geringen
8pielt
eraoLwezen die eertigung der Pumpe und machen
sie auch atohaniaoh
leiuLt atüran£Ullig.
Die ltüo.KstrZImunc- wird bei einer anderen bekannten MolokuUrpumpe
axialer Jauart daduroh berabgeaototy daß dit axiale
Länge einer
D.ruokatu.-L'e sehr klein gehalten wird. Dadurch Ist
In jeder Stufe
nur ein kleines Druolcyerhältnis vozLanden, und die Rüokatrüa=g
Ist auoL dann gering, wenn die Spalte z*iaohtu rotierenden
und
ruhenden Elementen groß sind. Jedooh worden auob hier
hohe Gt-
n;,.uig,z.uituanforderungeiL un die Rotor--und btatorelemezite
gentellty
da infolge der funktlünebedingteu hohen btufenzahl geringe
Dicken-
(#if.urunzen der achelben schon zu SolLwitrigkeiten bei der
Montage
alle Rotor- und #Statürsoheiben nutartige AusaclaUtte
hitbelig ist Ihre Herstellung verhtiltnidmäßig schwierig.
Der Brfindung liegt die Aufgabe rdugXundep
eine NO1Okulür9#.uEipe zu
schaffeng bei der Rotor- und jtatoreiumente, zwischen denen
vor-
halltnismäßig groß@ Gpalte vorhanden sein 5olleut miJ91ighßt
eiBfa-
che geometrische Formen haben, und bei der zur-Erzielung
einen
hoben Vakuum nur wenige Verdlohtungsstufen angeordnet worden
Muazenp so daß eiuu hohe DetriebbeicherLuit gewährleiatet
ist,
und die 11,umpentelle leioLt zu fertigeu und zu nuntieren sind.
Erfindungegemäb wird daa dadurch erreloht# daß Lt..itble'oheg
die
in fetit in Gehäuse eingebauten LeitkrUnzen angeordnet ainüg
zu-
sammen mit einer oder zwei bewegten ßegrunzunga£2.#lohen einen
Ver-
diehtungeraum bildeng, dessen Auaaugqu4rachnitt durch das x»>rüdukt
von Sohaufelkra»unLfang uau Leitbleobhöhe gebildet wir.d9 wobei
der
Anstellwinkel der Leitbleohe bezüglich der senkrechten Querßchaltte-
aohne größer U Grad Istg die Höhe der Leitblocht zum
Vorvakuum hJA
abnimmt, und die beweglioben durch eoheiben
ge-
bildet vordeng die au£ einer rotierenden Welle befestigt sind.
Die
Leitbleohe erzwingen ja nach Amtellwinkel bei vörgegebone'r
Dreh-
rioht"& der Plauaoheiben einen radialen strumuNpverlauf
vun
außen nach Um.en (zur itotoraobae) bzw. von Innen naoL
auljen. Im
Gegensatz zu den .2»Iralautpumpen werden die
0a8e iafolge der radia-
len Anordnung der Leitbloche entlaug des
gan en weitkranzumfangea
angeeaugt. Da auf beiden iolten eines Leitblecheß
annähernd gleiche
brüoke herrsohoi# können die rotierenden 21&»oheibeu
einen verhält-
Unmäßig großen Abetaud von den Leitblochta habenp ohne
daß eine
RUckströmung mOglIch ist, Daduroh wird eine hohe Betriebesiober114it
erreloht.
Da bei dieser Bauart an einer ätute bereit* ein hohen
Yordichtunge-
verUltnie erzielt wird, kann mit einer geringen dtufenzahl
ein
hohen Vakuua erreicht worden. D:le Anordnung von nur
wenigen ötufen
vereinfacht die PertIgungy weil irbeore Toleranzen zugelaaben
worden könneao
Die Erfindung noll an Hand von AusfUhrungsbeispielen
unter erL#u-
tort worden. Dabei zeigen
Pig. 1 einen LängeaohnItt durch eine Aut3fULrung5 forra
dur
gemäßen Vumpey
eig. 2 und 3 die Anordnung der Leitblooko auf
den ;ulittufelkränzen
der Pumpe nach Fig. 1 und vOrSchiedene, Formou
der
Leitbleohe#
Fig. 4 einen langsaohnitt durch eine weitere
Auaführungsform und
Fig. 3 die Anordnung der Leitbleche bei der liumpe nach
Fig. 4.
..Bei der in tig. 1 dargestellten ftmpe sind
in einem GehUuao 1
Leitkräue 2 @iUebauty die-bogentUrmige Ialtbleche
I (Fig. 2)
oder &«adt loitbltohe 4 (Pig. 3) tragen.
ia wäre auch dankbar
4U die lAttblaohe aus geraden Tollettlokon ausammeagesetst
&UM.
Bei dissta Ä«£Ubrum«obstapiel tragea'die LeitkrUme 2,'
die &la
Riapobeiben ausgebildet stadj auf beiden etiten Leitbleehug
wo-
bei deren Ļttllvi"OI-auf *der einen s*Ite entgegengesetzt
denen
auf der «de»a Seiti einde-fflurob wird eine Umleakung
der ßtrb-
*up Loht»& -erreicht. Zwischen den Leitkräuen rotieren
die-.
söheibet 9 des Itotore 0 Du sind einfaoht
- Bleohgokeiben# 40 »du
die Fertt4MS den Rotore besonders leicht Ist, Die-Itoior
sobeibia
kOm von dox iAitbleehm eisen axi*lm »stand
voa oa. 1 M.
Dies« verhältusmUßig groß* Alutand vwahrleistit eine
hohe Be-
Die Puffl wirkt in der Weiseg daß du Gas
In der Utte der ?=p 9
IN« den »fflen #Leitkrausuntem anmau4t und in
Riohtung der Äobaa
vo#aobtft wird* Der innere DuroUesser der Leltkränes
iat größer
al 9,der Dfflb»aser der Volle# so'dU iaa verdiehtete
"a auf. 44
andere Setü das Loeltkranses gelaaffl kam* Dort
wird 0* von qaneä
imh außen verdichtet und strömt dann durch den freien
Vw=
»lachen Gekäust und Rotoraoheibe isum nächsten lAltkram über.
Ein Leltkranz mit beidseitiger Leitbleohbesetzuag bildet ein
Druokstuf«»&". Durch Reihenschältung soloher Druokatu:ten
wird
ein hohes VerdichtunpverhUltnie erreicht.
Im Ausführungebeispiel nach Fige 4 sind die Leitbleche
6 an einen
äu2eren Hing 7 befestigt) ao daß In an nioh bekannter
Weine die
beiden seitlichen Kanalwände durch rotierende Planaoheibön-8#
9
gebildet werden. un diesem Falle sind in jeder zweiten Planacheibe
9
in. jeraluh der Rotorwel le Durchbrüohe vorhandeng durch die
das Gab#
das vorher iii radialer -(ichtuag von auijen naoh Innen verdiobtet
worden Ist# zur näohaten dtufe übertreten kann, wo
es infolge
des umgekehrten Austellviuxeln der Leitbloche
6 nach außen ge-
trieben wirde " tritt da= wie bei der Pwape nach
Fig. 1 duroh
den Raum'zwischen Gehäuse und Rotorsoheibe
8 zur nächsten ,Aufe
u 1 a Z pump
The charge concerns an itolekulvrpumpey in which the pre
diohtung In radial direction exi: olgt.
The effect of molecular pumps is known to be based on
that good behavior when hitting rapidly moving Begrea tongue
flflächeia an aungtallohe Gonobwiadigkeitakompo »ate in Bewapmao '
riohtu * 4 of the I? läohen get.
Molecular tadpoles come in different forms.
Known are colocular pumps with apira; shaped au4torduotdm canals.
In fixed, casings and rotterenden, cylindrical or
soheibenftraigen bodies, which the GanzulekUlen the Bewoguplapult
To give. Furthermore, molecular pumps in which the bekanntg
rotating Urper, * " spiralf, * Jrmig arranged channels #have,
and j * they invited begrenzeiaden Gebäuaewände smooth. '
The disadvantage of these arrangements is that used in two #
adjacent sewer shutdowns during operation.
differences occur. dill to the induced thereby Rückstron
hold tightly on the partition between the
aohnitten the distance between rotating and stationary Elbment
must be kept very small (Upül - U # ü2 mm). This minor 8 plays
eraoLwezen the manufacture of the pump and also make it atohaniaoh
leiuLt atüran £ Ullig.
The ltüo.KstrZImunc- is used in another known MolokuUrpump
axial Jauart berabgeaototy daduroh that axial length of a dit
D.ruokatu.-L'e is kept very small. This is in every stage
only a small Druolcyer relation vozLanden, and the Rüokatrüa = g
Is auoL then low when the column z * iaohtu rotating and
dormant elements are great . Anyway, even here high Gd-
n;,. uig, z.uituanbedarfeiL un the rotor - and btatorelemezite gentellty
due to the high number of stages due to the function
(# if.wurun the same already to solicits during the assembly
all rotor and stator disks are groove-like AusaclaUtte
Their production is relatively difficult.
The task of finding is rdugXundep a NO1Okulür9 # .uEipe
create at the rotor and jtatoreiumente, between which
Halltnislike large @ Gpalte to be available 5olleut miJ91ighst eiBfa-
have geometrical shapes, and in order to achieve one
raised vacuum only a few twisting stages have been arranged
Muazenp so that a high DetriebbeicherLuit is guaranteed,
and the 11, umpentelle leioLt to be finished and to be sold.
According to the invention, daa is redeemed # that Lt..itble'oheg die
arranged in guide rings built into the housing for additional
together with one or two agitated ßgrunzunga £ 2. # are worth a
Forming the space, whose external cross-section through the x »> rüdukt
von Sohaufelkra »around the length of the Leitbleobhöhe we.d9 where the
Angle of incidence of the Leitbleohe in relation to the vertical cross-switch
awithout greater than U degrees Istg the height of the guide baffle to the fore-vacuum hJA
decreases, and the overall beweglioben by eoheiben
forms the front that are attached to a rotating shaft. the
Leitbleohe force even after Amtellwinkel at vörgegebone'r turning
rioht "& the Plauaoheiben form a radial stream flow from
outside to Um.en (to itotoraobae) or from inside naoL auljen. in the
In contrast to the .2 »Iralaut pumps, the 0a8e iasequence of the radial
len arrangement of Leitbloche entlaug of gan en weitkranzumfangea
sucked on. Since they are approximately the same on both sides of a baffle
brüoke herrsohoi # can the rotating 21 & »oheibeu have a behavior
Inordinately large Abetaud of the Leitblochta habenp without a
Backflow is possible, Daduroh will have a high operating level
relieved.
Since with this type of construction there is a high
verUltnie is achieved, can be achieved with a low number of levels
high vacuum has been achieved. The arrangement of only a few steps
simplifies the PertIgungy because irbeore tolerances are allowed
been able to ao
The invention is based on exemplary embodiments under erL # u-
been tortured. Show it
Pig. 1 a length wont through an Aut3fULrung5 forra dur
according to Vumpey
ulittufelkränzen;. eig 2 and 3, the arrangement of the Leitblooko
the pump of Fig. 1 and various, Formou the
Leitbleohe #
Fig. 4 shows a slowdown through a further embodiment and
FIG. 3 shows the arrangement of the guide plates in the case of the liumpe according to FIG. 4.
..At the in tig. 1 are in a housing 1
Leitkräue 2 @iUebauty die-arch-shaped Ialtbleche I (Fig. 2)
or wear & «adt loitbltohe 4 (Pig. 3). ia would also be grateful
4U die lAttblaohe from straight Tollettlokon ausammeagesetst & UM.
In dissta Ä «£ Ubrum« obstapiel tragea'die LeitkrUme 2, ' die & la
Riapobeiben formed stadj on both etiten Leitbleehug where-
at their Ä »ttllvi" OI-auf * the one s * Ite opposite to those
on the «de» a side one-fflurob a diversion of the ßtrb-
* up Loht »& - achieved. They rotate between the leading weeds.
söheibet 9 des Itotore 0 You are simple - Bleohgokeiben # 40 »you
The Fertt4MS the Rotore is particularly light, Die-Itoior sobeibia
kOm from dox iAitbleehm iron axi * lm »stand voa oa. 1 M.
This " relatively large * Alutand guarantees a high
The Puffles works in such a way that you gas in the Utte der ? = P 9
IN « den» fflen #Leitkrausuntem and in Riohtung the Äobaa
Vo # aobtft * The inner durometer of the Leltkränes is greater
al 9, the dfflb »aser the full # so'dU iaa condemned " a on. 44
other Setü das Loeltkranses gelaaffl came * There becomes 0 * from qaneä
imh compressed on the outside and then flows through the free Vw =
»Kaust and Rotoraoheibe laugh about the next old stuff.
A Leltkranz with Leitbleohbesetzuag on both sides forms a
Druokstuf «» &". By row peeling of solo Druokatu: ten
a high compression ratio is achieved.
In the exemplary embodiment according to FIG. 4, the guide plates 6 are attached to one
outer hanging 7 attached) ao that in nioh well-known wines the
both lateral canal walls by rotating Planaoheibön-8 # 9
are formed. In this case there are 9 in every second plane disk
in. jeraluh the rotor shaft le Durchbrüohe available through which the Gab #
that before iii radial - (ichtuag from outside to inside
Has # can pass to näohaten dtufe, where due
overall the reverse Austellviuxeln the Leitbloche 6 outwardly
exaggerated Wirde "= occurs because as the Pwape of FIG. 1 duroh
the space between the housing and the rotor bracket 8 to the next, Aufe