DE1298732B

DE1298732B - Sample table for viewing devices to examine the surface of a sample

Info

Publication number: DE1298732B
Application number: DE1966T0031542
Authority: DE
Inventors: Marsh David Malcolm
Original assignee: TI Group Services Ltd
Current assignee: TI Group Services Ltd
Priority date: 1965-07-07
Filing date: 1966-07-07
Publication date: 1969-07-03
Also published as: GB1098575A

Description

Die Erfindung betrifft einen ein zur Abtastung einer Probe relativ zu dieser bewegbaren Probentisch für Betrachtungsgeräte.The invention relates to a relative for scanning a sample to this movable sample table for viewing devices.

Erfindungsgemäß ist bei einem derartigen Betrachtungsgerät ein in den Probentisch einsetzbares, die Probe aufnehmendes Auflageteil vorgesehen, das mit einer Blende sowie mit einem Anschlag versehen ist, der mit einem bezüglich des Betrachtungsgerätes fest angeordneten Endschalter derart zusammenwirkt, daß die Abtastbewegung des Probentisches im wesentlichen auf die Blendenöffnung begrenzt ist.According to the invention, an in the sample table insertable, the sample receiving support part provided, the is provided with a diaphragm and with a stop which is related to a of the viewing device fixed limit switch cooperates in such a way that the scanning movement of the sample table is essentially limited to the aperture is.

Der Probentisch kann dabei mit mehreren auswechselbaren Auflageteilen versehen sein, die jeweils Blenden unterschiedlicher Form oder Größe sowie entsprechend ausgebildete Anschläge aufweisen.The sample table can be equipped with several interchangeable support parts be provided, each aperture of different shape or size and accordingly have trained stops.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein Auflageteil mit mindestens zwei verschiedenen Blenden und den zugehörigen Anschlägen versehen und in entsprechend vielen unterschiedlichen Lagen derart in den Probentisch einsetzbar, daß sich jeweils eine der Blenden und der zugehörige Anschlag in Arbeitsstellung befinden.In a preferred embodiment of the invention is a support part provided with at least two different panels and the associated stops and can be used in a corresponding number of different positions in the sample table, that in each case one of the diaphragms and the associated stop is in the working position are located.

Weitere in den Patentansprüchen gekennzeichnete Einzelheiten des Erfindungsgegenstandes ergeben sich aus dem im folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiel an Hand der Zeichnungen, in denen F i g. 1 eine Seitenansicht des Betrachtungsgerätes ist, in dem einige Teile weggebrochen sind, um das Innere zu zeigen, und andere Teile im Schnitt dargestellt sind, F i g. 2 eine Draufsicht auf das in F i g. 1 gezeigte Betrachtungsgerät ist, bei dem wiederum das Gehäuse weggebrochen ist, um das Innere zu zeigen, F i g. 3 eine Draufsicht auf einen Teil des in F i g. 2 gezeigten Betrachtungsgerätes wiedergibt, wobei jedoch der Probentisch und das Auflageteil weggelassen sind, F i g. 4 in größerem Maßstab den den Endschalter bildenden Teil des Betrachtungsgerätes von unten zeigt, F i g. 5 ein Schnitt entlang der Linie 5-5 der F i g. 4 ist, F i g. 6 in vergrößertem Maßstab eine Draufsicht auf eine der in F i g. 3 zu sehenden Führungsstangen wiedergibt, F i g. 7 eine Seitenansicht der in F i g. 6 gezeigten Führungsstange darstellt, F i g. 8 ein Schnitt entlang der Linie 8-8 der F i g. 7 ist und F i g. 9 ein weiteres Auflageteil von unten zeigt, das gegen das in den F i g. 1 und 2 gezeigte ausgewechselt werden kann.Further details of the subject matter of the invention characterized in the patent claims result from the exemplary embodiment described below with reference to the Drawings in which F i g. 1 is a side view of the viewing device in FIG with some parts broken away to show the inside and other parts inside Section are shown, F i g. FIG. 2 is a plan view of the FIG. 1 shown Viewing device is, in turn, the case is broken away to the inside to show F i g. 3 is a plan view of part of the FIG. 2 viewing device shown reproduces, but with the sample table and the support part omitted, F i g. 4 on a larger scale the part of the viewing device which forms the limit switch from below shows F i g. 5 is a section along line 5-5 of FIG. 4 is, F i g. 6 shows, on an enlarged scale, a plan view of one of the FIGS. 3 to be seen Shows guide rods, F i g. 7 is a side view of the FIG. 6 shown Represents guide rod, F i g. 8 is a section along line 8-8 of FIG. 7 is and F i g. 9 shows a further support part from below, which against the in the F i g. 1 and 2 shown can be interchanged.

Das in den Zeichnungen dargestellte Betrachtungsgerät ist zur Verwendung bei einem Verfahren zur Ermittlung von Oxyd- und Sulfideinschlüssen in einer Stahlprobe bestimmt.The viewing device shown in the drawings is for use in a method for the determination of oxide and sulphide inclusions in a steel sample certainly.

Das erfindungsgemäße Betrachtungsgerät besteht aus einem (im einzelnen weiter unten beschriebenen) bewegbaren Probentisch 10, der oben an einem kastenförmigen Gestell 11 montiert ist, ferner aus einer Lampe 12 und einem optischen System 13 (F i g. 2), das einen horizontalen Lichtstrahl auf die reflektierende Hälfte eines Halbspiegels 14 richtet, an dem er nach oben auf das Objektiv eines unmittelbar unterhalb des Probentisches 10 montierten Mikroskopes 15 reflektiert wird. Ein Fotoelektronen-Vervielfacher 16 empfängt das Licht, das von der Oberfläche einer auf dem Tisch befindlichen Probe reflektiert wird, das Objektiv und den Halbspiegel 14 durchsetzt, von einem weiteren Spiegel 14 reflektiert wird und durch eine Blendenplatte 18 hindurchtritt. Zur Verarbeitung der von dem Fotoelektronen-Vervielfacher 16 erzeugten Signale ist eine (nicht gezeigte) elektronische Schaltung vorgesehen. Die erwähnten verschiedenen Bauelemente werden von dem Gestell 11 getragen, wobei sich einige innerhalb und andere außerhalb desselben befinden. Das Gestell ruht auf einem Sockel 19, in dem sich die (nicht gezeigten) von Druckschaltern 20 betätigten elektrischen Steuerungen befinden, und das Ganze ist von einem äußeren Gehäuse 21 umschlossen, durch das die Druckschalter 20 herausragen. Da die Einzelheiten aller anderen Elemente außer des Probentisches für das Verständnis der Erfindung unwesentlich sind, wurden diese aus der Beschreibung weggelassen. The viewing device according to the invention consists of a movable sample table 10 (described in detail below) which is mounted on top of a box-shaped frame 11 , furthermore of a lamp 12 and an optical system 13 (FIG. 2) which emits a horizontal light beam the reflective half of a half mirror 14 is directed, at which it is reflected upwards onto the objective of a microscope 15 mounted directly below the sample table 10. A photo electron multiplier 16 receives the light reflected from the surface of a sample located on the table, the lens and the half mirror 14 passes through, is reflected by a further mirror 14 and passes through an aperture plate eighteenth An electronic circuit (not shown) is provided for processing the signals generated by the photoelectron multiplier 16. The various structural elements mentioned are carried by the frame 11, some inside and others outside. The frame rests on a base 19 in which the electrical controls (not shown) operated by pressure switches 20 are located, and the whole is enclosed by an outer housing 21 through which the pressure switches 20 protrude. Since the details of all other elements except the sample table are immaterial to an understanding of the invention, they have been omitted from the description.

Zur Benutzung des Betrachtungsgerätes wird eine Stahlprobe auf ein Auflageteil auf dem Probentisch 10 befestigt, und der Probentisch wird zusammen mit dem Auflageteil und der Probe so bewegt, daß das Objektiv 15 die Oberfläche der Probe mit gleichförmiger Geschwindigkeit abtastet. Eisen reflektiert das Licht stärker als die Sulfid- und Oxydeinschlüsse, und von den beiden Arten wiederum reflektieren die Sulfideinschlüsse stärker als die Oxydeinschlüsse. Ist nun der Fotoelektronen-Vervielfacher 16 auf die verhältnismäßig helle Fläche der Eisenstruktur gerichtet, so entsteht ein relativ großes Ausgangssignal; ist er auf die dunklere Fläche der Sulfideinschlüsse gerichtet, so erzeugt er ein kleineres und bei der noch dunkleren Fläche der Oxydeinschlüsse ein noch kleineres Ausgangssignal. Man kann die Menge von Einschlüssen der beiden Arten in der Probe abschätzen, indem man das Verhältnis der abgetasteten Linien ermittelt, wobei die Intensität des reflektierten Lichtes einen für das Vorhandensein der beiden Arten von Einschlüssen typischen Wert hat. Das genannte Verhältnis ist dabei im wesentlichen gleich dem Verhältnis von Einschlüssen in dem gesamten Probekörper, und der mögliche Fehler nimmt mit der Länge der abgetasteten Linien ab.To use the viewing device, a steel sample is placed on a Support part attached to the sample table 10, and the sample table is together with the support part and the sample moved so that the objective 15 the surface the sample scans at a uniform speed. Iron reflects the light stronger than the sulphide and oxide inclusions, and reflect from the two species in turn the sulphide inclusions stronger than the oxide inclusions. Is now the photoelectron multiplier 16 directed at the relatively light surface of the iron structure, this is how it arises a relatively large output signal; it is on the darker surface of the sulphide inclusions directed, it produces a smaller surface and, in the case of an even darker surface, the oxide inclusions an even smaller output signal. One can see the amount of inclusions of the two Estimate species in the sample by looking at the ratio of the lines scanned determined, the intensity of the reflected light one for the presence of the two types of inclusions has typical value. The said ratio is essentially equal to the ratio of inclusions in the entire specimen, and the possible error decreases with the length of the scanned lines.

Die einzelnen Bestandteile des Probentisches sind eine feste horizontale Platte 22, die mittels Schrauben 23 oben auf dem Gestell 11 befestigt ist. Eine zweite Platte 24 ist auf der Platte 22 horizontal bewegbar angebracht und stellt den eigentlichen bewegbaren Probentisch 24 dar. Die Tischplatte 24 ist in senkrechter Richtung auf drei Wolframkarbid-Kugeln 25 gelagert, die nahe den Plattenrändern an den Ecken eines gedachten Dreiecks angeordnet sind. Die Kugeln 25 berühren die ebenen Oberflächen von Wolframkarbid-Lagerpfannen 26, die in Ausnehmungen in den beiden Platten 22 und 24 angebracht sind. Jede Lagerpfanne 26 ist durch Anlage an einer in einer Vertiefung in der entsprechenden Platte vorgesehenen Schulter genau ausgerichtet, und die die Kugeln 25 berührenden Lagerflächen der Pfannen sind in den Platten um etwas weniger als den halben Durchmesser der Kugeln versenkt angeordnet, so daß sich, wie aus F i g.1 ersichtlich, die Platten beinahe berühren.The individual components of the sample table are a fixed horizontal plate 22 which is fastened to the top of the frame 11 by means of screws 23. A second plate 24 is mounted on the plate 22 such that it can move horizontally and represents the actual movable sample table 24. The table plate 24 is supported in the vertical direction on three tungsten carbide balls 25 which are arranged near the plate edges at the corners of an imaginary triangle. The balls 25 contact the flat surfaces of tungsten carbide bearing sockets 26 which are mounted in recesses in the two plates 22 and 24. Each bearing socket 26 is precisely aligned by bearing against a shoulder provided in a recess in the corresponding plate, and the bearing surfaces of the sockets contacting the balls 25 are arranged countersunk in the plates by slightly less than half the diameter of the balls, so that, as FIG. 1 shows that the plates are almost touching.

Die Tischplatte 24 wird durch drei Führungsstangen 27 und 28 derart formschlüssig geführt, daß sie nur Translationen nicht aber Rotationen ausführt. Zwei in Abstand voneinander angeordnete Haltearme 29 erstrecken sich am einen Ende der Tischplatte 24 von deren Unterseite durch Löcher 30 in der festen Platte 22. Je eine Führungsstange 27 ist in dem unteren Ende der Haltearme 29 befestigt; die beiden Führungsstangen verlaufen parallel zueinander und erstrecken sich bis zum anderen Ende der Platte. Die freien Enden der Stangen 27 besitzen Innengewinde, in die in Lagern 32 an dem Gestell 11 drehbar gelagerte Gewindewellen 31 eingreifen. Jede Gewindewelle 31 ist an ihrem aus dem Gestell herausragenden Ende mit einer Riemenscheibe 33 versehen, und ein (der größeren Klarheit wegen in der Zeichnung weggelassener) Antriebsriemen läuft um die Scheiben 33 und eine Antriebsscheibe 34, die auf der Welle eines an der Gestellwand befestigten umsteuerbaren Elektromotors 35 angebracht ist. Die Riemenscheiben 33 und 34 sind am Umfang mit Zahnungen versehen, in die entsprechende Zähne auf der Innenseite des Antriebsriemens eingreifen. Auf diese Weise werden die beiden Riemenscheiben 33 zwangläufig gleichförmig angetrieben. Je nach der Drehrichtung der Motorwelle beim Betrieb des Betrachtungsgerätes verschieben die Führungsstangen 27 den Probentisch 24 in der einen bzw. in der anderen Richtung. Der gesamte Verschiebungsweg ist kürzer als 2,5 cm. Der Probentisch 24 kann auch eine Bewegung senkrecht zu der Richtung ausführen, in der er durch die beiden oben beschriebenen Führungsstangen 27 bewegt wird. Dazu ist ein Haltearm 36 vorgesehen, der sich von der Mitte der einen Seite der Tischplatte 24 durch ein Loch 37 in der festen Platte 22 nach unten erstreckt. Mit dem unteren Ende dieses Haltearms ist das eine Ende einer dritten Führungsstange 28 verbunden, die senkrecht zu den beiden anderen Stangen 27 verläuft. Die Stange 28 verläuft unterhalb der Platte 22 bis zur anderen Seite des Gestells und ist dort mit einer Gewindewelle 38 gekuppelt, die in einem an der Gestellwand befestigten Lager 39 gelagert ist und an ihrem äußeren Ende eine Riemenscheibe 40 trägt. Die Riemenscheibe ist über einen (nicht gezeigten) Antriebsriemen mit einer (ebenfalls nicht gezeigten) auf der Welle eines umsteuerbaren Elektromotors 41 befestigten Riemenscheibe gekuppelt. Der Motor 41 ist dem Motor 35 ähnlich, und wie dieser an dem Gestell 11 befestigt.The table top 24 is guided in a form-fitting manner by three guide rods 27 and 28 in such a way that it only performs translations but not rotations. Two spaced-apart holding arms 29 extend at one end of the table top 24 from its underside through holes 30 in the fixed plate 22. Each guide rod 27 is fastened in the lower end of the holding arms 29; the two guide rods run parallel to each other and extend to the other end of the plate. The free ends of the rods 27 have internal threads into which threaded shafts 31 rotatably mounted in bearings 32 on the frame 11 engage. Each threaded shaft 31 is provided at its end protruding from the frame with a pulley 33, and a (for the sake of clarity omitted in the drawing) drive belt runs around the pulleys 33 and a drive pulley 34 which is reversible on the shaft of a reversible device attached to the frame wall Electric motor 35 is attached. The pulleys 33 and 34 are provided with teeth on the circumference, which are engaged by corresponding teeth on the inside of the drive belt. In this way, the two pulleys 33 are inevitably driven uniformly. Depending on the direction of rotation of the motor shaft during operation of the viewing device, the guide rods 27 move the sample table 24 in one or the other direction. The total displacement path is less than 2.5 cm. The sample table 24 can also perform a movement perpendicular to the direction in which it is moved by the two guide rods 27 described above. For this purpose, a holding arm 36 is provided which extends downward from the center of one side of the table top 24 through a hole 37 in the fixed plate 22. One end of a third guide rod 28, which runs perpendicular to the other two rods 27, is connected to the lower end of this holding arm. The rod 28 extends below the plate 22 to the other side of the frame and is there coupled to a threaded shaft 38 which is mounted in a bearing 39 attached to the frame wall and carries a pulley 40 at its outer end. The pulley is coupled via a drive belt (not shown) to a pulley (also not shown) attached to the shaft of a reversible electric motor 41. The motor 41 is similar to the motor 35 and, like this, is attached to the frame 11.

Um die verschiedenen Bewegungen zu ermöglichen, ist jede Führungsstange nahe ihren beiden Enden mit zwei angeformten Gelenken versehen, deren Gelenkachse senkrecht steht. Die Führungsstangen bestehen aus Nylon, das mit als Schmiermittel für die Gewindewellen wirkenden Molybdän-Bisulfid beaufschlagt ist. Wie am besten aus den F i g. 6, 7 und 8 ersichtlich, besteht jedes Gelenk aus einem verhältnismäßig schmalen vertikalen Materialsteg 42 in der Achse der Stange und verbindet Teile der Stange mit normalem Querschnitt. Auf beiden Seiten des Gelenksteges 42 ist in einem gewissen Abstand von diesem ein Paar zusätzlicher Stege 43 angeformt. Jeder dieser beiden äußeren Stege 43 ist mit einem schmalen gegenüber der Senkrechten geneigten Schlitz 44 versehen, wobei die beiden Schlitze eines Stegpaares 43 in entgegengesetzten Richtungen geneigt sind. Werden nun die Teile einer Stange zu beiden Seiten des Gelenks in einer der beiden Richtungen gegeneinander gedreht, so schließt sich einer der beiden Schlitze 44, und die beiden Enden des aufgetrennten Steges 43 bilden einen Anschlag, so daß ein Teil der Zugkraft von dem zentralen Gelenksteg 42 aufgenommen wird. Um zu verhindern, daß sich beim Einschrauben der Gewindewellen in die entsprechenden Führungsstangen ein Druck bildet, ist am inneren Ende der axialen Gewindebohrungen 46 ein Luftloch 45 vorgesehen.In order to enable the various movements, each guide rod is provided near its two ends with two molded joints, the joint axis of which is perpendicular. The guide rods are made of nylon, which is coated with molybdenum bisulfide, which acts as a lubricant for the threaded shafts. As best seen in Figs. 6, 7 and 8, each joint consists of a relatively narrow vertical material web 42 in the axis of the rod and connects parts of the rod with normal cross-section. On both sides of the hinge web 42, a pair of additional webs 43 is formed at a certain distance therefrom. Each of these two outer webs 43 is provided with a narrow slot 44 inclined with respect to the vertical, the two slots of a web pair 43 being inclined in opposite directions. If the parts of a rod on both sides of the joint are now rotated against each other in one of the two directions, one of the two slots 44 closes and the two ends of the separated web 43 form a stop so that part of the tensile force from the central joint web 42 is recorded. In order to prevent pressure from building up when the threaded shafts are screwed into the corresponding guide rods, an air hole 45 is provided at the inner end of the axial threaded bores 46.

Die Tischplatte 24 weist in der Mitte eine große rechteckige Öffnung 47 auf, deren vier Seiten zu den Plattenrändern parallel sind. Ein Auflageteil 48 in der Form einer Maske ist herausnehmbar in die Öffnung 47 eingesetzt. Die Tischplatte 24 ist mit einem Paar von Tragflanschen 49 für das Auflageteil versehen, die von den längeren Seiten her in die rechteckige Öffnung 47 hineinragen. Die Flansche weisen Lagerflächen auf, von denen sich eine in der Mitte des einen Flansches und zwei weitere an den beiden Seiten des anderen Flansches befinden. Die Maske 48 ist mit sechs vertikal verstellbaren Schrauben 50' und 50" versehen, von denen drei (50') mit den Lagerflächen der Flansche ausgerichtet werden und auf diesen ruhen können. Die Schrauben 50' werden so justiert, daß sich die vollkommen plangeschliffene Oberfläche des Auflageteils 48 in einer Ebene bewegt, wenn der Probentisch 24 verschoben wird. Die Öffnung 47 im Probentisch 24 ist etwas größer als das Auflagetei148, das mittels eines Paares horizontal verstellbarer Schrauben 51 in der Öffnung eingestellt werden kann; die Schrauben 51 drücken von einer der längeren Seiten der Öffnungen an entgegengesetzten Enden gegen das Auflageteil, während ein unter Federspannung stehender Kolben 52 auf die Mitte der anderen Seite des Auflageteils drückt.The table top 24 has a large rectangular opening 47 in the middle, the four sides of which are parallel to the plate edges. A support part 48 in the form of a mask is removably inserted into the opening 47. The table top 24 is provided with a pair of support flanges 49 for the support part, which protrude into the rectangular opening 47 from the longer sides. The flanges have bearing surfaces, one of which is in the middle of one flange and two more on both sides of the other flange. The mask 48 is provided with six vertically adjustable screws 50 ' and 50 " , three (50') of which can be aligned with and rest on the bearing surfaces of the flanges. The screws 50 'are adjusted so that the perfectly ground surface is aligned of the support part 48 moves in one plane when the sample table 24 is displaced. The opening 47 in the sample table 24 is slightly larger than the support part 148, which can be adjusted in the opening by means of a pair of horizontally adjustable screws 51, the screws 51 pushing one of the longer sides of the openings at opposite ends against the support member, while a spring loaded piston 52 presses on the center of the other side of the support member.

Am einen Ende des Auflageteils ist eine Abtastblende 53 ausgebildet. Bei Benutzung des Betrachtungsgerätes bestimmt diese Blende den Bereich der Probenoberfläche, der abgetastet werden soll. Die Blende kann eine beliebige Form haben, normalerweise ist sie jedoch quadratisch oder rechteckig, wobei die Seiten parallel zu den Führungsstangen 27 und 28 verlaufen. Bei einer typischen Ausgestaltung des Betrachtungsgerätes ist keine Seite der Blende länger als 2 cm. Unterhalb der Blende 53 ist in der festen Platte 22 ein Durchbruch 54 vorgesehen, durch den das Objektiv 15 des Mikroskopes nach oben ragt. Am anderen Ende des Auflageteils ist auf der Unterseite eine Ausnehmung 55 ausgebildet, deren Tiefe nur wenig kleiner ist als die Dicke des Auflageteils selbst. Die Ausnehmung 55 ist quadratisch oder rechteckig mit abgerundeten Ecken; ihre Abmessungen richten sich nach denen der Blende 53.A scanning diaphragm 53 is formed at one end of the support part. When using the viewing device, this aperture determines the area of the sample surface that is to be scanned. The screen can be of any shape, but is typically square or rectangular with the sides parallel to the guide rods 27 and 28 . In a typical configuration of the viewing device, neither side of the diaphragm is longer than 2 cm. Below the diaphragm 53, an opening 54 is provided in the fixed plate 22, through which the objective 15 of the microscope protrudes upwards. At the other end of the support part, a recess 55 is formed on the underside, the depth of which is only slightly smaller than the thickness of the support part itself. The recess 55 is square or rectangular with rounded corners; its dimensions are based on those of the aperture 53.

Durch ein weiteres Loch in der festen Platte 24 ragt ein Steuerzapfen 56 in die Mitte der Ausnehmung 55. Koaxial auf dem Zapfen ist ein ringförmiger Kopf 57 befestigt, der am Umfang einen elastischen Ring 58 trägt. Wie am besten aus F i g. 4 und 5 ersichtlich, gleitet der Kopf 57 auf der oberen Fläche der Platte 22, und der Zapfen 56 steckt in einer Bohrung des Kopfes, die so geformt ist, daß er bezüglich des Kopfes Taumelbewegungen ausführen kann. Ein Ring 59 verhindert, daß der Zapfen durch das Loch hindurchfällt. Dieser Zapfen 56 stellt den beweglichen Kontakt eines Schalters mit vier festen Kontakten dar, die aus horizontalen Metallplatten 60, 61, 62 und 63 bestehen. Die Schalterbasis 64 besteht aus Isoliermaterial, und die durch isolierende Abstandsstücke 65 voneinander getrennten Metallplatten sind an der Basis mittels Schrauben 66 befestigt, die ebenfalls gegen die Platten isoliert sind. Die Schalterbasis und die Abstandsstücke sind mit axialen Bohrungen 67 von kreisförmigem Querschnitt versehen, durch die der Zapfen 56 verläuft. Die Platten 60 bis 63 sind ebenfalls mit Durchbrüchen 68 versehen, die jedoch, wie in F i g. 4 gezeigt, quadratisch sind. Die Platten 60 und 62 sind miteinander ausgerichtet, ebenso sind die Platten 61 und 63 miteinander ausgerichtet, jedoch bezüglich der Durchbrüche versetzt. Die Seiten der quadratischen Durchbrüche sind zu den Rändern der festen Platte 22 parallel. Eine (nicht gezeigte) wendelförmige Druckfeder ist in einer Bohrung 69 in dem Abstandsstück 65 zwischen dem oberen Plattenpaar 60 und 61 und dem unteren Plattenpaar 62 und 63 eingesetzt, deren eines Ende auf einer in das äußere Ende der Bohrung eingeführten (nicht gezeigten) Schraube aufliegt, deren anderes Ende in eine radiale Ausnehmung in dem Zapfen 56 ragt. Diese Feder hält den Zapfen in der gezeigten aufrechten Stellung, in der er mit allen vier Platten 60 bis 63 elektrischen Kontakt hat. Wird der Kopf 57 in irgendeiner zu den Rändern der Platte 22 parallelen Richtung verschoben, so kippt der Zapfen 56 - und unterbricht den Kontakt mit einer der Platten. Wird der Zapfen 66 nacheinander in jede der vier möglichen Richtungen gekippt, so unterbricht er nacheinander den Kontakt mit jeder der vier Platten. Diese Unterbrechung mit einer bestimmten Platte zeigt an, in welcher Richtung der Kopf 57 verschoben wurde. Der Zapfen ist über eine (nicht gezeigte) flexible Leitung an seinem unteren Ende angeschlossen. Weitere Leitungen führen zu den an die Platten angeformten und seitlich von diesen herausragenden Lötfahnen 71. Der Schalter steuert die Betätigung der Motoren 35 und 41, die die Führungsstangen 27 und 28 antreiben. A control pin 56 protrudes through a further hole in the fixed plate 24 into the center of the recess 55. An annular head 57 is fastened coaxially on the pin and carries an elastic ring 58 on the circumference. As best seen in Fig. 4 and 5, the head 57 slides on the upper surface of the plate 22 and the pin 56 is inserted into a bore in the head which is shaped to wobble with respect to the head. A ring 59 prevents the pin from falling through the hole. This pin 56 represents the movable contact of a switch with four fixed contacts, which consist of horizontal metal plates 60, 61, 62 and 63. The switch base 64 is made of insulating material, and the metal plates separated by insulating spacers 65 are fixed to the base by means of screws 66 which are also insulated from the plates. The switch base and spacers are provided with axial bores 67 of circular cross-section through which the pin 56 extends. The plates 60 to 63 are also provided with openings 68, which, however, as in FIG. 4 are square. The plates 60 and 62 are aligned with one another, and the plates 61 and 63 are also aligned with one another, but offset with respect to the openings. The sides of the square openings are parallel to the edges of the fixed plate 22. A helical compression spring (not shown) is inserted in a bore 69 in the spacer 65 between the upper pair of plates 60 and 61 and the lower pair of plates 62 and 63, one end of which rests on a screw (not shown) inserted into the outer end of the bore whose other end protrudes into a radial recess in the pin 56. This spring holds the pin in the upright position shown, in which it has electrical contact with all four plates 60 to 63. If the head 57 is displaced in any direction parallel to the edges of the plate 22, the pin 56 tilts and breaks contact with one of the plates. If the pin 66 is successively tilted in each of the four possible directions, it successively breaks contact with each of the four plates. This break with a particular disk indicates the direction in which the head 57 has moved. The spigot is connected to its lower end by a flexible line (not shown). Further lines lead to the soldering lugs 71 which are molded onto the plates and protrude laterally from them. The switch controls the actuation of the motors 35 and 41 which drive the guide rods 27 and 28.

Wird einer der Motoren betätigt, so wird der Probentisch 24 mit dem Auflageteil 48 verschoben. Gerät das Auflageteil 48 in eine Lage, in der ein Rand der Abtastblende 53 in das Blickfeld des Objektivs 15 kommt, so verschiebt eine senkrechte Wandung der Ausnehmung 55 den Kopf 57 und betätigt damit den Schalter, wodurch der Motor angehalten oder umgesteuert wird.If one of the motors is operated, the sample table 24 with the Support part 48 moved. If the support part 48 is in a position in which an edge the scanning diaphragm 53 comes into the field of view of the lens 15, then one moves vertical wall of the recess 55 the head 57 and thus actuates the switch, whereby the motor is stopped or reversed.

Bisher ist das Auflageteil 48 mit nur einer Blende 53 und einer Ausnehmung 55 beschrieben worden. Wie jedoch aus den Zeichnungen ersichtlich, ist das Auflageteil mit einer zweiten-Abtastblende 72 und einer zugehörigen Ausnehmung 73 gestaltet. Die Blende 72 und die Ausnehmung 73 sind so angeordnet und so geformt, daß sie an Stelle der Blende 53 und der Ausnehmung 55 benutzt werden können, indem man das Auflageteil 48 aus der Öffnung 47 des Probentisches 24 heraushebt, horizontal um 180° dreht und wieder einsetzt. Die drei Schrauben 50', die auf den Lagerflächen der Flansche 49 ruhten, liegen dann frei, während die anderen Schrauben 50" auf den Lagerflächen zum Aufliegen kommen. Die Schrauben 50" werden ebenfalls so justiert, daß die obere Fläche des Auflageteils horizontal verschoben wird.So far, the support part 48 has only one aperture 53 and one recess 55 has been described. However, as can be seen from the drawings, the support part is designed with a second scanning diaphragm 72 and an associated recess 73. The aperture 72 and the recess 73 are arranged and shaped so that they to Place of the aperture 53 and the recess 55 can be used by the Support part 48 lifts out of the opening 47 of the sample table 24, horizontally Turns 180 ° and starts again. The three screws 50 'that are on the bearing surfaces the flanges 49 rested, are then exposed, while the other screws 50 ″ are on the storage areas come to rest. The screws 50 "are also adjusted so that that the upper surface of the support part is shifted horizontally.

Die Abtastblenden 53 und 72 sind beide quadratisch, jedoch von unterschiedlicher Größe. Blende 53 wird benutzt, wenn eine verhältnismäßig große Fläche der Probe untersucht werden soll, während die Blende 72 zur Untersuchung einer kleineren Fläche herangezogen wird. Wie oben erklärt, sind die zugehörigen Ausnehmungen 55 und 73 so geformt, daß der Schalter im wesentlichen dann betätigt wird, wenn das Auflageteil in eine Stellung gerät, in der ein Rand der Abtastblende in das Blickfeld des Objektivs 15 gerät.The scanning apertures 53 and 72 are both square, but different Size. Aperture 53 is used when a relatively large area of the sample is to be examined, while the diaphragm 72 is to be examined for a smaller area is used. As explained above, the associated recesses are 55 and 73 shaped so that the switch is actuated essentially when the support part gets into a position in which an edge of the scanning diaphragm is in the field of view of the lens 15 device.

Ein besonderer Vorteil der gezeigten Anordnung besteht darin, daß unter jeder Blende eine Ausnehmung vorgesehen ist, so daß das Objektiv 15 nahe an die zu untersuchende Probenoberfläche herangebracht werden kann. Die Fokussierung des Objektivs wird durch einen im einzelnen nicht dargestellten Mechanismus bewirkt und manuell über den Knopf 74 betätigt. Zur leichteren Fokussierung und zur Prüfung der Probe mit dem bloßen Auge kann ein (nicht gezeigtes) Okular vorgesehen sein, das durch einen zwischen dem Halbspiegel 15 und dem Spiegel 17 angeordneten (nicht gezeigten) kubischen Prismenspiegel Licht erhält. Das Würfelprisma reflektiert einen kleinen Lichtanteil aus dem Objektiv auf das Okular.A particular advantage of the arrangement shown is that a recess is provided under each diaphragm so that the objective 15 can be brought close to the sample surface to be examined. The lens is focused by a mechanism (not shown in detail) and operated manually using the button 74. For easier focusing and for examining the sample with the naked eye, an eyepiece (not shown) can be provided which receives light through a cubic prism mirror (not shown) arranged between the half mirror 15 and the mirror 17. The cube prism reflects a small portion of the light from the objective onto the eyepiece.

Wenn es gewünscht ist, einen Teil der Probenoberfläche zu untersuchen, die eine andere als die durch die Blenden 53 und 72 bestimmte Größe oder Form hat, so kann gemäß F i g. 9 ersatzweise ein Auflageteil 75 mit den Blenden 76 und 77 von unterschiedlicher Form und Größe verwendet werden. Den Blendenöffnungen 76 und 77 sind die Ausnehmungen 78 bzw. 79 zugeordnet, die den Abtastbereich des Probentisches 24 steuern. Für die Justierschrauben sind sechs Schraubenlöcher 80 vorgesehen. Es wird in Betracht gezogen, daß die Vorrichtung an den Benutzer mit einem Satz von Auflageteilen geliefert wird, so daß er unter einer größeren Anzahl verschiedener Abtastblenden die Wahl hat.If it is desired to examine part of the sample surface, which has a size or shape other than that determined by the diaphragms 53 and 72, according to FIG. 9 alternatively a support part 75 with the panels 76 and 77 of different shape and size can be used. The aperture openings 76 and 77 are assigned the recesses 78 and 79, respectively, which form the scanning area of the sample table 24 controls. Six screw holes 80 are provided for the adjustment screws. It it is envisaged that the device can be provided to the user with a set of Support parts is supplied so that it can be found under a greater number of different Scanning apertures has a choice.

Bei Benutzung des Betrachtungsgerätes wird die zu untersuchende glatte Oberfläche der Probe auf die obere Fläche des Auflageteils aufgesetzt, wobei ein durch die Blende bestimmter, verhältnismäßig kleiner Ausschnitt vom Objektiv 15 betrachtet wird. Die Motoren 35 und 41 bewegen die Probe so, daß das Objektiv wenigstens einen Teil dieses Ausschnittes abtastet.When the viewing device is used, the one to be examined becomes smooth Surface of the sample placed on the upper surface of the support part, with a Relatively small section of lens 15 determined by the aperture is looked at. The motors 35 and 41 move the sample so that the objective at least scans part of this section.

Der Probentisch kann durch geeignete Betätigung der Druckschalter 20 auf zwei verschiedene Arten bewegt werden. Im einen Fall tastet das Objektiv der Reihe nach nahe nebeneinander liegende parallele Linien in abwechselnd entgegengesetzter Richtung ab; im anderen Fall ist der abgetastete Weg ähnlich dem, den eine Billardkugel auf einem Billardtisch zurücklegt, wenn man vollkommen elastische Stöße annimmt und die Reibungskräfte vernachlässigt. Diese letztere Bewegungsart wird in einfacher Weise dadurch erreicht, daß man jeden Motor umsteuert, sobald der entsprechende Endschalter betätigt wird. Bei einer derartigen Abtastung werden die Dimensionen der Abtastblende und die Bewegungsgeschwindigkeit des Probentisches so ausgewählt, daß das Objektiv nicht den gleichen kurzen Weg wiederholt abtastet, sondern einem solchen Weg folgt, daß kein Teil des durch die Blende definierten Ausschnittes ausgelassen wird. Die verschiedenen Bewegungsarten können durch Betätigung der Druckschalter 20 ausgewählt werden.The sample table can be moved in two different ways by appropriately actuating the pushbutton switches 20. In one case, the lens sequentially scans closely adjacent parallel lines in alternately opposite directions; in the other case, the path scanned is similar to that which a billiard ball covers on a billiard table if one accepts completely elastic shocks and neglects the frictional forces. This latter type of movement is achieved in a simple manner by reversing each motor as soon as the corresponding limit switch is actuated. With such a scanning, the dimensions of the scanning diaphragm and the speed of movement of the sample table are selected so that the objective does not repeatedly scan the same short path, but follows a path such that no part of the section defined by the diaphragm is omitted. The various types of movement can be selected by actuating the pushbutton switches 20.

Claims

Claims: 1. Sample table for viewing devices, g e -marked by a support part that can be inserted into the sample table (24) and receives the sample (48) which is provided with a diaphragm (53) and with a stop (55) which with one fixedly arranged with respect to the viewing device (15) Limit switch (56, 57) interacts in such a way that the scanning movement of the sample table (24) is essentially limited to the aperture (53).

2. Sample table after Claim 1, characterized in that the support part (48) with at least two various diaphragms (53, 72) and the associated stops (55, 73) are provided and in a corresponding number of different positions in the sample table (24) can be used that each one of the diaphragms and the associated stop in Working position.

3. Sample table according to claim 1 or 2, characterized in that the support part (48) is exchangeable and the various support parts used have diaphragms (53) of different shapes or sizes and appropriately designed stops (55) .

4. Sample table according to one of claims 1 to 3, characterized characterized in that the or each stop in each case through the walls of a recess (55, 73) is formed in the support part.

5. Sample table according to claim 2 and 4, characterized in that each diaphragm (53) is arranged in the one or the other diaphragm (72) associated stop recess (73) and the viewing device (15) at least partially into the recess (73) protrudes, in which the panel (53) just used is located.

6. Sample table according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the limit switch consists of one spring tension at the same time four fixed contacts (60 to 63) touching, movable contact arm (56) consists of when the trial table (24) is moved in any direction, those corresponding to this direction the four contacts interrupts as soon as the viewing device (15) is essentially is directed towards the corresponding edge of the aperture (53).

7. Sample table according to one of the preceding claims, characterized in that for moving the sample table (24) in a plane three each driven from one end, articulated guide rods (27, 28) are provided, two of which (27) are parallel are arranged to each other and driven identically, while the third (28) extends transversely to these and is driven independently of them. B.

Sample table according to Claim 7, characterized in that the displacement of the sample table (24) takes place by rotating threaded shafts (31, 38) engaging in an axial bore (46) in the guide rods.

9. Sample table according to claim 7 or 8, characterized gekennzeicnet that each of the guide rods (27, 28) has two joints each consisting of only one thin material web (42).

10. Sample table according to claim 9, characterized in that on both sides of each material web (42) abutments (43) are formed which are open (44) when the guide rod is in a straight position and form a stop when the joints are rotated in a certain manner.