DE1256996B

DE1256996B - Evaporation crucible

Info

Publication number: DE1256996B
Application number: DE1964H0053961
Authority: DE
Inventors: Dr Walter Reichelt
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1964-10-06
Filing date: 1964-10-06
Publication date: 1967-12-21

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

PATENTSCHRIFTPATENT LETTERING

Int. Cl.:Int. Cl .:

C23cC23c

Deutsche Kl.: 48 b-13/12German class: 48 b-13/12

Nummer:Number:

Aktenzeichen:File number:

Anmeldetag:Registration date:

Auslegetag:Display day:

Ausgabetag:Issue date:

H53961VIb/48b
6. Oktober 1964
21. Dezember 1967
27. Juni 1968H53961VIb / 48b
October 6, 1964
December 21, 1967
June 27, 1968

Patentschrift stimmt mit der Auslegeschrift übereinThe patent specification corresponds to the patent specification

Die Erfindung betrifft einen Tiegel zum Aufdampfen von Schichten aus Aluminium oder ähnlichen Metallen unter Vakuum.The invention relates to a crucible for the vapor deposition of layers made of aluminum or the like Metals under vacuum.

In der technischen Entwicklung des Vakuumaufdampfens sind drei Stufen zu unterscheiden:There are three stages in the technical development of vacuum evaporation:

Die älteste und einfachste Stufe ist die Bedampfung von Einzelgegenständen, beispielsweise von Glasplatten mit Silber oder Aluminium, zur Erzeugung hochreflektierender Spiegel oder mit einer Reihe verschiedener Oxyde zur Herstellung von Spiegeln, die einen bestimmten Wellenlängenbereich des Lichtes durchlassen. Hier werden meist abgewogene kleine Mengen, beispielsweise einige zehntel Gramm der aufzudampfenden Stoffe in die Tiegel gefüllt und mit Heizleistungen von einigen hundert Watt praktisch restlos verdampft. Der Aufdampfvorgang dauert nur wenige Minuten, wonach die Apparatur geöffnet wird, um neue Gegenstände einzubringen. Hier dürfen die verwendeten Verdampfungstiegel also auch eine entsprechend kurze Lebensdauer haben. Darin ändert sich auch im Prinzip nichts, wenn durch die Anwendung schwenkbarer Halterungen nacheinander mehrere Serien von Gegenständen bei nur einmaligem Evakuieren bedampft werden.The oldest and simplest stage is steaming of individual objects, for example of glass plates with silver or aluminum, for the production highly reflective mirror or with a number of different oxides to make mirrors that let through a certain wavelength range of light. Here are mostly weighed small Quantities, for example a few tenths of a gram, of the substances to be evaporated are filled into the crucible and with Heating outputs of a few hundred watts evaporated practically completely. The evaporation process only lasts a few minutes, after which the apparatus is opened to bring in new objects. Here are allowed the evaporation crucibles used therefore also have a correspondingly short service life. In this In principle, nothing changes if swiveling brackets are used one after the other several series of objects can be vaporized with only one evacuation.

Die zweite Stufe der Entwicklung ist gekennzeichnet durch das fortlaufende Aufdampfen von Schichten auf bandförmiges Gut von größerer Länge. Hier reichen die Fassungsvermögen der gebräuchlichen kleinen Tiegel oft nicht aus, um genügende Mengen des aufzudampfenden Stoffes aufzunehmen. Da eine Nachfüllung der Tiegel erforderlich ist, müssen diese eine entsprechende Lebensdauer haben. Um dies zu erreichen, sind schon eine größere Zahl von Lösungen bekanntgeworden, beispielsweise bei einem aus Keramik, Graphit oder Metall bestehenden Tiegelkörper die Verwendung von Deckschichten aus Oxyden oder Halogeniden. Diese Tiegel haben sich bei den üblichen Anforderungen bewährt und reichen aus, um Mengen bis zu etwa 20 bis 30 g zu verdampfen, beispielsweise beim Aufdampfen von Aluminium bei Temperaturen von 1200 bis 1300° C, bei denen der Metalldampfdruck etwa 10~² mm Hg beträgt. Als Heizung wird dabei meist eine direkte oder eine induktive Beheizung mit Energien von einigen Kilowatt benutzt.The second stage of development is characterized by the continuous vapor deposition of layers on a belt-shaped material of greater length. Here, the capacity of the common small crucibles is often not sufficient to hold sufficient quantities of the substance to be evaporated. Since the crucibles have to be refilled, they must have a corresponding service life. To achieve this, a large number of solutions have become known, for example the use of cover layers made of oxides or halides in a crucible body made of ceramic, graphite or metal. These crucibles have proven themselves with the usual requirements and are sufficient to evaporate amounts of up to about 20 to 30 g, for example when evaporating aluminum at temperatures of 1200 to 1300 ° C, at which the metal vapor pressure is about 10 ~ ² mm Hg . Direct or inductive heating with energies of a few kilowatts is usually used as heating.

In letzter Zeit ist man dazu übergegangen, die Oberfläche des aufzudampfenden Stoffes unmittelbar mit Elektronenstrählen zu beheizen, wodurch eine bisher hoch nicht bekannte Intensität des Verdampfungsvorganges ermöglicht wird. Hierbei werden bandförmige Elektronenstrahlen mit großer Energie, z.B. einigen hundert Kilowatt, auf die Oberfläche des VerdampfungstiegelLately there has been a move towards the surface of the substance to be vaporized directly to be heated with electron beams, whereby a previously unknown intensity of the evaporation process is made possible. Here, ribbon-shaped electron beams with high energy, e.g. a few hundred kilowatts on the surface of the evaporation crucible

Patentiert für:Patented for:

Leybold-Heraeus G. m. b. H. & Co. K. G.,Leybold-Heraeus G. m. B. H. & Co. K. G.,

Köln-Bayental, Bonner Str. 504Cologne-Bayental, Bonner Str. 504

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Dr. Walter Reichelt, HanauDr. Walter Reichelt, Hanau

aufzudampfenden Stoffes gerichtet, der sich erwärmt und verdampft. Aluminium wird dabei auf etwa 1600° C erhitzt und erreicht einen Dampfdruck von etwa 1 Torr. Derartige Dampfquellen können zum kontinuierlichen Aufdampfen von Aluminiumschich-the substance to be vaporized, which heats up and vaporizes. Aluminum is in this case to about 1600 ° C and reaches a vapor pressure of about 1 Torr. Such steam sources can be used for continuous vapor deposition of aluminum layers

ao ten auf Stahlbänder benutzt werden. Bänder von etwa I m Breite werden mit einer Geschwindigkeit von mehr als 5 m/sec an der Dampfquelle vorbeigeführt und mit Schichten bis zu einer Dicke von 3 bis 5 μΐη belegt. Die zu verdampfende Metallmenge beträgt dabei mehrere Kilogramm je Stunde, erreicht also eine wesentlich höhere Größenordnung als bei den vorher beschriebenen Verfahren. Diesen Temperaturen und Beanspruchungen sind jedoch die erwähnten Verdampfungstiegel nicht mehr gewachsen, da sie trotz der schützenden Oxyd- oder Halogenidschichten mit dem Verdampfungsgut reagieren und eine betriebssichere Fortsetzung des Aufdampfprozesses über längere Zeiten nicht erlauben. Um eine Reaktion zwischen Verdampfungsgut und Tiegelmaterial zu verhüten, ist man dann zu gekühlten Kupfertiegeln übergegangen, mit denen es möglich ist, viele Metalle, ja sogar Kupfer, ausreichend zu verdampfen. Überraschenderweise führt dies bei Aluminium jedoch nicht zum Erfolg, da es wegen seiner spezifischen Eigenschaften wie geringer Oberflächenenergie und guter Wärmeleitung den Kupfertiegel benetzt und aufheizt, wodurch die Verdampfungsrate trotz wesentlicher Erhöhung der zugeführten Energie vermindert und der Tiegel zerstört wird.ao ten be used on steel belts. Ribbons about 1 m wide are traversed at a speed of more than 5 m / sec passed the steam source and with layers up to a thickness of 3 to 5 μm proven. The amount of metal to be evaporated is several kilograms per hour, i.e. it reaches a much higher order of magnitude than with the previously described methods. These temperatures and stresses, however, the mentioned evaporation crucibles are no longer able to cope with they react with the evaporation material despite the protective oxide or halide layers and do not allow a reliable continuation of the evaporation process over long periods of time. Around To prevent a reaction between the evaporation material and the crucible material, one is then too cooled Copper crucibles passed over, with which it is possible to use many metals, even copper, sufficiently evaporate. Surprisingly, however, this does not lead to success with aluminum, since it is because of its specific properties such as low surface energy and good heat conduction make the copper crucible wets and heats up, reducing the rate of evaporation despite a substantial increase in the supplied Energy is reduced and the crucible is destroyed.

Bekannt ist aus der USA.-Patentschrift 2 386 875 das Aufdampfen von Schichten aus Quarz. Weil Quarz selbst ein schlechter Wärmeleiter ist, wird der innerhalb einer elektrisch beheizten Spirale angeordnete, zu verdampfende Quarzkörper mit einer Metallsilikathülle versehen, um hierdurch eine gleichmäßige und wirksame Erwärmung aller Oberflächenteile zu erreichen.The vapor deposition of layers of quartz is known from US Pat. No. 2,386,875. because Quartz itself is a poor conductor of heat, it is placed inside an electrically heated spiral, The quartz body to be evaporated is provided with a metal silicate shell in order to achieve a uniform and to achieve effective heating of all surface parts.

Wt M1/H2Wt M1 / H2

Aus der USA.-Patentschrift 2 762 722 ist ein Verdampfungstiegel aus Zirkoniumoxyd oder Zirkoniumsilikat bekannt, der zum Aufdampfen von Schichten aus solchen Stoffen dient, welche sublimieren, d. h. welche bei Erhitzung direkt vom festen in den dampfförmigen Aggregatzustand übergehen, wie beispielsweise Zinksulfid, Kryolith und Chinolith.US Pat. No. 2,762,722 discloses an evaporation crucible made of zirconium oxide or zirconium silicate known, which is used for the vapor deposition of layers of such substances, which sublime, d. H. which go directly from the solid to the vaporous state of aggregation when heated, such as Zinc sulfide, cryolite and quinolite.

Siliciumdioxyd in Form von Quarzglas oder undurchsichtigem und billigerem Quarzgut wird als Tiegelmaterial auch schon häufig benutzt, insbesondere wegen seiner geringen Wärmeausdehnung und seiner Temperaturwechselbeständigkeit. Es ist aber zu berücksichtigen, daß flüssiges Aluminium mit Siliciumdioxyd unter teilweiser Reduktion zu Silicium und Bildung von Reaktionsprodukten wie Silikaten oder Suiziden reagiert.Silica in the form of quartz glass or opaque and cheaper fused silica is called Crucible material has also been used frequently, in particular because of its low thermal expansion and its resistance to temperature changes. However, it must be taken into account that liquid aluminum with Silicon dioxide with partial reduction to silicon and formation of reaction products such as silicates or reacts to suicide.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Verdampfungstiegel zu schaffen, der es gestattet, große Mengen von insbesondere Aluminium oder Metallen mit ähnlichen Eigenschaften wie Aluminium zu verdampfen und eine hohe Betriebssicherheit gewährleistet. The invention is based on the object of creating an evaporation crucible which allows large amounts of especially aluminum or metals with properties similar to aluminum to evaporate and a high level of operational reliability is guaranteed.

Gelöst wird diese Aufgabe mittels eines Verdampfungstiegels aus Siliciumdioxyd zum intensiven Vakuumaufdampfen von Schichten aus mit dem Tiegelmaterial bei hohen Temperaturen reagierenden Metallen mittels Elektronenstrahlen, insbesondere zum Aufdampfen von Aluminium, welcher erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß der Siliciumdioxydtiegelkörper mit einer Auskleidung versehen ist, welche aus einem Silikat des aufzudampfenden Metalls besteht. Zweckmäßig befindet sich zwischen der Auskleidung und dem Tiegelkörper eine dünne Zwischenschicht aus dem gleichen Metall, welches aufgedampft wird, beispielsweise eine Folie aus dem aufzudampfenden Metall. Der mit der Auskleidung versehene Tiegelkörper ist in einen Graphitblock eingebettet.This task is solved by means of an evaporation crucible made of silicon dioxide Vacuum evaporation of layers made of reacting with the crucible material at high temperatures Metals by means of electron beams, in particular for the vapor deposition of aluminum, which according to the invention characterized in that the silica crucible body is provided with a liner which consists of a silicate of the metal to be vapor-deposited. Appropriately located between of the liner and the crucible body a thin intermediate layer of the same metal as is vapor-deposited, for example a foil made of the metal to be vapor-deposited. The one with the lining The crucible body provided is embedded in a graphite block.

Beispielsweise Ausführungsformen des Verdampfungstiegels gemäß der Erfindung werden an Hand der Zeichnungen beschrieben und die bei seiner Verwendung erzielbaren Vorteile geschildert.For example, embodiments of the evaporation crucible according to the invention are given of the drawings and described the advantages that can be achieved with its use.

F i g. 1 zeigt einen Schnitt durch den prinzipiellen Aufbau einer Aufdampfeinrichtung, in der eine bandförmige Elektronenquelle (oft als »transverse gun« bezeichnet) angeordnet ist.F i g. 1 shows a section through the principle Construction of a vapor deposition device in which a ribbon-shaped electron source (often as a "transverse gun" designated) is arranged.

In den Fig. 2, 3 und 4 sind Ausführungsformen eines Verdampfungstiegels gemäß der Erfindung dargestellt. In FIGS. 2, 3 and 4, embodiments of an evaporation crucible according to the invention are shown.

Innerhalb eines aus Gründen der Übersicht nicht gezeichneten, durch Hochvakuumpumpen evakuierten Kessels ist die Aufdampfeinrichtung der Fig. 1 aufgestellt. Das zu bedampfende Band 1 läuft über die Dampfquelle hinweg. Die Dampfquelle besteht aus dem Tiegel 2, in welchem sich das aufzudampfende Metall 3 befindet. Beheizt wird das Metall durch Elektronenstrahlen 4, die von einer Flachstrahlkanone (»transverse gun«) erzeugt werden.Within a not shown for reasons of clarity, evacuated by high vacuum pumps Kessel, the evaporation device of Fig. 1 is set up. The band 1 to be steamed overflows away from the source of steam. The steam source consists of the crucible 2, in which the to be evaporated Metal 3 is located. The metal is heated by electron beams 4 from a flat jet gun ("Transverse gun").

Sie besteht aus der beheizten Kathode 10, der Fokussierungselektrode 11 und der Anode 12. Kathode und Fokussierungselektrode befinden sich auf einem negativen Potential von etwa 10 bis 20 kV, während die Anode 12 und die übrigen in Fig. 1 dargestellten Teile Erdpotential besitzen. Die Flachstrahlkanone besitzt einen permanenten oder Elektromagneten 13, dessen Polschuh 14 zusammen mit dem in dem Schnitt nicht dargestellten zweiten Polschuh ein Magnetfeld bestimmter Form bilden. Dieses Magnetfeld lenkt die Elektronenstrahlen4 nach ihrem Austritt aus der Kathode 10 so ab, daß sie als etwa kreisförmiges Strahlenbündel auf das Metall 3 auftreffen, dieses dabei stark aufheizen und zur Verdampfung bringen. Die Verwendung einer Flachstrahlkanone hat nicht nur den Vorteil, daß die zugeführte Heizenergie praktisch beliebig erhöht werden kann, sondern ist auch insofern äußerst betriebssicher, als alle Teile der Kanone unterhalb des oberenIt consists of the heated cathode 10, the focusing electrode 11 and the anode 12. Cathode and focusing electrode are at a negative potential of around 10 to 20 kV, while the anode 12 and the remaining parts shown in Fig. 1 have ground potential. The flat jet cannon has a permanent or electromagnet 13, the pole piece 14 together with the Form a magnetic field of a certain shape in the second pole piece, not shown in the section. This Magnetic field deflects the electron beams 4 after their exit from the cathode 10 so that they as about circular bundle of rays impinge on the metal 3, heating it up strongly and causing it to evaporate bring. The use of a flat jet gun not only has the advantage that the supplied Heating energy can be increased practically at will, but is also extremely reliable to the extent that it is than all parts of the cannon below the upper one

ίο Tiegelrandes liegen und dadurch vor unerwünschter Bildung von Kondensatschichten weitgehend geschützt sind.ίο lying on the edge of the pan and thus in front of undesirable Formation of condensate layers are largely protected.

Der in F i g. 2 gezeigte Tiegel gemäß der Erfindung besteht aus dem Tiegelkörper 5 aus Siliciumdioxyd in Form von undurchsichtigem Quarzgut, aufgebaut aus einer etwa 5 mm starken Bodenplatte 5 a und ebenso dicken Seitenteilen 5 b, doch kann dieser Tiegelkörper auch aus einem einzigen, entsprechend geformten Stück bestehen.The in F i g. 2 crucible according to the invention consists of the crucible body 5 made of silicon dioxide in the form of opaque fused silica, built up from an approximately 5 mm thick base plate 5 a and equally thick side parts 5 b, but this crucible body can also consist of a single, correspondingly shaped piece.

Der Tiegelkörper 5 ist zunächst mit einer Aluminiumfolie 6 ausgekleidet, die z. B. 0,2 bis 0,4 mm dick ist. Die Tiegelauskleidung 7 ist für die Aluminiumverdampfung aus Sillimanit gefertigt. Sie kann ebenso wie der Quarztiegel 5 aus einem einzigen Stück bestehen oder aus Teilen aufgebaut sein. Der Aufbau aus Teilen ist im allgemeinen vorzuziehen. Meistens bedarf es einer verbleibenden Tiegeltiefe a von etwa 20 bis 40 ram. Der Tiegelkörper 5 ist zur besseren Montage in einen Graphitkörper 8 eingesetzt, der auch zum Zusammenhalten der Teile des Tiegelkörpers dient.The crucible body 5 is initially lined with an aluminum foil 6 which, for. B. 0.2 to 0.4 mm thick. The crucible lining 7 is made of sillimanite for aluminum evaporation. Like the quartz crucible 5, it can consist of a single piece or be constructed from parts. The construction from parts is generally preferable. In most cases, a remaining crucible depth a of around 20 to 40 ram is required. For better assembly, the crucible body 5 is inserted into a graphite body 8, which also serves to hold the parts of the crucible body together.

Während des Verdampfungsvorganges wird die Sillimanitauskleidung7 zwar von flüssigem Aluminium benetzt, reagiert aber praktisch nicht mit dem hocherhitzten Metall. Silikate und insbesondere Sillimanit haben eine sehr gute Temperaturwechselbeständigkeit und stehen in dieser Hinsicht im Gegensatz zu anderen Oxyden, z. B. Aluminiumoxyd (Tonerde), die außerdem durch flüssiges Aluminium erodiert werden. Diese Eigenschaften führen dazu, daß die Auskleidung 7 bei längerer Benutzung oder, wenn sie durch häufigen Temperaturwechsel vorzeitig springen sollte, nur großflächige Bruchstücke bildet. Diese Stücke werden durch die Aluminiumfolie 6, die an der unteren Seite zum Quarzguttiegel 5 eine Silikatschicht bildet und auf der oberen Seite die Sillimanitauskleidung benetzt, festgehalten und gewissermaßen verklebt. Dadurch können sie nicht in das zu verdampfende Metall geraten. Demgegenüber haben Versuche gezeigt, daß Tonerdekörper in viele kleine Stücke zerfallen und darum meist in das geschmolzene Metall geraten. Die Aluminiumfolie 6 gleicht auch Unebenheiten der beiden Formkörper 5 und 7 aus. Beim eventuellen Zerspringen der Sillimanitauskleidung 7 unter Bildung von Spalten kann flüssiges Aluminium eindringen. Dies bedeutet aber keine Gefahr für die Betriebssicherheit, denn das eingedrungene Aluminium reagiert dann mit dem Siliciumdioxyd des Tiegelkörpers 5 und verstopft unterDuring the evaporation process, the Sillimanite lining7 made of liquid aluminum wets, but practically does not react with the highly heated metal. Silicates and in particular sillimanite have a very good resistance to temperature changes and are in contrast to others in this regard Oxides, e.g. B. aluminum oxide (clay), which are also eroded by liquid aluminum. These properties lead to the fact that the lining 7 with prolonged use or when they should jump prematurely due to frequent temperature changes, only forms large fragments. This Pieces become through the aluminum foil 6, which is on the lower side to the quartz crucible 5 a silicate layer forms and on the upper side the sillimanite lining wets, held and to a certain extent glued. This prevents them from getting into the metal to be vaporized. In contrast, have Experiments have shown that alumina bodies disintegrate into many small pieces and therefore mostly into the molten one Metal advised. The aluminum foil 6 also resembles unevenness in the two shaped bodies 5 and 7 out. If the sillimanite lining 7 bursts with the formation of gaps, liquid aluminum can penetrate. But this does not mean any Risk to operational safety, because the penetrated aluminum then reacts with the silicon dioxide of the crucible body 5 and clogged under

Bildung von Silikaten die entstandenen Spalten wieder. Das Einbetten in den Graphitkörper 8 hat außer den obigen mechanischen Gründen noch einen weiteren Vorteil. Im seltenen FaI], daß sowohl die Sillimanitauskleidung als auch der Tfiegelkörper 5 etwa an derselben Stelle springen solltep, bildet das eindringende Metall mit dem Graphit ein Karbid, das wiederum den Spalt abdichtet. Der Gräphitkörper dient also ebenfalls der Betriebssicherheit. Der 0ra-Formation of silicates the resulting gaps again. The embedding in the graphite body 8 has in addition to the above mechanical reasons, another advantage. In the rare case] that both the Sillimanite lining as well as the crucible body 5 should jump at about the same point, that forms Penetrating metal forms a carbide with the graphite, which in turn seals the gap. The graphite body thus also serves the operational safety. The 0ra-

phitkörper 8 kann — wie in F i g. 2 dargestellt — aus einem einzigen Formstück bestehen, er kann aber auch aus einzelnen Teilen in beliebiger und bekannter Weise zusammengesetzt sein.phitkörper 8 can - as in FIG. 2 - consist of a single fitting, but it can can also be composed of individual parts in any known manner.

Die F i g. 3 und 4 zeigen einen Verdampfungstiegel im Quer- und Längsschnitt. Er besteht im wesentlichen aus Halbzylindern mit Endplatten. Der Quarzguttiegel ist aus dem Halbzylinder 5α und den Endplatten 5 ft, die Sillimanitauskleidung aus dem HaIbzyliinder7a und den Endplatten 7 ft zusammengesetzt. Auch der Graphitkörper besteht aus mehreren Teilen, und zwar dem zylindrisch ausgefrästen Teil 8 a und den Endstücken 8 ft, die mittels der Schrauben 9 zusammengehalten werden.The F i g. 3 and 4 show an evaporation crucible in cross section and longitudinal section. It essentially consists made of half cylinders with end plates. The quartz crucible consists of the half cylinder 5α and the end plates 5 ft, the sillimanite lining from the half cylinder 7a and the end plates 7 ft. assembled. The graphite body also consists of several parts, namely the cylindrically milled part 8 a and the end pieces 8 ft, which are held together by means of the screws 9 will.

Ein solcher länglicher Tiegel kann mit jedem Ende zwischen die Pole 14 (F i g. 1) von zwei Flachstrahlkanonen gebracht und das in ihm befindliche Metall mit doppelter Heizleistung verdampft werden. Ein größerer runder Tiegel mit einem radialen Querschnitt nach F i g. 2 kann von verschiedenen Seiten mit Elektronenstrahlen beheizt werden, wobei natürlich die Polschuhe 14 entsprechend ausgebildet werden müssen.Such an elongated crucible can be placed at each end between the poles 14 (FIG. 1) of two flat jet guns brought and the metal in it are vaporized with twice the heating power. A larger round crucible with a radial cross-section according to FIG. 2 can be from different sides be heated with electron beams, the pole pieces 14 being of course designed accordingly have to.

Der Verdampfungstiegel gemäß der Erfindung hat sich in längerem Betrieb außerordentlich bewährt. Er kann in allen Fällen benutzt werden, in denen eine intensive Verdampfung von Metallen wünschenswert ist. Zu diesen Fällen zählt außer der beschriebenen Bedampfung von Stahlbändern beispielsweise auch die Reinigung von Metallen mittels Destillation unter Vakuum.The evaporation crucible according to the invention has proven itself extremely well in prolonged operation. It can be used in all cases in which intensive evaporation of metals is desirable is. In addition to the steaming of steel strips described, these cases also include, for example also the cleaning of metals by means of distillation under vacuum.

Claims

Patent claims:

1. Evaporation crucible made of silicon dioxide for intensive vacuum deposition of layers Metals that react with the crucible material at high temperatures by means of electron beams, in particular for the vapor deposition of aluminum, characterized in that the silicon dioxide crucible body (5.5 a, 5 ft) is provided with a liner (7, 7a, 7ft) which is made from consists of a silicate of the metal to be evaporated.

2. Evaporation crucible according to claim 1, characterized in that between the crucible body (S, Sa, 5ft) and lining (7, 7a, 7ft) one Intermediate layer (6) made of the metal to be vapor-deposited is arranged.

3. Evaporation crucible according to claim J. or 2, · characterized in that the crucible body (5, 5rt, 5 ft) in a graphite body (8, 8a, 8 ft) is embedded.

Considered publications:
U.S. Patent Nos. 2,762,722, 2,386,875.

1 sheet of drawings

709 709/398 12.67 O Bundesdruckerei Berlin709 709/398 12.67 O Bundesdruckerei Berlin