DE1242690B - Circuit arrangement with a unipolar and a bipolar transistor - Google Patents

Circuit arrangement with a unipolar and a bipolar transistor

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DE1242690B
DE1242690B DET20103A DET0020103A DE1242690B DE 1242690 B DE1242690 B DE 1242690B DE T20103 A DET20103 A DE T20103A DE T0020103 A DET0020103 A DE T0020103A DE 1242690 B DE1242690 B DE 1242690B
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Arthur Dunn Evans
Charles Robert Cook Jun
Gerald Luecke
Robert Allan Meadows
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Texas Instruments Inc
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. Cl.:Int. Cl .:

H03kH03k

Deutsche Kl.: 21 al-36/18 German class: 21 al -36/18

Nummer: 1242 690Number: 1242 690

Aktenzeichen: T 20103 VIII a/21 alFile number: T 20103 VIII a / 21 al

Anmeldetag: 2. Mai 1961Filing date: May 2, 1961

Auslegetag: 22. Juni 1967Open date: June 22, 1967

Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltanordnung mit einem unipolaren und einem bipolaren Transistor, bei welcher die eine ohmsche Elektrode des unipolaren Transistors elektrisch mit der Basiselektrode des bipolaren Transistors verbunden ist.The invention relates to a switching arrangement with a unipolar and a bipolar Transistor in which one ohmic electrode of the unipolar transistor is electrically connected to the base electrode of the bipolar transistor is connected.

Bekanntlich haben die unipolaren oder Feldeffekt-Transistoren gegenüber den bipolaren Transistoren den Vorteil einer wesentlich höheren Eingangsimpedanz. It is known that the unipolar or field effect transistors have compared to the bipolar transistors the advantage of a much higher input impedance.

Bei einer bekannten Schaltanordnung der eingangs angegebenen Art wird eine Eingangsspannung zwischen der Emitterelektrode des bipolaren Transistors und der zweiten ohmschen Elektrode des unipolaren Transistors angelegt. Die zweite ohmsche Elektrode bildet dabei die gemeinsame Elektrode der Schaltung, mit der auch die Kollektorelektrode des bipolaren Transistors über eine Batterie und einen Widerstand verbunden ist. Die ganze Anordnung wird nach Art eines gewöhnlichen Transistors verwendet, wobei die nichtohmsche Elektrode des unipolaren Transistors dazu dient, den Basiswiderstand des bipolaren Transistors zu verändern. Damit ist eine Verstärkungsregelung des bipolaren Transistors möglich. Wenn beispielsweise eine zweite Signalspannung zwischen der zweiten ohmschen Elektrode und der nichtohmsehen Elektrode angelegt wird, arbeitet die Schaltung als Modulator.In a known switching arrangement of the type specified above, an input voltage is between the emitter electrode of the bipolar transistor and the second ohmic electrode of the unipolar Transistor applied. The second ohmic electrode forms the common electrode of the circuit, with which also the collector electrode of the bipolar transistor via a battery and a resistor connected is. The whole arrangement is used in the manner of an ordinary transistor, the The non-ohmic electrode of the unipolar transistor serves to increase the base resistance of the bipolar transistor to change. A gain control of the bipolar transistor is thus possible. if for example a second signal voltage between the second ohmic electrode and the non-ohmic electrode Electrode is applied, the circuit works as a modulator.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Schaltanordnung der eingangs angegebenen Art so auszubilden, daß sie unter Aufrechterhaltung der für den unipolaren Transistor charakteristischen hohen Eingangsimpedanz in einem Teil ihres Arbeitsbereichs das Verhalten eines negativen Widerstands zeigt und somit zur Bildung von Stromschaltern, bistabilen Schaltungen, logischen Schaltungen, Schwingungserzeugern od. dgl. verwendbar ist.In contrast, the invention is based on the object of providing a switching arrangement of the type specified at the outset Kind so train that they maintain the characteristic of the unipolar transistor high input impedance in part of their work area the behavior of a negative Shows resistance and thus to the formation of current switches, bistable circuits, logic circuits, Vibration generators or the like. Can be used.

Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß die nichtohmsche Elektrode des unipolaren Transistors elektrisch mit der Kollektorelektrode des bipolaren Transistors verbunden ist, daß die zweite ohmsche Elektrode des unipolaren Transistors als Eingang verwendet wird und daß die Kollektorelektrode und die Emitterelektrode des bipolaren Transistors als Ausgang und als Spannungszuführungselektroden verwendet sind.According to the invention, this is achieved in that the non-ohmic electrode of the unipolar transistor is electrically connected to the collector electrode of the bipolar transistor that the second ohmic electrode of the unipolar transistor is used as an input and that the collector electrode and the emitter electrode of the bipolar transistor as an output and as voltage supply electrodes are used.

Die nach der Erfindung ausgebildete Schaltanordnung hat in ihrer Kollektorstrom-Kollektorspannungs-Kennlinie einen Abschnitt, in welchem der Kollektorstrom bei steigender Kollektorspannung fällt. Dies entspricht dem Verhalten eines negativen Widerstands. Dabei kann das Verhalten der Schaltanordnung durch das der zweiten ohmschen Elektrode zuSchaltungsanordnung mit einem unipolaren
und einem bipolaren Transistor
The switching arrangement designed according to the invention has a section in its collector current-collector voltage characteristic curve in which the collector current falls when the collector voltage rises. This corresponds to the behavior of a negative resistance. The behavior of the switching arrangement can be changed by that of the second ohmic electrode
and a bipolar transistor

Anmelder:Applicant:

Texas Instruments Incorporated,Texas Instruments Incorporated,

Dallas, Tex. (V. St. A.)Dallas, Tex. (V. St. A.)

Vertreter:Representative:

Dipl.-Ing. E. PrinzDipl.-Ing. E. Prince

und Dr. G. Hauser, Patentanwälte,and Dr. G. Hauser, patent attorneys,

München-Pasing, Ernsbergerstr. 19Munich-Pasing, Ernsbergerstr. 19th

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Arthur Dunn Evans, Robert Allan Meadows,
Charles Robert Cook jun., Gerald Luecke,
Richardson, Tex. (V. St. A.)
Arthur Dunn Evans, Robert Allan Meadows,
Charles Robert Cook jun., Gerald Luecke,
Richardson, Tex. (V. St. A.)

Beanspruchte Priorität:
V. St. ν. Amerika vom 2. Mai 1960 (26 090,
26 126, 26 133, 26 134)
Claimed priority:
V. St. ν. America May 2, 1960 (26 090,
26 126, 26 133, 26 134)

geführte Eingangssignal gesteuert werden. Daraus ergeben sich sehr vielseitige Anwendungsmöglichkeiten bei allen Arten von Schaltungen, bei denen ein negativer Widerstand bzw. ein bistabiles Verhalten erforderlich ist.guided input signal can be controlled. This results in a very wide range of possible applications in all types of circuits where a negative resistance or bistable behavior is required is.

Ein wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung besteht darin, daß sie eine hohe Eingangsimpedanz aufweist, weil das Eingangssignal dem unipolaren Transistor zugeführt wird. Dies ist besonders dort günstig, wo an den Ausgang einer Schaltanordnung mehrere weitere Schaltanordnungen gemeinsam angeschlossen sind, weil die hohe Eingangsimpedanz die erforderliche Steuerleistung verringert. Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung besteht darin, daß die Anpassung an verschiedene Anwendungszwecke mit einem sehr geringen zusätzlichen Schaltungsaufwand möglich ist und daß die erforderlichen Widerstands- und Kapazitätswerte verhältnismäßig klein sind. Die Schaltanordnung eignet sich daher besonders gut für mikrominiaturisierte integrierte Halbleiterschaltungsanordnungen, bei denen die verschiedenen Schaltungselemente in verschiedenen Abschnitten eines HaIbleiterplättchens gebildet werden. Infolge der ein-A major advantage of the arrangement according to the invention is that it has a high input impedance because the input signal is fed to the unipolar transistor. This is special favorable where several further switching arrangements are common to the output of a switching arrangement are connected because the high input impedance reduces the control power required. Another advantage of the arrangement according to the invention is that the adaptation to different Applications with very little additional circuitry is possible and that the required resistance and capacitance values are relatively small. The switching arrangement is therefore particularly suitable for microminiaturized integrated semiconductor circuit arrangements, where the various circuit elements are in different sections of a semiconductor chip are formed. As a result of the

709 607/478709 607/478

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fachen Schaltung ist es leicht möglich, die für eine Die Breite des Stegs 15 zwischen den pn-Übergän-multiple circuit, it is easily possible for a The width of the web 15 between the pn transitions

bestimmte Schaltungsanordnung erforderlichen Schal- gen 13 und 16 ist für die Eigenschaften des FeId-circuitry 13 and 16 required for the properties of the field

tungselemente in einem Halbleiterplättchen anzu- effekt-Transistors wichtig. Diese Breite wird durchprocessing elements in a semiconductor wafer to effect transistor important. This width is made by

ordnen. die Diffusionstiefe der Schicht 12 und des Abschnittsput in order. the diffusion depth of the layer 12 and the section

Bekanntlich ist es bei solchen integrierten Halb- 5 14 gesteuert und bestimmt. Bei dieser Anordnung leiterschaltungen schwierig, hohe Widerstandswerte wird die Leitfähigkeit in dem p-Steg 15 zwischen der und Kapazitätswerte zu erzeugen. Da bei der erfin- Quelle 17 und dem Abfluß 18 durch die an die dungsgemäßen Schaltanordnung nur verhältnismäßig Steuerelektrode 19 gelegte Spannung gesteuert,
niedrige Widerstands- und Kapazitätswerte erforder- F i g. 2 a zeigt eine Anordnung, bei der ein Feldlich sind, wird die Ausbildung der verschiedenen io effekt-Transistor der in F i g. 1 gezeigten Art mit Schaltungsanordnungen in Form integrierter Halb- einem gewöhnlichen bipolaren Transistor in einem leiterschaltungen wesentlich erleichtert oder in man- einzigen Halbleiterkörper vereinigt ist. Die Anordchen Fällen sogar erst ermöglicht. nung von F i g. 2 a enthält wie der in F i g. 1 gezeigte
As is well known, it is controlled and determined in such integrated semiconductors. With this arrangement, conductive circuits difficult to generate high resistance values, the conductivity in the p-bar 15 between the and capacitance values. Since the inven- source 17 and the outlet 18 are controlled by the voltage applied to the switching arrangement according to the invention, only relatively control electrode 19,
low resistance and capacitance values required- F i g. FIG. 2 a shows an arrangement in which a field, the formation of the various io effect transistor of the in FIG. 1 with circuit arrangements in the form of integrated half-a normal bipolar transistor in a conductor circuit is significantly facilitated or combined in one-single semiconductor body. The arranging cases even made possible in the first place. tion of Fig. 2 a contains like that in FIG. 1 shown

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung bei- unipolare Feldeffekt-Transistor einen Block 11 ausThe invention is based on the drawing with unipolar field effect transistor from a block 11

spielshalber erläutert. Darin zeigt 15 η-Material, auf dem sich eine diffundierte p-Schichtexplained for the sake of play. It shows 15 η material on which there is a diffused p-layer

F i g. 1 einen unipolaren Feldeffekt-Transistor, 12 befindet. In die Schicht 12 ist ein Abschnitt 14F i g. 1 a unipolar field effect transistor, 12 is located. A section 14 is in the layer 12

Fig. 2a eine Schaltanordnung aus einem unipola- aus η-Material eindiffundiert. Das η-Material des2a shows a switching arrangement made of a unipolar from η material diffused in. The η material of the

ren Feldeffekt-Transistor und einem bipolaren Flä- Blocks 11 bildet einen pn-übergang 13 mit derRen field effect transistor and a bipolar surface block 11 forms a pn junction 13 with the

chentransistor, p-Schicht 12. Der Abschnitt 14 aus η-Material bildetchentransistor, p-layer 12. The section 14 is made of η material

Fig. 2b eine Draufsicht auf eine bevorzugte Aus- 20 ebenfalls einen pn-übergang 16 mit der p-Schicht 12.2b shows a plan view of a preferred configuration 20, likewise a pn junction 16 with the p-layer 12.

führungsform der Schaltanordnung von Fig. 2a, Wie bei dem Feldeffekt-Transistor von Fig. 1 ragtGuide form of the switching arrangement of Fig. 2a, As in the field effect transistor of Fig. 1 protrudes

Fi g. 2 c einen Schnitt durch die Anordnung von der Abschnitt 14 so tief in die Schicht 12 hinein, daßFi g. 2 c shows a section through the arrangement of the section 14 so deep into the layer 12 that

Fi g. 2b nach der Linie Ic-Ic, diese in zwei Hauptteile XIa112b unterteilt wird, dieFi g. 2b according to the line Ic-Ic, this is divided into two main parts XIa 1 12b , the

Fig. 3 die Ersatzschaltung der Schaltanordnung über einen schmalen Steg 15 aus p-Material mitein-3 shows the equivalent circuit of the switching arrangement via a narrow web 15 made of p-material.

von Fig. 2a, 2b, 2c, 25 ander verbunden sind. An dem Hauptteil 12a derof Fig. 2a, 2b, 2c, 25 are connected to the other. On the main part 12a of the

F i g. 4 ein Kennliniendiagramm der Schaltanord- Schicht 12 ist ein ohmscher Kontakt angebracht, derF i g. 4 is a characteristic diagram of the switching arrangement layer 12, an ohmic contact is attached, the

nung von Fig. 2 bzw. 3, die Quelle 17 des Feldeffekt-Transistors darstellt.tion of Fig. 2 and 3, the source 17 of the field effect transistor represents.

F i g. 5 eine bistabile Schaltung zur Erläuterung Ohmsche Kontakte sind ferner an dem Abschnitt 14F i g. 5 a bistable circuit for explaining ohmic contacts are also at section 14

der Schalteigenschaften der Schaltanordnung, und an dem Block 11 auf der der Schicht 12 gegen-the switching properties of the switching arrangement, and at the block 11 on the layer 12 opposite

Fig. 6 ein schematisches Schaltbild eines unter 30 überliegenden Seite angebracht; diese Kontakte sindFig. 6 is a schematic circuit diagram of an overlying page attached below 30; these contacts are

Verwendung mehrerer Schaltanordnungen aufgebau- so miteinander verbunden, daß sie die nichtohmscheUse of several switching arrangements connected to one another in such a way that the non-ohmic

ten Ringzählers, Elektrode 19, also die Steuerelektrode des FeId-th ring counter, electrode 19, i.e. the control electrode of the field

Fig.7 eine Draufsicht auf eine integrierte Halb- effekt-Transistors darstellen. Dagegen fehlt bei der7 represent a plan view of an integrated half-effect transistor. On the other hand, the

leiterschaltung, welche eine einzige Stufe des Ring- Anordnung von Fig. 2a die ohmsche Elektrode 18Conductor circuit, which is a single stage of the ring arrangement of Fig. 2a, the ohmic electrode 18

zählers von F i g. 6 darstellt, 35 von F i g. 1.counter of F i g. 6 represents 35 of FIG. 1.

F i g. 8 einen Schnitt durch die Anordnung von Bei der Anordnung von F i g. 2 a ist ferner eineF i g. 8 shows a section through the arrangement of FIG. 2 a is also a

F i g. 7 nach der Linie 8-8 und diffundierte Schicht 20 aus η-Material in dem Ab-F i g. 7 along the line 8-8 and diffused layer 20 of η material in the ab-

Fig. 9 eine unter Verwendung der Schaltanord- schnitt 126 der p-Schicht 12 gebildet. Diese Schicht9 shows a circuit formed using the switchgear section 126 of the p-layer 12. This layer

nung aufgebaute Kippschwingerschaltung. 20 aus η-Material ragt nicht ganz bis zu dem Über-voltage built-up oscillating oscillator circuit. 20 made of η material does not quite protrude up to the

Der in F i g. 1 gezeigte unipolare Transistor oder 40 gang 13 nach unten in die p-Schicht 12. der Ab-Feldeffekt-Transistor besteht aus einem Block 11 schnitt 20 bildet einen pn-übergang 22 mit dem aus n-Halbleitermaterial, auf dem eine diffundierte p-Material der Schicht 12. Die pn-Übergänge 22 und Schicht 12 aus p-Material liegt, wodurch ein pn- 13 ergeben zusammen die Wirkung eines bipolaren Übergang 13 zwischen der Schicht 12 und dem Flächentransistors. An dem Abschnitt 20 ist ein Block 11 gebildet wird. In der Mitte der p-Schicht 45 ohmscher Kontakt angebracht, der die Emitterelek-12 ist ein diffundierter Abschnitt 14 aus η-Material trode 21 des bipolaren Transistors darstellt. Die gebildet, der nach unten in die p-Schicht 12 ragt und Basis des bipolaren Transistors besteht aus einem diese in zwei Hauptteile 12 a und 12 b unterteilt, Stück mit dem Abschnitt 12 b, der den Abfluß des welche miteinander durch einen schmalen, leitenden Feldeffekt-Transistors darstellt, so daß diese beiden Steg 15 aus p-Material verbunden sind, der auf der 50 Zonen im Inneren des Halbleiterkörpers unmittelbar einen Seite an das η-Material des Blocks 11 und auf leitend miteinander verbunden sind. Ebenso ist die der anderen Seite an den Abschnitt 14 aus η-Mate- von der Schicht 11 gebildete Kollektorzone des birial angrenzt. Der Abschnitt 14 aus η-Material bildet polaren Transistors unmittelbar leitend mit der nichteinen pn-übergang 16 mit der p-Schicht 12. An dem ohmschen Elektrode 19 des Feldeffekt-Transistors einen Hauptteil 12 a der p-Schicht 12 ist ein ohm- 55 verbunden.The in F i g. 1 shown unipolar transistor or 40 gang 13 down into the p-layer 12. The Ab field effect transistor consists of a block 11 section 20 forms a pn junction 22 with the n-semiconductor material on which a diffused p-material of layer 12. The pn junctions 22 and layer 12 are made of p-material, whereby a pn 13 together result in the effect of a bipolar junction 13 between the layer 12 and the junction transistor. A block 11 is formed on section 20. In the middle of the p-layer 45 ohmic contact is attached, which represents the emitter electrode 12, a diffused section 14 made of η material trode 21 of the bipolar transistor. The formed, which protrudes down into the p-layer 12 and the base of the bipolar transistor consists of one of these divided into two main parts 12 a and 12 b , piece with the section 12 b, which the outflow of which together by a narrow, conductive Field effect transistor represents, so that these two webs 15 are connected from p-material, which on the 50 zones in the interior of the semiconductor body are directly connected on one side to the η-material of the block 11 and conductively with one another. Likewise, the collector zone of the birial formed by the layer 11 on the other side is adjacent to the section 14 made of η-Mate. The section 14 made of η material forms the polar transistor in a directly conductive manner with the non-one pn junction 16 with the p-layer 12. An ohmic 55 is connected to the ohmic electrode 19 of the field-effect transistor, a main part 12 a of the p-layer 12 .

scher Anschluß 17 angebracht. Dieser Anschluß In Fig.2b und 2c ist eine besondere räumlicheshear connection 17 attached. This connection in Fig.2b and 2c is a special spatial one

stellt die Quellenelektrode des Feldeffekt-Transistors Ausbildung der Anordnung von Fig. 2a dargestellt,represents the source electrode of the field effect transistor forming the arrangement of Fig. 2a,

dar. Ein weiterer ohmscher Anschluß 18 ist an dem die sich als besonders vorteilhaft erwiesen hat undis. Another ohmic connection 18 is where that has proven to be particularly advantageous and

anderen Hauptteil 12 b der p-Schicht 12 angebracht, die bevorzugte Ausführungsform darstellt. Es soll imother main part 12 b of the p-layer 12 attached, which represents the preferred embodiment. It should be in

wodurch die Abflußelektrode des Feldeffekt-Tran- 60 folgenden ein besonderes Verfahren zur Herstellungwhereby the drain electrode of the field effect tran- 60 following a special method of manufacture

sistors gebildet wird. Ohmsche Anschlüsse 19 sind dieser Anordnung beschrieben werden. Ein Plättchensistors is formed. Ohmic connections 19 are to be described in this arrangement. A plate

ferner an dem Abschnitt 14 sowie an dem Block 11 110 aus Silizium mit einem spezifischen Widerstandalso on the section 14 and on the block 11 110 made of silicon with a specific resistance

auf der der Schicht 12 gegenüberliegenden Seite an- von 7,5 Ohm · cm dient als Ausgangsmaterial. Jedeon the side opposite the layer 12 at 7.5 ohm · cm serves as the starting material. Every

gebracht und elektrisch leitend miteinander verbun- Seite des Plättchens wird geläppt, so daß eine Dickebrought and connected to one another in an electrically conductive manner. Side of the plate is lapped so that a thickness

den; infolge der pn-Übergänge 13 und 16 stellen 65 des Plättchens von 0,25 mm erreicht wird. Die Ober-the; as a result of the pn junctions 13 and 16, 65 of the plate of 0.25 mm is reached. The upper

diese Anschlüsse bezüglich der Schicht 12 eine nicht- seite des Plättchens wird dann optisch poliert. NachThese connections with respect to the layer 12, a non-side of the platelet, are then optically polished. To

ohmsche Elektrode dar, und sie bilden zusammen die dem Polieren wird das Plättchen in ein offenes Rohrohmic electrode, and they together form the polishing of the wafer in an open tube

Steuerelektrode des Feldeffekt-Transistors. eingebracht, und Dampf mit einer Temperatur vonControl electrode of the field effect transistor. introduced, and steam at a temperature of

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etwa 1200° C wird über das Plättchen geleitet. Durch F i g. 3 ist die Quelle des Feldeffekt-Transistors 23about 1200 ° C is passed over the plate. By F i g. 3 is the source of the field effect transistor 23

diesen Vorgang wird ein dünner Oxydfilm auf allen mit dem Bezugszeichen 26 versehen, die Steuerelek-this process is provided with the reference numeral 26 on all a thin oxide film, the control elec-

Oberflächen des Plättchens gebildet. Das Plättchen trode mit dem Bezugszeichen 28 und der Abfluß mitSurfaces of the platelet formed. The plate trode with the reference numeral 28 and the drain with

wird dann einer Diffusion aus einer Galliumtrioxyd- dem Bezugszeichen 27. Der Abfluß 27 des unipolaren quelle in Anwesenheit von trockenem Sauerstoff 5 Feldeffekt-Transistors 23 ist direkt mit der Basisis then a diffusion from a gallium trioxide the reference numeral 27. The drain 27 of the unipolar source in the presence of dry oxygen 5 field effect transistor 23 is directly connected to the base

unterworfen, wodurch eine Schicht aus p-Material des Flächentransistors 25 verbunden. Die Steuer-subjected, whereby a layer of p-material of the junction transistor 25 is connected. The tax-

von etwa 18 μ Dicke in der Oberfläche des Plättchens elektrode 28 des Feldeffekt-Transistors 23 ist direktof about 18 μ thickness in the surface of the plate electrode 28 of the field effect transistor 23 is direct

gebildet wird. Unter Anwendung des Lichtdmckver- an den Kollektor des Flächentransistors 25 ange-is formed. Applying the light print to the collector of the flat transistor 25

fahrens wird der Oxydfilm dann stellenweise von schlossen. Die Emitterelektrode des bipolaren Trankonzentrischen kreisförmigen Abschnitten der Ober- io sistors 25 ist an eine äußere Klemme geführt, When driving, the oxide film is then closed in places. The emitter electrode of the bipolar potion-concentric circular sections of the upper io sistor 25 is led to an external terminal,

fläche des Plättchens entfernt. Nach dem stellen- Das Kollektorspannungs-Kollektorstrom-Kenn-surface of the plate removed. After setting the collector voltage-collector current characteristic

weisen Entfernen des Oxydfilms wird das Plättchen' liniendiagramm der Anordnung von F i g. 2 bzw.After removing the oxide film, the platelet is a line diagram of the arrangement of FIG. 2 or

dann einem zweiten Diffusionszyklus unterworfen, deren Ersatzschaltung von F i g. 3 ist in F i g. 4 dar-then subjected to a second diffusion cycle, the equivalent circuit of which is shown in FIG. 3 is in FIG. 4 dar-

durch den Phosphor bis zu einer Tiefe von etwa 7,5 μ gestellt. Dieses Kennliniendiagramm gilt für eine aus einer Phosphorpentoxydquelle in Anwesenheit 15 konstante Quellenspannung von 1,7 Volt. Die Kenn-placed by the phosphorus to a depth of about 7.5 μ. This characteristic diagram applies to a from a phosphorus pentoxide source in the presence of 15 constant source voltage of 1.7 volts. The characteristic

von trockenem Stickstoff eindiffundiert wird. Die linie besteht aus einem Abschnitt 31 positiven Wider-is diffused in by dry nitrogen. The line consists of a section 31 positive resistance

resultierende dünne Schicht aus p-Material wird stands und aus einem Abschnitt 32 negativen Wider-resulting thin layer of p-material is standing and from a section 32 negative resistance

dann von dem Boden und den Seitenflächen des stands.then from the bottom and sides of the stand.

Plättchens entfernt, so daß eine Schicht 112 aus Der negative Widerstands abschnitt der Kennlinie p-Material an der Oberfläche des Plättchens zurück- 20 liegt vor, wenn sich der bipolare Transistor 25 nicht bleibt, die einen pn-übergang 126 mit dem η-Mate- in Sättigung befindet. Bei einem Anstieg der Kollekrial des Plättchens bildet. Der zweite Diffusionsvor- torspannung steigt auch die der Steuerelektrode des gang unter Verwendung der Phosphorpentoxydquelle unipolaren Feldeffekt-Transistors 23 zugeführte Spanbewirkt die Bildung von konzentrischen ringförmigen rnrng, wodurch der Abflußstrom des Feldeffekttran-Abschnitten 114 und 116 aus η-Material in der 25 sistors 23 vermindert wird. Dadurch wird der zu dem Schicht 112, welche pn-Übergänge mit dem p-Mate- Flächentransistor 25 fließende Basisstrom verminrial der Schicht 112 bilden. Ohmsche Kontakte 120 dert, und diese Verminderung des Basisstroms führt und 122 werden an den Abschnitten 116 bzw. 114 zu einer Abnahme des Kollektorstroms. Wenn also angebracht. Ein ohmscher Kontakt 124 wird an der die Kollektorspannung steigt, nimmt der Kollektor-Schicht 112 an der Stelle angebracht, die den Mittel- 30 strom des Transistors 25 ab, wodurch der negative punkt der kreisförmigen Abschnitte 114 und 116 Widerstandsabschnitt der Kennlinie gebildet wird, darstellt. Ein ohmscher Kontakt 118 wird an dem Der positive Widerstandsabschnitt der Kennlinie Boden des Plättchens 110 angebracht. Die Kontakte liegt vor, wenn der Flächentransistor 25 gesättigt ist. 118, 120, 122 und 124 bestehen aus Aluminium und Bei niedrigen Werten der Kollektorspannung ist der werden durch Aufdampf- und Sinterverfahren ge- 35 Abflußstrom des Feldeffekt-Transistors 23 groß, und bildet. Das Plättchen wird dann mit einem ätzbestän- somit ist der Basisstrom des Transistors 25 groß digen Material, beispielsweise Wachs, maskiert und genug, um eine Sättigung des Transistors 25 zu bein einer Säurelösung so geätzt, daß die in F i g. 2 c wirken. Wenn die Kollektorspannung ansteigt, vergezeigte Form erhalten wird. Die fertige Anordnung mindert sie den Abflußstrom des Feldeffekt-Transtellt das Äquivalent zu der Anordnung von Fig. 2a 40 sistors 23. Da sich aber der Transistor 25 in der dar. Sättigung befindet, hat dies keine Auswirkung auf Bei der Anordnung von Fig. 2b und 2c entspre- den Kollektorstrom des Transistors25. Daher steigt chen die Kontakte 124 und 120 der Quellenelek- der Kollektorstrom bei steigender Kollektorspantrode 17 bzw. der Emitterelektrode 21 der Anord- nung an, so daß also der positive Widerstandsnung von Fig. 2a. Die Kontakte 122 und 118 der 45 abschnitt31 der in Fig. 4 gezeigten Kennlinie erAnordnung von Fig. 2b und 2c werden miteinander halten wird. Der Punkt, bei dem die Kennlinie von verbunden und stellen dann die Elektrode 19 der An- dem positiven Widerstand zu dem negativen Widerordnung von F i g. 2 a dar, die sowohl mit der Steuer- stand übergeht, ist der Punkt, an dem der Transistor elektrode des unipolaren Transistors als auch mit 25 aus der Sättigung kommt, dem Kollektor des bipolaren Transistors verbunden 50 Aus F i g. 4 ist erkennbar, daß die Anordnung biist. Die Abschnitte 114 und 116 der Anordnung von stabile Eigenschaften hat. Die einem Belastungs-Fig. 2b und 2c entsprechen den Abschnitten 14 widerstand von 1500 0hm entsprechende Linie34, bzw. 20 der Anordnung von Fig. 2a. die von dem Punkt 5 mA/0 V zu dem Punkt 0 mA/ In einigen Fällen kann es vorteilhaft sein, die Ab- 7,5 V verläuft, kreuzt beispielsweise die Kennlinie schnitte 114 und 116 auf verschiedene Tiefen einzu- 55 dreimal. Ein Kreuzungspunkt liegt auf dem positiven diffundieren oder mit verschiedenen Störstoffkonzen- Widerstandsabschnitt 31 der Kennlinie, ein weiterer trationen auszustatten. In diesen Fällen ist es erfor- Kreuzungspunkt liegt auf dem negativen Widerderlich, diese Abschnitte durch verschiedene Diffu- Standsabschnitt 32, und der dritte Kreuzungspunkt sionszyklen zu bilden. Bei der bevorzugten Ausfüh- liegt auf der Abschaltlinie bei einem Strom von rungsform werden aber beide Abschnitte 114 und 60 0 mA. Es sind somit zwei stabile Arbeitspunkte vor- 116 durch einen einzigen Diffusionszyklus gleich- handen, von denen der eine auf dem positiven zeitig hergestellt. Widerstandsabschnitt liegt, bei dem der Transistor Die Schaltung von F i g. 3 ist die Ersatzschaltung 25 in Sättigung ist, während der andere auf der Abder Anordnung von Fig. 2a bzw. von Fig. 2b und schaltlinie liegt, auf der der Feldeffekt-Transistor 23 c. Die Ersatzschaltung enthält einen unipolaren 65 gesperrt und der Flächentransistor 25 stromlos ist. Feldeffekt-Transistor 23 und einen bipolaren Flä- F i g. 5 erläutert beispielshalber die Schalteigenchentransistor 25, der bei der bevorzugten Ausfüh- schäften der Anordnung. In F i g. 5 bezeichnet das rungsform der Erfindung ein npn-Transistor ist. In Bezugszeichen 35 allgemein die Schaltanordnung ausPlate removed, so that a layer 112 of the negative resistance section of the characteristic curve p-material is back on the surface of the plate, if the bipolar transistor 25 does not remain, which has a pn junction 126 with the η-Mate is in saturation. With an increase the collective of the platelet forms. The second diffusion bias voltage also increases the chip supplied to the control electrode of the unipolar field effect transistor 23 using the phosphorus pentoxide source, which causes the formation of concentric ring-shaped rings, whereby the outflow current of the field effect transsections 114 and 116 made of η material in the transistor 23 is reduced will. As a result, the base current flowing to the layer 112, which pn junctions with the p-mate junction transistor 25 form, is minimal of the layer 112 . Ohmic contacts 120 changed, and supplies this reduction of the base current and 122 are at the portions 116 and 114 to a decrease of the collector current. So if appropriate. An ohmic contact 124 is applied at which the collector voltage increases, the collector layer 112 is applied at the point which represents the mean current of the transistor 25, whereby the negative point of the circular sections 114 and 116 resistance section of the characteristic curve is formed . An ohmic contact 118 is attached to the positive resistance portion of the characteristic curve bottom of the chip 110 . The contacts are present when the flat transistor 25 is saturated. 118, 120, 122 and 124 are made of aluminum and. At low values of the collector voltage, the discharge current of the field effect transistor 23 is large and forms through vapor deposition and sintering processes. The platelet is then etched with an etch-resistant material, such as wax, masked the base current of the transistor 25 and is etched enough to saturate the transistor 25 with an acid solution so that the in FIG. 2 c act. As the collector voltage increases, the shape shown is obtained. The finished arrangement reduces the discharge current of the field effect transistor is the equivalent of the arrangement of Fig. 2a 40 sistor 23. However, since the transistor 25 is in saturation, this has no effect on the arrangement of Figs 2c corresponds to the collector current of transistor 25. Therefore, the contacts 124 and 120 of the source electrode, the collector current, increases as the collector frame 17 or the emitter electrode 21 of the arrangement increases, so that the positive resistance of FIG. 2a. The contacts 122 and 118 of the 45 section 31 of the characteristic curve shown in Fig. 4 of the arrangement of Figs. 2b and 2c will hold together. The point at which the characteristic curve of connected and then the electrode 19 of the positive resistance to the negative disorder of Fig. 2 a, which goes over to the control station, is the point at which the transistor electrode of the unipolar transistor and also with 25 comes out of saturation, connected to the collector of the bipolar transistor 50 from F i g. 4 it can be seen that the arrangement is biist. The sections 114 and 116 of the assembly have stable properties. The one load fig. 2b and 2c correspond to the sections 14 resistance of 1500 ohms corresponding line 34 and 20 of the arrangement of FIG. 2a. that runs from the point 5 mA / 0 V to the point 0 mA / In some cases it can be advantageous to run from 7.5 V, for example crossing the characteristic curve sections 114 and 116 at different depths once three times. A crossing point lies on the positive diffuse or with different Störstoffkonzen- resistance section 31 of the characteristic curve to equip another trations. In these cases it is necessary to form these sections through different diffuse stand section 32, and the third point of intersection is sion cycles. In the preferred embodiment, a current of approximate shape is on the cut-off line, but both sections 114 and 60 are 0 mA. There are thus two stable operating points upstream 116 by a single diffusion cycle at the same handen, one of which produced a time on the positive. Resistance section is where the transistor The circuit of F i g. 3 is the equivalent circuit 25 is in saturation, while the other is on the Abder arrangement of Fig. 2a or Fig. 2b and switching line on which the field effect transistor 23c. The equivalent circuit contains a unipolar 65 blocked and the flat transistor 25 is de-energized. Field effect transistor 23 and a bipolar area F i g. 5 explains, by way of example, the switching property transistor 25 in the preferred embodiment of the arrangement. In Fig. 5 denotes the approximate form of the invention is an npn transistor. In general, the switching arrangement is shown in reference numeral 35

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dem unipolaren Feldeffekt-Transistor und dem bi- Kollektor und der Basis des Flächentransistors 2ithe unipolar field effect transistor and the bi-collector and the base of the junction transistor 2i

polaren Flächentransistor, die zum besseren Ver- etwa OVoIt beträgt. Daher ist die Spannung zwischeipolar junction transistor, which is about OVoIt for better convenience. Hence the tension is between

ständnis der Arbeitsweise durch die Ersatzschaltung der Quelle und dem Abfluß des Feldeffekt-TransiUnderstanding of the mode of operation through the equivalent circuit of the source and the outflow of the field effect transit

von F i g. 3 mit dem unipolaren Feldeffekt-Transistor stors 23 etwa gleich der Spannung zwischen de: 23 und dem Flächentransistor 25 dargestellt ist. In 5 Quelle und der Steuerelektrode, und der Feldeffektfrom F i g. 3 with the unipolar field effect transistor stors 23 approximately equal to the voltage between de: 23 and the surface transistor 25 is shown. In 5 source and the control electrode, and the field effect

F i g. 5 ist die Emitterelektrode 21 der Schaltanord- Transistor 23 befindet sich in seinem Sättigungs-F i g. 5 is the emitter electrode 21 of the switching arrangement transistor 23 is in its saturation

nung 35 an Masse gelegt, und die Kollektorelektrode bereich. Somit kann der Strom von der Quelle zurrvoltage 35 placed on ground, and the collector electrode area. Thus, the current can be returned from the source

19 ist über einen Widerstand 36 von 300 Ohm an die Abfluß des Feldeffekt-Transistors kleiner als seir19 is smaller than seir through a resistor 36 of 300 ohms to the drain of the field effect transistor

positive Klemme einer Spannungsquelle angeschlos- Grenzwert sein. Wenn der Flächentransistor 25 der sen. Die Quellenelektrode 17 der Schaltanordnung xo Grenzwert des Abflußstroms als Basisstrom erfor-positive terminal of a voltage source connected - limit value. When the junction transistor 25 of the sen. The source electrode 17 of the switching arrangement xo limit value of the discharge current as the base current requires

35 ist mit der positiven Klemme einer eine veränder- dert, damit er in die Sättigung gelangt, wird er nie-35 is one of the positive terminals changed so that it reaches saturation, it will never-

liehe Spannung liefernden Spannungsquelle 38 über mais gesättigt, und der Feldeffekt-Transistor 23 wirkiLent voltage supplying voltage source 38 is saturated via maize, and the field effect transistor 23 is effective

einen Widerstand 40 von 2 kOhm und einen damit als Basisstrom-Begrenzer, der den Flächentransistoia resistor 40 of 2 kOhm and thus as a base current limiter, the surface transistor

in Serie liegenden Widerstand 42 von 51 Ohm ver- aus der Sättigung hält. Natürlich sind es die schwacl bunden. Die negative Klemme der Spannungsquelle 15 verstärkenden Flächentransistoren, die nicht in dieresistor 42 of 51 ohms lying in series is kept out of saturation. Of course it's the weak ones bound. The negative terminal of the voltage source 15 amplifying junction transistors that are not in the

38 liegt an Masse. Eine Klemme 44, die mit dem Sättigung gebracht würden. Diese schwachverstär-38 is due to mass. A terminal 44 that would bring with saturation. This weakly reinforced

Verbindungspunkt zwischen den Widerständen 40 kenden Anordnungen sind beim Umschalten in denThe connection point between the resistors 40 kenden arrangements are when switching in the

und 42 verbunden ist, stellt den Eingang der Schal- voll stromführenden Zustand am langsamsten, weiland 42 is connected, the input represents the switching fully energized state slowest because

tung dar. eine geringere Rückkopplungsverstärkung vorhanden Wenn sich die Schaltung in dem Zustand befindet, 20 ist, aber sie werden wegen der kleineren SpeicherzeitThere is less feedback gain when the circuit is in the state 20, but they will because of the smaller storage time

in dem der Feldeffekt-Transistor abgeschaltet und schneller abgeschaltet.in which the field effect transistor is switched off and switched off faster.

der Flächentransistor stromlos sind, steigt beim An- Die Rückkopplungsverstärkung und die aus dem legen eines positiven Impulses an dem Eingang 44 Eingangswiderstand 40 und der Kapazität zwischen die Spannung an der Quellenelektrode 17 mit einer der Quelle 17 und Masse gebildete ÄC-Schaltung beGeschwindigkeit an, die von der i?C-Zeitkonstante as stimmen die Anstiegszeit der Schaltung. Die Speicheabhängt, die durch den Eingangswiderstand 40 und rung und die Abfallzeit der Schaltung hängen beidie Kapazität zwischen der Quelle 17 und Masse be- nahe ausschließlich von der Speicherung und der stimmt ist. Wenn die Spannung an der Quelle 17 an- Abfallzeit des Flächentransistors 25 ab.
zusteigen beginnt, nimmt die Spannung zwischen der Aus F i g. 2 a ist erkennbar, daß eine Überbrük-Steuerelektrode und der Quelle des Feldeffekt-Tran- 30 kung die Steuerelektrode 14 mit der Kollektoreleksistors 23 ab. Wenn diese Spannung zwischen der trode 19 verbindet. Diese Schaltung ist zwar bei den Steuerelektrode und der Quelle bis zu einem Wert zuvor erwähnten Ausführungsformen besonders vorabgefallen ist, der unter der Abschaltspannung des teilhaft, doch ergibt eine andere Form der Verbin-Feldeffekt-Transistors 23 liegt, beginnt der Feld- dung eine größere Vielseitigkeit bei anderen Anweneffekt-Transistor 23 Strom zu führen. Sobald die 35 düngen. Wenn nämlich die Überbrückung unter-Stromführung des Feldeffekt-Transistors einsetzt, brachen wird und ein Widerstand in Serie eingefügt wird der Basis des Flächentransistors 25 ein Strom wird, kann das Umschalten von dem einen stabilen zugeführt. Der in dem Flächentransistor 25 fließende Zustand in den anderen mit verhältnismäßig energie-Basisstrom verursacht das Fließen eines Kollektor- schwachen Impulsen erreicht werden, die der Steuerstroms in dem Flächentransistor 25, und die Kollek- 40 elektrode 14 zugeführt werden,
torspannung des Flächentransistors 25 fälllt. Dies hat F i g. 6 zeigt, wie die kombinierten Schaltanordzur Folge, daß die Spannung an der Steuerelektrode nungen aus je einem Feldeffekt-Transistor und einem des Feldeffekt-Transistors 23 abnimmt und mehr bipolaren Transistor zu einem Ringzähler zusammen-Strom durch den Feldeffekt-Transistor 23 fließt. geschaltet werden. In F i g. 6 sind diese Schaltanord-Diese Wirkung ist selbstverstärkend, und der Feld- 45 nungen wieder allgemein mit den Bezugszeichen 35 effekt-Transistor und der Flächentransistor werden bezeichnet und zum besseren Verständnis durch die schnell in den voll stromführenden Zustand umge- Ersatzschaltung von F i g. 3 dargestellt. In diesem schaltet. Wenn der Feldeffekt-Transistor der Basis Fall ist wieder der Abfluß des unipolaren Feldeffektdes Flächentransistors genügend Strom zuführt, wird Transistors 23 direkt mit der Basis des Flächentrandieser in die Sättigung gebracht, die gleichrichtenden 50 sistors 25 verbunden, und die Steuerelektrode des Übergänge zwischen der Steuerelektrode und der unipolaren Feldeffekt-Transistors 23 ist direkt mit Quelle des Feldeffekt-Transistors 23 werden in der dem Kollektor des Flächentransistors 25 verbunden. Durchlaßrichtung vorgespannt, und die Spannung an An die Verbindung zwischen der Steuerelektrode des der Quelle 17 wird auf der Spannung des Kollektors Feldeffekt-Transistors 23 und dem Kollektor des 19 festgehalten. 55 Flächentransistors 25 ist die Kollektorelektrode 19 Die Anordnung bleibt voll stromführend, bis die der Schaltanordnung angeschlossen, mit der Quelle Spannung an der Quelle 17 wieder auf einen Wert des Feldeffekt-Transistors 23 ist die Quellenelekherabgesetzt wird, der unter der Spannung am KoI- trode 17 verbunden, und an den Emitter des Flächenlektor 19 liegt, worauf das Abschalten des Feld- transistors 25 ist die Emitterelektrode 21 angeeffekt-Transistors 23 beginnt. Dann tritt wieder eine 60 schlossen.
the surface transistor are de-energized, increases when the from the i? C time constant as, the rise time of the circuit is correct. The storage depends, which is determined by the input resistance 40 and tion and the fall time of the circuit in both the capacitance between the source 17 and ground almost exclusively on the storage and which is correct. When the voltage at the source 17 is on, the drop time of the junction transistor 25 decreases.
begins to climb, the tension between the Aus F i g. 2 a it can be seen that a bridging control electrode and the source of the field effect transient 30 kung the control electrode 14 with the collector transistor 23 from. When this voltage connects between the trode 19. Although this circuit is particularly advanced in the case of the control electrode and the source up to a value of the aforementioned embodiments which is partially below the cut-off voltage of the, but if a different form of the connection field effect transistor 23 results, the field formation begins to have greater versatility in other application effect transistor 23 to carry current. As soon as the 35 fertilize. Namely, when the bridging under-current conduction of the field effect transistor begins, is broken and a resistor is inserted in series, the base of the junction transistor 25 is supplied with a current, the switching of the one stable. The state flowing in the flat transistor 25 in the other with a relatively energy base current causes the flow of a collector-weak pulses are achieved, which are fed to the control current in the flat transistor 25 and the collector electrode 14,
gate voltage of the flat transistor 25 falls. This has F i g. 6 shows how the combined switching arrangement causes the voltage at the control electrode to decrease from one field effect transistor and one of the field effect transistor 23 and more bipolar transistor to form a ring counter current flowing through the field effect transistor 23. be switched. In Fig. 6 are this switching arrangement. This effect is self-reinforcing, and the field effect transistor again generally with the reference numeral 35 and the area transistor are designated and, for a better understanding, by the equivalent circuit of FIG. 3 shown. In this switches. When the field effect transistor is the base case again the drain of the unipolar field effect of the junction transistor supplies enough current, transistor 23 is brought into saturation directly with the base of the junction transistor, the rectifying transistor 25 is connected, and the control electrode of the junction between the control electrode and The unipolar field effect transistor 23 is directly connected to the source of the field effect transistor 23 in the collector of the junction transistor 25. Forward biased, and the voltage at An at the connection between the control electrode of the source 17 is held at the voltage of the collector of the field effect transistor 23 and the collector of the 19. 55 Area transistor 25 is the collector electrode 19 The arrangement remains fully current-carrying until that of the switching arrangement is connected, with the source voltage at the source 17 back to a value of the field effect transistor 23, the source electrode is reduced below the voltage at the electrode 17 connected, and is connected to the emitter of the surface lector 19, whereupon the switching off of the field transistor 25, the emitter electrode 21 is applied transistor 23 begins. Then another 60 closed.

selbstverstärkende Wirkung ein, welche die Anord- Der Ringzähler enthält eine beliebige Anzahl von nung in den nicht stromführenden Zustand umschal- gleichen Stufen. Bei der dargestellten Ausführungstet, wenn der Flächentransistor schneller als der form sind zur Vereinfachung nur vier Stufen 41, 42, Feldeffekt-Transistor 23 arbeitet. Sonst wird der 43, 44 gezeigt. Jede Stufe des Ringzählers enthält Feldeffekt-Transistor stromlos, während sich der 65 eine Schaltanordnung 35, deren Kollektorelektrode Flächentransistor noch im Speicherzustand befindet. 19 über einen Widerstand 47 von 300 Ohm an eine Es ist zu bemerken, daß bei der Sättigung des Spannungsquelle von +10VoIt angeschlossen ist, Flächentransistors 25 die Spannung zwischen dem die allen vier Stufen gemeinsam ist und an derThe ring counter contains any number of switching to the non-energized state. In the embodiment shown, if the junction transistor is faster than the form, only four stages 41, 42, for simplicity, Field effect transistor 23 works. Otherwise 43, 44 is shown. Each stage of the ring counter contains Field effect transistor de-energized, while the 65 has a switching arrangement 35, whose collector electrode Flat transistor is still in the memory state. 19 through a resistor 47 of 300 ohms to a It should be noted that at the saturation of the voltage source of + 10VoIt is connected, Surface transistor 25, the voltage between which all four stages are common and at which

Klemme 49 liegt. In jeder Stufe des Ringzählers ist zur Folge, daß die der Quellenelektrode 17 der Stufe die Emitterelektrode 21 über einen Widerstand 51 44 zugeführte Spannung noch kleiner als +6VoIt von 200 Ohm mit Masse verbunden. In jeder Stufe ist, und die Spannung zwischen der Steuerelektrode des Ringzählers verbindet ein Kondensator 53 die und der Quelle des Feldeffekt-Transistors 23 in der Quellenelektrode 17 der Schaltanordnung 35 mit 5 Stufe 44 ist noch größer als +4VoIt. Daher wird einem Eingang 55, der allen vier Stufen gemeinsam auch die Stufe 44 in dem abgeschalteten stabilen Zuist. Der Eingang 55 ist über einen Widerstand 57 stand gehalten. Da die Stufe 41 eingeschaltet ist, ist von 51 Ohm mit Masse verbunden. Die Kollektor- die Spannung an der Emitterelektrode 21 dieser Stufe elektrode 19 ist in jeder Stufe über einen Widerstand beträchtlich größer als 0 Volt, und somit ist die 59 von 1,5 kOhm an die Quellenelektrode 17 der io der Quellenelektrode 17 der Stufe 42 zugeführte vorhergehenden Stufe angeschlossen. So verbindet Spannung größer als + 6 Volt. Die Werte der Widerein Widerstand 59 die Quellenelektrode 17 der Stufe stände 59 und 61 sind so gewählt, daß die der 41 mit der Kollektorelektrode 19 der Stufe 42; ein Quellenelektrode 17 zugeführte Spannung die Span-Widerstand 59 verbindet die Quellenelektrode 17 der nung zwischen der Steuerelektrode und der Quelle Stufe 42 mit der Kollektorelektrode 19 der Stufe 43; 15 des Feldeffekt-Transistors 23 in der Stufe 42 nicht ein Widerstand 59 verbindet die Quellenelektrode 17 kleiner als die Abschaltspannung macht. Daher wird der Stufe 43 mit der Kollektorelektrode 19 der Stufe der Feldeffekt-Transistor 23 gesperrt, und die Stufe 44, und ein Widerstand 59 verbindet die Quellenelek- 42 wird in dem abgeschalteten stabilen Zustand getrode 17 der Stufe 44 mit der Kollektorelektrode 19 halten. Es ist jedoch zu bemerken, daß die Spannung der Stufe 41. In gleicher Weise verbindet ein Wider- ao zwischen der Steuerelektrode und der Quelle des stand 61 von 2,2 kOhni die Quellenelektrode 17 Feldeffekt-Transistors 23 in der Stufe 42 kleiner als jeder Stufe mit der Emitterelektrode 21 der vorher- die Spannung zwischen der Steuerelektrode und der gehenden Stufe. So verbindet ein Widerstand 61 die Quelle des Feldeffekt-Transistors 23 in den Stufen 43 Quellenelektrode 17 der Stufe 44 mit der Emitter- und 44 ist. Die Werte der Widerstände 59 und 61 elektrode 21 der Stufe 43, ein Widerstand 61 ver- 25 sind so gewählt, daß die Spannung zwischen der bindet die Quellenelektrode 17 der Stufe 43 mit der Steuerelektrode und der Quelle des Feldeffekt-Tran-Emitterelektrode 21 der Stufe 42, ein Widerstand 61 sistors 23 der Stufe 42 gerade größer als die Abverbindet die Quellenelektrode 17 der Stufe 42 mit schaltspannung ist. Die Gründe hierfür werden später der Emitterelektrode 21 der Stufe 41, und ein Wider- erläutert. Da der Feldeffekt-Transistor 23 der Stufe stand 61 verbindet die Quellenelektrode 17 der Stufe 30 41 stromführend ist, ist die der Quellenelektrode 17 41 mit der Emitterelektrode 21 der Stufe 44. dieser Stufe zugeführte Spannung beträchtlich kleinerTerminal 49 is on. In each stage of the ring counter is the consequence that the source electrode 17 of the stage the voltage supplied to the emitter electrode 21 via a resistor 51 44 is still less than + 6VoIt of 200 ohms connected to ground. In each stage is, and the voltage between the control electrode of the ring counter connects a capacitor 53 and the source of the field effect transistor 23 in the Source electrode 17 of switching arrangement 35 with 5 step 44 is even greater than + 4VoIt. Hence will an input 55, which is common to all four stages and stage 44 in the switched off stable Zuist. The input 55 is held by a resistor 57. Since the stage 41 is switched on, is connected to ground by 51 ohms. The collector- the voltage at the emitter electrode 21 of this stage Electrode 19 is considerably greater than 0 volts in each stage across a resistor, and thus the 59 of 1.5 kOhms fed to the source electrode 17 of the source electrode 17 of the stage 42 connected to the previous stage. So connects voltage greater than + 6 volts. The values of the reunions Resistor 59, the source electrode 17 of the stage stands 59 and 61 are chosen so that the 41 with the collector electrode 19 of the step 42; a source electrode 17 applied voltage to the span resistance 59 connects the source electrode 17 of the voltage between the control electrode and the source Step 42 with the collector electrode 19 of step 43; 15 of the field effect transistor 23 in the stage 42 is not a resistor 59 connects the source electrode 17 to make it less than the cutoff voltage. Hence will the stage 43 blocked with the collector electrode 19 of the stage of the field effect transistor 23, and the stage 44, and a resistor 59 connects the source electrode 42 is trode in the switched-off stable state 17 hold the step 44 with the collector electrode 19. It should be noted, however, that the tension of stage 41. In the same way, a counter connects between the control electrode and the source of the stood 61 of 2.2 kOhni the source electrode 17 field effect transistor 23 in the stage 42 smaller than each stage with the emitter electrode 21 of the previous the voltage between the control electrode and the going level. A resistor 61 thus connects the source of the field effect transistor 23 in the stages 43 Source electrode 17 of stage 44 with emitter and 44 is. The values of resistors 59 and 61 electrode 21 of stage 43, a resistor 61 are selected so that the voltage between the binds the source electrode 17 of the stage 43 to the control electrode and the source of the field effect tran-emitter electrode 21 of stage 42, a resistor 61 sistors 23 of stage 42 just larger than the Abverbindet is the source electrode 17 of the stage 42 with switching voltage. The reasons for this will be explained later the emitter electrode 21 of the stage 41, and a re-explained. Since the field effect transistor 23 of the stage Stand 61 connects the source electrode 17 of the stage 30 41 is energized, is that of the source electrode 17 41 with the emitter electrode 21 of the stage 44. the voltage applied to this stage is considerably smaller

Jede der Stufen 41, 42, 43 und 44 hat zwei stabile als +6VoIt, denn ein großer Teil des durch den Zustände. Ein stabiler Zustand liegt vor, wenn so- Widerstand 59 fließenden Stroms tritt in die Quelle wohl der bipolare Transistor 25 als auch der Feld- des Feldeffekt-Transistors 23 ein. Wie zuvor erwähnt effekt-Transistor stromführend sind. In diesem Zu- 35 wurde, besteht ein großer Spannungsabfall am Widerstand wird die Stufe als eingeschaltet bezeichnet. In stand 47, da die Stufe 41 stromführend ist. Dieser dem anderen stabilen Zustand ist der Feldeffekt- Spannungsabfall reicht aus, um die Spannung zwi-Transistor 23 abgeschaltet, und daher ist der Flächen- sehen der Kollektorelektrode 19 und der Quellentransistor 25 stromlos. In diesem stabilen Zustand elektrode 17 in dieser Stufe beträchtlich kleiner als wird die Stufe als abgeschaltet bezeichnet. 40 die Abschaltspannung des Feldeffekt-Transistors 23Each of the levels 41, 42, 43 and 44 has two stable than + 6VoIt, because a large part of the through the Conditions. A steady state exists when so- Resistance 59 flowing current enters the source probably the bipolar transistor 25 as well as the field of the field effect transistor 23 a. As previously mentioned effect transistor are live. At this point there is a large voltage drop across the resistor the stage is said to be switched on. In stood 47, because stage 41 is live. This the other stable state is the field effect voltage drop is sufficient to keep the voltage between the transistor 23 is switched off, and therefore the area see of the collector electrode 19 and the source transistor 25 de-energized. In this stable state electrode 17 is considerably smaller than at this stage the stage is designated as switched off. 40 the switch-off voltage of the field effect transistor 23

Es soll beispielshalber angenommen werden, daß zu machen. Der Feldeffekt-Transistor 23 wird daher die Stufe 41 eingeschaltet ist und daß die Stufen 42, im stromführenden Zustand gehalten, und die Stufe 43 und 44 abgeschaltet sind. In den abgeschalteten 41 wird in dem eingeschalteten stabilen Zustand geStufen liegen die Kollektorelektroden 19 im wesent- halten.It should be assumed by way of example that to do. The field effect transistor 23 is therefore the stage 41 is switched on and that the stages 42, kept in the current-carrying state, and the stage 43 and 44 are switched off. In the switched-off 41 there is a step in the switched-on stable state are the collector electrodes 19 essentially hold.

liehen auf +10 Volt, und die Emitter liegen im 45 Wenn der Klemme 55 ein Eingangsimpuls zugewesentlichen auf 0 Volt. Die Spannung an den Quel- führt wird, gelangt er über die Kondensatoren 53 zu lenelektroden 17 in jeder der abgeschalteten Stufen den Quellenelektroden 17 sämtlicher Stufen. Dies hat 42, 43 und 44 wird durch die Spannungsteilerwirkung zur Folge, daß die Spannung an der Quellenelektrode der Widerstände 61 und 59 bestimmt. Somit beträgt 17 in jeder Stufe angehoben und die Spannung zwidie Spannung an jeder Quellenelektrode 17 in den 50 sehen der Steuerelektrode und der Quelle in jeder abgeschalteten Stufen e/io des Spannungsunter- Stufe vermindert wird. Da die Stufe 41 bereits eingeschieds zwischen dem Kollektor der vorhergehenden schaltet ist, hat dies keine Auswirkung auf diese Stufe und dem Emitter der folgenden Stufe. Bei- Stufe. Die Spannungen an den Quellenelektroden 17 spielsweise liegt der Emitter 21 der Stufe 42 an der in den Stufen 43 und 44 sind so niedrig, daß der Ein-Spannung 0 Volt, und die Spannung am Kollektor 19 55 gangsimpuls das Potential an den Quellenelektroden der Stufe 44 beträgt +10 Volt. Somit beträgt die der 17 in diesen Stufen 43 und 44 nicht genügend anhebt, Quellenelektrode 17 der Stufe 43 zugeführte Span- um die Spannung zwischen der Steuerelektrode und nung 6Ao von 10 Volt oder +6VoIt. Da die der der Quelle der Feldeffekt-Transistoren 23 in diesen Kollektorelektrode 19 der Stufe 43 zugeführte Span- Stufen unter die Abschaltspannung zu bringen. Danung +10VoIt beträgt, liegt zwischen der Steuer- 60 her beeinflussen die Eingangsimpulse die Stufen 43 elektrode und der Quelle des Feldeffekt-Transistors und 44 nicht. Wie zuvor erläutert wurde, liegt das eine Spannung von +4VoIt, was ausreicht, um Potential an der Quellenelektrode 17 in der Stufe 42 diesen Feldeffekt-Transistor gesperrt zu halten, wo- jedoch gerade unter der Abschaltspannung, und durch die Stufe 43 in dem abgeschalteten stabilen wenn der Eingangsimpuls über den Kondensator 53 Zustand gehalten wird. Da die Stufe 41 angeschaltet 65 zu der Quellenelektrode 17 dieser Stufe gelangt, hebt ist, ist die Spannung an der Kollektorelektrode 19 er die Spannung an der Quellenelektrode 17 dieser der Stufe 41 infolge des Spannungsabfalls am Wider- Stufe ausreichend an, daß die Spannung zwischen stand 47 beträchtlich kleiner als +10 Volt. Dies hat der Steuerelektrode und der Quelle des Feldeffekt-borrowed to +10 volts, and the emitters are in the 45. When the terminal 55 an input pulse is essential to 0 volts. The voltage at the source is carried, it passes through the capacitors 53 to the source electrodes 17 in each of the switched-off stages, the source electrodes 17 of all stages. This results in 42, 43 and 44 being the voltage dividing action that determines the voltage at the source electrode of resistors 61 and 59. Thus, 17 is raised in each stage and the voltage between the voltage at each source electrode 17 in Fig. 50, the control electrode and the source is decreased in each switched-off stage e / io of the voltage sub-stage. Since stage 41 has already been switched between the collector of the previous stage, this has no effect on this stage and the emitter of the following stage. At-stage. The voltages at the source electrodes 17, for example, the emitter 21 of the stage 42 is connected to that in the stages 43 and 44 are so low that the on-voltage is 0 volts, and the voltage at the collector 19 55 input pulse the potential at the source electrodes of the stage 44 is +10 volts. Thus the span supplied to the 17 in these stages 43 and 44 does not raise the source electrode 17 sufficiently to the stage 43 - around the voltage between the control electrode and voltage 6 Ao of 10 volts or + 6VoIt. Since the span steps supplied to the source of the field effect transistors 23 in this collector electrode 19 of the stage 43 are below the cut-off voltage. Danung + 10VoIt is between the control 60 ago the input pulses affect the stages 43 electrode and the source of the field effect transistor and 44 do not. As previously explained, this is a voltage of + 4VoIt, which is sufficient to keep potential at the source electrode 17 in the stage 42 of this field effect transistor blocked, but precisely below the switch-off voltage, and through the stage 43 in the switched-off stable when the input pulse is held via the capacitor 53 state. Since the stage 41 is switched on 65 to the source electrode 17 of this stage is raised, the voltage at the collector electrode 19 is the voltage at the source electrode 17 of this stage 41 due to the voltage drop at the resistor stage sufficient that the voltage was between 47 considerably less than +10 volts. This has the control electrode and the source of the field effect

11 1211 12

Transistors 23 in der Stufe 42 unter die Absehalt- Verbindung mit dem Kollektor der eingeschalteten spannung gebracht wird, so daß der Feldeffekt-Tran- Stufe über den Widerstand 59 der eingeschalteten sistor 23 in dieser Stufe Strom zu führen beginnt. Er Stufe auf einer niedrigeren Spannung liegt,
läßt dann einen Strom in die Basis des Flächen- F i g. 7 und 8 zeigen die Ausführung des Ringzäh' transistors 25 der Stufe 42 eintreten, so daß dieser 5 lers als integrierte Halbleiteranordnung. Für jede Strom zu führen beginnt. Es beginnt nun ein Strom Stufe des Ringzählers wird eine integrierte HeIbdurch den Widerstand 47 in der Stufe 42 zu fließen, leiteranordnung vorgesehen. Da alle Stufen des Ring- und dies verursacht einen Abfall der Spannung an Zählers gleich sind, sind auch alle integrierten HaIbder Kollektorelektrode 19 in der Stufe 42. Dieser leiteranordnungen für die einzelnen Stufen gleich Spannungsabfall an der Kollektorelektrode 19 ver- io ausgeführt. Fig. 7 und 8 zeigen die integrierte Halbmindert die Spannung zwischen der Steuerelektrode leiteranordnung für eine der Stufen des Ringzählers, und der Quelle des Feldeffekt-Transistors 23 in die- Diese Halbleiteranordnung enthält einen länglichen ser Stufe noch mehr, so daß mehr Strom durch den Block 71 aus η-Material, auf dem durch Diffusion Feldeffekt-Transistor 23 fließt, der wiederum einen eine Schicht aus p-Material gebildet ist. Am einen größeren Stromfluß zu der Basis des Transistors 23 15 Ende des länglichen Blocks ist ein Schlitz 73 durch zur Folge hat. Die Wirkung ist selbstverstärkend, die p-Schicht geschnitten, wodurch diese in zwei und der Feldeffekt-Transistor 23 und der Flächen- Teile 75 und 77 unterteilt wird, von denen der Teil transistor 25 werden voll stromführend. Auf diese 75 entlang dem länglichen Block 71 sehr viel langer Weise wird die Stufe 42 eingeschaltet. als der Teil 77 ist. Ein Abschnitt 79 aus n-Material
Transistor 23 is brought in the stage 42 under the Absehalt- connection with the collector of the switched-on voltage, so that the field effect Tran- stage begins to lead through the resistor 59 of the switched on sistor 23 in this stage current. He level is at a lower voltage,
then lets a current into the base of the surface F i g. 7 and 8 show the execution of the ring counter transistor 25 of the stage 42 enter, so that this 5 lers as an integrated semiconductor device. For each current to lead begins. A current stage of the ring counter now begins to flow through the resistor 47 in the stage 42, an integrated conductor arrangement is provided. Since all stages of the ring and this causes a drop in the voltage at the counter are the same, all integrated halves of the collector electrode 19 are also in stage 42. These conductor arrangements for the individual stages are identical to voltage drops at collector electrode 19. Fig. 7 and 8 show the integrated half-reduces the voltage between the control electrode conductor arrangement for one of the stages of the ring counter, and the source of the field effect transistor 23 in the- This semiconductor arrangement contains an elongated water stage even more, so that more current through the block 71 made of η material, on which the field effect transistor 23 flows by diffusion, which in turn is formed as a layer made of p material. At the greater current flow to the base of transistor 23 15 end of the elongated block is a slot 73 through. The effect is self-reinforcing, cut the p-layer, whereby it is divided into two and the field effect transistor 23 and the area parts 75 and 77, of which the transistor part 25 are fully current-carrying. In this way 75 along the elongated block 71, the stage 42 is switched on for a very long time. than the part is 77. A section 79 made of n-material

Der Spannungsabfall an der Kollektorelektrode 19 ao ist durch Diffusion in der p-Schicht am einen Ende wird über den Widerstand 59 zu der Quellenelektrode des Teils 75 gebildet. Ein zweiter Abschnitt 81 aus 17 in der Stufe 42 übertragen. Wenn diese Spannung η-Material ist durch Diffusion in der p-Schicht nahe an der Quellenelektrode 17 in der Stufe 42 fällt, steigt dem Abschnitt 79 gebildet, wobei ein kurzes Stück die Spannung zwischen der Steuerelektrode und der aus p-Material übriggelassen ist, das die beiden AbQuelle des Feldeffekt-Transistors 23 in der Stufe 41 «5 schnitte 79 und 81 verbindet. Die Abschnitte 79 und an. Dieser Spannungsanstieg verringert den Strom, 81 sind auf eine Tiefe diffundiert, die nicht ganz bis der durch diesen Feldeffekt-Transistor fließt, wo- zu dem pn-übergang zwischen dem η-Material des durch der durch den Flächentransistor 25 der Stufe Blocks 71 und dem p-Material des Teils 75 reicht. 41 fließende Strom vermindert wird. Dies hat einen Aufgedampfte Aluminiumkontakte 83, 85 sind auf Anstieg des Potentials an der Kollektorelektrode 19 30 dem Teil 77 der p-Schicht an dessen beiden Seiten der Stufe 41 zur Folge, und dadurch wird die Span- gebildet. Ein aufgedampfter Aluminiumkontakt 87 nung zwischen der Steuerelektrode und der Quelle ist auf dem Abschnitt 79 aus η-Material gebildet. Ein des Feldeffekt-Transistors 23 in der Stufe 41 weiter aufgedampfter Aluminiumkontakt 89 ist auf dem Abvergrößert. Dadurch nimmt der durch den Feldeffekt- schnitt 81 aus η-Material gebildet. Ein aufgedampfter Transistor fließende Strom weiter ab. Diese Wirkung 35 Aluminiumkontakt 91 ist auf dem Teil 75 der in der Stufe 41 ist selbstverstärkend, und die Stufe p-Schicht nahe dem Abschnitt 81 auf der dem Abwird abgeschaltet. schnitt 79 abgewandten Seite gebildet. Ein zweiterThe voltage drop across the collector electrode 19 ao is due to diffusion in the p-layer at one end is formed through resistor 59 to the source electrode of member 75. A second section 81 from 17 transferred in stage 42. When this stress η material is close by diffusion in the p-layer falls at the source electrode 17 in the step 42, the section 79 rises, being a short distance the voltage is left between the control electrode and that of p-material, which is the two AbSource of the field effect transistor 23 in the stage 41 «5 cuts 79 and 81 connects. Sections 79 and at. This rise in voltage reduces the current, 81 are diffused to a depth that is not quite up which flows through this field effect transistor, including the pn junction between the η material of the through which through the junction transistor 25 of the stage blocks 71 and the p-material of the part 75 extends. 41 current flowing is reduced. This has a vapor-deposited aluminum contacts 83, 85 are on Increase in the potential at the collector electrode 19 30 the part 77 of the p-layer on both sides thereof the step 41 result, and thereby the chip is formed. A vapor-deposited aluminum contact 87 Voltage between the control electrode and the source is formed on the portion 79 of η material. A of the field-effect transistor 23 in the step 41 further vapor-deposited aluminum contact 89 is enlarged on the Ab. As a result, it is formed by the field effect cut 81 from η material. A vaporized one Current flowing through the transistor continues. This effect 35 aluminum contact 91 is on the part 75 of the in the step 41 is self-reinforcing, and the step p-layer near the portion 81 on which the descent switched off. cut 79 formed on the opposite side. A second

Nachdem also der Impuls dem Eingang 55 züge- aufgedampfter Aluminiumkontakt 101 ist auf demAfter the impulse has reached the input 55, the aluminum contact 101 is vapor-deposited

führt ist, ist die Stufe 42 eingeschaltet, während die Teil 75 der p-Sehicht an dem den Abschnitten 79leads, the stage 42 is switched on, while the part 75 of the p-layer on the the sections 79

Stufen 41, 43 und 44 abgeschaltet sind. Da alle Stu- 40 und 81 entfernten Ende gebildet. Die Aluminium-Levels 41, 43 and 44 are switched off. Since all of the stu- 40 and 81 formed the distal end. The aluminum

fen gleich und mit den benachbarten Stufen in genau kontakte 83, 85, 91 und 101 stehen in ohmschemfen the same and with the neighboring stages in exact contact 83, 85, 91 and 101 are in ohmic

der gleichen Weise verbunden sind, werden die Stu- Kontakt mit der p-Schicht, und die Kontakte 87 undconnected in the same way, the Stu contacts are made to the p-layer, and the contacts 87 and

fen 41, 43 und 44 nun in genau der gleichen Weise 89 stehen in ohmschem Kontakt mit den AbschnittenFen 41, 43 and 44 now in exactly the same way 89 are in ohmic contact with the sections

abgeschaltet gehalten, wie zuvor die Stufen 42, 43 79 bzw. 81. Ohmsche Kontakte in Form von Zungenkept switched off, as before the stages 42, 43 79 and 81. Ohmic contacts in the form of tongues

und 44 abgeschaltet gehalten wurden, als die Stufe 45 103, 105 und 107 sind an den Block aus n-Materialand 44 were kept off when stage 45 103, 105 and 107 are attached to the block of n-material

41 stromführend war. Ebenso wird nun die Stufe 42 auf der Seite gebildet, die der aus den Teilen 75 und41 was live. Likewise, the step 42 is now formed on the side that consists of the parts 75 and

in der gleichen Weise eingeschaltet gehalten wie zu- 77 bestehenden p-Schicht gegenüberliegt. Derkept switched on in the same way as the existing p-layer is opposite. Of the

vor die Stufe 41. ohmsche Kontakt 103 ist direkt unter dem Teil 77in front of step 41. Ohmic contact 103 is directly below part 77

Der nächste dem Eingang 55 zugeführte Impuls der p-Schicht angebracht. Der ohmsche Kontakt 103 bewirkt, daß die Stufe 43 eingeschaltet wird, die so liegt direkt unter dem Abschnitt 79 aus n-Material, ihrerseits das Abschalten der Stufe 42 hervorruft, in und der ohmsche Kontakt 107 ist an dem anderen der gleichen Weise, wie zuvor die Stufe 42 einge- Ende des Blocks 71 aus n-Material unter dem Aluschaltet und die Stufe 41 abgeschaltet wurde. Jeder mmiumkontakt 101 angebracht. Die in F i g. 7 und 8 folgende Impuls bewirkt das Einschalten der jeweils dargestellte integrierte Halbleiteranordnung kann folgenden Stufe und das Abschalten der vorher ein- 55 nach den gleichen Verfahren hergestellt werden, die geschalteten Stufe. Wenn die Stufe 44 eingeschaltet zuvor für die Herstellung der Anordnung von ist, bewirkt der nächste Impuls, daß die Stufe 41 wie- F i g. 2 b und 2 c beschrieben worden sind,
der eingeschaltet wird, während die Stufe 44 abge- Die in F i g. 7 und 8 gezeigte Anordnung stellt beischaltet wird. Die Anordnung arbeitet auf diese nahe die gesamte Schaltung für eine Stufe des Ring-Weise ständig, solange dem Eingang 55 Impulse zu- 60 Zählers dar. Zur Verwendung dieser Anordnung für geführt werden. eine Ringzählerstufe muß der Kontakt 85 direkt mit
The next p-layer pulse applied to input 55 is applied. The ohmic contact 103 causes the step 43 to be switched on, which so lies directly under the section 79 of n-material, in turn causes the step 42 to be switched off, and the ohmic contact 107 is on the other in the same way as before the step 42 turned on end of the block 71 made of n-material under the aluminum and the step 41 was turned off. Each mmium contact 101 attached. The in F i g. The pulse following 7 and 8 causes the respective integrated semiconductor arrangement shown to be switched on, the following stage and the switch-off of the previously switched on can be produced using the same method, the switched stage. If stage 44 was previously switched on for the establishment of the arrangement of, the next pulse causes stage 41 to resume. 2 b and 2 c have been described,
which is switched on while stage 44 is switched off. The arrangement shown in FIGS. 7 and 8 is switched on. The arrangement works in this nearly the entire circuit for one stage of the ring-way continuously, as long as the input 55 impulses to- 60 counter represent. To use this arrangement for are led. a ring counter stage must contact 85 directly

Unter Verwendung der kombinierten Schaltanord- dem Kontakt 87 verbunden werden, und der KontaktUsing the combined switchgear, the contact 87 can be connected, and the contact

nung läßt sich auch eine bistabile Kippschaltung 89 muß direkt mit dem Kontakt 105 verbunden wer-a bistable flip-flop 89 must be connected directly to contact 105

bauen. Diese bistabile Kippschaltung wird erhalten, den. Der Kondensator 53 jeder Stufe ist in der inte-build. This flip-flop is obtained. The capacitor 53 of each stage is in the integrated

wenn der Ringzähler aus nur zwei Stufen aufgebaut 65 grierten Halbleiteranordnung nicht vorgesehen undif the ring counter made up of only two stages 65 grated semiconductor device is not provided and

wird. In diesem Fall sind größere Eingangsimpulse muß außen angebracht werden. Dieser Kondensatorwill. In this case larger input pulses must be attached outside. This capacitor

zum Umschalten erforderlich, weil die Quellen- wird mit dem Kontakt 91 verbunden. Ferner wirdrequired for switching because the source is connected to contact 91. Furthermore,

elektrode 17 in der abgeschalteten Stufe infolge ihrer der Kontakt 83 an Masse gelegt, und die Spannungelectrode 17 in the switched-off stage as a result of their contact 83 connected to ground, and the voltage

13 1413 14

von +10 Volt wird der Klemme 103 zugeführt. Kollektorstrom fließen, und es ergibt sich eine hohe Nachdem der Block in dieser Weise angeschlossen Spannung an der Kollektorelektrode 19 des Tranworden ist, ist die gesamte Schaltung für eine Stufe sistors 25. Diese hohe Spannung wird der Steuerdes Ringzählers vorhanden. Der Widerstand des elektrode des Feldeffekt-Transistors 23 zugeführt, Strompfads zwischen den Kontakten 83 und 85 5 wodurch dieser abgeschaltet gehalten wird. Der stellt den Widerstand 51 der Stufe dar. Der Wider- Strom fließt dann von der positiven Klemme 132 stand des Strompfads durch den Teil 75 der p-Schicht durch den einstellbaren Widerstand 136, wodurch zwischen den Kontakten 91 und 101 stellt den Wider- der Kondensator 138 aufgeladen wird. Dies bewirkt, stand 61 dar. Der Widerstand des Strompfads durch daß das Potential an der Quellenelektrode 17 andas n-Halbleitermaterial des Blocks 71 zwischen den io steigt. Der Kondensator 138 lädt sich auf diese Weise Kontakten 105 und 107 stellt den Widerstand 59 dar. auf, bis die Spannung zwischen der Steuerelektrode Der Widerstand des Strompfads zwischen den Kon- und der Quelle des Feldeffekt-Transistors 23 unter takten 103 und 105 durch das η-Material des Blocks die Abschaltspannung sinkt. An diesem Punkt be- 71 stellt den Widerstand 47 dar. Die Abschnitte 79 ginnt der Feldeffekt-Transistor 23 Strom zu führen, und 81, der pn-übergang zwischen der Schicht aus 15 und es fließt ein Basisstrom zu dem Transistor 25, so p-Material und dem Block 71 aus η-Material zwi- daß auch ein Kollektorstrom im Transistor 25 ersehen diesen Abschnitten und die Kontakte 87, 89, zeugt wird. Diese Wirkung verursacht einen Abfall 91 und 105 mit den zusammengeschalteten Kontak- der Kollektorspannung des Transistors 25 und der ten 89 und 105 stellen zusammen die kombinierte Steuerelektrodenspannung des Feldeffekt-Transistors Schaltanordnung aus dem einpoligen Feldeffekt- 20 23. Daher steigt der Stromfluß in dem Feldeffekt-Transistor und aus dem zweipoligen Flächentransistor Transistor 23 an. Diese Wirkung ist selbstverstärdar, wobei der Kontakt 91 die Quellenelektrode der kend, und die Kollektorspannung des Transistors 25 Schaltanordnung ist, die gemeinsame Verbindung fällt schließlich so weit, daß der Steuerelektrodenzwischen den Kontakten 89 und 105 die Kollektor- Übergang des Feldeffekt-Transistors 23 in der Durchelektrode der Schaltanordnung darstellt und der Kon- 25 laßrichtung vorgespannt wird. Wenn dies eintritt, takt 87 die Emitterelektrode der Schaltanordnung ist. entlädt sich der Kondensator 138 durch die Steuer-of +10 volts is fed to terminal 103. After the block is connected in this way to the collector electrode 19 of the transformer, the entire circuit is for a stage sistor 25. This high voltage is present for the control of the ring counter. The resistance of the electrode of the field effect transistor 23 is fed to the current path between the contacts 83 and 85 5, whereby this is kept switched off. The represents the resistor 51 of the stage. The resistance current then flows from the positive terminal 132 of the current path through the part 75 of the p-layer through the adjustable resistor 136, whereby between the contacts 91 and 101 is the resistance capacitor 138 is being charged. This has the effect of being shown as 61. The resistance of the current path is caused by the potential at the source electrode 17 on the n-type semiconductor material of the block 71 increasing between the io. The capacitor 138 charges in this way contacts 105 and 107 represents the resistor 59. Until the voltage between the control electrode The resistance of the current path between the Kon and the source of the field effect transistor 23 clocks 103 and 105 through the η -Material of the block the cut-off voltage drops. At this point, 71 represents the resistor 47. The sections 79, the field effect transistor 23 begins to carry current, and 81, the pn junction between the layer from 15 and a base current flows to the transistor 25, so p- Material and the block 71 made of η material between these sections and the contacts 87, 89, can also be seen in the transistor 25. This effect causes a drop 91 and 105 with the interconnected contacts - the collector voltage of the transistor 25 and the th 89 and 105 together constitute the combined control electrode voltage of the field effect transistor switching arrangement from the single-pole field effect 20 23. Therefore, the current flow in the field effect increases. Transistor and transistor 23 from the two-pole junction transistor. This effect is self-amplifying, the contact 91 being the source electrode of the kend, and the collector voltage of the transistor 25 being the switching arrangement, the common connection finally drops so far that the control electrodes between the contacts 89 and 105 are the collector junction of the field effect transistor 23 in the Represents the through electrode of the switching arrangement and the conical direction is biased. When this occurs, clock 87 is the emitter electrode of the switching arrangement. the capacitor 138 discharges through the control

Zum Zusammenschalten einer Anzahl dieser als elektrode des Feldeffekt-Transistors 23 in den Kolintegrierte Halbleiteranordnungen nach F i g. 6 und 7 lektor des Transistors 25. Natürlich geht ein Teil des ausgebildeten Stufen wird der Kontakt 101 jeder Kondensatorstroms durch die Basis des Transistors Stufe mit dem Kontakt 87 der vorhergehenden Stufe 30 25. Der Kondensator 138 setzt seine Entladung auf verbunden, und der Kontakt 91 jeder Stufe wird mit diese Weise fort, bis die Spannung an der Quellendem Kontakt 107 der folgenden Stufe verbunden. elektrode 17 auf einen Wert fällt, bei dem der Strom Die freien Klemmen der an die Kontakte 91 ange- in dem Feldeffekt-Transistor abzunehmen beginnt, schlossenen Kondensatoren 53 werden natürlich ge- Wenn dieser Abschaltvorgang des Feldeffekt-Tranmeinsam mit der Eingangsklemme 55 und über den 35 sistors 23 einsetzt, wird der zu dem Transistor 25 Widerstand 57 mit Masse verbunden, wie in F i g. 6 fließende Basisstrom vermindert, wodurch auch ein gezeigt ist. Auf diese Weise läßt sich der Ringzähler Abfall des Kollektorstroms des Transistors 25 heraus integrierten Halbleiteranordnungen aufbauen. vorgerufen wird. Die Steuerelektrodenspannung desTo interconnect a number of these as the electrode of the field effect transistor 23 in the column-integrated semiconductor arrangements according to FIG. 6 and 7 lecturer of transistor 25. Of course, a part of the formed levels of the contact 101 of each capacitor current is through the base of the transistor stage having the contact 87 of the preceding stage 30, 25. The capacitor 138 connected to its discharge, and the contact 91 each stage will continue in this way until the voltage at the source is connected to the contact 107 of the following stage. electrode 17 falls to a value at which the current, the free terminals of the starts adapted to the contacts 91 to decrease in the field-effect transistor, closed capacitors 53 are of course overall When this turn-off operation of the field effect Tranmeinsam to the input terminal 55 and via the 35 sistor 23 is used, is connected to the transistor 25 resistor 57 to ground, as in FIG. 6 the flowing base current is reduced, whereby a is also shown. In this way, the ring counter drop in the collector current of the transistor 25 can build up integrated semiconductor arrangements. is called. The control electrode voltage of the

F i g. 9 zeigt die Verwendung der kombinierten Feldeffekt-Transistors 23 steigt daher an. Diese Wir-F i g. 9 shows the use of the combined field effect transistor 23 is therefore increasing. This we-

Schaltanordnung zur Bildung eines Kippschwingers. 40 kung setzt den im Feldeffekt-Transistor 23 fließendenSwitching arrangement for the formation of a tilting oscillator. 40 kung sets the flowing in the field effect transistor 23

In F i g. 9 ist wieder die aus dem unipolaren Feld- Strom weiter herab. Diese Wirkung ist selbstverstär-In Fig. 9 is again that from the unipolar field current further down. This effect is self-reinforcing

effekt-Transistor 23 und dem bipolaren Flächen- kend, und die Transistoren 23 und 25 hören beideEffect transistor 23 and the bipolar area kend, and transistors 23 and 25 both hear

transistor 25 bestehende kombinierte Schaltanord- mit der Stromführung auf. Dann beginnt sich dertransistor 25 existing combined Schaltanord- with the power supply. Then the

nung mit dem Bezugszeichen 35 bezeichnet und zum Kondensator 138 wieder über den Widerstand 136 tion with the reference numeral 35 and to the capacitor 138 again via the resistor 136

besseren Verständnis durch die Ersatzschaltung dar- 45 zu laden, und der Zyklus wiederholt sich beliebig oft.45 to load better understanding by the equivalent circuit, and the cycle is repeated as often as desired.

gestellt. Die Kollektorelektrode 19 der Schaltanord- Die Frequenz der Schaltung wird durch Werte desposed. The collector electrode 19 of the switchgear The frequency of the circuit is determined by values of the

nung 35 ist über einen Widerstand 134 von 200 Ohm Kondensators 138 und des Widerstandes 136 be-voltage 35 is loaded via a resistor 134 of 200 ohm capacitor 138 and resistor 136

mit der Klemme 132 verbunden, an der eine Span- stimmt, da diese beiden Elemente den zum Konden-connected to terminal 132 , at which a voltage is correct, since these two elements are the condensate

nungsquelle von +10 Volt liegt. Die an der Klemme sator 138 fließenden Ladestrom und den Anstieg derpower source of +10 volts. The charging current flowing at the terminal sator 138 and the increase in

132 vorhandene Spannung von +10 Volt wird ferner 50 Spannung an der Quellenelektrode 17 bestimmen, 132 existing voltage of +10 volts will also determine 50 voltage at the source electrode 17 ,

über einen einstellbaren Widerstand 136 von 1 Meg- Bei geeigneter Wahl der Werte des Kondensatorsvia an adjustable resistor 136 of 1 Meg- With a suitable choice of the values of the capacitor

ohm der Quellenelektrode 17 der Schaltanordnung 138 und des Widerstandes 136 kann erreicht werden,ohm of the source electrode 17 of the switching arrangement 138 and the resistor 136 can be achieved

35 zugeführt. Die Emitterelektrode 21 der Schalt- daß die Schaltung bei einer Frequenz schwingt, die 35 supplied. The emitter electrode 21 of the circuit means that the circuit oscillates at a frequency that

anordnung 35 ist über einen Widerstand 43 von zwischen 600 kHz und weniger als 1 Hz liegt. Diearrangement 35 is via a resistor 43 of between 600 kHz and less than 1 Hz. the

100 Ohm mit Masse verbunden. Ein Kondensator 55 Periode und die Impulsbreite sind direkt der Kapazi-100 ohms connected to ground. A capacitor 55 period and the pulse width are directly related to the capacitance

138 von 0,022^F liegt zwischen der Quellenelektrode tat des Kondensators proportional. Die von der 138 of 0.022 ^ F is proportional between the source electrode tat of the capacitor. The one from the

17 der Schaltanordnung 35 und Masse. Schaltung erzeugte Impulsbreite kann dadurch ver- 17 of the switching arrangement 35 and ground. The pulse width generated by the circuit can

Zum Verständnis der Wirkungsweise der Anord- kleinert werden, daß das Verhältnis des Widerstands nung sei angenommen, daß der Kondensator 138 134 zu dem Widerstand 136 vermindert wird. Durch entladen ist. Die Quellenelektrode 17 liegt daher auf 60 die Wahl eines kleinen Verhältnisses kann der Traneiner niedrigen Spannung, was zur Folge hat, daß sistor 25 außerhalb der starken Sättigung gehalten die Spannung zwischen der Steuerelektrode und der werden, so daß es dann leichter möglich ist, den Quelle des unipolaren Feldeffekt-Transistors 23 groß Transistor 25 durch die kumulative Wirkung abzuist. Daher ist der Feldeffekt-Transistor 23 abgeschal- schalten.To understand the mode of operation of the arrangement, let us assume that the ratio of the resistance is that the capacitor 138 134 to the resistor 136 is reduced. Through is discharged. The source electrode 17 is therefore at 60 the choice of a small ratio can be the Traner a low voltage, with the result that the sistor 25 is kept outside of the strong saturation, the voltage between the control electrode and the, so that it is then easier to use the source of the unipolar field effect transistor 23 large transistor 25 by the cumulative effect. The field effect transistor 23 is therefore switched off.

tet, so daß kein Strom hindurchfließt. Dies hat zur 65 Die Schaltung von Fig. 9 kann mit einer HaIb-Folge, daß kein Basisstrom durch den Flächen- leiteranordnung der in F i g. 2 gezeigten Art oder transistor 25 fließt, und der Transistor 25 ist daher durch Zusammenschalten eines Feldeffekt-Transtromlos. Es kann daher in diesen Transistor kein sistors und eines Flächentransistors aufgebaut wer- tet so that no current flows through it. This has the 65 The circuit of FIG. 9 can be used with a half-sequence that no base current through the surface conductor arrangement of the circuit shown in FIG. 2 type or transistor 25 flows, and the transistor 25 is therefore by interconnection of a field effect Transtromlos. No sistor and a flat transistor can therefore be built into this transistor.

Claims (4)

den. Wenn die zuletzt genannte Schaltung verwendet wird, läßt sich die von der Schaltung erzeugte Impulsbreite dadurch noch weiter herabsetzen, daß ein Widerstand zwischen der Basis des Transistors 25 und Masse eingefügt wird. Auf diese Weise wird ein direkt nach Masse führender Weg für den Basissperrstrom des Transistors 25 geschaffen, der bei abgeschaltetem Transistor 25 fließt. Patentansprüche:the. When the latter circuit is used, the pulse width generated by the circuit can be further reduced by inserting a resistor between the base of transistor 25 and ground. In this way, a path leading directly to ground is created for the base reverse current of transistor 25, which flows when transistor 25 is switched off. Patent claims: 1. Schaltanordnung mit einem unipolaren und einem bipolaren Transistor, bei welcher die eine ohmsche Elektrode des unipolaren Transistors elektrisch mit der Basiselektrode des bipolaren Transistors verbunden ist, dadurchgekennzeichnet, daß dienichtohmsche Elektrode des unipolaren Transistors elektrisch mit der Kollektorelektrode des bipolaren Transistors verbunden ist, daß die zweite ohmsche Elektrode des unipolaren Transistors als Eingang verwendet wird und daß die Kollektorelektrode und die Emitterelektrode des bipolaren Transistors als Ausgang und als Spannungszuführungselektroden verwendet sind.1. Switching arrangement with a unipolar and a bipolar transistor, in which the one Ohmic electrode of the unipolar transistor electrically with the base electrode of the bipolar Transistor is connected, characterized in that the non-ohmic electrode of the unipolar transistor electrically connected to the collector electrode of the bipolar transistor is that the second ohmic electrode of the unipolar transistor is used as an input and that the collector electrode and the emitter electrode of the bipolar transistor as an output and are used as voltage supply electrodes. 2. Schaltanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung eines Oszillators der Ausgang über eine Phasenschieberanordnung mit dem Eingang gekoppelt ist und daß der zweiten ohmschen Elektrode eine Vorspannung zugeführt wird.2. Switching arrangement according to claim 1, characterized in that to form an oscillator the output is coupled to the input via a phase shifter arrangement and that the a bias voltage is applied to the second ohmic electrode. 3. Schaltanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung eines Ringzählers für jede Stufe des Ringzählers eineSchaltanordnung vorgesehen ist und daß der Ausgang einer Schaltanordnung elektrisch mit dem Eingang der folgenden Schaltanordnung verbunden ist.3. Switching arrangement according to claim 1, characterized in that to form a ring counter a switching arrangement is provided for each stage of the ring counter and that the output a switching arrangement electrically connected to the input of the following switching arrangement is. 4. Schaltanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß drei oder mehr Schaltanordnungen vorgesehen sind und daß der Ausgang einer der Schaltanordnungen mit den Eingängen der übrigen Schaltanordnungen verbunden ist.4. Switching arrangement according to claim 1, characterized in that three or more switching arrangements are provided and that the output of one of the switching arrangements with the inputs the other switching arrangements is connected. In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 966 849,1115 837;
französische Patentschriften Nr. 1141521,
1240436,1249135.
Considered publications:
German Patent Nos. 966 849, 1115 837;
French patent specification No. 1141521,
1240436,1249135.
Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings 709 607/478 6.67 0 Bundesdruckerei Berlin709 607/478 6.67 0 Bundesdruckerei Berlin
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