DE1231925B

DE1231925B - Vorrichtung zur Messung der Abbildungseigenschaften optischer Systeme

Info

Publication number: DE1231925B
Application number: DEL50864A
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Anton Bigelmaier; Dipl-Ing Klaus Dieter Schaefer; Heiko Wasmund
Original assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Current assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date: 1965-06-05
Filing date: 1965-06-05
Publication date: 1967-01-05
Also published as: US3489497A

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. CL:

G02b

Deutsche KL: 42 h-35/01

Nummer: 1231925

Aktenzeichen'. L 50864IX a/42 h

Anmeldetag: 5. Juni 1965

Auslegetag: 5. Januar 1967

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung der Abbildungseigenschaften von optischen Systemen durch Bestimmung der Kontrastübertragungsfunktion.

Es ist bereits bekannt, aus zwei voneinander unabhängigen Messungen durch Linearkombination den Real- und/oder Imaginäranteil der Kontrastübertragungsfunktion zu bestimmen. Auch ist bereits eine Vorrichtung vorgeschlagen worden, bei der die Erzeugung einer variablen Ortsfrequenz dadurch erfolgt, daß ein Objektspalt durch das zu prüfende optische System auf einen Auswahlspält abgebildet wird, der senkrecht zur Intensitätsverteilung des Spaltbildes des Objektspaltes orientiert ist. Mittels eines weiteren optischen Systems wird der Auswahlspalt durch ein Wendeprisma auf eine rotierende Trommel abgebildet, die ein Spaltgitter mit der Gitterkonstanten JV₀ aufweist. Zwischen der variablen Ortsfrequenz N, dem Drehwinkel -|- des Wendeprismas und der Gitterkonstanten JV₀ besteht die Beziehung

N = N₀ · sin α.

Hinter dem rotierenden Gitter ist bei der bekannten Vorrichtung ein Multiplier angeordnet, der die durch das Gitter hindurchtretende Intensität in eine elektrische Größe umwandelt und einem Selektiwerstärker zur Ausfilterung der Grundwelle zuführt. Der Amplitudenverlauf der Grundwelle ist bis auf einen bekannten Korrekturfaktor proportional zur Sinus-Kontrastübertragungsfunktion. Der Korrekturfaktor ist abhängig von der endlichen Breite des Objektspaltes und der Schräglage des Spaltbildausschnittes auf der Gittertrommel. Der Korrekturfaktor lautet:

sin (ns N₀ cos α)

, . __ sin (hnN₀ cos a)

cos α sin OrN₀/ΐ) ^

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zu schaffen, die die Bestimmung der Kontrastübertragungsfunktion in einfachster Weise ermöglicht. Dazu ist die vorstehend geschilderte Vorrichtung erfindungsgemäß dadurch erweitert, daß zwischen dem Wendeprisma und der das Spaltgitter aufweisenden Trommel ein Strahlenteiler und optische Umlenkmittel angeordnet sind, durch die auf der Gittertrommel räumlich getrennte und gegenläufig orientierte Spaltbilder erzeugt werden, daß ferner jedem der Spaltbilder ein fotoelektrischer Empfänger mit nachgeschaltetem Verstärker und Filtern zur Erzeugung elektrischer Teilsignale zugeordnet ist und daß ferner elektrische Schaltmittel zur Vorrichtung zur Messung der
Abbildungseigenschaften optischer Systeme

Anmelder:

Ernst Leite G. m. b. H., Wetzlar, Laufdorfer Weg

Als Erfinder benannt:

Dipl.-Phys. Anton Bigelmaier, Wetzlar;

Dipl.-Ing. Klaus Dieter Schaefer,

Braunfels (Kr. Wetzlar);
Heiko Wasmund, Aßlar (Kr. Wetzlar)

analogen Berechnung der Bestimmungsgrößen der Kontrastübertragungsfunktion aus den Teilsignalen vorgesehen sind. Bei einer vorteilhaften Ausführung des Erfindungsgegenstandes sind dem Strahlenteiler in dem einen Teilstrahlengang ein weiteres, fest angeordnetes Wendeprisma mit einem Drehwinkel um 180° und in dem anderen Teilstrahlengang eine Planplatte gleicher optischer Dicke derart zugeordnet, daß die Intensitätsschwerpunkte der beiden Teilbilder auf dieselbe Hell-Dunkel-Kante des Gitters der Gittertrommel fallen.

Bei einer anderen zweckmäßigen Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes sind dem Strahlenteiler Ablenkspiegel nachgeordnet, durch die die Teilbilder auf gegenüberliegende Bereiche der Gittertrommel abgebildet werden, derart, daß die Intensitätsschwerpunkte der beiden Teilbilder gleichzeitig auf HeII-Dunkel-Kanten des Gitters fallen. Für die Verstellung des dem Auswahlspalt nachgeordneten Wendeprismas kann ein Motor vorgesehen sein. Es ist vorteilhaft, diesen Motor mit einem Sinus-Potentiometer zu kuppeln, dessen Abgriff die Abszisse eines Koordinatenschreibers oder eines Oszillographen steuert.

Es ist zweckmäßig, in der den fotoelektrischen Empfängern nachgeschalteten Recheneinrichtung ein

Rechenglied vorzusehen, in dem in an sich bekannter Weise aus den elektrischen Teilsignalen ein Summen- und/oder Differenzsignal gebildet wird.

Der für die Verstellung des Wendeprismas vorgesehene Motor kann mit mindestens einem Korrektions-Potentiometer gekuppelt werden, mittels dessen der obenerwähnte Korrekturfaktor in den Teilsignalen oder in dem Summen- und/oder Differenzsignal

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berücksichtigt wird. Diese korrigierten Signale Achse 14 a tritt durch die Planplatte 16, das durch

können vorteilhafterweise dem Ordinateneingang den Strahlenteiler 15 hindurchtretende Strahlenbündel

eines Koordinatenschreibers oder Oszillographen zu- mit der Achse 14 b durch das Abbe-König-Prismal7.

geführt werden. Dadurch wird die Z-Komponente des durchtretenden

An Stelle einer Spaltblende als Auswahlspalt kann 5 Strahlenbündels um 180° gedreht,
auch eine bis zur verlangten Spaltbreite abpolierte „.. , , _TT. , . „_ . „,.,,% Spitzenkante eines gleichschenkligen Ablenkprismas ^{Wird das} Wendepnsmal3 um einen Winkel vorgesehen sein, dessen Schenkelflächen verspiegelt gedreht, dann wird der Spaltbildstreifen 10 vom sind. Bei Verwendung dieses Ablenkprismas ist es reflektierten Strahlenbündel, um den Winkel +α gezweckmäßig, das von einer Schenkelfläche abge- io dreht, als Teilbild 20 auf die Gittertrommel 12 abgelenkte Licht der Intensitätsverteilung des Spaltbildes bildet, als Teilbild 19 vom durchtretenden Strahleneinem an sich bekannten Schwerpunktfinder zuzu- bündel, jedoch um den Winkel —a gedreht. Wie leiten. Besonders günstig ist es, das von der anderen bereits oben erläutert, ändert sich die wirksame Orts-Schenkelfläche reflektierte Licht auf eine an sich frequenz N in Abhängigkeit von dem Drehwinkel *. bekannte fotoelektrische Abtasteinrichtung zu lenken. 15 Für « = 0° sind die Bilder 19 und 20 des Spaltbild-Das von dieser fotoelektrischen Abtasteinrichtung Streifens 10 parallel zu den Stegen 18 der Gittererzeugte Signal kann zur Steuerung eines Synchron- trommel 12 orientiert. Damit ist die wirksame Ortsschreibers verwendet werden und liefert das söge- frequenz N = O. Sind dagegen die Bilder 19 und 20 nannte Spaltbildprofil. des Spaltbildstreifens 10 senkrecht zu den Stegen 18

Zur Empfindlichkeitsregelung der fotoelektrischen 20 orientiert, dann ist die wirksame Ortsfrequenz Empfänger und damit zum Ausgleich etwaiger Licht- N gleich der Ortsfrequenz N₀ der Gittertrommel 12. Stromschwankungen ist es zweckmäßig, den Gleich- Das durch die rotierende Gittertrommel 12 hinspannungsanteil wenigstens eines der Teilsignale mit durchtretende Licht fällt auf die Fotomultiplier 21 einer Normalspannung zu vergleichen und das aus bzw. 22. Die von diesen Multipliern gelieferten diesem Vergleich gewonnene Signal auf die Netz- 25 Wechselspannungen werden einer elektronischen geräte der fotoelektrischen Empfänger und/oder die Auswerteeinrichtung (nicht gezeichnet) zugeführt,
den Multiplier nachgeschalteten Verstärker rück- Bei dieser Einrichtung nach Fig. 1 liegen die zukoppeln. Dadurch wird die Normierung der Kon- optische Achse 14 a des reflektierten und die optische trastübertragungsfunktion ohne zusätzliche Messung Achse 14 b des durchtretenden Strahlenbündels überkonstant gehalten. 30 einander. Wenn der Lichtschwerpunkt des Spaltbild-

Zwischen der Bildebene des zu prüfenden opti- Streifens 10 mit der optischen Achse 14 zusammen-

schen Systems und dem Auswahlspalt bzw. dem fällt, dann liegen auch die Lichtschwerpunkte der

äquivalenten Ablenkprisma kann ein axial drehbares Teilbilder 19 und 20 übereinander, so daß sie zur

Wendeprisma angeordnet werden, durch das das gleichen Zeit auf dieselbe Hell-Dunkel-Kante der

Spaltbild auf dem Auswahlspalt orientiert werden 35 Stege der rotierenden Gitteltrommel 12 fallen. Die

kann. Dies ist für die Messung in verschiedenen Orientierung der wirksamen Anteile der Bilder 19

Azimuten besonders vorteilhaft. und 20 des Spaltbildstreifens 10 ist gegenläufig.

In den Zeichnungen sind mehrere Ausführungs- Bei der Anordnung nach F i g. 1 sind der Strahlenbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung sowie teiler 15, die Planplatte 16 und das Abbe-Königein Blockschaltbild für die elektrische Einrichtung 40 Prisma 17 so angeordnet, daß die Fotomultiplier 21 dargestellt, und zwar zeigt und 22 innerhalb der Gittertrommel 12 stehen

Fig. 1 schematisch den Aufbau der optischen müssen. Diese Anordnung ist daher nur dann verAnordnung der Vorrichtung, wendbar, wenn innerhalb der Gittertrommel 12 ge-

F i g. 2 eine Variante der Strahlenteilereinrichtung nügend Raum für die Fotomultiplier vorhanden ist.

mit nachgeschaltetem Wendeprisma bzw. Planplatte, 45 I_n Fig. 2 ist daher ein Strahlenteilungssystem dar-

Fig. 3 eine weitere Variante der Strahlenteiler- gestellt, bei dem die Fotomultiplier außerhalb der

einrichtung, Gittertrommel 12 angeordnet werden können. Das

F i g. 4 ein Beispiel für die Anordnung der opti- Strahlenteilungssystem besteht aus dem Strahlenteiler

sehen Teile bei Verwendung eines Ablenkprismas an 23 mit der teildurchlässigen Fläche 24, den Prismen

Stelle einer Spaltblende als Auswahlspalt, 50 25 und 26 für das reflektierte Strahlenbündel und

Fig. 5 die elektrische Schaltanordnung bei Ver- dem Abbe-König-Prisma 27 sowie dem Prisma 28

wendung einer optischen Einrichtung nach F i g. 4. für das durchtretende Strahlenbündel. Die optischen

In Fig. 1 ist ein Objektspalt 3 über eine Linse 2 Eigenschaften dieses Systems stimmen mit denen von einer Lichtquelle 1 beleuchtet. Das zu prüfende des in der Fi g. 1 dargestellten Systems überein,
optische System 4 bildet den Objektspalt 3 in die 55 In F i g. 3 ist ein Strahlenteilungssystem dargestellt, Prüflingsebene 5 als Spaltbild 6 ab. Das Spaltbild 6 durch das die Lichtschwerpunkte der Bilder 19 und wird durch das Mikroobjektiv 7 als stark vergrößertes 20 auf einander gegenüberliegenden Bereichen der Spaltbild 8 auf eine Spaltblende mit dem Auswahl- Gittertrommel 12 abgebildet werden. Das Strahlenspalt 9 abgebildet, der aus dem Spaltbild 8 den Strei- teilungssystem besteht in diesem Falle aus den Prisfen 10 herausschneidet. Die Intensitätsverteilung des 60 men 29 und 30 und der teildurchlässigen Fläche 31. Spaltbildes 8 wird dadurch nicht verändert. Der Bei Verwendung dieses Systems ist jedoch dafür zu Spaltbildstreifen 10 wird durch eine Linse 11 auf die sorgen, daß die Lichtschwerpunkte der Teilbilder 19 Gittertrommel 12 abgebildet. Zwischen dem Aus- und 20 gleichzeitig auf gegenüberliegende Hellwahlspalt 9 und der Linse 11 ist das Wendeprisma Dunkel-Kanten fallen, wenn der Lichtschwerpunkt 13 angeordnet, das um die optische Achse 14 dreh- 65 des Spaltbildstreifens 10 mit der optischen Achse 14 bar ist. Zwischen der Linse 11 und der Gittertrommel zusammenfällt. Auch bei Verwendung dieses Strah-12 ist der Strahlenteiler 15 angeordnet. Das an dem lenteilungssystems sind die Fotomultiplier 21 und 22 Strahlenteiler 15 reflektierte Strahlenbündel mit der außerhalb der Gittertrommel 12 angeordnet.

In der F i g. 4 ist eine vorteilhafte Ergänzung der Meßvorrichtung dargestellt. Dabei ist die Spaltblende mit dem Auswahlspalt 9 nach F i g. 1 durch das gleichschenklige Prisma 32 ersetzt, dessen Spitzkante auf die Breite des Auswahlspaltes 33 abpoliert ist. S Die Schenkelflächen 34 und 35 des Prismas 32 sind verspiegelt. Durch den Auswahlspalt 33 wird aus dem vergrößerten Spaltbild 8 der Spaltbildstreifen 10 herausgeschnitten und entsprechend der Anordnung nach Fig. 1 auf die Gittertrommel 12 abgebildet. Das an der Schenkelfläche 34 reflektierte Licht erzeugt über den Spiegel 36 durch die Linse 37 auf der rotierenden Scheibe 38 mit dem Sektormuster 39 ein Spaltbild, das abwechselnd von dem äußeren Sektorstreifen 39 α und dem inneren Sektorstreifen ig 39 b abgedeckt wird. Die vom Fotomultiplier aufgenommenen Signale werden zur Anzeige des Lichtschwerpunktes ausgenutzt.

Das an der Schenkelfläche 35 reflektierte Licht erzeugt über den Spiegel 41 durch die Linse 42 ein ao Spaltbild auf dem Spaltträger 43. Der Spaltträger 43 mit dem Spalt 46 wird über den Stift 45 durch die Kurvenscheibe 44 lageveränderlich gesteuert. Der hinter dem Spaltträger 43 angeordnete Fotomultiplier 47 nimmt das der Intensitätsverteilung des Spaltbild-Streifens 10 proportionale Signal auf.

In der F i g. 5 ist ein Blockschaltbild des elektrischen Teils der Prüfvorrichtung dargestellt. Jedem der Fotomultiplier 2I₃ 22, 40 und 47 ist ein Netzgerät 48,49,50 bzw. 51 zugeordnet, der Lichtquelle 1 ein stromstabilisiertes Netzgerät 52. Die von den Fotomultipliern 21 und 22 abgegebenen, oftsfrequenz abhängigen Signale A (N) und B (N) werden durch die Verstärker 53 bis 54 verstärkt und in ihre Gleichspanmmgs- und Wechselspannungsanteile aufgespalten. Die Gleichspannungsanteile dieser Signale werden mit der Normalspannung 55 verglichen. Etwaige entstehende Differenzspannungen werden zur Empfindlichkeitsregelung an die Netzgeräte 48, 49, 50 und 51 rückgekoppelt. Die erwähüte Regelung ist auch durch Rückführung der Differenzspannungen auf die Verstärker 53,54,66 und 70 — wie gestrichelt angedeutet — zu erreichen.

Aus den Wechselspannungsanteilen derSignale^l (N) und B (N) werden durch die Selektiwerstärker 56 bzw. 57 die Grundwellen 2 und B ausgefiltert. In dem Schaltglied 60 wird entweder die Differenz oder die Summe dieser beiden Signale 2, B gebildet und dem Korrekturpotentiometer, das als Doppelpotentiometer ausgeführt ist, zugeführt. Außerdem wird die Grundwelle j? selbst diesem Korrekturpotentiometer zugeleitet. Die Aufgabe dieses Korrekturpotentiometers ist es, den Signalen den obenerwähnten Korrekturfaktor K (a) zuzuführen. Hinter dem Korrekturpotentiometer 61 sind die Gleichrichter 58 bzw. 59 eingeschaltet, die die Ausgangssignale Z> (σ) und Έ liefern. Aus dem Signal Έ wird dann der Betrag K und aus T) der Imaginäranteil 5 (aus σ der Realanteil C) der Kontrastübertragungsfunktion. Mit diesen Spannungswerten K und S (bzw. C) wird der Ordinateneingang des Koordinatenschreibers bzw. Oszillographen 62 gespeist.

Die dem Koordinatenschreiber bzw. Oszillographen 62 zugeführten Signale K und 5 (bzw. C) sind von der durch die Stellung des Wendeprismas 13 gesteuerten Ortsfrequenz N abhängig. Die Verstellung des Wendeprismas 13 erfolgt durch den Motor 63, der außerdem das Sinus-Potentiometer 64 und das Korrektur-Potentiometer 61 in Abhängigkeit von der Ortsfrequenz N steuert. Die am Sinus-Potentiometer 64 abgegriffene Spannung, die der Ortsfrequenz N proportional ist, wird dem Abszisseneingang des Koordinatenschreibers bzw. Oszillographen 62 zugeführt. Bei Drehung des Wendeprismas 13 um 45° werden also der Betrag und der Imaginäranteil (bzw. Realanteil) der Kontrastübertragungsfunktion zwischen N = O Und N = N₀ registriert.

Die Scheibe 38 wird von dem Motor 65 angetrieben. Der dieser Scheibe 38 nachgeordnete Fotomultiplier 40 liefert für die Sektorstreifen 39 a und 39 b Wechselspannungssignale, die in dem Verstärker 66 und dem Gleichrichter 67 verarbeitet werden. Das resultierende Signal wird in dem Nullinstrument 68 zur Anzeige gebracht. Bei der Einstellung des Schwerpunktes der Intensitätsverteilung in dem Spaltbildstreifen 10 werden das zu prüfende optische System 4 öder das gleichschenklige Prisma 32 und alle diesem Prisma nachgeordnete Bauteile der drei Meßkanäle so lange in der Höhe verstellt, bis der Ausschlag ah dem Instrument 68 zu Null wird. Durch diese Schwerpunktseinstellung wird erreicht, daß das lineare Glied der Potenzreihenentwicklung der Kontrastübertragungsfunktion verschwindet, was der üblichen Normierung der Kontrastübertragungsfunktion entspricht.

Die Kurvenscheibe 44 wird von dem Motor 69 angetrieben. Sie steuert entsprechend F i g. 4 über den Stift 45 die Lage des Spaltes 46 des Spaltbildträgers 43. Das vom Fotomultiplier 47 aufgenommene Signal wird von dem Gleichstromverstärker 70 verstärkt und steuert den Y-Ausschlag des Synchronschreibers 71, dessen Papiervorschub synchron zum Drehwinkel der Kurvenscheibe 44 erfolgt. Dadurch wird in dem Synchronschreiber 71 der Intensitätsverlaüf des Spaltbildes aufgeschrieben.

Der Motor 72 schließlich ist für den gleichförmigen Antrieb der Gittertrommel 12 vorgesehen.

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Messung der Abbildungseigenschaften von optischen Systemen, bestehend aus

a) einem von einer Lichtquelle inkohärent beleuchteten Objektspalt, der von dem Prüfling abgebildet wird,

b) einem Auswahlspalt, der in einer zur Bildebene des Prüflings konjugierten Ebene angeordnet und auf dem Spaltbild senkrecht orientiert ist,

c) einer Gittertrommel, die in einer zur Ebene des Auswahlspaltes konjugierten Ebene angeordnet ist,

d) einem dem Auswahlspalt nachgeordneten Wendeprisma zur azimutalen Verstellung des Auswahlspaltbildes relativ zur Gittertrommel und

e) Mitteln für fotoelektrischen Empfang, Verstärkung, Filterung, Gleichrichtung und Anzeige,

dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung sämtlicher Bestimmungsgrößen der Kontrastübertragungsfunktion
1. zwischen Wendeprisma und Gittertrommel ein Strahlenteiler und optische Umlenkmittel

angeordnet sind, derart, daß auf der Gittertrommel räumlich getrennte und gegenläufig orientierte Spaltbilder entstehen,

2. jedem der Spaltbilder ein fotoelektrischer Empfänger, Verstärker und Filter zur Erzeugung elektrischer Teilsignale nachgeschaltet sind und

3. elektrische Schaltmittel vorgesehen sind für die analoge Berechnung der Bestimmungsgrößen der Kontrastübertragungsfunktion aus den Teilsignalen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem zwischen Wendeprisma und Gittertrommel angeordneten Strahlenteiler in dem einen Teilstrahlengang ein weiteres, feststehendes 180°-Wendeprisma und in dem anderen Teilstrahlengang eine Planplatte gleicher optischer Dicke angeordnet ist, derart, daß die Intensitätsschwerpunkte der beiden Teilbilder auf dieselbe Hell-Dunkel-Kante der Gittertrommel fallen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem zwischen Auswahlspalt und Gittertrommel angeordneten Strahlenteiler Ablenkspiegel nachgeordnet sind, welche die Teilbilder auf gegenüberliegende Bereiche der Gittertrommel abbilden, derart, daß die Intensitätsschwerpunkte der beiden Teilbilder gleichzeitig auf Hell-Dunkel-Kanten der Gittertrommel fallen.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß für die Verstellung des dem Auswahlspalt nachgeordneten Wendeprismas ein Motor vorgesehen ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der für die Verstellung des Wendeprismas vorgesehene Motor mit einem Sinus-Potentiometer gekuppelt ist, dessen Abgriff die Abszisse eines Koordinatenschreibers steuert.

6. Vorichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Teilsignale einem Additions- und/oder Subtraktions-Rechenglied zugeführt sind, so daß ein Summen- und/ oder Differenzsignal entsteht.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der für die Verstellung des Wendeprismas vorgesehene Motor mit einem Korrektions-Potentiometer gekuppelt ist, das aus den Teilsignalen oder aus dem Summen- und/ oder Differenzsignal den Einfluß

a) der endlichen Breite des Objektspaltes und

b) der Schräglage des Spaltbildausschnitts auf der Gittertrommel eliminiert.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das korrigierte Teilsignal oder das korrigierte Summen- oder Differenzsignal dem Ordinateneingang eines Koordinatenschreibers zugeführt ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Auswahlspalt eine bis zur verlangten Spaltbreite abpolierte Spitzenkante eines gleichschenkligen Ablenkprismas vorgesehen ist, dessen Schenkelflächen verspiegelt sind.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das von einer Schenkelfläche des als Auswahlspalt benutzten Ablenkprismas abgelenkte Licht der Intensitätsverteilung des Spaltbildes auf einen an sich bekannten Schwerpunktfinder geführt ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das von einer Schenkelfläche des als Auswahlspalt benutzten Ablenkprismas abgelenkte Licht der Intensitätsverteilung des Spaltbildes auf eine an sich bekannte fotoelektrische Abtasteinrichtung geführt ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das von der fotoelektrischen Abtasteinrichtung erzeugte Signal einem Synchronschreiber zugeführt ist.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Gleichspannungsanteil wenigstens eines der Teilsignale durch Vergleich mit einer Normalspannung zur Empfindlichkeitsregelung der fotoelektrischen Empfänger benutzt wird.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zur Senkrechtorientierung des Spaltbildes auf dem Auswahlspalt zwischen Prüflingsbildebene und Auswahlspalt ein axial drehbares Wendeprisma angeordnet ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen