DE1189290B - Device for the statistical determination of the dimensions of individual elements when evaluating templates - Google Patents

Device for the statistical determination of the dimensions of individual elements when evaluating templates

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DE1189290B
DE1189290B DEZ7712A DEZ0007712A DE1189290B DE 1189290 B DE1189290 B DE 1189290B DE Z7712 A DEZ7712 A DE Z7712A DE Z0007712 A DEZ0007712 A DE Z0007712A DE 1189290 B DE1189290 B DE 1189290B
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DE
Germany
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collector
sliding contact
contact
main
switch
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Application number
DEZ7712A
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German (de)
Inventor
Dr Hans Schluge
Johannes Leuschner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. CL:Int. CL:

GOIdGOId

Deutsche Kl.: 42 d-5German class: 42 d-5

Nummer: 1189 290Number: 1189 290

Aktenzeichen: Z 7712IX b/42 dFile number: Z 7712IX b / 42 d

Anmeldetag: 10. Dezember 1959Filing date: December 10, 1959

Auslegetag: 18. März 1965Opening day: March 18, 1965

Das Hauptpatent beschreibt eine Vorrichtung zur statistischen Ermittlung der Abmessungen von Einzelelementen bei der Auswertung von Vorlagen, insbesondere licht- oder elektronenmikroskopischen Aufnahmen oder anderen photographischen Dokumenten, bei denen eine größere Zahl solcher Einzelelemente mit unterschiedlichen Durchmessern, Längen oder ähnlichen Größen zu bestimmen ist, mit einer Irisblende, mit welcher ein zur Verstellung der Blendenöffnung dienender Antrieb verbunden ist sowie einer zur Beleuchtung dieser Blende dienenden Lichtquelle und optischen Mitteln zur Abbildung der Irisblendenöffnung auf der Meßvorlage. Bei dieser Vorrichtung ist die Blendeneinstellung mit einem Markierungsgerät und einem Kontaktwerk vereinigt, das über einzelnen Blendeneinstellstufen zugeordnete Kontaktintervalle jeweils an ein Einzelzählwerk und in Reihe zu diesem an ein einzelnes Summenzählwerk angeschlossen ist. Bei der Auswertung einer Meßvorlage wird die Öffnung der verstellbaren Irisblende auf das jeweils auszuwertende Teilchen abgebildet, und die Öffnung der Irisblende wird so lange verstellt, bis der auf der Meßvorlage erscheinende helle Kreis mit der festzustellenden Abmessung des auszuwertenden Teilchens übereinstimmt. Während dieses Einstellvorganges wird über das mit dem Blendenverstellglied gekoppelte Kontaktwerk automatisch ein der jeweils eingestellten Blendenöffnung zugeordnetes Zählwerk ausgewählt. Beim Betätigen der Auslösetaste wird dieses Zählwerk ausgelöst, und es wird zugleich der Markierhammer betätigt, welcher das ausgewertete Teilchen kennzeichnet.The main patent describes a device for the statistical determination of the dimensions of individual elements when evaluating templates, in particular light or electron microscopic Recordings or other photographic documents in which a larger number of such individual elements with different diameters, lengths or similar sizes is to be determined with an iris diaphragm, with which a drive is connected to adjust the diaphragm opening as well as a light source serving to illuminate this diaphragm and optical means for imaging the Iris aperture on the measurement template. In this device, the aperture setting is with one Marking device and a contact unit combined, which is assigned via individual aperture setting stages Contact intervals to an individual counter and in series with this to a single totalizer connected. When evaluating a measurement template, the opening of the adjustable iris diaphragm mapped onto the particle to be evaluated in each case, and the opening of the iris diaphragm becomes so long adjusted until the light circle appearing on the measurement template with the dimensions of the to be determined to be evaluated corresponds to the particle. During this setting process, the diaphragm adjustment member is used coupled contact mechanism automatically assigned to the aperture set in each case Counter selected. When the trigger button is pressed, this counter is triggered, and it the marking hammer is activated at the same time, which marks the evaluated particle.

Bei dieser Auswertevorrichtung und im übrigen auch bei allen anderen, wird das Teilchengemisch mit einem Kontinuum von Durchmessern oder anderen linearen Größen in Kategorien eingeteilt, wobei jeder Kategorie ein Zählwerk zugeordnet ist. Es ergibt sich nun bei allen technisch realisierbaren Lösungen die Schwierigkeit, daß Teilchen bestimmter Abmessungen auf die Grenze zwischen zwei Kategorien fallen und damit Schwierigkeiten bei der Einordnung machen.With this evaluation device and also with all others, the particle mixture is categorized with a continuum of diameters or other linear quantities, where a register is assigned to each category. It now applies to all technically feasible solutions the difficulty that particles of certain dimensions on the boundary between two categories fall and thus make it difficult to classify.

Diese Schwierigkeit wird bei der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung vermieden. Bei dieser Vorrichtung erfolgt die Einordnung jedes Teilchens in eine bestimmte Kategorie, und zwar unabhängig davon, ob die jeweils festgestellte Abmessung des Teilchens mit Sicherheit innerhalb einer ausgewählten Kategorie liegt oder ob diese Abmessung auf die Grenze zwischen zwei Kategorien fallt.This difficulty is avoided in the device according to the present invention. At this Each particle is classified into a certain category independently of the device whether the size of the particle determined in each case is definitely within a selected one Category or whether this dimension falls on the boundary between two categories.

Erfindungsgemäß enthält die Vorrichtung als Kontaktwerk einen Drehkollektor, welcher zwei Schleifvorrichtung zur statistischen Ermittlung der
Abmessung von Einzelelementen bei der
Auswertung von VorlagenAccording to the invention, the device contains a rotary collector as a contact mechanism, which has two grinding devices for the statistical determination of the
Dimensions of individual elements in the
Evaluation of templates

Zusatz zum Patent: 1166 494Addendum to the patent: 1166 494

Anmelder:Applicant:

Fa. Carl Zeiss, Heidenheim/BrenzCarl Zeiss, Heidenheim / Brenz

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Dr. Hans Schlüge,Dr. Hans Schlügen,

Johannes Leuschner, Heidenheim/BrenzJohannes Leuschner, Heidenheim / Brenz

kontakte enthält, deren Abstand größer ist als die Isolierstrecke zwischen zwei Kollektorsegmenten.Contains contacts whose distance is greater than the insulating distance between two collector segments.

Bei dieser Vorrichtung steht also mit Sicherheit stets einer der Schleifkontakte auf einem Kollektorsegment, und es wird beim Registriervorgang dieser auf dem Kollektorsegment stehende Schleifkontakt und damit das diesem Kontakt zugeordnete Zählwerk ausgewählt.With this device, one of the sliding contacts is always on a collector segment, and it becomes this sliding contact standing on the collector segment during the registration process and thus the counter assigned to this contact is selected.

Es ist vorteilhaft, einen Schalter vorzusehen, welcher im Ruhezustand stets einen ausgewählten Schleifkontakt, den Hauptschleifkontakt, in den Zählstromkreis einschaltet. Weiterhin ist hier ein Relais vorgesehen, welches beim Aufliegen des Hauptschleifkontaktes auf einer Isolierstrecke am Kollektor, beim Drücken der Auslösetaste den Schalter auf den anderen Schleifkontakt, den Nebenschleifkontakt, umlegt. Dadurch ist gewährleistet, daß normalerweise nur ein bestimmter Schleifkontakt am Registriervorgang beteiligt ist, während der andere Schleifkontakt nur in Ausnahmefällen in den Zählstromkreis eingeschaltet wird. Der Befehl zum Umschalten von einem Schleifkontakt auf den anderen kann entweder direkt am Drehkollektor gewonnen werden, oder es kann zu diesem Zweck ein zweiter Stromkreis vorgesehen sein.It is advantageous to provide a switch which always selects one in the idle state Sliding contact, the main sliding contact, switches on in the counting circuit. Furthermore, here is a Relay provided, which when the main sliding contact rests on an insulating path on Collector, when the trigger button is pressed, the switch to the other sliding contact, the secondary sliding contact, kills. This ensures that normally only a certain sliding contact on the Registration process is involved, while the other sliding contact is only in exceptional cases in the counting circuit is switched on. The command to switch from one sliding contact to the other can either be obtained directly from the rotary collector, or a second one can be used for this purpose Electric circuit may be provided.

Soll der Befehl zum Umschalten von einem Schleifkontakt auf den anderen direkt am Drehkollektor gewonnen werden, so ist es vorteilhaft, einen mit den beiden Schleifkontakten in Serie geschalteten Widerstand vorzusehen und schaltungs-Should the command to switch from one sliding contact to the other directly on the rotary collector are obtained, it is advantageous to have one connected in series with the two sliding contacts Provide resistance and circuit

509 519/208509 519/208

mäßig hinter diesem Widerstand das Umschaltrelais parallel zum Zählstromkreis zu schalten. Steht der Hauptschleifkontakt in diesem Fall auf einer Isolierstrecke am Kollektor, so fließt zunächst kein Strom im Zählstromkreis, und die volle Netzspannung liegt am Relais. Dadurch schaltet das Relais auf den Nebenschleifkontakt um, und der Zählstromkreis wird geschlossen.to switch the changeover relay in parallel to the counting circuit behind this resistor. Is the Main sliding contact in this case on an insulating section on the collector, no current flows initially in the counting circuit, and the full mains voltage is applied to the relay. This switches the relay to Secondary slip contact and the counting circuit is closed.

Es kann auch vorteilhaft sein, in einem parallel zum Zählstromkreis liegenden zweiten Stromkreis einen zweiten, mit einem Schleifkontakt versehenen Kollektor anzuordnen, welcher so ausgebildet und angetrieben ist, daß sein Schleifkontakt immer dann auf einem Kollektorsteg steht, wenn der Hauptschleifkontakt am Hauptkollektor auf einer Isolierstrecke steht. Weiterhin ist ein mit dem zweiten Kollektor in Reihe geschaltetes, zur Umschaltung der Schleifkontakte des Hauptkollektors dienendes Relais vorgesehen.It can also be advantageous in a second circuit that is parallel to the counting circuit to arrange a second collector provided with a sliding contact, which is designed and is driven that its sliding contact is always on a collector bar when the main sliding contact is on an insulating section at the main collector. There is also one with the second collector Relay connected in series to switch the sliding contacts of the main collector intended.

Die Empfindlichkeit dieser Einrichtung kann wesentlich vergrößert werden, wenn die Umdrehungsgeschwindigkeit des zweiten Kollektors größer gewählt wird als die Umdrehungsgeschwindigkeit des Hauptkollektors und wenn die Isolierstrecken des zweiten Kollektors entsprechend dem Verhältnis der Umdrehungsgeschwindigkeiten länger sind als die des Hauptkollektors.The sensitivity of this device can be increased significantly if the speed of rotation of the second collector is selected to be greater than the speed of rotation of the Main collector and if the insulating distances of the second collector according to the ratio of Rotational speeds are longer than that of the main collector.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand der Ausführungsbeispiele darstellenden Fig. 1 bis 4 näher erläutert. Es zeigtThe invention is illustrated below with reference to FIGS. 1 to 4, which illustrate the exemplary embodiments explained in more detail. It shows

F i g. 1 die Vorrichtung zur statistischen Ermittlung der Abmessungen von Einzelelementen in vereinfachter, perspektivischer Darstellung,F i g. 1 the device for the statistical determination of the dimensions of individual elements in a simplified, perspective representation,

F i g. 2 einen Teilschnitt durch das in F i g. 1 dargestellte Gerät in der Ansicht von oben,F i g. 2 shows a partial section through the in FIG. 1 device shown in the view from above,

F i g. 3 eine zum Umschalten von einem Schleifkontakt auf den anderen dienende Schaltung, bei welcher der Befehl zum Umschalten der Schleifkontakte in einem gesonderten Stromkreis gewonnen wird,F i g. 3 shows a circuit used to switch from one sliding contact to the other which won the command to switch the sliding contacts in a separate circuit will,

F i g. 4 eine Schaltung zum Umschalten von einem Schleifkontakt auf den anderen, bei welcher der Umschaltebefehl direkt am Kollektor gewonnen wird.F i g. 4 shows a circuit for switching from one sliding contact to the other, in which the switching command is obtained directly at the collector.

In F i g. 1 ist mit 1 die zur Auflage der auszuwertenden Vorlage dienende Fläche bezeichnet, während mit 2 die zur Aufnahme der Einzelzählwerke 3 dienende Fläche bezeichnet ist. In dem hier dargestellten Fall sind achtundvierzig Einzelzählwerke 3 sowie ein Summenzählwerk 4 vorgesehen. Das Fenster 5 dient zur Anzeige des Betriebszustandes des Gerätes. Die Auflagefläche 1 enthält eine Mattscheibe 6, deren zentraler Teil 7 durchsichtig ausgebildet ist. Zwei an den Seitenwänden des Gerätes angeordnete Lämpchen dienen zur Umfeldbeleuchtung der Mattscheibe 6.In Fig. 1, 1 denotes the surface serving to support the template to be evaluated, while 2 with the area used to hold the individual counters 3 is designated. In the one shown here In the case of forty-eight individual counters 3 and a total counter 4 are provided. The window 5 is used to display the operating status of the device. The support surface 1 includes a ground glass 6, whose central part 7 is made transparent. Two lights arranged on the side walls of the device serve to illuminate the surrounding area of the ground glass screen 6.

Mit 8 und 9 sind zwei starr miteinander gekoppelte Handräder bezeichnet, welche zur Verstellung der öffnung der Irisblende dienen. Mit 10 ist ein Hebel bezeichnet, welcher einen Markierstift 11 trägt. Dieser Hebel wird nach erfolgter Einstellung der öffnung der Irisblende beim Auslösen des ausgewählten Zählwerkes mittels eines Magneten nach unten bewegt und markiert auf diese Weise das ausgewertete Teilchen. Zur Auslösung des Zählwerkes und zur Auslösung der Bewegung des Hebels 10 dient ein Fußschalter 12.With 8 and 9, two rigidly coupled handwheels are referred to, which are used to adjust the the opening of the iris diaphragm. With a lever 10 is designated, which carries a marker pen 11. This After the opening of the iris diaphragm has been set, the lever is activated when the selected counter is triggered moved downwards by means of a magnet and marks the evaluated particle in this way. A foot switch is used to trigger the counter and to trigger the movement of the lever 10 12th

F i g. 2 zeigt einen Teilschnitt durch das in F i g. 1 dargestellte Gerät, bei welchem lediglich die mit der Achse 13, welche die beiden Handräder 8 und 9 starr miteinander verbindet, gekoppelten Teile sichtbar sind. Auf der Achse 13 ist ein Zahnrad 14 angeordnet, welches mit einem weiteren Zahnrad 15 im Eingriff steht. Mit der Achse dieses Zahnrades ist ein Nebenkollektor 16 verbunden, auf welchem ein Schleifkontakt 17 gleitet. Weiterhin ist mit der Achse des Zahnrades 15 eine Magnetbremse 18 verbunden, welche gegebenenfalls zur Blockierung des Zahnrades 15 und damit zur Blockierung der Handräder 8 und 9 dient.F i g. 2 shows a partial section through the one in FIG. 1 shown device, in which only the with the Axis 13, which rigidly connects the two handwheels 8 and 9, coupled parts are visible are. On the axis 13, a gear 14 is arranged, which meshes with a further gear 15 stands. With the axis of this gear, a secondary collector 16 is connected, on which a Sliding contact 17 slides. Furthermore, a magnetic brake 18 is connected to the axis of the gear 15, which may be used to block the gear 15 and thus to block the handwheels 8 and 9 serves.

Auf der Achse 13 ist weiterhin eine Hülse 19 fest angeordnet, welche eine Schnecke 20 trägt. Mit dieser Schnecke steht ein hier nicht sichtbares schrägverzahntes Zahnrad im Eingriff, welches auf einer Hülse 21 angeordnet ist. In dieser Hülse 21 ist die Irisblende angeordnet, so daß also beim Drehen der Handräder 8 und 9 durch das erwähnte Getriebe die Öffnung der Irisblende verstellt wird.A sleeve 19, which carries a worm 20, is also fixedly arranged on the axis 13. With this In the worm, a helical toothed gear, not visible here, is engaged, which is mounted on a sleeve 21 is arranged. In this sleeve 21, the iris diaphragm is arranged, so that when turning the Handwheels 8 and 9 the opening of the iris diaphragm is adjusted by the aforementioned gear.

Mit 22 ist ein Kollektor bezeichnet, dessen Kollektorsegmente die Bezeichnung 23 tragen. Zwischen den einzelnen Kollektorsegmenten sind jeweils schmale Isolierstrecken 24 angeordnet. Auf dem Kollektor 22 gleiten die vier Schleifkontakte 25, 26,A collector is designated by 22, the collector segments of which are designated 23. Between Narrow insulating sections 24 are arranged in each case for the individual collector segments. On the Collector 22 slide the four sliding contacts 25, 26,

a5 27 und 28.a 5 27 and 28.

Die Wirkungsweise der in F i g. 2 dargestellten Vorrichtung wird im Zusammenhang mit der in F i g. 3 dargestellten Schaltung erläutert.The mode of operation of the in F i g. 2 is shown in connection with the in F i g. 3 illustrated circuit explained.

In F i g. 3 sind mit 3V 3.,, 33, 34 usw. die Einzel-Zählwerke bezeichnet. Die einzelnen Kollektorsegmente tragen die Bezeichnungen 23P 232, 233, 234 usw. Das Summenzählwerk ist ebenso wie in F i g. 1 mit 4 bezeichnet. Mit 30 sind Vorwiderstände bezeichnet, während 31 den Gleichrichter für den Zählstromkreis und 32 einen Schalter darstellt.In Fig. 3, 3 V 3. ,, 3 3 , 3 4 etc. denote the individual counters. The individual collector segments have the designations 23 P 23 2 , 23 3 , 23 4 etc. The totalizer is the same as in FIG. 1 denoted by 4. With 30 series resistors are designated, while 31 represents the rectifier for the counting circuit and 32 represents a switch.

Parallel zum eigentlichen Zählstromkreis ist ein weiterer Stromkreis geschaltet, welcher den Fußschalter 12 enthält. Der Fußschalter selbst besteht aus den beiden Schaltern 33 und 34, wobei dei Schalter 34 gegen den Schalter 33 etwas verzögert ist. Ein weiterer Schalter 35 dient zur Überbrückung des Schalters 33. In dem mit dem Schalter 34 verbundenen Stromkreis ist ein Gleichrichter 53 sowie ein Magnet 36 angeordnet, welcher zur Bewegung des Markierhebels 10 dient.Another circuit is connected in parallel to the actual counting circuit, which is the foot switch 12 contains. The foot switch itself consists of the two switches 33 and 34, where dei Switch 34 is somewhat delayed compared to switch 33. Another switch 35 is used for bridging of switch 33. In the circuit connected to switch 34 is a rectifier 53 as well a magnet 36 is arranged, which is used to move the marking lever 10.

Mit dem Schalter 33 ist ein Transformator 37 verbunden, welcher über einen Gleichrichter 38 die Magnetbremse 18 mit Strom versorgt. Weiterhin ist mit dem Schalter 33 ein Relais verbunden, welches mit dem Nebenkollektor 16 in Reihe geschaltet ist. Die Wirkungsweise der in den F i g. 2 und 3 dargestellten Vorrichtung ist folgende. Zunächst wird durch Drehen der Handräder 8 und 9 die richtige öffnung der Irisblende eingestellt. Bei dieser Ein-Stellbewegung verschiebt sich der Kollektor 22 gegenüber den Schleifkontakten 25, 26, 27 und 28. Gleichzeitig verschiebt sich der Nebenkollektor 16 gegenüber dem Schleifkontakt 17. Der Abstand zwischen den Schleifkontakten 25 und 26 bzw. 27 und 28 ist größer als die Länge einer Isolierstrecke 24. Damit ist gewährleistet, daß in jeder Lage einer der Schleifkontakte der Kontaktpaare 25, 26 und 27, 28 auf einem Kollektorsegment aufliegt.A transformer 37 is connected to the switch 33, which via a rectifier 38 the Magnetic brake 18 supplied with power. Furthermore, a relay is connected to the switch 33, which is connected in series with the secondary collector 16. The mode of action of the in FIGS. 2 and 3 shown Device is as follows. First, turn the handwheels 8 and 9 to find the correct one aperture of the iris diaphragm set. During this adjustment movement, the collector 22 is displaced with respect to the sliding contacts 25, 26, 27 and 28. At the same time, the secondary collector 16 is displaced compared to the sliding contact 17. The distance between the sliding contacts 25 and 26 or 27 and 28 is greater than the length of an insulating section 24. This ensures that one of the Sliding contacts of the contact pairs 25, 26 and 27, 28 rests on a collector segment.

Nach beendeter Einstellung der Irisblende wird der Fußschalter 12 betätigt. Dadurch wird zunächst der Schalter 33 geschlossen, und der Bremsmagnet 18 erhält Strom. Dadurch werden die Handräder 8 und 9 blockiert.After the iris diaphragm has been set, the foot switch 12 is actuated. This will initially the switch 33 is closed and the brake magnet 18 receives current. This will make the handwheels 8 and 9 blocked.

Gleichzeitig fließt in dem hier dargestellten Fall ein Strom über den Schleifkontakt 17 durch den Nebenkollektor 16 und das Relais 39. Der Schleifkontakt des Nebenkollektors steht auf einem Kollektorsegment, da der Hauptschleifkontakt 25 des Hauptkollektors 22 auf einer Isolierstrecke 24 steht. Sobald Strom durch das Relais 39 fließt, wird dei Schalter 40 geschlossen, und es werden die Schalter 41 und 42 betätigt. Mittels dieser Schalter wird am Hauptkollektor 22 auf die Schleifkontakte 26 und 28 umgeschaltet.At the same time, in the case shown here, a current flows through the sliding contact 17 through the Secondary collector 16 and the relay 39. The sliding contact of the secondary collector is on a collector segment, since the main sliding contact 25 of the main collector 22 is on an insulating path 24. As soon as current flows through the relay 39, the switch 40 is closed and the switches become 41 and 42 actuated. By means of this switch, the sliding contacts 26 and 28 on the main collector 22 are activated switched.

Beim Schließen des Schalters 34 erhält der Magnet 36 Strom. Dadurch wird der Markierhebel 10 nach unten gezogen, und das ausgewertete Teilchen wird gekennzeichnet. Mit dem Ansprechen des Magneten 36 werden die ebenfalls von diesem Magneten betätigten Schalter 35 und 32 geschlossen. Durch das Schließen des Schalters 35 wird der Schalter 33 überbrückt, so daß also der Fußschalter losgelassen werden kann, ohne daß die Magnetbremse 18 und das Relais 39 gleich stromlos werden.When the switch 34 is closed, the magnet 36 receives current. This causes the marking lever 10 to follow dragged down, and the evaluated particle is marked. With the response of the magnet 36, the switches 35 and 32, which are also actuated by this magnet, are closed. By the Closing the switch 35, the switch 33 is bypassed, so that the foot switch is released can be without the magnetic brake 18 and the relay 39 are immediately de-energized.

Durch das Schließen des Schalters 32 fließt Strom über den Gleichrichter 31 und die Vorwiderstände 30 zum Schleifkontakt 26 und von dort über das Kollektorsegment 233 durch das Zählwerk 33. Von hier fließt der Stroni über das Kollektorsegment 234 und den Schleif kontakt 28 durch das Summenzählwerk 4 zurück. Es sprechen also in diesem Fall das Zählwerk 3., und das Summenzählwerk 4 an.By closing the switch 32 current flows via the rectifier 31 and the series resistors 30 to the sliding contact 26 and from there via the commutator segment 23 3 by the counter 3. 3 From here the Stroni flows back through the collector segment 23 4 and the sliding contact 28 through the totalizer 4. In this case, the counter 3. and the total counter 4 respond.

Wenn in der Darstellung der F i g. 3 die vier Schleifkontakte 25, 26, 27 und 28 etwas weiter nach links verschoben gedacht werden, so liegt der Hauptschleifkontakt 25 auf dem Kollektorsegment 232 auf. Der Schleifer 17 am Nebenkollektor 16 hat sich dann so weit weiterbewegt, daß er auf einer Isolierstrecke aufliegt. Es wird also beim Registriervorgang das Relais 39 nicht betätigt, so daß die Schalter 41 undIf in the illustration of FIG. 3 the four sliding contacts 25, 26, 27 and 28 are thought to be shifted a little further to the left, then the main sliding contact 25 rests on the collector segment 23 2 . The slider 17 on the secondary collector 16 has then moved so far that it rests on an insulating section. So it is not actuated during the registration process, the relay 39, so that the switches 41 and

42 in der dargestellten Ruhestellung bleiben. Der Strom fließt in diesem Fall über den Schleifkontakt 25 durch das Zählwerk 3., und zurück durch den Schleifkontakt 27.42 remain in the rest position shown. In this case, the current flows through the sliding contact 25 through the counter 3., and back through the sliding contact 27.

Bei der in F i g. 4 dargestellten Schaltung sind nur zwei Schleifkontakte 43 und 44 vorgesehen. Der Schalter 45 liegt im Ruhezustand auf dem Kontakt 43, so daß also dieser Schleifkontakt als Hauptschleifkontakt zu betrachten ist. In Reihe mit dem Schleifkontakt 43 bzw. 44 ist ein Widerstand 47 geschaltet. Ein Relais 46 ist parallel zum Zählstromkreis geschaltet und dient zur Betätigung der Schalter 45 und 49.In the case of the in FIG. 4, only two sliding contacts 43 and 44 are provided. Of the Switch 45 is in the idle state on contact 43, so that this sliding contact is the main sliding contact is to be considered. A resistor 47 is connected in series with the sliding contact 43 or 44. A relay 46 is connected in parallel to the counting circuit and is used to operate the switch 45 and 49.

Die Wirkungsweise der hier dargestellten Schaltung ist folgende: Beim Niederdrücken des Fußschalters 12 wird der Schalter 48 geschlossen. Dadurch fließt in dem hier dargestellten Fall der Strom über den Widerstand 47 und den Hauptschleif kontaktThe mode of operation of the circuit shown here is as follows: When the foot switch is depressed 12 the switch 48 is closed. As a result, the current flows in the case shown here via the resistor 47 and the main wiper contact

43 zum Kollektorsegment 23r Von dort fließt der Strom über das Zählwerk 3X und das Summenzählwerk 4 zurück.43 to the collector segment 23 r From there the current flows back via the counter 3 X and the total counter 4.

Denkt man sich bei der in F i g. 4 dargestellten Schaltung die beiden Schleifkontakte 43 und 44 so weit nach rechts verschoben, daß der Hauptschleifkontakt 43 auf der Isolierstrecke zwischen den beiden Kollektorsegmenten 23t und 232 steht, so liegt beim Betätigen des Fußschalters 12 die volle Netzspannung am Relais 46. Das Relais 46 zieht an und schließt den Selbsthaltekontakt 49 sowie den Schalter 45. Nunmehr ist der Zählstromkreis über den Nebenschleifer 44 und das Kollektorsegment 23, durch das Zählwerk 32 und das Summenzählwerk 4 hindurch geschlossen.If one thinks in the case of the in FIG. 4, the two sliding contacts 43 and 44 are shifted to the right so far that the main sliding contact 43 is on the insulating path between the two collector segments 23 t and 23 2 , so when the foot switch 12 is actuated, the full mains voltage is applied to relay 46. Relay 46 picks up and closes the self-holding contact 49 and the switch 45. The counting circuit is now closed via the auxiliary wiper 44 and the collector segment 23, through the counter 3 2 and the totalizer 4.

Es ist ohne weiteres einzusehen, daß die Genauigkeit der in F i g. 3 dargestellten Schaltung dadurch erhöht werden kann, daß die Umdrehungsgeschwindigkeit des Nebenkollektors 16 größer gewählt wird als die Umdrehungsgeschwindigkeit des Hauptkollektors 22 und daß die Isolierstrecken des Nebenkollektors entsprechend dem Verhältnis der Umdrehungsgeschwindigkeiten länger gewählt sind als die des Hauptkollektors. Dadurch wird mit Sicherheit eine Umschaltung von einem Schleifkontakt auf den anderen schon dann bewirkt, wenn der Hauptschleifkontakt gerade eben über ein Kollektorsegment hinausgleitet.It is readily understood that the accuracy of the FIG. 3 circuit shown thereby can be increased so that the speed of rotation of the secondary collector 16 is selected to be greater than the rotational speed of the main collector 22 and that the insulating distances of the sub-collector are selected longer than in accordance with the ratio of the rotational speeds that of the main collector. This ensures that there is a switchover from a sliding contact to the other already causes when the main sliding contact is just about a collector segment slides out.

Claims (6)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Vorrichtung zur statistischen Ermittlung der Abmessungen von Einzelelementen bei der Auswertung von Vorlagen, insbesondere licht- oder elektronenmikroskopischen Aufnahmen oder anderen photographischen Dokumenten, bei denen eine größere Zahl solcher Einzelelemente mit unterschiedlichen Durchmessern, Längen oder ähnlichen Größen zu bestimmen ist, mit einer Irisblende, mit welcher ein zur Verstellung der Blendenöffnung dienender Antrieb verbunden ist, sowie einer zur Beleuchtung dieser Blende dienenden Lichtquelle und optischen Mitteln zui Abbildung der Irisblendenöffnung auf der Meßvorlage, wobei die Blendeneinstellung mit einem Markierangsgerät und einem Kontaktwerk vereinigt ist, das über einzelnen Blendeneinstellstufen zugeordnete Kontaktintervalle jeweils an ein Einzelzählwerk und in Reihe zu diesen an ein einzelnes Summenzählwerk angeschlossen ist, nach Patent 1166494, dadurch gekennzeichnet, daß als Kontaktwerk ein Drehkollektor (22) vorgesehen ist, welcher zwei Schleifkontakte (25, 26 bzw. 43, 44) enthält, deren Abstand größer ist als die Isolierstrecke (24) zwischen zwei Kollektorsegmenten (23).1. Device for the statistical determination of the dimensions of individual elements during the evaluation of templates, in particular light or electron microscopic recordings or other photographic documents which a larger number of such individual elements with different diameters, lengths or similar sizes is to be determined with an iris diaphragm, with which an adjustment the aperture serving drive is connected, as well as one for illuminating this aperture Serving light source and optical means for mapping the iris aperture on the measurement template, whereby the aperture setting is combined with a marking device and a contact mechanism is, the contact intervals assigned to the individual aperture setting levels are on an individual counter and connected in series to a single totalizer, according to patent 1166494, characterized in, that a rotary collector (22) is provided as a contact mechanism, which two sliding contacts (25, 26 and 43, 44), the distance between which is greater than the insulating distance (24) between two collector segments (23). 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen, im Ruhezustand stets den Hauptschleifkontakt (43) in den Zählstromkreis einschaltenden Schalter (45) sowie durch ein beim Aufliegen dieses Schleifkontaktes auf einer Isolierstrecke (24) am Kollektor (22) beim Drükken der Auslösetaste (12) den Schalter (45) auf den Nebenschleifkontakt (44) umlegendes Relais (46).2. Apparatus according to claim 1, characterized by one, always in the idle state Main sliding contact (43) in the counting circuit switching on switch (45) and by a when this sliding contact rests on an insulating section (24) on the collector (22) when pressing the release button (12) the switch (45) to the secondary sliding contact (44) relays (46). 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen mit den Schleifkontakten (43, 44) in Serie geschalteten Widerstand (47) sowie durch ein schaltungsmäßig hinter diesem Widerstand parallel zum Zählstromkreis geschaltetes, beim Anliegen der vollen Netzspannung umschaltendes Relais (46).3. Apparatus according to claim 2, characterized by one with the sliding contacts (43, 44) in Series connected resistor (47) as well as by a circuit behind this resistor Connected in parallel to the counting circuit, switching over when full mains voltage is applied Relay (46). 4. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen in einem parallel zum Zählstromkreis liegenden zweiten Stromkreis angeordneten zweiten Kollektor (16) mit einem Schleifkontakt (17), welcher so ausgebildet und angetrieben ist, daß sein Schleifkontakt immer dann auf einem Kollektorsteg steht, wenn der Hauptschleifkontakt (25) am Hauptkollektor (22) auf einer Isolierstrecke (24) steht sowie durch ein, mit dem zweiten Kollektor (16) in Reihe geschaltetes, zur4. Apparatus according to claim 2, characterized by one in a parallel to the counting circuit lying second circuit arranged second collector (16) with a sliding contact (17), which is designed and driven so that its sliding contact is always on a Collector bar is when the main sliding contact (25) on the main collector (22) is on an insulating path (24) is available as well as through a series-connected to the second collector (16) Umschaltung der Schleifkontakte (25, 26) des Hauptkollektors dienendes Relais (39).Switching of the sliding contacts (25, 26) of the main collector serving relay (39). 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Umdrehungsgeschwindigkeit des zweiten Kollektors (16) größer gewählt ist als die Umdrehungsgeschwindigkeit des Hauptkollektors (22) und daß die Isolierstrecken des zweiten Kollektors entsprechend dem Ver-5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the speed of rotation of the second collector (16) is selected to be greater than the speed of rotation of the Main collector (22) and that the insulating distances of the second collector hältnis der Umdrehungsgeschwindigkeiten langer sind als die des Hauptkollektors.ratio of the rotational speeds are longer than that of the main collector. 6. Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 5, gekennzeichnet durch ein Relais (46 bzw. 39) mit Selbsthaltekontakt.6. Apparatus according to claim 3 to 5, characterized by a relay (46 or 39) with Self-holding contact. In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 719 148.Considered publications:
German patent specification No. 719 148. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings 509 519/208 3.65 © Bundesdruckerei Berlin509 519/208 3.65 © Bundesdruckerei Berlin
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE719148C (en) * 1939-05-24 1942-03-30 Erich Kieback Dr Ing Device for adjusting a signal box driven by an adjusting motor as a function of the position of a pulse generator

Patent Citations (1)

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DE719148C (en) * 1939-05-24 1942-03-30 Erich Kieback Dr Ing Device for adjusting a signal box driven by an adjusting motor as a function of the position of a pulse generator

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