DE1183337B

DE1183337B - Device for vacuum deposition of plate-shaped objects, e.g. B. mirrors, with metal

Info

Publication number: DE1183337B
Application number: DEV18893A
Authority: DE
Inventors: Claire Celine Voulton-B Baudin
Original assignee: BERNARD MARIE MAURICE GILBERT
Current assignee: BERNARD MARIE MAURICE GILBERT
Priority date: 1959-07-02
Filing date: 1960-06-28
Publication date: 1964-12-10

Description

Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von plattenförmigen Gegenständen, z. B. Spiegeln, mit Metall Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Vakuumbedampfen von plattenförmigen Gegenständen, z. B. Spiegeln, mit Metall, wobei in einem Behälter eine Anzahl der Gegenstände gestapelt und nacheinander bedampft wird. Bisher bekannte Vorrichtungen dieser Art arbeiteten mit kalottenförmigen, in ihrer Mitte mit öffnungen versehenen Tragplatten zum Halten der zu bedampfenden Gegenstände; damit lassen sich jedoch nur kleine Gegenstände behandeln.Device for vacuum evaporation of plate-shaped objects, z. B. mirrors, with metal The invention relates to a device for vacuum deposition of plate-shaped objects, e.g. B. mirrors, with metal, being in a container a number of the objects are stacked and steamed one after the other. Previously known Devices of this type worked with dome-shaped openings in the middle provided support plates for holding the objects to be steamed; leave with it however, only treat small objects.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Vorrichtung so zu gestalten, daß auch großflächige Gegenstände bedampft werden können. Dies gelingt gemäß der Erfindung dadurch, daß in. dem Behälter mindestens eine geradlinige Schiene vorgesehen ist, an welcher die plattenförmigen Gegenstände zum Bedampfen ihrer Vorder- und gegebenenfalls auch der Rückseite durch Verdampfer mittels Rollkörper verschiebbar hängend angeordnet sind, und an der Schiene für die Bewegung der einzelnen an einem Schienenende gestapelten plattenförmigen Gegenstände zum anderen Schienenende Haltevorrichtungen mit Freigabe- oder Mitnehmerorganen vorgesehen sind.The object of the invention is to design the device so that even large objects can be steamed. This is achieved according to the invention in that at least one straight rail is provided in the container, on which the plate-shaped objects for steaming their front and optionally also the rear side by means of an evaporator by means of rolling bodies is arranged to be slidable and suspended are, and stacked on the rail for movement of each at one rail end plate-shaped objects to the other end of the rail holding devices with release or driver elements are provided.

Eine Haltevorrichtung besteht gemäß der Erfindung aus einem durch eine Antriebsvorrichtung in Drehung zu versetzenden Zahnrad, dessen Zahnlücken die Halteorgane der plattenförmigen Gegenstände bilden. Eine andere Haltevorrichtung besteht gemäß der Erfindung aus einer über eine ortsfeste Rolle und eine längs der Schiene bewegliche Rolle geführten Kette, die mit einem Ende am oberen Ende der Schiene befestigt und mit ihrem anderen Ende auf einer Winde aufwickelbar ist, wobei die Kettenglieder die Freigebeorgane bilden, in welche an den plattenförmigen Gegenständen angeordnete Stifte eingreifen.According to the invention, a holding device consists of a through a drive device to be set in rotation gear whose tooth gaps the Form holding organs of the plate-shaped objects. Another holding device consists according to the invention of one over a stationary roller and one along the Track moving roller guided chain that ends with one end at the top of the Fastened rail and is wound with its other end on a winch, wherein the chain links form the release organs in which on the plate-shaped objects engage arranged pins.

Auch kann gemäß der Erfindung eine endlose, in beiden Umlaufrichtungen bewegbare Antriebskette vorgesehen sein, die mit ihrem einen Trum im Bereich der waagerechten Schiene verläuft und eine schwenkbare Klinke aufweist, die die plattenförmigen Gegenstände einzeln von einem zum anderen Ende der Schiene verschiebt.Also, according to the invention, an endless one, in both directions of rotation movable drive chain may be provided with one strand in the area of the horizontal rail and has a pivoting pawl that the plate-shaped Moves items one at a time from one end of the rail to the other.

Zweckmäßig sind die plattenförmigen Gegenstände an der Schiene um eine senkrechte Achse schwenkbar angehängt und zu ihrer Verschwenkung seitliche Führungen in der Bewegungsbahn der lotrechten Randteile der Gegenstände angeordnet.The plate-shaped objects on the rail are expediently around a vertical axis pivotably attached and lateral to their pivoting Guides arranged in the path of movement of the vertical edge parts of the objects.

Es können auch an den Schienen hängende Rahmen zur Halterung der plattenförmigen Gegenstände vorgesehen sein. Zum einseitigen Bedampfen können in jedem Rahmen zwei plattenförmige Gegenstände Rücken an Rücken, gegebenenfalls unter Zwischenschaltung von Keilen, angeordnet sein: In der Zeichnung sind schematisch mehrere Ausführungsmöglichkeiten beispielsweise dargestellt, und zwar zeigt F i g. 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung in Vorderansicht, mit geneigten Schienen und einem Zahnrad, F i g. 2 eine Vorrichtung in. Draufsicht, F i g. 3 eine Ansicht gemäß F i g: 1, wobei die Glocke eine waagerechte Achse, waagerechte Schienen und eine endlose Kette aufweist, F i g. 4 eine weitere Ausführungsform in Vorderansicht, mit einer Glocke mit waagerechter Achse, geneigten Schienen und einer um eine: Winde aufgewickelten Kette, F i g. 5 ein Tragelement für zwei Rücken an Rücken angeordnete Gegenstände; z. B. Spiegel, F i g. 6 einen Schnitt nach der Linie VI-VI in Fig.5.There can also be frames hanging on the rails to hold the plate-shaped frames Objects to be provided. For one-sided steaming, two Plate-shaped objects back to back, if necessary with the interposition of wedges, be arranged: In the drawing, several design options are schematically shown shown by way of example, namely FIG. 1 shows a device according to the invention in front view, with inclined rails and a gear, F i g. 2 a device in. Top view, F i g. 3 shows a view according to FIG. 1, the bell being a horizontal one Axis, horizontal rails and an endless chain, F i g. 4 another Embodiment in front view, with a bell with a horizontal axis, inclined Rails and a chain wound around a winch, FIG. 5 a support element for two objects arranged back to back; z. B. Spiegel, Fig. 6 one Section along the line VI-VI in Fig. 5.

Die in F i g. 1 dargestellte Vorrichtung besteht aus einer Glocke 1, die einen geschlossenen Raum bildet, innerhalb dessen ein Hochvakuum hergestellt wird. Eine oder mehrere Metallquellen 2,sind an bestimmten Stellen der Glocke 1 untsrgebracht. Diese Metallquellen werden geheizt, und die zur Verdampfung gelangenden Moleküle treffen in geradlinigen Bahnen auf den zu bedampfenden plattenförmigen Gegenständen 3, z. B. Spiegeln, auf. Diese Gegenstände 3 hängen an leicht geneigten Schienen 4 (s. F i g. 1), so daß sie infolge ihres Eigengewichtes von einem bis zum anderen Schienenende rollen. Infolge dieser Anordnung wird also zuerst die Fläche 3 a, jedes Gegenstandes der beheizten Metallquelle 2 dargeboten. Nachdem jeder Gegenstand unter der Wirkung seines Eigengewichtes entlang den geneigten Schienen 4 gerollt ist, wird anschließend die Fläche 3 b bedampft, gleichgültig ob die Flächen 3 a und 3 b ein- und demselben Gegenstand oder zwei verschicdenen Gegenständen gehören, die in diesem Fall Rücken an Rücken aneinandergelegt sind.The in F i g. The device shown in FIG. 1 consists of a bell 1 which forms a closed space within which a high vacuum is established. One or more metal sources 2 are accommodated at certain points on the bell 1. These metal sources are heated, and the molecules which evaporate meet in straight paths on the plate-shaped objects 3 to be steamed, e.g. B. Mirror on. These objects 3 hang on slightly inclined rails 4 (see FIG. 1), so that they roll from one end of the rail to the other as a result of their own weight. As a result of this arrangement, the surface 3 a of each object of the heated metal source 2 is presented first. After each object has rolled under the action of its own weight along the inclined rails 4, the surface 3 b is then steamed, regardless of whether the surfaces 3 a and 3 b belong to the same object or two different objects, which in this case back to Backs are laid together.

Ein oder mehrere Zahnräder 5, die auf einer waagerechten, zu der Schiene 4 senkrecht verlaufenden Welle 6 verkeilt sind und von einem, in F i g. 1 nicht dargestellten Motor angetrieben werden, welcher innerhalb oder außerhalb der Glocke 1 stehen kann, halten die aufgestapelten Gegenstände ab und geben bei ihrer Drehbewegung die Gegenstände 3 einen nach dem andern frei. Je ein Gegenstand 3 wird erst dann freigegeben, wenn der vorhergehende am Ende der geneigten Schiene 4 angelangt ist.One or more gears 5, which are wedged on a horizontal shaft 6 which runs perpendicular to the rail 4 and which, in FIG. 1 motor not shown are driven, which can be inside or outside of the bell 1, hold the stacked objects and release the objects 3 one after the other as they rotate. One object 3 is only released when the previous one has reached the end of the inclined rail 4 .

Im Falle einer senkrechten zylinderförmigen Glocke können, wie aus F i g. 2 ersichtlich, die Gegenstände 3 zwischen Seitenführungen 7 und 8 angeordnet sein, die die Gegenstände 3 nach der beheizten Metallquelle 2 gerichtet hinhalten, um zuerst jeweils die Fläche 3a und anschließend, nach Verschiebung und Drehung des Gegenstandes 3 in Pfeilrichtung f, bewirkt durch auf den Seitenführungen 8 vorgesehene Auflauframpen 9, die Fläche 3 b zu exponieren.In the case of a vertical cylindrical bell, how out F i g. 2, the objects 3 are arranged between side guides 7 and 8 be who hold out the objects 3 directed towards the heated metal source 2, by first the surface 3a and then, after shifting and rotating of the object 3 in the direction of arrow f, caused by provided on the side guides 8 Ramps 9 to expose the area 3 b.

Bei der in F i g. 3 dargestellten Vorrichtung hängen die Gegenstände 3 über Wälzlager an waagerechten Schienen 4. Sie werden mittels einer endlosen Kette 12, die parallel zu der ganzen Länge der Schienen und über Scheiben 13 läuft, mechanisch angetrieben. Die endlose Kette 12 kann von außen hin und her bewegt werden und weist an einer bestimmten Stelle einen Stift 14 auf, der in nur einer Richtung um 90° schwenkbar ist, damit die Bewegung der Kette in der einen Richtung den aufgehängten Gegenstand 3 mitnimmt, welcher sich auf der Bahn des Stiftes befindet, während in der anderen Richtung der Stift 14 ausweicht, bis er sich wieder in einer Stellung befindet, in welcher er einen anderen aufgehängten Gegenstand 3 mitnimmt usw., so daß die Gegenstände 3 nacheinander von einer Seite der Glocke 1 zur anderen gefördert und die Flächen 3 a und 3 b durch Verdampfung der Metallquellen 2 überzogen werden.In the case of the in FIG. 3 hang the objects 3 via roller bearings on horizontal rails 4. They are mechanically driven by means of an endless chain 12 which runs parallel to the entire length of the rails and over disks 13. The endless chain 12 can be moved back and forth from the outside and has a pin 14 at a certain point, which is pivotable by 90 ° in only one direction, so that the movement of the chain in one direction takes the suspended object 3 with it, which is on the path of the pin, while in the other direction the pin 14 evades until it is again in a position in which it takes another suspended object 3 with it, etc., so that the objects 3 successively from one side of the bell 1 promoted to the other and the surfaces 3 a and 3 b are coated by evaporation of the metal sources 2.

Ein derartiger Mechanismus kann doppelt vorgesehen sein, um einerseits nacheinander die Förderung der Gegenstände 3 von einer Seite der Glocke 1 zur anderen zu bewirken, damit die Gegenstände einem magnetischen Feld ausgesetzt werden, und andererseits ihre Förderung in der entgegengesetzten Richtung, um sie der Verdampfungsbehandlung auszusetzen.Such a mechanism can be provided twice, on the one hand successively the promotion of the objects 3 from one side of the bell 1 to the other to cause the objects to be exposed to a magnetic field, and on the other hand their promotion in the opposite direction to them of the evaporation treatment suspend.

Mit der in F i g. 4 dargestellten Vorrichtung wird das gleiche Ergebnis erreicht, jedoch mit unterschiedlichen Mitteln, die in besonderen Fällen vorgezogen werden können. Bei dieser Ausführungsvariante sind die Gegenstände 3 an geneigten Schienen 4 angehängt, auf welchen sie infolge ihres Eigengewichtes von einem bis zum anderen Schienenende rollen. Eine Kette 15, deren eines Ende bei 16 befestigt ist, während ihr anderes Ende sich auf eine Winde 17 aufwickelt, hält die hängenden Gegenstände 3 auf dem höheren Teil der geneigten Schienen 4 mittels Stifte 18 ab, die auf jedem Gegenstand 3 vorgesehen sind, und die in Kettenglieder 15 eingreifen; weM die Kette um eine ortsfeste Umlenkscheibe 19 und um eine bewegliche Scheibe 20 umläuft, die von .zwei den Schienen 4 parallelen Schienen geführt wird. Wenn die Kette aufgewickelt wird; strebt die Kette 15, die bewegliche Scheibe 20 an die ortsfeste Unlenkscheibe 19 allmählich nähercubringen, so daß jeder hängende Gegenstand 3 einer nach dem anderen freigegeben wird und infolge seines Eigengewichtes nach dem tieferen Ende der geneigten Schienen 4 rollt.With the in F i g. 4, the same result is achieved, but with different means, which may be preferred in special cases. In this embodiment, the objects 3 are attached to inclined rails 4, on which they roll due to their own weight from one end of the rail to the other. A chain 15, one end of which is fixed at 16 while its other end is wound on a winch 17 , holds the hanging objects 3 on the higher part of the inclined rails 4 by means of pins 18 provided on each object 3 and which engage in chain links 15; where the chain revolves around a stationary deflection pulley 19 and around a movable pulley 20 which is guided by two rails parallel to the rails 4. When the chain is wound up; The chain 15 strives to gradually bring the movable disc 20 closer to the fixed deflection disc 19 so that each hanging object 3 is released one after the other and, due to its own weight, rolls towards the lower end of the inclined rails 4.

Die zu bedampfenden Gegenstände können im Rahmen 21 (s. F i g. 5 und 6) untergebracht werden, die aus zwei Querträgern 22 bestehen, die Vertiefungen 23 aufweisen, mittels welcher sowie - mittels-Gewindespindeln 24 und Muttern 25 die Rücken an Rücken aufgestellten Gegenstände, z. B. Spiegel 26, gehalten werden. Zwischen jedem Spiegel 26 sied Distanzstücke 27 vorgesehen. Mittels eines Hakens 28 wird jeder Rahmen 21 an einen kleinen Schlitten oder an eine Rolle angehängt, die sich auf einer Schiene 4 bewegen kann. Mit diesen Rahmen wird zuerst die Fläche 26a des einen Spiegels 26 und nach Verschiebung die andere Fläche 26b der ldampfung ausgesetzt, ohne daß sie durch irgend etwas abgedeckt werden. Auf diese Weise gestattet die erfindungsgemäße Vorrichtung, innerhalb der Glocke in einem oder mehreren Stapeln und in möglichst großer Anzahl übereinandergelegte Gege&-stände in halbkontinuierlicher Weise zu wobei jeder Gegenstand der Reihe nach und, wUr rend einer bestimmten Zeitdauer der Behandlung unterworfen wird, ohne daß er währenddessen durchirgend etwas abgedeckt wird.The objects to be steamed can be accommodated in the frame 21 (see Figs. 5 and 6), which consist of two cross members 22, which have recesses 23 , by means of which and - by means of threaded spindles 24 and nuts 25, the back to back are set up Objects, e.g. B. mirror 26 are held. Spacers 27 are provided between each mirror 26. By means of a hook 28, each frame 21 is attached to a small slide or to a roller which can move on a rail 4. With this frame, first the surface 26a of one mirror 26 and, after displacement, the other surface 26b is exposed to the vaporization without them being covered by anything. In this way, the device according to the invention allows objects to be placed in one or more stacks and in the largest possible number of superimposed objects in a semi-continuous manner within the bell, each object being subjected to treatment in succession and for a certain period of time without it meanwhile something is covered by something.

Es sei zum Schluß bemerkt, daß die beispielsweise dargestellte Glocke jede beliebige Form aufweisen kann.It should be noted in the end that the example of the bell shown can have any shape.

Claims

Claims: 1. Device for vacuum deposition of plate-shaped objects, such. B: mirror; with metal, a number of objects being stacked in a container and steamed one after the other, characterized in that at least one straight rail (4) is provided in the container, on which the -plate-shaped objects (3) for steaming their front and possibly also the rear side by means of evaporators (2) are arranged to be displaceable suspended by means of rolling bodies, and holding devices with release or driver elements are provided on the rail for the movement of the individual plate-shaped objects stacked at one end of the rail to the other end of the rail: 2. Device according to claim 1; characterized in that the holding device consists of a toothed wheel (5) to be set in rotation by a drive device; whose tooth gaps form the holding organs of the plate-shaped objects (3) . 3. Apparatus according to claim 1, characterized in that the holding device consists of a chain (15) guided by a stationary roller (19) and a roller (20) which is movable along the rail (4) and which is guided with a The end (16) is attached to the upper end of the rail and the other end can be wound up on a winch (17), the chain links forming the release elements in which pins (18) arranged on the plate-shaped objects engage. 4. Apparatus according to claim 1, characterized in that an endless, movable in both directions of rotation drive chain (12) is provided, which runs with its one strand in the area of the horizontal rail and has a pivotable pawl, which the plate-shaped objects individually from one to the other end of the rail. 5. Device according to claims 1 to 3, characterized in that the plate-shaped objects (3) are attached to the rail pivotably about a vertical axis and lateral guides (7, 8) are arranged in the path of movement of the vertical edge parts of the objects for their pivoting . 6. Device according to claims 1 to 5, characterized in that for holding the plate-shaped objects hanging on the rails frames (21) are provided. 7. Apparatus according to claim 6, characterized in that two plate-shaped objects are arranged back to back, optionally with the interposition of wedges (27), in each frame for one-sided steaming. Documents considered: French Patent No. 978 049.