DE1165293B - Process for the production of original graduations, grids, reticules - Google Patents

Process for the production of original graduations, grids, reticules

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DE1165293B
DE1165293B DEA31325A DEA0031325A DE1165293B DE 1165293 B DE1165293 B DE 1165293B DE A31325 A DEA31325 A DE A31325A DE A0031325 A DEA0031325 A DE A0031325A DE 1165293 B DE1165293 B DE 1165293B
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Germany
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Inventor
Dr Ernst Brackertz
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Continental Elektronidustrie AG
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Continental Elektronidustrie AG
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50

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Description

Verfahren zum Herstellen von Original-Teilungen,: -Rastern, -Strichplatten Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen von - insbesondere zur fotochemischen oder fotomechanischen Vervielfältigung geeigneten -mechanisch zu teilenden Original-Teilungen von Rastern, Strichplatten usw., die auf Trägern aus beliebigem Material, wie Glas, Keramik, Kunststoff, Metall od. dgl., mit Hilfe mechanischer Werkzeuge, Stichel od. dgl., erzeugt werden. Es sind Verfahren bekanntgeworden (vergleiche z. B. deutsche Patentschrift 662 741, USA.-Patentschrift 2 559 389), bei denen auf die Unterlage des Zeichenträgers, welche die Zeichen aufnehmen soll, zunächst eine wiederentfernbare Hilfsschicht aufgebracht, dann anschließend die Unterlage - entsprechend den Zeichen - durch die Hilfsschicht hindurch mechanisch z. B. mittels eines Stichels freigelegt, darauf eine zeichenbildende Haftschicht auf die Hilfsschicht und die freigelegten Stellen der Unterlage (z. B. im Vakuum durch Aufdampfen) aufgebracht und schließlich der Rest der Hilfsschicht entfernt wird. Hierbei kann natürlich auch die erwähnte Hilfsschicht bei entsprechendem Material im Vakuum aufgebracht sein. Es sind auch Verfahren dieser Art bekanntgeworden, bei denen im Zuge des ersten Verfahrensschrittes vor dem Aufbringen der zeichenbildenden Haftschicht außer einer aus anorganischem Material bestehenden Hilfsschicht eine weitere darüber angeordnete duktile Hilfsschicht - im folgenden als »Abdeckschicht« bezeichnet - aus organischen Substanzen vorgesehen wird (vgl. deutsche Auslegeschrift 1024 409). Diese z. B. aus einem säurebeständigen Wachs bestehende Abdeckschicht hat unter anderem den Zweck, den mechanischen Teilungsvorgang zu erleichtern. Der Stichel usw. wird durch diese organische Schicht geführt und daran gehindert beim Zeichenziehen Schwingungen auszuführen und Ratterspuren zu hinterlassen. Im Zusammenhang mit der anorganischen Hilfsschicht ergeben sich hiermit auf dem Träger scharfkantige Zeichen. Der Druck des mechanischen Werkzeugs ist beim Teilvorgang so bemessen, daß im Bereich des den herzustellenden Zeichen entsprechenden Flächenausmaßes in einem Arbeitsgang die Abdeckschicht vollständig und die Hilfsschicht zum größten Teil entfernt wird. Etwa verbleibende Hilfsschichtreste an diesen Stellen werden nachträglich von der Unterlage (Träger) durch ein geeignetes Lösungsmittel beseitigt. Bei den bisher vorgeschlagenen Verfahren dieser Art wird bisher nach Freilegen der Unterlage - entsprechend den Zeichen -die zeichenbildende Haftschicht aufgebracht. Letztere überdeckte somit die freigelegten Stellen der Unterlage und die über der restlichen Hilfsschicht vorhandene Abdeckschicht. Anschließend werden dann die Reste der Abdeckschicht mit den darauf befindlichen Haftschichtteilen entfernt, worauf schließlich noch die Beseitigung der Hilfsschichtreste erfolge.Process for the production of original graduations: -grids, -grid plates The invention relates to a method for producing - in particular for suitable for photochemical or photomechanical duplication - mechanically dividing original divisions of grids, reticules, etc., which are made on carriers Any material, such as glass, ceramic, plastic, metal or the like, with the help of mechanical Tools, burins or the like. Be generated. Procedures have become known (cf. z. B. German Patent 662 741, USA.-Patent 2 559 389), in which on the document of the character carrier, which is to accommodate the characters, initially one Removable auxiliary layer is applied, then the base afterwards - accordingly the characters - mechanically through the auxiliary layer z. B. by means of a burin exposed, a character-forming adhesive layer on top of the auxiliary layer and the exposed areas of the substrate (e.g. in a vacuum by vapor deposition) and finally the remainder of the auxiliary layer is removed. Of course you can also the mentioned auxiliary layer is applied in a vacuum with the appropriate material be. There are also methods of this type become known, in which in the course of the first Process step before applying the character-forming adhesive layer except for one A further auxiliary layer made of inorganic material is arranged above it ductile auxiliary layer - hereinafter referred to as "cover layer" - made of organic Substances is provided (see German Auslegeschrift 1024 409). This z. B. The cover layer consisting of an acid-resistant wax has, inter alia, the Purpose to facilitate the mechanical division process. The burin etc. is through this organic layer guided and prevented vibrations during drawing execute and leave chatter marks. In connection with the inorganic Auxiliary layer, this results in sharp-edged characters on the carrier. The pressure of the mechanical tool is dimensioned during the dividing process so that in the area of the area corresponding to the characters to be produced in one operation the cover layer is completely removed and the auxiliary layer is largely removed. Any remaining auxiliary layer residues at these points are subsequently removed from the Base (carrier) removed by a suitable solvent. With the so far The proposed method of this type is so far after uncovering the document - corresponding to the characters -the character-forming adhesive layer applied. Latter thus covered the exposed areas of the base and those above the rest Auxiliary layer existing covering layer. Then the remains of the cover layer are then removed with the adhesive layer parts located on it, whereupon finally the remnants of the auxiliary layer are removed.

Demgegenüber schlägt die Erfindung vor, die Abdeckschicht nach dem Freilegen der Unterlage vor dem Aufbringen der zeichenbildenden Substanz auf den Zeichenträger zu entfernen. Nur die Hilfsschichtteile verbleiben auf dem Träger, erst anschließend ist das zeichenbildende Material aufzubringen, vorzugsweise im Vakuum .aufzudampfen, worauf dann wie üblich schließlich wieder die Beseitigung der Hilfsschichtreste erfolgt. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, daß beim Aufbringen, z. B. Aufdampfen, der zeichenbildenden Substanz eine Schablone reduzierter Dicke vorhanden ist. Dies ist aber deshalb von Bedeutung, weil erwiesenermaßen die aufzubringenden Zeichen um so scharfkonturiger herstellbar sind, je dünner die Abdeckschablone (Hilfsschichten und Abdeckschichten) ist, durch die hindurch die zeichenbildende Haftschicht z. B. aufgedampft wird. Man strebt deshalb natürlich an, diese Schablone so dünn wie möglich zu halten. Bringt man die zeichenbildende Haftschicht - wie zumeist erwünscht - im Vakuum auf, so ergeben sich weitere Vorteile mit dem Erfindungsvorschlag, wenn die Abdeckschicht, die über der aus anorganischem Material bestehenden Hilfsschicht angeordnet ist, organischer Natur ist. Da beim Aufbringen der Haftschicht die aus organischem Material bestehende Abdeckschicht gar nicht mehr vorhanden ist, kann - im Gegensatz zu den bisherigen Verfahren - der Dampfdruck im Rezipienten der Vakuumapparatur niedrig gehalten und gleichzeitig die Pumpzeit verringert werden. Da andererseits sich Restmoleküle aus der organischen Abdeckschicht nicht mehr - wie bisher - in der aufzubringenden zeichenbildenden Schicht ab- bzw. einlagern können, ergibt, sich auch ein besseres Haften dieser zeichenbildenden Schicht auf den freigelegten Bereichen des Zeichenträgers.In contrast, the invention proposes the cover layer after Exposing the substrate before applying the sign-forming substance to the Remove character carrier. Only the auxiliary layer parts remain on the carrier, only then should the sign-forming material be applied, preferably in Vacuum .evaporate, whereupon, as usual, the elimination again of the auxiliary layer residues takes place. This has the advantage that when applying, z. B. vapor deposition, the character-forming substance a stencil of reduced thickness is available. However, this is important because it has been proven that the to be applied The thinner the masking template (auxiliary layers and cover layers) through which the character-forming adhesive layer z. B. is vaporized. One naturally strives to make this stencil as thin as possible to keep. Apply the character-forming adhesive layer - as is usually desired - In a vacuum, there are further advantages with the inventive proposal, if the cover layer over the auxiliary layer made of inorganic material is arranged, is organic in nature. Since when the adhesive layer is applied, the organic material existing cover layer is no longer present, can - in contrast to previous methods - the vapor pressure in the recipient of the vacuum apparatus can be kept low while reducing the pumping time. There on the other hand Residual molecules from the organic cover layer are no longer - as before - in deposit or store the character-forming layer to be applied can, results, there is also a better adhesion of this character-forming layer on the exposed Areas of the character carrier.

Es sei jedoch noch einmal darauf verwiesen, daß der Erfindungsvorschlag nicht darauf beschränkt ist, daß bei dem besagten Herstellungsverfahren die zeichenbildende Schicht im Vakuum aufgedampft wird. Der zuerst aufgeführte wesentliche Vorteil ist von der Art dieses Verfahrensschrittes völlig unabhängig. Das gleiche gilt bezüglich der Natur der Abdeckschicht. In erster Linie ist nach wie vor an solche aus organischem Material gedacht. Dies soll jedoch nicht ausschließen, daß diese Abdeckschicht unter Umständen (ebenso wie die andere Hilfsschicht) aus organischem Material besteht, sofern letzteres die Eigenschaften aufweist, die man im vorliegenden Falle von der organischen Abdeckschicht verlangt.However, it should be pointed out again that the inventive proposal is not limited to the fact that in the said manufacturing process, the character-forming Layer is evaporated in vacuo. The major benefit listed first is completely independent of the type of this process step. The same is true with regard to the nature of the cover layer. First and foremost is still to those of organic Material thought. However, this should not exclude that this cover layer under Under certain circumstances (just like the other auxiliary layer) consists of organic material, if the latter has the properties that are in the present case of the organic cover layer required.

An Hand der Zeichnungen ist das erfindungsgemäße Verfahren näher erläutert.The method according to the invention is explained in more detail with reference to the drawings.

In F i g. 1 bezeichnet 1 den z. B. aus Glas gefertigten Zeichenträger, der eine Präzisionskreisteilung aufnehmen soll: Auf den Zeichenträger wird in an sich bekannter Weise mindestens eine von dem Träger wieder entfernbare anorganische Hilfsschicht 2 aufgebracht. Diese Hilfsschicht kann aus Metall oder metallischen Verbindungen, z. B. aus Silber, Kupfer, Aluminium od. dgl., bestehen und wird auf chemischem Wege oder durch Aufdampfen oder durch Kombination mehrerer der bekannten Verfahren auf den Träger 1 aufgebracht. Über diese Hilfsschicht wird die duktile, vorzugsweise organische Abdeckschicht 3 angeordnet, in die durch mechanische Werkzeuge die herzustellenden Zeichen eingebracht werden. Die Abdeckschicht 3 wird in einem Flächenausmaß 4, das den herzustellenden Zeichen entspricht, entfernt. Dies kann durch das mechanische Werkzeug so weit gehen, daß Teile der Hilfsschicht 2 bei diesem Vorgang bereits mit entfernt werden. Etwa verbleibende Reste der Hilfsschicht 2 werden durch ein geeignetes Lösungsmittel von der Oberfläche des Zeichenträgers 1 im Bereich 4 entfernt (F i g. 3). Nach diesem Verfahrensschritt wird die Abdeckschicht 3 von der Hilfsschicht 2 durch mechanisches Ablösen oder durch ein geeignetes Lösungsmittel entfernt (F i g. 4). Nunmehr erfolgt das Aufbringen. einer zeichenbildenden Substanz 5 auf die freigelegten Stellen 4 des Zeichenträgers 1. 'Dieses kann - wie bereits erwähnt -' z: B. durch Aufdampfen im Vakuum geschehen. Die Hilfsschicht 2 wird mit den' auf ihr befindlichen Teilen der zeichenbildenden Substanz durch ein geeignetes Lösungsmittel von der Oberfläche des Zeichenträgers 1 entfernt (F i g. 6), so daß auf dem Zeichenträger an den Stellen 4 das zeichenbildende Material 6 in Form der herzustellenden Zeichen verbleibt.In Fig. 1 denotes 1 the z. B. a character carrier made of glass, which is intended to accommodate a precision circle division: At least one inorganic auxiliary layer 2 that can be removed from the carrier is applied to the character carrier in a manner known per se. This auxiliary layer can be made of metal or metallic compounds, e.g. B. of silver, copper, aluminum or. The ductile, preferably organic, cover layer 3, into which the characters to be produced are introduced by mechanical tools, is arranged over this auxiliary layer. The cover layer 3 is removed in an area 4 that corresponds to the characters to be produced. The mechanical tool can do this to such an extent that parts of the auxiliary layer 2 are also removed during this process. Any remaining residues of the auxiliary layer 2 are removed from the surface of the character carrier 1 in the area 4 using a suitable solvent (FIG. 3). After this process step, the cover layer 3 is removed from the auxiliary layer 2 by mechanical detachment or by a suitable solvent (FIG. 4). The application now takes place. a character-forming substance 5 on the exposed points 4 of the character carrier 1. 'This can - as already mentioned -' take place, for example, by vapor deposition in a vacuum. The auxiliary layer 2 (g F i. 6) with the 'on it located portions of the sign-forming substance by a suitable solvent from the surface of the mark carrier 1 is removed, so that on the mark carrier at the points 4, the sign-forming material 6 in the form of the produced Character remains.

Claims (1)

Patentansprüche: Verfahren zum Herstellen von mechanisch zu teilenden Original-Teilungen von Rastem;'Strichplatten od. dgl. unter Verwendung mindestens einer auf einem Zeichenträger aufgebrachten anorganischen Hilfsschicht und einer auf diese Hilfsschicht aufgebrachten duktilen, vorzugsweise organischen Abdeckschicht, . bei welchem zum Erzeugen der Zeichen'die Abdeckschicht und die Hilfsschicht durch einen Graviervorgang in einem den herzustellenden Zeichen entspreb-hen= dem Umfang entfernt werden und auf- die freigelegten Stellen der Unterlage innerhalb der Ililfsschicht und der Abdeckschicht eine ieicheübil@-dende Substanz, vorzugsweise durch Aufdampfen; aufgebracht wird, worauf die nichtzeichenbildenden Materialschichten durch selektiv wirkende Mittel von dem Zeichenträger wieder entfernt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckschicht (3) nach dem Freilegen der Unterlage vor dem Aufbringen der zeichenbildenden Substanz (5) auf den Zeichenträger (1) von der Hilfsschicht (2) entfernt wird: In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 880 658; deutsche Auslegeschrift Nr. 1024 409.Claims: Method for producing mechanically divided original graduations of rasters; reticules or the like using at least one inorganic auxiliary layer applied to a character carrier and a ductile, preferably organic cover layer applied to this auxiliary layer. in which, in order to produce the characters, the cover layer and the auxiliary layer are removed by an engraving process in one of the characters to be produced = the circumference and, on the exposed areas of the base within the auxiliary layer and the cover layer, an anti-sealant substance, preferably by vapor deposition; is applied, whereupon the non-character-forming material layers are removed again from the character carrier by selectively acting means, characterized in that the cover layer (3) after the exposure of the substrate before the application of the character-forming substance (5) to the character carrier (1) from the auxiliary layer (2) the following is removed: publications under consideration: German Patent No. 880 658; German interpretative document No. 1024 409.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE880658C (en) * 1950-09-06 1953-05-07 Alois Vogt Dr Process for the production of characters, such as scale lines, thread crossings and the like. Like., with a space shape determined by optically homogeneous edge boundaries on documents of all kinds and produced by this process
DE1024409B (en) * 1955-07-30 1958-02-13 Wenczler & Heidenhain Process for producing sharply delimited characters on carriers using two auxiliary layers

Patent Citations (2)

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