DE1151604B - Anodic-electrolytic etching process to enlarge the surface of electrode starting material for electrolytic capacitors - Google Patents

Anodic-electrolytic etching process to enlarge the surface of electrode starting material for electrolytic capacitors

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DE1151604B
DE1151604B DEB20819A DEB0020819A DE1151604B DE 1151604 B DE1151604 B DE 1151604B DE B20819 A DEB20819 A DE B20819A DE B0020819 A DEB0020819 A DE B0020819A DE 1151604 B DE1151604 B DE 1151604B
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Francis Joseph Peter Ju Burger
Victor Frederick George Tull
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BRITISH DIELECTRIC RES Ltd
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    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
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Description

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

B 20819 Vnic/21gB 20819 Vnic / 21g

ANMELDETAG: 16. JUNI 1952REGISTRATION DATE: JUNE 16, 1952

BEKANNTMACHUNG DER ANMELDUNG UND AUSGABE DER AUSLEGESCHRIFT: 18. JULI 1963NOTICE THE REGISTRATION AND ISSUE OF THE EDITORIAL: JULY 18, 1963

Die Erfindung bezieht sich auf ein anodisch-elektrolytisches Ätzverfahren zum Vergrößern der Oberfläche von Aluminium oder Aluminiumlegierungen als Elektrodenausgangsmaterial für Elektrolytkondensatoren, und zwar in einem solchen Ausmaß und auf eine solche Weise, daß das geätzte Metall, wenn es bei einer Spannung von 500 V anodisch formiert wird, eine hohe Kapazitätsvergrößerung aufweist.The invention relates to an anodic-electrolytic etching process for increasing the surface area of aluminum or aluminum alloys as electrode base material for electrolytic capacitors, to such an extent and in such a way that the etched metal when it is formed anodically at a voltage of 500 V, has a high capacity increase.

Zwecks Vergrößerung der Oberfläche einer solchen Elektrode sind elektrolytische Ätzverfahren in Vorschlag gebracht worden, bei welchen ein glatter oder im wesentlichen geglätteter Gleichstrom zur Anwendung kommt, und außerdem sind Ätzverfahren unter Verwendung von Wechselstrom vorgeschlagen worden.In order to enlarge the surface of such an electrode, electrolytic etching processes are proposed have been brought in which a smooth or substantially smoothed direct current is used and etching methods using alternating current have also been proposed.

Es ist zwar auch schon bekannt, bei Verfahren zur Herbeiführung einer kathodischen oder anodischen Oberflächenbehandlung von Metallen Wechselstrom unter Verwendung von überlagertem Gleichstrom zu benutzen. Bei diesem Verfahren wird jedoch bei jeder Pulsation des Behandlungsstromes die Polarität umgekehrt.It is also already known in the case of methods for bringing about a cathodic or anodic Surface treatment of metals alternating current using superimposed direct current too use. With this method, however, the polarity is changed with each pulsation of the treatment current vice versa.

Durch Anwendung des einen oder des anderen dieser Verfahren ist es möglich, eine beträchtliche Vergrößerung der Kapazität zu erzielen. Diese Vergrößerung kann ausgedrückt werden als das Verhältnis zwischen der Kapazität bei einer bestimmten bzw. gegebenen Formierspannung, die eine mit Überzug versehene Elektrode aufweist, welche eine geätzte Oberfläche hat, zu der Kapazität, die bei der gleichen Formierspannung eine in gleicher Weise mit Überzug versehene, eine glatte Oberfläche aufweisende Elektrode der gleichen Nennabmessung und Gestalt übermittelt erhält. Dieses Verhältnis soll mit Kapazitätsvergrößerung« bezeichnet werden. Durch einige der vorgeschlagenen Verfahren des elektrolytischen Ätzens von Aluminiumelektrcden ist es möglich, Kapazitätsvergrößerungen von etwa 10 in Fällen zu erzielen, bei denen die Formierspannung 100 V nicht überschreitet; jedoch ist es bisher nicht möglich gewesen, falls Formierspannungen im Bereich von 500 V zur Anwendung kamen, durch irgendeines der bekannten elektrolytischen Ätzverfahren eine Kapazitätsvergrößerung von mehr als 4 bei Folien von 0,1 mm zu erzielen, wobei diese Angabe auf Kapazitätsmessungen beruht, welche bei Elektroden ausgeführt wurden, die in einen wäßrigen Elektrolyten eintauchen, der aus einer Lösung von borsaurem Ammonium oder Borsäure derjenigen Art besteht, welche gewöhnlich zu Formierzwecken verwendet wird.By using one or the other of these methods, it is possible to achieve a considerable amount To achieve an increase in capacity. This increase can be expressed as the ratio between the capacitance at a certain or given forming voltage, the one with a coating has provided electrode, which has an etched surface, to the capacitance that at the same Forming tension a smooth surface provided in the same way with a coating Electrode of the same nominal size and shape received. This ratio should increase with capacity " are designated. By some of the proposed methods of electrolytic By etching aluminum electrodes it is possible to make capacitance increases of about 10 in cases to achieve in which the forming voltage does not exceed 100 V; however, it is not yet possible if forming voltages in the range of 500 V were used, by any of the known electrolytic etching process an increase in capacity of more than 4 in foils of 0.1 mm, this information being based on capacitance measurements carried out on electrodes were immersed in an aqueous electrolyte composed of a solution of boric acid Ammonium or boric acid of the kind which is usually used for forming purposes will.

Falls jedoch die Kapazitätswerte gemessen wurden, wenn die Elektroden in einen viskosen Arbeitselektro-If, however, the capacitance values were measured with the electrodes in a viscous working electro-

Anodisch-elektrolytisches ÄtzverfahrenAnodic-electrolytic etching process

zum Vergrößern der Oberflächeto enlarge the surface

von Elektrodenausgangsmaterialof electrode starting material

für Elektrolytkondensatorenfor electrolytic capacitors

Anmelder: British Dielectric Research Limited, LondonApplicant: British Dielectric Research Limited, London

Vertreter: Dipl.-Ing. E. Schubert, Patentanwalt, Siegen, Oranienstr. 14Representative: Dipl.-Ing. E. Schubert, patent attorney, Siegen, Oranienstr. 14th

Beanspruchte Priorität: Großbritannien vom 19. Juni 1951 (Nr. 14 559)Claimed priority: Great Britain June 19, 1951 (No. 14 559)

Francis Joseph Peter Julius Burger, London, und Victor Frederick George TuIl,Francis Joseph Peter Julius Burger, London, and Victor Frederick George TuIl,

South Harrow, Middlesex (Großbritannien), sind als Erfinder genannt wordenSouth Harrow, Middlesex (Great Britain) have been named as inventors

lyten eintauchen, der beispielsweise aus einer Lösung von borsaurem Ammonium oder Borsäure inÄthylenglykol besteht und bei den sogenannten elektrolytischen Trockenkondensatoren weit verbreitet Anwendung findet, so wurden erheblich geringere Kapazitätswerte bei Elektroden festgestellt, die mittels der bekannten Verfahren elektrolytisch geätzt wurden, was zur Folge hat, daß die Kapazitätsvergrößerung eine wesentlich geringere ist.immerse lytes, for example from a solution of boric acid ammonium or boric acid in ethylene glycol exists and is widely used in so-called electrolytic dry capacitors finds, significantly lower capacitance values were found for electrodes that were operated by means of the known method were electrolytically etched, with the result that the capacity increase is a much lower one.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum anodisch-elektrolytischen Ätzen von Folien aus Aluminium oder Aluminiumverbindungen als Elektroden für Elektrolytkondensatoren zu schaffen, durch welches eine Kapazitätsvergrößerung erzielt wird, welche wesentlich höher als die vorerwähnten ist, wobei eine Vervielfachung der Oberfläche durch Bildung von möglichst tiefen und möglichst vielen Ausätzungen pro Flächeneinheit ohne Entstehung einer Perforation der Folie erreicht wird.It is the object of the invention to provide a method for anodic-electrolytic etching of foils made of aluminum or to create aluminum compounds as electrodes for electrolytic capacitors which an increase in capacity is achieved, which is significantly higher than the aforementioned, whereby a multiplication of the surface through the formation of as deep as possible and as many as possible etchings per unit area is achieved without the formation of a perforation in the film.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß als Ätzstrom ein unipolar oberhalb eines Mindestwertes pulsierender Strom verwendet wird, der ein Pulsierungsausmaß von 50 bis 250 ■% und eine Pulsierungsfrequenz unter 2000 Hz hat, und daß das Pulsierungsausmaß innerhalb des genannten Bereiches so gewählt wird, daß bei einer nachfolgenden Formierung mit einer Spannung von 500VoIt eineThis object is achieved according to the invention in that the etching current is a unipolar above a Minimum pulsating current is used, which has a pulsation extent of 50 to 250 ■% and has a pulsation frequency below 2000 Hz, and that the amount of pulsation is within said range is chosen so that with a subsequent formation with a voltage of 500VoIt a

309 647/185309 647/185

mehr als fünffache Kapazitätsvervielfachung gegenüber einem mit ungeätztem Metall aufgebauten und in gleicher Weise formierten Kondensator eintritt.more than five times the capacity increase compared to one built with unetched metal and in the same way formed capacitor enters.

Der Ätzstrom kann dabei sinusförmig oder auch in Rechteckform pulsieren.The etching current can pulsate sinusoidally or rectangularly.

Eine weitere Ausbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß der Ätzstrom ein Gleichstrom von Rechteck- oder annähernd Rechteckform mit Stromspitzen ist, deren Dauer wesentlich kleiner als die Dauer der zwischen den aufeinanderfolgenden Stromspitzen liegenden Intervalle ist, wobei das Pulsierangsausmaß nicht kleiner als 80 %> gewählt wird.Another embodiment of the method according to the invention is that the etching current is a Direct current of rectangular or approximately rectangular shape with current peaks is essential, the duration of which is shorter than the duration of the intervals between the successive current peaks, the degree of pulsation being selected to be no smaller than 80%.

Der Ätzstrom kann auch ein solcher mit gerundeter Scheitelform sein, welcher durch Gleichrichtung und teilweises Glätten von Netzwechselstrom oder Wechselstrom mit Sinuswellenform oder annähernd Sinuswellenform erzielt wird, wobei dann das PuI-sierungsausmaß im Bereich von 80 bis 150% gewählt wird.The etching current can also be one with a rounded apex shape, which is caused by rectification and partial smoothing of mains alternating current or alternating current with sine wave form or approximate Sinusoidal waveform is obtained, then the amount of pulsation is chosen in the range of 80 to 150%.

Unter einem unipolar, oberhalb eines Mindestwertes pulsierenden Gleichstrom soll ein in einer Richtung fließender ununterbrochener Strom verstanden werden, dessen Stromwert sich periodisch ändert, und unter dem Ausdruck »Pulsierungsausmaß« soll die Gesamtstromänderung verstanden werden, ausgedrückt in Prozent des Strommittelwertes. Es ist bereits ein elektrolytisches Wechselstrom-Ätzverfahren vorgeschlagen worden, mittels welchem die wirksame Oberfläche einer mit einem Überzugfilm versehenen Elektrode eines Elektrolytkondensators vergrößert werden soll. Dieses Verfahren ergibt eine Kapazitätsvergrößerung, welche nur wenig größer ist als diejenige, die durch ein Ätzverfahren mit geglättetem Gleichstrom erreicht werden kann, jedoch viel geringer ist als diejenige, welche durch einen unipolar, oberhalb eines Mindestwertes pulsierenden Gleichstrom erhalten wird, falls die übrigen Bedingungen gleich sind. Dieses bekannte Verfahren ist von unerwünschten Nebenwirkungen begleitet, nämlich von einem außergewöhnlich hohen Verlustfaktor und einer Oberflächenverunreinigung.Under a unipolar, pulsating direct current above a minimum value, a in a Direction of flowing uninterrupted current can be understood, the current value of which changes periodically changes, and the term "degree of pulsation" should be understood to mean the total change in current, expressed as a percentage of the mean current value. It is already an alternating current electrolytic etching process has been proposed by means of which the effective surface of one with a coating film provided electrode of an electrolytic capacitor is to be enlarged. This procedure yields an increase in capacity which is only slightly greater than that obtained by an etching process can be achieved with smoothed direct current, but is much less than that which is achieved by a unipolar, pulsating direct current above a minimum value is obtained, if the others Conditions are the same. This well-known procedure is accompanied by undesirable side effects, namely from an exceptionally high loss factor and surface contamination.

Es ist festgestellt worden, daß dann, wenn andere Faktoren konstant gehalten werden, bei einem bestimmten mittleren Stromwert die Ätztiefe mit dem Pulsierangsausmaß zunimmt, und ein hohes Pulsierungsausmaß begünstigt die Entstehung von tiefen Ausätzungen. Die Ausätzungen sind, wenn keine hohe mittlere Stromdichte zur Anwendung kommt, zwar tief, jedoch nur in geringer Anzahl erzielbar. Durch Verwendung eines unipolar, oberhalb eines Mindestwertes pulsierenden Stromes mit hoher mittlerer Dichte und einem hohen Pulsierangsausmaß werden tiefe Ausätzungen in großer Anzahl pro Flächeneinheit der Elektrode erzielt. Da jede tiefe Ausätzung eine starke örtliche Vergrößerung der wirksamen Oberfläche der Elektrode mit sich bringt, ergibt die Kombination eines hohen Pulsierungsausmaßes mit einer hohen Stromdichte eine starke Kapazitätsvergrößerung. Das Pulsierangsausmaß des Stromes, welches zur Anwendung kommen kann, um eine geätzte und im wesentlichen formierte Elektrode zu erzielen, welche einen Vergrößerungsfaktor bei 500VoIt Formierspannung aufweist, der wesentlich höher ist als derjenige bei den bekannten elektrolytischen Verfahren, bei welchen ein im wesentlichen geglätteter Gleichstrom zur Anwendung kommt, hängt ab von der Wellenform, Frequenz und mittleren Dichte des zur Anwendung kommenden pulsierenden und ununterbrochenen Gleichstroms, von der Zusammensetzung und Konzentration des Elektrolyten und von der Ätztiefe, die bestimmt wird durch die Dicke der Elektrode und durch die Bedingung, daß eine Perforation vermieden werden muß.It has been found that when other factors are held constant, a particular one mean current value, the etching depth increases with the degree of pulsation, and a large amount of pulsation favors the formation of deep etching. The etchings are, if none high average current density is used, although low, but only achievable in small numbers. By using a unipolar current pulsating above a minimum value with a high average Density and a high degree of pulsation, deep etchings are produced in large numbers per Unit area of the electrode achieved. Since every deep erosion is a strong local enlargement of the brings effective surface area of the electrode with it, results in the combination of a large amount of pulsation with a high current density, a large increase in capacity. The extent of pulsation of the Current that can be used around an etched and essentially formed electrode to achieve, which has a magnification factor at 500VoIt forming voltage, which is essential is higher than that in the known electrolytic processes in which a substantially Smoothed direct current is used depends on the waveform, frequency and mean Density of the pulsating and uninterrupted direct current used from which Composition and concentration of the electrolyte and the etching depth, which is determined by the thickness of the electrode and the condition that perforation must be avoided.

Es wurde bereits erwähnt, daß unter einem unipolar, oberhalb eines Mindestwertes pulsierenden Gleichstrom ein Strom verstanden werden soll, ίο dessen Größenwert sich periodisch ändert. Die Art oder Form der Pulsation kann ganz verschieden sein. Beispiele solcher Ströme, welche sich als brauchbar herausgestellt haben, sind in Fig. 1 dargestellt, in welcher die Kurve (α) eine Zeit-Strom-Kurve eines pulsierenden Gleichstroms wiedergibt, bei welchem die Pulsation sinusförmig ist. Er kann beispielsweise dadurch erzeugt werden, daß ein Wechselstrom mit Sinuswellenform einem Gleichstrom überlagert wird. Dies kann, wie aus Fig. 2 hervorgeht, mittels eines Transformators 1 geschehen, welcher von einer Wechselstromquelle 2 über einen Spannungsregler 3 gespeist wird und dessen Sekundärwicklung in Reihe mit einer Gleichstromquelle 4 hegt, deren Stromkreis über die Aluminiumanode 5 und die Kathode 6 eines Ätzbades 7 verläuft, wobei zweckmäßig ein Regel-. widerstand 8 im Stromkreis und, falls erforderlich, eine Drossel 9 und ein Nebenschlußkondensator 10 vorgesehen werden können.It has already been mentioned that pulsating below a unipolar, above a minimum value Direct current is to be understood as a current whose magnitude changes periodically. The kind or the form of the pulsation can be quite different. Examples of such currents which turn out to be useful have shown are shown in Fig. 1, in which the curve (α) is a time-current curve of a reproduces pulsating direct current, in which the pulsation is sinusoidal. For example, he can can be generated by superimposing an alternating current having a sinusoidal waveform on a direct current. This can be done, as can be seen from Fig. 2, by means of a transformer 1, which of a AC power source 2 is fed via a voltage regulator 3 and its secondary winding in series with a direct current source 4, the circuit of which is via the aluminum anode 5 and the cathode 6 Etching bath 7 runs, expediently a rule. resistor 8 in the circuit and, if necessary, a choke 9 and a shunt capacitor 10 can be provided.

Die Kurve (Jb) in Fig. 1 stellt einen pulsierenden ununterbrochenen Gleichstrom von Rechteckform dar, bei welchem die Zeitdauer der einzelnen Stromspitzen gleich der Dauer der zwischenliegenden Intervalle ist, während die Kurve (c) einen pulsierenden ununterbrochenen Gleichstrom von Rechteckform wiedergibt, bei welchem die Stromspitzen bedeutend schmäler als die Zwischenräume sind. Die Kurve (d) stellt andererseits einen pulsierenden ununterbrochenen Gleichstrom dar, der ebenfalls Rechteckform hat, bei welchem jedoch die Dauer der einzelnen Stromspitzen größer ist als die Zeitdauer zwischen diesen. Ein pulsierender ununterbrochener Gleichstrom dieser drei Wellenformen kann, wie in Fig. 3 gezeigt, mittels eines veränderbaren Widerstandes 11 in Reihe mit einem Stromkreis erzeugt werden, welcher von einer Gleichstromquelle 4 nach der Anode 5 und der Kathode 6 des Ätzbades 7 verläuft und einen kraftangetriebenen Drehschalter 12 aufweist, dessen Kontakte eine entsprechende Bogenlänge zwecks periodischen Kurzschließens des Widerstandes 11 haben. Ein Spannungsregler ist bei 13 angedeutet. Statt durch einen Drehschalter 12 kann das Kurzschließen des Widerstandes 11 auch mittels eines Thyratron-Zeitschaltwerks bewirkt werden, welches periodisch durch eine Kondensatorsteuerung ausgelöst wird. Die Kurve (e) ist eine Zeit-Strom-Kurve eines unipolar, oberhalb eines Mindestwertes pulsierenden ununterbrochenen Gleichstroms mit abgerundeten Spitzenwerten, welcher durch eine Schaltungsanordnung, wie sie in Fig. 4 gezeigt ist, erzeugt werden kann.
Diese Schaltungsanordnung weist einen Zweiwegegleichrichter 14 auf, welcher von einer Wechselstromquelle 2 über einen Regler 3 und einen Transformator 1 gespeist wird. Der Gleichrichter 14 beliefert das Ätzbad mit den Elektroden 5 und 6 über eine regelbare Dämpfungs- bzw. Glättungseinrichtung, welche aus einem veränderbaren Kondensator 15 und/oder einer veränderbaren Drossel 16 gebildet wird, so daß der Stromspitzenverlauf des Ausgangs-
The curve (Jb) in Fig. 1 represents a pulsating uninterrupted direct current of rectangular shape, in which the duration of the individual current peaks is equal to the duration of the intermediate intervals, while the curve (c) represents a pulsating uninterrupted direct current of rectangular shape, in which the Current peaks are significantly narrower than the spaces between them. Curve (d) , on the other hand, represents a pulsating uninterrupted direct current, which also has a rectangular shape, but in which the duration of the individual current peaks is greater than the duration between them. A pulsating uninterrupted direct current of these three waveforms can, as shown in Fig. 3, be generated by means of a variable resistor 11 in series with a circuit which runs from a direct current source 4 to the anode 5 and the cathode 6 of the etching bath 7 and a power-driven rotary switch 12 has, the contacts of which have a corresponding arc length for the purpose of periodic short-circuiting of the resistor 11. A voltage regulator is indicated at 13. Instead of a rotary switch 12, the short-circuiting of the resistor 11 can also be effected by means of a thyratron timer, which is triggered periodically by a capacitor control. Curve (e) is a time-current curve of a unipolar, uninterrupted direct current pulsing above a minimum value with rounded peak values, which can be generated by a circuit arrangement as shown in FIG.
This circuit arrangement has a full-wave rectifier 14 which is fed from an alternating current source 2 via a regulator 3 and a transformer 1. The rectifier 14 supplies the etching bath with the electrodes 5 and 6 via a controllable damping or smoothing device, which is formed from a variable capacitor 15 and / or a variable choke 16, so that the current peak profile of the output

stromes entsprechend eingeregelt werden kann. Die Kurve (/) in Fig. 1 ist eine Zeit-Strom-Kurve eines pulsierenden ununterbrochenen Gleichstromes mit einer Wellenform, welche stärker ausgeprägte Stromspitzen als die Kurve (e) aufweist. Die Wellenform ist angenähert rechteckig, und sie kann durch Zweiwegegleichrichtung eines Wechselstromes erzielt werden, dessen Wellenform erheblich von der Sinuswellenform abweicht, wobei ein Glätten in entsprechendem Ausmaß vorgenommen wird. Weitere brauchbare Wellenformen für den pulsierenden ununterbrochenen Gleichstrom können durch Versuche ermittelt werden, wobei davon ausgegangen werden muß, daß eine schnelle Pulsierung mit einem verhältnismäßig kleinen, aber immer noch merklichen ununterbrochenen Stromfluß während der Intervalle zwischen den Impulsen miteinander kombiniert auftreten müssen. Hier sei vermerkt, daß ungeglätteter gleichgerichteter Strom aus einem Dreiphasenwechsel-current can be regulated accordingly. The curve (/) in Fig. 1 is a time-current curve of a pulsating uninterrupted direct current with a waveform which has more pronounced current peaks than the curve (e) . The waveform is approximately rectangular, and it can be obtained by two-way rectification of an alternating current whose waveform is significantly different from the sinusoidal waveform, and smoothing is performed to the same extent. Other useful waveforms for the pulsating uninterrupted direct current can be determined by experiment, it must be assumed that a rapid pulsation combined with a relatively small but still noticeable uninterrupted current flow must occur during the intervals between the pulses. It should be noted here that unsmoothed rectified current from a three-phase alternation

Bezüglich der Zusammensetzung und der Konzentration des Elektrolyten gelten folgende Bedingungen: The following conditions apply to the composition and concentration of the electrolyte:

1. Das rein chemische Angriffsvermögen, welches der Elektrolyt in bezug auf die zu ätzende Elektrode aufweist, muß klein sein, so daß die Eigentümlichkeiten der erzeugten Ätzung durch elektrische Regelung wirksam gesteuert werden können.1. The purely chemical attack power which the electrolyte has in relation to the electrode to be etched has to be small so that the peculiarities of the etching produced by electrical regulation can be effectively controlled.

2. Der Elektrolyt darf weder unmittelbar noch mittelbar vom durchgehenden Strom verändert oder in seinem Aufbau gestört werden können.2. The electrolyte must not be changed or changed either directly or indirectly by the current passing through it can be disturbed in its structure.

3. Der Elektrolyt darf nicht die Bildung einer Anodenschicht mit hohem Widerstand auf der zu ätzenden Elektrode bewirken.3. The electrolyte must not cause the formation of a high resistance anode layer on the cause electrode to be etched.

Beispiele von Elektrolyten, die diesen Bedingungen genügen und welche sich als brauchbar erwiesenExamples of electrolytes which meet these conditions and which have been found to be useful

stromnetz bzw. einem Drehstromnetz mit Sinuswellen- 20 haben, sind Chloride, Chlorate, Bromide und Jodide form nicht brauchbar ist, da das Ausmaß der Pul- von Natrium, Kalium und Ammonium. Unter diesen sierung (15,3 für Halbwellengleichrichtung) zu gering Stoffen wird dem Natriumchlorid wegen seiner Billigist, und daß ungeglätteter gleichgerichteter Strom aus keit der Vorzug gegeben. Elektrolyte, von denen beeinem Einphasenwechselstromnetz mit Sinuswellen- kannt ist, daß sie für Ätzvorgänge mit Gleichstrom form ebenfalls unbrauchbar ist, da selbst bei Zwei- 25 nicht brauchbar sind, sollten für das erfindungswegegleichrichtung das Pulsierangsausmaß 157°/» gemäße Verfahren nicht verwendet werden. Die Konbeträgt, welches sich als zu hoch für diese Wellen- zentration des Elektrolyten soll so klein wie möglich form herausgestellt hat, um eine Ätzung zu ergeben, gehalten werden. In der Praxis wird die untere welche sich durch eine starke Kapazitätsvergrößerung Grenze durch die niedrige elektrische Leitfähigkeit auszeichnet, oder mit anderen Worten: der Minimum- 30 von stark verdünnten Lösungen bestimmt, welche wert des Stroms zwischen den Impulsen ist zu klein. eine übergroße Wärmeentwicklung zur Folge hat. Das Pulsierungsausmaß, welches zur Anwendung Brauchbare Konzentrationen liegen zwischen 0,1-undelectricity network or a three-phase network with sine waves are chlorides, chlorates, bromides and iodides form is not usable because of the extent of the powder of sodium, potassium and ammonium. Under these ization (15.3 for half-wave rectification) too low and that unsmoothed rectified current is preferred. Electrolytes, one of which Single-phase alternating current network with sine waves is known that it is used for etching processes with direct current form is also useless, since even with two 25 are not usable, should for the inventive way rectification the degree of pulsation 157 ° / »according to the method are not used. The amount is which turns out to be too high for this wave centering of the electrolyte should be as small as possible shape turned out to be etched. In practice, the lower which is characterized by a strong increase in capacity limit due to the low electrical conductivity or in other words: the minimum of highly dilute solutions determines which value of the current between the pulses is too small. results in excessive heat generation. The extent of pulsation, which concentrations can be used for the application, are between 0.1 and

kommen kann, um wirtschaftlich brauchbare Ergebnisse zu erzielen, ist als im Bereich von 50 bis 2OOfl/ocan come to achieve commercially viable results is than in the range of 50 to 2OO fl / o

0,2 n, während Konzentrationen, welche wesentlich höher als 0,2 η liegen, sich als unbrauchbar erwiesen0.2 n, while concentrations which are significantly higher than 0.2 η have proven to be unusable

für einen pulsierenden ununterbrochenen Gleichstrom 35 haben,for a pulsating uninterrupted direct current have 35,

mit Sinuswellenform, wie durch die Kurve (α) in Die Ätztiefe hängt naturgemäß von der Dicke derwith sine wave form, as indicated by the curve (α) in The etching depth naturally depends on the thickness of the

Fig. 1 gezeigt, liegend ermittelt worden, während hin- Folie oder des sonstigen Körpers, welcher die zuFig. 1 has been determined lying down, while back slide or the other body, which the to

gegen für Ströme mit Rechteckwellenform gemäß ätzende Elektrode abgibt, ab. Sie wird zweckmäßigagainst for currents with square wave form according to corrosive electrode emits. It becomes functional

Kurve {b) der brauchbare Bereich etwas kleiner ist so groß wie möglich gewählt, ohne daß dadurch dieCurve {b) the useful range is chosen to be somewhat smaller and as large as possible without affecting the

und zwischen 80 und 195% liegt. Für Ströme mit 40 Gefahr des Auftretens von Perforationen entstehenand is between 80 and 195%. For currents with 40 risk of perforations occurring

der Kurvenform (c) liegt der Bereich zwischen 80 darf. Die Dauer des Ätzvorgangs ist daher von derthe curve shape (c) is in the range between 80. The duration of the etching process is therefore of the

und 250 0Zo, und zwar je nach der Dauer der ein- Stärke der Folie abhängig, wenn die anderen Ver-and 250 0 Zo, depending on the duration of the one thickness of the film when the other

zelnen Impulse im Vergleich zur Dauer der Intervalle Suchsbedingungen konstant sind, und Bestzeitenindividual impulses compared to the duration of the intervals search conditions are constant, and best times

(je kürzer die Impulse, desto höher das zulässige können ohne weiteres durch Versuche für jede Elek-(the shorter the impulses, the higher the permissible can easily be done through experiments for each elec-

Pulsierungsausmaß). Für teilweise geglätteten zwei- 45 trode festgelegt werden.Amount of pulsation). For partially smoothed two- 45 trode be set.

weggleichgerichteten Einphasenwechselstrom [Kurve Das Pulsierungsausmaß zur Erzielung des höchstenrectified single-phase alternating current [curve The amount of pulsation required to achieve the highest

(e)] ist der Bereich noch kleiner, und zwar Hegt er oder eines beliebigen anderen Wertes einer Kapazi-(e)] the range is even smaller, namely if it or any other value of a capacitance

zwischen 80 und 15O°/o. Die brauchbaren Bereiche für das Pulsierungsausmaß von pulsierenden ununter-between 80 and 150 ° / o. The usable areas for the degree of pulsation of pulsating uninterrupted

tätsvergrößerung hängt ab von den vorerwähnten anderen Faktoren und kann ebenfalls durch Versuchecapacity increase depends on the aforementioned others Factors and can also be done through trials

brochenen Gleichströmen abweichender Wellenformen 50 ermittelt werden. Ein brauchbarer Versuchsablauf istBroken direct currents of deviating waveforms 50 can be determined. A useful experimental procedure is

können unschwer durch Versuche ermittelt werden. Die Frequenz der Pulsation kann sich in verhältnismäßig weiten Grenzen von einigen wenigen Schwingungen in der Sekunde bis zu 2000 Hz verfolgender: can easily be determined through experiments. The frequency of the pulsation can vary in proportion wide limits from a few oscillations per second up to 2000 Hz following:

Ein billiger und im Handel leicht erhältlicher Elektrolyt wird gewählt, beispielsweise 0,2 n-NaCl-Lösung. Ein pulsierender ununterbrochener Gleichstrom mit ändern. Der bevorzugte Bereich liegt zwischen 50 55 geeigneter Wellenform und Frequenz wird ent- und 250 Hz. sprechend der zur Verfügung stehenden elektrischenA cheap and commercially available electrolyte is chosen, for example 0.2N NaCl solution. A pulsating continuous direct current with changing. The preferred range is between 50 and 55 suitable waveform and frequency is de- and 250 Hz. speaking of the available electrical

Es wurde bereits erwähnt, daß die mittlere Stromdichte des pulsierenden ununterbrochenen Gleichstroms hoch gewählt werden soll. In der Praxis wirdIt has already been mentioned that the mean current density of the pulsating uninterrupted direct current should be chosen high. In practice it will

Anlage verwendet. Die Stromdichte wird so hoch gewählt, wie dies für das besondere Ätzgerät zulässig ist, welches für die Durchführung dieses VerfahrensPlant used. The current density is chosen as high as this is permissible for the particular etching device is which one to carry out this procedure

diese Stromdichte jedoch durch die Heftigkeit der 60 benutzt wird. Die Ätzzeit wird so gewählt, daß die Gas- und Wärmeentwicklung beim Ätzvorgang be- Größtmenge von Metall abgetragen werden kann, grenzt. Es ist zweckmäßig, in der Nähe der oberen ohne daß eine Perforation entsteht. Nachdem alle Grenzen zu arbeiten, was natürlich vom Aufbau der diese Faktoren festgelegt worden sind, bleibt nur verwendeten Anlage abhängt, insbesondere davon, noch übrig, eine Reihe von Versuchen mit verschieob und welche Vorkehrungen für die Ableitung der 65 denen Pulsierungsausmaßen durchzuführen, um festim Ätzbad erzeugten Wärme getroffen werden. Bei- zustellen, welches die höchste Kapazitätsvergrößerung spiele von Stromdichten innerhalb dieses bevorzugten ergibt. Diese empirische bzw. experimentelle Ermitt-Bereiches sind Stromdichten von 0,5 bis 0,6 A/cm2. lung kann durch visuelle Untersuchung der geätztenhowever, this current density is used by the violence of the 60th. The etching time is chosen in such a way that the gas and heat development during the etching process can be limited to the largest amount of metal. It is convenient to be close to the top without creating a perforation. After all the limits of working, which of course have been determined by the structure of these factors, only depends on the system used, in particular on it, a series of experiments with postponed and what precautions to be taken for the derivation of the pulsation levels in order to get stuck in the etching bath generated heat. Provide which results in the highest capacity increase play of current densities within this preferred one. These empirical or experimental detection ranges are current densities of 0.5 to 0.6 A / cm 2 . lung can be determined by visual examination of the etched

Folie (oder des sonstigen Körpers) wesentlich gefördert werden. Wenn das Pulsierungsausmaß zu klein ist, dann hat die geätzte Folie ein dunkelgraues Aussehen, wobei die gesamte Oberfläche angegriffen ist. Ist das Pulsierungsausmaß jedoch zu hoch, dann erscheint die geätzte Folie ziemlich hell, wobei ein beträchtlicher Teil der Oberfläche nicht angegriffen bleibt. Die Folie ist an vielen Stellen perforiert, wo ein Angriff stattgefunden hat. Wenn das richtige Pulsierungsausmaß zur Anwendung kommt, dann ist die Gesamfläche der Folie angegriffen, wobei jedoch keine Perforationen aufgetreten sind und die Folie ein hellgraues Aussehen hat. Eine genauere Bestimmung des Vergrößerungsfaktors kann dadurch ausgeführt werden, daß ein Querschnitt der geätzten Folie mikroskopisch untersucht wird.Foil (or other body) are significantly promoted. When the amount of pulsation is too small is, then the etched film has a dark gray appearance, with the entire surface attacked. However, if the amount of pulsation is too high, the etched foil will appear quite bright, with a considerable one Part of the surface remains unaffected. The film is perforated in many places where an attack has taken place. If the right amount of pulsation is used, this is it Total area of the film attacked, but no perforations have occurred, and the film has a light gray appearance. A more precise determination of the magnification factor can thereby be carried out that a cross section of the etched foil is examined microscopically.

Die Fig. 5, 6 und 7 zeigen mikroskopische Aufnahmen solcher Querschnitte, wobei das Vorhandensein von FoKe in Weiß auf schwarzem Untergrund sichtbar ist. Die in Fig. 5 gezeigte Folie ist mit geglättetem Gleichstrom geätzt worden, während die in Fig. 6 wiedergegebene Folie mit einem pulsierenden Gleichstrom hergestellt wurde, bei welchem das Pulsierungsausmaß zu hoch für die Stromdichte, Wellenform, Frequenz und die Art des verwendeten Elektrolyten war. Bei dem in Fig. 7 gezeigten Ausführungsbeispiel ist hingegen eine Ätzung mit einem pulsierenden ununterbrochenen Gleichstrom erfolgt, bei dem das Pulsierungsausmaß für die verwendete Stromdichte, Wellenform, Frequenz und den gewählten Elektrolyten richtig war, wobei die Arbeitsbedingungen hierfür in der nachfolgenden Tabelle unter Beispiele angegeben werden. Wenn sich herausgestellt hat, daß das Pulsierungsausmaß zu hoch oder zu niedrig ist, so kann es entweder verringert oder entsprechend erhöht werden, es kann aber auch andererseits, da mit zunehmender Frequenz der Pulsierung der Wert für das optimale Pulsierungsausmaß abnimmt, mit zunehmender Stromdichte der Wert des optimalen Pulsierungsausmaßes zunimmt und bei zunehmender Folienstärke die Größe der Pulsierung und der Ätzzeit zunehmen kann, das Pulsierungsausmaß auf dem gleichen Wert gehalten werden, während einer oder mehrere der anderen vorerwähnten Faktoren in entsprechender Richtung verändert werden können, bis das ausgewählte Pulsierungsausmaß eine geätzte Folie mit der gewünschten hohen Kapazitätsvergrößerung ergibt. Wenn Teile der Oberfläche der Folie nicht angegriffen bleiben, so kann es notwendig werden, die mittlere Stromdichte des pulsierenden Stromes zu erhöhen. Die nachfolgenden Beispiele von Ätzverfahren gemäß der Erfindung, nämlich die Beispiele 2 bis 15, sind angegeben worden, um die ausgezeichneten Ergebnisse zum Ausdruck zu bringen, welche erzielbar sind, und um die Erfindung in der Praxis ausführen zu können, ohne daß es erforderlich ist, durch Versuche die verschiedenen Faktoren zu bestimmen, die erforderlich sind, um geätzte Aluminiumfolien zu erzielen, die bei Verwendung einer Formierspannung von 500 Volt Kapazitätsvergrößerungen zeigen, welche wesentlich höher liegen als diejenigen, die durch bekannte elektrolytische Ätzverfahren erreichbar sind, bei denen im wesentlichen geglätteter Gleichstrom, Wechselstrom oder nur die positiven Halbwellen von Wechselstrom zur Anwendung kommen. Die Beispiele la bis Ic sollen daher, soweit ein Vergleich in Betracht kommt, ausgeschlossen sein.5, 6 and 7 show microscopic photographs of such cross-sections, with the presence von FoKe is visible in white on a black background. The film shown in Fig. 5 is smoothed Direct current has been etched, while the film shown in Fig. 6 with a pulsating Direct current has been produced in which the amount of pulsation is too high for the current density, waveform, Frequency and type of electrolyte used was. In the exemplary embodiment shown in FIG. 7, however, there is an etching with a pulsating one uninterrupted direct current takes place, in which the degree of pulsation for the current density used, Waveform, frequency and the chosen electrolyte was correct, given the working conditions for this purpose are given in the table below under Examples. When it turned out has that the amount of pulsation is too high or too low, it can either be reduced or be increased accordingly, but it can also on the other hand, since the value for the optimal pulsation extent with increasing frequency of the pulsation decreases, with increasing current density, the value of the optimum pulsation amount increases, and with increasing Film thickness, the size of the pulsation and the etching time can increase, the amount of pulsation be kept at the same value during one or more of the other aforementioned Factors can be changed in the appropriate direction until the selected degree of pulsation results in an etched foil with the desired high capacity increase. When parts of the surface the foil does not remain attacked, so it may be necessary to determine the mean current density of the pulsating To increase the current. The following examples of etching processes according to the invention, namely, Examples 2-15, have been given to express the excellent results to bring what can be achieved, and to carry out the invention in practice, without that it is necessary to determine, through experimentation, the various factors which are necessary, in order to achieve etched aluminum foils that increase capacity when using a forming voltage of 500 volts show which are significantly higher than those produced by known electrolytic Etching processes are achievable in which essentially smoothed direct current, alternating current or only the positive half-waves of alternating current are used. The examples la to Ic should therefore, insofar as a comparison is considered, be excluded.

Beispielexample

StromquellePower source

Wellenform Frequenz
(Hertz)
Waveform frequency
(Hertz)

Pulsierungsausmaß Amount of pulsation

Wäßriger ElektrolytAqueous electrolyte

Kapazitätsvergrößerung Capacity expansion

bei 500 Volt Formierspannung at 500 volts forming voltage

lala

IbIb

IcIc

Geglätteter Gleichstrom
Wechselstrom
Smoothed direct current
Alternating current

Nur positive Halbwellen von
Wechselstrom
Only positive half-waves of
Alternating current

Gleichstrom + Transformator
(Fig. 2)
DC + transformer
(Fig. 2)

Gleichstrom + Transformator
(Fig. 2)
DC + transformer
(Fig. 2)

Gleichstrom + Transformator
(Fig. 2)
DC + transformer
(Fig. 2)

Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)

Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)

Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)

Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)

Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)

SinusSine 5050 SinusSine 5050 SinusSine 5050 SinusSine 11401140 SinusSine 20002000 Rechteckrectangle 1010 Rechteckrectangle 130130 Rechteckrectangle 130130 Rechteckrectangle 130130 Rechteckrectangle 130130

160160

8080

6565

140140

170170

160160

180180

180180

0,21 n-NaCl 0,01 n-HCl0.21 n-NaCl 0.01 n-HCl

0,21 n-NaCl 0,01 n-HCl0.21 n-NaCl 0.01 n-HCl

0,21 n-NaCl 0,01 n-HCl0.21 n-NaCl 0.01 n-HCl

0,21 n-NaCl 0,01 n-HCi0.21 n-NaCl 0.01 n-HCl

0,21 n-NaCl 0,01 n-HCl0.21 n-NaCl 0.01 n-HCl

0,21 n-NaCl 0,01 n-HCl0.21 n-NaCl 0.01 n-HCl

f 0,21 n-NaCl \ 0,01 n-HClf 0.21 n-NaCl \ 0.01 n-HCl

0,11 n-NaCl 0,005 n-HCl0.11 n-NaCl 0.005 n-HCl

J 0,21 n-NaCl \ \ 0,0In-HCl jJ 0.21 n-NaCl \ \ 0.0 In-HCl j

0,68 n-NaCl 0,2 n-NH,Cl0.68 n-NaCl 0.2 n-NH, Cl

3,7 4,6 2,9 8,2 5,2 4,8 5,5 12,4 8,7 6,9 8,03.7 4.6 2.9 8.2 5.2 4.8 5.5 12.4 8.7 6.9 8.0

99 WellenformWaveform Frequenzfrequency Pulsierungs-
ausmaß
Pulsation
extent
1010 KapazitätsCapacity
(Hertz)(Hertz) vergrößerung
bei 500 Volt
Formier
enlargement
at 500 volts
Formier
Beispielexample StromquellePower source Rechteckrectangle 130130 180180 Wäßriger
Elektrolyt
Waterier
electrolyte
spannungtension
Rechteckrectangle 130130 140140 7,87.8 1010 Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)
Rechteckrectangle 130130 180180 0,2 n-KBr0.2 n-KBr 7,87.8
1111 Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)
Rechteckrectangle 200200 140140 0,2 n-KI0.2 n-KI 8,28.2
1212th Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)
KurveCurve 100100 140140 0,2 n-KClO„0.2 n-KClO " 9,79.7
1313th Gleichstrom + Schalter
(Fig. 3)
DC + switch
(Fig. 3)
Rechteckrectangle 130130 250250 f 0,21 n-NaCl ]
I 0,01 n-HCl j
f 0.21 n-NaCl]
I 0.01 n-HCl j
8,38.3
1414th Einphasengleichrichter
+ Drossel (Fig. 4)
Single phase rectifier
+ Throttle (Fig. 4)
J 0,21 n-NaCl 1
\ 0,01 n-HCl J
J 0.21 n-NaCl 1
\ 0.01 n-HCl J.
77th
1515th Fig. 3-Anordnung, jedoch mit
Impulsperiode 24 % der
Schwingung
Fig. 3 arrangement, but with
Pulse period 24% of
vibration
[ 0,21 n-NaCl 1
\ 0,01 n-HCl J
[0.21 N NaCl 1
\ 0.01 n-HCl J.

Die vorerwähnten Ergebnisse wurden bei Aluminiumfolien mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % erzielt, außer im Falle des Beispiels 7, wo eine »überreine« Folie verwendet wurde, jedoch können auch Folien mit anderen Reinheitsgraden benutzt werden. In allen Fällen betrug die ursprüngliche Folienstärke 0,1 mm; doch ist natürlich die Erfindung in dieser Hinsicht nicht begrenzt. In allen Fällen betrug die Stromdichte des Ätzstromes 0,5 A/cm2, und die Dauer des Ätzvorgangs betrug 2 Minuten und 24 Sekunden. Die Ätztemperatur lag in der Nähe des Siedepunktes des Elektrolyten.The above-mentioned results were obtained with aluminum foils with a degree of purity of 99.8%, except in the case of Example 7, where an "over-pure" foil was used, but foils with other degrees of purity can also be used. In all cases the original film thickness was 0.1 mm; however, of course, the invention is not limited in this regard. In all cases, the current density of the etching current was 0.5 A / cm 2 and the duration of the etching process was 2 minutes and 24 seconds. The etching temperature was close to the boiling point of the electrolyte.

Im allgemeinen ist es bei der Herstellung von Elektrolytkondensatoren, die Elektroden aus geätzter Aluminiumfolie aufweisen, üblich, die Aluminiumfolie für das Ätzen dadurch vorzubereiten, daß sie wärmebehandelt und/oder entfettet wird und daß Oxydationen oder andere Verunreinigungen der Oberfläche durch Behandlung mit einer Lösung von Ätznatron oder mit einem anderen geeigneten chemischen Reagens entfernt werden. Die gleiche Praxis kann im allgemeinen beim erfindungsgemäßen Verfahren des Ätzens, soweit Folien aus Aluminium oder Aluminiumverbindungen in Betracht kommen, angewendet werden, es sei denn, daß der Zustand der Folie ein solcher ist, daß die eine oder die andere der Vorbehandlungsmaßnahmen sich erübrigt. Ein Anzeichen dafür, ob eine Vorbehandlung erforderlich ist, kann dadurch erhalten werden, daß ein Muster einer handelsüblichen Folie einem Gleichstrom-Ätzverfahren gemäß Beispiel 1 a unterworfen wird. Wenn dieses nicht zu einer federartigen Ätzung der gesamten Oberfläche derjenigen Art führt, die in Fig. 5 gezeigt ist, dann sollten die übrigen Folien einer Vorbehandlung unterzogen werden, bevor diese einem Ätzverfahren mit pulsierendem ununterbrochenem Gleichstrom gemäß der Erfindung unterworfen werden. Es ist einleuchtend, daß der genaue Verlauf der Vorbehandlung, falls eine solche erforderlich ist, vom Zustand der Folie, wie sie im Handel geliefert wird, abhängig ist. Eine Vorbehandlung, welche sich in vielen Fällen als brauchbar herausgestellt hat und welcher alle Folien der Beispiele 1 bis 15 unterworfen wurden, besteht zunächst in einer Wärmebehandlung der Folie bei 6000C während zweier Stunden, woraufhin die Folie durch 2 Minuten langes Eintauchen in eine 0,02n-Lösung von Ätznatron bei 90° C vorgereinigt wird.In general, in the manufacture of electrolytic capacitors having electrodes made of etched aluminum foil, it is customary to prepare the aluminum foil for etching by heat treatment and / or degreasing and that oxidation or other contamination of the surface by treatment with a solution of caustic soda or removed with another suitable chemical reagent. The same practice can generally be used in the process of etching according to the invention insofar as foils made of aluminum or aluminum compounds are concerned, unless the condition of the foil is such that one or the other of the pretreatment measures is unnecessary. An indication of whether a pretreatment is required can be obtained by subjecting a sample of a commercially available film to a direct current etching process according to Example 1a. If this does not result in a feather-like etching of the entire surface of the type shown in FIG. 5, then the remaining foils should be subjected to a pretreatment before they are subjected to an etching process with pulsating uninterrupted direct current according to the invention. It is evident that the exact course of the pretreatment, if such is necessary, depends on the condition of the film as it is supplied on the market. A pretreatment, which has been found to be useful in many cases and to which all films of Examples 1 to 15 were subjected, initially consists of a heat treatment of the film at 600 ° C. for two hours, whereupon the film is immersed in a 0 for 2 minutes .02n solution of caustic soda is pre-cleaned at 90 ° C.

Die im vorstehenden aufgeführten Kapazitätsvergrößerungen werden erzielt, wenn die geätzten und nachfolgend anodisch formierten Folien in einen wäßrigen Elektrolyten eingetaucht werden. Wenn die geätzten und formierten Folien für viskose Arbeitselektrolyten benutzt werden, so werden die Vergrößerungen um etwa 10 bis 25 % verringert. Es ist ersichtlich, daß bei allen erfindungsgemäßen Beispielen die erzielten Kapazitätsvergrößerungen wesentlich höher sind, als sie durch Ätzen mit geglättetem Gleichstrom erzielt werden können, wobei sie in den meisten Fällen mehr als doppelt so hoch sind. Es verdient hervorgehoben zu werden, daß bei allen Beispielen die aufgeführten Kapazitätsvergrößerungen solche sind, die erzielt werden, wenn die geätzten Folien anodisch bei einer Formierspannung von 500VoIt formiert werden, und es sei darauf hingewiesen, daß dann, wenn geringere Formierspannungen benutzt werden, stärkere Vergrößerungen gemessen werden können. Die Formierspannung von 500 Volt, auf welche hier und in den Ansprüchen hingewiesen wird, ist lediglich als eine zweckmäßige Grundgröße gewählt worden, wie sie für die experimentelle Bestimmung der Kapazitätsvergrößerung eines anodisch formierten geätzten Körpers aus Aluminium oder eine Aluminiumlegierung verwendet werden kann, welche sich ergibt, wenn der Körper einem elektrolytischen Ätzverfahren unterworfen wird. Infolgedessen soll die Bezugnahme auf die besondere Formierspannung von 500 Volt in den Ansprüchen nicht so ausgelegt werden, daß die Erfindung auf die Herstellung von geätzten Körpern aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen beschränkt ist, welche anodisch bei einer Formierspannung von 500 Volt formiert worden sind oder werden.The capacity increases listed above are achieved when the etched and subsequently anodically formed foils are immersed in an aqueous electrolyte. If the Etched and shaped foils are used for viscous working electrolytes, so the enlargements reduced by about 10 to 25%. It can be seen that in all examples according to the invention the increases in capacity achieved are much higher than those achieved by etching with smoothed Direct current can be achieved, and in most cases they are more than twice as high. It deserves It should be emphasized that in all examples the listed capacity increases are those obtained when the etched foils are anodized at a forming voltage of 500VoIt should be formed, and it should be noted that that when lower forming voltages are used, higher magnifications are measured can be. The forming voltage of 500 volts, which is referred to here and in the claims is, has only been chosen as an expedient basic quantity, as it is for the experimental determination the capacity increase of an anodically formed etched body made of aluminum or an aluminum alloy can be used, which results when the body is an electrolytic Etching process is subjected. As a result, reference should be made to the particular forming voltage of 500 volts in the claims should not be construed as applying the invention to manufacture is limited by etched bodies made of aluminum or aluminum alloys, which is anodic have been or will be formed at a forming voltage of 500 volts.

Claims (5)

PATENTANSPRÜCHE:PATENT CLAIMS: ί. Anodisch-elektrolytisches Ätzverfahren zum Vergrößern der Oberfläche von Aluminium oder Aluminiumlegierungen als Elektrodenausgangsmaterial für Elektrolytkondensatoren mittels eines mit einem Gleichstrom kombinierten Wechsel- ί. Anodic-electrolytic etching process to enlarge the surface of aluminum or aluminum alloys as electrode starting material for electrolytic capacitors by means of an alternating current combined with a direct current. 309 647/185309 647/185 stromes, dadurch gekennzeichnet, daß als Ätzstrom ein unipolar oberhalb eines Mindestwertes pulsierender Strom verwendet wird, der ein PuI-sierungsausmaß von 50 bis 25011Vo und eine PuI-sierungsfrequenz unter 2000 Hz hat, und daß das Pulsierungsausmaß innerhalb des genannten Bereiches so gewählt wird, daß bei einer nachfolgenden Formierung mit einer Spannung von 500VoIt eine mehr als fünffache Kapazitätsvervielfachung gegenüber einem mit ungeätztem Metall aufgebauten und in gleicher Weise formierten Kondensator eintritt.current, characterized in that a unipolar current pulsing above a minimum value is used as the etching current, which has a pulsation extent of 50 to 250 11 Vo and a pulsation frequency below 2000 Hz, and that the pulsation extent is selected within the stated range that with a subsequent formation with a voltage of 500VoIt a more than five-fold increase in capacitance occurs compared to a capacitor constructed with unetched metal and formed in the same way. 2. Verfahren nach Anspruch I3 dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzstrom sinusförmig pulsiert.2. The method according to claim I 3, characterized in that the etching current pulsates sinusoidally. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzstrom in Rechteckform pulsiert.3. The method according to claim 1, characterized in that the etching current is rectangular pulsates. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromspitzen des pulsierenden Stromes zeitlich kurzer sind als die zwischen ihnen liegenden Intervalle.4. The method according to claim 1, characterized in that the current peaks of the pulsating Currents are shorter in time than the intervals between them. 5. Verfahren nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzstrom mit einem Pulsierungsausmaß im Bereich von 80 bis 150% durch Gleichrichten und teilweises Glätten von Wechselstrom von Sinus- oder annähernd Sinuswellenform gewonnen wird.5. The method according spoke 1, characterized in that the etching current with a pulsation in the range of 80 to 150% by rectifying and partially smoothing alternating current of sine or approximately sine wave form is won. In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 514 157;
schweizerische Patentschrift Nr. 216 684;
französische Patentschriften Nr. 815 002, 822 057; britische Patentschriften Nr. 393 565, 467 024, 511590, 647 799;
USA.-Patentschrift Nr. 2163 416.
Considered publications:
German Patent No. 514 157;
Swiss Patent No. 216 684;
French Patent Nos. 815 002, 822 057; British Patent Nos. 393 565, 467 024, 511590, 647 799;
U.S. Patent No. 2163,416.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen For this purpose, 1 sheet of drawings
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