DE1136671B

DE1136671B - Crucible with a stirrer for drawing up crystalline rods from a melt

Info

Publication number: DE1136671B
Application number: DEN18268A
Authority: DE
Inventors: Boudewijn Okkerse
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1959-05-05
Filing date: 1960-05-02
Publication date: 1962-09-20
Also published as: GB954200A; NL238923A; CH401916A

Description

Beim Aufziehen von kristallinen Stäben aus einer Halbleiterschmelze, z. B. aus Germanium, Silicium oder einer Halbleiterverbindung, ist es bekannt, die Schmelze zu rühren, z. B. um die Körper homogener zu machen und bzw. oder ihre Kristallstruktur zu verbessern. Dieses Rühren kann durch Bewegen erfolgen, z. B. dadurch, daß der Stab in eine Drehbewegung und bzw. oder in Schwingung versetzt wird. Dies hat den Nachteil, daß die Rührwirkung infolge der Beschränktheit der Berührungsfläche zwischen dem Körper und der Schmelze wenig effektiv ist. Grundsätzlich könnte dieses Rühren natürlich auch in der bei vielen chemischen Verfahren üblichen Weise dadurch erfolgen, daß ein Rührer von oben her in die Schmelze eingetaucht wird. Hierbei ist jedoch eine unsymmetrische Temperaturverteilung in der Nähe des Körpers, wodurch die Homogenität gestört wird, kaum zu vermeiden.When pulling up crystalline rods from a semiconductor melt, e.g. B. of germanium, silicon or a semiconductor compound, it is known to stir the melt, e.g. B. to make the body more homogeneous to make and / or to improve their crystal structure. This stirring can be done by moving take place, e.g. B. in that the rod is set in a rotary motion and / or in vibration. This has the disadvantage that the stirring effect due to the limitation of the contact area between is ineffective on the body and the melt. In principle, this stirring could of course also take place in the manner customary in many chemical processes by inserting a stirrer from above into the Melt is immersed. Here, however, an asymmetrical temperature distribution is in the vicinity of the body, as a result of which the homogeneity is disturbed, can hardly be avoided.

Um diese Nachteile zu vermeiden, ist gemäß der Erfindung die Achse des Rührers drehbar durch den Tiegelboden geführt. Die Erfindung beruht auf dem Gedanken, daß häufig die Schmelze eine so hohe Oberflächenspannung aufweist, daß sie den Tiegel nicht benetzt, wodurch es möglich ist, un Tiegel unter dem Pegel der Schmelze Schitze oder Öffnungen anzubringen, ohne daß die Schmelze durch diese hindurch wegfließt. Dies ist insbesondere bei den erwähnten Halbleiterstorfen möglich, die eine hohe Oberflächenspannung besitzen. Der Rührer kann aus einer an der Achse befestigten zylindrischen Scheibe mit Rührlelementen oder aus einem Propeller oberhalb des Tiegelbodens bestehen. Es kann auch der Boden des Tiegels mit dem Stiel des Rührers verbunden, von der Tiegelwandung durch einen Schlitz getrennt sein und Rührelemente aufweisen. Schließlich kann auch eine Scheibe mit Rührelementen, die von der Tiegelwandung durch einen Schlitz getrennt ist, mit der Achse verbunden sein. Der Schlitz ist so schmal, daß der durch die Oberflächenspannung der Schmelze herbeigeführte aufwärtsgerichtete Druck höher als der hydrostatische Druck der Schmelze ist. Die Beziehung zwischen dieser Spaltbreite und dem höchstzulässigen hydrostatischen Druck der Schmelze kann rechnerisch ermittelt werden.In order to avoid these disadvantages, the axis of the stirrer is rotatable through the according to the invention Crucible bottom out. The invention is based on the idea that often the melt is so high Has surface tension that it does not wet the crucible, which makes it possible to underneath the crucible the level of the melt to make slots or openings without the melt passing through them flows away. This is possible in particular with the semiconductor cores mentioned, which have a high surface tension own. The stirrer can consist of a cylindrical disk attached to the axis Stirring elements or a propeller above the bottom of the crucible. It can also be the ground of the crucible connected to the handle of the stirrer, separated from the crucible wall by a slot be and have stirring elements. Finally, a disc with stirring elements, which are from the Crucible wall is separated by a slot, be connected to the axis. The slit is so narrow that the upward pressure brought about by the surface tension of the melt is higher than is the hydrostatic pressure of the melt. The relationship between this gap width and the maximum allowable The hydrostatic pressure of the melt can be determined by calculation.

Die Scheibe mit den Rührelementen kann auch in Form eines Kolbens vertikal beweglich in der Tiegelwand angeordnet sein. Diese Ausfuhrungsform bietet die Möglichkeit, daß der Pegel der Schmelze dadurch erhöht oder erniedrigt werden kann, daß der Rührer weiter oder weniger weit in den feststehenden Teil eingebracht wird, wodurch, wie an sich bekannt ist, beim Aufziehen aus einer solchen Schmelze verschiedene Schmelztiegel mit einem RührerThe disk with the stirring elements can also be vertically movable in the crucible wall in the form of a piston be arranged. This embodiment offers the possibility that the level of the melt thereby can be increased or decreased so that the stirrer is introduced further or less into the fixed part becomes, whereby, as is known per se, different when being drawn from such a melt Crucible with a stirrer

zum Aufziehen von kristallinen Stäbenfor growing crystalline rods

aus einer Schmelzefrom a melt

Anmelder:Applicant:

N. V. Philips' Gloeilampenfabriken,
Eindhoven (Niederlande)NV Philips' Gloeilampenfabriken,
Eindhoven (Netherlands)

Vertreter: Dr. rer. nat. P. Roßbach, Patentanwalt,
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7Representative: Dr. rer. nat. P. Roßbach, patent attorney,
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7th

Beanspruchte Priorität:
Niederlande vom 5. Mai 1959 (Nr. 238 923)Claimed priority:
Netherlands of May 5, 1959 (No. 238 923)

Boudewijn Okkerse, Eindhoven (Niederlande),
ist als Erfinder genannt wordenBoudewijn Okkerse, Eindhoven (Netherlands),
has been named as the inventor

Effekte erzielbar sind, z. B. Änderungen der Leitfähigkeit und/oder des Leitungstyps.Effects are achievable, e.g. B. Changes in conductivity and / or conductivity type.

Der Rührer und der feststehende Teil können aus den zum Herstellen von Tiegeln üblichen Materialien bestehen, z. B. aus Graphit. Weil der Rührer meist in gut wärmeleitender Berührung mit einem Triebwerk steht und die Schmelze sich verhältnismäßig stärker als der feststehende Teil abkühlt, kann es erwünscht sein, den Rührer wenigstens zum Teil aus einem Material herzustellen, dessen spezifischer Wärmewiderstand größer ist als derjenige des Materials des feststehenden Teiles. Der Rührer kann wenigstens zum Teil aus Quarz und der feststehende Teil aus Graphit bestehen.The stirrer and the fixed part can be made from the materials customary for making crucibles exist, e.g. B. made of graphite. Because the stirrer is usually in good heat-conducting contact with an engine stands and the melt cools down comparatively more strongly than the fixed part, it can be desirable be to manufacture the stirrer at least partially from a material whose specific heat resistance is greater than that of the material of the fixed part. The stirrer can at least for Part made of quartz and the fixed part made of graphite.

Die Beziehungen zwischen der Breite des Schlitzes und dem höchstzulässigen hydrostatischen Druck der Schmelze ist wie folgt ermittelbar. Dieser Druck kann dem durch die Oberflächenspannung der Schmelze herbeigeführten aufwärts gerichteten Druck in der Nähe des Schlitzes gleichgestellt werden, wie der letztere Druck mit Hilfe der nachfolgenden Formel in g/cm² ausgedrückt wird:The relationship between the width of the slot and the maximum permissible hydrostatic pressure of the melt can be determined as follows. This pressure can be equated to the upward pressure in the vicinity of the slit caused by the surface tension of the melt, as the latter pressure is expressed ^{in g / cm 2 with the help of the following formula:}

in der γ die Oberflächenspannung in dyn/cm, g die Erdbeschleunigung in cm/sec² (etwa 1000) und ,R₁ und R_z die Krümmungshalbmesser der Flüssigkeits-in which γ is the surface tension in dyn / cm, g is the acceleration due to gravity in cm / sec ² (about 1000) and, R ₁ and R _{z are} the radius of curvature of the liquid

209 657/112209 657/112

3 43 4

oberfläche in zwei zueinander senkrechten Richtungen entgegen dem Uhrzeigersinne, daß der Propeller 23 in cm darstellen. Bei einem engen Schlitz kann R₁ einen aufwärts gerichteten Strom in der Schmelze gleich der halben Schlitzbreite und R₂, gleich unendlich herbeiführt. Dadurch fließt neugerührte Schmelze mit groß gestellt werden. Besteht der geschlitzte Tiegel homogener Temperatur und Zusammensetzung zur aus Graphit und die Schmelze aus Germanium, so 5 Unterseite des wachsenden Halbleiterkörpers, wodurch ist γ etwa gleich 500 dyn/cm. Für einen Schlitz mit die Homogenität des aufgezogenen Körpers gefördert einer Breite von 0,2 mm ist der höchstzulässige hydro- wird.surface in two mutually perpendicular directions counterclockwise that the propeller represent 23 in cm. With a narrow slot, R ₁ can cause an upward flow in the melt equal to half the slot width and R ₂ , equal to infinity. This causes the newly stirred melt to flow with a large amount. If the slotted crucible of homogeneous temperature and composition is made of graphite and the melt consists of germanium, then the underside of the growing semiconductor body, as a result of which γ is approximately equal to 500 dynes / cm. For a slot with the homogeneity of the drawn-up body promoted a width of 0.2 mm is the maximum permissible hydro-is.

statische Druck gleich 50 g/cm², was einer höchst- Der in Fig. 3 dargestellte Tiegel besteht aus einemstatic pressure equal to 50 g / cm ² , which is a maximum. The crucible shown in FIG. 3 consists of one

zulässigen Tiefe für die Lage des Schlitzes unter dem feststehenden Teil 30 aus Graphit mit einer zylin-Pegel der Germaniumsehmelze von gut 8 cm entspricht. io drischen Wand 32, die an der Unterseite durch einenpermissible depth for the location of the slot under the fixed part 30 made of graphite with a zylin level corresponds to the germanium salt of a good 8 cm. io drischen wall 32, which at the bottom by a

Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Boden 33 mit einer mittleren Bohrung 34 begrenzt ist Zeichnung näher erläutert, deren Figuren verschiedene und einem Rührer 31.The invention is limited below with reference to the base 33 with a central bore 34 Drawing explained in more detail, the figures of which are different and a stirrer 31.

Tiegel zum Teil im Schnitt, zum Teil schaubildlich Der Rührer 31 besteht aus einer Scheibe 35 undCrucible partly in section, partly diagrammatically. The stirrer 31 consists of a disk 35 and

darstellen. der Achse aus Quarz 36, die durch die Bohrung 34represent. the axis made of quartz 36, which passes through the bore 34

Fig. 1 bezieht sich auf einen Tiegel, bei dem die 15 hindurchgeführt und am unteren Ende mit einem nicht Achse des Rührers durch den Tiegelboden geführt ist. dargestellten Motor verbunden ist. Die Scheibe 35Fig. 1 relates to a crucible in which the 15 is passed and at the lower end with a not Axis of the stirrer is guided through the bottom of the crucible. shown motor is connected. The disk 35

Fig. 2 zeigt einen Tiegel mit propellerförmigem hat an der Oberseite eine mittlere runde Aussparung 37, Rührer; die mit sektorförmigen Aussparungen 38 verbunden ist,Fig. 2 shows a propeller-shaped crucible has a central round recess 37 on the top, Stirrer; which is connected to sector-shaped recesses 38,

Fig. 3 zeigt einen Tiegel mit kolbenförmigem Rührer; deren Boden von der Mitte her ansteigt. Zwischen3 shows a crucible with a piston-shaped stirrer; the bottom of which rises from the center. Between

Fig. 4 zeigt einen Tiegel, dessen Boden als Rührer 20 der Scheibe 35 und der Wand 32 ist ein enger Schlitz 39 ausgebildet ist. mit einer Breite von 0,1 mm frei gelassen. Der Rührer 314 shows a crucible, the bottom of which is a narrow slot 39 as a stirrer 20 of the disk 35 and the wall 32 is trained. left free with a width of 0.1 mm. The stirrer 31

DerTiegelnachFig. 1 besteht aus einem feststehenden bildet gleichsam einen Kolben im feststehenden Teil 1, 3, 4 aus Graphit und einem Rührer 2, Teil 30 und kann nach Belieben senkrecht verschoben der durch die Bohrung 5 durch den Boden 4 geht. werden. Dabei bildet die Scheibe 35 zugleich den Der Rührer besteht aus einer Achse 6 aus Quarz, 25 Boden des Tiegels.The crucible after 1 consists of a stationary one, which forms a piston in the stationary part 1, 3, 4 made of graphite and a stirrer 2, part 30 and can be moved vertically at will, which goes through the bore 5 through the bottom 4. will. The disc 35 also forms the stirrer consists of an axis 6 made of quartz, 25 bottom of the crucible.

die unter Freilassung eines engen Schlitzes 7 durch die Der Tiegel kann zum Aufziehen eines Germanium-which leaves a narrow slot 7 through the The crucible can be used to pull up a germanium

Bohrung 5 hindurchgeführt ist, und aus einer Scheibe 8 kristalle aus einer Germaniumsehmelze Verwendung innerhalb des Teiles 1, die den Kopf des Bewegers finden, wobei die Schmelze sich über der Scheibe 35 bildet und mit Stäben 9 versehen ist. Die Achse 6 ist befindet. Sie kann infolge ihrer hohen Oberflächenam unteren Ende mit einem nicht dargestellten Motor 30 spannung nicht durch den engen Schlitz 39 abfließen, verbunden. Die ganze Wand 32 wird mittels einer nicht darge-Bore 5 is passed, and from a disc 8 crystals from a germanium clay use inside the part 1, which will find the head of the mover, with the melt spreading over the disk 35 forms and is provided with rods 9. The axis 6 is located. Due to its high surface area, it can be lower end with a motor 30, not shown, voltage does not flow through the narrow slot 39, tied together. The entire wall 32 is by means of a not shown

Der Tiegel ist auf einem hohlen Träger 10 und inner- stellten Hochfrequenzspule mit senkrechter Achse, halb einer Hochfrequenzspule 11 angeordnet. innerhalb derer der Tiegel zuvor angeordnet ist,The crucible is on a hollow support 10 and an internal high-frequency coil with a vertical axis, half of a high frequency coil 11 is arranged. within which the crucible is previously arranged,

Der Tiegel ist mit (nicht dargestelltem) geschmol- erhitzt. Die erzeugte Wärme wird zum Teil unmittelbar zenem Germanium gefüllt und wird mit der Hoch- 35 auf die Schmelze, zum Teil durch Strahlung durch frequenzspule 11 erhitzt. Der Rührer 2 wird durch den zwischen der Scheibe 35 und der waagerechten den Motor in Umdrehung versetzt, wodurch die Platte 33 ausgesparten Raum 40, dessen Begrenzungs-Scheibe 8 und die Ansätze 9 starke Wirbel bilden und flächen quer zur Achse der Hochfrequenzspule versomit die Schmelze kräftig rühren. Die Achse 6 erfährt lauf en, auf die Scheibe 35 übertragen, im letzteren dabei nahezu keine Reibung in der Bohrung 5, während 4° Falle zum Ausgleich des Wärmeverlustes infolge von die Schmelze infolge ihrer hohen Oberflächen- Leitung durch den Stiel 36.The crucible is molten with (not shown). Some of the heat generated is immediate zenem germanium and is carried through with the high 35 on the melt, in part by radiation frequency coil 11 heated. The stirrer 2 is between the disk 35 and the horizontal the motor is set in rotation, whereby the plate 33 is recessed space 40, its limiting disc 8 and the approaches 9 form strong eddies and surface transversely to the axis of the high-frequency coil versomit stir the melt vigorously. The axis 6 experiences running s, transferred to the disc 35, in the latter there is almost no friction in the bore 5, while 4 ° case to compensate for the heat loss due to the melt due to its high surface conduction through the stem 36.

spannung nicht durch den engen Schlitz 7 wegfließen Aus der Schmelze wird ein Germaniumkristall allkann. Ein nicht dargestellter einkristalliner stab- mählich emporgezogen. Die Wachstumsgeschwindigförmiger Germaniumkörper kann dann langsam senk- keit läßt sich dabei dadurch ändern, daß der Scheibe 35 recht aus der Schmelze aufgezogen werden. 45 eine Bewegung in senkrechter Richtung mit wech-voltage does not flow away through the narrow slot 7. The melt becomes a germanium crystal. A monocrystalline, not shown, is gradually drawn up. The faster growth Germanium bodies can then slowly sink. This can be changed in that the disk 35 be drawn up right from the melt. 45 a movement in the vertical direction with alternating

Selbstverständlich kann mit Hilfe eines geeigneten selnder Geschwindigkeit und gegebenenfalls wech-Triebwerkes der Rührer 2 sowohl gedreht als auch selnder Richtung erteilt wird, wobei z. B. ein Kristall auf und ab gewegt werden. Weiter können auf der mit in der Längsrichtung wechselnder Leitfähigkeit Scheibe 8 auch andere als stabförmige Ansätze Ver- und bzw. Leitungsart erzielbar ist. Der Rührer 31 Wendung finden. 50 wird mit Hilfe des Motors um seine senkrechte AchseOf course, with the help of a suitable selnder speed and optionally interchangeable engines the stirrer 2 is both rotated and issued selnder direction, with z. B. a crystal be moved up and down. You can also use the conductivity with changing lengthways Disc 8 other than rod-shaped approaches and or line type can be achieved. The stirrer 31 Find a turn. 50 is rotated around its vertical axis with the help of the motor

Der in Fig. 2 dargestellte Tiegel entspricht größten- gedreht, wobei die Schmelze über der Scheibe nicht teils dem der Fig. 1, wobei ähnliche Teile mit den nur verwirbelt wird, sondern auch zentrifugal in der gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind. Nach Fig. 2 Aussparung 38 nach außen fließt, so daß sich eine sind jedoch gegen die Unterseite des feststehenden kräftige Rührwirkung der Schmelze ergibt. Teiles 1 des Tiegels zwei Scheiben 15 und 16 aus 55 In Fig. 4 besteht der Tiegel aus einem zylinder-Graphit, die mit vorstehenden Rändern 17 bzw. 18 förmigen feststehenden Teil 50 aus Graphit, der auch versehen sind, übereinander angeordnet. Dadurch die Seitenwand des Tiegels bildet, und aus einem werden zwischen dem Boden 4 und der Scheibe 16 Rührer 51, der gegen die flache Unterseite des Teiles 50 zwei Räume 19 und 20 mit waagerechten Begrenzungs- paßt. Der Teil 50 ist auf der Oberseite an einem kegelflächen gebildet. Hierdurch ist eine zusätzliche Er- 60 förmigen Hohlkörper 52 aus Molybdän befestigt, der hitzung des Bodens 4 erzielbar, um die infolge von unten offen ist und oben in einen auf beiden Seiten Leitung durch den Stiel 6 des Bewegers 2 abgeführte offenen zylindrischen Hohlkörper 53 übergeht, mittels Wärme zu kompensieren. Die Scheiben 15 und 16 sind dessen der feststehende Teil starr an einem nicht mit Bohrungen 21 bzw. 22 zum Hindurchführen der dargestellten Träger befestigt werden kann. Der Achse 6 versehen. Der Kopf 23 des Rührers 2 ist hier 65 Rührer 51 hat einen Kopf 54 aus Graphit, der aus in Form eines Propellers gestaltet. Er wird vorzugsweise drei Scheiben zusammengesetzt ist, und zwar einer in einer derartigen Richtung gedreht, d. h. beim Tiegel oberen Scheibe 55, die zugleich den Boden des Tiegels nach Fig. 2 von oben betrachtet in einer Drehrichtung bildet und auf der Oberseite mit senkrecht vor-The crucible shown in Fig. 2 corresponds to the largest rotated, with the melt above the disk not partly that of FIG. 1, with similar parts only being swirled with the, but also centrifugally in the the same reference numerals are designated. According to Fig. 2 recess 38 flows outward so that a are however against the underside of the fixed vigorous stirring effect of the melt. Part 1 of the crucible two disks 15 and 16 from 55 In Fig. 4 the crucible consists of a cylinder graphite, the fixed part 50 made of graphite, which is shaped with protruding edges 17 and 18, respectively are provided, arranged one above the other. This forms the side wall of the crucible, and from one between the bottom 4 and the disc 16 stirrer 51, which is against the flat underside of the part 50 two rooms 19 and 20 with horizontal delimitation fits. The part 50 is on the top on a conical surface educated. As a result, an additional Er- 60-shaped hollow body 52 made of molybdenum is attached, the Heating of the bottom 4 can be achieved to the result is open from below and above in one on both sides Line passes through the stem 6 of the mover 2 discharged open cylindrical hollow body 53, by means of To compensate for heat. The disks 15 and 16 are the fixed part of which is not rigid at one can be attached with holes 21 and 22 for passing the carrier shown. Of the Axis 6 provided. The head 23 of the stirrer 2 is here 65 stirrer 51 has a head 54 made of graphite, which consists of designed in the form of a propeller. It is preferably composed of three discs, namely one rotated in such a direction, d. H. at the crucible upper disc 55, which is also the bottom of the crucible 2, viewed from above, forms in one direction of rotation and on the top with perpendicularly

stehenden plattenförmigen Ansätzen 56 versehen ist, einer Unterscheibe 57, mittels derer der Kopf auf einer Achse 58 angeordnet ist, die mit einem nicht dargestellten Motor verbunden ist, und einer mittleren Scheibe 59 mit einem beiderseits vorstehenden Rand 60. Durch den Rand 60 werden im Kopf 54 zwei Hohlräume 61, 62 mit waagerechten Begrenzungsflächen gebildet.standing plate-shaped lugs 56 is provided, a washer 57, by means of which the head on a Axis 58 is arranged, which is connected to a motor, not shown, and a middle Disc 59 with an edge 60 protruding on both sides. The edge 60 creates two cavities in the head 54 61, 62 formed with horizontal boundary surfaces.

Der Rührer 51 ist unter Freilassung eines engen Schlitzes 63 von 0,1 mm gegen die Unterseite des feststehenden Teiles 50 angeordnet. Der Tiegel ist von einer nicht dargestellten Hochfrequenzspule umgeben, die in beiden Teilen Wärme erzeugt. Wenn der Tiegel nach Fig. 4 zum Aufziehen eines einkristallinen Germaniumkörpers aus einer Germaniumschmelze verwendet wird, befindet sich diese Schmelze im Raum, der durch die Seitenwand, die durch den feststehenden Teil 50 gebildet wird, den Boden, der durch die Scheibe 55 gebildet wird, und den engen Schlitz 63 begrenzt wird, wobei infolge ihrer hohen Oberflächenspannung die Schmelze nicht durch den engen Schlitz 63 wegfließen kann. Der nicht dargestellte einkristallinische Germaniumkörper wird aus der Schmelze aufgezogen. Der kegelförmige Körper 52 wirkt als Strahlungsschirm, um eine langsame Abkühlung der aufgezogenen Teile des Kristalls zu erhalten. Die plattenförmigen Ansätze 56 bewirken eine kräftige Rührung der Schmelze.The stirrer 51 is leaving a narrow slot 63 of 0.1 mm against the underside of the fixed part 50 arranged. The crucible is surrounded by a high-frequency coil, not shown, which generates heat in both parts. If the crucible of FIG. 4 for pulling up a monocrystalline Germanium body from a germanium melt is used, this melt is located in the space formed by the side wall formed by the fixed part 50, the floor, the is formed by the disc 55, and the narrow slot 63 is limited, as a result of their high Surface tension, the melt cannot flow away through the narrow slot 63. The one not shown monocrystalline germanium bodies are drawn up from the melt. The conical body 52 acts as a radiation shield to allow the drawn-up parts of the crystal to cool slowly. The plate-shaped projections 56 cause the melt to be vigorously stirred.

Durch die Scheibe 59 mit dem Rand 60 und die offenen Räume 61 und 62 im Kopf 54 des Rührers wird dieser zusätzlich erhitzt. Bei dieser Ausführungsform ergibt sich von der Unterseite der Schmelze nach der Oberseite des Kristalls ein regelmäßiger Wärmetransport in senkrechter Richtung, während durch den Rührvorgang die Zusammensetzung der Schmelze homogen bleibt. Hierdurch sind zusätzliche günstige Bedingungen für ein regelmäßiges und homogenes Wachsen des Germaniumkörpers geschaffen.Through the disk 59 with the rim 60 and the open spaces 61 and 62 in the head 54 of the stirrer this is additionally heated. In this embodiment, the melt results from the underside the top of the crystal a regular heat transport in a vertical direction while through During the stirring process, the composition of the melt remains homogeneous. This means that additional benefits are available Conditions created for regular and homogeneous growth of the germanium body.

Claims

PATENT CLAIMS:

1. Melting crucible with a stirrer for drawing up crystalline rods from a semiconductor melt, characterized in that the axis of the stirrer (6) is rotatably guided through the crucible bottom (4).

2. Crucible according to claim 1, characterized in that the stirrer consists of one on the Axis (6) attached cylindrical disc (8) with stirring elements (9) and above the crucible bottom (4) is arranged.

3. Crucible according to claim 1, characterized in that the stirrer consists of one at the Axis (6) attached propeller (23) and is arranged above the crucible bottom (4).

4. modification of the crucible according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the bottom (55) of the crucible is connected to the axis (58), from the crucible wall (50) through a slot (63) is separated and has stirring elements (56).

5. melting crucible according to claim 4, characterized in that a disc (35) with stirring elements (38), which is separated from the crucible wall (32) by a slot (39) with which Axis (36) is connected. ·

6. melting crucible according to claim 5, characterized in that the disc (35) in the form a piston is arranged vertically movable in the crucible wall (32).

Considered publications:
German Auslegeschrift No. 1032 852;
German patent application S 34776 VI / 48 b
made known on November 18, 1954);
Belgian patent specification No. 528 916.

1 sheet of drawings