DE112021006771T5

DE112021006771T5 - Protective cover and plasma generating device

Info

Publication number: DE112021006771T5
Application number: DE112021006771.0T
Authority: DE
Inventors: Toshiyuki Ikedo; Takuya Iwata
Original assignee: Fuji Corp
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2021-01-08
Filing date: 2021-01-08
Publication date: 2023-12-14
Also published as: JPWO2022149258A1; WO2022149258A1; CN116671258A

Abstract

Eine Schutzabdeckung zum Schutz eines Plasmakopfs in einem Zustand, in dem sie Ausstoßöffnungen des Plasmakopfs zum Ausstoßen von Plasma verschließt, wobei sie mit einem am Plasmakopf abnehmbar gestützten Hauptkörper und einem dicht anliegenden Körper, der in einem verformten Zustand dicht an den Ausstoßöffnungen anliegt und damit die Ausstoßöffnungen verschließt, versehen ist.Eine Plasmaerzeugungsvorrichtung mit einem Plasmakopf, an dem eine Schutzabdeckung befestigt wird, einem Erfassungssensor zur Erfassung des Drucks eines dem Plasmakopf zugeführten Gases und einer Mitteilungsvorrichtung zur Mitteilung von Fehlern aufgrund von Erfassungswerten des Erfassungssensors beim Betrieb des Plasmakopfs in einem Zustand, in dem Ausstoßöffnungen durch einen dicht anliegenden Körper der Schutzabdeckung verschlossen sind.A protective cover for protecting a plasma head in a state of closing ejection ports of the plasma head for ejecting plasma, comprising a main body removably supported on the plasma head and a close-fitting body that fits closely to the ejection ports in a deformed state and thus the A plasma generating device is provided with a plasma head to which a protective cover is attached, a detection sensor for detecting the pressure of a gas supplied to the plasma head, and a notification device for notification of errors due to detection values of the detection sensor when operating the plasma head in a state, in which ejection openings are closed by a tightly fitting body of the protective cover.

Description

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL FIELD

Die vorliegende Offenbarung betrifft eine Schutzabdeckung zum Schutz eines Plasmakopfs und eine Plasmaerzeugungsvorrichtung mit einem Plasmakopf, an dem die Schutzabdeckung befestigt wird.The present disclosure relates to a protective cover for protecting a plasma head and a plasma generating device having a plasma head to which the protective cover is attached.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

In folgendem Patentdokument ist ein Plasmakopf zum Ausstoßen von Plasma aus Ausstoßöffnungen beschrieben.The following patent document describes a plasma head for ejecting plasma from ejection openings.

DOKUMENT ZUM STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART DOCUMENT

PATENTDOKUMENTPATENT DOCUMENT

Patentdokument 1: JP H11-260597 A Patent document 1: JP H11-260597 A

ÜBERSICHT DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

ZU LÖSENDE AUFGABE DER ERFINDUNGTASK TO BE SOLVED BY THE INVENTION

Der vorliegenden Beschreibung liegt die Aufgabe zugrunde, die praktische Nützlichkeit einer Schutzabdeckung zum Schutz eines Plasmakopfs, der aus Ausstoßöffnungen Plasma ausstößt, zu erhöhen.The present description is based on the object of increasing the practical utility of a protective cover for protecting a plasma head that ejects plasma from ejection openings.

MITTEL ZUM LÖSEN DER AUFGABEMEANS OF SOLVING THE TASK

Zum Lösen der Aufgabe offenbart die vorliegende Beschreibung eine Schutzabdeckung zum Schutz eines Plasmakopfs in einem Zustand, in dem sie Ausstoßöffnungen des Plasmakopfs zum Ausstoßen von Plasma verschließt, wobei sie mit einem am Plasmakopf abnehmbar gestützten Hauptkörper und einem dicht anliegenden Körper, der in einem verformten Zustand dicht an den Ausstoßöffnungen anliegt und damit die Ausstoßöffnungen verschließt, versehen ist.To achieve the object, the present specification discloses a protective cover for protecting a plasma head in a state of closing ejection ports of the plasma head for ejecting plasma, comprising a main body detachably supported on the plasma head and a tightly fitting body in a deformed state lies tightly against the ejection openings and thus closes the ejection openings.

VORTEILE DER ERFINDUNGADVANTAGES OF THE INVENTION

Gemäß der vorliegenden Offenbarung wird der Schutz des Plasmakopfs in einem Zustand, in dem die Ausstoßöffnungen lückenlos verschlossen sind, ermöglicht und die praktische Nützlichkeit der Schutzabdeckung erhöht, indem der dicht anliegende Körper in einem verformten Zustand dicht an den Ausstoßöffnungen anliegt und damit die Ausstoßöffnungen verschließt.According to the present disclosure, protection of the plasma head in a state in which the ejection ports are closed without gaps is enabled and the practical utility of the protective cover is increased by making the close-fitting body closely abut the ejection ports in a deformed state, thereby closing the ejection ports.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

1 is a view showing a plasma device.
2 is a block diagram showing a control box provided on the plasma device.
3 is an oblique view showing a plasma head.
4 is a section of the plasma head, cut in the X and Z directions at the location of electrodes and main body side plasma channels.
5 is a cut along line AA in 4 .
6 is an oblique view showing the plasma head before a protective cover is attached.
7 is an oblique view showing the plasma head to which the protective cover is attached.
8th is a side view showing the plasma head with the protective cover attached.
9 is an oblique view showing a blind nozzle.
10 is an oblique view showing the plasma head to which the protective cover is attached in a state equipped with the blind nozzle.

AUSFÜHRUNGSFORM DER ERFINDUNGEMBODIMENT OF THE INVENTION

Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung als eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung anhand der Figuren näher erläutert.An exemplary embodiment of the present invention is explained in more detail below as an embodiment of the present invention with reference to the figures.

Eine Plasmavorrichtung 10 ist eine Vorrichtung zur Plasmaerzeugung unter Atmosphärendruck, die mit einem Plasmakopf 11, einem Roboter 13 und einem Steuerkasten 15 versehen ist, wie in 1 gezeigt. Der Plasmakopf 11 ist am Roboter 13 befestigt. Der Roboter 13 ist z. B. ein Roboter vom seriellen Verbindungstyp (der auch als Gelenkarmroboter bezeichnet werden kann). Der Plasmakopf 11 ist derart ausgebildet, dass er in einem an der Spitze des Roboters 13 gehaltenen Zustand ein Plasmagas ausstrahlen kann. Der Plasmakopf 11 ist entsprechend dem Antrieb des Roboters 13 dreidimensional beweglich ausgebildet.A plasma device 10 is a device for generating plasma under atmospheric pressure, which is provided with a plasma head 11, a robot 13 and a control box 15, as shown in FIG 1 shown. The plasma head 11 is attached to the robot 13. The robot 13 is z. B. a serial connection type robot (which can also be called an articulated arm robot). The plasma head 11 is designed such that it can emit a plasma gas in a state held at the tip of the robot 13. The plasma head 11 is designed to be three-dimensionally movable in accordance with the drive of the robot 13.

Der Steuerkasten 15 ist aus einem Computer als Hauptbestandteil ausgebildet und steuert ganzheitlich die Plasmavorrichtung 10. Der Steuerkasten 15 weist ein Stromquellenteil 15A zur Versorgung des Plasmakopfs 11 mit Strom und ein Gasversorgungsteil 15B zur Versorgung des Plasmakopfs 11 mit Gas auf. Das Stromquellenteil 15A ist über Stromkabel (nicht dargestellt) mit dem Plasmakopf 11 verbunden. Aufgrund der Steuerung durch den Steuerkasten 15 ändert das Stromquellenteil 15A die Spannung, die an Elektroden 33 (s. 4 und 5) des Plasmakopfs 11 angelegt wird.The control box 15 is formed from a computer as the main component and holistically controls the plasma device 10. The control box 15 has a power source part 15A for supplying the plasma head 11 with power and a gas supply part 15B for supplying the plasma head 11 with gas. The power source part 15A is connected to the plasma head 11 via power cables (not shown). Due to the control by the control box 15, the power source part 15 changes A the voltage at electrodes 33 (see 4 and 5 ) of the plasma head 11 is created.

Das Gasversorgungsteil 15B ist über mehrere (drei in der vorliegenden Ausführungsform) Gasröhren 19 mit dem Plasmakopf 11 verbunden. Aufgrund der Steuerung durch den Steuerkasten 15 versorgt das Gasversorgungsteil 15B den Plasmakopf 11 mit einem später erwähnten Reaktionsgas, Trägergas. Der Steuerkasten 15 steuert das Gasversorgungsteil 15B, um die Menge usw. des dem Plasmakopf 11 zugeführten Gases vom Gasversorgungsteil 15B zu kontrollieren. Dadurch bewegt sich der Roboter 13 aufgrund der Steuerung durch den Steuerkasten 15 und bestrahlt einen auf einem Tisch 17 aufgesetzten, zu behandelnden Gegenstand W mit dem Plasmagas vom Plasmakopf 11.The gas supply part 15B is connected to the plasma head 11 via a plurality (three in the present embodiment) of gas tubes 19. Due to the control by the control box 15, the gas supply part 15B supplies the plasma head 11 with a later-mentioned reaction gas, carrier gas. The control box 15 controls the gas supply part 15B to control the amount, etc. of gas supplied to the plasma head 11 from the gas supply part 15B. As a result, the robot 13 moves due to the control by the control box 15 and irradiates an object W placed on a table 17 to be treated with the plasma gas from the plasma head 11.

Zudem ist der Steuerkasten 15 mit einem Bedienungsteil 15C versehen, das einen Touchscreen 15C1 und verschiedene Schalter 15C2 aufweist. Der Steuerkasten 15 zeigt verschiedene Einstellungsbilder, Betriebszustände (z.B. Gasversorgungszustand u. a.) usw. auf dem Touchscreen 15C1 des Bedienungsteils 15C an. Der Steuerkasten 15 empfängt zudem verschiedene Informationen durch die Bedienungseingabe in den Touchscreen 15C1 bzw. die verschiedenen Schalter 15C2.In addition, the control box 15 is provided with an operating part 15C which has a touch screen 15C1 and various switches 15C2. The control box 15 displays various setting images, operating states (e.g., gas supply state, etc.) on the touch screen 15C1 of the operating part 15C. The control box 15 also receives various information through the operating input into the touch screen 15C1 or the various switches 15C2.

Der Steuerkasten 15 ist neben dem obengenannten Stromquellenteil 15A, Gasversorgungsteil 15B und Bedienungsteil 15C ferner mit einem Regler 20, einem Steuerkreis 22, einem Drucksensor 26, einem Speichervorrichtung 28 usw. versehen, wie in 2 gezeigt. Der Regler 20 ist aus einem Computer als Hauptbestandteil ausgebildet, der mit einer nicht dargestellten CPU, ROM, RAM usw. versehen ist. Der Regler 20 liest das in der Speichervorrichtung 28 gespeicherte Programm für die Steuerung, führt es mit der CPU aus und steuert das Stromquellenteil 15A, Gasversorgungsteil 15B usw., wodurch die Bewegung des Plasmakopfs 11 gesteuert wird.The control box 15 is further provided with a regulator 20, a control circuit 22, a pressure sensor 26, a storage device 28, etc., in addition to the above-mentioned power source part 15A, gas supply part 15B and operating part 15C, as shown in 2 shown. The controller 20 is formed of a computer as a main component provided with a CPU, ROM, RAM, etc., not shown. The controller 20 reads the program for control stored in the storage device 28, executes it with the CPU, and controls the power source part 15A, gas supply part 15B, etc., thereby controlling the movement of the plasma head 11.

Zudem ist der Regler 20 über den Steuerkreis 22 mit dem Bedienungsteil 15C verbunden. Der Regler 20 ändert die Anzeige des Touchscreens 15C1 des Bedienungsteils 15C über den Stromkreis 22. Dadurch wird ein beliebiges Bild auf dem Touchscreen 15C1 angezeigt. Der Regler 20 empfängt zudem die Bedienungseingabe in das Bedienungsteil 15C über den Steuerkreis 22. Vom Bedienungsteil 15C wird ein Signal, das die Bedienung des Touchscreens 15C1 und der verschiedenen Schalter 15C2 des Bedienungsteils 15C durchführte, in den Regler 20 eingegeben, der dann den Inhalt der Bedienungseingabe beurteilt. Der Drucksensor 26 erfasst den Druck des dem Plasmakopf 11 zugeführten Gases vom Gasversorgungsteil 15B. Der Drucksensor 26 ist mit dem Regler 20 verbunden und gibt dem Regler 20 den erfassten Erfassungswert, also den Druck des dem Plasmakopf 11 zugeführten Gases aus. Dadurch überwacht der Regler 20 den Druck des dem Plasmakopf 11 zugeführten Gases.In addition, the controller 20 is connected to the operating part 15C via the control circuit 22. The controller 20 changes the display of the touch screen 15C1 of the operating part 15C via the circuit 22. This causes any image to be displayed on the touch screen 15C1. The controller 20 also receives the operating input into the operating part 15C via the control circuit 22. From the operating part 15C, a signal which carried out the operation of the touch screen 15C1 and the various switches 15C2 of the operating part 15C is input into the controller 20, which then displays the contents of the Operational input assessed. The pressure sensor 26 detects the pressure of the gas supplied to the plasma head 11 from the gas supply part 15B. The pressure sensor 26 is connected to the controller 20 and outputs the recorded detection value, i.e. the pressure of the gas supplied to the plasma head 11, to the controller 20. As a result, the controller 20 monitors the pressure of the gas supplied to the plasma head 11.

Zudem ist der Plasmakopf 11 mit einem Plasmaerzeugungsteil 30 usw. versehen, wie in 3 gezeigt. Am Plasmaerzeugungsteil 30 wird ein vom Gasversorgungsteil 15B des Steuerkastens 15 (s. 1) zugeführtes Behandlungsgas einer Plasmabildung unterzogen, um ein Plasmagas zu erzeugen. Dann stoßt der Plasmakopf 11 das am Plasmaerzeugungsteil 30 erzeugte Plasmagas gegen den zu behandelnden Gegenstand W gemäß 1 aus. Der Plasmakopf 11 wird mit dem Behandlungsgas in der Pfeilrichtung gemäß 3 von der Stromaufwärtsseite nach der Stromabwärtsseite versorgt.In addition, the plasma head 11 is provided with a plasma generating part 30, etc., as shown in 3 shown. At the plasma generation part 30, a gas supply part 15B of the control box 15 (see. 1 ) supplied treatment gas undergoes plasma formation to produce a plasma gas. Then the plasma head 11 pushes the plasma gas generated at the plasma generating part 30 against the object W to be treated 1 out of. The plasma head 11 is supplied with the treatment gas in the direction of the arrow 3 supplied from the upstream side to the downstream side.

Wie in 4 und 5 gezeigt, umfasst das Plasmaerzeugungsteil 30 ein Gehäuse 31, ein Paar Elektroden 33, ein Plasmabestrahlungsteil 35 usw. 4 ist ein Schnitt, geschnitten am Ort der paarigen Elektroden 33 und mehrerer später erwähnten hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71, und 5 ist ein Schnitt längs der Linie AA in 4. Das Gehäuse 31 ist aus einer ersten Basis 36 aus einem Harz mit hoher Wärmebeständigkeit, einer zweiten Basis 37 aus einem Harz mit hoher Wärmebeständigkeit und einem Keramikelement 38 aus einer Keramik mit hoher Wärmebeständigkeit ausgebildet. Die erste Basis 36, die zweite Basis 37 und das Keramikelement 38 sind durch vier Bolzen 40 (in der Figur sind nur zwei Bolzen dargestellt) festgebunden und vereinigt, wie in 3 gezeigt. Auf der Rückseite der ersten Basis 36, die das Gehäuse 31 ausbildet, ist durch Bolzen (nicht dargestellt) eine Metallplatte 46 festgebunden, mit deren Hilfe der Plasmakopf 11 am Roboter 13 (s. 1) befestigt ist.As in 4 and 5 As shown, the plasma generating part 30 includes a housing 31, a pair of electrodes 33, a plasma irradiation part 35, etc. 4 is a section cut at the location of the paired electrodes 33 and several main body-side plasma channels 71 mentioned later, and 5 is a cut along line AA in 4 . The housing 31 is formed of a first base 36 made of a high heat resistance resin, a second base 37 made of a high heat resistance resin, and a ceramic member 38 made of a high heat resistance ceramic. The first base 36, the second base 37 and the ceramic element 38 are tied and united by four bolts 40 (only two bolts are shown in the figure), as shown in FIG 3 shown. On the back of the first base 36, which forms the housing 31, a metal plate 46 is fastened by bolts (not shown), with the help of which the plasma head 11 is attached to the robot 13 (see Fig. 1 ) is attached.

Am Gehäuse 31 aus der Vereinigung der ersten Basis 36, der zweiten Basis 37 und des Keramikelements 38 ist innerhalb des Keramikelements 38 eine Reaktionskammer 51 zur Erzeugung des Plasmagases gebildet, wie in 4 gezeigt. Jede der paarigen Elektroden 33 ist z. B. zylinderförmig gebildet und derart fixiert, dass sich ihr vorderes Ende in einem in die Reaktionskammer 51 ragenden Zustand befindet. In der folgenden Erläuterung werden die paarigen Elektroden 33 ggf. einfach als Elektroden 33 bezeichnet. Bei der Erläuterung wird die Richtung der Nebeneinanderstellung der paarigen Elektroden 33 als X-Richtung, die zur X-Richtung rechtwinkelige, horizontale Richtung als Y-Richtung und die axiale Richtung der zylinderförmigen Elektrode 33 als Z-Richtung bezeichnet. In der vorliegenden Ausführungsform sind die X-, Y- und Z-Richtung zueinander rechtwinkelig.On the housing 31 from the union of the first base 36, the second base 37 and the ceramic element 38, a reaction chamber 51 for generating the plasma gas is formed within the ceramic element 38, as shown in FIG 4 shown. Each of the paired electrodes 33 is z. B. formed cylindrical and fixed in such a way that its front end is in a state protruding into the reaction chamber 51. In the following explanation, the paired electrodes 33 may simply be referred to as electrodes 33. In the explanation, the direction of juxtaposition of the paired electrodes 33 is referred to as the X direction, the horizontal direction perpendicular to the X direction as the Y direction, and the axial direction of the cylindrical electrode 33 as the Z direction. In the present embodiment, the X, Y and Z directions are perpendicular to each other.

Ein Teil der Elektrode 33 ist am Außenumfang mit einer Elektrodenabdeckung 57 überzogen, die aus einem Isolierstoff, wie Keramik usw., hergestellt ist. Die Elektrodenabdeckung 57 ist im Wesentlichen hohlzylinderförmig, an deren beiden Enden in Längsrichtung jeweils eine Öffnung gebildet ist. Ein Zwischenraum zwischen der Innenumfangsfläche der Elektrodenabdeckung 57 und der Außenumfangsfläche der Elektrode 33 funktioniert als ein Gaskanal 58. Die stromabwärtsseitige Öffnung der Elektrodenabdeckung 57 ist mit der Reaktionskammer 51 verbunden. Das untere Ende der Elektrode 33 ragt von der stromabwärtsseitigen Öffnung der Elektrodenabdeckung 57 hervor.A part of the electrode 33 is covered on the outer circumference with an electrode cover 57, which is made of an insulating material such as ceramics etc. The electrode cover 57 is essentially hollow cylindrical in shape, at both ends of which an opening is formed in the longitudinal direction. A gap between the inner peripheral surface of the electrode cover 57 and the outer peripheral surface of the electrode 33 functions as a gas channel 58. The downstream opening of the electrode cover 57 is connected to the reaction chamber 51. The lower end of the electrode 33 protrudes from the downstream opening of the electrode cover 57.

Innerhalb der ersten Basis 36 des Gehäuses 31 sind ein Reaktionsgaskanal 61 und ein Paar Trägergaskanäle 63 gebildet. Der Reaktionsgaskanal 61 ist über die Gasröhren 19 (s. 1) mit dem Gasversorgungsteil 15B verbunden, damit das vom Gasversorgungsteil 15B zugeführte Reaktionsgas in die Reaktionskammer 51 einströmt. Die paarigen Trägergaskanäle 63 sind in einer derartigen Stelle angeordnet, dass der Reaktionsgaskanal 61 in X-Richtung zwischen ihnen liegt. Jeder der paarigen Trägergaskanäle 63 ist über die Gasröhren 19 (s. 1) mit dem Gasversorgungsteil 15B verbunden, damit er mit dem Trägergas vom Gasversorgungsteil 15B versorgt wird. Durch die Trägergaskanäle 63 strömt das Trägergas über die Gaskanäle 58 in die Reaktionskammer 51 ein.A reaction gas channel 61 and a pair of carrier gas channels 63 are formed within the first base 36 of the housing 31. The reaction gas channel 61 is connected via the gas tubes 19 (see Fig. 1 ) is connected to the gas supply part 15B so that the reaction gas supplied from the gas supply part 15B flows into the reaction chamber 51. The paired carrier gas channels 63 are arranged in such a location that the reaction gas channel 61 lies between them in the X direction. Each of the paired carrier gas channels 63 is connected via the gas tubes 19 (see Fig. 1 ) is connected to the gas supply part 15B to be supplied with the carrier gas from the gas supply part 15B. The carrier gas flows through the carrier gas channels 63 into the reaction chamber 51 via the gas channels 58.

Als das Reaktionsgas (Impfgas) kann Sauerstoff (O2) verwendet werden. Das Gasversorgungsteil 15B lässt z. B. ein Gasgemisch aus Sauerstoff und Stickstoff (N2) (z. B. Trockenluft) über den Reaktionsgaskanal 61 zwischen die Elektroden 33 der Reaktionskammer 51 einströmen. Im Folgenden wird das Gasgemisch ggf. vorläufig als Reaktionsgas und der Sauerstoff als Impfgas bezeichnet. Als Trägergas kann Stickstoff verwendet werden. Das Gasversorgungsteil 15B lässt das Trägergas von den einzelnen Gaskanälen 58 derart einströmen, dass es die einzelnen paarigen Elektroden 33 umschließt.Oxygen (O2) can be used as the reaction gas (seeding gas). The gas supply part 15B can be z. B. a gas mixture of oxygen and nitrogen (N2) (e.g. dry air) flows in between the electrodes 33 of the reaction chamber 51 via the reaction gas channel 61. In the following, the gas mixture may be provisionally referred to as the reaction gas and the oxygen as the seed gas. Nitrogen can be used as a carrier gas. The gas supply part 15B allows the carrier gas to flow in from the individual gas channels 58 in such a way that it encloses the individual paired electrodes 33.

An die paarigen Elektroden 33 wird eine Wechselspannung vom Stromquellenteil 15A des Steuerkastens 15 angelegt. Durch Anlegung der Spannung wird z. B. ein Pseudo-Lichtbogen A zwischen den unteren Enden der paarigen Elektroden 33 in der Reaktionskammer 51 erzeugt, wie in 4 gezeigt. Beim Durchgang des Reaktionsgases durch den Pseudo-Lichtbogen A wird das Reaktionsgas zu Plasma gebildet. Die paarigen Elektroden 33 bewirken daher die Entladung des Pseudo-LichtbogensA, die Plasmabildung des Reaktionsgases und damit die Erzeugung eines Plasmagases.An alternating voltage from the power source part 15A of the control box 15 is applied to the paired electrodes 33. By applying the voltage, e.g. B. a pseudo-arc A is generated between the lower ends of the paired electrodes 33 in the reaction chamber 51, as in 4 shown. When the reaction gas passes through the pseudo-arc A, the reaction gas is formed into plasma. The paired electrodes 33 therefore cause the discharge of the pseudo-arc A, the plasma formation of the reaction gas and thus the generation of a plasma gas.

Am stromabwärtsseitigen Teil der Reaktionskammer 51 am Gehäuse 31 sind mehrere (sechs im vorliegenden Ausführungsbeispiel) hauptkörperseitige Plasmakanäle 71 gebildet, die in X-Richtung voneinander in Abständen aufgereiht sind und sich in Z-Richtung erstrecken. Die stromaufwärtsseitigen Enden der mehreren hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 sind mit der Reaktionskammer 51 verbunden.At the downstream part of the reaction chamber 51 on the housing 31, a plurality of (six in the present exemplary embodiment) main body-side plasma channels 71 are formed, which are lined up at intervals from one another in the X direction and extend in the Z direction. The upstream ends of the plurality of main body side plasma channels 71 are connected to the reaction chamber 51.

Das Plasmabestrahlungsteil 35 ist mit einer Düse 73 usw. versehen. Seitlich in X-Richtung gesehen, ist die Düse 73 im Wesentlichen T-förmig und aus einem Düsenhauptkörper 77 und einer Düsenspitze 79 ausgebildet. Die Düse 73 ist ein einteiliges Bauteil aus dem Düsenhauptkörper 77 und der Düsenspitze 79, das aus Keramik mit hoher Wärmebeständigkeit geformt ist. Der Düsenhauptkörper 77 ist im Wesentlichen flanschförmig gebildet und durch Bolzen 80 an der unteren Fläche des Gehäuses 31 fixiert. Deswegen ist die Düse 73 am Gehäuse 31 abnehmbar, so dass eine Düse in beliebiger Form am Gehäuse 31 angebracht werden kann. Die Düsenspitze 79 ist in einer Form gebildet, die sich von der unteren Fläche des Düsenhauptkörpers 77 nach unten ausdehnt. An der Düse 73 sind mehrere (sechs im vorliegenden Ausführungsbeispiel) düsenseitige Plasmakanäle 81 gebildet, die durch den Düsenhauptkörper 77 und die Düsenspitze 79 in Auf- und Abwärtsrichtung, also in Z-Richtung, durchgehen. Die mehreren düsenseitigen Plasmakanäle 81 sind in X-Richtung voneinander in Abständen aufgereiht. Die mehreren düsenseitigen Plasmakanäle 81 sind in Z-Richtung an denselben Stellen wie die mehreren hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 gebildet. Deswegen sind die hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 und die düsenseitigen Plasmakanäle 81 miteinander verbunden.The plasma irradiation part 35 is provided with a nozzle 73, etc. Seen laterally in the X direction, the nozzle 73 is essentially T-shaped and is formed from a nozzle main body 77 and a nozzle tip 79. The nozzle 73 is a one-piece component consisting of the nozzle main body 77 and the nozzle tip 79, which is formed of ceramics with high heat resistance. The nozzle main body 77 is formed in a substantially flange shape and is fixed to the lower surface of the housing 31 by bolts 80. Therefore, the nozzle 73 is removable on the housing 31, so that a nozzle of any shape can be attached to the housing 31. The nozzle tip 79 is formed in a shape that extends downward from the lower surface of the nozzle main body 77. On the nozzle 73, several (six in the present exemplary embodiment) nozzle-side plasma channels 81 are formed, which pass through the nozzle main body 77 and the nozzle tip 79 in the up and down direction, i.e. in the Z direction. The several nozzle-side plasma channels 81 are lined up at distances from one another in the X direction. The plurality of nozzle-side plasma channels 81 are formed at the same locations in the Z direction as the plurality of main body-side plasma channels 71. Therefore, the main body-side plasma channels 71 and the nozzle-side plasma channels 81 are connected to one another.

Durch diese Struktur wird das in der Reaktionskammer 51 entstehende Plasmagas zusammen mit dem Trägergas über die hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 und die düsenseitigen Plasmakanäle 81 von Öffnungen 81A an den unteren Enden der düsenseitigen Plasmakanäle 81 ausgestoßen. Auf diese Weise tritt am Plasmakopf 11 die Entladung in der Reaktionskammer 51 und damit die Plasmaerzeugung auf, wobei das Plasmagas von der Spitze der Düse 73 ausgestoßen und damit der zu behandelnden Gegenstand W einer Plasmabehandlung unterzogen wird. Durch die Entladung in der Reaktionskammer 51 werden dabei die die Reaktionskammer 51 begrenzende Innenwandfläche des Gehäuses 31, die Elektroden 33 usw. verkohlt, wodurch ggf. Fremdstoffe entstehen. Wenn auf diese Weise Fremdstoffe in der Reaktionskammer 51 entstehen, ist zu befürchten, dass die hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71, die düsenseitigen Plasmakanäle 81 usw. mit Fremdstoffen verstopft werden, was zur Abnahme der Plasmabestrahlungsmenge bzw. zu keinem Plasmaausstoß von der Düse 73 führen kann.With this structure, the plasma gas generated in the reaction chamber 51 is ejected together with the carrier gas via the main body-side plasma channels 71 and the nozzle-side plasma channels 81 from openings 81A at the lower ends of the nozzle-side plasma channels 81. In this way, the discharge in the reaction chamber 51 and thus the plasma generation occurs at the plasma head 11, the plasma gas being ejected from the tip of the nozzle 73 and the object W to be treated being thus subjected to a plasma treatment. As a result of the discharge in the reaction chamber 51, the inner wall surface of the housing 31 delimiting the reaction chamber 51, the electrodes 33, etc. are carbonized, which may result in the formation of foreign substances. If foreign substances are generated in the reaction chamber 51 in this way, there is a fear that the main body-side plasma channels 71, the nozzle-side plasma channels 81, etc. will be clogged with foreign substances, which may lead to a decrease in the amount of plasma irradiation or no plasma ejection from the nozzle 73.

Dafür ist der Drucksensor 26 an der Plasmavorrichtung 10 angeordnet. D. h., der Innendruck der Reaktionskammer 51 wird erhöht, wenn die hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71, die düsenseitigen Plasmakanäle 81 usw. mit Fremdstoffen verstopft werden. Dabei wird auch der Innendruck des den Plasmakopf 11 mit Gas versorgenden Gasversorgungsteils 15B erhöht. Am Gasversorgungsteil 15B ist, wie oben erwähnt, der Drucksensor 26 angeordnet, durch den der Druck des dem Plasmakopf 11 zugeführten Gases vom Gasversorgungsteils 15B erfasst wird. Deshalb zeigt der Regler 20 ein Warnungsbild auf dem Touchscreen 15C1 an, wenn der durch den Drucksensor 26 erfasste Druck einen vorgegebenen Druck überschreitet. Dadurch erkennt der Arbeiter Funktionsfehler und prüft die Plasmavorrichtung 10 usw., so dass eine geeignete Plasmabehandlung durch die Plasmavorrichtung 10 gewährleistet werden kann.For this purpose, the pressure sensor 26 is arranged on the plasma device 10. That is, the internal pressure of the reaction chamber 51 is increased when the main body side plasma channels 71, the nozzle side plasma channels 81, etc. are clogged with foreign matter. The internal pressure of the gas supply part 15B supplying gas to the plasma head 11 is also increased. As mentioned above, the pressure sensor 26 is arranged on the gas supply part 15B, through which the pressure of the gas supplied to the plasma head 11 is detected by the gas supply part 15B. Therefore, the controller 20 displays a warning image on the touch screen 15C1 when the pressure detected by the pressure sensor 26 exceeds a predetermined pressure. As a result, the worker detects malfunctions and checks the plasma device 10, etc., so that appropriate plasma treatment by the plasma device 10 can be ensured.

Zudem soll das Keramikelement 38 des Gehäuses 31, in dem die Reaktionskammer 51 gebildet ist, aus Keramik mit hoher Wärmebeständigkeit bestehen, da die Temperatur der Reaktionskammer 51 durch die Entladung in der Reaktionskammer 51 hoch wird. Keramik ist zwar ein Material mit hoher Wärmebeständigkeit, aber ein sprödes, zerbrechliches Material. Deshalb ist zu befürchten, dass beim Ausliefern des Plasmakopfs 11, beim Befestigen des Plasmakopfs 11 am Roboter 13, usw. das Keramikelement 38 des Plasmakopfs 11 mit irgendetwas in Berührung gebracht und damit beschädigt wird. Unter Berücksichtigung dieser Umstände liefern die Hersteller der Plasmaköpfe 11 die Plasmaköpfe 11 jeweils in einem mit einer Schutzabdeckung ausgestatteten Zustand aus.In addition, since the temperature of the reaction chamber 51 becomes high due to the discharge in the reaction chamber 51, the ceramic member 38 of the housing 31 in which the reaction chamber 51 is formed should be made of ceramics with high heat resistance. Although ceramic is a material with high heat resistance, it is a brittle, fragile material. It is therefore to be feared that when the plasma head 11 is delivered, when the plasma head 11 is attached to the robot 13, etc., the ceramic element 38 of the plasma head 11 will come into contact with something and thus be damaged. Taking these circumstances into account, the manufacturers of the plasma heads 11 each deliver the plasma heads 11 in a state equipped with a protective cover.

Konkret gesagt, ist beim Ausliefern des Plasmakopfs 11 die Düse 73 vom Plasmakopf 11 abgenommen, wie in 6 gezeigt. D. h., die Bolzen 80 am Plasmakopf 11 gemäß 3 sind abgenommen, und die Düse 73 des Plasmabestrahlungsteils 35 ist vom Gehäuse 31 des Plasmakopfs 11 abgenommen. Die Düse 73 ist dann vom Plasmakopf 11 getrennt verpackt. Am Plasmakopf 11, von dem die Düse 73 abgenommen ist, sind an der unteren Fläche des Gehäuses 31 die unteren Enden der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 und Gewindelöcher 90 für das Anziehen der Bolzen 80 bloßgelegt, wie in 6 gezeigt. Dann wird die Schutzabdeckung 100 am Plasmakopf 11 derart befestigt, dass sie die untere Fläche des Gehäuses 31, an der die unteren Enden der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 und die Gewindelöcher 90 bloßgelegt sind, bedeckt.To be specific, when the plasma head 11 is delivered, the nozzle 73 is removed from the plasma head 11, as shown in 6 shown. That is, the bolts 80 on the plasma head 11 according to 3 are removed, and the nozzle 73 of the plasma irradiation part 35 is removed from the housing 31 of the plasma head 11. The nozzle 73 is then packaged separately from the plasma head 11. At the plasma head 11 from which the nozzle 73 is removed, the lower ends of the main body side plasma channels 71 and threaded holes 90 for tightening the bolts 80 are exposed on the lower surface of the housing 31, as shown in FIG 6 shown. Then, the protective cover 100 is attached to the plasma head 11 so that it covers the lower surface of the housing 31 where the lower ends of the main body side plasma channels 71 and the threaded holes 90 are exposed.

Konkret gesagt, ist die Schutzabdeckung 100 aus einem am Plasmakopf 11 abnehmbar gestützten Abdeckungshauptkörper 102 und einem Schwammelement 104, das in einem dicht an den unteren Enden der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 anliegenden Zustand die hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 verschließt, ausgebildet. Der Abdeckungshauptkörper 102 ist ein im Wesentlichen U-förmig gebogenes, scheibenförmiges Stahlmaterial und aus paarweise gegenüberliegenden Flächen 106, 108 und einer Verbindungsfläche 110 zum Anschließen der unteren Ränder der paarweise gegenüberliegenden Flächen 106, 108 ausgebildet. Die Größe der Verbindungsfläche 110 der Schutzabdeckung 100 ist etwas größer als die Größe der unteren Fläche des Gehäuses 31, d. h. diejenige der unteren Fläche des Keramikelements 38. Die Größe der gegenüberliegenden Fläche 106 ist im Wesentlichen gleich wie die Größe der vorderen Seitenwandfläche der zweiten Basis 37 und des Keramikelements 38 des Gehäuses 31. Die Größe der gegenüberliegenden Fläche 108 in Breitenrichtung ist im Wesentlichen gleich wie die Größe der gegenüberliegenden Fläche 106 in Breitenrichtung, aber die Größe der gegenüberliegenden Fläche 108 in Höhenrichtung ist größer als die Größe der gegenüberliegenden Fläche 106 in Höhenrichtung. Am oberen Ende der gegenüberliegenden Fläche 108 sind zwei Durchgangslöcher 112 in Links- und Rechtsrichtung nebeneinander gebildet. An der oberen Fläche der Verbindungsfläche 110 ist das im Wesentlichen scheibenförmige Schwammelement 104 festgelegt. Das Schwammelement 104 ist aus geschlossenzelligem Polyurethan gebildet.Specifically, the protective cover 100 is formed from a cover main body 102 which is removably supported on the plasma head 11 and a sponge element 104 which closes the main body-side plasma channels 71 in a state that is in close contact with the lower ends of the main body-side plasma channels 71. The cover main body 102 is a substantially U-shaped disk-shaped steel material and is formed of paired opposing surfaces 106, 108 and a connecting surface 110 for connecting the lower edges of the paired opposing surfaces 106, 108. The size of the connecting surface 110 of the protective cover 100 is slightly larger than the size of the lower surface of the housing 31, i.e. H. that of the lower surface of the ceramic member 38. The size of the opposing surface 106 is substantially the same as the size of the front side wall surface of the second base 37 and the ceramic member 38 of the housing 31. The size of the opposing surface 108 in the width direction is substantially the same as that Size of the opposing surface 106 in the width direction, but the size of the opposing surface 108 in the height direction is larger than the size of the opposing surface 106 in the height direction. At the upper end of the opposite surface 108, two through holes 112 are formed next to each other in the left and right directions. The essentially disk-shaped sponge element 104 is fixed to the upper surface of the connecting surface 110. The sponge element 104 is formed from closed-cell polyurethane.

Die Schutzabdeckung 100 mit dieser Struktur ist am Plasmakopf 11 derart befestigt, dass sie das Keramikelement 38 des Plasmakopfs 11 bedeckt, wie in 7 und 8 gezeigt. Konkret gesagt, ist die Schutzabdeckung 100 in einem Zustand angeordnet, in dem die Verbindungsfläche 110 gegenüber der unteren Fläche des Keramikelements 38, die gegenüberliegende Fläche 106 gegenüber der vorderen Seitenwandfläche des Gehäuses 31 und die gegenüberliegende Fläche 108 gegenüber der hinteren Seitenwandfläche des Gehäuses 31 gestellt sind. Da die Schutzabdeckung 100 in diesem Zustand angeordnet ist, liegt das an der Verbindungsfläche 110 festgelegte Schwammelement 104 in einem elastisch verformten Zustand dicht an allen mehreren hauptkörperseitigen Plasmakanälen 71 an, die an der unteren Fläche des Keramikelements 38 geöffnet sind. Das obere Ende der gegenüberliegenden Fläche 108 der in diesem Zustand angeordneten Schutzabdeckung 100 liegt dem unteren Ende der an der hinteren Fläche der ersten Basis 36 des Gehäuses 31 fixierten Metallplatte 46 gegenüber, wobei am unteren Ende der Metallplatte 46 zwei Gewindelöcher 116 (in 8 ist nur ein Gewindeloch dargestellt) an den zwei Durchgangslöchern 112 gegenüberliegenden Stellen gebildet sind. Zwei Bolzen 118 werden durch die zwei Durchgangslöcher 112 der gegenüberliegenden Fläche 108 hindurchgeführt und an den zwei Gewindelöchern 116 angezogen. Dadurch wird die Schutzabdeckung 100 am Plasmakopf 11 in einem Zustand befestigt, in dem die gesamte untere Fläche des Keramikelements 38 mit der Verbindungsfläche 110 bedeckt ist und die gesamte vordere und hintere Seitenwandfläche des Keramikelements 38 mit den gegenüberliegenden Flächen 106, 108 bedeckt sind. Dadurch wird die Beschädigung des Keramikelements 38 verhindert, da die untere Fläche, die vordere Seitenwandfläche und die hintere Seitenwandfläche des Keramikelements 38 mit der Schutzabdeckung 100 bedeckt sind.The protective cover 100 having this structure is attached to the plasma head 11 so as to cover the ceramic member 38 of the plasma head 11, as shown in FIG 7 and 8th shown. Concretely, the protective cover 100 is disposed in a state in which the connecting surface 110 is opposed to the lower surface of the ceramic member 38, the opposing surface 106 is opposed to the front side wall surface of the housing 31, and the opposing surface 108 is opposed to the rear side wall surface of the housing 31 . Since the protective cover 100 is disposed in this state, the sponge member 104 fixed to the connecting surface 110 is in an elastically deformed state and closely abuts all of the plurality of main body-side plasma channels 71 opened on the lower surface of the ceramic member 38. The upper end of the opposing surface 108 of the protective cover 100 disposed in this state faces the lower end of the metal plate 46 fixed to the rear surface of the first base 36 of the housing 31, and at the lower end of the metal plate 46 there are two threaded holes 116 (in 8th only one threaded hole is shown) are formed at the two through holes 112 opposite locations. Two bolts 118 are passed through the two through holes 112 of the opposite surface 108 and tightened on the two threaded holes 116. This will make the protective cover 100 am Plasma head 11 is mounted in a state in which the entire lower surface of the ceramic member 38 is covered with the bonding surface 110 and the entire front and rear side wall surfaces of the ceramic member 38 are covered with the opposing surfaces 106, 108. This prevents damage to the ceramic member 38 because the bottom surface, the front side wall surface, and the rear side wall surface of the ceramic member 38 are covered with the protective cover 100.

Es soll möglich sein, an der Schutzabdeckung 100 eine Blinddüse 120 gemäß 9 anzubringen. Die Blinddüse 120 weist eine im Wesentlichen gleiche Form und im Wesentlichen gleiche Größe wie die Düse 73 auf. Die Düse 73 besteht zwar aus Keramik, wie oben erwähnt, aber die Blinddüse 120 besteht aus Harz. An der unteren Fläche der Verbindungsfläche 110 der Schutzabdeckung 100 sind zwei Gewindelöcher 122 (s. 7) gebildet, damit durch Anziehen von zwei Bolzen 126 an den zwei Gewindelöchern 122 die Blinddüse 120 an der unteren Fläche des Abdeckungshauptkörpers 102 der Schutzabdeckung 100 fixiert wird, wie in 10 gezeigt.It should be possible to attach a blind nozzle 120 to the protective cover 100 9 to attach. The blind nozzle 120 has a substantially same shape and size as the nozzle 73. Although the nozzle 73 is made of ceramic as mentioned above, the blind nozzle 120 is made of resin. On the lower surface of the connecting surface 110 of the protective cover 100 there are two threaded holes 122 (see Fig. 7 ) to fix the blind nozzle 120 to the lower surface of the cover main body 102 of the protective cover 100 by tightening two bolts 126 to the two threaded holes 122, as shown in 10 shown.

Auf diese Weise kann das Teachen des Plasmakopfs 11 in einem Zustand, in dem die Beschädigung der Düse 73 verhindert wird, dadurch erfolgen, dass die Blinddüse 120 an der unteren Fläche des Abdeckungshauptkörpers 102 der Schutzabdeckung 100 befestigt wird. Konkret gesagt, wird bei der wirklichen Bestrahlung des zu behandelnden Gegenstands W mit Plasma am Plasmakopf 11 das Plasma von der Düse 73 ausgestoßen. Deshalb wird gewünscht, das Teachen des Plasmakopfs 11 in einem Zustand vorzunehmen, in dem die Düse 73 am Plasmakopf 11 befestigt ist. Es ist jedoch zu befürchten, dass beim Teachen des Plasmakopfs 11 die an der Spitze der Plasmakopfs 11 befestigte Düse 73 mit dem zu behandelnden Gegenstand W, dem Tisch 17 usw. in Berührung gebracht wird. Die Düse 73 besteht aus Keramik und wird daher leicht beschädigt, wie oben erwähnt. Deshalb ist zu befürchten, dass die Düse 73 beschädigt wird, wenn das Teachen des Plasmakopfs 11 in einem Zustand erfolgt, in dem die Düse 73 am Plasmakopf 11 befestigt ist.In this way, teaching of the plasma head 11 in a state where the damage to the nozzle 73 is prevented can be performed by attaching the dummy nozzle 120 to the lower surface of the cover main body 102 of the protective cover 100. To be concrete, when the object W to be treated is actually irradiated with plasma at the plasma head 11, the plasma is ejected from the nozzle 73. Therefore, it is desired to perform teaching of the plasma head 11 in a state in which the nozzle 73 is attached to the plasma head 11. However, it is to be feared that when teaching the plasma head 11, the nozzle 73 attached to the tip of the plasma head 11 will be brought into contact with the object W to be treated, the table 17, etc. The nozzle 73 is made of ceramic and is therefore easily damaged as mentioned above. Therefore, there is a fear that the nozzle 73 will be damaged if the teaching of the plasma head 11 is carried out in a state in which the nozzle 73 is attached to the plasma head 11.

Es ist möglich, unter Berücksichtigung dieser Umstände die Blinddüse 120 aus Harz an der Schutzabdeckung 100 anzubringen. D. h., die Blinddüse 120 wird an der Verbindungsfläche 110 der Schutzabdeckung 100 in einem Zustand angebracht, in dem die Schutzabdeckung 100 am Plasmakopf 11 befestigt ist. Auf diese Weise wird die Blinddüse 120 mit einer im Wesentlichen gleichen Form und im Wesentlichen gleichen Größe wie die Düse 73 an der unteren Fläche der Schutzabdeckung 100, die die untere Fläche des Plasmakopfs 11 bedeckt, angebracht, um das Teachen vorzunehmen, so dass das Teachen in gleicher Weise wie das Teachen in einem Zustand, in dem die Düse 73 am Plasmakopf 11 befestigt ist, erfolgen kann. Da die Blinddüse 120 aus Harz besteht, wird die Blinddüse 120 schwer beschädigt, und zwar auch wenn die Blinddüse 120 beim Teachen mit dem zu behandelnden Gegenstand W usw. in Berührung gebracht wird. Dadurch kann das hochqualitative Teachen des Plasmakopfs 11 in einem Zustand, in dem die Beschädigung der Düse 73 verhindert wird, dadurch erfolgen, dass die Blinddüse 120 an der unteren Fläche des Abdeckungshauptkörpers 102 der Schutzabdeckung 100 angebracht wird.It is possible to attach the blind nozzle 120 made of resin to the protective cover 100 considering these circumstances. That is, the blind nozzle 120 is attached to the connecting surface 110 of the protective cover 100 in a state in which the protective cover 100 is attached to the plasma head 11. In this way, the dummy nozzle 120 having a substantially same shape and size as the nozzle 73 is attached to the lower surface of the protective cover 100 covering the lower surface of the plasma head 11 to perform teaching, so that teaching in the same way as teaching can take place in a state in which the nozzle 73 is attached to the plasma head 11. Since the blind nozzle 120 is made of resin, the blind nozzle 120 is seriously damaged even if the blind nozzle 120 is brought into contact with the object to be treated W etc. during teaching. Thereby, the high-quality teaching of the plasma head 11 can be performed in a state where the damage to the nozzle 73 is prevented by attaching the dummy nozzle 120 to the lower surface of the cover main body 102 of the protective cover 100.

Bei der praktischen Ausführung der Plasmabehandlung durch den Plasmakopf 11 muss der Arbeiter selbstverständlich die Schutzabdeckung 100 vom Plasmakopf 11 abnehmen und dann die Düse 73 am Plasmakopf 11 befestigen. D. h., die Düse 73 muss an der unteren Fläche des Keramikelements 38, von dem die Schutzabdeckung 100 abgenommen ist, befestigt werden, wie in 3 gezeigt. Wenn der Plasmakopf 11 mit der Schutzabdeckung 100 und der Blinddüse 120 bestückt ist, ist das Aussehen des Plasmakopfs 11, an dem die Düse 73 befestigt ist, und dasjenige des Plasmakopfs 11, an dem die Schutzabdeckung 100 und die Blinddüse 120 befestigt sind, jedoch ähnlich, wie aus dem Vergleich der 3 mit 10 ersichtlich. Aus diesem Grund vergisst der Arbeiter ggf., vor der Ausführung der Plasmabehandlung durch den Plasmakopfs 11 die Schutzabdeckung 100 vom Plasmakopf 11 abzunehmen. In diesem Fall wird die Plasmabehandlung durch den Plasmakopf 11 in einem mit der Schutzabdeckung 100 ausgestatteten Zustand ausgeführt, aber der zu behandelnde Gegenstand W wird dabei selbstverständlich mit Plasma nicht bestrahlt, so dass keine geeignete Plasmabehandlung gewährleistet werden kann.Of course, in the practical execution of plasma treatment by the plasma head 11, the worker needs to remove the protective cover 100 from the plasma head 11 and then attach the nozzle 73 to the plasma head 11. That is, the nozzle 73 must be attached to the lower surface of the ceramic member 38 from which the protective cover 100 is detached, as shown in 3 shown. However, when the plasma head 11 is equipped with the protective cover 100 and the blind nozzle 120, the appearance of the plasma head 11 to which the nozzle 73 is attached and that of the plasma head 11 to which the protective cover 100 and the blind nozzle 120 are attached are similar , as can be seen from the comparison of 3 with 10 visible. For this reason, the worker may forget to remove the protective cover 100 from the plasma head 11 before carrying out the plasma treatment by the plasma head 11. In this case, the plasma treatment is carried out by the plasma head 11 in a state equipped with the protective cover 100, but of course the object W to be treated is not irradiated with plasma, so that appropriate plasma treatment cannot be ensured.

Unter Berücksichtigung dieser Umstände ist das Schwammelement 104 an der Schutzabdeckung 100 angeordnet. Konkret gesagt, liegt das Schwammelement 104 in einem elastisch verformten Zustand dicht an allen mehreren hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71, die an der unteren Fläche des Keramikelements 38 geöffnet sind, an, wenn die Schutzabdeckung 100 am Plasmakopf 11 befestigt ist. Dadurch werden die Öffnungen der mehreren hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 alle mit dem Schwammelement 104 verschlossen. Das Schwammelement 104 ist aus geschlossenzelligem Polyurethan gebildet, so dass es eine hohe Dichtwirkung aufweist und gasundurchlässig ist. Wird die Plasmabehandlung durch den Plasmakopf 11 in einem mit der Schutzabdeckung 100 ausgestatteten Zustand ausgeführt, wird dann folglich der Innendruck der Reaktionskammer 51 erhöht, da das in der Reaktionskammer 51 entstehende Plasma von den hauptkörperseitigen Plasmakanälen 71 nicht abgelassen wird. Dabei wird auch der Innendruck des Gasversorgungsteils 15B, das den Plasmakopf 11 mit Gas versorgt, erhöht. Wenn der durch den Drucksensor 26 erfasste Druck den vorgegebenen Druck überschreitet, wird ein Warnungsbild am Touchscreen 15C1 angezeigt. Dadurch erkennt der Arbeiter die Funktionsfehler, prüft die Plasmavorrichtung 10 usw. und bemerkt, dass die Abnahme der Schutzabdeckung 100 vom Plasmakopf 11 vergessen ist. Auf diese Weise kann der Arbeiter auf das Vergessen der Abnahme der Schutzabdeckung 100 dadurch aufmerksam werden, dass das Schwammelement 104 an der Schutzabdeckung 100 befestigt wird.Taking these circumstances into account, the sponge member 104 is arranged on the protective cover 100. Concretely, when the protective cover 100 is attached to the plasma head 11, the sponge member 104 in an elastically deformed state closely abuts all the plurality of main body-side plasma channels 71 opened on the lower surface of the ceramic member 38. As a result, the openings of the plurality of plasma channels 71 on the main body side are all closed with the sponge element 104. The sponge element 104 is made of closed-cell polyurethane, so that it has a high sealing effect and is impermeable to gases. Consequently, when the plasma treatment is carried out by the plasma head 11 in a state equipped with the protective cover 100, the internal pressure of the reaction chamber 51 is increased because the in The plasma generated in the reaction chamber 51 is not drained from the plasma channels 71 on the main body side. The internal pressure of the gas supply part 15B, which supplies the plasma head 11 with gas, is also increased. When the pressure detected by the pressure sensor 26 exceeds the predetermined pressure, a warning image is displayed on the touch screen 15C1. As a result, the worker recognizes the malfunctions, checks the plasma device 10, etc., and notices that he has forgotten to remove the protective cover 100 from the plasma head 11. In this way, the worker can become aware of forgetting to remove the protective cover 100 by attaching the sponge member 104 to the protective cover 100.

Wie oben erwähnt, dient der Drucksensor 26 zur Überwachung der Druckerhöhung durch verstopfte Fremdstoffe usw. innerhalb der Reaktionskammer 51. An der Plasmavorrichtung 10 ist bisher eine Struktur montiert, bei der ein Warnungsbild auf dem Touchscreen 15C1 dann angezeigt wird, wenn der durch den Drucksensor 26 erfasste Druck einen vorgegebenen Druck überschreitet. Deshalb kann der Arbeiter mit der bisher montierten Struktur zur Anzeige des Warnungsbilds nur dadurch auf das Vergessen der Abnahme der Schutzabdeckung 100 aufmerksam werden, dass das Schwammelement 104 an der Schutzabdeckung 100 befestigt wird.As mentioned above, the pressure sensor 26 is used to monitor the increase in pressure caused by clogged foreign substances, etc. within the reaction chamber 51. A structure has been mounted on the plasma device 10 so far in which a warning image is displayed on the touch screen 15C1 when the pressure sensor 26 detected pressure exceeds a predetermined pressure. Therefore, with the structure for displaying the warning image mounted so far, the worker can become aware of forgetting to remove the protective cover 100 only by attaching the sponge member 104 to the protective cover 100.

Übrigens stellt die Plasmavorrichtung 10 ein Beispiel einer Plasmaerzeugungsvorrichtung dar. Der Plasmakopf 11 stellt ein Beispiel eines Plasmakopfs dar. Der Touchscreen 15C1 stellt ein Beispiel einer Mitteilungsvorrichtung dar. Der Drucksensor 26 stellt ein Beispiel eines Erfassungssensors dar. Die Öffnung des hauptkörperseitigen Plasmakanals 71 zur unteren Fläche des Keramikelements 38 stellt ein Beispiel einer Ausstoßöffnung dar. Die Düse 73 stellt ein Beispiel einer Ausstoßdüse dar. Die Schutzabdeckung 100 stellt ein Beispiel einer Schutzabdeckung dar. Der Abdeckungshauptkörper 102 stellt ein Beispiel eines Hauptkörpers dar. Das Schwammelement 104 stellt ein Beispiel eines dicht anliegenden Körpers dar. Die gegenüberliegenden Flächen 106, 108 stellen ein Beispiel von gegenüberliegenden Flächen dar. Die Verbindungsfläche 110 stellt ein Beispiel einer Verbindungsfläche dar. Die Blinddüse 120 stellt ein Beispiel einer Blinddüse dar. Das Gewindeloch 122 stellt ein Beispiel eines Anbringungsteils dar.Incidentally, the plasma device 10 represents an example of a plasma generating device. The plasma head 11 represents an example of a plasma head. The touch screen 15C1 represents an example of a notification device. The pressure sensor 26 represents an example of a detection sensor. The opening of the main body side plasma channel 71 to the lower surface of the ceramic member 38 represents an example of a discharge port. The nozzle 73 represents an example of a discharge nozzle. The protective cover 100 represents an example of a protective cover. The cover main body 102 represents an example of a main body. The sponge member 104 represents an example of a close-fitting body The opposing surfaces 106, 108 represent an example of opposing surfaces. The connecting surface 110 represents an example of a connecting surface. The blind nozzle 120 represents an example of a blind nozzle. The threaded hole 122 represents an example of an attachment part.

Wie oben erwähnt, erzielt die vorliegende obengenannte Ausführungsform folgende Effekte.As mentioned above, the present above-mentioned embodiment achieves the following effects.

Die Schutzabdeckung 100 zum Schutz des Keramikelements 38 in einem Zustand, in dem sie die Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 des Plasmakopfs 11 verschließt, ist aus dem am Plasmakopf 11 abnehmbar gestützten Abdeckungshauptkörper 102 und dem Schwammelement 104, das an den Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 in einem verformten Zustand die Öffnungen verschließt, ausgebildet. Dadurch kann die Schutzabdeckung 100 sowohl am Plasmakopf 11 leicht angebracht werden, als auch die Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 lückenlos verschließen.The protective cover 100 for protecting the ceramic member 38 in a state of closing the openings of the main body side plasma channels 71 of the plasma head 11 is composed of the cover main body 102 detachably supported on the plasma head 11 and the sponge member 104 attached to the openings of the main body side plasma channels 71 in a deformed state closes the openings. As a result, the protective cover 100 can be easily attached to the plasma head 11 and can also completely close the openings of the plasma channels 71 on the main body side.

Der Abdeckungshauptkörper 102 der Schutzabdeckung 100 ist U-förmig gebildet. Dadurch kann das Keramikelement 38 durch den Abdeckungshauptkörper 102, der eine einfache Struktur aufweist und kostengünstig ist, geeignet geschützt werden.The cover main body 102 of the protective cover 100 is formed in a U-shape. Thereby, the ceramic member 38 can be properly protected by the cover main body 102, which has a simple structure and is inexpensive.

Der Ü-förmige Abdeckungshauptkörper 102 ist aus den paarweise gegenüberliegenden Flächen 106, 108 und der Verbindungsfläche 110 zum Anschließen der Ränder der paarweise gegenüberliegenden Flächen 106, 108 ausgebildet, wobei das Schwammelement 104 an der Verbindungsfläche 110 angeordnet ist. Dadurch wird die Struktur der Schutzabdeckung 100 klargestellt.The U-shaped cover main body 102 is formed of the paired opposing surfaces 106, 108 and the connecting surface 110 for connecting the edges of the paired opposing surfaces 106, 108, with the sponge member 104 disposed on the connecting surface 110. This clarifies the structure of the protective cover 100.

Die Schutzabdeckung 100 wird am Plasmakopf 11 in einem Zustand befestigt, in dem die paarweise gegenüberliegenden Flächen 106, 108 gegenüber der vorderen und hinteren Seitenwandfläche des Plasmakopfs 11 gestellt sind und die Verbindungsfläche 110 gegenüber der unteren Fläche des Keramikelements 38 des Plasmakopfs 11 gestellt ist. Dadurch kann das Keramikelement 38 durch die Schutzabdeckung 100 geeignet geschützt werden und damit können die Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 durch das Schwammelement 104 geeignet verschlossen werden.The protective cover 100 is attached to the plasma head 11 in a state in which the paired opposing surfaces 106, 108 are opposed to the front and rear side wall surfaces of the plasma head 11 and the connecting surface 110 is opposed to the lower surface of the ceramic member 38 of the plasma head 11. As a result, the ceramic element 38 can be suitably protected by the protective cover 100 and thus the openings of the main body-side plasma channels 71 can be suitably closed by the sponge element 104.

An den Gewindelöchern 122 der Schutzabdeckung 100 wird die Blinddüse 120 abnehmbar angebracht. Dadurch wird die Beschädigung der Düse 73 beim Teachen des Plasmakopfs 11 verhindert werden.The blind nozzle 120 is removably attached to the threaded holes 122 of the protective cover 100. This will prevent damage to the nozzle 73 when teaching the plasma head 11.

An der Plasmavorrichtung 10 wird ein Warnungsbild am Touchscreen 15C1 angezeigt, wenn beim Betrieb des Plasmakopfs 11 in einem Zustand, in dem die Schutzabdeckung 100 am Plasmakopf 11 angebracht ist, d. h. in einem Zustand, in dem die Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 durch das Schwammelement 104 verschlossen sind, der durch den Drucksensor 26 erfasste Druck den vorgegebenen Druck überschreitet. Dadurch kann der Arbeiter auf das Vergessen der Abnahme der Schutzabdeckung 100 aufmerksam werden.On the plasma device 10, a warning image is displayed on the touch screen 15C1 when operating the plasma head 11 in a state in which the protective cover 100 is attached to the plasma head 11, i.e. H. In a state in which the openings of the main body side plasma channels 71 are closed by the sponge member 104, the pressure detected by the pressure sensor 26 exceeds the predetermined pressure. This can make the worker aware of forgetting to remove the protective cover 100.

Die vorliegende Offenbarung wird nicht nur auf die obengenannte Ausführungsform beschränkt, sondern kann auch aufgrund der fachmännischen Kenntnisse in verschiedenen Formen, die verschiedenen Modifikationen bzw. Verbesserungen unterzogen wurden, ausgeführt werden. Konkret gesagt, ist das Schwammelement 104 der Schutzabdeckung 100 z. B. aus geschlossenzelligem Urethanschaum gebildet, aber es kann aus verschiedenen Harzen, wie geschlossenzelligem Polyethylen usw. gebildet sein. Das Schwammelement wird nicht auf das geschlossenzellige Harz beschränkt, sondern kann auch aus einem offenzelligen Harz gebildet sein. Beim Bilden des Schwammelements aus einem offenzelligen Harz besteht jedoch eine Möglichkeit, dass Plasma über die offenen Zellen entweicht, auch wenn die Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 durch das Schwammelement verschlossen sind. Beim Bilden des Schwammelements aus einem offenzelligen Harz ist es daher vorteilhaft, dass die Oberfläche des Schwammelements z. B. geschmolzen wird, damit die offenen Zellen an der Oberfläche des Schwammelements nicht bloßgelegt werden. Das Bauelement zum Verschließen der Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 wird nicht nur auf das Schwammelement aus einem Harz beschränkt, sondern kann auch ein elastischer Körper, wie Gummi, Gel usw. sein. Des Weiteren wird es nicht nur auf das elastisch verformbares Bauelement beschränkt, sondern ein Bauelement, das in einem plastisch verformten Zustand die Öffnungen der hauptkörperseitigen Plasmakanäle 71 verschließt, kann verwendet werden.The present disclosure is not limited only to the above embodiment but may also be based on those skilled in the art Knowledge is carried out in various forms that have undergone various modifications or improvements. Specifically, the sponge element 104 of the protective cover 100 is z. B. formed from closed cell urethane foam, but it may be formed from various resins such as closed cell polyethylene etc. The sponge member is not limited to the closed-cell resin but may also be formed of an open-cell resin. However, when forming the sponge member from an open-cell resin, there is a possibility that plasma leaks through the open cells even if the openings of the main body-side plasma channels 71 are closed by the sponge member. Therefore, when forming the sponge member from an open-cell resin, it is advantageous that the surface of the sponge member is e.g. B. is melted so that the open cells on the surface of the sponge element are not exposed. The member for closing the openings of the main body side plasma channels 71 is not limited to only the sponge member made of a resin, but may also be an elastic body such as rubber, gel, etc. Furthermore, it is not limited to only the elastically deformable component, but a component that closes the openings of the main body-side plasma channels 71 in a plastically deformed state can be used.

Im obigen Ausführungsbeispiel wird die U-förmige Abdeckungshauptkörper 102 verwendet. Die Abdeckungshauptkörper in verschiedenen Formen, wie in einer Kastenform usw., kann verwendet werden, wenn die Form das Keramikelement 38 schützen kann. Im obigen Ausführungsbeispiel wird die Schutzabdeckung 100 zur Abdeckung des Keramikelements 38, von dem die Düse 73 abgenommen ist, verwendet, aber eine Schutzabdeckung zur Abdeckung des Keramikelements 38, an dem die Düse 73 angebracht ist, kann auch verwendet werden. Des Weiteren ist im obigen Ausführungsbeispiel die Schutzabdeckung 100 zum Schutz des Keramikelements 38 verwendet, aber eine Schutzabdeckung zum Schutz weiterer Bauelemente kann auch verwendet werden.In the above embodiment, the U-shaped cover main body 102 is used. The cover main body in various shapes, such as a box shape, etc., can be used if the shape can protect the ceramic member 38. In the above embodiment, the protective cover 100 is used to cover the ceramic member 38 from which the nozzle 73 is detached, but a protective cover to cover the ceramic member 38 to which the nozzle 73 is attached may also be used. Furthermore, in the above embodiment, the protective cover 100 is used to protect the ceramic element 38, but a protective cover for protecting other components may also be used.

Im Ausführungsbeispiel wird im Fall, dass der durch den Drucksensor 26 erfasste Druck den vorgegebenen Druck überschreitet, die Fehlerentstehung dem Arbeiter durch Anzeige eines Warnungsbilds auf dem Touchscreen 15C1 mitgeteilt. Die Fehlerentstehung kann dem Arbeiter auch durch verschiedene Methoden, wie Schall, Licht usw. mitgeteilt werden.In the exemplary embodiment, if the pressure detected by the pressure sensor 26 exceeds the predetermined pressure, the occurrence of the error is communicated to the worker by displaying a warning image on the touchscreen 15C1. The cause of the error can also be communicated to the worker using various methods, such as sound, light, etc.

BEZUGSZEICHENLISTEREFERENCE SYMBOL LIST

1010: Plasmavorrichtung (Plasmaerzeugungsvorrichtung)Plasma device (plasma generating device)
1111: PlasmakopfPlasma head
15C115C1: Touchscreen (Mitteilungsvorrichtung)Touch screen (notification device)
2626: Drucksensor (Erfassungssensor)Pressure sensor (detection sensor)
7171: hauptkörperseitiger Plasmakanal (Ausstoßöffnung)main body side plasma channel (ejection opening)
7373: Düse (Ausstoßdüse)nozzle (ejection nozzle)
100100: SchutzabdeckungProtective cover
102102: Abdeckungshauptkörper (Hauptkörper)Cover main body (main body)
104104: Schwammelement (dicht anliegender Körper)Sponge element (tight-fitting body)
106106: gegenüberliegende Flächeopposite surface
108108: gegenüberliegende Flächeopposite surface
110110: Verbindungsflächeconnection surface
120120: BlinddüseBlind nozzle
122122: Gewindeloch (Anbringungsteil)Threaded hole (attachment part)

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

JP H11260597 A [0003]

Claims

A protective cover for protecting a plasma head configured to eject plasma in a state in which the protective cover closes an ejection port of the plasma head, the protective cover comprising: a main body detachably supported by the plasma head; and a close-fitting body configured to be brought into close contact with the ejection port in a deformed state to close the ejection port.

The protective cover Claim 1 , with the main body being U-shaped.

The protective cover Claim 2 , wherein the U-shaped main body includes a pair of opposing surfaces facing each other and a connecting surface connecting edges of the pair of opposing surfaces together, and the closely fitting body is disposed on the connecting surface.

The protective cover Claim 3 , wherein the protective cover is attached to the plasma head in a state in which the pair of opposing surfaces face a pair of side wall surfaces of the plasma head and the connecting surface faces a lower surface of the plasma head on which the ejection port is formed.

The protective cover after one of the Claims 1 until 4 , further comprising: a mounting portion to which a blind nozzle of an ejection nozzle is detachably attached.

Plasma generating device comprising: a plasma head on which the protective cover according to one of Claims 1 until 5 is attached; a detection sensor configured to detect a pressure of a gas supplied to the plasma head; and a notification device configured to output an error notification based on a detection value of the detection sensor when the plasma head operates in a state in which the ejection port is closed by the tightly fitting body of the protective cover.