DE112018006278T5 - ULTRASONIC OPTICAL WAVE MEASURING DEVICE DEVICE, METHOD, PROGRAM AND STORAGE MEDIUM - Google Patents

ULTRASONIC OPTICAL WAVE MEASURING DEVICE DEVICE, METHOD, PROGRAM AND STORAGE MEDIUM Download PDF

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Abstract

Nach der vorliegenden Erfindung umfasst eine optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung einen Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt, eine Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, einen Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe und einen Messabschnitt. Der Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt ist so eingerichtet, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt. Die Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte sind so eingerichtet, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben. Der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe ist so eingerichtet, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass sich die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, nicht überlappen. Der Messabschnitt ist so angeordnet, dass er ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und der von den Lichtimpulsen am Messobjekt erzeugten optoakustischen Wellen misst.According to the present invention, an optical ultrasonic wave measuring apparatus comprises an ultrasonic pulse output section, a plurality of light pulse output sections, a timing section for pulse output, and a measuring section. The ultrasonic pulse output section is arranged to output an ultrasonic pulse. The light pulse output sections are arranged to output light pulses having their respective different wavelengths. The pulse output timing section is arranged to control the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods of time during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap. The measurement section is arranged to measure a measurement object based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and the optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object.

Description

TECHNISCHER BEREICHTECHNICAL PART

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Messung von optoakustischen Wellen und Ultraschallwellen.The present invention relates to the measurement of optoacoustic waves and ultrasonic waves.

TECHNISCHER HINTERGRUNDTECHNICAL BACKGROUND

Es sind bisher optoakustische Messvorrichtungen bekannt, die so eingerichtet sind, dass sie optoakustische Signale messen, die durch Bestrahlung eines Messobjekts (Messziel) (z.B. eines lebenden Organismus) mit gepulstem Licht erhalten werden. Zum Beispiel wird eine optoakustischer Messvorrichtung mit mehreren Lichtquellen in den Patentliteraturen 1 und 2 offenbart. Ein AR-PAM, eine Art optoakustischer Messapparat, wird in der Nichtpatentliteratur 1 offenbart.So far, optoacoustic measuring devices are known which are set up to measure optoacoustic signals obtained by irradiating a measurement object (measurement target) (e.g. a living organism) with pulsed light. For example, an optoacoustic measuring device with multiple light sources is disclosed in Patent Literature 1 and 2. An AR-PAM, a kind of optoacoustic measuring apparatus, is disclosed in non-patent literature 1.

Zudem ist eine Messvorrichtung, die so eingerichtet ist, dass sie ein Messobjekt mit einem Beleuchtungslicht erzeugenden Abschnitt und einem Ultraschallwellen erzeugenden Abschnitt misst, in Patentliteratur 3 offenbart.In addition, a measuring device configured to measure a measurement object having an illumination light generating portion and an ultrasonic wave generating portion is disclosed in Patent Literature 3.

ZITATLISTEQUOTE LIST

PATENTLITERATURPATENT LITERATURE

  • Patentliteratur 1: JP 2016-047114 A Patent Literature 1: JP 2016-047114 A
  • Patentliteratur 2: JP 2011-229660 A Patent literature 2: JP 2011-229660 A
  • Patentliteratur 3: WO2010/095487 Patent Literature 3: WO2010 / 095487

Nichtpatentliteratur 1: Hao F Zhang, et al., „Funktionelle photoakustische Mikroskopie für hochauflösende und nicht-invasive in-vivo-Bildgebung“, Nature Biotechnology, 25. Juni 2006, Band 24, Nummer 7, S.848-851 .Non-patent literature 1: Hao F Zhang, et al., “Functional Photoacoustic Microscopy for High Resolution and Non-Invasive In Vivo Imaging,” Nature Biotechnology, Jun 25, 2006, Volume 24, Number 7, pp.848-851 .

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEMEPROBLEMS TO BE SOLVED BY THE INVENTION

Es wurde jedoch kein Messgerät vorgeschlagen, das einen Ultraschallwellen erzeugenden Abschnitt und mehrere gepulste Lichtquellen verwendet.However, no measuring device has been proposed that uses an ultrasonic wave generating section and a plurality of pulsed light sources.

Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Messung mit einem Ultraschallwellen erzeugenden Abschnitt und mehreren gepulsten Lichtquellen durchzuführen.It is therefore an object of the present invention to perform measurement with an ultrasonic wave generating section and a plurality of pulsed light sources.

MITTEL ZUR LÖSUNG DES PROBLEMSMEANS TO SOLVE THE PROBLEM

Nach der vorliegenden Erfindung umfasst ein optisches Ultraschallwellenmessgerät bzw. eine Ultraschallwellenmessvorrichtung: einen Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt; eine Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so eingerichtet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben; einen Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er ein Messziel bzw. Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messziel und optoakustischer Wellen, die durch die Lichtimpulse am Messziel erzeugt werden, misst.According to the present invention, an ultrasonic wave measuring optical apparatus comprises: an ultrasonic pulse output section configured to output an ultrasonic pulse; a plurality of light pulse output sections adapted to output light pulses having their respective different wavelengths; a pulse output timing section configured to control the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap with each other; and a measurement section configured to measure a measurement target based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement target and optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement target.

Nach der so konstruierten optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung gibt ein Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt einen Ultraschallimpuls aus. Eine Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten gibt Lichtimpulse mit jeweils unterschiedlichen Wellenlängen aus. Ein Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe steuert den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so dass sich die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, nicht überlappen. Ein Messabschnitt misst ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und optoakustischer Wellen, die durch die Lichtimpulse am Messobjekt erzeugt werden.According to the thus constructed ultrasonic wave measuring device, an ultrasonic pulse output section outputs an ultrasonic pulse. A plurality of light pulse output sections output light pulses each having different wavelengths. A pulse output timing section controls the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap. A measurement section measures a measurement object based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object.

Nach der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung der vorliegenden Erfindung können Triggersignale ein Ultraschallimpuls-Triggersignal und eine Vielzahl von Lichtimpuls-Triggersignalen enthalten, wobei das Ultraschallimpuls-Triggersignal dem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt zugeführt werden kann, um den Ultraschallimpuls zu erzeugen, und die Lichtimpuls-Triggersignale können jeweils den Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten zugeführt werden, um die Lichtimpulse zu erzeugen.According to the optical ultrasonic wave measuring device of the present invention, trigger signals can include an ultrasonic pulse trigger signal and a plurality of light pulse trigger signals, the ultrasonic pulse trigger signal can be supplied to the ultrasonic pulse output section to generate the ultrasonic pulse, and the light pulse trigger signals can each be the light pulse -Output sections are fed to generate the light pulses.

Nach dem optischen Ultraschallwellenmessgerät der vorliegenden Erfindung kann der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe (Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe) einen Abschnitt zur Verzögerung des Triggersignals aufweisen, der so eingerichtet ist, dass er eines der Triggersignale als ein anderes der Triggersignale verzögert.According to the ultrasonic optical wave measuring apparatus of the present invention, the pulse output timing section (pulse output timing section) may include a trigger signal delaying section configured to delay one of the trigger signals as another of the trigger signals.

Gemäß der optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung der vorliegenden Erfindung kann der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe einen Abschnitt zur Verzögerung des ausgabesynchronen Triggersignals haben, der so eingerichtet ist, dass er ein ausgabesynchrones Triggersignal als eines der Triggersignale verzögert, wobei das ausgabesynchronisierte Triggersignal synchron mit dem Zeitpunkt ausgegeben wird, zu dem einer der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte den Lichtimpuls ausgibt. According to the optical ultrasonic wave measuring apparatus of the present invention, the pulse output timing section may have an output synchronous trigger signal delaying section configured to delay an output synchronous trigger signal as one of the trigger signals, the output synchronized trigger signal being output in synchronization with timing to which one of the light pulse output sections outputs the light pulse.

Nach der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung der vorliegenden Erfindung kann der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe einen Abschnitt zur Verzögerung eines elektrischen Impulses aufweisen, der so angeordnet ist, dass er einen elektrischen Impuls als Ergebnis der photoelektrischen Umwandlung des Lichtimpulses als eines der Triggersignale verzögert.According to the ultrasonic wave measuring apparatus of the present invention, the pulse output timing section may include an electrical pulse delaying section arranged to delay an electrical pulse as a result of photoelectric conversion of the light pulse as one of the trigger signals.

Nach der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung der vorliegenden Erfindung kann einer der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte so eingerichtet sein, dass er den Lichtimpuls, der von einem anderen der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte ausgegeben wird, empfängt, dessen Wellenlänge umwandelt und den umgewandelten Lichtimpuls ausgibt, wobei die optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung ferner einen optischen Schalter umfasst, der so eingerichtet ist, dass er das Umschalten zwischen einem der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte und dem Messobjekt ermöglicht, an das die Ausgabe von einem anderen der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte geliefert wird.According to the optical ultrasonic wave measuring device of the present invention, one of the light pulse output sections may be arranged to receive the light pulse output from another of the light pulse output sections, convert its wavelength and output the converted light pulse, wherein the optical ultrasonic wave measuring device further comprises an optical switch configured to enable switching between one of the light pulse output sections and the measurement object to which the output from another of the light pulse output sections is supplied.

Nach der vorliegenden Erfindung kann die optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung ferner einen Bewegungsabschnitt enthalten, der so eingerichtet ist, dass er einen Bewegungssteuerimpuls empfängt und die Position, an der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse dem Messobjekt zugeführt werden, bewegt, wobei der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Bewegungssteuerimpuls, der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Dauern, während derer der Bewegungssteuerimpuls, der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen.According to the present invention, the optical ultrasonic wave measuring device may further include a moving section configured to receive a movement control pulse and move the position at which the ultrasonic pulse and the light pulses are supplied to the measuring object, the timing section for pulse output so is arranged to control the timing at which the movement control pulse, the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods during which the movement control pulse, the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap each other.

Nach dem optischen Ultraschallwellenmessgerät der vorliegenden Erfindung können nach dem Abfallen des Bewegungssteuerimpulses ein weiterer Ultraschallimpuls und andere Lichtimpulse ausgegeben werden.According to the optical ultrasonic wave measuring apparatus of the present invention, after the motion control pulse has dropped, another ultrasonic pulse and other light pulses can be output.

Nach der vorliegenden Erfindung umfasst ein optisches Ultraschallwellen-Messverfahren unter Verwendung einer optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung mit einem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt, und einer Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so eingerichtet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben: einen Zeitsteuerungsschritt für die Impulsausgabe, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messschritt, der so eingerichtet ist, dass er ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und optoakustischer Wellen, die durch die Lichtimpulse am Messobjekt erzeugt werden, misst.According to the present invention, an optical ultrasonic wave measuring method using an optical ultrasonic wave measuring device having an ultrasonic pulse output section configured to output an ultrasonic pulse and a plurality of light pulse output sections configured to output light pulses output with their respective different wavelengths: a timing step for the pulse output which is set up to control the point in time at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the time periods during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output, do not overlap each other; and a measuring step configured to measure a measurement object based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object.

Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich auch um ein Programm von Befehlen zur Ausführung durch einen Computer zur Durchführung eines optischen Ultraschallwellen-Messverfahrens unter Verwendung einer optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung mit einem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt, der so angeordnet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt, und einer Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so eingerichtet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben, wobei das Verfahren umfasst: einen Zeitsteuerungsschritt für die Impulsausgabe, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messschritt, der so eingerichtet ist, dass er ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses an dem Messobjekt und optoakustischer Wellen, die durch die Lichtimpulse an dem Messobjekt erzeugt werden, misst.The present invention is also a program of instructions to be executed by a computer for performing an optical ultrasonic wave measuring method using an optical ultrasonic wave measuring device having an ultrasonic pulse output section arranged to output an ultrasonic pulse and a plurality of light pulse output sections adapted to output light pulses having their respective different wavelengths, the method comprising: a timing step for the pulse output adapted to determine the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses controls so that the periods during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap with each other; and a measuring step arranged to be a measurement object based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object.

Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich auch um ein computerlesbares Medium mit einem Programm von Befehlen zur Ausführung durch einen Computer zur Durchführung eines optischen Ultraschallwellen-Messverfahrens unter Verwendung einer optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung mit einem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt, und einer Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so eingerichtet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben, wobei das Verfahren umfasst: einen Zeitsteuerungsschritt für die Impulsausgabe, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messschritt, der so eingerichtet ist, dass er ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und optoakustischer Wellen, die durch die Lichtimpulse am Messobjekt erzeugt werden, misst.The present invention is also a computer readable medium having a program of instructions to be executed by a computer for performing an optical ultrasonic wave measuring method using an optical ultrasonic wave measuring device having an ultrasonic pulse output section adapted to have a An ultrasonic pulse outputting, and a plurality of light pulse output sections adapted to output light pulses having their respective different wavelengths, the method comprising: a timing step for the pulse output adapted to determine the time when the The ultrasonic pulse and the light pulses are outputted so that the periods of time during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap each other; and a measuring step configured to measure a measurement object based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object.

FigurenlisteFigure list

  • ist ein funktionales Blockschaltbild, das den Aufbau einer optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 nach einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the construction of an optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a first embodiment of the present invention;
  • ist ein funktionelles Blockdiagramm, das die Konfiguration des Zeitsteuerungsabschnitts der Impulsausgabe 20 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of the pulse output timing section 20th according to the first embodiment of the present invention;
  • ist ein Timing-Diagramm der Triggersignale T1, T2, T3 gemäß der ersten Ausführungsform; Figure 3 is a timing diagram of the trigger signals T1 , T2 , T3 according to the first embodiment;
  • ist ein Timing-Diagramm der mehrfachen Lichtimpulse P1, P2 und des Ultraschallimpulses P3 gemäß der ersten Ausführungsform; Figure 13 is a timing diagram of the multiple light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 according to the first embodiment;
  • ist ein funktionales Blockschaltbild, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitts für die Impulsausgabe 20 in der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section for pulse output 20th in the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the second embodiment;
  • ist ein funktionales Blockdiagramm, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitts für die Impulsausgabe 20 in der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß einer Variation der zweiten Ausführungsform zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section for pulse output 20th in the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a variation of the second embodiment;
  • ist ein funktionelles Blockdiagramm, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 in der optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 gemäß der dritten Ausführungsform zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section for pulse output 20th in the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the third embodiment;
  • ist ein funktionelles Blockdiagramm, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitts für die Impulsausgabe 20 im optischen Ultraschallwellenmessgerät 1 gemäß der vierten Ausführungsform zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section for pulse output 20th in the optical ultrasonic wave meter 1 according to the fourth embodiment;
  • ist ein funktionelles Blockdiagramm, das die Konfiguration der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß der fünften Ausführungsform zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of the ultrasonic wave measuring apparatus 1 according to the fifth embodiment;
  • ist ein funktionelles Blockdiagramm, das die Konfiguration des Zeitsteuerungsabschnittes der Impulsausgabe 20 gemäß der fünften Ausführungsform zeigt; Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of the pulse output timing section 20th according to the fifth embodiment;
  • ist ein Timing-Diagramm der Mehrfach-Lichtimpulse P1, P2, des Ultraschallimpulses P3, der optoakustischen Wellen AW1, AW2 und der reflektierten Welle US gemäß der fünften Ausführungsform; und Figure 13 is a timing diagram of the multiple light pulses P1 , P2 , the ultrasonic pulse P3 , the optoacoustic waves AW1 , AW2 and the reflected wave US according to the fifth embodiment; and
  • ist ein funktionelles Blockdiagramm, das die Konfiguration des Zeitsteuerungsabschnitts der Impulsausgabe 20 entsprechend der Variation der fünften Ausführungsform zeigt. Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of the pulse output timing section 20th corresponding to the variation of the fifth embodiment.

MODI ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNGMODES FOR CARRYING OUT THE INVENTION

Es wird nun eine Beschreibung von Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen gegeben.A description will now be given of embodiments of the present invention with reference to the drawings.

Erste AusführungsformationFirst execution formation

1 ist ein funktionales Blockdiagramm, das den Aufbau einer optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 nach einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. 1 Fig. 13 is a functional block diagram showing the construction of an optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a first embodiment of the present invention.

Die optische Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 nach der ersten Ausführungsform ist für die Messung eines Messobjekts 2 (einschließlich z.B. eines menschlichen Organismus) bestimmt und umfasst einen Impulsausgabeabschnitt 10, einen Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, Lichtimpulsausgabeabschnitte 30a, 30b, einen Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und einen Messabschnitt 40.The optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the first embodiment is for measuring a measurement object 2 (including, for example, a human organism) and includes a pulse output section 10 , a timing section for pulse output 20th , Light pulse output sections 30a , 30b , an ultrasonic pulse output section 32 and a measuring section 40 .

Der Impulsausgabeabschnitt 10 ist für die Ausgabe eines elektrischen Impulses (d.h. Lichtimpuls-Triggersignal (Auslösesignal) T1) ausgelegt.The pulse output section 10 is for the output of an electrical pulse (i.e. light pulse trigger signal (trigger signal) T1 ) designed.

Die Mehrfach-Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte 30a, 30b sind so angeordnet, dass sie Lichtimpulse P1, P2 mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben. Es wird darauf hingewiesen, dass drei oder mehr Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte vorgesehen sein können, obwohl die beiden Abschnitte 30a, 30b in 1 vorgesehen sind. Der Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 ist so eingerichtet, dass er einen Ultraschallimpuls P3 ausgibt.The multiple light pulse output sections 30a , 30b are arranged so that they can generate light pulses P1 , P2 output with their respective different wavelengths. It should be noted that three or more light pulse output sections may be provided, although the two sections 30a , 30b in 1 are provided. The ultrasonic pulse output section 32 is set up to give an ultrasonic pulse P3 issues.

Es wird darauf hingewiesen, dass Lichtimpuls-Triggersignale T1, T2 an die Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte 30a, 30b geliefert werden, um Lichtimpulse P1, P2 zu erzeugen. Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30a ist so eingerichtet, dass er den Lichtimpuls P1 in Synchronisation mit dem Lichtimpuls-Triggersignal T1 erzeugt und an das Messobjekt 2 liefert. Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b ist so eingerichtet, dass er den Lichtimpuls P2 in Synchronisation mit dem Lichtimpuls-Triggersignal T2 erzeugt und dem Messobjekt 2 zuführt.It should be noted that light pulse trigger signals T1 , T2 to the light pulse output sections 30a , 30b be delivered to light pulses P1 , P2 to create. The light pulse output section 30a is set up so that he has the light pulse P1 in synchronization with the light pulse trigger signal T1 generated and to the measurement object 2 supplies. The light pulse output section 30b is set up so that he has the light pulse P2 in synchronization with the light pulse trigger signal T2 generated and the measurement object 2 feeds.

Ein Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 wird an den Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 geliefert, um einen Ultraschallimpuls P3 zu erzeugen. Der Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 ist so angeordnet, dass er den Ultraschallimpuls P3 synchron mit dem Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 erzeugt und an das Messobjekt 2 liefert.An ultrasonic pulse trigger signal T3 is sent to the ultrasonic pulse output section 32 delivered to an ultrasonic pulse P3 to create. The ultrasonic pulse output section 32 is arranged so that it receives the ultrasonic pulse P3 synchronous with the ultrasonic pulse trigger signal T3 generated and to the measurement object 2 supplies.

Das Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 und die Mehrfach-Lichtimpuls-Triggersignale T1, T2 werden zusammen als Triggersignale bezeichnet.The ultrasonic pulse trigger signal T3 and the multiple light pulse trigger signals T1 , T2 are collectively referred to as trigger signals.

Die Messstrecke 40 ist so angeordnet, dass das Messobjekt 2 auf der Grundlage einer reflektierten Welle US als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt 2 und der durch die Lichtimpulse P1, P2 erzeugten optoakustischen Wellen AW1, AW2 am Messobjekt 2 gemessen wird.The measuring section 40 is arranged so that the target 2 based on a reflected wave US as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object 2 and that of the light pulses P1 , P2 generated optoacoustic waves AW1 , AW2 on the measurement object 2 is measured.

Es wird darauf hingewiesen, dass zu den Strukturen für die Bestrahlung des Messobjekts 2 mit den Lichtimpulsen P1, P2 und den Empfang der optoakustischen Wellen AW1, AW2 an der Messstrecke 40 z.B. AR-PAM ohne Einschränkung gehören.It should be noted that the structures for the irradiation of the measurement object 2 with the light pulses P1 , P2 and the reception of the optoacoustic waves AW1 , AW2 on the measuring section 40 eg AR-PAM belong without restriction.

Der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 ist so angeordnet, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls P3 und die mehrfachen Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, so steuert, dass sich die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls P3 und die mehrfachen Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, nicht überlappen (siehe 4).The timing section for the pulse output 20th is arranged so that it indicates the point in time at which the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 are output, so controls that the length of time during which the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 output, do not overlap (see 4th ).

2 ist ein funktionales Blockdiagramm, das die Konfiguration des Zeitsteuerungsabschnitts der Impulsausgabe 20 gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. Der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 hat Verzögerungsabschnitte (Triggersignal-Verzögerungsabschnitte) 20a, 20b. 2 Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of the timing section of the pulse output 20th according to the first embodiment. The timing section for the pulse output 20th has delay sections (trigger signal delay sections) 20a , 20b .

Der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 ist so eingerichtet, dass er einen elektrischen Impuls (d.h. ein Lichtimpuls-Triggersignal T1) vom Impulsausgabeabschnitt 10 empfängt und ausgibt und ihn direkt an den Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a liefert.The timing section for the pulse output 20th is set up to emit an electrical pulse (ie a light pulse trigger signal T1 ) from the pulse output section 10 receives and outputs and sends it directly to the light pulse output section 30a supplies.

Der Verzögerungsabschnitt (Triggersignal-Verzögerungsabschnitt) 20a ist so eingerichtet, dass er das Triggersignal T1 (eines der Triggersignale) verzögert und es als Triggersignal T2 (ein weiteres der Triggersignale) dem Lichtimpulsausgabeabschnitt 30b und dem Verzögerungsabschnitt 20b zur Verfügung stellt. Der Verzögerungsabschnitt (Triggersignal-Verzögerungsabschnitt) 20b ist so eingerichtet, dass er das Triggersignal T2 (eines der Triggersignale) verzögert und es als das Triggersignal T3 (ein weiteres der Triggersignale) an den Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 liefert.The delay section (trigger signal delay section) 20a is set up so that he can get the trigger signal T1 (one of the trigger signals) is delayed and used as a trigger signal T2 (another one of the trigger signals) to the light pulse output section 30b and the delay section 20b provides. The delay section (trigger signal delay section) 20b is set up so that he can get the trigger signal T2 (one of the trigger signals) delayed and used it as the trigger signal T3 (another one of the trigger signals) to the ultrasonic pulse output section 32 supplies.

3 ist ein Timing-Diagramm der Triggersignale T1, T2, T3 entsprechend der ersten Ausführungsform. Das Triggersignal T1 ist so verzögert, dass es das Triggersignal T2 ist, während das Triggersignal T2 so verzögert ist, dass es das Triggersignal T3 ist. Die Zeitdauern, während der die Triggersignale T1, T2, T3 ausgegeben werden (raised High), überlappen sich nicht. 3 Figure 3 is a timing diagram of the trigger signals T1 , T2 , T3 according to the first embodiment. The trigger signal T1 is so delayed that it is the trigger signal T2 is while the trigger signal T2 so delayed that it is the trigger signal T3 is. The time durations during which the trigger signals T1 , T2 , T3 are issued (raised high) do not overlap.

4 ist ein Timing-Diagramm der Mehrfach-Lichtimpulse P1, P2 und des Ultraschallimpulses P3 entsprechend der ersten Ausführungsform. 4th Figure 13 is a timing diagram of the multiple light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 according to the first embodiment.

Die mehrfachen Lichtimpulse P1, P2 und der Ultraschallimpuls P3 werden synchron mit den jeweiligen Triggersignalen T1, T2, T3 ausgegeben. Der Anstieg des Lichtimpulses P2 ist gegenüber dem Anstieg des Lichtimpulses P1 um Δt1 verzögert. Δt1 ist größer als die Impulsbreite W1 des Lichtimpulses P1. Der Anstieg des Ultraschallimpulses P3 ist gegenüber dem Anstieg des Lichtimpulses P2 um Δt2 verzögert. Δt2 ist größer als die Impulsbreite W2 des Lichtimpulses P2. Die Dauern, während derer der Ultraschallimpuls P3 und die mehrfachen Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, überlappen sich also nicht.The multiple light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 become synchronous with the respective trigger signals T1 , T2 , T3 issued. The rise in the pulse of light P2 is opposite to the rise in the light pulse P1 around Δt1 delayed. Δt1 is larger than the pulse width W1 of the light pulse P1 . The rise in the ultrasonic pulse P3 is opposite to the rise in the light pulse P2 around Δt2 delayed. Δt2 is larger than the pulse width W2 of the light pulse P2 . The duration of the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 are output, so do not overlap.

Es ist zu beachten, dass in 4 der Lichtimpuls P2 nach dem Lichtimpuls P1 und der Ultraschallimpuls P3 nach dem Lichtimpuls P2 ausgegeben wird. Die Lichtimpulse P1, P2 und der Ultraschallimpuls P3 müssen jedoch nicht unbedingt in dieser Reihenfolge ausgegeben werden, sondern können in beliebiger Reihenfolge ausgegeben werden.It should be noted that in 4th the pulse of light P2 after the light pulse P1 and the ultrasonic pulse P3 after the light pulse P2 is issued. The light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 do not necessarily have to be output in this order, but can be output in any order.

Als nächstes wird eine Vorgehensweise nach der ersten Ausführungsform beschrieben.Next, an operation according to the first embodiment will be described.

Der Impulsausgabeabschnitt 10 gibt zunächst einen elektrischen Impuls aus (d.h. Lichtimpuls-Triggersignal T1). Der elektrische Impuls durchläuft den Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, um als Lichtimpuls-Triggersignal T1 an den Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a geliefert zu werden.The pulse output section 10 first emits an electrical pulse (ie light pulse trigger signal T1 ). The electrical pulse passes through the pulse output timing section 20th to act as a light pulse trigger signal T1 to the light pulse output section 30a to be delivered.

Das Lichtimpuls-Triggersignal T1 wird durch den Verzögerungsabschnitt 20a verzögert und als Lichtimpuls-Triggersignal T2 an den Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b geliefert.The light pulse trigger signal T1 is through the delay section 20a delayed and as a light pulse trigger signal T2 to the light pulse output section 30b delivered.

Das Lichtimpuls-Triggersignal T2 wird durch den Verzögerungsabschnitt 20b verzögert und als Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 dem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt 32 zugeführt.The light pulse trigger signal T2 is through the delay section 20b delayed and as an ultrasonic pulse trigger signal T3 the ultrasonic pulse output section 32 fed.

Die Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte 30a, 30b geben Lichtimpulse P1, P2 mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen aus. Der Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt 32 gibt einen Ultraschallimpuls P3 aus.The light pulse output sections 30a , 30b give light impulses P1 , P2 with their different wavelengths. The ultrasonic pulse output section 32 gives an ultrasonic pulse P3 out.

Die Lichtimpulse P1, P2 und der Ultraschallimpuls P3 werden dem Messobjekt 2 zugeführt. Wenn der Lichtimpuls P1 auf das Messobjekt 2 gegeben wird, wird eine optoakustische Welle AW1 erzeugt. Wenn der Lichtimpuls P2 auf das Messobjekt 2 gegeben wird, wird eine optoakustische Welle AW2 erzeugt. Der Ultraschallimpuls P3 wird reflektiert, wenn er auf das Messobjekt 2 gegeben wird. Die Reflexion verursacht eine reflektierte Welle US.The light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 become the target 2 fed. When the pulse of light P1 on the measurement object 2 is given, becomes an optoacoustic wave AW1 generated. When the pulse of light P2 on the measurement object 2 is given, becomes an optoacoustic wave AW2 generated. The ultrasonic pulse P3 is reflected when it hits the target 2 is given. The reflection causes a reflected wave US .

Die Messstrecke 40 misst das Messobjekt 2 auf der Basis der reflektierten Welle US und der optoakustischen Wellen AW1, AW2.The measuring section 40 measures the target 2 on the basis of the reflected wave US and the optoacoustic waves AW1 , AW2 .

Entsprechend der ersten Ausführungsform bewirkt der Zeitsteuerungsabschnitt 20 für die Impulsausgabe, dass sich die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls P3 und die Mehrfachlichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, nicht überlappen, wodurch Artefaktsignale bei Messungen mit dem Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und den Mehrfachlichtimpulsausgabeabschnitten 30a, 30b ausgeschlossen werden können.According to the first embodiment, the timing section operates 20th for the pulse output, that is the length of time during which the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 do not overlap, thereby causing artifact signals when making measurements with the ultrasonic pulse output section 32 and the multiple light pulse output sections 30a , 30b can be excluded.

Zweite AusführungsformSecond embodiment

Eine optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 gemäß einer zweiten Ausführungsform unterscheidet sich von der optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform dadurch, dass ein ausgabesynchronisiertes Triggersignal T10ut (T2out) als das Triggersignal T2 (T3) (eines der Triggersignale) verzögert wird, wobei das ausgabesynchronisierte Triggersignal Tiout (T2out) synchron mit dem Zeitpunkt ausgegeben wird, zu dem der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30a (30b) (einer der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte) den Lichtimpuls P1 (P2) ausgibt.An optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a second embodiment is different from the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the first embodiment in that an output-synchronized trigger signal T10ut ( T2out ) as the trigger signal T2 ( T3 ) (one of the trigger signals) is delayed, whereby the output-synchronized trigger signal Tiout ( T2out ) is output in synchronism with the timing when the light pulse output section 30a (30b) (one of the light pulse output sections) the light pulse P1 ( P2 ) outputs.

5 ist ein funktionales Blockschaltbild, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitts 20 für die Impulsausgabe in der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt. Es wird darauf hingewiesen, dass die Komponenten der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß der zweiten Ausführungsform, die mit denen der ersten Ausführungsform identisch sind, mit den gleichen Referenzziffern bezeichnet sind, so dass ihre Beschreibung weggelassen wird. Das Messobjekt 2, der Impulsausgabeabschnitt 10, der Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und der Messabschnitt 40 sind identisch mit denen der ersten Ausführungsform und werden nicht beschrieben. 5 Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section 20th for the pulse output in the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the second embodiment. It should be noted that the components of the ultrasonic wave measuring apparatus 1 according to the second embodiment, which are identical to those of the first embodiment, are denoted by the same reference numerals so that their description is omitted. The measurement object 2 , the pulse output section 10 , the ultrasonic pulse output section 32 and the measurement section 40 are identical to those of the first embodiment and will not be described.

Die Lichtimpulsausgabeabschnitte 30a, 30b gemäß der zweiten Ausführungsform sind ähnlich wie die in der ersten Ausführungsform, unterscheiden sich aber dadurch, dass hieraus synchronisierte Triggersignale T10ut, T2out ausgegeben werden.The light pulse output sections 30a , 30b according to the second embodiment are similar to those in the first embodiment, but differ in that trigger signals are synchronized therefrom T10ut , T2out issued.

Der Lichtimpulsausgabebereich 30a gemäß der zweiten Ausführungsform ist so eingerichtet, dass er ein ausgabesynchronisiertes Triggersignal Tiout synchron mit dem Zeitpunkt ausgibt, zu dem er den Lichtimpuls P1 ausgibt. Der Lichtimpulsausgabebereich 30b gemäß der zweiten Ausführungsform ist so eingerichtet, dass er ein synchronisiertes Ausgabe-Triggersignal T2out synchron mit dem Zeitpunkt ausgibt, zu dem er den Lichtimpuls P2 ausgibt.The light pulse output area 30a according to the second embodiment is set up in such a way that it outputs an output-synchronized trigger signal Tiout synchronously with the point in time at which it generates the light pulse P1 issues. The light pulse output area 30b according to the second embodiment is arranged to have a synchronized output trigger signal T2out synchronously with the time at which it outputs the light pulse P2 issues.

Ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform hat der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 entsprechend der zweiten Ausführungsform Verzögerungsabschnitte (ausgabesynchronisierte Triggersignal-Verzögerungsabschnitte) 20c, 20d.Similar to the first embodiment, the timing section has the pulse output 20th according to the second embodiment, delay sections (output-synchronized trigger signal delay sections) 20c, 20d .

Der Verzögerungsabschnitt (ausgabesynchronisierter Triggersignal-Verzögerungsabschnitt) 20c ist so eingerichtet, dass er das ausgabesynchronisierte Triggersignal Tiout als Triggersignal T2 verzögert. Der Verzögerungsabschnitt (Verzögerungsabschnitt für das ausgabesynchronisierte Triggersignal) 20d ist so eingerichtet, dass er das ausgabesynchronisierte Triggersignal T2out als das Triggersignal T3 verzögert.The delay section (output synchronized trigger signal delay section) 20c is arranged to receive the output synchronized trigger signal Tiout as a trigger signal T2 delayed. The delay section (delay section for the output-synchronized trigger signal) 20d is set up to receive the output-synchronized trigger signal T2out than the trigger signal T3 delayed.

Es wird darauf hingewiesen, dass das Timing-Diagramm der Triggersignale T1, T2, T3, das dem der ersten Ausführungsform entspricht (siehe ), und das Timing-Diagramm der Lichtimpulse P1, P2 und des Ultraschallimpulses P3, das dem der ersten Ausführungsform entspricht (siehe ), nicht beschrieben werden.It should be noted that the timing diagram of the trigger signals T1 , T2 , T3 which corresponds to that of the first embodiment (see ), and the timing diagram of the light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 which corresponds to that of the first embodiment (see ), cannot be described.

Als nächstes wird eine Vorgehensweise nach der zweiten Ausführungsform beschrieben.Next, an operation according to the second embodiment will be described.

Der Impulsausgabebereich 10 gibt zunächst einen elektrischen Impuls aus (d.h. Lichtimpuls-Triggersignal T1). Der elektrische Impuls durchläuft den Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, um als Lichtimpuls-Triggersignal T1 an den Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a geliefert zu werden.The pulse output area 10 first emits an electrical pulse (ie light pulse trigger signal T1 ). The electrical pulse passes through the pulse output timing section 20th to act as a light pulse trigger signal T1 to the light pulse output section 30a to be delivered.

Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30a gibt einen Lichtimpuls P1 aus. Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30a gibt ferner ein ausgabesynchronisiertes Triggersignal T10ut in Synchronisation mit dem Zeitpunkt aus, zu dem er den Lichtimpuls P1 ausgibt. Das ausgabesynchronisierte Triggersignal Tiout wird durch den Verzögerungsabschnitt 20c verzögert und als Lichtimpuls-Triggersignal T2 an den Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b geliefert.The light pulse output section 30a gives a pulse of light P1 out. The light pulse output section 30a also gives an output-synchronized trigger signal T10ut in synchronization with the time at which he received the light pulse P1 issues. The output synchronized trigger signal Tiout is passed through the delay section 20c delayed and as a light pulse trigger signal T2 to the light pulse output section 30b delivered.

Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b gibt einen Lichtimpuls P2 aus. Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b gibt ferner ein ausgabesynchronisiertes Triggersignal T2out synchron zu dem Zeitpunkt aus, zu dem er den Lichtimpuls P2 ausgibt. Das ausgabesynchronisierte Triggersignal T2out wird durch den Verzögerungsabschnitt 20d verzögert und als ein Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 an den Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 geliefert.The light pulse output section 30b gives a pulse of light P2 out. The light pulse output section 30b also gives an output-synchronized trigger signal T2out synchronously with the time at which he received the light pulse P2 issues. The output-synchronized trigger signal T2out is through the delay section 20d delayed and as an ultrasonic pulse trigger signal T3 to the ultrasonic pulse output section 32 delivered.

Der Ultraschallimpulsausgabebereich 32 gibt einen Ultraschallimpuls P3 aus.The ultrasonic pulse output area 32 gives an ultrasonic pulse P3 out.

Die danach folgenden Schritte sind mit denen der ersten Ausführungsform identisch und werden nicht beschrieben.The subsequent steps are identical to those of the first embodiment and will not be described.

Entsprechend der zweiten Ausführungsform bewirkt der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, dass sich die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls P3 und die Mehrfach-Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, nicht überlappen, wodurch Artefaktsignale bei Messungen mit dem Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und den Mehrfach-Lichtimpulsausgabeabschnitten 30a, 30b ausgeschlossen werden können.According to the second embodiment, the timing section operates for the pulse output 20th that the length of time during which the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 do not overlap, thereby causing artifact signals when making measurements with the ultrasonic pulse output section 32 and the multiple light pulse output sections 30a , 30b can be excluded.

Es wird darauf hingewiesen, dass in der zweiten Ausführungsform beide Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte 30a und 30b die synchronisierten Triggersignale ausgeben. Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30a darf jedoch nur das ausgabesynchronisierte Triggersignal ausgeben. Daher wird der Fall, in dem der Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a nur das ausgabesynchronisierte Triggersignal ausgibt, als eine Variation mit Bezug auf 6 beschrieben.It should be noted that in the second embodiment, both of the light pulse output portions 30a and 30b output the synchronized trigger signals. The light pulse output section 30a however, may only output the output-synchronized trigger signal. Therefore, it becomes the case where the light pulse output section 30a only outputs the output synchronized trigger signal, as a variation with reference to FIG 6 described.

6 ist ein funktionales Blockdiagramm, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitts 20 für die Impulsausgabe in der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 entsprechend einer Variation der zweiten Ausführungsform zeigt. 6 Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section 20th for the pulse output in the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a variation of the second embodiment.

Der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 hat entsprechend dieser Variation Verzögerungsabschnitte 20c, 20e. Der Verzögerungsabschnitt 20c ist identisch mit dem in der zweiten Ausführungsform. Der Verzögerungsabschnitt (ausgabesynchronisiertes Triggersignal-Verzögerungsabschnitt) 20e ist so eingerichtet, dass er das ausgabesynchronisierte Triggersignal Tiout als das Triggersignal T3 (eines der Triggersignale) verzögert.The timing section for the pulse output 20th has delay sections corresponding to this variation 20c , 20e . The delay section 20c is identical to that in the second embodiment. The delay section (output synchronized trigger signal delay section) 20e is arranged to have the output synchronized trigger signal Tiout as the trigger signal T3 (one of the trigger signals) delayed.

Es wird darauf hingewiesen, dass das Timing-Diagramm der Triggersignale T1, T2, T3, das dem der zweiten Ausführungsform entspricht (siehe 3), und das Timing-Diagramm der Lichtimpulse P1, P2 und des Ultraschallimpulses P3, das dem der zweiten Ausführungsform entspricht (siehe 4), nicht beschrieben werden.It should be noted that the timing diagram of the trigger signals T1 , T2 , T3 , which corresponds to that of the second embodiment (see 3 ), and the timing diagram of the light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 , which corresponds to that of the second embodiment (see 4th ), cannot be described.

Dritte AusführungsformThird embodiment

Eine optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 nach einer dritten Ausführungsform unterscheidet sich von der optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 nach der ersten Ausführungsform dadurch, dass ein elektrischer Impuls als Ergebnis der photoelektrischen Umwandlung des Lichtimpulses P1 (P2) als das Triggersignal T2 (T3) (eines der Triggersignale) verzögert wird.An optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a third embodiment is different from the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the first embodiment in that an electrical pulse as a result of the photoelectric conversion of the light pulse P1 ( P2 ) as the trigger signal T2 ( T3 ) (one of the trigger signals) is delayed.

7 ist ein funktionales Blockschaltbild, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitts 20 für die Impulsausgabe in der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß der dritten Ausführungsform zeigt. Es wird darauf hingewiesen, dass die Komponenten der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 nach der dritten Ausführungsform, die mit denen der ersten Ausführungsform identisch sind, mit den gleichen Referenzziffern bezeichnet sind, so dass ihre Beschreibung weggelassen wird. Das Messobjekt 2, der Impulsausgabeabschnitt 10, die Lichtimpulsausgabeabschnitte 30a, 30b, der Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und der Messabschnitt 40 sind identisch mit denen der ersten Ausführungsform und werden nicht beschrieben. 7th Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section 20th for the pulse output in the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the third embodiment. It should be noted that the components of the ultrasonic wave measuring apparatus 1 according to the third embodiment, which are identical to those of the first embodiment, are denoted by the same reference numerals and their description is omitted. The measurement object 2 , the pulse output section 10 , the light pulse output sections 30a , 30b , the ultrasonic pulse output section 32 and the measurement section 40 are identical to those of the first embodiment and will not be described.

Die optische Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 nach der dritten Ausführungsform umfasst die Photodioden PD1, PD2. Die Photodiode PD1 ist so eingerichtet, dass sie als Ergebnis der photoelektrischen Umwandlung des Lichtimpulses P1 einen elektrischen Impuls ausgibt. Die Photodiode PD2 ist so eingerichtet, dass sie als Ergebnis der photoelektrischen Umwandlung des Lichtimpulses P2 einen elektrischen Impuls ausgibt. Es wird darauf hingewiesen, dass andere Vorrichtungen anstelle der Photodioden PD1, PD2 verwendet werden können, solange sie in der Lage sind, eine photoelektrische Umwandlung durchzuführen.The optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the third embodiment, the comprises photodiodes PD1 , PD2 . The photodiode PD1 is arranged to be as a result of the photoelectric conversion of the light pulse P1 outputs an electrical pulse. The photodiode PD2 is arranged to be as a result of the photoelectric conversion of the light pulse P2 outputs an electrical pulse. It should be noted that other devices in place of the photodiodes PD1 , PD2 can be used as long as they are capable of photoelectric conversion.

Ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform hat der Zeitsteuerungsabschnitt der Impulsausgabe 20 gemäß der dritten Ausführungsform Verzögerungsabschnitte (elektrische Impuls-Verzögerungsabschnitte, electric pulse delaying sections) 20f, 20g.Similar to the first embodiment, the timing section has the pulse output 20th according to the third embodiment delay sections (electric pulse delaying sections) 20f , 20g .

Der Verzögerungsabschnitt (elektrischer Impuls-Verzögerungsabschnitt) 20f ist so eingerichtet, dass er eine Ausgabe der Photodiode PD1 als Triggersignal T2 verzögert. Der Verzögerungsabschnitt (elektrischer Impuls-Verzögerungsabschnitt) 20g ist so eingerichtet, dass er ein Ausgabesignal der Photodiode PD2 als Triggersignal T3 verzögert.The delay section (electrical pulse delay section) 20f is set up to have an output from the photodiode PD1 as a trigger signal T2 delayed. The delay section (electrical pulse delay section) 20g is arranged to have an output signal from the photodiode PD2 as a trigger signal T3 delayed.

Es wird darauf hingewiesen, dass das Timing-Diagramm der Triggersignale T1, T2, T3, das dem der ersten Ausführungsform entspricht (siehe 3), und das Timing-Diagramm der Lichtimpulse P1, P2 und des Ultraschallimpulses P3, das dem der ersten Ausführungsform entspricht (siehe 4), nicht beschrieben werden.It should be noted that the timing diagram of the trigger signals T1 , T2 , T3 which corresponds to that of the first embodiment (see 3 ), and the timing diagram of the light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 that dem corresponds to the first embodiment (see 4th ), cannot be described.

Als nächstes wird eine Vorgehensweise nach der dritten Ausführungsform beschrieben.Next, an operation according to the third embodiment will be described.

Der Impulsausgabebereich 10 gibt zunächst einen elektrischen Impuls aus (d.h. Lichtimpuls-Triggersignal T1). Der elektrische Impuls durchläuft den Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, um als Lichtimpuls-Triggersignal T1 an den Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a geliefert zu werden.The pulse output area 10 first emits an electrical pulse (ie light pulse trigger signal T1 ). The electrical pulse passes through the pulse output timing section 20th to act as a light pulse trigger signal T1 to the light pulse output section 30a to be delivered.

Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30a gibt einen Lichtimpuls P1 aus. Der Lichtimpuls P1 wird fotoelektrisch durch die Photodiode PD1 in einen elektrischen Impuls umgewandelt und durch den Verzögerungsabschnitt 20f verzögert und als Lichtimpuls-Triggersignal T2 an den Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b geliefert.The light pulse output section 30a gives a pulse of light P1 out. The pulse of light P1 becomes photoelectric through the photodiode PD1 converted into an electrical pulse and passed through the delay section 20f delayed and as a light pulse trigger signal T2 to the light pulse output section 30b delivered.

Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b gibt einen Lichtimpuls P2 aus. Der Lichtimpuls P2 wird durch die Photodiode PD2 fotoelektrisch in einen elektrischen Impuls umgewandelt und durch den Verzögerungsteil 20g verzögert und als Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 an den Ultraschallimpuls-Ausgabeteil 32 ausgegeben.The light pulse output section 30b gives a pulse of light P2 out. The pulse of light P2 is made by the photodiode PD2 photoelectrically converted into an electrical pulse and passed through the delay part 20g delayed and as an ultrasonic pulse trigger signal T3 to the ultrasonic pulse output part 32 issued.

Der Ultraschallimpulsausgabebereich 32 gibt einen Ultraschallimpuls P3 aus.The ultrasonic pulse output area 32 gives an ultrasonic pulse P3 out.

Die folgenden Operationen sind mit denen der ersten Ausführungsform identisch und werden nicht beschrieben.The following operations are the same as those of the first embodiment and will not be described.

In Übereinstimmung mit der dritten Ausführungsform bewirkt der Zeitsteuerungsabschnitt der Impulsausgabe 20, dass sich die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls P3 und die Mehrfach-Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, nicht überlappen, wodurch Artefaktsignale bei Messungen mit dem Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und den Mehrfach-Lichtimpulsausgabeabschnitten 30a, 30b ausgeschlossen werden können.In accordance with the third embodiment, the timing section effects pulse output 20th that the length of time during which the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 do not overlap, thereby causing artifact signals when making measurements with the ultrasonic pulse output section 32 and the multiple light pulse output sections 30a , 30b can be excluded.

Vierte AusführungsformFourth embodiment

Eine optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 nach einer vierten Ausführungsform unterscheidet sich von der optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 nach der ersten Ausführungsform dadurch, dass ein optischer Schalter 34 verwendet wird, um zwischen den Lichtimpulsen P1 und P2 umzuschalten, die an das Messobjekt 2 ausgegeben werden sollen.An optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a fourth embodiment is different from the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the first embodiment in that an optical switch 34 used to between pulses of light P1 and P2 toggle that to the DUT 2 should be output.

8 ist ein funktionales Blockdiagramm, das die Konfiguration eines Zeitsteuerungsabschnitts 20 für die Impulsausgabe in der optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 gemäß der vierten Ausführungsform zeigt. Es wird angemerkt, dass die Komponenten der optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 nach der vierten Ausführungsform, die mit denen der ersten Ausführungsform identisch sind, mit den gleichen Referenzziffern bezeichnet sind, so dass ihre Beschreibung weggelassen wird. Das Messobjekt 2, der Impulsausgabeabschnitt 10, der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, der Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a, der Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und der Messabschnitt 40 sind identisch mit denen der ersten Ausführungsform und werden nicht beschrieben. 8th Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of a timing section 20th for the pulse output in the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the fourth embodiment. It is noted that the components of the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the fourth embodiment, which are identical to those of the first embodiment, are denoted by the same reference numerals and their description is omitted. The measurement object 2 , the pulse output section 10 , the timing section for the pulse output 20th , the light pulse output section 30a , the ultrasonic pulse output section 32 and the measurement section 40 are identical to those of the first embodiment and will not be described.

Die optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung 1 nach der vierten Ausführungsform umfasst einen Lichtimpulsausgabeabschnitt 30d und einen optischen Schalter 34.The optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the fourth embodiment comprises a light pulse output section 30d and an optical switch 34 .

Es wird darauf hingewiesen, dass das Triggersignal T2, das vom Verzögerungsabschnitt 20a der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 gemäß der vierten Ausführungsform ausgegeben wird, dem optischen Schalter 34 zugeführt wird.It should be noted that the trigger signal T2 , that of the delay section 20a the timing section for the pulse output 20th according to the fourth embodiment, the optical switch 34 is fed.

Der Lichtimpulsausgabeabschnitt 30d ist so angeordnet, dass er den Lichtimpuls P1, der vom Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a ausgegeben wird, empfängt, dessen Wellenlänge umwandelt und den umgewandelten Lichtimpuls ausgibt. Die Ausgabe ist ein Lichtimpuls P2. Der optische Schalter 34 ist so angeordnet, dass er ein Umschalten zwischen dem Lichtimpulsausgabeabschnitt 30d und dem Messobjekt 2, an das die Ausgabe P1 vom Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a geliefert wird, ermöglicht. Die Umschaltung erfolgt synchron mit dem Zeitpunkt, zu dem der optische Schalter 34 das Triggersignal T2 empfängt.The light pulse output section 30d is arranged so that it receives the pulse of light P1 from the light pulse output section 30a is output, receives, converts its wavelength and outputs the converted light pulse. The output is a pulse of light P2 . The optical switch 34 is arranged to be switching between the light pulse output section 30d and the target 2 to which the output P1 from the light pulse output section 30a is delivered, enables. The switching takes place synchronously with the point in time at which the optical switch 34 the trigger signal T2 receives.

Beispielsweise ist der optische Schalter 34 so angeordnet, dass er die Ausgabe P1 vom Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a zum Messobjekt 2 liefert, bevor er das Triggersignal T2 erhöht High empfängt. Der optische Schalter 34 ist so angeordnet, dass er die Ausgabe P1 vom Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a an den Lichtimpulsausgabeabschnitt 30d liefert, nachdem er das Triggersignal T2, angehoben High, empfangen hat.For example, the optical switch 34 arranged so that he can output P1 from the light pulse output section 30a to the measurement object 2 supplies before it the trigger signal T2 increases high receives. The optical switch 34 is arranged so that he can output P1 from the light pulse output section 30a to the light pulse output section 30d returns after having the trigger signal T2 , raised high, has received.

Es wird darauf hingewiesen, dass das Timing-Diagramm der Triggersignale T1, T2, T3, das dem der ersten Ausführungsform entspricht (siehe 3), und das Timing-Diagramm der Lichtimpulse P1, P2 und des Ultraschallimpulses P3, das dem der ersten Ausführungsform entspricht (siehe 4), nicht beschrieben werden.It should be noted that the timing diagram of the trigger signals T1 , T2 , T3 which corresponds to that of the first embodiment (see 3 ), and the timing diagram of the light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 which corresponds to that of the first embodiment (see 4th ), cannot be described.

Als nächstes wird eine Vorgehensweise gemäß der vierten Ausführungsform beschrieben.Next, an operation according to the fourth embodiment will be described.

Der Impulsausgabebereich 10 gibt zunächst einen elektrischen Impuls aus (d.h. Lichtimpuls-Triggersignal T1). Der elektrische Impuls durchläuft den Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, um als Lichtimpuls-Triggersignal T1 an den Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a geliefert zu werden. The pulse output area 10 first emits an electrical pulse (ie light pulse trigger signal T1 ). The electrical pulse passes through the pulse output timing section 20th to act as a light pulse trigger signal T1 to the light pulse output section 30a to be delivered.

Der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30a gibt einen Lichtimpuls P1 aus. Der Lichtimpuls P1 wird über den optischen Schalter 34 dem Messobjekt 2 zugeführt.The light pulse output section 30a gives a pulse of light P1 out. The pulse of light P1 is via the optical switch 34 the measurement object 2 fed.

Das Lichtimpuls-Triggersignal T1 wird durch den Verzögerungsabschnitt 20a verzögert und als Lichtimpuls-Triggersignal T2 dem optischen Schalter 34 zugeführt. Der optische Schalter 34 leitet die Ausgabe des Lichtimpulses P1 an den Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30d um. Vom Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30d wird ein Lichtimpuls P2 ausgegeben.The light pulse trigger signal T1 is through the delay section 20a delayed and as a light pulse trigger signal T2 the optical switch 34 fed. The optical switch 34 directs the output of the light pulse P1 to the light pulse output section 30d around. From the light pulse output section 30d becomes a pulse of light P2 issued.

Das Lichtimpuls-Triggersignal T2 wird durch den Verzögerungsabschnitt 20b verzögert und als Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 dem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt 32 zugeführt. Das Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 gibt einen Ultraschallimpuls P3 aus.The light pulse trigger signal T2 is through the delay section 20b delayed and as an ultrasonic pulse trigger signal T3 the ultrasonic pulse output section 32 fed. The ultrasonic pulse output section 32 gives an ultrasonic pulse P3 out.

Die danach folgenden Schritte sind identisch mit denen in der ersten Ausführungsform und werden nicht beschrieben.The subsequent steps are identical to those in the first embodiment and will not be described.

In Übereinstimmung mit der vierten Ausführungsform bewirkt der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, dass sich die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls P3 und die Mehrfach-Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, nicht überlappen, wodurch Artefaktsignale bei Messungen mit dem Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und den Mehrfach-Lichtimpulsausgabeabschnitten 30a, 30b ausgeschlossen werden können.According to the fourth embodiment, the timing section operates for the pulse output 20th that the length of time during which the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 do not overlap, thereby causing artifact signals when making measurements with the ultrasonic pulse output section 32 and the multiple light pulse output sections 30a , 30b can be excluded.

Fünfte AusführungsformFifth embodiment

Eine optische Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß einer fünften Ausführungsform unterscheidet sich von der optischen Ultraschallwellenmessvorrichtung 1 gemäß der ersten Ausführungsform dadurch, dass ein Bewegungsabschnitt 50 (moving section) vorgesehen ist.An optical ultrasonic wave measuring device 1 according to a fifth embodiment is different from the optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the first embodiment in that a movement section 50 (moving section) is provided.

9 ist ein Funktionsblockschaltbild, das den Aufbau des optischen Ultraschallwellenmessgerätes 1 nach der fünften Ausführungsform zeigt. 9 Fig. 13 is a functional block diagram showing the structure of the optical ultrasonic wave meter 1 according to the fifth embodiment.

Das optische Ultraschallwellenmessgerät 1 nach der fünften Ausführungsform umfasst den Impulsausgabeabschnitt 10, den Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, die Lichtimpulsausgabeabschnitte 30a, 30b, den Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32, den Messabschnitt 40 und den Bewegungsabschnitt 50. Die anderen Komponenten als der Bewegungsabschnitt 50 sind identisch mit denen der ersten Ausführung und werden mit den gleichen Referenzzahlen bezeichnet, um ihre Beschreibung wegzulassen.The optical ultrasonic wave measuring device 1 according to the fifth embodiment comprises the pulse output section 10 , the timing section for the pulse output 20th , the light pulse output sections 30a , 30b , the ultrasonic pulse output section 32 , the measurement section 40 and the movement segment 50 . The components other than the motion segment 50 are identical to those of the first embodiment and are denoted by the same reference numerals to omit their description.

Der Bewegungsabschnitt50 ist so eingerichtet, dass er einen Bewegungssteuerimpuls P4 empfängt und die Position bewegt, an der der Ultraschallimpuls P3 und die Lichtimpulse P1, P2 dem Messobjekt 2 zugeführt werden.The moving portion 50 is arranged to receive a movement control pulse P4 receives and moves the position at which the ultrasonic pulse P3 and the light pulses P1 , P2 the measurement object 2 are fed.

Der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 ist so eingerichtet, dass er den Zeitpunkt steuert, zu dem der Bewegungssteuerimpuls P4, der Ultraschallimpuls P3 und die mehrfachen Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, so dass sich die Zeitdauern, während der der Bewegungssteuerimpuls P4, der Ultraschallimpuls P3 und die mehrfachen Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, nicht überlappen.The timing section for the pulse output 20th is arranged to control when the motion control pulse P4 , the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 are output so that the time durations during which the motion control pulse P4 , the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 output, do not overlap.

10 ist ein funktionales Blockdiagramm, das die Konfiguration des Zeitsteuerungsabschnitts 20 der Impulsausgabe gemäß der fünften Ausführungsform zeigt. Der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 gemäß der fünften Ausführungsform hat die Verzögerungsabschnitte 20a, 20b, 20k. Die Verzögerungsabschnitte 20a, 20b sind identisch mit denen in der ersten Ausführungsform und werden nicht beschrieben. 10 Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of the timing section 20th of the pulse output according to the fifth embodiment. The timing section for the pulse output 20th according to the fifth embodiment, the has delay sections 20a , 20b , 20k . The delay sections 20a , 20b are identical to those in the first embodiment and will not be described.

Der Verzögerungsabschnitt 20k ist so angeordnet, dass er ein Triggersignal T3 als Bewegungssteuerimpuls P4 verzögert.The delay section 20k is arranged so that it has a trigger signal T3 as a motion control pulse P4 delayed.

11 ist ein Timing-Diagramm der Mehrfach-Lichtimpulse P1, P2, des Ultraschallimpulses P3, der optoakustischen Wellen AW1, AW2 und der reflektierten Welle US entsprechend der fünften Ausführungsform. 11 Figure 13 is a timing diagram of the multiple light pulses P1 , P2 , the ultrasonic pulse P3 , the optoacoustic waves AW1 , AW2 and the reflected wave US according to the fifth embodiment.

Die Zeiten, in denen der Bewegungssteuerimpuls P4, der Ultraschallimpuls P3 und die Mehrfachlichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, überlappen sich nicht. Zusätzlich wird der Bewegungssteuerimpuls P4 ausgegeben, nachdem die optoakustischen Wellen AWi, AW2 und die reflektierte Welle US ausgegeben wurden.The times when the motion control pulse P4 , the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 are output do not overlap. In addition, the motion control pulse P4 output after the optoacoustic waves AWi, AW2 and the reflected wave US were issued.

Als nächstes wird eine Operation nach der fünften Ausführungsform beschrieben.Next, an operation according to the fifth embodiment will be described.

Der Impulsausgabebereich 10 gibt zunächst einen elektrischen Impuls aus (d.h. Lichtimpuls-Triggersignal T1). Der elektrische Impuls durchläuft den Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, um als Lichtimpuls-Triggersignal T1 an den Lichtimpulsausgabeabschnitt 30a geliefert zu werden.The pulse output area 10 first emits an electrical pulse (ie light pulse trigger signal T1 ). The electrical pulse passes through the pulse output timing section 20th to act as a light pulse trigger signal T1 to the light pulse output section 30a to be delivered.

Das Lichtimpuls-Triggersignal T1 wird durch den Verzögerungsabschnitt 20a verzögert und als Lichtimpuls-Triggersignal T2 an den Lichtimpuls-Ausgabeabschnitt 30b geliefert. The light pulse trigger signal T1 is through the delay section 20a delayed and as a light pulse trigger signal T2 to the light pulse output section 30b delivered.

Das Lichtimpuls-Triggersignal T2 wird durch den Verzögerungsabschnitt 20b verzögert und als Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 dem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt 32 zugeführt.The light pulse trigger signal T2 is through the delay section 20b delayed and as an ultrasonic pulse trigger signal T3 the ultrasonic pulse output section 32 fed.

Die Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte 30a, 30b geben Lichtimpulse P1, P2 mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen aus. Die Ultraschallimpuls-Ausgabesektion 32 gibt einen Ultraschallimpuls P3 aus.The light pulse output sections 30a , 30b give light impulses P1 , P2 with their different wavelengths. The ultrasonic pulse output section 32 gives an ultrasonic pulse P3 out.

Die Lichtimpulse P1, P2 und der Ultraschallimpuls P3 werden dem Messobjekt 2 zugeführt. Wenn der Lichtimpuls P1 auf das Messobjekt 2 gegeben wird, wird eine optoakustische Welle AW1 erzeugt. Wenn der Lichtimpuls P2 auf das Messobjekt 2 gegeben wird, wird eine optoakustische Welle AW2 erzeugt. Der Ultraschallimpuls P3 wird reflektiert, wenn er auf das Messobjekt 2 trifft. Die Reflexion verursacht eine reflektierte Welle US.The light pulses P1 , P2 and the ultrasonic pulse P3 become the target 2 fed. When the pulse of light P1 on the measurement object 2 is given, becomes an optoacoustic wave AW1 generated. When the pulse of light P2 on the measurement object 2 is given, becomes an optoacoustic wave AW2 generated. The ultrasonic pulse P3 is reflected when it hits the target 2 meets. The reflection causes a reflected wave US .

Die Messstrecke 40 misst das Messobjekt 2 auf der Basis der reflektierten Welle US und der optoakustischen Wellen AW1, AW2.The measuring section 40 measures the target 2 on the basis of the reflected wave US and the optoacoustic waves AW1 , AW2 .

Das Ultraschallimpuls-Triggersignal T3 wird durch den Verzögerungsabschnitt 20k verzögert und als Bewegungssteuerimpuls P4 dem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt 32 zugeführt. Es ist zu beachten, dass der Bewegungssteuerimpuls P4 dem Bewegungsabschnitt 50 zugeführt wird, nachdem die reflektierte Welle US und die optoakustischen Wellen AW1, AW2 erzeugt wurden.The ultrasonic pulse trigger signal T3 is through the delay section 20k delayed and as a motion control pulse P4 the ultrasonic pulse output section 32 fed. It should be noted that the motion control pulse P4 the movement segment 50 is fed after the reflected wave US and the optoacoustic waves AW1 , AW2 were generated.

Der Bewegungsabschnitt 50 empfängt den Bewegungssteuerimpuls P4 und bewegt die Position, an der der Ultraschallimpuls P3 und die Lichtimpulse P1, P2 dem Messobjekt 2 zugeführt werden.The movement section 50 receives the motion control pulse P4 and moves the position where the ultrasonic pulse is P3 and the light pulses P1 , P2 the measurement object 2 are fed.

Entsprechend der fünften Ausführungsform bewirkt der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20, dass sich die Zeitdauern, während denen der Bewegungssteuerimpuls P4, der Ultraschallimpuls P3 und die Mehrfach-Lichtimpulse P1, P2 ausgegeben werden, nicht überlappen, wodurch Artefaktsignale ausgeschlossen werden können, während der Bewegungsabschnitt 50 die Position, an der der Ultraschallimpuls P3 und die Lichtimpulse P1, P2 dem Messobjekt 2 zugeführt werden, für Messungen mit dem Ultraschallimpulsausgabeabschnitt 32 und den Mehrfach-Lichtimpulsausgabeabschnitten 30a, 30b verschiebt.According to the fifth embodiment, the timing section operates for the pulse output 20th that the time durations during which the motion control pulse P4 , the ultrasonic pulse P3 and the multiple light pulses P1 , P2 do not overlap, whereby artifact signals can be excluded during the moving section 50 the position at which the ultrasonic pulse P3 and the light pulses P1 , P2 the measurement object 2 for measurements with the ultrasonic pulse output section 32 and the multiple light pulse output sections 30a , 30b shifts.

Es wird darauf hingewiesen, dass die fünfte Ausführungsform der ersten Ausführungsform entspricht, wenn der Bewegungsabschnitt 50 hinzugefügt wird. Der Bewegungsabschnitt 50 kann jedoch auch der zweiten bis vierten Ausführungsform hinzugefügt werden.It should be noted that the fifth embodiment corresponds to the first embodiment when the moving section 50 will be added. The movement section 50 however, it can also be added to the second to fourth embodiments.

Als Variation der fünften Ausführungsform können auch andere Lichtimpulse P1, P2 und ein weiterer Ultraschallimpuls P3 nach dem Abfallen des Bewegungssteuerimpulses P4 ausgegeben werden.As a variation of the fifth embodiment, other light pulses can also be used P1 , P2 and another ultrasonic pulse P3 after the motion control pulse has dropped P4 issued.

12 ist ein funktionelles Blockdiagramm, das die Konfiguration des Zeitsteuerungsabschnitts 20 der Impulsausgabe entsprechend der Variation der fünften Ausführungsform zeigt. 12th Fig. 13 is a functional block diagram showing the configuration of the timing section 20th of the pulse output according to the variation of the fifth embodiment.

Der Bewegungssteuerimpuls P4 wird auch an den Impulsausgabeabschnitt 10 geliefert. Der Impulsausgabeabschnitt 10 erfasst den Abfall des Bewegungssteuerimpulses P4 nach Ausgabe eines Triggersignals T1. Nach der Erkennung gibt der Impulsausgabeabschnitt 10 ein weiteres Triggersignal T1 aus. Dies bewirkt, dass nach dem Abfallen des Bewegungssteuerimpulses P4 weitere Lichtimpulse P1, P2 und ein weiterer Ultraschallimpuls P3 ausgegeben werden.The motion control pulse P4 is also sent to the pulse output section 10 delivered. The pulse output section 10 detects the drop in the motion control pulse P4 after issuing a trigger signal T1 . After the detection, the pulse output section outputs 10 another trigger signal T1 out. This causes after the fall of the motion control pulse P4 further light pulses P1 , P2 and another ultrasonic pulse P3 issued.

Übrigens können die oben beschriebenen Ausführungsformen wie folgt erreicht werden. Ein Computer mit einer CPU, einer Festplatte und einem Lesegerät für Datenträger (Diskette (eingetragenes Warenzeichen), CD-ROM oder ähnliches) wird veranlasst, einen Datenträger mit einem darauf aufgezeichneten Programm zu lesen, das die oben beschriebenen Komponenten realisiert (z.B. Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe 20 und Messabschnitt 40), und das Programm auf der Festplatte zu installieren. Die oben beschriebenen Merkmale können auch auf diese Weise erreicht werden.Incidentally, the above-described embodiments can be achieved as follows. A computer with a CPU, a hard disk and a data carrier reading device (floppy disk (registered trademark), CD-ROM or the like) is caused to read a data carrier with a program recorded on it that implements the components described above (e.g. timing section for the Pulse output 20th and measuring section 40 ) and install the program on the hard drive. The features described above can also be achieved in this way.

BezugszeichenlisteList of reference symbols

P1, P2P1, P2
LichtimpulsLight pulse
P3P3
Ultraschall-ImpulsUltrasonic pulse
P4P4
BewegungssteuerimpulsMotion control pulse
USUS
Reflektierte WelleReflected wave
AW1, AW2AW1, AW2
Optoakustische WellenOptoacoustic waves
T1, T2T1, T2
Lichtimpuls-TriggersignalLight pulse trigger signal
T1out, T2outT1out, T2out
Ausgabesynchronisiertes TriggersignalOutput synchronized trigger signal
T3T3
Ultraschallimpuls-Triggersignal (T3)Ultrasonic pulse trigger signal ( T3 )
11
Optische UltraschallwellenmessvorrichtungOptical ultrasonic wave measuring device
22
MessobjektMeasurement object
1010
Impulsausgabe-AbschnittPulse output section
20 20th
Zeitsteuerungsabschnitt für ImpulsausgabeTiming section for pulse output
20a, 20b20a, 20b
Verzögerungsabschnitt (Abschnitt zur Verzögerung des Triggersignals)Delay section (section for delaying the trigger signal)
20c, 20d20c, 20d
Verzögerungsabschnitt (Abschnitt zur Verzögerung des ausgabesynchronisierten Triggersignals)Delay section (section for delaying the output-synchronized trigger signal)
20f, 20g20f, 20g
Verzögerungsabschnitt (Abschnitt zur Verzögerung von elektrischen Impulsen)Delay section (section for delaying electrical pulses)
30a, 30b, 30d30a, 30b, 30d
Lichtimpuls-AusgabeabschnittLight pulse output section
3232
Ausgabeabschnitt des UltraschallimpulsesOutput section of the ultrasonic pulse
3434
Optischer SchalterOptical switch
4040
MessstreckeMeasuring section
5050
BewegungsabschnittMovement segment

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

  • JP 2016047114 A [0003]JP 2016047114 A [0003]
  • JP 2011229660 A [0003]JP 2011229660 A [0003]
  • WO 2010/095487 [0003]WO 2010/095487 [0003]

Zitierte Nicht-PatentliteraturNon-patent literature cited

  • Hao F Zhang, et al., „Funktionelle photoakustische Mikroskopie für hochauflösende und nicht-invasive in-vivo-Bildgebung“, Nature Biotechnology, 25. Juni 2006, Band 24, Nummer 7, S.848-851 [0004]Hao F Zhang, et al., “Functional Photoacoustic Microscopy for High-Resolution and Non-Invasive In-Vivo Imaging”, Nature Biotechnology, June 25, 2006, Volume 24, Number 7, pp.848-851 [0004]

Claims (11)

Eine optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung, umfassend: einen Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt; eine Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so eingerichtet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben; einen Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und der durch die Lichtimpulse am Messobjekt erzeugten optoakustischen Wellen misst.An optical ultrasonic wave measuring device comprising: an ultrasonic pulse output section configured to output an ultrasonic pulse; a plurality of light pulse output sections adapted to output light pulses having their respective different wavelengths; a pulse output timing section configured to control the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap with each other; and a measuring section configured to measure a measurement object based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and the optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object. Optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung nach Anspruch 1, wobei Die Triggersignale ein Ultraschallimpuls-Triggersignal und eine Vielzahl von Lichtimpuls-Triggersignalen umfassen, das Ultraschallimpuls-Triggersignal an den Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt geliefert wird, um den Ultraschallimpuls zu erzeugen, und die Lichtimpuls-Triggersignale werden jeweils an die Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte geliefert, um die Lichtimpulse zu erzeugen.Optical ultrasonic wave measuring device according to Claim 1 , wherein the trigger signals include an ultrasonic pulse trigger signal and a plurality of light pulse trigger signals, the ultrasonic pulse trigger signal is supplied to the ultrasonic pulse output section to generate the ultrasonic pulse, and the light pulse trigger signals are supplied to the light pulse output sections, respectively, to to generate the light pulses. Optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe einen Triggersignal-Verzögerungsabschnitt aufweist, der so eingerichtet ist, dass er eines der Triggersignale als ein anderes der Triggersignale verzögert.Optical ultrasonic wave measuring device according to Claim 2 wherein the pulse output timing section includes a trigger signal delay section configured to delay one of the trigger signals as another of the trigger signals. Optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe einen ausgabesynchronisierten Triggersignal-Verzögerungsabschnitt aufweist, der so eingerichtet ist, dass er ein ausgabesynchronisiertes Triggersignal als eines der Triggersignale verzögert, wobei das ausgabesynchronisierte Triggersignal synchron mit dem Zeitpunkt ausgegeben wird, zu dem einer der Lichtimpulsausgabeabschnitte den Lichtimpuls ausgibt.Optical ultrasonic wave measuring device according to Claim 2 wherein the pulse output timing section includes an output-synchronized trigger signal delay section configured to delay an output-synchronized trigger signal as one of the trigger signals, the output-synchronized trigger signal being output in synchronism with the timing at which one of the light pulse output sections outputs the light pulse. Optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe einen elektrischen Impulsverzögerungsabschnitt aufweist, der so eingerichtet ist, dass er einen elektrischen Impuls als Ergebnis der photoelektrischen Umwandlung des Lichtimpulses als eines der Triggersignale verzögert.Optical ultrasonic wave measuring device according to Claim 2 wherein the pulse output timing section comprises an electrical pulse delay section configured to delay an electrical pulse as a result of photoelectric conversion of the light pulse as one of the trigger signals. Optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung nach Anspruch 1, wobei einer der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte so eingerichtet ist, dass er den Lichtimpuls empfängt, der von einem anderen der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte ausgegeben wird, dessen Wellenlänge umwandelt und den umgewandelten Lichtimpuls ausgibt, wobei die optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung ferner einen optischen Schalter umfasst, der so eingerichtet ist, dass er das Umschalten zwischen einem der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte und dem Messobjekt ermöglicht, an das die Ausgabe von einem anderen der Lichtimpuls-Ausgabeabschnitte geliefert wird.Optical ultrasonic wave measuring device according to Claim 1 , wherein one of the light pulse output sections is adapted to receive the light pulse output from another of the light pulse output sections, convert the wavelength thereof and output the converted light pulse, the optical ultrasonic wave measuring device further comprising an optical switch that is arranged to enable switching between one of the light pulse output sections and the measurement object to which the output from another of the light pulse output sections is supplied. Optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner umfassend einen Bewegungsabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er einen Bewegungssteuerimpuls empfängt und die Position, an der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse dem Messobjekt zugeführt werden, bewegt, wobei der Zeitsteuerungsabschnitt für die Impulsausgabe so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Bewegungssteuerungsimpuls, der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass sich die Zeitdauern, während der der Bewegungssteuerungsimpuls, der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, nicht überlappen.Optical ultrasonic wave measuring device according to one of the Claims 1 to 6 , further comprising a moving section configured to receive a movement control pulse and moving the position at which the ultrasonic pulse and the light pulses are supplied to the measurement object, the pulse output timing section being configured to determine the timing which the motion control pulse, the ultrasonic pulse, and the light pulses are output controls so that the periods of time during which the motion control pulse, the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap. Optische Ultraschallwellen-Messvorrichtung nach Anspruch 7, wobei nach dem Abfallen des Bewegungssteuerimpulses ein weiterer Ultraschallimpuls und weitere Lichtimpulse ausgegeben werden.Optical ultrasonic wave measuring device according to Claim 7 , wherein after the motion control pulse has dropped, a further ultrasonic pulse and further light pulses are output. Optisches Ultraschallwellen-Messverfahren unter Verwendung einer optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung mit einem Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt, der so eingerichtet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt, und einer Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so eingerichtet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben, wobei das Verfahren umfasst: einen Impulsausgabe-Zeitsteuerschritt, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messschritt, der so eingerichtet ist, dass ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und der durch die Lichtimpulse am Messobjekt erzeugten optoakustischen Wellen gemessen wird.An ultrasonic wave optical measurement method using an ultrasonic wave optical measuring device having an ultrasonic pulse output section configured to output an ultrasonic pulse and a plurality of light pulse output sections configured to output light pulses having their respective different wavelengths , the method comprising: a pulse output timing step arranged to control the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap each other; and a measuring step which is set up in such a way that a measurement object is measured on the basis of a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and the optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object. Ein Programm von Befehlen zur Ausführung durch einen Computer, um einen optischen Ultraschallwellen-Messvorgang unter Verwendung einer optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung durchzuführen, die einen Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt aufweist, der so angeordnet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt, und eine Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so angeordnet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben, wobei der Vorgang umfasst: einen Impulsausgabe-Zeitsteuerungsschritt, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messschritt, der so eingerichtet ist, dass ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und der durch die Lichtimpulse am Messobjekt erzeugten optoakustischen Wellen gemessen wird. A program of instructions for execution by a computer to perform an optical ultrasonic wave measuring operation using an optical ultrasonic wave measuring device having an ultrasonic pulse output section arranged to output an ultrasonic pulse and a plurality of light pulse output sections arranged to output pulses of light having their respective different wavelengths, the process comprising: a pulse output timing step configured to control the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods of time during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap each other; and a measuring step configured to measure a measurement object based on a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and the optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object. Ein computerlesbares Medium mit einem Programm von Befehlen zur Ausführung durch einen Computer, um einen optischen Ultraschallwellen-Messvorgang unter Verwendung einer optischen Ultraschallwellen-Messvorrichtung durchzuführen, die einen Ultraschallimpuls-Ausgabeabschnitt aufweist, der so angeordnet ist, dass er einen Ultraschallimpuls ausgibt, und eine Vielzahl von Lichtimpuls-Ausgabeabschnitten, die so angeordnet sind, dass sie Lichtimpulse mit ihren jeweils unterschiedlichen Wellenlängen ausgeben, wobei der Vorgang umfasst: einen Impulsausgabe-Zeitsteuerungsschritt, der so eingerichtet ist, dass er den Zeitpunkt, zu dem der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, so steuert, dass die Zeitdauern, während der der Ultraschallimpuls und die Lichtimpulse ausgegeben werden, einander nicht überlappen; und einen Messschritt, der so eingerichtet ist, dass ein Messobjekt auf der Grundlage einer reflektierten Welle als Ergebnis der Reflexion des Ultraschallimpulses am Messobjekt und der durch die Lichtimpulse am Messobjekt erzeugten optoakustischen Wellen gemessen wird.A computer readable medium having a program of instructions for execution by a computer to perform an optical ultrasonic wave measuring operation using an optical ultrasonic wave measuring device having an ultrasonic pulse output section arranged to output an ultrasonic pulse and a plurality of light pulse output sections arranged to output light pulses having their respective different wavelengths, the process comprising: a pulse output timing step arranged to control the timing at which the ultrasonic pulse and the light pulses are output so that the periods during which the ultrasonic pulse and the light pulses are output do not overlap each other; and a measuring step which is set up so that a measurement object is measured on the basis of a reflected wave as a result of the reflection of the ultrasonic pulse on the measurement object and the optoacoustic waves generated by the light pulses on the measurement object.
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