DE112017008044T5 - VERTICAL SUPRA-CONDUCTING CAPACITORS FOR TRANSMON-QUBITS - Google Patents
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Abstract
Ein vertikaler q-Kondensator (202, 302, 700, 1100, 1400, 1800) weist einen Graben (304, 502, 902, 1202, 1204, 1602) in einem Substrat (400) durch eine Schicht (602, 1302, 1304) von supraleitendem Material (402) auf. Ein Supraleiter wird in dem Graben (304, 502, 902, 1202, 1204, 1602) abgeschieden und bildet eine erste Dünnschicht auf einer ersten Oberfläche, eine zweite Dünnschicht auf einer zweiten Oberfläche und eine dritte Dünnschicht des Supraleiters auf einer dritten Oberfläche des Grabens (304, 502, 902, 1202, 1204, 1602). Die erste und die zweite Oberfläche sind im Wesentlichen parallel und die dritte Oberfläche in dem Graben (304, 502, 902, 1202, 1204, 1602) trennt die erste und die zweite Oberfläche. Ein Dielektrikum wird unter der dritten Dünnschicht durch Ätzen freigelegt. Eine erste Kopplung wird zwischen der ersten Dünnschicht und einem ersten Kontakt gebildet und eine zweite Kopplung wird zwischen der zweiten Dünnschicht und einem zweiten Kontakt in einer supraleitenden Quantenlogikschaltung gebildet. Die erste und die zweite Kopplung bewirken, dass die erste und die zweite Dünnschicht als vertikaler q-Kondensator (202, 302, 700, 1100, 1400, 1800) wirken, der die Integrität von Daten in der supraleitenden Quantenlogikschaltung innerhalb eines Schwellenwerts aufrechthält.A vertical q-capacitor (202, 302, 700, 1100, 1400, 1800) has a trench (304, 502, 902, 1202, 1204, 1602) in a substrate (400) through a layer (602, 1302, 1304) of superconducting material (402). A superconductor is deposited in the trench (304, 502, 902, 1202, 1204, 1602) and forms a first thin layer on a first surface, a second thin layer on a second surface and a third thin layer of the superconductor on a third surface of the trench ( 304, 502, 902, 1202, 1204, 1602). The first and second surfaces are substantially parallel and the third surface in the trench (304, 502, 902, 1202, 1204, 1602) separates the first and second surfaces. A dielectric is exposed under the third thin layer by etching. A first coupling is formed between the first thin film and a first contact and a second coupling is formed between the second thin film and a second contact in a superconducting quantum logic circuit. The first and second couplings cause the first and second thin films to act as a vertical q-capacitor (202, 302, 700, 1100, 1400, 1800) that maintains the integrity of data in the superconducting quantum logic circuit within a threshold.
Description
TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA
Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein eine Halbleitereinheit, ein Herstellungsverfahren und ein Herstellungssystem zum Verringern der Grundfläche kapazitiver Einheiten in supraleitenden Quantenlogikschaltungen. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine Einheit, ein Verfahren und ein System für vertikale supraleitende Kondensatoren für ein Transmon-Qubit (vertikaler q-Kondensator).The present invention relates generally to a semiconductor device, a manufacturing method, and a manufacturing system for reducing the footprint of capacitive devices in superconducting quantum logic circuits. In particular, the present invention relates to a unit, a method and a system for vertical superconducting capacitors for a transmon qubit (vertical q-capacitor).
HINTERGRUNDBACKGROUND
Nachstehend bedeutet ein Präfix „Q“ oder „q“ eines Worts oder Ausdrucks, dass das Wort oder der Ausdruck im Zusammenhang des Quantencomputing steht, wenn bei der Verwendung nicht ausdrücklich anders angegeben.In the following, a prefix "Q" or "q" of a word or phrase means that the word or phrase is related to quantum computing unless specifically stated when used.
Moleküle und subatomare Partikel genügen den Gesetzen der Quantenmechanik, einem Zweig der Physik, der untersucht, wie die physische Welt auf der grundlegendsten Ebene arbeitet. Auf dieser Ebene verhalten sich Partikel auf seltsame Weise, nehmen mehr als einen Zustand gleichzeitig an und wechselwirken mit anderen Partikeln, die sehr weit entfernt sind. Bei dem Quantencomputing werden diese Quantenerscheinungen für die Informationsverarbeitung genutzt.Molecules and subatomic particles comply with the laws of quantum mechanics, a branch of physics that examines how the physical world works at the most basic level. At this level, particles behave strangely, assume more than one state at a time, and interact with other particles that are very far away. In quantum computing, these quantum phenomena are used for information processing.
Die Computer, die wir aktuell verwenden, sind als klassische Computer bekannt (hierin auch als „herkömmliche“ Computer oder herkömmliche Knoten oder „CN“ bezeichnet). Ein herkömmlicher Computer verwendet einen herkömmlichen Prozessor, der unter Verwendung von Halbleitermaterialien und -technologie hergestellt ist, einen Halbleiterspeicher und eine magnetische oder Festkörper-Speichereinheit in einer so genannten Von-Neumann-Architektur. Insbesondere sind die Prozessoren in herkömmlichen Computern binäre Prozessoren, d.h. sie arbeiten mit als 1 und 0 dargestellten Binärdaten.The computers we currently use are known as classic computers (also referred to herein as "conventional" computers or conventional nodes or "CN"). A conventional computer uses a conventional processor made using semiconductor materials and technology, a semiconductor memory, and a magnetic or solid state storage device in a so-called Von Neumann architecture. In particular, the processors in conventional computers are binary processors, i.e. they work with binary data represented as 1 and 0.
Ein Quantenprozessor (q-Prozessor) nutzt die besondere Beschaffenheit von verschränkten Qubit-Einheiten (hierin platzsparend als „Qubit“, im Plural „Qubits“, bezeichnet) für die Durchführung von Datenverarbeitungsaufgaben. In dem speziellen Bereich, in dem die Quantenmechanik wirkt, können Materiepartikel in mehrfachen Zuständen vorliegen - wie z.B. einem „Ein“-Zustand, einem „Aus“-Zustand und einem „Ein“- und „Aus“-Zustand gleichzeitig. Während die binäre Datenverarbeitung unter Verwendung von Halbleiterprozessoren auf die Verwendung von lediglich Ein- und Aus-Zuständen beschränkt ist (entsprechend 1 und 0 eines Binärcodes), nutzt ein Quantenprozessor die Quantenzustände der Materie zum Ausgeben von Signalen, die bei der Datenverarbeitung verwendbar sind.A quantum processor (q processor) uses the special nature of entangled qubit units (here space-savingly referred to as "qubit" in the plural "qubit") for performing data processing tasks. In the special area in which quantum mechanics works, matter particles can exist in multiple states - such as an "on" state, an "off" state and an "on" and "off" state at the same time. While binary data processing using semiconductor processors is limited to using only on and off states (corresponding to 1 and 0 of a binary code), a quantum processor uses the quantum states of matter to output signals that can be used in data processing.
Herkömmliche Computer codieren Information in Bits. Jedes Bit kann den Wert von 1 oder 0 annehmen. Diese 1- und 0-Werte wirken als Ein/Aus-Schalter, die letztlich die Computerfunktionen steuern. Quantencomputer stehen dagegen auf der Grundlage von Qubits, die nach den beiden Grundprinzipien der Quantenphysik arbeiten: Überlagerung und Verschränkung. Überlagerung bedeutet, dass jedes Qubit 1 und 0 gleichzeitig darstellen kann. Verschränkung bedeutet, dass Qubits in einer Überlagerung auf nichtklassische Weise miteinander korrelieren können; d.h. der Zustand des einen (1, 0 oder beides) kann von dem Zustand des anderen abhängen, und es kann über die beiden Qubits mehr Information gewonnen werden, wenn sie verschränkt sind, als wenn sie einzeln behandelt werden.Conventional computers encode information in bits. Each bit can have the value 1 or 0. These 1 and 0 values act as an on / off switch that ultimately controls the computer functions. Quantum computers, on the other hand, are based on qubits that work according to the two basic principles of quantum physics: superimposition and entanglement. Overlay means that each qubit can represent 1 and 0 at the same time. Entanglement means that qubits in an overlay can correlate in a non-classic way; i.e. the state of one (1, 0, or both) can depend on the state of the other, and more information can be obtained about the two qubits when they are entangled than when they are treated individually.
Unter Verwendung dieser beiden Prinzipien arbeiten Qubits als komplexe Informationsverarbeitungseinheiten, so dass Quantencomputer auf eine Weise arbeiten können, die das Lösen schwieriger Probleme ermöglicht, die mit herkömmlichen Computern unlösbar sind. IBM hat einen Quantenprozessor hergestellt und seine Arbeitsfähigkeit erfolgreich vorgeführt (IBM ist eine in den Vereinigten Staaten und anderen Ländern eingetragene Marke der International Business Machines Corporation.)Using these two principles, qubits operate as complex information processing units, so that quantum computers can operate in a way that enables solving difficult problems that are insoluble with conventional computers. IBM has manufactured and successfully demonstrated a quantum processor (IBM is a registered trademark of International Business Machines Corporation in the United States and other countries.)
Ein supraleitendes Qubit kann einen Josephson-Kontakt enthalten. Ein Josephson-Kontakt wird gebildet, indem zwei supraleitende dünne Metallschichten durch ein nicht-supraleitendes Material getrennt werden. Wenn bewirkt wird, dass das Metall in den supraleitenden Schichten supraleitend wird - z.B. durch Verringern der Temperatur des Metalls auf eine bestimmte kryogene Temperatur - können Elektronenpaare von einer supraleitenden Schicht durch die nicht-supraleitende Schicht in die andere supraleitende Schicht tunneln. In einem supraleitenden Qubit ist der Josephson-Kontakt - der eine kleine Induktanz aufweist - mit einer oder mehreren kapazitiven Einheiten, die einen nichtlinearen Resonator bilden, elektrisch parallelgekoppelt.A superconducting qubit can contain a Josephson contact. A Josephson contact is formed by separating two superconducting thin metal layers by a non-superconducting material. If the metal in the superconducting layers is caused to become superconducting - e.g. by reducing the temperature of the metal to a certain cryogenic temperature - electron pairs can tunnel from one superconducting layer through the non-superconducting layer into the other superconducting layer. In a superconducting qubit, the Josephson contact - which has a small inductance - is electrically coupled in parallel with one or more capacitive units that form a nonlinear resonator.
Die von Qubits verarbeitete Information wird in der Form von Mikrowellenenergie in einem Bereich von Mikrowellenfrequenzen emittiert. Die Mikrowellenemissionen werden erfasst, verarbeitet und analysiert, um die darin codierte Quanteninformation zu entschlüsseln. Damit Quantencomputing von Qubits zuverlässig ist, dürfen die Quantenschaltungen, z.B. die Qubits selbst, die mit den Qubits verbundene Ausleseschaltung und andere Typen von supraleitenden Quantenlogikschaltungen die Energiezustände der Partikel oder die Mikrowellenemissionen auf keine wesentliche Weise verändern. Diese Arbeitsbeschränkung für jede Schaltung, die mit Quanteninformationen arbeitet, erfordern besondere Überlegungen für die Herstellung von Halbleiterstrukturen, die in einer derartigen Schaltung verwendet werden.The information processed by qubits is emitted in the form of microwave energy in a range of microwave frequencies. The microwave emissions are recorded, processed and analyzed in order to decode the quantum information encoded therein. In order for quantum computing of qubits to be reliable, the quantum circuits, for example the qubits themselves, the readout circuit connected to the qubits and other types of superconducting quantum logic circuits, must not significantly change the energy states of the particles or the microwave emissions. This work restriction for every circuit that comes with Quantum information works require special considerations for the manufacture of semiconductor structures that are used in such a circuit.
Ein Kondensator, der in einer supraleitenden Quantenlogikschaltung verwendet wird, insbesondere in einem Qubit - z.B. in Verbindung mit einem Josephson-Kontakt - muss dieser Arbeitsbeschränkung entsprechend hergestellt werden. Die aktuell in einem Qubit verwendete Kondensatorstruktur ist wesentlich größer bemessen als die Größe des zugehörigen Josephson-Kontakts.
Die erhebliche Größe des Kondensators beschränkt die Anzahl der Qubits und anderer Quantenausleseschaltungen, die durch ein Herstellungsverfahren pro Chip hergestellt werden können. Es besteht Bedarf an einem Verfahren zur Herstellung eines q-Kondensators, der eine wesentlich kleinere Fläche auf dem Chip einnimmt als der aktuell verwendete Kondensator in Quantenschaltungen, z.B. dem Qubit
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Beispiele der vorliegenden Erfindung stellen eine Halbleitereinheit und ein Verfahren und System zur Herstellung davon bereit. Eine Halbleitereinheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist einen vertikalen q-Kondensator auf, der einen Graben durch eine Schicht von supraleitendem Material aufweist, wobei der Graben eine Tiefe in einem Substrat erreicht, wobei die Tiefe im Wesentlichen senkrecht zu der Fertigungsebene des Substrats ist. Ferner weist die Einheit ein supraleitendes Material auf, das in dem Graben abgeschieden ist, wobei das abgeschiedene supraleitende Material eine erste Dünnschicht des supraleitenden Materials auf einer ersten Oberfläche des Grabens, eine zweite Dünnschicht des supraleitenden Materials auf einer zweiten Oberfläche des Grabens und eine dritte Dünnschicht des supraleitenden Materials auf einer dritten Oberfläche des Grabens bildet, wobei die zweite Oberfläche im Wesentlichen parallel zu der ersten Oberfläche ist und die dritte Oberfläche in dem Graben die erste Oberfläche und die zweite Oberfläche trennt. Die Ausführungsform weist ferner ein dielektrisches Material unter der dritten Dünnschicht auf, wobei das dielektrische Material durch Ätzen der dritten Dünnschicht freigelegt wird. Die Ausführungsform weist ferner eine erste Kopplung zwischen der ersten Dünnschicht und einem ersten Kontakt in einer supraleitenden Quantenlogikschaltung auf. Die Einheit weist ferner eine zweite Kopplung zwischen der zweiten Dünnschicht und einem zweiten Kontakt in der supraleitenden Quantenlogikschaltung auf, wobei die erste Kopplung und die zweite Kopplung bewirken, dass die erste Dünnschicht und die zweite Dünnschicht als vertikaler q-Kondensator wirken, der die Integrität von Daten in der supraleitenden Quantenlogikschaltung innerhalb eines Schwellenwerts aufrechthält. Somit stellt die Einheit einen vertikalen q-Kondensator bereit, der wesentlich weniger Raum auf einem Qubit einnimmt als ein aktuell verwendeter Kondensator.Examples of the present invention provide a semiconductor device and a method and system for making the same. A semiconductor device as an embodiment of the present invention has a vertical q-capacitor which has a trench through a layer of superconducting material, the trench reaching a depth in a substrate, the depth being substantially perpendicular to the production plane of the substrate. The device further comprises a superconducting material deposited in the trench, the deposited superconducting material having a first thin layer of the superconducting material on a first surface of the trench, a second thin layer of the superconducting material on a second surface of the trench and a third thin layer of the superconducting material on a third surface of the trench, the second surface being substantially parallel to the first surface and the third surface in the trench separating the first surface and the second surface. The embodiment further includes a dielectric material under the third thin film, the dielectric material being exposed by etching the third thin film. The embodiment also has a first coupling between the first thin film and a first contact in a superconducting quantum logic circuit. The device further includes a second coupling between the second thin film and a second contact in the superconducting quantum logic circuit, the first coupling and the second coupling causing the first thin film and the second thin film to act as a vertical q-capacitor that protects the integrity of Maintains data within the superconducting quantum logic circuit within a threshold. Thus, the unit provides a vertical q-capacitor that takes up significantly less space on a qubit than a capacitor currently in use.
Eine weitere Einheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ferner einen Leerraum zwischen der ersten Oberfläche des Grabens und der zweiten Oberfläche des Grabens auf, wobei der Leerraum von Vakuum eingenommen wird, wobei die dritte Oberfläche eine Bodenfläche des Grabens ist und wobei das Vakuum einen Spalt zwischen der ersten Dünnschicht und der zweiten Dünnschicht bildet. Somit stellt die Einheit einen vertikalen q-Kondensator mit einem Einzelgraben-Vakuumspalt bereit, bei dem das Vakuum das Dielektrikum ist.Another unit as an embodiment of the present invention further has a void between the first surface of the trench and the second surface of the trench, the void being occupied by vacuum, the third surface being a bottom surface of the trench, and the vacuum being a gap between the first thin film and the second thin film. Thus, the unit provides a vertical q capacitor with a single trench vacuum gap, where the vacuum is the dielectric.
Eine weitere Einheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ferner eine Struktur aus einem zweiten dielektrischen Material auf, wobei der Graben einen ersten Graben und einen zweiten Graben aufweist, wobei die Tiefe des Grabens eine erste Tiefe des ersten Grabens ist und eine zweite Tiefe des zweiten Grabens im Wesentlichen parallel zu der ersten Tiefe des ersten Grabens ist, wobei die Struktur zwischen dem ersten Graben und dem zweiten Graben gebildet ist, wobei die erste Oberfläche des Grabens eine Oberfläche des ersten Grabens, die von der Struktur gebildet wird, aufweist, wobei die zweite Oberfläche des Grabens eine Oberfläche des zweiten Grabens, die von der Struktur gebildet wird, aufweist, und wobei die dritte Oberfläche des Grabens eine Oberfläche der Struktur aufweist, die die erste Oberfläche und die zweite Oberfläche trennt. Somit stellt die Einheit einen vertikalen Mehrgraben-q-Kondensator bereit.Another unit as an embodiment of the present invention further includes a structure of a second dielectric material, the trench having a first trench and a second trench, the depth of the trench being a first depth of the first trench and a second depth of the second trench is substantially parallel to the first depth of the first trench, the structure being formed between the first trench and the second trench, the first surface of the trench having a surface of the first trench formed by the structure, the second The surface of the trench has a surface of the second trench that is formed by the structure, and wherein the third surface of the trench has a surface of the structure that separates the first surface and the second surface. Thus the unit provides a vertical multi-trench q capacitor.
Bei einer weiteren Einheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist das zweite dielektrische Material der Struktur ein Material des Substrats auf. Somit stellt die Einheit einen vertikalen Mehrgraben-q-Kondensator bereit, bei dem das Dielektrikum das Substratmaterial ist.In a further unit as an embodiment of the present invention, the second dielectric material of the structure comprises a material of the substrate. Thus, the device provides a vertical multi-trench q-capacitor, in which the dielectric is the substrate material.
Eine weitere Einheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ferner das zweite dielektrische Material über der Fertigungsebene des Substrats abgeschieden auf, wobei das supraleitende Material über dem zweiten dielektrischen Material abgeschieden ist, wobei die erste Tiefe und die zweite Tiefe in dem zweiten dielektrischen Material enden, ohne das Substrat zu erreichen. Somit stellt die Einheit einen vertikalen Mehrgraben-q-Kondensator bereit, bei dem das Dielektrikum ein zweites dielektrisches Material nach Wahl ist.Another unit as an embodiment of the present invention further comprises the second dielectric material deposited over the manufacturing plane of the substrate, the superconducting material being deposited over the second dielectric material, the first depth and the second depth ending in the second dielectric material without to reach the substrate. Thus, the unit provides a vertical multi-trench q capacitor, in which the dielectric is a second dielectric material of choice.
Eine weitere Einheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ferner eine erste Kopplung, die unter Verwendung des supraleitenden Materials gebildet ist, zwischen der ersten Dünnschicht und dem ersten Kontakt auf. Ferner weist die Einheit eine zweite Kopplung, die unter Verwendung des supraleitenden Materials gebildet ist, zwischen der zweiten Dünnschicht und dem zweiten Kontakt auf. Somit stellt die Einheit eine Weise zum Koppeln des vertikalen q-Kondensators an die supraleitende Quantenlogikschaltung bereit.Another unit as an embodiment of the present invention further has a first coupling, which is formed using the superconducting material, between the first thin film and the first contact. Furthermore, the unit has a second coupling, which is formed using the superconducting material, between the second thin film and the second contact. Thus, the device provides a way to couple the vertical q-capacitor to the superconducting quantum logic circuit.
Eine weitere Einheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ferner das supraleitende Material auf dem Substrat abgeschieden auf. Somit stellt die Einheit eine Weise zum Bilden einer supraleitenden Schicht auf dem Substrat bereit.Another unit as an embodiment of the present invention further has the superconducting material deposited on the substrate. Thus, the device provides a way to form a superconducting layer on the substrate.
Bei einer weiteren Einheit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist das supraleitende Material Niob (Nb) und weist das Substrat Silicium (Si) mit hohem spezifischem Widerstand auf. Somit stellt die Einheit spezifische Materialien bereit, die bei der Herstellung des vertikalen q-Kondensators verwendbar sind.In another unit as an embodiment of the present invention, the superconducting material is niobium (Nb) and the substrate has silicon (Si) with a high specific resistance. Thus, the unit provides specific materials that can be used in the manufacture of the vertical q-capacitor.
Als weitere Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung wird nun ein Herstellungsverfahren zum Herstellen der Halbleitereinheit bereitgestellt.As a further aspect of the present invention, a manufacturing method for manufacturing the semiconductor unit is now provided.
Als weitere Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung wird nun ein Herstellungssystem zum Herstellen der Halbleitereinheit bereitgestellt.As a further aspect of the present invention, a manufacturing system for manufacturing the semiconductor unit is now provided.
FigurenlisteFigure list
Die neuen Merkmale der Erfindung werden in den anhängenden Ansprüchen dargelegt. Die Erfindung selbst und ein bevorzugter Ausführungsmodus, weitere Aufgaben und Vorteile davon werden aber am besten anhand der nachstehenden ausführlichen Beschreibung verstanden, wenn in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gelesen, wobei:
-
1 eine skalierte Ansicht eines Qubits darstellt; -
2 ein Schema eines q-Kondensators in einem Qubit als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt; -
3 eine simulierte dreidimensionale Ansicht einer Struktur eines vertikalen q-Kondensators als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt; -
4 einen Schritt eines beispielhaften Herstellungsverfahrens für vertikale q-Kondensatoren als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt; -
5 bis7 Schritte eines beispielhaften Herstellungsverfahrens für vertikale Vakuumspalt-q-Kondensatoren als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellen; -
8 bis11 Schritte eines alternativen beispielhaften Herstellungsverfahrens für vertikale Vakuumspalt-q-Kondensatoren als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellen; -
12 bis14 Schritte eines beispielhaften Herstellungsverfahrens für vertikale Siliciumdielektrikum-q-Kondensatoren als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellen; und -
15 bis18 Schritte eines alternativen beispielhaften Herstellungsverfahrens für vertikale Siliciumdielektrikum-q-Kondensatoren als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellen.
-
1 a scaled view of a qubit; -
2nd Figure 3 shows a schematic of a q capacitor in a qubit as an embodiment of the present invention; -
3rd Figure 3 is a simulated three-dimensional view of a structure of a vertical q-capacitor embodying the present invention; -
4th Figure 1 illustrates a step of an exemplary vertical q capacitor manufacturing process as an embodiment of the present invention; -
5 to7 Figure 11 illustrates steps of an exemplary vertical vacuum gap q capacitor manufacturing method as an embodiment of the present invention; -
8th to11 Figure 11 illustrates steps of an alternative exemplary manufacturing method for vertical vacuum gap q capacitors as an embodiment of the present invention; -
12th to14 Figure 11 illustrates steps of an exemplary vertical silicon dielectric q capacitor manufacturing process as an embodiment of the present invention; and -
15 to18th Represent steps of an alternative exemplary manufacturing method for vertical silicon dielectric q capacitors as an embodiment of the present invention.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNGDETAILED DESCRIPTION
Die veranschaulichenden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, die zur Beschreibung der Erfindung verwendet werden, betreffen allgemein und lösen den oben beschriebenen Bedarf an vertikalen q-Kondensatoren und ein Herstellungsverfahren für vertikale q-Kondensatoren.The illustrative embodiments of the present invention that are used to describe the invention generally relate to the above-described need for vertical q capacitors and a manufacturing method for vertical q capacitors.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann als kapazitive Einheit in einer supraleitenden Quantenlogikschaltung implementiert sein, einschließlich, aber nicht darauf beschränkt, als q-Kondensator, der an einen Josephson-Kontakt in einem Qubit-Chip gekoppelt ist. Ein Herstellungsverfahren für vertikale q-Kondensatoren kann wenigstens teilweise als Softwareanwendung implementiert sein. Die Anwendung, die eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung implementiert, kann dafür gestaltet sein, in Verbindung mit einem bestehenden Halbleiterherstellungssystem - beispielsweise einem Lithographiesystem - zu arbeiten.An embodiment of the present invention can be implemented as a capacitive unit in a superconducting quantum logic circuit, including, but not limited to, a q capacitor coupled to a Josephson contact in a qubit chip. A manufacturing method for vertical q capacitors can be implemented at least partially as a software application. The application that implements an embodiment of the present invention can do this be designed to work in conjunction with an existing semiconductor manufacturing system - such as a lithography system.
Aus Gründen der Klarheit der Beschreibung, und ohne dass dies eine Beschränkung dafür bedeutet, werden die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Verwendung einer vereinfachten Darstellung des beispielhaften q-Kondensators in den Figuren beschrieben. Bei einer tatsächlichen Herstellung eines q-Kondensators können zusätzliche Strukturen, die hierin nicht gezeigt oder beschrieben werden, oder Strukturen, die von den hierin gezeigten und beschriebenen verschieden sind, vorhanden sein, ohne von dem Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Ähnlich kann innerhalb des Umfangs der veranschaulichenden Ausführungsformen eine gezeigte oder beschriebene Struktur bei dem beispielhaften q-Kondensator auf eine andere Weise hergestellt werden, um eine ähnliche Wirkung oder ein ähnliches Ergebnis wie hierin beschrieben zu erhalten.For the sake of clarity of description, and without limitation, the embodiments of the present invention are described using a simplified representation of the exemplary q capacitor in the figures. In actual manufacture of a q-capacitor, additional structures not shown or described herein, or structures different from those shown and described herein, may be present without departing from the scope of the present invention. Similarly, within the scope of the illustrative embodiments, a structure shown or described can be made in the exemplary q capacitor in a different manner to obtain a similar effect or result to that described herein.
Unterschiedlich schattierte Teile der zweidimensionalen Zeichnung der Beispielstrukturen, Schichten und Gestaltungen sollen verschiedene Strukturen, Schichten, Materialien und Gestaltungen bei der wie hierin beschriebenen beispielhaften Herstellung darstellen. Die verschiedenen Strukturen, Schichten, Materialien und Gestaltungen können unter Verwendung geeigneter Materialien, die dem Fachmann bekannt sind, hergestellt werden.Different shaded parts of the two-dimensional drawing of the example structures, layers and designs are intended to represent different structures, layers, materials and designs in the example production as described herein. The various structures, layers, materials and designs can be made using suitable materials known to those skilled in the art.
Eine spezifische Form, Lage, Position oder Abmessung einer hierin dargestellten Form soll die vorliegende Erfindung nicht beschränken, sofern ein derartiges Merkmal nicht ausdrücklich als Merkmal einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben wird. Die Form, Lage, Position, Abmessung oder eine Kombination davon werden lediglich für eine klare Darstellung in den Zeichnungen und der Beschreibung gewählt und könnten vergrößert, verkleinert oder auf andere Weise von einer tatsächlichen Form, Lage, Position oder Abmessung, die bei der tatsächlichen Photolithographie verwendet werden könnte, um eine Ziel bei Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung zu erreichen, abgeändert worden sein.A specific shape, location, position, or dimension of a shape depicted herein is not intended to limit the present invention unless such a feature is expressly described as a feature of an embodiment of the present invention. The shape, location, position, dimension, or a combination thereof, are chosen for clarity of illustration in the drawings and description only, and could be enlarged, reduced, or otherwise different from the actual shape, location, position, or dimension used in actual photolithography could be used to achieve a goal in embodiments of the present invention.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bewirkt bei Implementierung in einer Anwendung, dass ein Herstellungsverfahren bestimmte, wie hierin beschriebene Schritte ausführt. Die Schritte des Herstellungsverfahrens werden in mehreren Figuren dargestellt. Nicht alle Schritte müssen bei einem bestimmten Herstellungsverfahren erforderlich sein. Manche Herstellungsverfahren können die Schritte in verschiedener Reihenfolge implementieren, bestimmte Schritte kombinieren, bestimmte Schritte weglassen oder ersetzen oder manche Kombinationen dieser und anderer Manipulationen von Schritten durchführen, ohne von dem Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.An embodiment of the present invention, when implemented in an application, causes a manufacturing process to perform certain steps as described herein. The steps of the manufacturing process are shown in several figures. Not all of the steps need to be required in a particular manufacturing process. Some manufacturing methods may implement the steps in a different order, combine certain steps, omit or replace certain steps, or perform some combination of these and other manipulations of steps without departing from the scope of the present invention.
Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden mit Bezug auf bestimmte Typen von Materialien, elektrische Eigenschaften, Strukturen, Gestaltungen, Schichtorientierungen, Richtungen, Schritte, Arbeitsvorgänge, Ebenen, Abmessungen, Anzahlen, Datenverarbeitungssysteme, Umgebungen, Komponenten und Anwendungen lediglich als Beispiele beschrieben. Alle spezifischen Ausprägungen dieser und ähnlicher Gegenstände sollen die Erfindung nicht beschränken. Jede geeignete Ausprägung dieser und anderer ähnlicher Gegenstände kann innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung ausgewählt werden.Preferred embodiments of the present invention are described with reference to certain types of materials, electrical properties, structures, designs, layer orientations, directions, steps, operations, levels, dimensions, numbers, data processing systems, environments, components and applications only as examples. All specific forms of these and similar objects are not intended to limit the invention. Any suitable expression of these and other similar items can be selected within the scope of the present invention.
Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden unter Verwendung spezifischer Entwürfe, Architekturen, Ausführungen, Schemata und Werkzeuge lediglich als Beispiele beschrieben und sind nicht für die Erfindung beschränkend. Die beschriebenen Ausführungsformen können in Verbindung mit anderen vergleichbaren oder ähnlich gedachten Entwürfen, Architekturen, Ausführungen, Schemata und Werkzeugen verwendet werden.Preferred embodiments of the present invention are described using specific designs, architectures, designs, schemes and tools only as examples and are not limitative of the invention. The described embodiments may be used in conjunction with other comparable or similar designs, architectures, designs, schemes, and tools.
Die hierin beschriebenen Beispiele werden nur für die Klarheit der Beschreibung verwendet und sind für die vorliegende Erfindung nicht beschränkend. Alle hierin aufgeführten Vorteile sind lediglich Beispiele und sollen die vorliegende Erfindung nicht beschränken. Bei spezifischen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindungen können zusätzliche oder andere Vorteile erhalten werden. Ferner kann eine besondere Ausführungsform manche, alle oder keinen der vorstehend aufgeführten Vorteile aufweisen.The examples described herein are used for clarity of description only and are not limiting of the present invention. All advantages listed herein are only examples and are not intended to limit the present invention. Additional or other advantages may be obtained in specific embodiments of the present invention. Furthermore, a particular embodiment may have some, all, or none of the advantages listed above.
Ein Qubit wird lediglich als eine nichtbeschränkende beispielhafte supraleitende Quantenlogikschaltung verwendet, bei der eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden kann. Aus der vorliegenden Beschreibung wird der Fachmann zahlreiche andere supraleitende Quantenlogikschaltungen erdenken können, bei denen die vertikalen q-Kondensatoren der vorliegenden Erfindung verwendbar sein können und die als im Umfang der vorliegenden Erfindung liegend angesehen werden.A qubit is used only as a non-limiting exemplary superconducting quantum logic circuit in which an embodiment of the present invention can be used. From the present description, those skilled in the art will be able to devise numerous other superconducting quantum logic circuits in which the vertical q-capacitors of the present invention can be used and which are considered to be within the scope of the present invention.
Bei dem dargestellten Beispiel ist ein Josephson-Kontakt
Der vertikale q-Kondensator
Niob (Nb) ist ein beispielhaftes supraleitendes Material, das bei der Herstellung des vertikalen q-Kondensators
Auf das Substrat
Der Graben
Erneut wird Nb als das supraleitende Material verwendet, wobei ein Sputterverfahren zum Abscheiden verwendet werden kann. Die Abscheidung von Nb auf diese Weise kann eine nachfolgende subtraktive Ätzung von Nb zum Definieren des Nb um die Gräben und andere supraleitende Schaltungen auf dem Chip überflüssig machen. Bei einem alternativen Verfahren wird Titannitrid (TiN) durch ALD (Atomschichtabscheidung), die konform ist, abgeschieden und bedeckt daher alle Oberflächen in der gleichen Menge. TiN kann allein oder in Verbindung mit Nb verwendet werden. Again, Nb is used as the superconducting material, and a sputtering method can be used for the deposition. The deposition of Nb in this manner can eliminate the need for subsequent subtractive etching of Nb to define the Nb around the trenches and other superconducting circuits on the chip. In an alternative method, titanium nitride (TiN) is deposited by conformal ALD (atomic layer deposition) and therefore covers all surfaces in the same amount. TiN can be used alone or in combination with Nb.
In der Praxis wird die Tiefätzung des Grabens
Bei diesem alternativen Schritt wird nach dem Abscheiden von supraleitendem Material
Durch das supraleitende Material
Diese Ätzung benötigt insbesondere keine Tiefätzung, da nur das supraleitende Material geätzt werden muss. Dieses Ätzverfahren könnte beispielsweise eine reaktive Ionenätzung auf Chlorbasis sein. Wie bei dem vorhergehenden Beispiel kann die OPL erforderlich sein, da die Strukturierung der Öffnung über den tiefen Gräben aufgrund der unebenen Konturen mit gewöhnlichem Resist unmöglich sein kann.In particular, this etching does not require deep etching since only the superconducting material has to be etched. This etching process could, for example, be a reactive ion etching based on chlorine. As with the previous example, the OPL may be required because the patterning of the opening above the deep trenches may not be possible with ordinary resist due to the uneven contours.
Durch die Oberseite
Das Substratmaterial
Bei diesem alternativen Schritt wird nach dem Abscheiden von supraleitendem Material
Das Substratmaterial
Bei ähnlichen Kapazitätswerten nimmt ein vertikaler Vakuumspalt-q-Kondensator, der gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit einer Spalthöhe von nur 5 Mikrometer (die Tiefe des Grabens) hergestellt ist, nur etwa dreißig Prozent der Oberfläche auf einem Qubit-Chip im Vergleich zu einem planaren Qubit-Kondensator im Stand der Technik ein. Bei ähnlichen Kapazitätswerten nimmt ein vertikaler Siliciumdielektrikum-q-Kondensator, der gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit einer Spalthöhe von nur 25 Mikrometer (die Höhe der Siliciumdielektrikumstruktur) hergestellt ist, nur etwa siebeneinhalb Prozent der Oberfläche auf einem Qubit-Chip im Vergleich zu einem planaren Qubit-Kondensator im Stand der Technik ein.At similar capacitance values, a vertical vacuum gap q capacitor made in accordance with an embodiment of the present invention with a gap height of only 5 microns (the depth of the trench) takes up only about thirty percent of the surface on a qubit chip compared to one planar qubit capacitor in the prior art. At similar capacitance values, a vertical silicon dielectric q capacitor made in accordance with an embodiment of the present invention with a gap height of only 25 microns (the height of the silicon dielectric structure) takes up only about seven and a half percent of the surface area on a qubit chip compared to one planar qubit capacitor in the prior art.
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