DE112017002796T5 - Semiconductor power module - Google Patents

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Masashi Hayashiguchi
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Rohm Co Ltd
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Abstract

Ein Halbleiter-Leistungsmodul beinhaltet: ein isolierendes Substrat, das eine Oberfläche und eine weitere Oberfläche aufweist, ein ausgangsseitiges Terminal, das an einer Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist, ein erstes Leistungsversorgungs-Terminal, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist, ein zweites Leistungsversorgungs-Terminal, an das eine Spannung mit einer Größe anzulegen ist, die gegenüber einer Spannung unterschiedlich ist, die an das erste Leistungsversorgungs-Terminal angelegt wird, wobei das zweite Leistungsversorgungs-Terminal an einer anderen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist, so, dass es dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal über das isolierende Substrat gegenüberliegt, ein erstes Schaltbauteil, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist und das elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal und dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal verbunden ist, und ein zweites Schaltbauteil, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist und das elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal und dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal verbunden ist.A semiconductor power module includes: an insulating substrate having a surface and another surface, an output side terminal disposed on a surface side of the insulating substrate, a first power supply terminal disposed on the one surface side of the insulating substrate, a second power supply terminal to which a voltage of a magnitude different from a voltage applied to the first power supply terminal is applied, the second power supply terminal being disposed on another surface side of the insulating substrate; in that it opposes the first power supply terminal via the insulating substrate, a first switching device disposed on the one surface side of the insulating substrate and electrically connected to the output side terminal and the first power supply terminal nden, and a second switching device disposed on the one surface side of the insulating substrate and electrically connected to the output side terminal and the second power supply terminal.

Description

Technisches GebietTechnical area

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiter-Leistungsmodul.The present invention relates to a semiconductor power module.

Hintergrundbackground

Ein Invertermodul bzw. Wechselrichtermodul ist als ein Beispiel eines Halbleiter-Leistungsmoduls, das Schaltbauteile beinhaltet, im Patentdokument 1 offenbart. Dieses Invertermodul beinhaltet ein erstes Halbleiterbauteil (erstes Schaltbauteil), ein zweites Halbleiterbauteil (zweites Schaltbauteil), und ein Kunstharzgehäuse, das die Halbleiterbauteile gehäusemäßig umschließt.An inverter module is disclosed in Patent Document 1 as an example of a semiconductor power module including switching devices. This inverter module includes a first semiconductor device (first switching device), a second semiconductor device (second switching device), and a resin case that encloses the semiconductor devices in a package.

Ein positives Terminal (Leistungsversorgungs-Terminal), das mit dem ersten Halbleiterbauteil verbunden ist, und ein negatives Terminal (Leistungsversorgungs-Terminal), das mit dem zweiten Halbleiterbauteil verbunden ist, sind bei diesem Invertermodul über ein Intervall bzw. in einem Abstand voneinander an einem Endabschnitt des Kunstharzgehäuses angeordnet. Ein Paar von ausgangsseitigen Terminals, die gemeinschaftlich mit dem ersten Halbleiterbauteil und dem zweiten Halbleiterbauteil verbunden sind, ist an einem anderen Endabschnitt des Kunstharzgehäuses angeordnet.A positive terminal (power supply terminal) connected to the first semiconductor device and a negative terminal (power supply terminal) connected to the second semiconductor device are spaced apart at an interval in this inverter module End portion of the resin housing arranged. A pair of output side terminals, which are commonly connected to the first semiconductor device and the second semiconductor device, are disposed at another end portion of the resin case.

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Patentliteraturpatent literature

Patentliteratur 1: Japanische Patentanmeldungsveröffentlichung mit der Nr. 2013-222885Patent Literature 1: Japanese Patent Application Publication No. 2013-222885

Überblick über die ErfindungOverview of the invention

Technisches ProblemTechnical problem

Ein Halbleiter-Leistungsmodul, das Schaltbauteile beinhaltet, besitzt generell ein Problem dahingehend, dass eine Stoßspannung („surge voltage“) während eines Schaltvorganges wahrscheinlich erzeugt wird. Eine Größe der Stoßspannung ist proportional zu einer Induktivitätskomponente eines Strompfades, wie einer Verdrahtung, etc., über den ein Strom fließt, und ein Problempunkt besteht folglich darin, die Induktivitätskomponente von dem Strompfad zu entfernen.A semiconductor power module incorporating switching devices generally has a problem that a surge voltage is likely to be generated during a switching operation. A magnitude of the surge voltage is proportional to an inductance component of a current path, such as a wiring, etc., over which a current flows, and thus a problem point is to remove the inductance component from the current path.

Bei dem Halbleiter-Leistungsmodul, das in dem Patentdokument 1 offenbart ist, sind die zwei Leistungsversorgungs-Terminals, an die wechselseitig unterschiedliche Spannungen angelegt werden, über ein Intervall bzw. in einem Abstand voneinander an einem Endabschnitt des Kunstharzgehäuses angeordnet.In the semiconductor power module disclosed in Patent Document 1, the two power supply terminals to which mutually different voltages are applied are arranged at an interval from each other at an end portion of the resin case.

Eine Distanz zwischen den zwei Leistungsversorgungs-Terminals nimmt einen vergleichsweise großen Wert an, da diese in Abhängigkeit von einer Form des Kunstharzgehäuses eingestellt wird. Ein magnetisches Feld, da an einem Leistungsversorgungs-Terminal erzeugt wird, und ein magnetisches Feld, das an dem anderen Leistungsversorgungs-Terminal erzeugt wird, können daher nicht zufriedenstellend ausgelöscht werden, und eine wechselseitige bzw. gegenseitige Induktivitätskomponente zwischen den Terminals nimmt daher aufgrund eines wechselseitigen Induktionseffektes wahrscheinlich zu.A distance between the two power supply terminals assumes a comparatively large value because it is adjusted depending on a shape of the resin case. Therefore, a magnetic field generated at a power supply terminal and a magnetic field generated at the other power supply terminal can not be satisfactorily canceled out, and a mutual inductance component between the terminals therefore decreases due to a mutual one Induction effect probably too.

Die vorliegende Erfindung stellt folglich ein Halbleiter-Leistungsmodul bereit, bei dem eine Induktivitätskomponente reduziert werden kann.The present invention thus provides a semiconductor power module in which an inductance component can be reduced.

Lösung für das ProblemSolution to the problem

Die vorliegende Erfindung stellt ein Halbleiter-Leistungsmodul bereit, mit: einem isolierenden Substrat, das eine Oberfläche und eine weitere Oberfläche aufweist; einem ausgangsseitigen Terminal, das an einer Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist; einem ersten Leistungsversorgungs-Terminal, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist; einem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal, an das eine Spannung mit einer Größe anzulegen ist, die gegenüber einer Spannung unterschiedlich ist, die an das erste Leistungsversorgungs-Terminal angelegt wird, wobei das zweite Leistungsversorgungs-Terminal an einer anderen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist, so, dass es dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal über das isolierende Substrat gegenüberliegt; einem ersten Schaltbauteil, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist und das elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal und dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal verbunden ist; und einem zweiten Schaltbauteil, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist und das elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal und dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal verbunden ist.The present invention provides a semiconductor power module comprising: an insulating substrate having a surface and another surface; an output side terminal disposed on a surface side of the insulating substrate; a first power supply terminal disposed on the one surface side of the insulating substrate; a second power supply terminal to which a voltage of a magnitude different from a voltage applied to the first power supply terminal is applied, the second power supply terminal being disposed on another surface side of the insulating substrate; in that it faces the first power supply terminal via the insulating substrate; a first switching device disposed on the one surface side of the insulating substrate and electrically connected to the output side terminal and the first power supply terminal; and a second switching device disposed on the one surface side of the insulating substrate and electrically connected to the output side terminal and the second power supply terminal.

Mit dem vorliegenden Halbleiter-Leistungsmodul kann eine Distanz zwischen dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal und dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal basierend auf einer Dicke des isolierenden Substrates eingestellt werden, an dem das erste Leistungsversorgungs-Terminal und das zweite Leistungsversorgungs-Terminal gegenüberliegend bzw. auf dieses zuweisend angeordnet sind. Das erste Leistungsversorgungs-Terminal und das zweite Leistungsversorgungs-Terminal können daher in Nähe zueinander angeordnet werden, während eine Isolationseigenschaft aufrechterhalten wird.With the present semiconductor power module, a distance between the first power supply terminal and the second power supply terminal can be adjusted based on a thickness of the insulating substrate facing the first power supply terminal and the second power supply terminal are arranged. Therefore, the first power supply terminal and the second power supply terminal can be arranged in proximity to each other while maintaining an insulating property.

Ein magnetisches Feld, das an dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal erzeugt wird, und ein magnetisches Feld, das an dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal erzeugt wird, können daher zufriedenstellend ausgelöscht werden, und folglich kann eine wechselseitige Induktivitätskomponente zwischen dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal und dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal reduziert werden. Ein Halbleiter-Leistungsmodul, bei dem eine Induktivitätskomponente reduziert werden kann, kann folglich bereitgestellt werden. Therefore, a magnetic field generated at the first power supply terminal and a magnetic field generated at the second power supply terminal can be satisfactorily canceled out, and hence, a mutual inductance component between the first power supply terminal and the second power supply terminal Power supply terminal to be reduced. A semiconductor power module in which an inductance component can be reduced can thus be provided.

Die zuvor genannten und noch weitere Aufgaben, Merkmale und Wirkungen der vorliegenden Erfindung ergeben sich in klarstellender Art und Weise durch die nachstehende Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung.The foregoing and other objects, features and effects of the present invention will become more apparent by the following description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

Figurenlistelist of figures

  • 1 ist ein elektrisches Schaltungsdiagramm der elektrischen Struktur eines Halbleiter-Leistungsmoduls gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 1 FIG. 12 is an electrical circuit diagram of the electrical structure of a semiconductor power module according to a preferred embodiment of the present invention. FIG.
  • 2 ist eine perspektivische Ansicht des Halbleiter-Leistungsmoduls der 1 aus einer Aussicht von einer oberen Seite. 2 FIG. 12 is a perspective view of the semiconductor power module of FIG 1 from a view from an upper side.
  • 3 ist eine perspektivische Ansicht des Halbleiter-Leistungsmoduls der 2 aus einer Ansicht von einer unteren Seite. 3 FIG. 12 is a perspective view of the semiconductor power module of FIG 2 from a view from a lower side.
  • 4 ist eine perspektivische Explosionsansicht der internen bzw. inneren Struktur des Halbleiter-Leistungsmoduls der 1. 4 FIG. 13 is an exploded perspective view of the internal structure of the semiconductor power module of FIG 1 ,
  • 5 ist eine Draufsicht auf die interne Struktur des Halbleiter-Leistungsmoduls der 1. 5 FIG. 12 is a plan view of the internal structure of the semiconductor power module of FIG 1 ,
  • 6 ist eine Seitenansicht der internen Struktur des Halbleiter-Leistungsmoduls der 1. 6 FIG. 12 is a side view of the internal structure of the semiconductor power module of FIG 1 ,
  • 7 ist eine vergrößerte Ansicht einer Region VII der 5. 7 is an enlarged view of a region VII of the 5 ,
  • 8 ist eine Schnittansicht entlang einer Linie VIII-VIII der 7. 8th is a sectional view taken along a line VIII - VIII of the 7 ,
  • 9 ist ein elektrisches Schaltungsdiagramm einer elektrischen Struktur gemäß einem ersten Modifikationsbeispiel des Halbleiter-Leistungsmoduls der 1. 9 FIG. 12 is an electrical circuit diagram of an electrical structure according to a first modification example of the semiconductor power module. FIG 1 ,
  • 10 ist ein elektrisches Schaltungsdiagramm einer elektrischen Struktur gemäß einem zweiten Modifikationsbeispiel des Halbleiter-Leistungsmodul der 1. 10 FIG. 12 is an electrical circuit diagram of an electrical structure according to a second modification example of the semiconductor power module of FIG 1 ,

Beschreibung von AusführungsformenDescription of embodiments

1 ist ein elektrisches Schaltungsdiagramm der elektrischen Struktur eines Halbleiter-Leistungsmoduls 1 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 1 FIG. 12 is an electrical circuit diagram of the electrical structure of a semiconductor power module. FIG 1 according to a preferred embodiment of the present invention.

Unter Bezugnahme auf 1 beinhaltet das Halbleiter-Leistungsmodul 1 gemäß der bevorzugten Ausführungsform ein ausgangsseitiges Terminal 2, ein hochspannungsseitiges Terminal 3 (erstes Leistungsversorgungs-Terminal), ein niederspannungsseitiges Terminal 4 (zweites Leistungsversorgungs-Terminal), an das eine Spannung angelegt wird, die niedriger ist als eine Spannung, die an das hochspannungsseitige Terminal 3 angelegt wird.With reference to 1 includes the semiconductor power module 1 according to the preferred embodiment, an output side terminal 2 , a high-voltage terminal 3 (first power supply terminal), a low-voltage side terminal 4 (second power supply terminal) to which a voltage lower than a voltage applied to the high-voltage side terminal is applied 3 is created.

Das Halbleiter-Leistungsmodul 1 beinhaltet eine Vielzahl (fünf in der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von ersten Schaltbauteilen 5, die zwischen dem ausgangsseitigen Terminal 2 und dem hochspannungsseitigen Terminal 3 angeschlossen sind, und eine Vielzahl (fünf bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von zweiten Schaltbauteilen 6, die zwischen dem ausgangsseitigen Terminal 2 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 angeschlossen bzw. verbunden sind.The semiconductor power module 1 includes a plurality (five in the present preferred embodiment) of first switching components 5 between the output terminal 2 and the high voltage side terminal 3 are connected, and a plurality (five in the present preferred embodiment) of second switching components 6 between the output terminal 2 and the low-voltage terminal 4 connected or connected.

Eine Halbbrücken-Schaltung 7 ist gebildet durch das ausgangsseitige Terminal 2, das hochspannungsseitige Terminal 3, das niederspannungsseitige Terminal 4, die Vielzahl von ersten Schaltbauteilen 5 und die Vielzahl von zweiten Schaltbauteilen 6. Das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 sind in Nähe bzw. in Nachbarschaft zueinander angeordnet.A half-bridge circuit 7 is formed by the output side terminal 2 , the high voltage side terminal 3 , the low-voltage terminal 4 , the variety of first switching components 5 and the plurality of second switching components 6 , The high voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 are arranged in proximity or in proximity to each other.

Die Vielzahl von ersten Schaltbauteilen 5 bilden einen hochspannungsseitigen oberen Arm 8, und die Vielzahl von zweiten Schaltbauteilen 6 bilden einen niederspannungsseitigen unteren Arm 9, und zwar in der Halbbrücken-Schaltung 7.The variety of first switching components 5 form a high voltage side upper arm 8th , and the plurality of second switching components 6 form a low-voltage side lower arm 9 , in the half-bridge circuit 7 ,

Jedes erste Schaltbauteil 5 beinhaltet einen MISFET (Feldeffekttransistor mit isoliertem Gate), der in einem Si-Substrat, in einem SiC-Substrat oder in einem Halbleitersubstrat von einem Typ mit weiter bzw. breiter Bandlücke gebildet ist, und weist eine erste Source-Elektrode 10, eine erste Drain-Elektrode 11 und eine erste Gate-Elektrode 12 auf, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform.Every first switching component 5 includes a MISFET (insulated gate field effect transistor) formed in a Si substrate, in a SiC substrate, or in a wide-band-gap type semiconductor substrate, and has a first source electrode 10 , a first drain electrode 11 and a first gate electrode 12 in the present preferred embodiment.

Die erste Source-Elektrode 10 und die erste Drain-Elektrode 11 bilden ein Paar von ersten Hauptelektroden, und die erste Gate-Elektrode 12 bildet eine erste Steuerelektrode, mittels der ein zwischen dem Paar von ersten Hauptelektroden fließender Strom gesteuert wird, und zwar in jedem ersten Schaltbauteil 5. Jedes erste Schaltbauteil 5 beinhaltet eine erste Diode 13, die mit umgekehrter Vorspannung („reverse bias“) zwischen der ersten Drain-Elektrode 11 und der ersten Source-Elektrode 10 angeschlossen ist.The first source electrode 10 and the first drain electrode 11 form a pair of first main electrodes, and the first gate electrode 12 forms a first control electrode, by means of which a current flowing between the pair of first main electrodes is controlled current, in each first switching device 5 , Every first switching component 5 includes a first diode 13 , with reverse bias between the first drain 11 and the first source electrode 10 connected.

Jedes erste Schaltbauteil 5 ist zwischen dem hochspannungsseitigen Terminal 3 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 bzw. dem ausgangsseitigen Terminal 2 angeschlossen, und zwar dadurch, dass die erste Source-Elektrode 10 elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 verbunden ist und die erste Drain-Elektrode 11 elektrisch mit dem hochspannungsseitigen Terminal 3 verbunden ist. Die erste Gate-Elektrode 12 von jedem ersten Schaltbauteil 5 ist elektrisch auf einer Hochspannungsseite gemeinsam mit einem ersten Gate-Terminal 14 (erstes Steuer-Terminal) verbunden. Every first switching component 5 is between the high voltage side terminal 3 and the low-voltage terminal 4 or the output-side terminal 2 connected, in that the first source electrode 10 electrically with the output side terminal 2 is connected and the first drain electrode 11 electrically with the high voltage side terminal 3 connected is. The first gate electrode 12 from every first switching component 5 is electrically on a high voltage side together with a first gate terminal 14 (first control terminal) connected.

Das erste Gate-Terminal 14 ist ein Terminal, mittels dessen die jeweiligen ersten Schaltbauteile 5 (jeweilige erste Gate-Elektroden 12) angetrieben und gesteuert werden. Die ersten Source-Elektroden 10 von jedem ersten Schaltbauteil 5 sind elektrisch gemeinsam mit einem ersten Source-Erfassungs-Terminal 15 verbunden, und zwar auf einer Hochspannungsseite zusätzlich zu dem ausgangsseitigen Terminal 2. Das erste Source-Erfassungs-Terminal 15 ist ein Potentialerfassungsterminal zum Erfassen eines Potentials der ersten Source-Elektroden 10.The first gate terminal 14 is a terminal, by means of which the respective first switching components 5 (respective first gate electrodes 12 ) are driven and controlled. The first source electrodes 10 from every first switching component 5 are electrically in common with a first source detection terminal 15 connected, on a high voltage side in addition to the output side terminal 2 , The first source acquisition terminal 15 is a potential detection terminal for detecting a potential of the first source electrodes 10 ,

Jedes zweite Schaltbauteil 6 beinhaltet einen MISFET, der in einem Si-Substrat, einem SiC-Substrat oder in einem Halbleitersubstrat von einem Typ mit breiter Bandlücke gebildet ist, und weist eine zweite Source-Elektrode 16, eine zweite Drain-Elektrode 17 und eine zweite Gate-Elektrode 18 auf, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform.Every second switching component 6 includes a MISFET formed in a Si substrate, a SiC substrate, or a wide-band-gap type semiconductor substrate, and has a second source electrode 16 , a second drain electrode 17 and a second gate electrode 18 in the present preferred embodiment.

Die zweite Source-Elektrode 16 und die zweite Drain-Elektrode 17 bilden ein Paar von zweiten Hauptelektroden, und die zweite Gate-Elektrode 18 bildet eine zweite Steuerelektrode, mittels der in jedem zweiten Schaltbauteil 6 ein Strom gesteuert wird, der zwischen dem Paar von zweiten Hauptelektroden fließt. Jedes zweite Schaltbauteil 6 beinhaltet eine zweite Diode 19, die mit umgekehrter Vorspannung („reverse bias“) zwischen der zweiten Drain-Elektrode 17 und der zweiten Source-Elektrode 16 angeschlossen ist.The second source electrode 16 and the second drain electrode 17 form a pair of second main electrodes, and the second gate electrode 18 forms a second control electrode, by means of which in each second switching device 6 controlling a current flowing between the pair of second main electrodes. Every second switching component 6 includes a second diode 19 , with reverse bias between the second drain 17 and the second source electrode 16 connected.

Jedes zweite Schaltbauteil 6 ist zwischen dem ausgangsseitigen Terminal 2 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 angeschlossen, und zwar dadurch, dass die zweite Drain-Elektrode 17 elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 verbunden ist und die zweite Source-Elektrode 16 elektrisch mit dem niederspannungsseitigen Terminal 4 verbunden ist.Every second switching component 6 is between the output side terminal 2 and the low-voltage terminal 4 connected, in that the second drain 17 electrically with the output side terminal 2 is connected and the second source electrode 16 electrically with the low-voltage side terminal 4 connected is.

Das ausgangsseitige Terminal 2 ist ein gemeinsames Terminal, mit dem die ersten Source-Elektroden 10 der ersten Schaltbauteile 5 und die zweiten Drain-Elektroden 17 der zweiten Schaltbauteile 6 gemeinsam verbunden sind. Die zweite Gate-Elektrode 18 von jedem zweiten Schaltbauteil 6 ist elektrisch gemeinsam mit einem zweiten Gate-Terminal 20 (erstes bzw. zweites Steuer-Terminal) verbunden, und zwar auf einer NiederspannungsseiteThe output side terminal 2 is a common terminal with which the first source electrodes 10 the first switching components 5 and the second drain electrodes 17 the second switching components 6 are connected together. The second gate electrode 18 of every other switching component 6 is electrically shared with a second gate terminal 20 (first and second control terminal) connected, on a low voltage side

Das zweite Gate-Terminal 20 ist ein Terminal, mittels dessen die jeweiligen zweiten Schaltbauteile 6 (jeweilige zweite Gate-Elektroden 18) angesteuert bzw. angetrieben und gesteuert werden. Die zweite Source-Elektrode 16 von jedem zweiten Schaltbauteil 6 ist elektrisch gemeinsam mit einem zweiten Source-Erfassungs-Terminal 21 auf einer Niederspannungsseite zusätzlich zu dem niederspannungsseitigen Terminal 4 verbunden. Das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 ist ein Potentialerfassungsterminal zum Erfassen eines Potentials der zweiten Source-Elektroden 16.The second gate terminal 20 is a terminal, by means of which the respective second switching components 6 (respective second gate electrodes 18 ) are driven or driven and controlled. The second source electrode 16 of every other switching component 6 is electrically in common with a second source detection terminal 21 on a low voltage side in addition to the low voltage side terminal 4 connected. The second source acquisition terminal 21 is a potential detection terminal for detecting a potential of the second source electrodes 16 ,

Das Halbleiter-Leistungsmodul 1 gemäß der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform ist beispielsweise als ein Inverter- bzw. Wechselrichtermodul ausgebildet, das dazu angeordnet bzw. ausgebildet ist, eine beliebige Phase von einer U-Phase, einer V-Phase und einer W-Phase in einem dreiphasigen Motor anzutreiben bzw. anzusteuern, der die U-Phase, die V-Phase und die W-Phase besitzt. Ein Inverterbauteil, das dazu ausgebildet ist, einen dreiphasigen Motor anzusteuern, kann folglich bereitgestellt werden, indem drei Halbleiter-Leistungsmodule 1 gemäß der U-Phase, der V-Phase und der W-Phase aufgenommen werden.The semiconductor power module 1 For example, according to the present preferred embodiment, it is configured as an inverter module arranged to drive any phase of U-phase, V-phase, and W-phase in a three-phase motor which has the U phase, the V phase and the W phase. An inverter device configured to drive a three-phase motor can thus be provided by using three semiconductor power modules 1 according to the U phase, the V phase and the W phase.

Bei dem Inverterbauteil ist eine Gleichstrom-Leistungsversorgung zwischen den hochspannungsseitigen Terminals 3 und den niederspannungsseitigen Terminals 4 der jeweiligen Halbleiter-Leistungsmodule 1 angeschlossen, und der dreiphasige Motor ist als eine Last an den ausgangsseitigen Terminals 2 der jeweiligen Halbleiter-Leistungsmodule angeschlossen. Zwischen den hochspannungsseitigen Terminals 3 und den niederspannungsseitigen Terminals 4 wird beispielsweise eine Gleichstrom-Spannung von nicht weniger als 500V und nicht mehr als 2000V angelegt, wobei die Seite des niederspannungsseitigen Terminals 4 als ein Referenzpotential ausgebildet ist.In the inverter component is a DC power supply between the high voltage side terminals 3 and the low-voltage terminals 4 the respective semiconductor power modules 1 connected, and the three-phase motor is as a load on the output side terminals 2 connected to the respective semiconductor power modules. Between the high voltage side terminals 3 and the low-voltage terminals 4 For example, a DC voltage of not less than 500V and not more than 2000V is applied with the side of the low-voltage side terminal 4 is designed as a reference potential.

Bei dem Inverterbauteil werden die ersten Schaltbauteile 5 und die zweiten Schaltbauteile 6 von jedem Halbleiter-Leistungsmodul 1 angetrieben und gesteuert mittels eines vorbestimmten Schaltmusters. Die Gleichstrom-Spannung wird hierdurch in eine dreiphasige Wechselstromspannung gewandelt und dem dreiphasigen Motor zugeführt. Der dreiphasige Motor wird hierdurch sinus-verlauf-artig angetrieben.In the inverter component, the first switching components 5 and the second switching components 6 from each semiconductor power module 1 driven and controlled by means of a predetermined switching pattern. The DC voltage is thereby converted into a three-phase AC voltage and supplied to the three-phase motor. The three-phase motor is thereby driven in a sinusoidal manner.

Ein äußeres Erscheinungsbild des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 wird nunmehr unter Bezugnahme auf die 2 und 3 beschrieben.An external appearance of the semiconductor power module 1 is now with reference to the 2 and 3 described.

2 ist eine perspektivische Ansicht des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 der 1 aus einer Ansicht von einer oberen Seite. 3 ist eine perspektivische Ansicht des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 der 2 aus einer Ansicht von einer unteren Seite. 2 is a perspective view of the semiconductor power module 1 of the 1 from a view from an upper side. 3 is a perspective view of the semiconductor power module 1 of the 2 from a view from a lower side.

Das Halbleiter-Leistungsmodul 1 beinhaltet einen Gehäusekörperabschnitt bzw. -korpusabschnitt 31, der in einer rechteckförmigen Parallelepiped-Form ausgebildet ist. Der Gehäusekörperabschnitt 31 weist eine obere Fläche 32 von in Draufsicht viereckiger Form auf, weist eine untere Fläche 33 der gleichen Form wie die obere Fläche 32 auf, und weist vier Seitenflächen 34 auf, die die obere Fläche 32 und die untere Fläche 33 verbinden.The semiconductor power module 1 includes a housing body portion 31 formed in a rectangular parallelepiped shape. The housing body section 31 has an upper surface 32 of square shape in plan view, has a lower surface 33 the same shape as the top surface 32 on, and has four side surfaces 34 on top of the top surface 32 and the bottom surface 33 connect.

Im Folgenden können zum Zwecke einer einfacheren Beschreibung in 2 und 3 eine +X-Richtung und eine -X-Richtung, eine +Y-Richtung und eine -Y-Richtung sowie eine +Z-Richtung und eine -Z-Richtung verwendet werden.The following may be used for ease of description in 2 and 3 a + X Direction and one - X direction, a + Y Direction and one -Y Direction as well as a + Z Direction and a -Z direction.

Die +X-Richtung und die -X-Richtung sind zwei Richtungen, die entlang einer Seite des Gehäusekörperabschnittes 31 orientiert sind, und diese Richtungen werden einfach als „X-Richtung“ bezeichnet, wenn auf sie kollektiv Bezug genommen wird. Die +Y-Richtung und die -Y-Richtung sind zwei Richtungen, die entlang einer anderen Seite des Gehäusekörperabschnittes 31 orientiert sind, und zwar orthogonal zu der oben genannten einen Seite, und diese werden einfach als die „Y-Richtung“ bezeichnet, wenn auf sie kollektiv Bezug genommen wird. Die +Z-Richtung und die -Z-Richtung sind zwei Richtungen, die entlang einer Dickenrichtung des Gehäusekörperabschnittes 31 orientiert sind, und diese werden einfach als die „Z-Richtung“ bezeichnet, wenn auf sie kollektiv Bezug genommen wird.The + X direction and the -X Direction are two directions along one side of the housing body portion 31 are oriented, and these directions are simply called " X Direction "when referred to collectively. The + Y Direction and the - Y Direction are two directions along another side of the housing body section 31 are oriented orthogonal to the above one page, and these are simply called the " Y Direction "when referred to collectively. The + Z direction and the -Z Direction are two directions along a thickness direction of the housing body portion 31 are oriented, and these are simply called the " Z Direction "when referred to collectively.

Wenn der Gehäusekörperabschnitt 31 auf einer horizontalen Fläche angeordnet wird, werden die X-Richtung und die Y-Richtung zwei horizontale Richtungen, die entlang von zwei wechselseitig orthogonalen horizontalen geraden bzw. gradlinigen Linien (einer X-Achse und einer Y-Achse) orientiert sind, und die Z-Richtung wird eine vertikale Richtung, die entlang einer vertikalen gradlinigen Linie (eine Z-Achse) orientiert ist.When the housing body section 31 placed on a horizontal surface, the X Direction and the Y direction are two horizontal directions along two mutually orthogonal horizontal rectilinear lines (a X Axis and one Y -Axis), and the Z Direction becomes a vertical direction oriented along a vertical straight line (a Z axis).

Der Gehäusekörperabschnitt 31 ist aus einem Kunstharz- bzw. Harzmaterial (ein duroplastisches Harzmaterial) hergestellt, wie ein Epoxyharz, etc., um ein Beispiel zu nennen, und versiegelt bzw. dichtet die ersten Schaltbauteile 5, die zweiten Schaltbauteile 6, etc.The housing body section 31 is made of a resin material (a thermosetting resin material) such as an epoxy resin, etc., for example, and seals the first switching devices 5 , the second switching components 6 , Etc.

Das ausgangsseitige Terminal 2, das oben erwähnt wurde, ist gegenüber der Seitenfläche 34 an einer +X-Richtungs-Seite entlang der +X-Richtung freigelegt, und zwar an der Seitenfläche 34 in dem Gehäusekörperabschnitt 31. Das ausgangsseitige Terminal 2 ist in einer viereckigen Form in Draufsicht bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform von einer inneren Seite hin zu einer äußeren Seite des Gehäusekörperabschnittes 31 herausgeführt.The output side terminal 2 The one mentioned above is opposite the side surface 34 exposed on a + X-direction side along the + X direction, on the side surface 34 in the housing body portion 31 , The output side terminal 2 is in a quadrangular shape in plan view in the present preferred embodiment from an inner side toward an outer side of the housing body portion 31 led out.

Das hochspannungsseitiges Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4, die oben erwähnt wurden, sind gegenüber der Seitenfläche 34 auf einer Seite einer -X-Richtung entlang der -X-Richtung freigelegt, bei der es sich um eine Richtung in einer entgegengesetzten Richtung zu der Richtung des Freilegens des ausgangsseitigen Terminals 2 handelt. Das heißt, das ausgangsseitige Terminal 2 und das hochspannungsseitige Terminal 3 zuzüglich dem niederspannungsseitigen Terminal 4 sind an Positionen angeordnet, die einander über dem Gehäusekörperabschnitt 31 gegenüberliegen.The high-voltage terminal 3 and the low voltage side terminal 4 that were mentioned above are opposite the side surface 34 on one side of one -X Direction along the -X Direction exposed, which is a direction in an opposite direction to the direction of exposure of the output-side terminal 2 is. That is, the output side terminal 2 and the high voltage side terminal 3 plus the low-voltage terminal 4 are arranged at positions that are above each other over the housing body portion 31 are opposite.

Das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 sind jeweils an einen Abschnitt eines isolierenden Substrates 41 gebondet, das nachstehend beschrieben wird (ein erster Verlängerungs- bzw. Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41). Das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 sind in in Draufsicht in viereckigen Formen von der inneren Seite hin zu der äußeren Seite des Gehäusekörperabschnittes 31 herausgeführt, und zwar zusammen mit dem Abschnitt bzw. Erweiterungsabschnitt des isolierenden Substrates 41.The high voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 are each to a portion of an insulating substrate 41 Bonded, which will be described below (a first extension section 74 of the insulating substrate 41 ). The high voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 are in plan view in quadrangular shapes from the inner side toward the outer side of the housing body portion 31 led out, together with the section or extension portion of the insulating substrate 41 ,

Das niederspannungsseitige Terminal 4 ist an eine Fläche auf einer Seite der +Z-Richtung des isolierenden Substrates 41 gebondet (nachstehend einfach bezeichnet als „vordere Fläche 42 des isolierenden Substrates 41“), wie es in 2 gezeigt ist. Das hochspannungsseitige Terminal 3 ist an eine Fläche auf einer Seite der -Z-Richtung des isolierenden Substrates 41 (nachstehend einfach bezeichnet als „hintere Fläche 43 des isolierenden Substrates 41“) gebondet, wie es in 3 gezeigt ist.The low voltage side terminal 4 is on a surface on one side of the + Z Direction of the insulating substrate 41 bonded (hereinafter simply referred to as "front surface 42 of the insulating substrate 41 " ), as it is in 2 is shown. The high voltage side terminal 3 is to a surface on a side of the -Z direction of the insulating substrate 41 (hereinafter simply referred to as "rear surface 43 of the insulating substrate 41 " Bonded as it is in 3 is shown.

Das erste Gate-Terminal 14 und das erste Source-Erfassungs-Terminal 15, die oben erwähnt sind, als auch das zweite Gate-Terminal 20 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal, die oben erwähnt sind, sind gegenüber der Seitenfläche 34 auf einer Seite der +Y-Richtung entlang der +Y-Richtung freigelegt, bei der es sich um eine unterschiedliche Richtung gegenüber der Richtung des Freiliegens des ausgangsseitigen Terminals 2 (der +X-Richtung) und der Richtung des Freiliegens des hochspannungsseitigen Terminals 3 und des niederspannungsseitigen Terminals 4 (die -X-Richtung) handelt, und zwar in dem Gehäusekörperabschnitt 31.The first gate terminal 14 and the first source acquisition terminal 15 mentioned above, as well as the second gate terminal 20 and the second source detection terminal mentioned above are opposite to the side surface 34 on one side of the + Y Direction along the + Y Direction exposed, which is a different direction from the direction of exposure of the output-side terminal 2 (of the + X Direction) and the direction of exposure of the high voltage side terminal 3 and the low-voltage side terminal 4 (the -X Direction) in the housing body section 31 ,

Das erste Gate-Terminal 14, das erste Source-Erfassungs-Terminal 15, das zweite Gate-Terminal 20 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 sind jeweils an einen Abschnitt des isolierenden Substrates 41 gebondet, das nachstehend beschrieben wird (ein zweiter Erweiterungsabschnitt 75 des isolierenden Substrates 41). The first gate terminal 14 , the first source acquisition terminal 15 , the second gate terminal 20 and the second source acquisition terminal 21 are each at a portion of the insulating substrate 41 Bonded, which will be described below (a second extension section 75 of the insulating substrate 41 ).

Das erste Gate-Terminal 14, das erste Source-Erfassung-Terminal 15, das zweite Gate-Terminal 20 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 sind in Draufsicht bandförmig (in viereckigen bzw. rechteckförmigen Formen in Draufsicht) von der inneren Seite hin zu der äußeren Seite des Gehäusekörperabschnittes 31 herausgeführt, und zwar zusammen mit dem Abschnitt des isolierenden Substrates 41 (dem zweiten Erweiterungsabschnitt 75 des isolierenden Substrates 41).The first gate terminal 14 , the first source capture terminal 15 , the second gate terminal 20 and the second source acquisition terminal 21 are in plan view band-shaped (in square or rectangular shapes in plan view) from the inner side to the outer side of the housing body portion 31 led out, together with the portion of the insulating substrate 41 (the second extension section 75 of the insulating substrate 41 ).

Das zweite Gate-Terminal 20 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 sind an die vordere Fläche 42 des isolierenden Substrates 41 gebondet, wie es in 2 gezeigt ist. Das erste Gate-Terminal 14 und das erste Source-Erfassungs-Terminal 15 sind an die hintere Fläche 43 des isolierenden Substrates 41 gebondet, wie es in 3 gezeigt ist.The second gate terminal 20 and the second source acquisition terminal 21 are on the front surface 42 of the insulating substrate 41 Bonded as it is in 2 is shown. The first gate terminal 14 and the first source acquisition terminal 15 are on the back surface 43 of the insulating substrate 41 Bonded as it is in 3 is shown.

Wie es in 3 gezeigt ist, ist an der unter Fläche 33 des Gehäusekörperabschnittes 31 ein Wärmeableitungselement bzw. Wärmeübertragungselement 35 freigelegt. Wärme, die von den ersten Schaltbauteilen 5 und den zweiten Schaltbauteilen 6 erzeugt wird, wird über das Wärmeableitungselement 35 an die Umgebung abgeleitet.As it is in 3 is shown at the under surface 33 the housing body portion 31 a heat dissipation element or heat transfer element 35 exposed. Heat coming from the first switching components 5 and the second switching components 6 is generated via the heat dissipation element 35 derived to the environment.

Die interne Struktur des HalbleiterLeistungsmoduls 1 wird nunmehr spezifisch unter Bezugnahme auf die 4 bis 8 beschrieben.The internal structure of the semiconductor power module 1 will now be specifically described with reference to FIGS 4 to 8th described.

4 ist eine perspektivische Explosionsansicht der internen Struktur des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 der 1. 5 ist eine Draufsicht auf die interne Struktur des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 der 1. 6 ist eine Seitenansicht der internen Struktur des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 der 1. 7 ist eine vergrößerte Ansicht einer Region VII der 5. 8 ist eine Schnittansicht entlang einer Linie VIII-VIII der 7. 4 FIG. 13 is an exploded perspective view of the internal structure of the semiconductor power module. FIG 1 of the 1 , 5 FIG. 12 is a plan view of the internal structure of the semiconductor power module. FIG 1 of the 1 , 6 Fig. 10 is a side view of the internal structure of the semiconductor power module 1 of the 1 , 7 is an enlarged view of a region VII of the 5 , 8th is a sectional view taken along a line VIII - VIII of the 7 ,

Unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 beinhaltet das Halbleiter-Leistungsmodul 1 das isolierende Substrat 41. Das isolierende Substrat 41 hat die vordere Oberfläche bzw. Fläche 42 und die hintere Oberfläche bzw. Fläche 43. Das niederspannungsseitige Terminal 4 ist auf der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet. Das ausgangsseitige Terminal 2 ist auf der Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 angeordnet.With reference to the 4 to 6 includes the semiconductor power module 1 the insulating substrate 41 , The insulating substrate 41 has the front surface 42 and the rear surface 43 , The low voltage side terminal 4 is on the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 arranged. The output side terminal 2 is on the side of the back surface 43 of the insulating substrate 41 arranged.

Das hochspannungsseitige Terminal 3 ist an der Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 angeordnet. Die ersten Schaltbauteile 5, die elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 und mit dem hochspannungsseitigen Terminal 3 verbunden sind, und die zweiten Schaltbauteile 6, die elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 verbunden sind, sind auf der Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 angeordnet.The high voltage side terminal 3 is on the side of the back surface 43 of the insulating substrate 41 arranged. The first switching components 5 that are electrically connected to the output terminal 2 and with the high voltage side terminal 3 are connected, and the second switching components 6 that are electrically connected to the output terminal 2 and the low-voltage terminal 4 are on the side of the back surface 43 of the insulating substrate 41 arranged.

Das Halbleiter-Leistungsmodul 1 weist eine Struktur auf, bei der das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 einander über das isolierende Substrat 41 überliegen. Das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 und die Struktur in deren Umgebung wird nunmehr beschrieben.The semiconductor power module 1 has a structure in which the high-voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 each other over the insulating substrate 41 lie. The high voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 and the structure in their environment will now be described.

Unter Bezugnahme auf 4 beinhaltet das Halbleiter-Leistungsmodul 1 gemäß der bevorzugten vorliegenden Ausführungsform eine erste Einheit U1, die die ersten Schaltbauteile 5, die zweiten Schaltbauteile 6 und das ausgangsseitige Terminal 2 beinhaltet, und weist eine zweite Einheit U2 auf, die das isolierende Substrat 41, das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 beinhaltet, wobei das Halbleiter-Leistungsmodul 1 eine Struktur hat, bei der die zweite Einheit U2 stapelartig auf der ersten Einheit U1 angeordnet ist bzw. darauf gestapelt ist.With reference to 4 includes the semiconductor power module 1 According to the preferred present embodiment, a first unit U1 that are the first switching components 5 , the second switching components 6 and the output side terminal 2 includes, and has a second unit U2 on top of the insulating substrate 41 , the high voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 includes, wherein the semiconductor power module 1 has a structure where the second unit U2 stacked on the first unit U1 is arranged or stacked on it.

Unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 beinhaltet die erste Einheit U1 ein Trägersubstrat 44, das in Draufsicht in einer viereckigen Form gebildet ist, ein erstes Leitungsmuster 45, das auf dem Trägersubstrat 44 gebildet ist, wobei die ersten Schaltbauteile 5 auf dem ersten Leitungsmuster 45 angeordnet sind, wobei die zweiten Schaltbauteile 6 auf dem ersten Leitungsmuster 45 angeordnet sind, und wobei das ausgangsseitige Terminal 2 auf dem ersten Leitungsmuster bzw. Leitermuster 45 angeordnet ist.With reference to the 4 to 6 includes the first unit U1 a carrier substrate 44 , which is formed in a quadrangular shape in plan view, a first conductive pattern 45 that on the carrier substrate 44 is formed, wherein the first switching components 5 on the first line pattern 45 are arranged, wherein the second switching components 6 on the first line pattern 45 are arranged, and wherein the output-side terminal 2 on the first line pattern or conductor pattern 45 is arranged.

Das Trägersubstrat 44 beinhaltet eine Oberfläche auf einer Seite einer +Z-Richtung (nachstehend einfach als „vordere Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44“ bezeichnet), und beinhaltet eine Oberfläche auf einer Seite der -Z-Richtung (nachstehend einfach als „hintere Oberfläche 47 des Trägersubstrates 44“ bezeichnet). Das Trägersubstrat 44 ist über einen Abstand von dem isolierenden Substrat 41 angeordnet, und zwar in Bezug auf die Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41, und trägt auf der Seite der vorderen Oberfläche 46 die ersten Schaltbauteile 5 und die zweiten Schaltbauteile 6.The carrier substrate 44 includes a surface on one side of a + Z Direction (hereafter referred to simply as "front surface 46 of the carrier substrate 44 "), And includes a surface on one side of the - Z Direction (hereinafter simply referred to as "rear surface 47 of the carrier substrate 44 " designated). The carrier substrate 44 is over a distance from the insulating substrate 41 arranged, with respect to the side of the rear surface 43 of the insulating substrate 41 , and carries on the side of the front surface 46 the first switching components 5 and the second switching components 6 ,

Das Trägersubstrat 44 hat eine Dicke von beispielsweise nicht mehr als 5 mm. Das Trägersubstrat 44 kann eine Dicke von nicht weniger als 0,3 mm haben, und von nicht mehr als 0,7 mm. Das Trägersubstrat 44 kann ein auf einem anorganischen Material basierendes isolierendes Substrat sein, einschließlich einer Keramik (zum Beispiel AlN, SiN oder SiO2), etc., oder kann ein auf einem organischen Material basierendes isolierendes Substrat sein, das ein Harz bzw. Kunstharz (zum Beispiel Epoxyharz) beinhaltet, etc.The carrier substrate 44 has a thickness of, for example, not more than 5 mm. The carrier substrate 44 may have a thickness of not less than 0.3 mm, and not more than 0.7 mm. The carrier substrate 44 may be an inorganic material-based insulating substrate including a ceramic (for example, AlN, SiN or SiO 2 ), etc., or may be an organic-based insulating substrate comprising a resin (for example, epoxy resin ), etc.

Das erste Leitungsmuster 45 ist ein Leitungsfilm, der beispielsweise aus Cu (Kupfer) hergestellt ist, und ist direkt an die vordere Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44 gebondet. Das erste Leitungsmuster 45 beinhaltet ein erstes hochspannungsseitiges Leitungsmuster 48, das das hochspannungsseitige Terminal 3 und die ersten Schaltbauteile 5 elektrisch verbindet, sowie ein erstes ausgangsseitiges Leitungsmuster 49, das das ausgangsseitige Terminal 2 und die zweiten Schaltbauteile 6 elektrisch verbindet.The first line pattern 45 is a conductive film made of Cu (copper), for example, and is directly on the front surface 46 of the carrier substrate 44 bonded. The first line pattern 45 includes a first high voltage side wiring pattern 48 which is the high-voltage terminal 3 and the first switching components 5 electrically connects, and a first output line pattern 49 , which is the output terminal 2 and the second switching components 6 connects electrically.

Das erste hochspannungsseitige Leitungsmuster 48 ist an einem Endabschnitt auf der Seite der -X-Richtung des Trägersubstrates 44 angeordnet und ist in einer viereckigen Form gebildet, die sich in einer Draufsicht entlang der Y-Richtung erstreckt. Andererseits ist das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 an einem Endabschnitt auf der Seite der +X-Richtung des Trägersubstrates 44 angeordnet und ist in einer viereckiger Form gebildet, die sich in einer Draufsicht entlang der Y-Richtung erstreckt. Eine X-Richtungsbreite des ersten ausgangsseitigen Leitungsmusters 49 wird auf einen Wert größer als eine X-Richtungsbreite des ersten hochspannungsseitigen Leitungsmusters 48 eingestellt.The first high voltage side line pattern 48 is at an end section on the side of - X Direction of the carrier substrate 44 arranged and is formed in a quadrangular shape, which is in a plan view along the Y Direction extends. On the other hand, the first output line pattern 49 at one end on the side of the + X Direction of the carrier substrate 44 arranged and is formed in a quadrangular shape, which is in a plan view along the Y Direction extends. An X-direction width of the first output-side line pattern 49 becomes larger than an X-direction width of the first high-voltage side line pattern 48 set.

Unter Bezugnahme auf die 4 und 5 sind die ersten Schaltbauteile 5 auf das erste hochspannungsseitige Leitungsmuster 48 gebondet. Die ersten Schaltbauteile 5 sind so angeordnet, dass sie in einer einzelnen Reihe bzw. Spalte entlang der Y-Richtung ausgerichtet sind.With reference to the 4 and 5 are the first switching components 5 on the first high voltage side line pattern 48 bonded. The first switching components 5 are arranged so that they are aligned in a single row or column along the Y direction.

Unter Bezugnahme auf die 7 und 8 ist jedes erste Schaltbauteil 5 ein sogenannter vertikaler MISFET, der einen ersten Bauteilkörperabschnitt 52 (bzw. 50) aufweist, der eine erste vordere Bauteiloberfläche 50 (bzw. 52) auf der Seite der +Z-Richtung besitzt, an der die erste Source-Elektrode 10 und die erste Gate-Elektrode 12 angeordnet sind, und eine erste hintere Bauteiloberfläche 51 auf der Seite der -Z-Richtung besitzt, an der die erste Drain-Elektrode 11 angeordnet ist. Der erste Bauteilkörperabschnitt 52 beinhaltet ein Si-Substrat, ein SiC-Substrat oder ein Halbleitersubstrat von einem Typ mit breiter Bandlücke.With reference to the 7 and 8th is every first switching component 5 a so-called vertical MISFET comprising a first component body portion 52 (respectively. 50 ) having a first front component surface 50 (respectively. 52 ) on the + Z direction side, at which the first source electrode 10 and the first gate electrode 12 are arranged, and a first rear component surface 51 on the side of the -Z direction has, at which the first drain electrode 11 is arranged. The first component body section 52 includes a Si substrate, a SiC substrate, or a wide-band-gap type semiconductor substrate.

An der ersten vorderen Bauteiloberfläche 50 sind bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform vier erste Source-Elektroden 10 und eine erste Gate-Elektrode 12 gebildet. Jedes erste Schaltbauteil 5 ist an das erste hochspannungsseitige Leitungsmuster 48 gebondet, und zwar in einem Zustand, bei dem die erste hintere Bauteiloberfläche 51 des ersten Bauteilkörperabschnittes 52 der vorderen Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44 gegenüberliegt.At the first front component surface 50 In the present preferred embodiment, there are four first source electrodes 10 and a first gate electrode 12 educated. Every first switching component 5 is at the first high voltage side line pattern 48 Bonded, in a state in which the first rear component surface 51 of the first component body portion 52 the front surface 46 of the carrier substrate 44 opposite.

Jedes erste Schaltbauteil 5 ist an das erste hochspannungsseitige Leitungsmuster 48 gebondet, und zwar dadurch, dass die erste Drain-Elektrode 11 und das erste hochspannungsseitige Leitungsmuster 48 über ein erstes leitfähiges Bondmaterial 53 aneinander gebondet sind. Das erste leitfähige Bondmaterial 53 kann ein Lot bzw. Lötmittel sein.Every first switching component 5 is at the first high voltage side line pattern 48 bonded, in that the first drain electrode 11 and the first high voltage side line pattern 48 via a first conductive bonding material 53 are bonded together. The first conductive bonding material 53 may be a solder or solder.

Unter Bezugnahme auf die 4 und 5 sind die zweiten Schaltbauteile 6 auf das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 gebondet. Die zweiten Schaltbauteile 6 sind so angeordnet, dass sie sich in einer einzelnen Reihe bzw. Spalte entlang der Y-Richtung erstrecken und den jeweiligen ersten Schaltbauteilen 5 in einer eins-zu-eins-Entsprechung in X-Richtung gegenüberliegen.With reference to the 4 and 5 are the second switching components 6 on the first output line pattern 49 bonded. The second switching components 6 are arranged so that they extend in a single row or column along the Y direction and the respective first switching components 5 in a one-to-one correspondence in the X direction.

Unter Bezugnahme auf die 7 und 8 ist jedes zweite Schaltbauteil 6 ein sogenannter vertikaler MISFET, der einen zweiten Bauteilkörperabschnitt 56 aufweist, der eine zweite vordere Bauteiloberfläche 54 auf der Seite der +Z-Richtung beinhaltet, an der die zweite Source-Elektrode 16 und die zweite Gate-Elektrode 18 angeordnet sind, und eine zweite hintere Bauteiloberfläche 55 auf der Seite der -Z-Richtung beinhaltet, an der die zweite Drain-Elektrode 17 angeordnet ist. Der zweite Bauteilkörperabschnitt 56 beinhaltet ein Si-Substrat, ein SiC-Substrat oder ein Halbleitersubstrat von einem Typ mit breiter Bandlücke.With reference to the 7 and 8th is every second switching component 6 a so-called vertical MISFET, which has a second component body section 56 having a second front component surface 54 on the side of the + Z Direction includes, at the second source electrode 16 and the second gate electrode 18 are arranged, and a second rear component surface 55 on the side of - Z Direction includes, at the second drain electrode 17 is arranged. The second component body section 56 includes a Si substrate, a SiC substrate, or a wide-band-gap type semiconductor substrate.

An der zweiten vorderen Bauteiloberfläche 54 sind bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform vier zweite Source-Elektroden 16 und eine zweite Gate-Elektrode 18 gebildet. Jedes zweite Schaltbauteil 6 ist an das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 gebondet, und zwar in einem Zustand, bei dem die zweite hintere Bauteiloberfläche 55 des zweiten Bauteilkörperabschnittes 56 der vorderen Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44 gegenüberliegt bzw. zu dieser weist.At the second front component surface 54 In the present preferred embodiment, four are second source electrodes 16 and a second gate electrode 18 educated. Every second switching component 6 is at the first output line pattern 49 Bonded, in a state in which the second rear component surface 55 of the second component body portion 56 the front surface 46 of the carrier substrate 44 opposite or pointing to this.

Jedes zweite Schaltbauteil 6 ist an das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 gebondet, und zwar dadurch, dass die zweite Drain-Elektrode 17 und das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 über ein zweites leitfähiges Bondmaterial 57 aneinander gebondet sind. Das zweite leitfähige Bondmaterial 57 kann ein Lot bzw. Lötmittel sein.Every second switching component 6 is at the first output line pattern 49 Bonded, namely, that the second drain electrode 17 and the first output line pattern 49 via a second conductive bonding material 57 are bonded together. The second conductive bonding material 57 may be a solder or solder.

Unter Bezugnahme auf die 4 und 5 ist das ausgangsseitige Terminal 2 auf einer Seite in +X-Richtung eines Endabschnittes des Trägersubstrates 44 angeordnet, und zwar über Abstände bzw. Intervalle von den jeweiligen zweiten Schaltbauteilen 6, und ist an einen zentralen Abschnitt in einer Längenrichtung des ersten ausgangsseitigen Leitungsmusters 49 gebondet.With reference to the 4 and 5 is the output side terminal 2 on one side in the + X direction of an end portion of the carrier substrate 44 arranged, via intervals or intervals of the respective second switching components 6 , and is at a central portion in a length direction of the first output-side line pattern 49 bonded.

Das ausgangsseitige Terminal 2 weist eine Dicke auf, die größer ist als die Dicke des hochspannungsseitigen Terminals 3 oder eine Dicke des niederspannungsseitigen Terminals 4. Das ausgangsseitige Terminal 2 ist elektrisch gemeinsam mit den ersten Schaltbauteilen 5 und den zweiten Schaltbauteilen 6 verbunden, wie oben erwähnt.The output side terminal 2 has a thickness that is greater than the thickness of the high voltage side terminal 3 or a thickness of the low-voltage side terminal 4 , The output side terminal 2 is electrically in common with the first switching components 5 and the second switching components 6 connected as mentioned above.

Das ausgangsseitige Terminal 2 hat daher vorzugsweise eine Dicke, die zumindest nicht kleiner als ein Gesamtwert der Dicke des hochspannungsseitigen Terminals 3 und der Dicke des niederspannungsseitigen Terminals 4, und zwar aus einem Gesichtspunkt eines Unterdrückens einer Zunahme eines Widerstandswertes heraus.The output side terminal 2 therefore preferably has a thickness which is at least not less than a total value of the thickness of the high voltage side terminal 3 and the thickness of the low-voltage side terminal 4 from a viewpoint of suppressing an increase of a resistance value.

Das ausgangsseitige Terminal 2 ist in einer Plattenform oder in einer Blockform mit einer viereckigen Form in Draufsicht gebildet, die sich in der X-Richtung erstreckt, und weist an einem Endabschnitt 58 auf der Seite der -X-Richtung eine Vielzahl von Nut- bzw. Kerbabschnitten 59 auf, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform. Die Vielzahl von Nutabschnitten 59 ist bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform jeweils in einer Vertiefungsform ausgebildet, die sich entlang der gleichen Richtung (X-Richtung) erstreckt.The output side terminal 2 is formed in a plate shape or in a block shape with a quadrangular shape in plan view, which can be found in the X Direction extends, and has at one end portion 58 on the side of - X Direction a variety of groove or notch sections 59 in the present preferred embodiment. The plurality of groove sections 59 In the present preferred embodiment, each is formed in a recess shape extending along the same direction (FIG. X Direction).

Der Endabschnitt 58 des ausgangsseitigen Terminals 2 ist an das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 gebondet, und zwar über ein drittes leitfähiges Bondmaterial 60. Das dritte leitfähige Bondmaterial 60 kann ein Lot bzw. Lötmittel sein. In einem Zustand, bei dem der Endabschnitt 58 des ausgangsseitigen Terminals 2 und das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 aneinander gebondet sind, und zwar durch das dritte leitfähige Bondmaterial 60, tritt das dritte leitfähige Bondmaterial 60 in das Innere der Nutabschnitte 59 ein, die an dem Endabschnitt 58 ausgebildet sind.The end section 58 the output side terminal 2 is at the first output line pattern 49 Bonded, via a third conductive bonding material 60 , The third conductive bonding material 60 may be a solder or solder. In a state where the end section 58 the output side terminal 2 and the first output line pattern 49 bonded together by the third conductive bonding material 60 , the third conductive bonding material occurs 60 into the interior of the groove sections 59 one at the end section 58 are formed.

Die erste Einheit U1 beinhaltet ferner das Wärmeableitungselement 35, das an der Seite der hinteren Oberfläche 47 des Trägersubstrates 44 angeordnet ist. Das Wärmeableitungselement 35 bedeckt im Wesentlichen einen gesamten Bereich der hinteren Oberfläche 47 des Trägersubstrates 44, mit der Ausnahme eines Randabschnittes, und ist gebildet durch einen Leitungsfilm einer in Draufsicht viereckigen Form, der aus Kupfer (Cu) hergestellt ist und der direkt an die hintere Oberfläche 47 des Trägersubstrates 44 gebondet ist, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform.The first unit U1 further includes the heat dissipation member 35 at the side of the back surface 47 of the carrier substrate 44 is arranged. The heat dissipation element 35 essentially covers an entire area of the back surface 47 of the carrier substrate 44 with the exception of an edge portion, and is formed by a conductor film of a quadrangular shape in plan view made of copper (Cu) and directly to the back surface 47 of the carrier substrate 44 is bonded, in the present preferred embodiment.

Die von den ersten Schaltbauteilen 5 und von den zweiten Schaltbauteilen 6 erzeugte Wärme wird über das erste Leitungsmuster 45 und das Trägersubstrat 44 auf das Wärmeableitungselement 35 übertragen und an die Umgebung abgeleitet.The first of the switching components 5 and of the second switching components 6 heat generated is over the first conductive pattern 45 and the carrier substrate 44 on the heat dissipation element 35 transmitted and derived to the environment.

Unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 beinhaltet die zweite Einheit U2 das isolierende Substrat 41, ein zweites Leitungsmuster 71, das an der Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 angeordnet ist, und ein drittes Leitungsmuster 72, das an der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet ist.With reference to the 4 to 6 includes the second unit U2 the insulating substrate 41 , a second line pattern 71 at the side of the back surface 43 of the insulating substrate 41 is arranged, and a third line pattern 72 at the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 is arranged.

Das isolierende Substrat 41 hat eine Dicke von beispielsweise nicht mehr als 5 mm. Das isolierende Substrat 41 kann die Dicke von nicht weniger als 0,3 mm haben, und von nicht mehr als 0,7 mm. Das isolierende Substrat 41 kann ein auf einem anorganischen Material basiertes isolierendes Substrat sein, einschließlich einer Keramik (zum Beispiel AlN, SiN oder SiO2), etc., oder kann auf einem organischen Material basiertes isolierendes Substrat sein, einschließlich einem Kunstharz (zum Beispiel Epoxyharz), etc.The insulating substrate 41 has a thickness of, for example, not more than 5 mm. The insulating substrate 41 can have the thickness of not less than 0.3 mm, and not more than 0.7 mm. The insulating substrate 41 may be an inorganic material-based insulating substrate including a ceramic (for example, AlN, SiN, or SiO 2 ), etc., or may be an organic-based insulating substrate including a synthetic resin (for example, epoxy resin), etc.

Das isolierende Substrat 41 beinhaltet einen Körperabschnitt 73 mit einer in Draufsicht viereckigen Form, der der vorderen Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44 in Draufsicht gegenüberliegt, beinhaltet einen ersten Erweiterungsabschnitt 74, der sich ausgehend von einem Endabschnitt auf der Seite der -X-Richtung des Körperabschnittes 73 entlang der -X-Richtung hin zu einer Region außerhalb des Trägersubstrates 44 erstreckt, und beinhaltet einen zweiten Erweiterungsabschnitt 75, der sich ausgehend von einem Endabschnitt auf einer Seite der +Y-Richtung des Körperabschnittes 73 entlang der +Y-Richtung hin zu der Region außerhalb des Trägersubstrates 44 erstreckt. Das isolierende Substrat 41 ist mittels des Körperabschnittes 73, des ersten Erweiterungsabschnittes 74 und des zweiten Erweiterungsabschnittes 75 in einer Draufsicht in einer L-Form ausgebildet.The insulating substrate 41 includes a body section 73 with a quadrangular shape in plan view, that of the front surface 46 of the carrier substrate 44 in plan view, includes a first extension section 74 starting from an end section on the side of the - X Direction of the body section 73 along the - X Direction towards a region outside the carrier substrate 44 extends, and includes a second extension section 75 starting from an end section on one side of the + Y Direction of the body section 73 along the + Y Direction toward the region outside the carrier substrate 44 extends. The insulating substrate 41 is by means of the body section 73 , the first extension section 74 and the second extension section 75 formed in a plan view in an L-shape.

Der Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 ist so angeordnet, dass er dem ersten hochspannungsseitigen Leitungsmuster 48 und dem ersten ausgangsseitigen Leitungsmuster 49 gegenüberliegt.The body section 73 of the insulating substrate 41 is arranged to match the first high voltage side line pattern 48 and the first output-side wiring pattern 49 opposite.

Der Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 beinhaltet eine Vielzahl (fünf in der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von ersten Ausnehmungsregionen („removed regions“) 76, die jeweils in Draufsicht die ersten vorderen Bauteiloberflächen 50 der ersten Schaltbauteile 5 freilegen, eine zweite Ausnehmungsregion 77, die die zweiten Schaltbauteile 6 freilegt, und eine Vielzahl (fünf in der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von dritten Ausnehmungsregionen 78, die selektiv einen Endabschnitt auf der Seite der -X-Richtung des ersten ausgangsseitigen Leitungsmusters 49 freilegen.The body section 73 of the insulating substrate 41 includes a plurality (five in the present preferred embodiment) of first removed regions ("removed regions") 76 , each in plan view, the first front component surfaces 50 the first switching components 5 expose, a second recess region 77 that the second switching components 6 uncovered, and a variety (five in the present preferred embodiment) of third recessed regions 78 which selectively has an end section on the side of the - X Direction of the first output line pattern 49 uncover.

Die ersten Ausnehmungsregionen 76, die zweite Ausnehmungsregion 77 und die dritten Ausnehmungsregionen 78 sind Regionen, die dadurch gebildet sind, dass Abschnitte des isolierenden Substrates 41 selektiv entfernt werden und jeweils Elemente freilegen, die an einer Region an der Seite der -Z-Richtung des isolierenden Substrates 41 angeordnet sind. Die ersten Ausnehmungsregionen 76, die zweite Ausnehmungsregion 77 und die dritten Ausnehmungsregionen 78 beinhalten jeweils Öffnungen und/oder Nutabschnitte bzw. Kerbabschnitte.The first recession regions 76 , the second recess region 77 and the third recess regions 78 are regions formed by having portions of the insulating substrate 41 are selectively removed and each expose elements that at a region on the side of the -Z direction of the insulating substrate 41 are arranged. The first recession regions 76 , the second recess region 77 and the third recess regions 78 each include openings and / or groove sections or notch sections.

Die jeweiligen ersten Ausnehmungsregionen 76 sind Öffnungen mit in Draufsicht viereckigen Formen, die jeweils eines der ersten Schaltbauteile 5 in einer eins-zu-eins-Entsprechung freilegen, und sind so gebildet, dass sie in gleichmäßigen Intervallen in einer einzelnen Reihe bzw. Spalte entlang der Y-Richtung ausgerichtet sind, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform.The respective first recession regions 76 are openings with rectangular in plan view forms, each one of the first switching components 5 in a one-to-one correspondence, and are formed to be at regular intervals in a single row or column along the Y -Oriented, in the present preferred embodiment.

Die jeweiligen ersten Ausnehmungsregionen 76 können Nutabschnitte mit in Draufsicht viereckigen Formen sein, die jeweils eines der ersten Schaltbauteile 5 in einer eins-zu-eins-Entsprechung freilegen, und zwar anstelle von Öffnungen. Anstelle der ersten Ausnehmungsregionen 76 können eine Vielzahl oder eine einer ersten Ausnehmungsregion 76 gebildet sein, bei der es sich um eine Öffnung und/oder einen Nutabschnitt mit einer in Draufsicht viereckigen Form handelt, die sich in der Y-Richtung erstreckt, um zwei oder mehr erste Schaltbauteile 5 oder sämtliche Schaltbauteile 5 zusammen freizulegen.The respective first recession regions 76 For example, groove sections may be square-shaped in plan view, each one of the first switching components 5 in a one-to-one correspondence, instead of openings. Instead of the first recession regions 76 can be a variety or a first recess region 76 may be formed, which is an opening and / or a groove portion having a quadrangular shape in plan view, which extends in the Y direction, by two or more first switching components 5 or all switching components 5 to uncover together.

Die zweite Ausnehmungsregion 77 ist gebildet durch eine Umfangskante bzw. einen Umfangsrand auf der Seite der +X-Richtung des isolierenden Substrates 41 und legt einen Endabschnitt auf der Seite der +X-Richtung des ersten ausgangsseitigen Leitungsmusters 49 frei, und zwar zusätzlich zu den zweiten Schaltbauteilen 6, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform.The second recess region 77 is formed by a peripheral edge on the side of the + X Direction of the insulating substrate 41 and put an end section on the side of the + X Direction of the first output line pattern 49 free, in addition to the second switching components 6 in the present preferred embodiment.

Anstelle der zweiten Ausnehmungsregion 77, die durch den Umfangsrand der +X-Richtung des isolierenden Substrates 41 gebildet ist, können eine Vielzahl von zweiten Ausnehmungsregionen 77 gebildet werden, bei denen es sich jeweils um Öffnungen und/oder Nutabschnitte mit in Draufsicht viereckigen Formen handelt, die jeweils eines der zweiten Schaltbauteile 6 in einer eins-zu-eins-Entsprechung freilegen und die in einer einzelnen Spalte entlang der Y-Richtung ausgerichtet sind.Instead of the second recess region 77 passing through the peripheral edge of the + X Direction of the insulating substrate 41 is formed, a plurality of second recess regions 77 are formed, which are each openings and / or groove portions with rectangular in plan view forms, each one of the second switching components 6 in a one-to-one correspondence exposing them in a single column along the Y Direction are aligned.

Folglich kann eine Vielzahl oder eine zweite Ausnehmungsregion 77, bei der es sich um eine Öffnung und/oder um einen Nutabschnitt mit in Draufsicht viereckiger Form handelt, die sich in der Y-Richtung erstreckt, so gebildet werden, dass zwei oder mehr zweite Schaltbauteile 6 oder sämtliche zweite Schaltbauteile 6 freigelegt werden.Consequently, a plurality or a second recess region 77 in which it is an opening and / or a groove portion with a quadrangular shape in plan view, which in the Y Direction extends, are formed so that two or more second switching components 6 or all second switching components 6 be exposed.

Die Vielzahl von dritten Ausnehmungsregionen 78 sind so gebildet, dass sie in einer einzelnen Spalte entlang der Y-Richtung ausgerichtet sind und der Vielzahl von ersten Ausnehmungsregionen 76 in einer eins-zu-eins-Entsprechung in der X-Richtung gegenüberliegen. Eine Vielzahl oder eine dritte Ausnehmungsregion 78, bei der es sich um eine Öffnung und/oder um einen Nutabschnitt mit einer in Draufsicht viereckigen Form handelt, die sich in der Y-Richtung erstreckt, kann so gebildet sein, dass sie zwei oder mehr ersten Schaltbauteilen 5 oder sämtlichen ersten Schaltbauteilen 5 zusammen in der X-Richtung gegenüberliegt bzw. gegenüberliegen.The multitude of third recession regions 78 are formed to be aligned in a single column along the Y direction and the plurality of first recess regions 76 in a one-to-one correspondence in the X direction. A variety or a third recess region 78 in which it is an opening and / or a groove portion with a quadrangular shape in plan view, located in the Y Direction extends may be formed so that they have two or more first switching components 5 or all the first switching components 5 together in the X Direction opposite or opposite.

Der erste Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41 ist ein Abschnitt, der bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform davon frei ist bzw. befreit ist, dem Trägersubstrat 44 in Draufsicht gegenüberzuliegen, und ist in einer Draufsicht in viereckiger Form ausgebildet. Eine Y-Richtungsbreite des ersten Erweiterungsabschnittes 74 des isolierenden Substrates 41 ist auf einen Wert kleiner als ein Y-Richtungsbreite des Körperabschnittes 73 eingestellt.The first extension section 74 of the insulating substrate 41 is a portion which is free in the present preferred embodiment thereof, the carrier substrate 44 facing in plan view, and is formed in a plan view in a quadrangular shape. A Y-direction width of the first extension section 74 of the insulating substrate 41 is smaller than a Y-direction width of the body portion 73 set.

Der zweite Erweiterungsabschnitt 75 des isolierenden Substrates 41 ist ein Abschnitt, der frei ist bzw. davon befreit ist, dem Trägersubstrat 44 in Draufsicht gegenüberzuliegen, und ist in Draufsicht in einer viereckigen Form gebildet, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform. Eine X-Richtungsbreite des zweiten Erweiterungsabschnittes 75 des isolierenden Substrates 41 ist auf einen Wert kleiner als eine X-Richtungsbreite des Körperabschnittes 73 eingestellt.The second extension section 75 of the insulating substrate 41 is a portion that is free or is liberated from the carrier substrate 44 in plan view, and is formed in plan view in a quadrangular shape, in the present preferred embodiment. A X Direction width of the second extension section 75 of the insulating substrate 41 is less than one value X Direction width of the body portion 73 set.

Unter Bezugnahme auf 4 ist das zweite Leitungsmuster 71, das an der Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 angeordnet ist, ein Leitungsfilm bzw. Leiterfilm, der aus Kupfer (Cu) hergestellt ist, um ein Beispiel zu nennen, und ist direkt an die hintere Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 gebondet.With reference to 4 is the second line pattern 71 at the side of the back surface 43 of the insulating substrate 41 is a conductor film made of copper (Cu), for example, and is directly on the back surface 43 of the insulating substrate 41 bonded.

Das zweite Leitungsmuster 71 beinhaltet integral das hochspannungsseitige Terminal 3, das an den ersten Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41 gebondet ist, ein zweites hochspannungsseitiges Leitungsmuster 79, das an den Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 gebondet ist und das elektrisch mit dem hochspannungsseitigen Terminal 3 und dem ersten hochspannungsseitigen Leitungsmuster 48 (erste Schaltbauteile 5) verbunden ist, und ein zweites ausgangsseitiges Leitungsmuster 80, das elektrisch mit dem ersten ausgangsseitigen Leitungsmuster 49 verbunden ist.The second line pattern 71 Integrally includes the high voltage side terminal 3 , that at the first extension section 74 of the insulating substrate 41 is bonded, a second high voltage side line pattern 79 attached to the body section 73 of the insulating substrate 41 is bonded and that electrically with the high voltage side terminal 3 and the first high voltage side line pattern 48 (first switching components 5 ), and a second output line pattern 80 electrically connected to the first output line pattern 49 connected is.

Das hochspannungsseitige Terminal 3 ist an einer Position über ein einwärts gerichtetes bzw. inneres Intervall bzw. einen inneren Abstand von einer Umfangskante bzw. einem Umfangsrand des ersten Erweiterungsabschnitt 74 an dem ersten Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41 angeordnet und ist in Draufsicht in einer viereckigen Form ausgebildet.The high voltage side terminal 3 is at a position over an inward interval from a peripheral edge of the first extension portion 74 at the first extension section 74 of the insulating substrate 41 arranged and is formed in plan view in a quadrangular shape.

Die Umfangskante des hochspannungsseitigen Terminals 3 ist an einer Position angeordnet, bei der es um wenigstens nicht weniger als 2 mm von der Umfangskante des ersten Erweiterungsabschnittes 74 des isolierenden Substrates 41 getrennt bzw. beabstandet ist, und eine Isolierungsregion wird hierdurch zwischen der Umfangskante des hochspannungsseitigen Terminals 3 und der Umfangskante bzw. dem Umfangsrand des ersten Erweiterungsabschnittes 74 des isolierenden Substrates 41 eingerichtet.The peripheral edge of the high voltage side terminal 3 is disposed at a position at least not less than 2 mm from the peripheral edge of the first extension portion 74 of the insulating substrate 41 is separated, and an insulating region is thereby between the peripheral edge of the high voltage side terminal 3 and the peripheral edge of the first extension portion 74 of the insulating substrate 41 set up.

Das zweite hochspannungsseitige Leitungsmuster 79 beinhaltet einen ersten hochspannungsseitigen Abschnitt 81, der an den Endabschnitt auf der Seite der -X-Richtung des Körperabschnittes 73 gebondet ist und der mit dem hochspannungsseitigen Terminal 3 verbunden ist. Der erste hochspannungsseitige Abschnitt 81 ist elektrisch mit dem ersten hochspannungsseitigen Leitungsmuster 48 verbunden, und zwar über ein viertes leitfähiges Bondmaterial 83.The second high voltage side line pattern 79 includes a first high voltage side section 81 pointing to the end section on the side of - X Direction of the body section 73 is bonded and the one with the high voltage side terminal 3 connected is. The first high voltage side section 81 is electrically connected to the first high voltage side line pattern 48 connected, via a fourth conductive bonding material 83 ,

Das zweite hochspannungsseitige Leitungsmuster 79 beinhaltet einen zweiten hochspannungsseitigen Abschnitt 82 einer kammzahnartigen Form, der aus dem ersten hochspannungsseitigen Abschnitt 81 in Richtung hin zu Seiten der jeweiligen ersten Schaltbauteile 5 herausgeführt ist (erste Ausnehmungsregionen 76).The second high voltage side line pattern 79 includes a second high voltage side section 82 a comb-teeth-like shape, from the first high voltage side section 81 towards the sides of the respective first switching components 5 led out (first recess regions 76 ).

Das zweite ausgangsseitige Leitungsmuster 80 ist an einem Endabschnitt auf der Seite der +X-Richtung des isolierenden Substrates 41 angeordnet und ist in Draufsicht in einer viereckigen Form ausgebildet, die sich in der Y-Richtung erstreckt. Das zweite ausgangsseitige Leitungsmuster 80 ist elektrisch mit dem ersten ausgangsseitigen Leitungsmuster 49 über ein fünftes leitfähiges Bondmaterial 85 verbunden, und zwar in einer Region zwischen dem Endabschnitt an der Seite der -X-Richtung des ersten ausgangsseitigen Leitungsmusters 49 und den zweiten Schaltbauteilen 6.The second output line pattern 80 is at an end section on the side of the + X Direction of the insulating substrate 41 arranged and is formed in plan view in a quadrangular shape which extends in the Y direction. The second output line pattern 80 is electrically connected to the first output line pattern 49 via a fifth conductive bonding material 85 connected, in a region between the end section on the side of - X Direction of the first output line pattern 49 and the second switching components 6 ,

Das zweite ausgangsseitige Leitungsmuster 80 weist eine Vielzahl (fünf in der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von vierten Ausnehmungsregionen 84 auf, die selektiv das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 an Positionen freilegen, die jedem der Vielzahl von dritten Ausnehmungsregionen 78 des isolierenden Substrates 41 entsprechen.The second output line pattern 80 has a plurality (five in the present preferred embodiment) of fourth recess regions 84 which selectively selects the first output line pattern 49 at positions exposed to each of the plurality of third recess regions 78 of the insulating substrate 41 correspond.

Ein Endabschnitt auf der Seite der -X-Richtung des zweiten ausgangsseitigen Leitungsmusters 80 ist durch die Vielzahl von vierten Ausnehmungsregionen 84 in eine kammzahnartige Form ausgebildet. Die vierten Ausnehmungsregionen 84 können Öffnungen und/oder Nutabschnitte aus viereckigen Formen in Draufsicht sein, die sich in der Y-Richtung erstrecken.An end section on the side of - X Direction of the second output-side line pattern 80 is due to the plurality of fourth recess regions 84 formed in a comb-tooth-like shape. The fourth recess regions 84 may be openings and / or groove portions of quadrangular shapes in plan view, located in the Y Extend direction.

Der Endabschnitt auf der Seite der -X-Richtung des ersten ausgangsseitigen Leitungsmusters 49 ist selektiv durch die dritten Ausnehmungsregionen 78 des isolierenden Substrates 41 und durch die vierte Ausnehmungsregion(en) 84 des zweiten ausgangsseitigen Leitungsmusters 80 freigelegt.The end section on the side of - X Direction of the first output line pattern 49 is selective through the third recess regions 78 of the insulating substrate 41 and through the fourth recess region (s) 84 the second output-side line pattern 80 exposed.

Das dritte Leitungsmuster 72, das an der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet ist, ist ein Leitungsfilm, der beispielsweise aus Cu (Kupfer) hergestellt ist, und ist direkt an die vordere Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 gebondet.The third line pattern 72 at the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 is a conductive film made of Cu (copper), for example, and is directly on the front surface 42 of the insulating substrate 41 bonded.

Das dritte Leitungsmuster 72 beinhaltet integral das niederspannungsseitige Terminal 4, das an den zweiten Erweiterungsabschnitt 75 des isolierenden Substrates 41 gebondet ist, und ein niederspannungsseitiges Leitungsmuster 86, das an den Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 gebondet ist und das mit niederspannungsseitigen Terminal 4 elektrisch verbunden ist.The third line pattern 72 Integrally includes the low-voltage side terminal 4 to the second extension section 75 of the insulating substrate 41 is bonded, and a low voltage side wiring pattern 86 attached to the body section 73 of the insulating substrate 41 is bonded and that with low-voltage terminal 4 electrically connected.

Das niederspannungsseitige Terminal 4 ist an einer Position über ein inneres bzw. einwärts gerichtetes Intervall bzw. einen inneren Abstand von einer Umfangskante bzw. einem Umfangsrand des ersten Erweiterungsabschnittes 74 an dem ersten Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41 angeordnet und ist in Draufsicht in einer viereckigen Form ausgebildet. Das niederspannungsseitige Terminal 4 liegt dem hochspannungsseitigen Terminal 3 über den ersten Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41 gegenüber.The low voltage side terminal 4 is at a position over an inward interval from a peripheral edge of the first extension portion 74 at the first extension section 74 of the insulating substrate 41 arranged and is formed in plan view in a quadrangular shape. The low voltage side terminal 4 is the high-voltage terminal 3 over the first extension section 74 of the insulating substrate 41 across from.

Das niederspannungsseitige Terminal 4 ist in Draufsicht in der viereckigen Form ausgebildet, bei der es sich hinsichtlich Fläche und hinsichtlich Form um die gleiche Fläche und Form handelt wie bei dem hochspannungsseitigen Terminal 3, und dessen Gesamtheit liegt in der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform dem hochspannungsseitigen Terminal 3 über den ersten Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41 gegenüber.The low voltage side terminal 4 is formed in plan view in the quadrangular shape, which is the same area and shape in terms of area and shape as in the high voltage side terminal 3 , Whose entirety is in the present preferred embodiment of the high voltage side terminal 3 over the first extension section 74 of the insulating substrate 41 across from.

Die Umfangskante des niederspannungsseitigen Terminals 4 ist an einer Position getrennt bzw. beabstandet um wenigstens nicht weniger als 2 mm von dem Umfangsrand (Umfangskante) des ersten Erweiterungsabschnittes 74 des isolierenden Substrates 41 angeordnet, und zwischen der Umfangskante des niederspannungsseitigen Terminals 4 und der Umfangskante des ersten Erweiterungsabschnittes 74 des isolierenden Substrates 41 ist hierdurch eine isolierende Region eingerichtet. The peripheral edge of the low-voltage side terminal 4 is separated at a position at least not less than 2 mm from the peripheral edge (peripheral edge) of the first extension portion 74 of the insulating substrate 41 arranged, and between the peripheral edge of the low-voltage side terminal 4 and the peripheral edge of the first extension section 74 of the insulating substrate 41 As a result, an isolating region is set up.

Das niederspannungsseitige Leitungsmuster 86 beinhaltet einen ersten niederspannungsseitigen Abschnitt 87, der an den Endabschnitt auf der Seite der -X-Richtung des Körperabschnittes 73 gebondet ist und der mit dem niederspannungsseitigen Terminal 4 verbunden ist, einen zweiten niederspannungsseitigen Abschnitt 88, der an den Endabschnitt auf der Seite der +X-Richtung des Körperabschnittes 73 gebondet ist, und einen dritten niederspannungsseitigen Abschnitt 89, der die obigen Abschnitte verbindet.The low-voltage side wiring pattern 86 includes a first low voltage side section 87 pointing to the end section on the side of - X Direction of the body section 73 is bonded and the one with the low voltage side terminal 4 is connected, a second low-voltage side section 88 pointing to the end section on the side of the + X Direction of the body section 73 is bonded, and a third low-voltage side section 89 that connects the above sections.

Der dritte niederspannungsseitige Abschnitt 89 verbindet den ersten niederspannungsseitigen Abschnitt 87 und den zweiten niederspannungsseitigen Abschnitt 88, und zwar unter Umgehung bzw. zur Vermeidung der ersten Ausnehmungsregionen 76 und der dritten Ausnehmungsregionen 78.The third low-voltage side section 89 connects the first low voltage side section 87 and the second low-voltage side section 88 , bypassing or avoiding the first recessed regions 76 and the third recess regions 78 ,

Das niederspannungsseitige Leitungsmuster 86 liegt dem zweiten hochspannungsseitigen Leitungsmuster 79 über den Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 gegenüber. Genauer gesagt liegt der erste niederspannungsseitige Abschnitt 87 des niederspannungsseitigen Leitungsmusters 86 dem ersten hochspannungsseitigen Abschnitt 81 des zweiten hochspannungsseitigen Leitungsmusters 79 über den Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 gegenüber. Der dritte niederspannungsseitige Abschnitt 89 des niederspannungsseitigen Leitungsmuster 86 liegt dem zweiten hochspannungsseitigen Abschnitt 82 des zweiten hochspannungsseitigen Leitungsmusters 79 über den Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 gegenüber.The low-voltage side wiring pattern 86 lies the second high voltage side line pattern 79 over the body section 73 of the insulating substrate 41 across from. More specifically, the first low-voltage side section is located 87 the low-voltage side wiring pattern 86 the first high voltage side section 81 the second high voltage side line pattern 79 over the body section 73 of the insulating substrate 41 across from. The third low-voltage side section 89 the low-voltage side wiring pattern 86 lies the second high voltage side section 82 the second high voltage side line pattern 79 over the body section 73 of the insulating substrate 41 across from.

Unter Bezugnahme auf die 4 und 5 beinhaltet das zweite Leitungsmuster 71, das an der Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 angeordnet ist, ferner das hochspannungsseitige erste Gate-Terminal 14 und das hochspannungsseitige erste Source-Erfassungs-Terminal 15, die zuvor erwähnt wurden.With reference to the 4 and 5 includes the second line pattern 71 at the side of the back surface 43 of the insulating substrate 41 is arranged, further, the high-voltage side first gate terminal 14 and the high-voltage side first source detection terminal 15 that were mentioned before.

Das erste Gate-Terminal 14 und das erste Source-Erfassungs-Terminal 15 sind benachbart zueinander zwischen dem zweiten hochspannungsseitigen Leitungsmuster 79 und dem zweiten ausgangsseitigen Leitungsmuster 80 angeordnet. Das erste Gate-Terminal 14 ist auf der Seite der -X-Richtung angeordnet, und das erste Source-Erfassungs-Terminal 15 ist auf der Seite der +X-Richtung angeordnet, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform.The first gate terminal 14 and the first source acquisition terminal 15 are adjacent to each other between the second high voltage side line pattern 79 and the second output-side wiring pattern 80 arranged. The first gate terminal 14 is on the side of - X Direction arranged, and the first source detection terminal 15 is on the side of the + X Direction arranged in the present preferred embodiment.

Das erste Gate-Terminal 14 und das erste Source-Erfassungs-Terminal 15 sind jeweils in Bandformen in Draufsicht (in rechteckförmigen Formen in Draufsicht) ausgebildet, die sich entlang der Y-Richtung erstrecken und aus dem Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 zu dem zweiten Erweiterungsabschnitt 75 herausgeführt sind.The first gate terminal 14 and the first source acquisition terminal 15 are respectively formed in tape shapes in plan view (in rectangular shapes in plan view) extending along the Y direction and out of the body portion 73 of the insulating substrate 41 to the second extension section 75 led out.

Abschnitte des ersten Gate-Terminals 14 und des ersten Source-Erfassungs-Terminals (15), die zu dem zweiten Erweiterungsabschnitt 75 des isolierenden Substrates 41 herausgeführt sind, sind jeweils an Positionen über ein einwärts-gerichtetes Intervall bzw. einen inneren Abstand von der Umfangskante bzw. dem Umfangsrand des zweiten Erweiterungsabschnittes 75 angeordnet.Portions of the first gate terminal 14 and the first source acquisition terminal ( 15 ) leading to the second extension section 75 of the insulating substrate 41 are each out at positions over an inwardly directed interval and an inner distance from the peripheral edge and the peripheral edge of the second extension section, respectively 75 arranged.

Eine Vielzahl (fünf bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von ersten Kontaktlöchern 92, die selektiv das erste Gate-Terminal 14 freilegen, und eine Vielzahl (fünf bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von zweiten Kontaktlöchern 93, die selektiv das erste Source-Erfassungs-Terminal 15 freilegen, sind selektiv in dem Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 ausgebildet.A plurality (five in the present preferred embodiment) of first contact holes 92 , which selectively the first gate terminal 14 and a plurality (five in the present preferred embodiment) of second contact holes 93 selectively selecting the first source acquisition terminal 15 Expose are selective in the body section 73 of the insulating substrate 41 educated.

Jedes der ersten Kontaktlöcher 92 ist in jeder Region zwischen der ersten Ausnehmungsregion 76 und der dritten Ausnehmungsregion 78 vorgesehen. Jedes der zweiten Kontaktlöchern 93 ist in jeder Region zwischen den ersten Ausnehmungsregionen 76 und den dritten Ausnehmungsregionen 78 vorgesehen, so, dass sie wechselseitig benachbart sind zu den ersten Kontaktlöchern 92.Each of the first contact holes 92 is in each region between the first recess region 76 and the third recess region 78 intended. Each of the second contact holes 93 is in each region between the first recession regions 76 and the third recess regions 78 provided so that they are mutually adjacent to the first contact holes 92 ,

Das dritte Leitungsmuster 72, das auf der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet ist, beinhaltet eine Vielzahl (fünf bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von Gate-Pads 94, die mit dem ersten Gate-Terminal 14 über die jeweiligen ersten Kontaktlöcher 92 verbunden sind, und eine Vielzahl (fünf bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) von Source-Erfassungspads 95, die mit dem ersten Source-Erfassungs-Terminal 15 über die jeweiligen zweiten Kontaktlöcher 93 verbunden sind.The third line pattern 72 on the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 includes a plurality (five in the present preferred embodiment) of gate pads 94 that with the first gate terminal 14 over the respective first contact holes 92 and a plurality (five in the present preferred embodiment) of source sense pads 95 connected to the first source acquisition terminal 15 over the respective second contact holes 93 are connected.

Das dritte Leitungsmuster 72 beinhaltet das niederspannungsseitige zweite Gate-Terminal 20 und das niederspannungsseitige zweite Source-Erfassungs-Terminal 21, die oben erwähnt wurden. Das zweite Gate-Terminal 20 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 sind jeweils an dem Endabschnitt auf der Seite der +X-Richtung des isolierenden Substrates 41 angeordnet (in einer Region zwischen dem Umfangsrand (Umfangskante) auf der Seite der +X-Richtung des isolierenden Substrates 41 und dem zweiten niederspannungsseitigen Abschnitt 88 des niederspannungsseitigen Leitungsmusters 86). Das zweite Gate-Terminal 20 ist auf der Seite der -X-Richtung angeordnet, und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 ist auf der Seite der +X-Richtung angeordnet, und zwar bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform.The third line pattern 72 includes the low-voltage side second gate terminal 20 and the low-voltage side second source detection terminal 21 that were mentioned above. The second gate terminal 20 and the second source acquisition terminal 21 are each at the End section on the side of the + X Direction of the insulating substrate 41 arranged (in a region between the peripheral edge (peripheral edge) on the side of the + X Direction of the insulating substrate 41 and the second low-voltage side portion 88 the low-voltage side wiring pattern 86 ). The second gate terminal 20 is on the side of - X Direction arranged, and the second source detection terminal 21 is disposed on the + X direction side in the present preferred embodiment.

Das zweite Gate-Terminal 20 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 sind jeweils in Bandformen in Draufsicht (in rechteckförmigen Formen in Draufsicht) ausgebildet, die sich entlang der Y-Richtung erstrecken und die aus dem Körperabschnitt 73 des isolierenden Substrates 41 hin zu dem zweiten Erweiterungsabschnitt 75 herausgeführt sind.The second gate terminal 20 and the second source acquisition terminal 21 are respectively formed in ribbon shapes in plan view (in rectangular shapes in plan view), which extend along the Y Direction and extend from the body section 73 of the insulating substrate 41 towards the second extension section 75 led out.

Abschnitte des zweiten Gate-Terminals 20 und des zweiten Source-Fassungs-Terminals 21, die zu dem zweiten Erweiterungsabschnitt 75 des isolierenden Substrates 41 herausgeführt sind, sind jeweils an Positionen über ein einwärts gerichtetes Intervall bzw. einen inneren Abstand von dem Umfangsrand bzw. der Umfangskante des zweiten Erweiterungsabschnittes 75 angeordnet.Sections of the second gate terminal 20 and the second source socket terminal 21 leading to the second extension section 75 of the insulating substrate 41 are out at positions respectively over an inwardly directed interval and an inner distance from the peripheral edge and the peripheral edge of the second extension portion, respectively 75 arranged.

Das zweite Gate-Terminal 20 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 sind an Positionen gebondet, die bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform frei sind von einer Überlappung mit dem ersten Gate-Terminal 14 und dem ersten Source-Erfassungs-Terminal 15 in Draufsicht (siehe auch 2 und 3).The second gate terminal 20 and the second source acquisition terminal 21 are bonded at positions which in the present preferred embodiment are free from overlap with the first gate terminal 14 and the first source acquisition terminal 15 in plan view (see also 2 and 3 ).

Das erste Leitungsmuster 45, das auf der Seite der vorderen Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44 angeordnet ist, beinhaltet ein Dummy-Gate-Terminal 96, das in Entsprechung zu dem ersten Gate-Terminal 14 vorgesehen ist, und ein Dummy-Source-Erfassungs-Terminal 97, das in Entsprechung zu dem ersten Source-Erfassungs-Terminal 15 vorgesehen ist.The first line pattern 45 on the side of the front surface 46 of the carrier substrate 44 is arranged, includes a dummy gate terminal 96 that corresponds to the first gate terminal 14 is provided, and a dummy source detection terminal 97 corresponding to the first source acquisition terminal 15 is provided.

Das Dummy-Gate-Terminal 96 und das Dummy-Source-Erfassungs-Terminal 97 sind zwischen dem ersten hochspannungsseitigen Leitungsmuster 48 und dem ersten ausgangsseitigen Leitungsmuster 49 angeordnet, und sind in ihrer Gesamtheit auf der vorderen Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44 positioniert.The dummy gate terminal 96 and the dummy source detection terminal 97 are between the first high voltage side line pattern 48 and the first output-side wiring pattern 49 arranged, and are in their entirety on the front surface 46 of the carrier substrate 44 positioned.

Unter Bezugnahme auf die 5, 7 und 8 sind die ersten Source-Elektroden 10 der jeweiligen ersten Schaltbauteile 5 elektrisch mit dem ersten ausgangsseitigen Leitungsmuster 49 verbunden, das an die vordere Oberfläche 46 des Trägersubstrates 44 gebondet ist, und zwar über erste Bond-Drähte 101 als Verbindungselemente.With reference to the 5 . 7 and 8th are the first source electrodes 10 the respective first switching components 5 electrically with the first output line pattern 49 connected to the front surface 46 of the carrier substrate 44 is bonded, via first bond wires 101 as connecting elements.

Die ersten Bond-Drähte 101 sind auf der Seite der vordere Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet und verbinden die ersten Source-Elektroden 10 der jeweiligen ersten Schaltbauteile 5 mit dem ersten ausgangsseitigen Leitungsmuster 49, und zwar über die ersten Ausnehmungsregionen 76 und die dritten Ausnehmungsregionen 78 (vierte Ausnehmungsregionen 84 des zweiten ausgangsseitigen Leitungsmusters 80) des isolierenden Substrates 41.The first bond wires 101 are on the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 arranged and connect the first source electrodes 10 the respective first switching components 5 with the first output line pattern 49 , over the first recession regions 76 and the third recess regions 78 (fourth recess regions 84 the second output-side line pattern 80 ) of the insulating substrate 41 ,

Die ersten Source-Elektroden 10 sind daher elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 über die ersten Bond-Drähte 101 und das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 verbunden, und zwar bei jedem ersten Schaltbauteil 5.The first source electrodes 10 are therefore electrical to the output terminal 2 over the first bond wires 101 and the first output line pattern 49 connected, with each first switching component 5 ,

Die erste Drain-Elektrode 11 ist mit dem hochspannungsseitigen Terminal 3 über das erste hochspannungsseitige Leitungsmuster 48 und das zweite hochspannungsseitige Leitungsmuster 79 verbunden, und zwar bei jedem ersten Schaltbauteil 5. Jedes erste Schaltbauteil 5 ist dadurch elektrisch zwischen dem ausgangsseitigen Terminal 2 und dem hochspannungsseitigen Terminal 3 angeschlossen bzw. verbunden.The first drain electrode 11 is with the high voltage side terminal 3 over the first high voltage side line pattern 48 and the second high voltage side wiring pattern 79 connected, with each first switching component 5 , Every first switching component 5 is thereby electrically between the output side terminal 2 and the high voltage side terminal 3 connected or connected.

Die erste Gate-Elektrode 12 der jeweiligen ersten Schaltbauteile 5 ist elektrisch mit dem Gate-Pad 94 über einen zweiten Bond-Draht 102 als ein Verbindungselement verbunden. Die erste Gate-Elektrode 12 der jeweiligen ersten Schaltbauteile 5 und das erste Gate-Terminal 14 sind hierdurch elektrisch verbunden.The first gate electrode 12 the respective first switching components 5 is electric with the gate pad 94 over a second bond wire 102 connected as a connector. The first gate electrode 12 the respective first switching components 5 and the first gate terminal 14 are thereby electrically connected.

Wenigstens eine der ersten Source-Elektroden 10 von jedem ersten Schaltbauteil 5 ist elektrisch mit einem Source-Erfassungspad 95 über einen dritten Bond-Draht 103 als ein Verbindungselement elektrisch verbunden. Wenigstens eine der ersten Source-Elektroden 10 von jedem ersten Schaltbauteil 5 und das erste Source-Erfassungs-Terminal 15 sind hierdurch elektrisch verbunden.At least one of the first source electrodes 10 from every first switching component 5 is electrically connected to a source detection pad 95 over a third bond wire 103 electrically connected as a connecting element. At least one of the first source electrodes 10 from every first switching component 5 and the first source acquisition terminal 15 are thereby electrically connected.

Andererseits sind die zweiten Source-Elektroden 16 der jeweiligen zweiten Schaltbauteile 6 elektrisch mit dem niederspannungsseitigen Leitungsmuster 86 (zweiter niederspannungsseitiger Abschnitt 88 des niederspannungsseitigen Leitungsmusters 86) verbunden, das an die vordere Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 gebondet ist, und zwar über vierte Bond-Drähte 104 als Verbindungselemente.On the other hand, the second ones Source electrodes 16 the respective second switching components 6 electrically with the low-voltage side wiring pattern 86 (second low-voltage side section 88 the low-voltage side wiring pattern 86 ) connected to the front surface 42 of the insulating substrate 41 bonded via fourth bond wires 104 as connecting elements.

Die vierten Bond-Drähte 104 sind an der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet und verbinden die zweiten Source-Elektroden 16 der jeweiligen zweiten Schaltbauteile 6 und das niederspannungsseitige Leitungsmuster 86 über die zweite Ausnehmungsregion 77 des isolierenden Substrates 41.The fourth bond wires 104 are on the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 arranged and connect the second source electrodes 16 the respective second switching components 6 and the low-voltage side wiring pattern 86 over the second recess region 77 of the insulating substrate 41 ,

Die zweiten Source-Elektroden 16 sind daher elektrisch mit dem niederspannungsseitigen Terminal 4 über die vierten Bond-Drähte 104 und das niederspannungsseitige Leitungsmuster 86 elektrisch verbunden, und zwar bei jedem zweiten Schaltbauteil 6.The second source electrodes 16 are therefore electrically connected to the low-voltage side terminal 4 over the fourth bond wires 104 and the low-voltage side wiring pattern 86 electrically connected, and in each second switching device 6 ,

Die zweite Drain-Elektrode 17 ist elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 über das erste ausgangsseitige Leitungsmuster 49 verbunden, und zwar bei jedem zweiten Schaltbauteil 6. Jedes zweite Schaltbauteil 6 ist daher elektrisch zwischen dem ausgangsseitigen Terminal 2 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 verbunden bzw. angeschlossen.The second drain electrode 17 is electrical with the output terminal 2 over the first output line pattern 49 connected, in each second switching device 6 , Every second switching component 6 is therefore electrically between the output side terminal 2 and the low-voltage terminal 4 connected or connected.

Die zweite Gate-Elektrode 18 der jeweiligen zweiten Schaltbauteile 6 ist elektrisch mit dem zweiten Gate-Terminal 20 über einen fünften Bond-Draht 105 als ein Verbindungselement verbunden. Der fünfte Bond-Draht 105 ist an der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet und verbindet die zweite Gate-Elektrode 18 der jeweiligen zweiten Schaltbauteile 6 und das zweite Gate-Terminal 20 über die zweite Ausnehmungsregion 77 des isolierenden Substrates 41.The second gate electrode 18 the respective second switching components 6 is electrically connected to the second gate terminal 20 over a fifth bond wire 105 connected as a connector. The fifth bond wire 105 is on the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 arranged and connects the second gate electrode 18 the respective second switching components 6 and the second gate terminal 20 over the second recess region 77 of the insulating substrate 41 ,

Wenigstens eine der zweiten Source-Elektroden 16 von jedem zweiten Schaltbauteil 6 ist elektrisch mit dem zweiten Source-Erfassungs-Terminal 21 über einen sechsten Bond-Draht 106 als ein Verbindungselement verbunden.At least one of the second source electrodes 16 of every other switching component 6 is electrically connected to the second source detection terminal 21 over a sixth bond wire 106 connected as a connector.

Die sechsten Bond-Drähte 106 sind an der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 angeordnet und verbinden wenigstens eine der zweiten Source-Elektroden 16 der jeweiligen zweiten Schaltbauteile 6 und das zweite Source-Erfassungs-Terminal 21 über die zweite Ausnehmungsregion 77 des isolierenden Substrates 41.The sixth bond wires 106 are on the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 arranged and connect at least one of the second source electrodes 16 the respective second switching components 6 and the second source acquisition terminal 21 over the second recess region 77 of the insulating substrate 41 ,

Der Gehäusekörperabschnitt 31 versiegelt das isolierende Substrat 41 und das Trägersubstrat 44 bzw. dichtet diese ab, und zwar derart, um selektiv einen Abschnitt des ausgangsseitigen Terminals 2, einen Abschnitt des hochspannungsseitigen Terminals 3, einen Abschnitt des niederspannungsseitigen Terminals 4, einen Abschnitt des ersten Gate-Terminals 14, einen Abschnitt des ersten Source-Erfassungs-Terminals 15, einen Abschnitt des zweiten Gate-Terminals 20, einen Abschnitt des zweiten Source-Erfassungs-Terminals 21 und das Wärmeableitungselement 35 freizulegen.The housing body section 31 seals the insulating substrate 41 and the carrier substrate 44 or seals, so as to selectively a portion of the output-side terminal 2 , a section of the high voltage side terminal 3 , a section of the low-voltage side terminal 4 , a section of the first gate terminal 14 , a portion of the first source acquisition terminal 15 , a portion of the second gate terminal 20 , a portion of the second source detection terminal 21 and the heat dissipation element 35 expose.

Der Abschnitt des hochspannungsseitigen Terminals 3 und der Abschnitt des niederspannungsseitigen Terminals 4 sind zusammen mit dem ersten Erweiterungsabschnitt 74 des isolierenden Substrates 41 hin zu der äußeren Seite des Gehäusekörperabschnittes 31 herausgeführt. Der Abschnitt des ersten Gate-Terminals 14, der Abschnitt des ersten Source-Erfassungs-Terminals 15, der Abschnitt des zweiten Gate-Terminals 20 und der Abschnitt des zweiten Source-Erfassungs-Terminals 21 sind zusammen mit dem zweiten Erweiterungsabschnitt 75 des isolierenden Substrates 41 hin zu der äußeren Seite des Gehäusekörperabschnittes 31 herausgeführt.The section of the high voltage side terminal 3 and the section of the low-voltage side terminal 4 are together with the first extension section 74 of the insulating substrate 41 toward the outer side of the housing body portion 31 led out. The section of the first gate terminal 14 , the portion of the first source acquisition terminal 15 , the section of the second gate terminal 20 and the portion of the second source acquisition terminal 21 are together with the second extension section 75 of the insulating substrate 41 toward the outer side of the housing body portion 31 led out.

Der Gehäusekörperabschnitt 31 kann gebildet sein durch ein Transfer- bzw. Pressspritzverfahren oder kann gebildet sein durch ein Formpressverfahren.The housing body section 31 may be formed by a transfer molding method or may be formed by a molding method.

Der Gehäusekörperabschnitt 31, der selektiv das isolierende Substrat 41, etc. versiegelt, ist gebildet durch Gießen eines Kunstharzes in eine metallische Gussform, die einen Hohlraum einer vorbestimmten Form hat, in der das isolierende Substrat 41, etc., aufgenommen sind, und zwar bei dem Transferspritzverfahren. Das isolierende Substrat 41, etc. bezieht sich insbesondere auf die innere Struktur des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 mit der Ausnahme des Gehäusekörperabschnittes 31 (das Gleiche gilt nachstehend).The housing body section 31 , which selectively removes the insulating substrate 41 , etc., is formed by casting a synthetic resin into a metallic mold having a cavity of a predetermined shape in which the insulating substrate 41 , etc., are included in the transfer molding process. The insulating substrate 41 , etc., particularly relates to the internal structure of the semiconductor power module 1 with the exception of the housing body section 31 (the same applies below).

Der Gehäusekörperabschnitt 31, der das isolierenden Substrat 41, etc., selektiv versiegelt, ist bei dem Formpressverfahren gebildet durch Einfüllen eines Kunstharzes in das Innere einer metallischen Gussform, die einen Hohlraum einer vorbestimmten Form hat und hiernach durch das Eintauchen des isolierenden Substrates 41 etc., in das Kunstharz, oder durch Aufnehmen und Anordnen des isolierenden Substrates 41, etc., in einem Inneren einer metallischen Gussform, die einen Hohlraum einer vorbestimmten Form hat, und hiernach durch den Schritt des Einfüllens eines Harzes in das Innere der metallischen Gussform.The housing body section 31 that is the insulating substrate 41 , etc., selectively sealed, is formed in the molding process by filling a synthetic resin into the inside of a metallic mold having a cavity of a predetermined shape, and thereafter by dipping the insulating substrate 41 etc., in the synthetic resin, or by receiving and disposing the insulating substrate 41 , etc., in an interior of a metallic mold having a cavity of a predetermined shape, and thereafter by the step of filling a resin into the interior of the metallic mold.

Der Gehäusekörperabschnitt 31 kann eine Anordnung haben, die eine Einhausung, die aus Kunstharz hergestellt ist, beinhaltet (einen Kunstharzkasten bzw. -gehäuse, „resin case“) mit einem inneren Raum, wobei das isolierende Substrat 41, etc., im Inneren des inneren Raumes der Einhausung aufgenommen ist.The housing body section 31 may have an arrangement including a housing made of synthetic resin (a resin case) with an internal space, wherein the insulating substrate 41 , etc., is housed inside the inner space of the enclosure.

Wie oben beschrieben, ist gemäß dem Halbleiter-Leistungsmodul 1 die einzelne Halbbrücken-Schaltung 7 gebildet durch das ausgangsseitige Terminal 2, das hochspannungsseitige Terminal 3, das niederspannungsseitige Terminal 4, die ersten Schaltbauteile 5, die mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 und mit dem hochspannungsseitigen Terminal 3 verbunden sind, und die zweiten Schaltbauteile 6, die mit dem ausgangsseitigen Terminal 2 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 verbunden sind.As described above, according to the semiconductor power module 1 the single half-bridge circuit 7 formed by the output side terminal 2 , the high voltage side terminal 3 , the low-voltage terminal 4 , the first switching components 5 that with the output side terminal 2 and with the high voltage side terminal 3 are connected, and the second switching components 6 connected to the output terminal 2 and the low-voltage terminal 4 are connected.

Bei der Halbbrücken-Schaltung 7 bilden die ersten Schaltbauteile 5 den hochspannungsseitigen oberen Arm 8 und die zweiten Schaltbauteile 6 bilden den niederspannungsseitigen unteren Arm 9.In the half-bridge circuit 7 form the first switching components 5 the high voltage side upper arm 8th and the second switching components 6 form the low-voltage side lower arm 9 ,

Gemäß dem Halbleiter-Leistungsmodul 1 sind ein Strompfad, der von dem hochspannungsseitigen Terminal 3 in Richtung zu dem ausgangsseitigen Terminal 2 führt, und zwar über die jeweiligen ersten Schaltbauteile 5, an der Seite der hinteren Oberfläche 43 des isolierenden Substrates 41 gebildet, und ein Strompfad, der von dem ausgangsseitigen Terminal 2 in Richtung hin zu dem niederspannungsseitigen Terminal 4 führt, und zwar über die jeweiligen zweiten Schaltbauteile 6, ist an der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 gebildet.According to the semiconductor power module 1 are a current path from the high voltage side terminal 3 towards the exit-side terminal 2 leads, via the respective first switching components 5 , on the side of the back surface 43 of the insulating substrate 41 formed, and a current path from the output terminal 2 towards the low voltage side terminal 4 leads, via the respective second switching components 6 , is on the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 educated.

Eine Richtung des Stromes, der durch das hochspannungsseitige Terminal 3 fließt, und eine Richtung des Stromes, der durch das niederspannungsseitige Terminal 4 fließt, verlaufen daher entgegengesetzt über bzw. in Bezug auf das isolierende Substrat 41.A direction of the current passing through the high-voltage terminal 3 flows, and a direction of the current passing through the low-voltage terminal 4 flows, therefore, run in opposite directions with respect to the insulating substrate 41 ,

Darüber hinaus kann eine Distanz zwischen dem hochspannungsseitigen Terminal 3 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 auf der Grundlage der Dicke (von nicht mehr als 5 mm bei der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform) des isolierenden Substrates 41 eingestellt werden, an dem das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 einander gegenüberliegend angeordnet sind, und folglich können das hochspannungsseitige Terminal 3 und das niederspannungsseitige Terminal 4 zufriedenstellend in Nachbarschaft zueinander angeordnet werden, während eine Isolationseigenschaft aufrechterhalten wird.In addition, a distance between the high voltage side terminal 3 and the low-voltage terminal 4 on the basis of the thickness (not more than 5 mm in the present preferred embodiment) of the insulating substrate 41 be set at which the high voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 are arranged opposite to each other, and consequently, the high-voltage side terminal 3 and the low voltage side terminal 4 satisfactorily arranged in proximity to each other while maintaining an insulating property.

Ein magnetisches Feld, das an dem hochspannungsseitigen Terminal 3 erzeugt wird, und ein magnetisches Feld, das an dem niederspannungsseitigen Terminal 4 erzeugt wird, können folglich zufriedenstellend ausgelöscht werden, und folglich kann eine wechselseitige Induktivitätskomponente zwischen dem hochspannungsseitigen Terminal 3 und dem niederspannungsseitigen Terminal 4 zufriedenstellend reduziert werden. Das Halbleiter-Leistungsmodul 1, bei dem eine Induktivitätskomponente zufriedenstellend reduziert sein kann, kann folglich bereitgestellt werden.A magnetic field at the high voltage side terminal 3 is generated, and a magnetic field at the low-voltage side terminal 4 Accordingly, a mutual inductance component between the high voltage side terminal can be satisfactorily canceled out, and thus a mutual inductance component can be generated 3 and the low-voltage terminal 4 be satisfactorily reduced. The semiconductor power module 1 in which an inductance component can be satisfactorily reduced can thus be provided.

Gemäß dem Halbleiter-Leistungsmodul 1 der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform beinhaltet das isolierende Substrat 41 selektiv die ersten Ausnehmungsregionen 76, die in Draufsicht die ersten Schaltbauteile 5 freilegen, und die zweite Ausnehmungsregion 77, die die zweiten Schaltbauteile 6 freilegt.According to the semiconductor power module 1 The present preferred embodiment includes the insulating substrate 41 selectively the first recessed regions 76 , which in plan view the first switching components 5 expose, and the second recess region 77 that the second switching components 6 exposes.

Die von den ersten Schaltbauteilen 5 erzeugte Wärme kann folglich von der Seite der hinteren Oberfläche 43 zu der Seite der vordere Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 abgeleitet werden, und zwar über die ersten Ausnehmungsregionen 76, und die von den zweiten Schaltbauteilen 6 erzeugte Wärme kann von der Seite der hinteren Oberfläche 43 hin zu der Seite der vorderen Oberfläche 42 des isolierenden Substrates 41 abgeleitet werden, und zwar über die zweite Ausnehmungsregion 77.The first of the switching components 5 generated heat can consequently from the side of the rear surface 43 to the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 be derived via the first recession regions 76 , and those of the second switching components 6 generated heat can be from the side of the back surface 43 towards the side of the front surface 42 of the insulating substrate 41 be derived, via the second recess region 77 ,

Temperaturanstiege der ersten Schaltbauteile 5 und der zweiten Schaltbauteile 6 können daher zufriedenstellend unterdrückt werden. Gemäß einer Anordnung, bei der das Trägersubstrat 44 auf der Seite der -Z-Richtung des isolierenden Substrates 41 angeordnet ist, insbesondere wie bei dem Halbleiter-Leistungsmodul 1 der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform, kann eine Ansammlung bzw. eine Anstauung von Wärme zwischen dem isolierenden Substrat 41 und dem Trägersubstrat 44 effektiv unterdrückt werden, indem das isolierende Substrat 41 mit den ersten Ausnehmungsregionen 76 und der zweiten Ausnehmungsregion 77 bereitgestellt wird.Temperature increases of the first switching components 5 and the second switching components 6 can therefore be satisfactorily suppressed. According to an arrangement in which the carrier substrate 44 on the side of - Z Direction of the insulating substrate 41 is arranged, in particular as in the semiconductor power module 1 According to the present preferred embodiment, accumulation of heat between the insulating substrate 41 and the carrier substrate 44 be effectively suppressed by the insulating substrate 41 with the first recession regions 76 and the second recess region 77 provided.

Zusätzlich hierzu ist gemäß dem Halbleiter-Leistungsmodul 1 der vorliegenden bevorzugten Ausführungsform das Wärmeableitungselement 35 an der Seite der hinteren Oberfläche 47 des Trägersubstrates 44 angeordnet. Die von den ersten Schaltbauteilen 5 erzeugte Wärme und die von den zweiten Schaltbauteile 6 erzeugte Wärme kann folglich zufriedenstellend zur Außenseite hin abgeleitet werden, und zwar über das Trägersubstrat 44 und das Wärmeableitungselement 35. Das Halbleiter-Leistungsmodul 1, das die Temperaturanstiege der ersten Schaltbauteile 5 und der zweiten Schaltbauteile 6 effektiv unterdrücken kann, kann folglich bereitgestellt werden.In addition, according to the semiconductor power module 1 In the present preferred embodiment, the heat dissipation member 35 on the side of the back surface 47 of the carrier substrate 44 arranged. The first of the switching components 5 generated heat and that of the second switching components 6 generated heat can thus be dissipated satisfactorily to the outside, through the carrier substrate 44 and the heat dissipation element 35 , The semiconductor power module 1 indicating the temperature rises of the first switching components 5 and the second switching components 6 can thus effectively be provided.

Obgleich oben eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben worden ist, kann die vorliegende Erfindung auch in anderen Ausführungen implementiert werden.Although a preferred embodiment of the present invention has been described above, the present invention may be implemented in other embodiments.

Beispielsweise wurde bei der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform ein Beispiel beschrieben, bei dem die einzelne Halbbrücken-Schaltung 7 gebildet ist durch die ersten Schaltbauteile 5 und die zweiten Schaltbauteile 6. Die Anzahl der ersten Schaltbauteile 5 und die Anzahl der zweiten Schaltbauteile 6 ist jedoch nicht hierauf eingeschränkt.For example, in the preferred embodiment described above, an example has been described in which the single half-bridge circuit 7 is formed by the first switching components 5 and the second switching components 6 , The number of first switching components 5 and the number of second switching components 6 but is not limited to this.

Die einzelne Halbbrücken-Schaltung 7 kann daher gebildet sein durch ein erstes Schaltbauteil 5 und ein zweites Schaltbauteil 6. Die einzelne Halbbrücken-Schaltung 7 kann gebildet sein durch zwei oder mehr erste Schaltbauteile 5 und durch zwei oder mehr zweite Schaltbauteile 6. The single half-bridge circuit 7 can therefore be formed by a first switching component 5 and a second switching component 6 , The single half-bridge circuit 7 may be formed by two or more first switching components 5 and by two or more second switching components 6 ,

Obgleich bei der bevorzugten Ausführungsform, die oben beschrieben wurde, ein Beispiel beschrieben wurde, bei dem MISFETs als die ersten Schaltbauteile 5 und als die zweiten Schaltbauteile 6 angewendet wurden, können stattdessen die in 9 oder 10 gezeigten Anordnungen angewendet werden.Although in the preferred embodiment described above, an example has been described in which MISFETs are referred to as the first switching devices 5 and as the second switching components 6 instead, the in 9 or 10 shown arrangements are applied.

Im Folgenden wird die Anordnung der 9 beschrieben, und hiernach wird die Anordnung der 10 beschrieben. 9 ist ein elektrisches Schaltungsdiagramm einer elektrischen Struktur gemäß einem ersten Modifikationsbeispiel des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 der 1. In 9 sind Anordnungen, die in 1, etc., gezeigt sind und die oben beschrieben sind, mit den gleichen Bezugsziffern versehen und deren Beschreibung wird weggelassen.The following is the arrangement of 9 and hereinafter the arrangement of the 10 described. 9 FIG. 10 is an electrical circuit diagram of an electrical structure according to a first modification example of the semiconductor power module. FIG 1 of the 1 , In 9 are arrangements that are in 1 , etc., shown and described above, are given the same reference numerals and their description is omitted.

Bei der Ausführung, die in 9 gezeigt ist, werden anstelle von MISFETs als die ersten Schaltbauteile 5 und die zweiten Schaltbauteile 6 IGBTs (Bipolartransistoren mit isoliertem Gate) angewendet.In the execution, in 9 are shown instead of MISFETs as the first switching devices 5 and the second switching components 6 IGBTs (Insulated Gate Bipolar Transistors) applied.

Das heißt, die Halbbrücken-Schaltung 7 ist durch IGBTs gebildet. Jedes der ersten Schaltbauteile 5 und der zweiten Schaltbauteile 6 kann einen IGBT aufweisen, der in einem Si-Substrat, einem SiC-Substrat oder in einem Halbleitersubstrat von einem Typ mit breiter Bandlücke gebildet ist.That is, the half-bridge circuit 7 is formed by IGBTs. Each of the first switching components 5 and the second switching components 6 may include an IGBT formed in a Si substrate, a SiC substrate, or a wide-band-gap type semiconductor substrate.

In diesem Fall beinhaltet jedes erste Schaltbauteil 5 eine erste Emitter-Elektrode 110 anstelle der ersten Source-Elektrode 10, eine erste Kollektor-Elektrode 111 anstelle der ersten Drain-Elektrode 11, und eine erste Gate-Elektrode 112 anstelle der ersten Gate-Elektrode 12.In this case, each first switching component includes 5 a first emitter electrode 110 instead of the first source electrode 10 , a first collector electrode 111 instead of the first drain electrode 11 , and a first gate electrode 112 instead of the first gate electrode 12 ,

Bei jedem ersten Schaltbauteil 5 bilden die erste Emitter-Elektrode 110 und die erste Kollektor-Elektrode 111 ein Paar von ersten Hauptelektroden, und die erste Gate-Elektrode 112 bildet eine erste Steuerelektrode, die den Strom steuert, der zwischen dem Paar von ersten Hauptelektroden fließt.Every first switching component 5 form the first emitter electrode 110 and the first collector electrode 111 a pair of first main electrodes, and the first gate electrode 112 forms a first control electrode which controls the current flowing between the pair of first main electrodes.

Jedes zweite Schaltbauteil 6 beinhaltet eine zweite Emitter-Elektrode 113 anstelle der zweiten Source-Elektrode 16, eine zweite Kollektor-Elektrode 114 anstelle der zweiten Drain-Elektrode 17, und eine zweite Gate-Elektrode 115 anstelle der zweiten Gate-Elektrode 18.Every second switching component 6 includes a second emitter electrode 113 instead of the second source electrode 16 , a second collector electrode 114 instead of the second drain electrode 17 , and a second gate electrode 115 instead of the second gate electrode 18 ,

Bei jedem zweiten Schaltbauteil 6 bilden die zweite Emitter-Elektrode 113 und die zweite Kollektor-Elektrode 114 ein Paar von ersten Hauptelektroden, und die zweite Gate-Elektrode 115 bildet eine erste Steuerelektrode, die einen Strom steuert, der zwischen dem Paar von ersten Hauptelektroden fließt.Every second switching component 6 form the second emitter electrode 113 and the second collector electrode 114 a pair of first main electrodes, and the second gate electrode 115 forms a first control electrode which controls a current flowing between the pair of first main electrodes.

Bei der in 9 gezeigten Ausführung sind die ersten Gate-Elektroden 112 elektrisch mit einem ersten Gate-Terminal 116 anstelle des ersten Gate-Terminals 14 verbunden, und die ersten Emitter-Elektroden 110 sind elektrisch mit einem ersten Emitter-Erfassungsterminal 117 anstelle des ersten Source-Erfassungs-Terminals 15 verbunden.At the in 9 The embodiments shown are the first gate electrodes 112 electrically with a first gate terminal 116 instead of the first gate terminal 14 connected, and the first emitter electrodes 110 are electrically connected to a first emitter detection terminal 117 instead of the first source acquisition terminal 15 connected.

Die zweiten Gate-Elektroden 115 sind elektrisch mit einem zweiten Gate-Terminal 118 anstelle des zweiten Gate-Terminals 20 verbunden, und die zweiten Emitter-Elektroden 113 sind elektrisch mit einem zweiten Emitter-Erfassungsterminal 119 anstelle des zweiten Source-Erfassungs-Terminals 21 verbunden. Selbst bei einer derartigen Anordnung können die gleichen Wirkungen aufgezeigt werden, wie die Wirkungen, die oben bei der bevorzugten Ausführungsform beschrieben worden sind.The second gate electrodes 115 are electrically connected to a second gate terminal 118 instead of the second gate terminal 20 connected, and the second emitter electrodes 113 are electrically connected to a second emitter detection terminal 119 instead of the second source acquisition terminal 21 connected. Even with such an arrangement, the same effects as the effects described above in the preferred embodiment can be exhibited.

10 ist ein elektrisches Schaltungsdiagramm einer elektrischen Struktur gemäß einem zweiten Modifikationsbeispiel des Halbleiter-Leistungsmoduls 1 der 1. In 10 werden Anordnungen, die in 1, etc. gezeigt sind und die oben beschrieben sind, mit den gleichen Bezugsziffern versehen und eine Beschreibung hiervon wird weggelassen. 10 FIG. 10 is an electrical circuit diagram of an electrical structure according to a second modification example of the semiconductor power module. FIG 1 of the 1 , In 10 be arrangements in 1 , etc., and those described above are given the same reference numerals, and a description thereof will be omitted.

Bei der Ausführung, die in 10 gezeigt ist, werden anstelle von MISFETs als die ersten Schaltbauteile 5 und die zweiten Schaltbauteile 6 BJTs (Bipolar-Transistoren) verwendet.In the execution, in 10 are shown instead of MISFETs as the first switching devices 5 and the second switching components 6 BJTs (bipolar transistors) used.

Das heißt, die Halbbrücken-Schaltung 7 ist gebildet aus BJTs. Jedes der ersten Schaltbauteile 5 und der zweiten Schaltbauteile 6 kann einen BJT enthalten, der in einem Si-Substrat, einem SiC-Substrat oder in einem Halbleitersubstrat von einem Typ mit breiter Bandlücke gebildet ist.That is, the half-bridge circuit 7 is made up of BJTs. Each of the first switching components 5 and the second switching components 6 may include a BJT formed in a Si substrate, a SiC substrate, or a wide-band-gap type semiconductor substrate.

In diesem Fall beinhaltet jedes erste Schaltbauteil 5 eine erste Emitter-Elektrode 120 anstelle der ersten Source-Elektrode 10, eine erste Kollektor-Elektrode 121 anstelle der ersten Drain-Elektrode 11, und eine erste Basis-Elektrode 122 anstelle der ersten Gate-Elektrode 12.In this case, each first switching component includes 5 a first emitter electrode 120 instead of the first source electrode 10 , a first collector electrode 121 instead of the first drain electrode 11 , and a first base electrode 122 instead of the first gate electrode 12 ,

Bei jedem ersten Schaltbauteil 5 bilden die erste Emitter-Elektrode 120 und die erste Kollektor-Elektrode 121 ein Paar von ersten Hauptelektroden, und die erste Basis-Elektrode 122 bildet eine erste Steuerelektrode, die einen Strom steuert, der zwischen dem Paar von ersten Hauptelektroden fließt.Every first switching component 5 form the first emitter electrode 120 and the first collector electrode 121 a pair of first main electrodes, and the first base electrode 122 forms a first control electrode which controls a current flowing between the pair of first main electrodes.

Jedes zweite Schaltbauteil 6 beinhaltet eine zweite Emitter-Elektrode 123 anstelle der zweiten Source-Elektrode 16, eine zweite Kollektor-Elektrode 124 anstelle der zweiten Drain-Elektrode 17, und eine zweite Basis-Elektrode 125 anstelle der zweiten Gate-Elektrode 18. Every second switching component 6 includes a second emitter electrode 123 instead of the second source electrode 16 , a second collector electrode 124 instead of the second drain electrode 17 , and a second base electrode 125 instead of the second gate electrode 18 ,

Bei jedem zweiten Schaltbauteil 6 bilden die zweite Emitter-Elektrode 123 und die zweite Kollektor-Elektrode 124 ein Paar von ersten Hauptelektroden, und die zweite Basis-Elektrode 125 bildet eine erste Steuerelektrode, die einen Strom steuert, der zwischen dem Paar von ersten Hauptelektroden fließt.Every second switching component 6 form the second emitter electrode 123 and the second collector electrode 124 a pair of first main electrodes, and the second base electrode 125 forms a first control electrode which controls a current flowing between the pair of first main electrodes.

Bei der in 10 gezeigten Ausführung sind die ersten Basis-Elektroden 122 elektrisch mit einem ersten Basis-Terminal 126 anstelle des ersten Gate-Terminals 14 verbunden, und die ersten Emitter-Elektroden 120 sind elektrisch mit einem ersten Emitter-Erfassungsterminal 127 anstelle des ersten Source-Erfassungs-Terminals 15 verbunden.At the in 10 The embodiments shown are the first base electrodes 122 electrically with a first base terminal 126 instead of the first gate terminal 14 connected, and the first emitter electrodes 120 are electrically connected to a first emitter detection terminal 127 instead of the first source acquisition terminal 15 connected.

Die zweiten Basis-Elektroden 125 sind elektrisch mit einem zweiten Basis-Terminal 128 anstelle des zweiten Gate-Terminals 20 verbunden, und die zweite Emitter-Elektroden 123 sind elektrisch mit einem zweiten Emitter-Erfassungsterminal 129 verbunden, und zwar anstelle des zweite Source-Erfassungs-Terminals 21. Selbst mit einer derartigen Anordnung können die gleichen Effekte aufgezeigt werden wie jene Effekte bzw. Wirkungen, die oben in Bezug auf die bevorzugte Ausführungsform beschrieben worden sind.The second base electrodes 125 are electric with a second base terminal 128 instead of the second gate terminal 20 connected, and the second emitter electrodes 123 are electrically connected to a second emitter detection terminal 129 instead of the second source acquisition terminal 21 , Even with such an arrangement, the same effects as those effects described above with respect to the preferred embodiment can be exhibited.

Von dem oben genannten Si-Substrat, dem oben genannten SiC-Substrat und dem oben genannten Halbleitersubstrat vom Typ mit breiter Bandlücke sind jeder MISFET, IGBT, und BJT, die oben erwähnt sind, vorzugsweise in dem SiC-Substrat oder in dem Halbleitersubstrat vom Typ mit breiter Bandlücke gebildet. Eine zusätzliche Beschreibung des Halbleitersubstrates vom Typ mit breiter Bandlücke wird nunmehr vorgestellt.Of the above-mentioned Si substrate, the above-mentioned SiC substrate, and the above-mentioned wide bandgap type semiconductor substrate, each MISFET, IGBT, and BJT mentioned above are preferably in the SiC substrate or in the semiconductor substrate of the type formed with a wide band gap. An additional description of the wide bandgap type semiconductor substrate will now be presented.

Das Halbleitersubstrat vom Typ mit breiter Bandlücke bezieht sich insbesondere auf ein Substrat, das gebildet ist aus einem Halbleitermaterial, das eine Bandlücke mit einem größeren Wert als eine Bandlücke von Silizium besitzt (= etwa 1,0 eV bis 1,2 eV).Specifically, the wide-band-gap type semiconductor substrate refers to a substrate formed of a semiconductor material having a band gap larger in value than a band gap of silicon (= about 1.0 eV to 1.2 eV).

Als Beispiele eines Halbleitermaterials des Halbleitersubstrates vom Typ mit breiter Bandlücke lassen sich Gruppe-III-V-Halbleiter, einschließlich von Gruppe-III-Elementen und Gruppe-V-Elementen, Nitrid-Halbleiter (zum Beispiel Galliumnitrid, etc.), und Diamant, etc. nennen. Das oben erwähnte SiC-Substrat ist ein Beispiel des Halbleitersubstrates vom Typ mit breiter Bandlücke.As examples of a semiconductor material of the wide-band-gap type semiconductor substrate, there may be group III-V semiconductors including group III elements and group V elements, nitride semiconductors (for example gallium nitride, etc.), and diamond, call etc. The above-mentioned SiC substrate is an example of the wide-band-gap type semiconductor substrate.

Die vorliegende Anmeldung entspricht der Japanischen Patentanmeldung mit der Nr. 2016-110383 , die am 1. Juni 2016 beim Japanischen Patentamt eingereicht wurde, und die gesamte Offenbarung dieser Anmeldung soll vorliegend durch Bezugnahme enthalten sein.The present application corresponds to Japanese Patent Application No. 2016-110383 , filed with the Japanese Patent Office on Jun. 1, 2016, and the entire disclosure of this application is incorporated herein by reference.

Obgleich oben bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben worden sind, handelt es sich hierbei lediglich um spezielle Beispiele, die dazu verwendet werden, um den technischen Gehalt der vorliegenden Erfindung klarzustellen, und die vorliegende Erfindung sollte nicht so interpretiert werden, dass sie nur auf diese speziellen Beispiele beschränkt ist, wobei der Grundgedanke und der Schutzbereich der vorliegenden Erfindung ausschließlich durch die beigefügten Ansprüche eingeschränkt sind.Although preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, these are merely specific examples used to clarify the technical content of the present invention, and the present invention should not be construed as limited to these specific examples is limited, the spirit and scope of the present invention being limited only by the appended claims.

11
Halbleiter-LeistungsmodulSemiconductor power module
22
Ausgangsseitiges TerminalOutput terminal
33
Hochspannungsseitiges TerminalHigh voltage side terminal
44
Niederspannungsseitiges TerminalLow voltage side terminal
55
Erstes SchaltbauteilFirst switching component
66
Zweites SchaltbauteilSecond switching component
77
Halbbrücken-SchaltungHalf-bridge circuit
3131
GehäusekörperabschnittHousing body portion
3535
Wärmeableitungselement bzw. KühlelementHeat dissipation element or cooling element
4141
Isolierendes SubstratInsulating substrate
4242
Vordere Oberfläche des isolierenden SubstratesFront surface of the insulating substrate
4343
Hintere Oberfläche des isolierenden SubstratesRear surface of the insulating substrate
4444
Trägersubstratcarrier substrate
4646
Vordere Oberfläche des TrägersubstratesFront surface of the carrier substrate
4747
Hintere Oberfläche des TrägersubstratesRear surface of the carrier substrate
7676
Erste Ausnehmungsregion des isolierenden SubstratesFirst recess region of the insulating substrate
7777
Zweite Ausnehmungsregion des isolierenden SubstratesSecond recess region of the insulating substrate

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Claims (21)

Halbleiter-Leistungsmodul, mit: einem isolierenden Substrat, das eine Oberfläche und eine weitere Oberfläche aufweist; einem ausgangsseitigen Terminal, das an einer Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist; einem ersten Leistungsversorgungs-Terminal, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist; einem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal, an das eine Spannung mit einer Größe anzulegen ist, die gegenüber einer Spannung unterschiedlich ist, die an das erste Leistungsversorgungs-Terminal angelegt wird, wobei das zweite Leistungsversorgungs-Terminal an einer anderen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist, so, dass es dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal über das isolierende Substrat gegenüberliegt; einem ersten Schaltbauteil, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist und das elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal und dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal verbunden ist; und einem zweiten Schaltbauteil, das an der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist und das elektrisch mit dem ausgangsseitigen Terminal und dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal verbunden ist. Semiconductor power module, with: an insulating substrate having a surface and another surface; an output side terminal disposed on a surface side of the insulating substrate; a first power supply terminal disposed on the one surface side of the insulating substrate; a second power supply terminal to which a voltage of a magnitude different from a voltage applied to the first power supply terminal is applied, the second power supply terminal being disposed on another surface side of the insulating substrate; in that it faces the first power supply terminal via the insulating substrate; a first switching device disposed on the one surface side of the insulating substrate and electrically connected to the output side terminal and the first power supply terminal; and a second switching device disposed on the one surface side of the insulating substrate and electrically connected to the output side terminal and the second power supply terminal. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 1, wobei durch das ausgangsseitige Terminal, das erste Leistungsversorgungs-Terminal, das zweite Leistungsversorgungs-Terminal, das erste Schaltbauteil und das zweite Schaltbauteil eine Halbbrücken-Schaltung gebildet ist.Semiconductor power module according to Claim 1 wherein a half-bridge circuit is formed by the output-side terminal, the first power-supply terminal, the second power-supply terminal, the first switching device, and the second switching device. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Richtung eines Stromes, der durch das erste Leistungsversorgungs-Terminal fließt, und eine Richtung eines Stromes, der durch das zweite Leistungsversorgungs-Terminal fließt, so gewählt sind, dass sie über das isolierende Substrat gegenläufig bzw. entgegengesetzt sind.Semiconductor power module according to Claim 1 or 2 wherein a direction of a current flowing through the first power supply terminal and a direction of a current flowing through the second power supply terminal are set to be opposite from each other via the insulating substrate. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das erste Leistungsversorgungs-Terminal ein hochspannungsseitiges Terminal ist und das zweite Leistungsversorgungs-Terminal ein niedrigspannungsseitiges Terminal ist, an das eine Spannung anzulegen ist, die niedriger ist als die Spannung, die an das erste Leistungsversorgungs-Terminal angelegt wird.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 3 wherein the first power supply terminal is a high voltage side terminal and the second power supply terminal is a low voltage side terminal to which a voltage lower than the voltage applied to the first power supply terminal is to be applied. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das isolierende Substrat eine entfernte Region bzw. Ausnehmungs-Region, durch die hindurch Wärme, die von dem ersten Schaltbauteil und dem zweiten Schaltbauteil erzeugt ist, von der einen Oberflächenseite hin zu der anderen Oberflächenseite des isolierenden Substrates abgeleitet wird.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 4 wherein the insulating substrate is a removed region through which heat generated by the first switching device and the second switching device is dissipated from the one surface side to the other surface side of the insulating substrate. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner mit: einem Trägersubstrat, das der einen Oberfläche des isolierenden Substrates gegenüberliegt und das eine vordere Oberfläche aufweist, die das erste Schaltbauteil und das zweite Schaltbauteil trägt, wobei das Trägersubstrat zu der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates über ein Intervall bzw. einen Abstand von dem isolierenden Substrat angeordnet ist.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 5 , further comprising: a support substrate facing the one surface of the insulating substrate and having a front surface supporting the first switching device and the second switching device, the carrier substrate being extended to the one surface side of the insulating substrate over an interval of the insulating substrate is arranged. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 6, wobei das Trägersubstrat eine hintere Oberfläche aufweist, die an einer der vorderen Oberfläche gegenüberliegenden Seite positioniert ist, und wobei ein Wärmeableitungselement an der hinteren Oberfläche des Trägersubstrats angeordnet ist.Semiconductor power module according to Claim 6 wherein the support substrate has a rear surface positioned on an opposite side of the front surface, and wherein a heat dissipation member is disposed on the back surface of the support substrate. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das isolierende Substrat eine Dicke von nicht mehr als 5mm aufweist.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 7 wherein the insulating substrate has a thickness of not more than 5mm. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das ausgangsseitige Terminal eine Dicke hat, die größer ist als eine Dicke des ersten Leistungsversorgungs-Terminals oder als eine Dicke des zweiten Leistungsversorgungs-Terminal.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 8th wherein the output side terminal has a thickness that is greater than a thickness of the first power supply terminal or a thickness of the second power supply terminal. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei das ausgangsseitige Terminal eine Dicke hat, die nicht geringer ist als ein Gesamtwert einer Dicke des ersten Leistungsversorgungs-Terminals und einer Dicke des zweiten Leistungsversorgungs-Terminals.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 9 wherein the output side terminal has a thickness that is not less than a total value of a thickness of the first power supply terminal and a thickness of the second power supply terminal. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei das erste Schaltbauteil bzw. die ersten Schaltbauteile auf der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist bzw. sind und das zweite Schaltbauteil bzw. die zweiten Schaltbauteile auf der einen Oberflächenseite des isolierenden Substrates angeordnet ist bzw. sind.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 10 wherein the first switching element (s) is disposed on the one surface side of the insulating substrate, and the second switching element (s) is disposed on the one surface side of the insulating substrate. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 11, ferner mit: einem Kunstharz, das das isolierende Substrat versiegelt, derart, dass das ausgangsseitige Terminal, das erste Leistungsversorgungs-Terminal und das zweite Leistungsversorgungs-Terminal selektiv freigelegt sind, und wobei das erste Leistungsversorgungs-Terminal und das zweite Leistungsversorgungs-Terminal zusammen mit dem isolierenden Substrat gegenüber dem Kunstharz freigelegt sind.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 11 , further comprising: a resin sealing the insulating substrate such that the output side terminal, the first power supply terminal and the second power supply terminal are selectively exposed, and wherein the first power supply terminal and the second power supply terminal together with the insulating substrate are exposed to the resin. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 12, wobei das erste Leistungsversorgungs-Terminal, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, an einer Position in einem Abstand von einer Umfangskante des isolierenden Substrates in Richtung hin zu einer inneren Seite angeordnet ist, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, und wobei das zweite Leistungsversorgungs-Terminal, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, an einer Position in einem Abstand von einer Umfangskante des isolierenden Substrates in Richtung hin zu einer inneren Seite angeordnet ist, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist. Semiconductor power module according to Claim 12 wherein the first power supply terminal exposed to the resin is disposed at a position at a distance from a peripheral edge of the insulating substrate toward an inner side exposed to the resin, and wherein the second power supply Terminal, which is exposed to the resin, is disposed at a position at a distance from a peripheral edge of the insulating substrate toward an inner side, which is exposed to the resin. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 13, wobei eine Distanz zwischen einer Umfangskante des ersten Leistungsversorgungs-Terminals, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, und der Umfangskante des isolierenden Substrates, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, auf einen Wert von nicht weniger als 2 mm eingestellt ist, und wobei eine Distanz zwischen einer Umfangskante des zweiten Leistungsversorgungs-Terminals, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, und der Umfangskante des isolierenden Substrates, das gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, auf einen Wert von nicht weniger als zwei 2 mm eingestellt ist.Semiconductor power module according to Claim 13 wherein a distance between a peripheral edge of the first power supply terminal exposed to the resin and the peripheral edge of the insulating substrate exposed to the resin is set to a value of not less than 2 mm, and a distance between a peripheral edge of the second power supply terminal exposed to the resin and the peripheral edge of the insulating substrate exposed to the resin is set to a value of not less than two 2 mm. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 12 bis 14, wobei das ausgangsseitige Terminal an einer Position angeordnet ist, bei der es in einer Draufsicht dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal und dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal über das Kunstharz gegenüberliegt.Semiconductor power module according to one of Claims 12 to 14 wherein the output side terminal is disposed at a position opposite to the first power supply terminal and the second power supply terminal via the resin in a plan view. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 12 bis 15, ferner mit: einem ersten Steuer-Terminal, das das erste Schaltbauteil antreibt und steuert; und einem zweiten Steuer-Terminal, das das zweite Schaltbauteil antreibt und steuert; und wobei das Kunstharz das isolierende Substrat so versiegelt, dass das erste Steuer-Terminal und das zweite Steuer-Terminal selektiv freigelegt sind.Semiconductor power module according to one of Claims 12 to 15 , further comprising: a first control terminal that drives and controls the first switching device; and a second control terminal that drives and controls the second switching device; and wherein the synthetic resin seals the insulating substrate so that the first control terminal and the second control terminal are selectively exposed. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 16, wobei das erste Steuer-Terminal und das zweite Steuer-Terminal gegenüber dem Kunstharz in einer Richtung freigelegt sind, die sich von einer Richtung unterscheidet, in der das ausgangsseitige Terminal gegenüber dem Kunstharz freigelegt ist, und von einer Richtung, in der das erste Leistungsversorgungs-Terminal und das zweite Leistungsversorgungs-Terminal gegenüber dem Kunstharz freigelegt sind.Semiconductor power module according to Claim 16 wherein the first control terminal and the second control terminal are exposed to the resin in a direction different from a direction in which the output-side terminal is exposed to the resin, and from a direction in which the first power supply Terminal and the second power supply terminal are exposed to the resin. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 16 oder 17, wobei das erste Schaltbauteil ein Paar von ersten Hauptelektroden und eine erste Steuerelektrode aufweist, durch die ein zwischen dem Paar von ersten Hauptelektroden fließender Strom gesteuert wird, wobei das zweite Schaltbauteil ein Paar von zweiten Hauptelektroden und eine zweite Steuerelektrode aufweist, durch die ein zwischen dem Paar von zweiten Hauptelektroden fließender Strom gesteuert wird, wobei das erste Steuer-Terminal elektrisch mit der ersten Steuerelektrode des ersten Schaltbauteils verbunden ist, und wobei das zweite Steuer-Terminal elektrisch mit der zweiten Steuerelektrode des zweiten Schaltbauteils verbunden ist.Semiconductor power module according to Claim 16 or 17 wherein the first switching device comprises a pair of first main electrodes and a first control electrode through which a current flowing between the pair of first main electrodes is controlled, the second switching element having a pair of second main electrodes and a second control electrode through which one between the A pair of second main electrodes flowing current is controlled, wherein the first control terminal is electrically connected to the first control electrode of the first switching device, and wherein the second control terminal is electrically connected to the second control electrode of the second switching device. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 18, wobei das erste Schaltbauteil und das zweite Schaltbauteil einen MISFET, einen IGBT oder einen BJT beinhalten.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 18 wherein the first switching device and the second switching device include a MISFET, an IGBT or a BJT. Halbleiter-Leistungsmodul nach Anspruch 19, wobei der MISFET, der IGBT oder der BJT in einem Si-Substrat, in einem SiC-Substrat oder in einem Substrat aus einem Halbleiter von einem Typ mit breiter Bandlücke gebildet ist.Semiconductor power module according to Claim 19 wherein the MISFET, the IGBT or the BJT is formed in a Si substrate, in a SiC substrate or in a substrate of a wide-band-gap type semiconductor. Halbleiter-Leistungsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 20, wobei eine Spannung von nicht weniger als 500 V zwischen dem ersten Leistungsversorgungs-Terminal und dem zweiten Leistungsversorgungs-Terminal angelegt wird.Semiconductor power module according to one of Claims 1 to 20 wherein a voltage of not less than 500 V is applied between the first power supply terminal and the second power supply terminal.
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