DE112011106020T5 - Integrierte optomechanische Silizium-Gyroskope (OMGS) - Google Patents
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Abstract
Ein System mit einem optomechanischen Gyroskop-Gerät. Eine optomechanische Scheibe agiert als ein optischer Ringresonator und ein mechanischer Scheibenresonator. Ein Drivelaser generiert ein optisches Drivesignal. Ein Drivekanal agiert als ein Wellenleiter für das optische Drivesignal und schließt Driveelektroden in einer ersten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe ein. Die Driveelektroden, erregen den Ring durch evaneszente Kopplung. Ein Drivefotodetektor ist konfiguriert, ein optisches Ausgangssignal vom Drivekanal zu empfangen. Ein Abtastleser generiert ein optisches Abtastsignal. Ein Abtastkanal agiert als ein Wellenleiter für das optische Abtastsignal und schließt Abtastelektroden in einer zweiten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe ein. Ein Abtastfotodetektor ist konfiguriert, ein optisches Ausgangssignal vom Abtastkanal zu empfangen.
Description
- TECHNISCHES GEBIET
- Ausführungsformen der Erfindung beziehen sich auf optomechanische Geräte. Insbesondere beziehen sich Ausführungsformen der Erfindung auf optomechanische Gyroskope.
- HINTERGRUND
- Gyroskope sind Geräte, welche die Winkelgeschwindigkeit messen, die für viele Anwendungen nützlich ist, einschließlich dynamischer Fahrzeugsteuerung, Gestikerkennung, Navigation usw. Gyroskop basierte Systeme werden momentan in vielen Gebieten verwendet, einschließlich Raumfahrtnavigation, Industriemaschinenüberwachung, elektronisches Stabilitätsprogramm für Kraftfahrzeuge, Handgeräte, usw. Entscheidend für die Gyroskopleistung sind Sensitivität, Bandbreite und Stabilität (oder Bias-Drift). Die höchste Leistung kann momentan bis zu 1.000.000 $ kosten und basiert häufig auf Optik und weist eine Drift bis hinunter zu einigen Grad/h oder besser auf. Am anderen Ende des Spektrums kosten Gyroskope für Verbraucher zurzeit ungefähr 1 $ pro Achse, sie basieren auf mikroelektromechanischen System-(MEMS)-Technologien und leiden unter einer viel höheren Drift, wie beispielsweise im Bereich von 50–100 Grad/h. Für persönliche Navigation sind Dreiachsengyroskope, die eine Drift im Bereich von einzelnen Graden/h aufweisen, während sie die Sensitivität und Bandbreite aufrechterhalten, um sowohl langsame als auch schnelle Winkelbewegungen zu umfassen, wünschenswert. Dies ist grundsätzlich unter Verwendung bekannter elektrostatischer MEMS-Gyroskope unerreichbar.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
- Erfindungsgemäße Ausführungsformen werden beispielhaft und in keiner Weise einschränkend in den Figuren der begleitenden Zeichnungen dargestellt, wobei sich gleiche Bezugsnummern auf ähnliche Elemente beziehen.
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1a ist eine Draufsicht einer Ausführungsform eines integrierten optomechanischen Silizium-Gyroskops. -
1b ist eine Seitenansicht einer Ausführungsform eines integrierten optomechanischen Silizium-Gyroskops. -
2a ist ein Querschnitt einer Ausführungsform eines siliziumphotonischen optomechanischen Gyroskops vor einer MEMS-Freigabe. -
2b ist ein Querschnitt einer Ausführungsform eines siliziumphotonischen optomechanischen Gyroskops nach einer MEMS-Freigabe. -
2c ist ein Querschnitt einer Ausführungsform eines siliziumphotonischen optomechanischen Gyroskops nach einem Wafer Level Packaging. -
3 ist ein Flussdiagramm einer Ausführungsform einer Technik für das Verwenden eines optomechanischen Gyroskops. -
4 ist ein Blockdiagramm einer Ausführungsform einer Elektronik. - AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
- Bei der folgenden Beschreibung werden zahlreiche spezifische Details gegeben. Erfindungsgemäße Ausführungsformen können jedoch ohne diese spezifischen Details umgesetzt werden. In anderen Fällen wurden wohlbekannte Schaltungen, Strukturen und Techniken nicht im Detail gezeigt, um das Verständnis dieser Beschreibung nicht in den Hintergrund rücken zu lassen. Hier werden Ausführungsformen von Gyroskopen beschrieben, die Silizium-Photonik verwenden, um ein optomechanisches Gyroskop (OMG) mit hoher Leistung (z. B. Navigationsgüte) und relativ niedrigen Kosten zu ermöglichen. Dieses OMG verwendet Optomechanik, um optomechanisch umgewandelte Trägheitssensoren (einschließlich Gyroskopen und Beschleunigungsmessern) in einer relativ kostengünstigen Silizium-Photonik-Plattform bereitzustellen. Bei verschiedenen Ausführungsformen schließt das siliziumphotonische OMG einen Ringresonator ein, der durch einen zentralen Punkt ausgesetzt wird. Eine optische Resonanz wird im Ring durch evaneszente Kopplung von einem angrenzenden Wellenleiter (ein Drivekanal) erregt. Durch Amplitudenmodulieren des Lichtes bei der mechanischen Resonanzfrequenz der Scheibe wird die Scheibe aufgrund von optomechanischen Kräften (entweder Strahlungsdruck oder optische Gefällskraft) in Schwingung versetzt. Typische mechanische Resonanzfrequenzen können im Bereich von 100 kHz bis 10 MHz liegen. Sobald die Scheibe mechanisch schwingt, agiert sie ganz wie ein resonanter MEMS-Sensor. Die Schwingungsform wird proportional zur externen Beschleunigung (im Fall von einem Beschleunigungsmesser) oder Rotation (oder Coriolisbeschleunigung, im Fall von einem Gyroskop) gestört.
1a ist eine Draufsicht einer Ausführungsform eines integrierten optomechanischen Silizium-Gyroskops.1b ist eine Seitenansicht einer Ausführungsform eines integrierten optomechanischen Silizium-Gyroskops. Die Komponenten der1a und1b können auf dem Substrat100 hergestellt werden. Bei einer Ausführungsform können Widerstandsheizelemente (nicht veranschaulicht in den Figuren) zur Chiplage hinzugefügt werden, um eine konstante Temperatur der Bauelemente aufrechtzuerhalten und die mechanischen und optischen Eigenschaften stabil zu halten. Der Drivelaser115 und Abtastleser150 können Hybridlaser oder diskrete (externe) Laser sein. Die Laser können jede Art von aus dem Stand der Technik bekannte Laser sein. Bei einer Ausführungsform kann der Drivelaser115 und der Abtastleser150 das ausgestrahlte Licht bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe140 modulieren. Bei einer weiteren Ausführungsform kann der optionale Modulator120 verwendet werden, um das Licht vom Drivelaser115 zur mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe140 zu modulieren. Der Drivelaser115 ist optisch mit dem Drivekanal110 gekoppelt, der einen Wellenleiter einschließen kann. Der Fotodetektor130 ist ebenfalls optisch mit dem Drivekanal110 gekoppelt, um Licht vom Drivelaser115 zu erkennen. Der Fotodetektor130 kann beispielsweise eine integrierte Hybrid-Fotodiode oder ein diskreter (externer) Detektor sein. Der Abtastleser150 ist optisch mit dem Abtastkanal155 gekoppelt, der einen Wellenleiter umfassen kann. Der Fotodetektor175 ist auch optisch mit dem Abtastkanal155 gekoppelt, um Licht vom Abtastleser150 zu erkennen. Der Fotodetektor175 kann beispielsweise eine integrierte Hybrid-Fotodiode oder ein diskreter (externer) Detektor sein. Im Beispiel der1a und1b werden separate Laser und Fotodetektoren verwendet. Bei einer alternativen Ausführungsform kann ein einzelner Laser und/oder Fotodetektor in Verbindung mit Wellenleiter-Splittern verwendet werden, um das optische Signal zu teilen und zu kombinieren. Bei einer Ausführungsform kann der Laser I a feedback lop unter Verwendung des Drivefotodetektors gesperrt werden, um eine konsistente Laserwellenlänge aufrechtzuerhalten. Bei einer Ausführungsform sind die Driveelektroden125 positioniert, um eine optische Resonanz in der optomechanischen Scheibe140 durch evaneszente Kopplung zu induzieren. Wenn das Licht vom Drivelaser115 bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe140 moduliert wird, Transduktion zwischen Drivekanal110 und optomechanischer Scheibe140 an den Driveelektroden125 , um zu bewirken, dass die optomechanische Scheibe140 resoniert. Sobald optomechanische Scheibe140 resoniert, reagiert sie auf physische Bewegung des Substrates, auf das sie aufgebracht ist. Die Schwingungsform wird proportional zur externen Beschleunigung (im Fall von einem Beschleunigungsmesser) oder Rotation (oder Coriolisbeschleunigung, im Fall von einem Gyroskop) gestört. Diese Änderung in der Schwingungsform wird durch evaneszente Kopplung zwischen optomechanischer Scheibe140 und den Abtastelektroden160 am Knoten des Drive-Modus erkannt. Die Erkennung eines Signals beim Abtastfotodetektor175 zeigt die Präsenz der externen Bewegung an. Die externe Bewegung ist proportional zur Amplitude des Signals. Bei einer Ausführungsform ist der Abtastkanal155 mit einem oder mehreren Knoten ausgerichtet (z. B. 45°, 135°, 225°, 315°) und Drivekanal110 ist mit einem oder mehreren Schwingungsbäuchen ausgerichtet (z. B. 0°, 90°, 180°, 270°).2a ist ein Querschnitt einer Ausführungsform eines siliziumphotonischen optomechanischen Gyroskops vor einer MEMS-Freigabe. Das Beispiel von2a veranschaulicht eine Ansicht des Querschnitts der optomechanischen Gyroskop-Architektur der1a und1b . Der Drivelaser215 ist konfiguriert, ein optisches Signal durch den Modulator220 und die SiN-Koppler225 an die optomechanische Scheibe240 bereitzustellen, die nicht freigegeben wurde. Der Fotodetektor230 ist positioniert, um optische Signale zu empfangen.2b ist ein Querschnitt einer Ausführungsform eines siliziumphotonischen optomechanischen Gyroskops nach einer MEMS-Freigabe. Nach dem bzw. den MEMS-Freigabeschritten existieren Hohlräume260 unter der optomechanischen Scheibe240 .2c ist ein Querschnitt einer Ausführungsform eines siliziumphotonischen optomechanischen Gyroskops nach einem Wafer Level Packaging. Wafer Level Package275 veranschaulicht in2c kann unter Verwendung von Waferbonden angefügt werden, um die Umgebung der schwingenden Scheibe zu kapseln und zu regulieren, um einen hohen mechanischen Qualitätsfaktor sicherzustellen.3 ist ein Flussdiagramm einer Ausführungsform einer Technik für das Verwenden eines optomechanischen Gyroskops. Ein optisches Signal wird durch einen Laser generiert und bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe moduliert,310 . Wie oben beschrieben, kann dies durch Modulieren des Lichtes mit einem Modulator erreicht werden oder der Laser kann abgestimmt werden, um Licht mit der korrekten Frequenz zu generieren. Das modulierte Licht induziert Schwingungen in der optomechanischen Scheibe durch evaneszente Kopplung,320 . Die optomechanische Scheibe arbeitet dann als ein optischer Ringresonator und ein mechanischer Scheibenresonator. Die physische Bewegung der optomechanischen Scheibe beispielsweise durch die Bewegung eines Gerätes, das die optomechanische Scheibe enthält, resultiert in Änderungen im optischen Signal, das vom Abtastkanalfotodetektor empfangen wird. Der Abtastkanalfotodetektor erfasst Änderungen im optischen Signal beim Abtastkanal,330 . Die Bewegung des Gerätes wird von den erfassten Signaländerungen bestimmt,340 . Die Bewegung ist proportional zu dem vom Fotodetektor erfassten Signal. Ein Signal oder eine andere Anzeige wird generiert, um die Bewegung anzuzeigen,350 . Das Signal kann gesendet oder eine Anzeige gespeichert werden, oder eine Schnittstelle kann modifiziert werden, oder viele andere Aktionen können als Reaktion auf die Bewegung unternommen werden.4 ist ein Blockdiagramm einer Ausführungsform einer Elektronik. Die in4 veranschaulichte Elektronik soll eine Auswahl an Elektronik (entweder drahtgebunden oder drahtlos) darstellen, einschließlich beispielsweise eines Tablet-Geräts, Smartphones, Desktop-Computer-Systems, Laptop-Systems, Servers usw. Alternative Elektronik kann mehr, weniger und/oder unterschiedliche Komponenten einschließen. Die Elektronik400 beinhaltet Bus405 oder ein anderes Kommunikationsgerät, um Informationen zu kommunizieren, und den bzw. die Prozessoren410 , die mit dem Bus405 gekoppelt sind und Informationen verarbeiten können. Die Elektronik400 kann mehrere Prozessoren und/oder Koprozessoren einschließen. Die Elektronik400 kann weiter Direktzugriffsspeicher (random access memory, RAM) oder ein anderes dynamisches Speichergerät420 (als Speicher bezeichnet), das mit Bus405 gekoppelt ist, beinhalten, und sie kann Informationen und Befehle speichern, die von Prozessor410 ausgeführt werden können. Der Speicher420 kann auch zum Speichern von temporären Variablen oder anderen Zwischeninformationen während einer Ausführung von Befehlen durch die Prozessoren410 verwendet werden. Die Elektronik400 kann ebenfalls Festwertspeicher (Read Only Memory, ROM) und/oder ein anderes statisches Speichergerät430 beinhalten, das mit Bus405 gekoppelt ist und statische Informationen und Anweisungen für Prozessor410 speichern kann. Das Datenspeichergerät440 kann mit Bus405 gekoppelt sein, um Informationen und Anweisungen zu speichern. Das Datenspeichergerät440 (beispielsweise eine Magnetdiskette oder optische Disc und ein entsprechendes Laufwerk) kann mit der Elektronik400 gekoppelt sein. Die Elektronik400 kann auch über den Bus405 mit dem Anzeigegerät450 gekoppelt sein, das jede Art von Anzeigegerät wie ein Touchscreen sein kann, um einem Benutzer Informationen anzuzeigen. Das Eingabegerät460 kann jede Art von Schnittstelle und/oder Gerät sein, um einem Benutzer zu ermöglichen, eine Eingabe in Elektronik400 bereitzustellen. Das Eingabegerät kann Tasten und/oder Schaltflächen und einen Sprach- oder Lautsprechereingang einschließen, um Informationen und eine Befehlsauswahl an die Prozessoren410 zu kommunizieren. Die Elektronik400 kann weiter die Sensoren470 einschließen, die verwendet werden können, um die Funktionalität zu unterstützen, die durch Elektronik400 bereitgestellt wird. Die Sensoren470 können beispielsweise ein Gyroskop, einen Näherungssensor, einen Lichtsensor usw. einschließen. Jede Anzahl von Sensoren und Sensortypen kann unterstützt werden. Bei einer Ausführungsform kann das Gyroskop das hier beschriebene optomechanische Gyroskop sein. Die Elektronik400 kann weiter die Netzwerkschnittstellen480 beinhalten, um Zugriff auf ein Netzwerk wie ein lokales Netzwerk zu ermöglichen. Die Netzwerkschnittstellen480 können zum Beispiel eine drahtlose Netzwerkschnittstelle einschließen, die Antenne485 aufweist, welche eine oder mehrere Antennen repräsentieren kann. Die Netzwerkschnittstellen480 können ebenfalls beispielsweise eine verdrahtete Netzwerkschnittstelle einschließen, um mit entfernten Geräten über das Netzwerkkabel487 zu kommunizieren, das beispielsweise ein Ethernetkabel, ein Koaxialkabel, ein Lichtwellenleiter, ein serielles Kabel oder ein paralleles Kabel sein kann. Ein Netzwerkzugang kann auch gemäß den Standards 4G/LTE bereitgestellt werden. Bei einer Ausführungsform können die Netzwerkschnittstellen480 Zugriff auf ein lokales Netzwerk bereitstellen, indem sie beispielsweise dem Standard IEEE 802.11b und/oder IEEE 802.11g und/oder IEEE 802.11n entspricht, und/oder die drahtlose Netzwerkschnittstelle kann Zugriff auf ein Personal Area Network bereitstellen, indem sie beispielsweise Bluetooth-Standards entspricht. Andere drahtlose Netzwerkschnittstellen und/oder Protokolle, wie z. B. 4G/LTE, können ebenfalls unterstützt werden. IEEE 802.11b entspricht IEEE Std. 802.11b – 1999 „Netzwerke in lokalen und Großstadtgebieten, Teil 11: Wireless LAN Medium Access Control (MAC) und Physical Layer-(PHY)-Spezifikationen: Erweiterung der physikalischen Schicht mit höherer Geschwindigkeit im 2,4-GHz-Band”, zugelassen am 16. September 1999, sowie zugehörige Dokumente. IEEE 802.11g entspricht IEEE Std. 802.11g – 2003 „Netzwerke in lokalen und Großstadtgebieten, Teil 11: Wireless LAN Medium Access Control (MAC) und Physical Layer-(PHY)-Spezifikationen, Zusatz 4: Weitere Erweiterung mit höherer Geschwindigkeit im 2,4-GHz-Band”, zugelassen am 27. Juni 2003, sowie zugehörige Dokumente. Bluetooth-Protokolle sind beschrieben in „Spezifikation des Bluetooth-Systems: Kern, Version 1.1”, veröffentlicht am 22. Februar 2001 von der Bluetooth Special Interest Group, Inc. Associated, und vorherige oder nachfolgende Versionen des Bluetooth-Standards können ebenfalls unterstützt werden. Zusätzlich zu oder anstatt Kommunikation über Wireless-LAN-Standards können die Netzwerkschnittstellen480 drahtlose Kommunikationen unter Verwendung von beispielsweise Zeitmultiplexmehrfachzugriff-(Time Division, Multiple Access, TDMA)-Protokollen, Global System for Mobile Communications-(GSM)-Protokollen, Codeverteilvielfachzugriff-(Code Division, Multiple Access, CDMA)-Protokollen und/oder jeder anderen Art von drahtlosem Kommunikationsprotokoll ermöglichen. Verweise in der Beschreibung auf „eine Ausführungsform” bedeuten, dass ein bestimmtes Merkmal, eine Struktur oder Charakteristikum, das in Verbindung mit der Ausführungsform beschrieben wird, in zumindest einer erfindungsgemäßen Ausführungsform enthalten ist. Die Verwendung des Ausdrucks „in einer Ausführungsform” an verschiedenen Stellen in der Beschreibung bezieht sich nicht notwendigerweise immer auf die gleiche Ausführungsform. Die Änderung in der Schwingungsform kann unter Verwendung evaneszenter Kopplung mit einem Abtastwellenleiter (einem Abtastkanal) erkannt werden, der konzipiert ist, sich an einem Knoten des Drive-Modus zu befinden. Die Erkennung eines Signals an einem lichtempfindlichen Sensor im Abtastkanal zeigt die Präsenz von externer Bewegung an. Während die Erfindung bezogen auf verschiedene Ausführungsformen beschrieben wurde, wird ein Fachmann erkennen, dass die Erfindung nicht auf die beschriebenen Ausführungsformen beschränkt ist, sondern mit Modifikationen und Änderungen im Sinne und innerhalb des Schutzbereichs der angefügten Ansprüche betrieben werden kann. Die Beschreibung soll somit als veranschaulichend anstatt einschränkend angesehen werden.
Claims (22)
- Vorrichtung, umfassend: eine optomechanische Scheibe, die als ein optischer Ringresonator und ein mechanischer Scheibenresonator agiert; ein Drivelaser, um ein optisches Drivesignal zu generieren; ein Drivekanal, der als ein Wellenleiter für das optische Drivesignal agiert und Driveelektroden in einer ersten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe umfasst, wobei die Driveelektroden den Ring durch die evaneszente Kopplung erregen; ein Drivefotodetektor, der konfiguriert ist, ein optisches Ausgangssignal vom Drivekanal zu empfangen; ein Abtastleser, um ein optisches Abtastsignal zu generieren; ein Abtastkanal, der als ein Wellenleiter für das optische Abtastsignal agiert und Abtastelektroden in einer zweiten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe umfasst; ein Abtastfotodetektor, der konfiguriert ist, ein optisches Ausgangssignal vom Abtastkanal zu empfangen.
- Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Drivelaser Licht bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe moduliert, um die Scheibe durch optomechanische Kräfte in Schwingung zu versetzen.
- Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die optomechanische Kraft Strahlungsdruck umfasst.
- Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die optomechanische Kraft eine optische Gefällskraft umfasst.
- Vorrichtung nach Anspruch 1 weiter umfassend einen Modulator, um das optische Drivesignal bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe zu modulieren, um die Scheibe durch optomechanische Kräfte in Schwingung zu versetzen.
- Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die optomechanische Kraft Strahlungsdruck umfasst.
- Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die optomechanische Kraft eine optische Gefällskraft umfasst.
- Tablet-Computergerät umfassend: eine Touchscreen-Schnittstelle; eine optomechanische Scheibe, die als ein optischer Ringresonator und ein mechanischer Scheibenresonator agiert; ein Drivelaser, um ein optisches Drivesignal zu generieren; ein Drivekanal, der als ein Wellenleiter für das optische Drivesignal agiert und Driveelektroden in einer ersten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe umfasst, wobei die Driveelektroden den Ring durch evaneszente Kopplung erregen; ein Drivefotodetektor, der konfiguriert ist, ein optisches Ausgangssignal vom Drivekanal zu empfangen; ein Abtastleser, um ein optisches Abtastsignal zu generieren; ein Abtastkanal, der als ein Wellenleiter für das optische Abtastsignal agiert und Abtastelektroden in einer zweiten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe umfasst; ein Abtastfotodetektor, der konfiguriert ist, ein optisches Ausgangssignal vom Abtastkanal zu empfangen; ein Prozessor, der gekoppelt ist, um den Abtastfotodetektor und den Drivefotodetektor zu überwachen, und der mit der Touchscreen-Schnittstelle gekoppelt ist.
- Tablet nach Anspruch 8, wobei der Drivelaser Licht bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe moduliert, um die Scheibe durch optomechanische Kräfte in Schwingung zu versetzen.
- Tablet nach Anspruch 9, wobei die optomechanische Kraft Strahlungsdruck umfasst.
- Tablet nach Anspruch 9, wobei die optomechanische Kraft eine optische Gefällskraft umfasst.
- Tablet nach Anspruch 8, weiter umfassend einen Modulator, um das optische Drivesignal bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe zu modulieren, um die Scheibe durch optomechanische Kräfte in Schwingung zu versetzen.
- Tablet nach Anspruch 12, wobei die optomechanische Kraft Strahlungsdruck umfasst.
- Tablet nach Anspruch 12, wobei die optomechanische Kraft eine optische Gefällskraft umfasst.
- System umfassend: eine Rundstrahlantenne; eine optomechanische Scheibe, die als ein optischer Ringresonator und ein mechanischer Scheibenresonator agiert; ein Drivelaser, um ein optisches Drivesignal zu generieren; ein Drivekanal, der als ein Wellenleiter für das optische Drivesignal agiert und Driveelektroden in einer ersten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe umfasst, wobei die Driveelektroden den Ring durch evaneszente Kopplung erregen; ein Drivefotodetektor, der konfiguriert ist, ein optisches Ausgangssignal vom Drivekanal zu empfangen; ein Abtastleser, um ein optisches Abtastsignal zu generieren; ein Abtastkanal, der als ein Wellenleiter für das optische Abtastsignal agiert und Abtastelektroden in einer zweiten Nähe in Bezug auf die optomechanische Scheibe umfasst; ein Abtastfotodetektor, der konfiguriert ist, ein optisches Ausgangssignal vom Abtastkanal zu empfangen; ein Prozessor, der gekoppelt ist, um den Abtastfotodetektor und den Drivefotodetektor zu überwachen, und der mit der Touchscreen-Schnittstelle gekoppelt ist.
- System nach Anspruch 15 weiter umfassend eine Touchscreen-Schnittstelle.
- System nach Anspruch 15, wobei der Drivelaser Licht bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe moduliert, um die Scheibe durch optomechanische Kräfte in Schwingung zu versetzen.
- System nach Anspruch 17, wobei die optomechanische Kraft Strahlungsdruck umfasst.
- System nach Anspruch 17, wobei die optomechanische Kraft eine optische Gefällskraft umfasst.
- Tablet nach Anspruch 15 weiter umfassend einen Modulator, um das optische Drivesignal bei der mechanischen Resonanzfrequenz der optomechanischen Scheibe zu modulieren, um die Scheibe durch optomechanische Kräfte in Schwingung zu versetzen.
- System nach Anspruch 20, wobei die optomechanische Kraft Strahlungsdruck umfasst.
- System nach Anspruch 20, wobei die optomechanische Kraft eine optische Gefällskraft umfasst.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/US2011/067250 WO2013095660A1 (en) | 2011-12-23 | 2011-12-23 | Integrated silicon optomechanical gyroscopes (omgs) |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE112011106020T5 true DE112011106020T5 (de) | 2014-08-28 |
Family
ID=48669298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112011106020.3T Pending DE112011106020T5 (de) | 2011-12-23 | 2011-12-23 | Integrierte optomechanische Silizium-Gyroskope (OMGS) |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9482535B2 (de) |
JP (1) | JP5908603B2 (de) |
KR (1) | KR101682993B1 (de) |
CN (1) | CN103998895B (de) |
DE (1) | DE112011106020T5 (de) |
GB (1) | GB2512522B (de) |
TW (1) | TWI461655B (de) |
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- 2011-12-23 JP JP2014547172A patent/JP5908603B2/ja active Active
- 2011-12-23 DE DE112011106020.3T patent/DE112011106020T5/de active Pending
- 2011-12-23 CN CN201180075842.8A patent/CN103998895B/zh active Active
- 2011-12-23 KR KR1020147017094A patent/KR101682993B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-23 WO PCT/US2011/067250 patent/WO2013095660A1/en active Application Filing
- 2011-12-23 US US13/996,669 patent/US9482535B2/en active Active
- 2011-12-23 GB GB1411009.2A patent/GB2512522B/en active Active
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- 2012-12-05 TW TW101145632A patent/TWI461655B/zh active
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Publication number | Publication date |
---|---|
TWI461655B (zh) | 2014-11-21 |
WO2013095660A1 (en) | 2013-06-27 |
CN103998895B (zh) | 2017-05-24 |
GB2512522B (en) | 2018-05-16 |
US20130293898A1 (en) | 2013-11-07 |
JP5908603B2 (ja) | 2016-04-26 |
US9482535B2 (en) | 2016-11-01 |
JP2015511305A (ja) | 2015-04-16 |
TW201337216A (zh) | 2013-09-16 |
GB2512522A (en) | 2014-10-01 |
GB201411009D0 (en) | 2014-08-06 |
CN103998895A (zh) | 2014-08-20 |
KR20140096146A (ko) | 2014-08-04 |
KR101682993B1 (ko) | 2016-12-20 |
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R012 | Request for examination validly filed | ||
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