DE112005002106A5 - Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Form einer Oberflächentopologie eines Messobjektes - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Form einer Oberflächentopologie eines Messobjektes Download PDF

Info

Publication number
DE112005002106A5
DE112005002106A5 DE112005002106T DE112005002106T DE112005002106A5 DE 112005002106 A5 DE112005002106 A5 DE 112005002106A5 DE 112005002106 T DE112005002106 T DE 112005002106T DE 112005002106 T DE112005002106 T DE 112005002106T DE 112005002106 A5 DE112005002106 A5 DE 112005002106A5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
determining
shape
measurement object
surface topology
topology
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112005002106T
Other languages
English (en)
Inventor
Uwe Wielsch
Albrecht Krüger
Helmut Witek
Georg Dittmar
Uwe Richter
Thilo Sandner
Sai Gao
Jürgen Schreiber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sentech Instruments GmbH
Original Assignee
Sentech Instruments GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sentech Instruments GmbH filed Critical Sentech Instruments GmbH
Publication of DE112005002106A5 publication Critical patent/DE112005002106A5/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE112005002106T 2004-08-25 2005-08-25 Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Form einer Oberflächentopologie eines Messobjektes Withdrawn DE112005002106A5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004041292 2004-08-25
DE102004041292.8 2004-08-25
PCT/DE2005/001509 WO2006021205A1 (de) 2004-08-25 2005-08-25 Vorrichtung und verfahren zur bestimmung der form einer oberflächentopologie eines messobjektes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112005002106A5 true DE112005002106A5 (de) 2007-07-12

Family

ID=35427521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112005002106T Withdrawn DE112005002106A5 (de) 2004-08-25 2005-08-25 Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Form einer Oberflächentopologie eines Messobjektes

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE112005002106A5 (de)
WO (1) WO2006021205A1 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006040636B3 (de) * 2006-05-15 2007-12-20 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Autofokus-System und Verfahren zum Autofokussieren
US8725477B2 (en) 2008-04-10 2014-05-13 Schlumberger Technology Corporation Method to generate numerical pseudocores using borehole images, digital rock samples, and multi-point statistics
RU2440591C2 (ru) 2008-04-10 2012-01-20 Шлюмбергер Текнолоджи Б.В. Способ получения характеристик геологической формации, пересекаемой скважиной
US8311788B2 (en) 2009-07-01 2012-11-13 Schlumberger Technology Corporation Method to quantify discrete pore shapes, volumes, and surface areas using confocal profilometry
DE102016108040B4 (de) * 2016-04-29 2018-05-09 Sypro Optics Gmbh Beleuchtungseinrichtung für Gestenerkennungsvorrichtung
CN109709671B (zh) * 2017-10-25 2024-03-15 深圳光启空间技术有限公司 光束偏转装置及其空间光调制器的驱动方法和驱动装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19811202C2 (de) * 1998-03-09 2002-01-17 Gf Mestechnik Gmbh Konfokales Scanmikroskop
US6775007B2 (en) * 2001-01-29 2004-08-10 Joseph A. Izatt Frequency-encoded parallel OCT and associated systems and methods
US20030142934A1 (en) * 2001-12-10 2003-07-31 Carnegie Mellon University And University Of Pittsburgh Endoscopic imaging system
ITTO20020515A1 (it) * 2002-06-14 2003-12-15 Infm Istituto Naz Per La Fisi Apparecchiatura per la determinazione del profilo interno di un condotto o cavita', ed in particolare per la determinazione dell'impronta in

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006021205A1 (de) 2006-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE602005007823D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Form eines Objekts
DE502006008573D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung eines alterungszustands einer batterie
DE602005007563D1 (de) Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE112007001660A5 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Abweichung einer tatsächlichen Form von einer Sollform einer optischen Oberfläche
DE602004002326D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung des Reibwerts einer Strassenoberfläche
DE602005024340D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Übertragung eines Musters
DE502005002548D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Radarmessung
DE50313557D1 (de) Abstandsmessvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung eines Abstands
DE602006001507D1 (de) Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE602005018461D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur untersuchung der anbringgenauigkeit einer komponente
DE50305912D1 (de) Verfahren zur zerstörungsfreien prüfung eines bauteils
DE602005005407D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Schätzung der NOx Adsortpionsmenge eines NOx-Speichers
DE602006014533D1 (de) Verfahren zur porositätsmessung mittels ellipsometrie und vorrichtung zur implementierung eines solchen verfahrens
ATE454942T1 (de) Verfahren zur herstellung einer gecrimpten anordnung und verbundene anordnung und vorrichtung
DE602005015934D1 (de) Verfahren zur aktivierung der oberfläche eines metallbauelements
DE502004011935D1 (de) Verfahren zur bestimmung einer rohform eines elastischen bauteils
DE602004032505D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Drehbewegung
DE112005002106A5 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Form einer Oberflächentopologie eines Messobjektes
DE602004013904D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Punktenzahl eines Würfels
DE50213746D1 (de) Verfahren zur Messung des Abstands eines an einer Referenzfläche vorbei gefürhrten Bauteils und Durchführung des Verfahrens
DE602006015751D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Beendigung eines Gangwechsels
DE50308142D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung einer unfallwahrscheinlichkeit eines fahrzeugs
DE602004005651D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Eigenschaft eines Magnetfeldes
DE50203382D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur glättung der oberfläche einer gasturbinenschaufel
ATE438847T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur sicherstellung der rotation eines behälters während einer inspektion

Legal Events

Date Code Title Description
8181 Inventor (new situation)

Inventor name: KRUEGER, ALBRECHT, 12623 BERLIN, DE

Inventor name: SANDNER, THILO, 01156 DRESDEN, DE

Inventor name: GAO, SAI, 01099 DRESDEN, DE

Inventor name: RICHTER, UWE, 15537 WERNSDORF, DE

Inventor name: WITEK, HELMUT, 82152 KRAILLING, DE

Inventor name: SCHREIBER, JUERGEN, 01189 DRESDEN, DE

Inventor name: DITTMAR, GEORG, 12587 BERLIN, DE

Inventor name: WIELSCH, UWE, 10317 BERLIN, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20120301