DE112005001859T5 - Mehrlagenhartstoffbeschichtung und mit Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenes Werkzeug - Google Patents

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Abstract

Mehrlagenhartstoffbeschichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sie besteht aus;
einer Unterlage, die auf einem vorbestimmten Körper aufgebracht ist und eine TiAlN-Schicht und eine Mischschicht aus TiAlN + CrN enthält, die abwechselnd übereinander liegen;
einer Zwischenlage, die auf der Unterlage aufgebracht ist und aus einer Mischschicht aus TiAlN + CrN besteht;
einer CrN-Lage, die auf der Zwischenlage aufgebracht ist und für eine Oberfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung sorgt.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine Mehrlagenhartstoffbeschichtung und insbesondere auf eine Mehrlagenhartstoffbeschichtung, die neben einer hervorragenden Verschleißfestigkeit und Haftfestigkeit eine hohe Schlüpfrigkeit (Aufschweißwiderstand) hat.
  • STAND DER TECHNIK
  • Es ist ein mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenes Werkzeug vorgeschlagen worden, das sich aus (i) einem Werkzeugsubstrat, das aus einem Schnellarbeitsstahl oder Hartmetall besteht, und (ii) einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung zusammensetzt, die auf einer Oberfläche des Werkzeugsubstrats aufgebracht ist. Die Mehrlagenhartstoffbeschichtung enthält eine TiAlN-Schicht und eine Mischschicht aus TiAlN + CrN, die abwechselnd übereinander liegen. Als ein Beispiel für das mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehene Werkzeug offenbart das Patentdokument 1 ein Drehschnittwerkzeug mit einer TiAlN-Schicht und einer Mischschicht, die abwechselnd übereinander liegen, wobei die TiAlN-Schicht eine hohe Härte hat, während die Mischschicht CrN enthält, dessen Härte verhältnismäßig gering ist. Mit diesem Drehschnittwerkzeug wird dank des Vorhandenseins der TiAlN-Schicht mit der hohen Härte eine hervorragende Verschleißfestigkeit erzielt, während dank des Vorhandenseins der Mischschicht, die CrN enthält, dessen Härte verhältnismäßig gering ist, eine höhere Haftfestigkeit erzielt wird, so dass eine Schartenbildung und ein Abblättern der Beschichtung eingeschränkt wird, wodurch sich die Haltbarkeit des Werkzeugs deutlich erhöht.
    • Patentdokument 1: JP 2002-275618 A
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • VON DER ERFINDUNG ZU LÖSENDE AUFGABE
  • Aufgrund des verhältnismäßig hohen Reibungskoeffizienten der oben beschriebenen TiAlN-Schicht könnte es jedoch, wenn das Schneidwerkzeug zum Schneiden eines Werkstücks verwendet wird, das aus einem leicht verschweißbaren Werkstoff wie Kupfer oder einer Kupferlegierung besteht, aufgrund des hohen Reibungskoeffizienten der TiAlN-Schicht zu einer Verschweißung zwischen dem Schneidwerkzeug und dem Werkstück kommen. Die Verschweißung verschlechtert das Schneidverhalten, etwa die maschinelle Bearbeitungsgenauigkeit, und führt in einer frühen Phase zu Verschleiß auf dem Schneidwerkzeug, wodurch es unmöglich ist, die gewünschte Haltbarkeit des Schneidwerkzeugs zu erreichen. So kommt es zum Beispiel bei einem Schneidvorgang mit einem Drehschnittwerkzeug wie einem Kugelschaftfräser oder einem Bohrer insbesondere in einem Abschnitt des Drehschnittwerkzeugs, der tendenziell in Reibungskontakt mit dem Werkstück kommt, etwa in einem Abschnitt um die Drehachse herum und in einem die jeweilige Spanfläche bildenden Abschnitt, leicht zu einem Verschweißen.
  • Die Erfindung erfolgte im Lichte des oben beschriebenen Stands der Technik. Ihr liegt daher die Aufgabe zugrunde, bei einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung, die sich vornehmlich aus TiAlN zusammensetzt, den Widerstand gegenüber einem Aufschweißen zu verbessern.
  • MITTEL ZUR LÖSUNG DER AUFGABE
  • Um die obige Aufgabe zu lösen, sieht die erste Erfindung eine Mehrlagenhartstoffbeschichtung vor, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sie besteht aus (a) einer Unterlage, die auf einem vorbestimmten Körper aufgebracht ist und eine TiAlN-Schicht und eine Mischschicht aus TiAlN + CrN enthält, die abwechselnd übereinander liegen; (b) einer Zwischenlage, die auf der Unterlage aufgebracht ist und aus einer Mischschicht aus TiAlN + CrN besteht; und (c) einer CrN-Lage, die auf der Zwischenlage aufgebracht ist und für eine Oberfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung sorgt.
  • Bei der Mehrlagenhartstoffbeschichtung gemäß der ersten Erfindung ist die zweite Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Unterlage eine Dicke von 2 μm bis 8 μm hat; die Zwischenlage eine Dicke von 0,1 μm bis 5 μm hat; die CrN-Lage eine Dicke von 0,1 μm bis 5 μm hat; und die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht mehr als 10 μm beträgt.
  • Die dritte Erfindung sieht eine Mehrlagenhartstoffbeschichtung vor, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sie besteht aus (a) einer Unterlage, die auf einem vorbestimmten Körper aufgebracht ist und eine TiAlN-Schicht und eine Mischschicht aus TiAlN + CrN enthält, die abwechselnd übereinander liegen; und (b) einer CrN-Lage, die auf der Unterlage aufgebracht ist und für eine Oberfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung sorgt.
  • Bei der Mehrlagenhartstoffbeschichtung gemäß der dritten Erfindung ist die vierte Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Unterlage eine Dicke von 2 μm bis 8 μm hat; die CrN-Lage eine Dicke von 0,1 μm bis 8 μm hat; und die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht mehr als 10 μm beträgt.
  • Bei der Mehrlagenhartstoffbeschichtung gemäß einer der ersten bis vierten Erfindungen ist die fünfte Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die TiAlN-Schicht für jeweils die unterste Schicht und die oberste Schicht der Unterlage sorgt.
  • Bei der Mehrlagenhartstoffbeschichtung gemäß einer der ersten bis fünften Erfindungen ist die sechste Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Mehrlagenhartstoffbeschichtung auf einer Oberfläche eines Schneidwerkzeugs aufzubringen ist.
  • Die siebte Erfindung sieht ein mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenes Werkzeug vor, das dadurch gekennzeichnet ist, dass das mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehene Werkzeug an einer Oberfläche von ihm mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung gemäß einer der ersten bis fünften Erfindungen bedeckt ist.
  • WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
  • Bei der Mehrlagenhartstoffbeschichtung gemäß jeder der ersten bis sechsten Erfindungen ist es dank des Vorhandenseins der Unterlage, die die TiAlN-Schicht und die Mischschicht aus TiAlN + CrN enthält, die abwechselnd übereinander liegen, möglich, eine hervorragende Verschleißfestigkeit und Haftfestigkeit zu erzielen. Da außerdem die CrN-Lage den obersten Abschnitt der Mehrlagenhartstoffbeschichtung bildet und die Oberfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung mit einem geringen Reibungskoeffizienten versieht, ist es möglich, die Schlüpfrigkeit und den Aufschweißwiderstand zu verbessern. Da außerdem die Oxidationseinsetztemperatur des CrN-Lage mit etwa 700°C hoch ist, bleiben die hervorragenden Eigenschaften der Beschichtung auch in einer Hochtemperaturumgebung stabil erhalten.
  • Wenn daher eine solche Mehrlagenhartstoffbeschichtung bei einem Drehschnittwerkzeug wie einem Kugelschaftfräser Anwendung findet, ist es möglich, in einem großen Einsatzbereich von zum Beispiel einem Fall, bei dem ein Werkstück geschnitten wird, das aus einem eisenhaltigen Werkstoff oder einem nichteisenhaltigen Werkstoff (zum Beispiel aus einer Kupferlegierung) mit geringer Härte und leichter Verschweißbarkeit besteht, bis zu einem Fall, bei dem ein Werkstück geschnitten wird, das aus einem Werkstoff hoher Härte wie einem wärmebehandelten Stahl mit einer Härte von etwa 50 HRC besteht, eine hervorragende Schneideleistung zu erzielen. Dank des Vorhandenseins des CrN-Lage ist es genauer gesagt möglich, den Verschleiß auf der jeweiligen Spanfläche einzuschränken und in einer späten Phase des Schneidevorgangs eine Änderung des Spanwinkels zur negativen Seite einzuschränken, so dass das Schneidevermögen zufrieden stellend für lange Zeit aufrechterhalten wird, was die Haltbarkeit des Werkzeugs verbessert und die Qualität der fertigen Oberfläche des Werkstücks stabilisiert. Ein Drehschnittwerkzeug wie ein Kugelschaftfräser hat einen fernen Endabschnitt, der sich im Bereich seiner Drehachse befindet, und das Werkstück ist aufgrund des geringen Schneidevermögens des fernen Endabschnitts leicht mit dem fernen Endabschnitt verschweißbar. Dank des Vorhandenseins der CrN-Lage kann das Aufschweißen jedoch eingeschränkt werden, wodurch die Schneideleistung und die Haltbarkeit zufrieden stellend aufrechterhalten werden können. Da sich die hervorragenden Eigenschaften der Beschichtung auch stabil in der Hochtemperaturumgebung erzielen lassen, ist das Schneidwerkzeug außerdem dazu in der Lage, unter harten Schneidebedingungen mit einer zum Beispiel durch Reibungshitze verursachten hohen Temperatur mit hoher Effizienz einen Schneidevorgang auszuführen.
  • Da sich außerdem bei der ersten Erfindung die aus der (CrN enthaltenden) TiAlN + CrN-Mischschicht bestehende Zwischenlage zwischen der Unterlage und der CrN-Lage befindet, liegt die CrN-Lage mit hoher Haftung auf der Zwischenlage, so dass eine Schartenbildung und ein Abblättern der CrN-Lage noch besser eingeschränkt werden können.
  • Bei der fünften Erfindung, bei der die TiAlN-Schicht für jeweils die unterste Schicht und die oberste Schicht der Unterlage sorgt, kann die Unterlage dank der für die unterste Schicht sorgenden TiAlN-Schicht an dem vorbestimmten Körper (zum Beispiel dem Werkzeugsubstrat) mit hervorragender Haftung anhaften, während die Unterlage dank der für die oberste Schicht sorgenden TiAlN-Schicht eine hervorragende Verschleißfestigkeit haben kann. Da die CrN-Lage direkt oder über die Zwischenlage auf der TiAlN-Schicht als der obersten Schicht aufgebracht ist, wird die TiAlN-Schicht mit der hohen Härte nicht in direktem Kontakt mit dem Werkstück gebracht. Allerdings dient die TiAlN-Schicht dazu, eine Verformung der CrN-Lage einzuschränken, so dass Verschleißfestigkeit der CrN-Lage verbessert wird.
  • Mit dem mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenen Werkzeug der siebten Erfindung ist es möglich, im Wesentlichen die gleiche Wirkung wie bei der ersten bis fünften Erfindung zu erzielen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1: Ein Satz Ansichten eines Schaftfräsers, der ein Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt, wobei die Ansicht (a) eine Draufsicht senkrecht zur Achse des Schaftfräsers ist, die Ansicht (b) eine vergrößerte Unteransicht ist und die Ansicht (c) eine Querschnittansicht eines geschichteten Teilbereichs eines Schneidezahnabschnitts ist, der mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehen ist.
  • 2: Eine Schnittansicht mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung als einem weiteren Beispiel, das sich von der in der Ansicht (c) von 1 gezeigten Mehrlagenhartstoffbeschichtung unterscheidet.
  • 3: Eine schematische Ansicht, die als Beispiel eine Lichtbogenionenplattieranlage zeigt, die dazu in der Lage ist, vorteilhaft die Mehrlagenhartstoffbeschichtungen der 1 und 2 zu bilden.
  • 4: Ein Satz Ansichten, der ein Messergebnis für Reibungskoeffizienten von CrN und TiAlN im Vergleich zueinander zeigt, wobei die Messungen mit einem Kugel-auf-Scheibe-Verfahren erfolgten.
  • 5: Ein Satz Ansichten zur Erläuterung eines Messergebnisses zur jeweiligen Flankenverschleißbreite auf beschichteten Schneidwerkzeugen (einschließlich erfindungsgemäßen Produkten und Vergleichsprodukten), die sich untereinander hinsichtlich der Zusammensetzung der Beschichtung unterschieden, wobei die Messung erfolgte, nachdem jedes beschichtete Schneidwerkzeug unter vorgegebenen Schneidebedingungen zum Schneiden von C1100 (Kupfer) verwendet worden war.
  • 6: Ein Satz Ansichten zur Erläuterung eines Messergebnisses zur jeweiligen Flankenverschleißbreite auf beschichteten Schneidwerkzeugen (einschließlich erfindungs gemäßen Produkten und Vergleichsprodukten), die sich untereinander hinsichtlich der Zusammensetzung der Beschichtung unterschieden, wobei die Messung erfolgte, nachdem jedes beschichtete Schneidwerkzeug unter vorgegebenen Schneidebedingungen zum Schneiden von S50C (Kohlenstoffstahl für den Maschinenbau) verwendet worden war.
  • BESTE AUSFÜHRUNGSART FÜR DIE ERFINDUNG
  • Die Erfindung lässt sich vorteilhafter Weise bei einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung anwenden, die dazu vorgesehen ist, ein Substrat eines Schneidekanten aufweisenden Drehschnittwerkzeugs (z. B. Schaftfräser, Bohrer und Gewindeschneider) zu bedecken. Allerdings kann die Erfindung auch bei anderen Bearbeitungswerkzeugen wie einem nicht schneidenden Werkzeug (z. B. einem austauschbaren Einsatz, der für einen Dreharbeitsgang an einem Werkzeughalter befestigt wird) oder einem Kaltformwerkzeug Anwendung finden, das dafür vorgesehen ist, ein Werkstück durch plastisches Verformen des Werkstücks in eine gewünschte Form zu bringen. Darüber hinaus kann sie auch bei einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung Anwendung finden, die als eine Oberflächenschutzbeschichtung vorgesehen ist, die einen anderen Körper oder ein anderes Bauteil (zum Beispiel ein Elektronikbauteil) als das Bearbeitungswerkzeug bedecken soll. Dabei ist zu beachten, dass das Substrat des Bearbeitungswerkzeugs, das mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung beschichtet werden soll, vorzugsweise aus Hartmetall oder einem Schnellarbeitstahl besteht. Allerdings kann das Werkzeugsubstrat auch aus einem beliebigen anderen Metallwerkstoff bestehen.
  • Als Verfahren zum Ausbilden der erfindungsgemäßen Mehrlagenhartstoffbeschichtung wird vorteilhafter Weise ein Lichtbogenionenplattierverfahren eingesetzt. Allerdings ist es auch möglich, andere Verfahren zur Abscheidung aus der Dampfphase (PVD) wie ein Sputterverfahren oder ersatzweise ein Verfahren zur Gasphasenabscheidung (CVD) wie ein Plasma-CVD-Verfahren oder ein thermisches CVD-Verfahren einzusetzen.
  • Es ist vorzuziehen, dass die Gesamtdicke der erfindungsgemäßen Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht mehr als 10 μm beträgt, da die Beschichtung leicht vom Körper abblättern würde, wenn die Gesamtdicke größer als 10 μm wäre. Wenn der Körper Schneidekanten hat, würde eine Gesamtdicke von mehr als 10 μm außerdem dazu führen, dass die Schneidekanten abgerundet wären, was die Schneideleistung verschlechtern würde. Es ist vorzuziehen, dass die Dicke der Unterlage nicht weniger als 2 μm beträgt, da es nicht möglich ist, eine zufrieden stellende Beschichtungsleistung und -festigkeit, etwa eine ausreichende Verschleißfestigkeit, Wärmebeständigkeit und Haftfestigkeit, zu erreichen, wenn die Dicke der Unterlage weniger als 2 μm beträgt. Darüber hinaus ist es angebracht, dass die Dicke der Unterlage nicht mehr als 8 μm beträgt, damit die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht mehr als 10 μm beträgt.
  • Es ist angebracht, dass die Dicke der in der Unterlage enthaltenen TiAlN-Schicht von 160 nm bis 2000 nm reicht und dass die Dicke der in der Unterlage enthaltenen TiAlN + CrN-Mischschicht von 10 nm bis 1000 nm reicht, damit die Verschleißfestigkeit dank der TiAlN-Schicht aufrechterhalten werden kann, während die Schartenbildung und das Abblättern dank der TiAlN + CrN-Mischschicht wirksam verhindert werden können. Wenn die Unterlage eine Vielzahl von TiAlN-Schichten und eine Vielzahl von TiAlN + CrN-Mischschichten enthält, können die TiAlN-Schichten und auch die TiAlN + CrN-Mischschichten untereinander jeweils die gleiche Dicke haben. Allerdings können die TiAlN-Schichten und die TiAlN + CrN-Mischschichten auch jede andere beliebige Gestaltung einnehmen, etwa eine Gestaltung, bei der die Dicken der TiAlN-Schichten oder der TiAlN + CrN-Mischschichten untereinander verschieden sind, so dass sich die Schichtdicke kontinuierlich ändert. Es ist vorzuziehen, dass das Mischkristallverhältnis zwischen Ti und Al in der in der Unterlage enthaltenen TiAlN-Schicht in einem Bereich von etwa 2:8 (= Ti:Al) bis etwa 6:4 (= Ti:Al) liegt. Das Mischkristallverhältnis zwischen Ti und Al im TiAlN der in der Unterlage enthaltenen TiAlN + CrN-Mischschicht kann im Wesentlichen das gleiche wie das Mischkristallverhältnis in der TiAlN-Schicht sein, doch muss es nicht unbedingt das gleiche wie das Mischkristallverhältnis in der TiAlN-Schicht sein.
  • Es ist vorzuziehen, dass die Gesamtzahl der übereinander liegenden und die Unterlage bildenden TiAlN-Schichten und TiAlN + CrN-Mischschichten mindestens drei beträgt, so dass die TiAlN-Schicht für die unterste und oberste Schicht der Unterlage sorgt. Allerdings kann auch die TiAlN + CrN-Misch schicht für die oberste Schicht der Unterlage sorgen, zum Beispiel wenn die Dicke der TiAlN + CrN-Mischschicht mit einigen zehn nm gering ist. In diesem Fall kann die für die oberste Schicht sorgende TiAlN + CrN-Mischschicht als Zwischenlage verwendet werden, auch wenn neben der für die oberste Schicht sorgenden TiAlN + CrN-Mischschicht die aus einer weiteren TiAlN + CrN-Mischschicht bestehende Zwischenlage vorgesehen ist. Die dritte Erfindung umfasst nicht nur eine Gestaltung, bei der die TiAlN-Schicht für die oberste Schicht der Unterlage sorgt, auf der direkt die CrN-Lage aufgebracht ist, sondern auch eine Gestaltung, bei der die TiAlN + CrN-Mischschicht für die oberste Schicht der Unterlage sorgt, auf der direkt die CrN-Lage aufgebracht ist.
  • Es ist angebracht, dass die Dicke der Zwischenlage nicht weniger als 0,1 μm beträgt, da keine ausreichende Haftung zwischen den Lagen erzielt werden kann, wenn die Dicke der Zwischenlage weniger als 0,1 μm beträgt. Es ist angebracht, dass die Dicke der CrN-Lage, die den obersten Abschnitt der Mehrlagenhartstoffbeschichtung bildet, nicht weniger als 0,1 μm beträgt, da keine ausreichende Schlüpfrigkeit erzielt werden kann, wenn die Dicke der CrN-Lage weniger als 0,1 μm beträgt. Es ist vorzuziehen, dass die Dicke der CrN-Lage nicht weniger als 0,5 μm beträgt. Damit die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht mehr als 10 μm beträgt, ist es angebracht, dass die Dicke der Zwischenlage und die Dicke der CrN-Lage jeweils nicht mehr als 5 μm betragen, wenn die Mehrlagenhartstoffbeschichtung die Zwischenlage enthält, und dass die Dicke der CrN-Lage nicht mehr als 8 μm beträgt, wenn die Mehrlagenhartstoffbeschichtung die Zwischenlage nicht enthält. Damit die Mehrlagenhartstoffbeschichtung die gewünschte Beschichtungsfestigkeit und -leistung zeigt, ist es angebracht, dass die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung, wenn die Mehrlagenhartstoffbeschichtung die Zwischenlage nicht enthält, nicht weniger als 2,1 μm beträgt, während die Dicke der Unterlage nicht weniger als 2 μm beträgt, und dass die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung, wenn die Mehrlagenhartstoffbeschichtung die Zwischenlage enthält, nicht weniger als 2,2 μm beträgt. Es ist vorzuziehen, dass die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht weniger als 2,5 μm beträgt, wenn die Mehrlagenhartstoffbeschichtung die Zwischenlage enthält.
  • Die TiAlN – CrN-Mischschicht sorgt jeweils für die Mischschicht der Unterlage und der Zwischenlage. Die Mischschichten der Unterlage und der Zwischenlage können zwar durch exakt die gleiche Zusammensetzung gebildet werde, doch können sie auch hinsichtlich ihrer Zusammensetzung und Eigenschaften gezielt unterschiedlich eingestellt werden, indem zum Beispiel die Schichtbildungsbedingungen wie das Mischkristallverhältnis zwischen Ti und Al, das Mischverhältnis zwischen TiAlN und CrN und der bei der Schichtbildung angelegte Lichtbogenstrom und die Vorspannung geändert werden.
  • Bei der Erfindung ist die CrN-Lage dafür vorgesehen, den obersten Abschnitt der Mehrlagenhartstoffbeschichtung zu bilden. Bei der ersten Erfindung, bei der die CrN enthaltende Zwischenlage vorgesehen ist, kann eine gewisse Verbesserung der Schlüpfrigkeit jedoch auch dann erwartet werden, wenn die Zwischenlage so eingerichtet ist, dass sie ohne die CrN-Lage den obersten Abschnitt der Mehrlagenhartstoffbeschichtung bildet.
  • Die TiAlN-Schicht, die TiAlN + CrN-Mischschicht (einschließlich der Zwischenlage) und die CrN-Lage können jeweils neben den unvermeidlichen Verunreinigungselementen Kohlenstoff oder ein anderes Element enthalten, solange das darin enthaltene andere Element nicht die gewünschte Wirkung bezüglich der Verschleißfestigkeit, der Haftfestigkeit, der Haftung, der Wärmebeständigkeit und dem Aufschweißwiderstand beeinträchtigt, die Eigenschaften darstellen, die von der Mehrlagenhartstoffbeschichtung verlangt werden, solange also die darin enthaltenen anderen Elemente diese Eigenschaften nicht deutlich verschlechtern. So kann zum Beispiel als CrN nicht nur reines Chromnitrid verwendet werden, sondern auch CrCN, dass ein C (Kohlenstoff) enthaltendes Karbonitrid ist. Darüber hinaus kann als TiAlN nicht nur reines TiAlN-Nitrid, sondern auch TiAlCN verwendet werden, das ein C (Kohlenstoff) enthaltendes Karbonitrid ist.
  • AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen werden nun erfindungsgemäße Ausführungsbeispiele beschrieben.
  • 1 ist ein Satz Ansichten, die einen Kugelschaftfräser 10 zeigen, der ein Beispiel für ein mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenes Drehschnittwerkzeug ist, bei dem die Erfindung Anwendung findet, wobei die Ansicht (a) eine Draufsicht senkrecht zur Achse des Kugelschaftfräsers 10 ist und die Ansicht (b) eine vergrößerte Unteransicht von einem fernen Ende des Kugelschaftfräsers 10 (von der rechten Seite des Kugelschaftfräsers 10 in der Ansicht (a)) aus ist. Der Kugelschaftfräser 10 enthält ein Werkzeugsubstrat 10 aus Hartmetall. Das Werkzeugsubstrat 12 hat einen Schneidezahnabschnitt 14 und einen Schaftabschnitt, die miteinander eine Einheit bilden. Der Schneidezahnabschnitt 14 ist mit Schneidekanten in Form eines Paars Außenschneidekanten 16 und eines Paars rundnasiger Endschneidekanten 18 versehen, die bezüglich der Achse symmetrisch zueinander angeordnet sind, so dass durch die Außenschneidekanten 16 und die rundnasigen Endschneidekanten 18 ein Schneidevorgang ausgeführt werden kann, während der Kugelschaftfräser 10 um seine Achse gedreht wird. Der Schneidezahnabschnitt 14 ist an seiner Oberfläche mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 beschichtet, die in den Ansichten (a), (b) von 1 durch den Bereich mit den schrägen Linien dargestellt ist. Die Ansicht (c) von 1 ist eine Querschnittsansicht eines geschichteten Teilbereichs des Schneidezahnabschnitts 14, der mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 beschichtet ist. Der Kugelschaftfräser 10 entspricht einem mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenen Werkzeug, während das Werkzeugsubstrat 12 einem vorbestimmten Körper entspricht, auf dem die Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 aufgebracht ist.
  • Wie aus der Ansicht (c) von 1 hervorgeht, wird die Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 von einer Unterlage 22, einer Zwischenlage 24 und einer CrN-Lage 26, die eine Außenfläche und einen obersten Abschnitt der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 bildet, gebildet. Die Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 hat eine Gesamtdicke von 2,2 μm bis 10 μm. Die Unterlage 22 besteht aus mindestens drei Schichten, die die TiAlN-Schichten 22a und TiAlN + CrN-Mischschichten 22b enthalten und die abwechselnd übereinander liegen. Die Unterlage 22 hat eine Dicke von 8 μm. Jede TiAlN-Schicht 22a hat eine mittlere Dicke von 160 nm bis 2000 nm, während jede Mischschicht 22b eine mittlere Dicke von 10 nm bis 1000 nm hat. Bei diesem Ausführungsbeispiel liegen TiAlN-Schichten 22a gleicher Dicke und Mischschichten 22b gleicher Dicke abwechselnd übereinander. Jede Mischschicht 22b ist eine Schicht, in der TiAlN und CrN mit einem vorgegebenen Verhältnis gemischt sind. Das Mischkristallverhältnis zwischen Ti und Al im TiAlN der TiAlN-Schichten 22a und der Mischschichten 22b liegt in einem Bereich von 2:8 (= Ti:Al) bis 6:4 (= TI:Al). Bei diesem Ausführungsbeispiel beträgt das Mischkristallverhältnis zwischen Ti und Al 4:6 (= Ti:Al). Die TiAlN-Schichten 22a sorgen für die oberste und unterste Schicht der Unterlage 22. Die Gesamtanzahl der TiAlN-Schichten und Mischschichten 22a, 22b ist eine ungerade Zahl, die nicht weniger als drei beträgt.
  • TiAlN hat eine Härte (Hv) von etwa 2300 bis 3000, während CrN eine Härte (Hv) von 1800 bis 2300 hat. Jede der TiAlN und CrN enthaltenden Mischschichten 22b hat eine Härte, die geringer als die Härte jeder der nur TiAlN enthaltenden TiAlN-Schichten 22a ist. In der Unterlage 22, in der die TiAlN-Schichten 22a mit der hohen Härte und die Mischschichten 22b mit der verhältnismäßig geringen Härte abwechselnd übereinander liegen, wird daher dank des Vorhandseins der TiAlN-Schichten 22a mit der hohen Härte eine hervorragende Verschleißfestigkeit erzielt, während dank des Vorhandseins der Mischschicht 22b mit der geringen Härte eine höhere Haftfestigkeit erzielt wird, was das Risiko einer Schartenbildung und eines Abblätterns der Beschichtung 20 verringert. Wie oben beschrieben wurde, reicht die mittlere Dicke jeder TiAlN-Schicht 22a von 160 nm bis 2000 nm, die mittlere Dicke jeder Mischschicht 22b von 10 nm bis 1000 nm und die Gesamtdicke der Unterlage 22 von 2 μm bis 8 μm, so dass dank der TiAlN-Schichten 22a die Verschleißbeständigkeit bewahrt werden kann, während dank der Mischschichten 22b die Schartenbildung und das Abblättern wirksam verhindert werden können.
  • Die Zwischenlage 24 ist eine Mischschicht, in der TiAlN und CrN miteinander gemischt sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel hat die Zwischenlage 24 die gleiche Zusammensetzung wie die Mischschichten 22b. Die Zwischenlage 24 ist auf der Unterlage 22 aufgebracht, genauer gesagt hängt sie mit der TiAlN-Schicht 22a als der obersten Schicht der Unterlage 22 zusammen. Die Dicke der Zwischenlage 24 reicht von 0,1 μm bis 5 μm. Die Zwischenlage 24 aus TiAlN + CrN wird also vor der CrN-Lage 26 auf der Unterlage 24, d. h. auf der obersten TiAlN-Schicht 22a, aufgebracht, wodurch die Haftung der CrN-Lage 26 bezüglich der Unterlage 22 verbessert wird. Das Mischkristallverhältnis zwischen Ti und Al im TiAlN der Zwischenlage 24 liegt in einem Bereich von 2:8 (= Ti:Al) bis 6:4 (= Ti:Al). Bei diesem Ausführungsbeispiel beträgt das Mischkristallverhältnis zwischen Ti und Al 4:6 (= Ti:Al).
  • Die CrN-Lage 26 ist auf der Zwischenlage 24 aufgebracht und hängt mit ihr zusammen und hat eine Dicke von 0,1 μm bis 5 μm. Das die CrN-Lage 26 bildende CrN hat einen geringeren Reibungskoeffizienten als TiAlN. Dank der CrN-Lage 26, die dazu vorgesehen ist, die Außenfläche und den obersten Abschnitt der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 zu bilden, ist es daher möglich, die Schlüpfrigkeit zwischen der Beschichtung 20 und einem Werkstück, und zwar den Widerstand gegenüber einem Verschweißen zwischen der Beschichtung 20 und dem Werkstück, zu verbessern.
  • 4 ist ein Satz Ansichten, der das Messergebnis für Reibungskoeffizienten von CrN und TiAlN zeigt, das durch ein Kugel-auf-Scheibe-Verfahren erzielte wurde, das im Wesentlichen das gleiche wie das in JIS R1613 definierte Prüfverfahren ist. In 4 zeigt die Ansicht (a) die Versuchsbedingungen und die Ansicht (b) ein Versuchsergebnis. Die Reibungskoeffizientenkurven der Ansicht (b) stellen die Änderungen des jeweiligen Reibungskoeffizienten während eines Anfangszeitraums da. Der Reibungskoeffizient von TiAlN läuft innerhalb eines Bereiches von etwa 0,5 bis 0,7 zusammen, während der Reibungskoeffizient von CrN bei etwa 0,3 zusammenläuft. Darüber hinaus zeigt die Ansicht (c) von 4 die Reibungskoeffizienten, die bei hoher Temperatur (400°C) gemessen wurden. Der bei der hohen Temperatur gemessene Reibungskoeffizient von TiAlN beträgt etwa 0,7, während der bei der hohen Temperatur gemessene Reibungskoeffizient von CrN etwa 0,25 beträgt. Die bei der hohen Temperatur gemessenen Reibungskoeffizienten sind also im Großen und Ganzen die gleichen wie die bei Zimmertemperatur (25°C) gemessenen und in der Ansicht (b) von 4 gezeigten Reibungskoeffizienten. Dabei ist zu beachten, dass die in der Ansicht (c) von 4 gezeigten Reibungskoeffizienten mit Ausnahme dessen, dass die Temperatur 400° betrug, unter den gleichen Versuchsbedingungen gemessen wurden, wie sie in der Ansicht (a) von 4 angegeben sind.
  • Die oben beschriebene Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 enthält zwar die Zwischenlagen 24, doch kann sich die CrN-Lage 26 auch wie in der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 28 von 2 direkt auf der Unterlage 22 befinden, wobei die Zwischenlage 24 wegfällt. In diesem Fall kann die Unterlage 22 im Großen und Ganzen den gleichen Aufbau wie in der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 haben, wobei die Dicke der CrN-Lage 26 aufgrund der fehlenden Zwischenlage 24 erhöht werden kann. Die Dicke der CrN-Lage 26 kann somit von 0,1 μm bis 0,8 μm reichen.
  • Das in den TiAlN-Schichten 22a und den Mischschichten 22b der Unterlage 22 und der Zwischenlage 24 enthaltene TiAlN ist reines TiAl-Nitrid, das keinen Kohlenstoff enthält. Allerdings kann das reine TiAl-Nitrid auch durch TiAlCN ersetzt werden, das ein Karbonitrid ist, das Kohlenstoff in einer Menge enthält, die so bestimmt ist, dass sich die Härte, die Haftung und die anderen Eigenschaften nicht verschlechtern. Das in den Mischschichten 22b der Unterlage 22, der Zwischenlage 24 und der CrN-Lage 26 enthaltene CrN ist reines Chromnitrid, das keinen Kohlenstoff enthält. Allerdings kann das reine Chromnitrid durch CrCN ersetzt werden, das ein Karbonitrid ist, das Kohlenstoff in einer Menge enthält, die so bestimmt ist, dass sich die Schlüpfrigkeit, die Wärmebeständigkeit und die anderen Eigenschaften nicht verschlechtern.
  • Abgesehen davon stellt 3 eine schematische Ansicht (schematische Darstellung) dar, die eine Lichtbogenionenplattieranlage 30 zeigt, die vorteilhafter Weise zum Ausbilden der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 oder 28 verwendet werden kann. Die Lichtbogenionenplattieranlage 30 enthält: ein Haltebauteil 32 zum Halten einer Vielzahl von Zwischenprodukten in Form der Substrate 12, von denen noch keines mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 oder 28 beschichtet ist, aber jedes bereits mit Schneidekanten 16, 18 ausgebildet ist; eine Drehvorrichtung 34 zum Drehen des Haltebauteils 32 um eine Drehachse, die im Wesentlichen in vertikaler Richtung verläuft; eine Vorspannungsversorgungsquelle 36 zum Anlegen einer negativen Vorspannung an die Substrate 12; einen Prozessbehälter in Form einer Kammer 38, der die Substrate 12 aufnimmt; eine erste und zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 44, 46; eine Reaktionsgaszufuhrvorrichtung 40 zum Zuführen eines Reaktionsgases in die Kammer 38; und eine Vakuumvorrichtung 42 zum Absaugen eines Gases im Innern des Reaktors 22 mit beispielsweise einer Vakuumpumpe, um so den Druck im Innern der Kammer 38 zu reduzieren. Das Haltebauteil 32 besteht aus einem zylinderförmigen oder prismenförmigen Bauteil, dessen Mitte auf der oben beschriebenen Achse liegt. Die Vielzahl von Substraten 12 wird durch das Haltebauteil 32 so gehalten, dass jedes Substrat 12 eine im Wesentlichen horizontale Lage einnimmt, wobei der Schneidezahnabschnitt 14 in Radialrichtung des Haltebauteils 32 nach außen ragt. Die Reaktionsgaszufuhrvorrichtung 40 ist mit einem Tank ausgestattet, in dem Stickstoffgas (N2) gespeichert ist, so dass unter Zufuhr des Stickstoffgases in die Kammer 38 ein Nitrid aus TiAl und ein Nitrid aus Cr gebildet werden können. Dabei ist zu beachten, dass, wenn ein Karbonitrid aus TiAl und ein Karbonitrid aus Cr gebildet werden sollen, ein Tank vorgesehen wird, der Kohlenwasserstoffgas (CH4, C2H2, usw.) speichert, damit sowohl das Kohlenwasserstoffgas als auch das Stickstoffgas zugeführt werden können.
  • Die erste Bogenentladungsversorgungsquelle 44 ist mit einer ersten Verdampfungsquelle (Target) 48 als Kathode, die aus einer TiAl-Legierung gebildet ist, die das in den TiAlN-Schichten 22a und den Mischschichten 22b enthaltene TiAlN bildet, und außerdem mit einer Anode 50 verbunden. Die erste Bogenentladungsversorgungsquelle 44 dient dazu, zwischen der ersten Verdampfungsquelle 48 und der Anode 50 eine vorbestimmte Höhe an Lichtbogenstrom zuzuführen, um dazwischen für eine Bogenentladung zu sorgen, damit von der ersten Verdampfungsquelle 48 TiAl abgedampft wird. Das abgedampfte TiAl wird zu Metallionen (positiven Ionen) und haftet dann an den Werkzeugsubstraten 12 an, an die durch die Vorspannungsversorgungsquelle 36 die negative Vorspannung angelegt wird. Entsprechend ist die zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 46 mit einer zweiten Verdampfungsquelle (Target) 52 als Kathode, die aus Cr gebildet ist, das das in den Mischschichten 22b, der Zwischenlage 24 und der CrN-Lage 26 enthaltene CrN bildet, und außerdem mit einer Anode 54 verbunden. Die zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 46 dient dazu, zwischen der zweiten Verdampfungsquelle 52 und der Anode 54 eine vorbestimmte Höhe an Lichtbogenstrom zuzuführen, um dazwischen für eine Bogenentladung zu sorgen, damit von der zweiten Verdampfungsquelle 52 Cr abgedampft wird. Das angedampfte Cr wird zu Metallionen (positiven Ionen) und haftet dann an den Werkzeugsubstraten 12 an, an die durch die Vorspannungsversorgungsquelle 39 die negative Vorspannung anlegt wird.
  • Wenn unter Verwendung der Lichtbogenionenplattieranlage 30 auf einer Oberfläche des Schneidezahnabschnitts 14 des Werkzeugsubstrats 12 die Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 oder 28 ausgebildet werden soll, wird der Druck im Innern der Kammer 38 durch die Reaktionsgaszufuhrvorrichtung 40 und die Vakuumvorrichtung 42 auf einem vorgegeben Wert gehalten (der zum Beispiel von 1,33 × 5 × 10–1 Pa bis 1,33 × 40 × 10–1 Pa reicht), während durch die Vorspannungsversorgungsquelle 36 an das Werkzeugsubstrat 12 ein vorgegebener Wert für die negative Vorspannung angelegt wird (der zum Beispiel von –50 V bis –150 V reicht). Dabei entleert die Vakuumvorrichtung 42 die Kammer 30 und speist die Reaktionsgaszufuhrvorrichtung 40 gleichzeitig das Reaktionsgas auf eine solche Weise in die Kammer 30 ein, dass der Druck im Innern der Kammer 30 bei dem oben beschriebenen Wert gehalten wird. Während dann die Drehvorrichtung 34 aktiviert wird, um das Haltebauteil 32 mit einer vorgegeben Drehzahl (von zum Beispiel 3 min–1), zu drehen, wird auf dem Werkzeugsubstrat 12 durch gezieltes Einschalten (AN) und Abschalten (AUS) der ersten und zweiten Bogenentladungsversorgungsquelle 44, 46 die Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 oder 28 gebildet.
  • Und zwar wird der Lichtbogenstrom, wenn die erste Bogenentladungsversorgungsquelle 44 eingeschaltet ist, während die zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 46 ausgeschaltet ist, zwischen der ersten Verdampfungsquelle 48 und der Anode 50 zugeführt, so dass von der ersten Verdampfungsquelle 48 TiAl-Metallionen abgegeben werden. Die abgegebenen TiAl-Metallionen reagieren mit dem Stickstoffgas, so dass TiAlN gebildet wird und an der Oberfläche des Werkstoffsubstrats 12 anhaftet, wodurch die TiAlN- Schicht 22a gebildet werden kann. Der Wert des von der ersten Bogenentladungsversorgungsquelle 44 zugeführten Lichtbogenstroms und die Einschaltzeit, während der die erste Bogenentladungsversorgungsquelle 44 eingeschaltet ist, werden basierend auf der gewünschten Dicke der TiAlN-Schicht 22a festgelegt.
  • Wenn nun die zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 46 eingeschaltet ist, während die erste Bogenentladungsversorgungsquelle 44 ausgeschaltet ist, wird der Lichtbogenstrom zwischen der zweiten Verdampfungsquelle 52 und der Anode 54 zugeführt, so dass von der ersten Verdampfungsquelle 48 Cr-Metallionen abgegeben werden. Die abgegebenen Cr-Metallionen reagieren mit dem Stickstoffgas, so dass CrN gebildet wird und an der Oberfläche des Werkzeugsubstrats 12 anhaftet, wodurch die CrN-Lage 26 gebildet werden kann. Der Wert des von der zweiten Bogenentladungsversorgungsquelle 46 zugeführten Lichtbogenstroms und die Einschaltdauer, während der die zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 46 eingeschaltet ist, werden basierend auf der gewünschten Dicke der Cr-Lage 26 festgelegt.
  • Wenn nun die erste und zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 44, 46 beide eingeschaltet sind, wird der Lichtbogenstrom zwischen der ersten Verdampfungsquelle 48 und der Anode 50 und zwischen der zweiten Verdampfungsquelle 52 und der Anode 54 zugeführt. In diesem Fall werden von der ersten Verdampfungsquelle 48 die TiAl-Metallionen abgegeben, während von der zweiten Verdampfungsquelle 52 die Cr-Metallionen abgegeben werden. Die abgegebenen TiAl-Metallionen und Cr-Metallionen reagieren mit dem Stickstoffgas, so dass das TiAlN und das CrN gebildet werden und an der Oberfläche des Werkzeugsubstrats 12 anhaften. Da sich die erste Verdampfungsquelle 48 und die zweite Verdampfdungsquelle 52 auf jeweils entgegengesetzten Seiten des Haltebauteils 33 befinden, haften das TiAlN und das CrN abwechselnd an der Oberfläche des Werkzeugsubstrats 12 an, wenn sich das Haltebauteil 32 dreht, so dass es möglich ist, die Mischlage 22b und die Zwischenlage 24 zu bilden, in denen das TiAlN und das CrN miteinander gemischt sind. Die Einschaltdauern, während der die erste und zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 44, 46 eingeschaltet sind, werden basierend auf den gewünschten Dicken der Mischschicht 22b und der Zwischenlage 24 festgelegt. Die Werte der von der ersten und zweiten Bogenentladungsversorgungsquelle 44, 46 zugeführten Lichtbogenströme werden basierend auf den gewünschten Dicken der Mischlage 22b und der Zwischenlage 24 und dem Mischverhältnis zwischen TiAlN und CrN festgelegt.
  • Indem also die erste und zweite Bogenentladungsversorgungsquelle 44, 46 jeweils zwischen ihren eingeschalteten und ausgeschalteten Zuständen (AN und AUS) umgeschaltet werden, ist es möglich, kontinuierlich die Unterlage 22 (mit den TiAlN-Schichten 22a und den TiAlN + CrN-Mischschichten 22b, die abwechselnd übereinander liegen), die aus der TiAlN + CrN-Mischschicht bestehende Zwischenlage 24 und die CrN-Lage 26 auszubilden, so dass die Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20, 28 auf der Oberfläche des Werkzeugsubstrats 12 aufgebracht werden kann. Der Arbeitsablauf für das Ausbilden der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20, 28, etwa das jeweilige Umschalten der ersten und zweiten Bogenentladungsversorgungsquelle 44, 46, kann automatisch durch eine Steuerungsvorrichtung erfolgen, die einen Computer enthält.
  • Dank des Vorhandenseins der Unterlage 22 mit den TiAlN-Schichten 22a und den TiAlN + CrN-Mischschichten 22b, die abwechselnd übereinander liegen, ist es mit der erfindungs gemäßen Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20, 28 möglich, eine hervorragende Verschleißfestigkeit und Haftfestigkeit zu erzielen. Da die CrN-Lage 26 außerdem den obersten Abschnitt der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20, 28 bildet und dafür sorgt, dass die Oberfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 22, 28 einen geringen Reibungskoeffizienten hat, ist es möglich, die Schlüpfrigkeit und den Aufschweißwiderstand zu verbessern. Da außerdem die Oxidationseinsetztemperatur der CrN-Lage 26 mit etwa 700°C hoch ist, werden auch in einer Hochtemperaturumgebung stabil hervorragende Beschichtungseigenschaften bewahrt. Mit dem mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20, 28 beschichteten Kugelschaftfräser 10 ist es daher möglich, in einem breiten Einsatzbereich von zum Beispiel einem Fall, bei dem ein Werkstück geschnitten wird, das aus einem eisenhaltigen oder nichteisenhaltigen Werkstoff (z. B. Kupferlegierung) mit geringer Härte besteht und leicht verschweißbar ist, bis zu einem Fall, bei dem eine Werkstück geschnitten wird, das aus einem Werkstoff hoher Härte wie wärmebehandeltem Stahl mit einer Härte von etwa 50 HRC besteht, eine hervorragende Schneideleistung und Haltbarkeit zu erzielen. Genauer gesagt ist es aufgrund des Vorhandenseins der CrN-Lage 26 möglich, den Verschleiß auf jeder Spanfläche einzuschränken und in einer späten Phase des Schneidevorgangs eine Änderung des Spanwinkels zur negativen Seite einzuschränken, so dass das Schneidevermögen zufrieden stellend für eine lange Zeit aufrechterhalten werden kann, wodurch die Haltbarkeit des Werkzeugs verbessert und die Qualität der fertigen Oberfläche des Werkstücks stabilisiert wird. Der Kugelschaftfräser 10 hat einen fernen Endabschnitt, der sich im Bereich seiner Drehachse befindet, wobei das Werkstück aufgrund des geringen Schneidevermögens des fernen Endabschnitts leicht mit dem fernen Endabschnitt verschweißbar ist. Dank des Vorhandenseins der CrN-Lage 26 kann das Verschweißen jedoch eingeschränkt werden, wodurch die Schneideleistung und die Haltbarkeit zufrieden stellend bewahrt werden. Da sich die hervorragenden Beschichtungseigenschaften außerdem auch in der Hochtemperaturumgebung stabil erreichen lassen, ist das Schneidwerkzeug dazu in der Lage, unter harten Schneidebedingungen wie unter einer beispielsweise durch Reibungshitze verursachten hohen Temperatur einen Schneidevorgang auszuführen. Bei diesen Ausführungsbeispielen, in denen die TiAlN-Schicht 22a für die unterste Schicht und die oberste Schicht der Unterlage 22 sorgt, kann die Unterlage 22 dank der für die unterste Schicht sorgenden TiAlN-Schicht 22a mit hervorragender Haftung am Werkzeugsubstrat anhaften, während die Unterlage 22 dank der für die oberste Schicht sorgenden TiAlN-Schicht 22a eine hervorragende Verschleißfestigkeit haben kann. Da die CrN-Lage 26 direkt oder über die Zwischenlage 24 auf der für die oberste Schicht sorgenden TiAlN-Schicht 22a aufgebracht ist, wird die TiAlN-Schicht 22a mit der hohen Härte nicht in direktem Kontakt mit dem Werkstück gebracht. Allerdings dient die TiAlN-Schicht dazu, die Verformung der CrN-Lage 26 einzuschränken, so dass sich die Verschleißfestigkeit der CrN-Lage 26 verbessert.
  • Da sich bei der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20 von 1 zudem zwischen der Unterlage 22 und der CrN-Lage 26 die aus der (CrN enthaltenden) TiAlN + CrN-Mischschicht bestehende Zwischenlage 24 befindet, liegt die CrN-Lage 26 bezüglich der Unterlage 22, für deren oberste Schicht die TiAlN-Schicht 22a sorgt, mit hoher Haftung auf, so dass Schartenbildung und Abblättern der CrN-Lage 26 noch besser eingeschränkt werden.
  • Da bei der Mehrlagenhartstoffbeschichtung 20, 28 dieser Ausführungsbeispiele die Gesamtdicke der Beschichtung 20, 28 zudem nicht mehr als 10 μm beträgt, ist es möglich, das Abblättern der Beschichtung 20, 28 von dem Werkzeugsubstrat 12 einzuschränken, so dass eine hervorragende Haftung zwischen der Beschichtung 20, 28 und dem Werkzeugsubstrat 12 erzielt wird. Dank der Gesamtdicke von nicht mehr als 10 μm kann außerdem verhindert werden, dass die Außenschneidekanten 16 und die rundnasigen Endschneidekanten 18 abgerundet werden, so dass eine Verschlechterung der Schneideleistung verhindert wird. Da gleichzeitig die Gesamtdicke der Beschichtung 20, 28 nicht weniger als 2,2 μm beträgt, ist es möglich, eine vorgegebene Beschichtungsfestigkeit und -leistung zu erzielen. Dadurch, dass die Dicke der Unterlage 22 nicht weniger als 2 μm beträgt, ist es möglich, die von der Unterlage 22 geforderte Beschichtungsleistung und -festigkeit, wie etwa eine ausreichende Verschleißfestigkeit, Wärmebeständigkeit und Haftfestigkeit, zu erreichen. Da die Dicke der Zwischenlage 24 und der CrN-Lage 26 zudem jeweils nicht weniger als 0,1 μm beträgt, ist es möglich, Beschichtungseigenschaften wie eine ausreichende Haftung und Schlüpfrigkeit zu erreichen.
  • 5 ist ein Satz Ansichten, der das Messergebnis der VB-Verschleißbreite (Flankenverschleißbreite) auf jeweiligen Kugelschaftfräsern 10 zeigt, die jeweils rundnasige Endschneidekanten 18 hatten, deren Radius R 1,5 mm betrug, wobei die Messung erfolgte, nachdem jeder Kugelschaftfräser 10 verwendet wurde, um unter den in der Ansicht (a) von 5 angegebenen Schneidebedingungen C1100 (JIS: Kupfer) über eine Strecke von 400 mm zu schneiden. Die Kugelschaftfräser 10 hatten jeweils verschiedene Beschichtungen, wie sie in der Ansicht (b) von 5 angegeben sind. Wie in der Ansicht (b) von 5 gezeigt ist, reichten die VB-Verschleißbreiten der erfindungsgemäßen Produkte von 0,035 μm bis 0,049 μm, so dass ersichtlich ist, dass die erfindungsgemäßen Produkte eine Verschleißbeständigkeit hatten, die gegenüber den Vergleichsprodukten verbessert ist, und auch gegenüber einem leicht verschweißbaren Werkstück wie Kupfer eine hervorragende Haltbarkeit hatten. So war die Haltbarkeit jedes erfindungsgemäßen Produkts zum Beispiel mindestens zweimal so hoch wie die Haltbarkeit des Vergleichsprodukts (herkömmliches Produkt), dessen Beschichtung lediglich aus der Unterlage 22 mit dem mehrschichtigen Aufbau bestand, da die VB-Verschleißbreite bei diesem Vergleichsprodukt 0,093 μm betrug. Dabei ist zu beachten, das die TiAlN-Schicht 22a sowohl bei den Vergleichsprodukten wie auch bei den erfindungsgemäßen Produkten für die oberste und unterste Schicht der Unterlage 22 mit dem mehrschichtigen Aufbau sorgte (in dem die TiAlN-Schichten 22a und die TiAlN – CrN-Mischschichten 22b abwechselnd übereinander liegen).
  • 6 ist ein Satz Ansichten, der das Messergebnis der VB-Verschleißbreite (Flankenverschleißbreite) auf jeweiligen Kugelschaftfräsern 10 zeigt, die jeweils rundnasige Endschneidkanten 18 hatten, deren Radius R 3 mm betrug, wobei die Messung erfolgte, nachdem jeder Kugelschaftfräser 10 dazu verwendet wurde, unter den in der Ansicht (a) von 6 angegebenen Schneidebedingungen S50C (JIS: Kohlenstoffstahl für den Maschinenbau) über eine Strecke von 56 mm zu schneiden. Die Kugelschaftfräser 10 hatten jeweils verschiedene Beschichtungen, wie sie in der Ansicht (b) von 6 angegeben sind. Wie in der Ansicht (b) von 6 gezeigt ist, reichten die VB-Verschleißbreiten bei den erfindungsgemäßen Produkten von 0,063 μm bis 0,078 μm, so dass verständlich ist, dass die erfindungsgemäßen Produkte eine Verschleißfestigkeit hatten, die gegenüber den Vergleichsprodukten verbessert war, und auch gegenüber einem Werkstück aus einem Werkstoff hoher Härte wie Kohlenstoffstahl eine hervorragende Haltbarkeit hatten. Die Haltbarkeit jedes erfindungsgemäßen Produkts war zum Beispiel um 10% gegenüber dem Vergleichsprodukt (herkömmliches Produkt) mit der Beschichtung, die lediglich aus der Unterlage 22 mit dem mehrschichtigen Aufbau bestand, verbessert, da die VB-Verschleißbreite bei dem Vergleichsprodukt 0,091 μm betrug. Dabei ist zu beachten, dass die TiAlN-Schicht 22a bei sowohl den Vergleichsprodukten wie auch den erfindungsgemäßen Produkten für die oberste und unterste Schicht der Unterlage 22 mit dem mehrschichtigen Aufbau sorgte (in dem die TiAlN-Schichten 22a und die TiAlN + CrN-Mischschichten 22b abwechselnd übereinander liegen).
  • Oben wurden zwar die derzeit bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung beschrieben, doch versteht sich, dass die Erfindung nicht auf die Einzelheiten der dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern mit verschiedenen anderen Änderungen, Abwandlungen und Verbesserungen ausgeführt werden kann, die dem Fachmann in den Sinn kommen, ohne vom Grundgedanken und Schutzumfang der in den folgenden Ansprüchen definierten Erfindungen abzuweichen.
  • GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
  • Da die erfindungsgemäße Mehrlagenhartstoffbeschichtung ausreichend Verschleißfestigkeit und Aufschweißwiderstand hat, ist es, wenn die Mehrlagenhartstoffbeschichtung auf der Oberfläche eines Werkzeugsubstrats eines Drehschnittwerkzeugs oder dergleichen aufbracht wird, möglich, in einem weiten Einsatzbereich von zum Beispiel einem Fall, bei dem ein Werkstück geschnitten wird, das aus einer Kupferlegierung oder einem anderen Werkstoff geringer Härte und leichter Verschweißbarkeit besteht, bis zu einem Fall, bei dem ein Werkstück geschnitten wird, das aus einem wärmebehandelten Stahl oder einem anderen Werkstoff hoher Härte besteht, eine hervorragende Schneideleistung und Haltbarkeit zu erzielen. Daher wird die erfindungsgemäße Mehrlagenhartstoffbeschichtung vorteilhafter Weise als eine Hartstoffbeschichtung verwendet, die auf der Oberfläche eines Schneidwerkzeugs wie eines Kugelschaftfräsers aufgebracht wird. Daneben kann sie auch als eine Beschichtung Anwendung finden, die zum Beispiel als eine Oberflächenschutzbeschichtung für einen anderen Körpers als die Bearbeitungswerkzeuge, etwa für ein elektronisches Bauteil, sorgen soll.
  • Zusammenfassung
  • (geändert mit Eintritt in nationale Phase)
  • Eine Mehrlagenhartstoffbeschichtung (20a) enthält: (a) eine Unterlage (22), die auf einem Körper (12) aufzubringen ist und die eine TiAlN-Schicht (22a) und eine TiAlN + CrN-Mischschicht (22b) enthält, die abwechselnd übereinander liegen; und (b) eine CrN-Lage (26), die auf der Unterlage aufgebracht ist und die für eine Außenfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung sorgt. Die Mehrlagenhartstoffbeschichtung kann außerdem (c) eine Zwischenlage (24) enthalten, die sich zwischen der Unterlage und der CrN-Lage befindet. Außerdem ist ein mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenes Werkzeug (10) offenbart, das als den Körper, der mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung beschichtet ist, ein Werkzeugsubstrat (12) enthält.
  • 10
    Kugelschaftfräser (mit Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenes Werkzeug)
    12
    Werkzeugsubstrat (Körper)
    20, 28
    Mehrlagenhartstoffbeschichtung
    22
    Unterlage
    22a
    TiAlN-Schicht
    22b
    Mischschicht
    24
    Zwischenlage
    26
    CrN-Lage
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2002-275618 A [0002]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - JIS R1613 [0038]

Claims (7)

  1. Mehrlagenhartstoffbeschichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sie besteht aus; einer Unterlage, die auf einem vorbestimmten Körper aufgebracht ist und eine TiAlN-Schicht und eine Mischschicht aus TiAlN + CrN enthält, die abwechselnd übereinander liegen; einer Zwischenlage, die auf der Unterlage aufgebracht ist und aus einer Mischschicht aus TiAlN + CrN besteht; einer CrN-Lage, die auf der Zwischenlage aufgebracht ist und für eine Oberfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung sorgt.
  2. Mehrlagenhartstoffbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass: die Unterlage eine Dicke von 2 μm bis 8 μm hat; die Zwischenlage eine Dicke von 0,1 μm bis 5 μm hat; die CrN-Lage eine Dicke von 0,1 μm bis 5 μm hat; die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht mehr als 10 μm beträgt.
  3. Mehrlagenhartstoffbeschichtung, dadurch gekennzeichnet, dass sie besteht aus: einer Unterlage, die auf einem vorbestimmten Körper aufgebracht ist und eine TiAlN-Schicht und eine Mischschicht aus TiAlN + CrN enthält, die abwechselnd übereinander liegen; und einer CrN-Lage, die auf der Unterlage aufgebracht ist und für eine Oberfläche der Mehrlagenhartstoffbeschichtung sorgt.
  4. Mehrlagenhartstoffbeschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass: die Unterlage eine Dicke von 2 μm bis 8 μm hat; die CrN-Lage eine Dicke von 0,1 μm bis 0,8 μm hat und; die Gesamtdicke der Mehrlagenhartstoffbeschichtung nicht mehr als 10 μm beträgt.
  5. Mehrlagenhartstoffbeschichtung nach einem der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass: die TiAlN-Schicht für jeweils die unterste Schicht und die oberste Schicht der Unterlage sorgt.
  6. Mehrlagenhartstoffbeschichtung nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass die Mehrlagenhartstoffbeschichtung auf einer Oberfläche eines Schneidwerkzeugs aufzubringen ist.
  7. Mit einer Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehenes Werkzeug, dadurch gekennzeichnet, dass das mit der Mehrlagenhartstoffbeschichtung versehene Werkzeug an einer Oberfläche von ihm mit der in einem der Ansprüche 1–5 definierten Mehrlagenhartstoffbeschichtung bedeckt ist.
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