DE112005001322T5 - Countercurrent micro heat exchanger with optimum effectiveness - Google Patents

Countercurrent micro heat exchanger with optimum effectiveness Download PDF

Info

Publication number
DE112005001322T5
DE112005001322T5 DE112005001322T DE112005001322T DE112005001322T5 DE 112005001322 T5 DE112005001322 T5 DE 112005001322T5 DE 112005001322 T DE112005001322 T DE 112005001322T DE 112005001322 T DE112005001322 T DE 112005001322T DE 112005001322 T5 DE112005001322 T5 DE 112005001322T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
heat exchanger
integrated circuit
micro
vector
fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112005001322T
Other languages
German (de)
Inventor
Mark Los Altos Munch
Girish Cupertino Upadhya
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cooligy Inc
Original Assignee
Cooligy Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cooligy Inc filed Critical Cooligy Inc
Publication of DE112005001322T5 publication Critical patent/DE112005001322T5/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Abstract

Verfahren zum Kühlen eines integrierten Schaltkreises unter Verwendung eines Mikro-Wärmetauschers mit folgenden Verfahrensschritten:
a. Bestimmen eines Temperaturgradienten, der dem integrierten Schaltkreis zugeordnet ist;
b. Bestimmen eines ersten Vektors, der an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet;
c. Bestimmen einer gerichteten Strömung eines Fluids innerhalb des Mikro-Wärmetauschers;
d. Orientieren des Mikro-Wärmetauschers zu dem integrierten Schaltkreis so, daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises entgegen der gerichteten Strömung des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist, wodurch eine Gegenstromausrichtung gebildet wird; und
e. Kuppeln des Mikro-Wärmetauschers an den integrierten Schaltkreis gemäß der Gegenstromausrichtung.
Method for cooling an integrated circuit using a micro heat exchanger with the following method steps:
a. Determining a temperature gradient associated with the integrated circuit;
b. Determining a first vector that begins at a hot portion of the temperature gradient and ends at a cold portion of the temperature gradient;
c. Determining a directional flow of a fluid within the micro-heat exchanger;
d. Orienting the micro heat exchanger to the integrated circuit such that the first vector of the integrated circuit is aligned against the directional flow of the micro heat exchanger, thereby forming a counter current orientation; and
e. Coupling of the micro-heat exchanger to the integrated circuit according to the countercurrent orientation.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Insbesondere betrifft die Erfindung einen Wärmetauscher, welcher einen Gegenstrom verwendet, um einen integrierten Schaltkreis optimal zu kühlen.Especially the invention relates to a heat exchanger, which uses a countercurrent to an integrated circuit to cool optimally.

Hintergrund der Erfindungbackground the invention

Da integrierte Schaltkreise bezüglich ihrer Komplexität, Wirksamkeit und Dichte zunehmen, erhöht sich auch die durch diese integrierten Schaltkreise erzeugte Wärme. Eine Ableitung oder auf andere Weise erfolgende Entfernung dieser stets anwachsenden Wärme ist für die weitere Entwicklung von integrierten Schaltkreisen kritisch.There integrated circuits with respect to their complexity, Effectiveness and density increase, which also increases by this integrated circuits generated heat. A derivative or up other wise removal of this ever increasing heat is for the further development of integrated circuits critical.

Ein Wärmetauscher wird verwendet, um Wärme von einer Wärmequelle wie einem integrierten Schaltkreis auf ein anderes Medium wie ein Fluid zu übertragen. Viele Verfahren zum Verbessern der Wärmeübertragung von der Wärmequelle auf den Wärmetauscher sind entwickelt worden. Beispiele solcher Verfahren umfassen ein Optimieren der Form und/oder Konfiguration von Mikrokanälen bzw. Kühlrippen innerhalb eines Wärmeaustauschers und eine Verbesserung einer thermischen Grenzschicht zwischen der Wärmequelle und dem Wärmetauscher durch Verwendung von Oberflächenmaterialien mit ähnlicher thermischer Leitfähigkeit. Die Wirksamkeit eines Wärmetauschers hängt auch von zahlreichen anderen Faktoren ab, wie der Strömungsrate einer innerhalb des Wärmetauschers verwendeten Kühlflüssigkeit und der verwendeten Verteiler-Konfiguration, um die Kühlflüssigkeit bestimmten Bereichen innerhalb des Wärmetauschers zuzuführen.One heat exchangers is used to heat from a heat source like an integrated circuit on another medium like a Transfer fluid. Many methods for improving the heat transfer from the heat source on the heat exchanger have been developed. Examples of such methods include Optimizing the shape and / or configuration of microchannels or cooling fins inside a heat exchanger and an improvement of a thermal boundary layer between the heat source and the heat exchanger through Use of surface materials with similar thermal conductivity. The effectiveness of a heat exchanger hangs too from numerous other factors, such as the flow rate one within the heat exchanger used coolant and the used distributor configuration to the cooling liquid supply certain areas within the heat exchanger.

Beispiele von Wärmetauscher-Erfindungen sind beschrieben in der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/439 635 vom 16. Mai 2003 „METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOTSPOT COOLING BY MICROCHANNEL HEATSINKS", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/439 912 vom 16. Mai 2003 "INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICROCHANNEL HEAT EXCHANGERS", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/881 980 vom 29. Juni 2004 „INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICRO-CHANNEL HEAT EXCHANGERS", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/882 142 vom 29. Juni 2004 „METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOTSPOT COOLING BY MICROCHANNEL HEATSINKS", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung „APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/680 584 vom 6. Oktober 2003 „METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/698 179 vom 30. Oktober 2003 „METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", und der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/882 132 vom 29. Juni 2004 „METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", auf welche hiermit Bezug genommen wird.Examples of heat exchanger inventions described in the pending U.S. Patent Application S.N. 10/439 635 of 16 May 2003 "METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOTSPOT COOLING BY MICROCHANNEL HEATSINKS ", pending U.S. patent application S.N. 10/439 912 of 16 May 2003 "INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICROCHANNEL HEAT EXCHANGERS ", pending U.S. patent application S.N. 10/881 980 of 29 June 2004 "INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICRO-CHANNEL HEAT EXCHANGERS ", the pending U.S. Patent Application S.N. 10/882 142 of 29 June 2004 "METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOT SPOT COOLING BY MICROCHANNEL HEATSINKS ", the pending U.S. Patent Application "APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE ", pending U.S. patent application S.N. 10/680 584 of 6 October 2003 "METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE ", pending U.S. patent application S.N. 10/698 179 of 30 October 2003 "METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE ", and co-pending U.S. patent application S.N. 10/882 132 of 29 June 2004 "METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE ", which is hereby incorporated by reference is taken.

Da durch jede nachfolgende Generation von integrierten Schaltkreisen mehr und mehr Wärme erzeugt wird, besteht ein stets wachsendes Bedürfnis, die Effektivität der Wärmeübertragung von der Wärmequelle zu verbessern.There through every subsequent generation of integrated circuits more and more heat is generated, there is an ever-increasing need, the effectiveness of heat transfer from the heat source to improve.

Zusammenfassung der ErfindungSummary the invention

Unter einem Aspekt der vorliegenden Erfindung kühlt ein Verfahren einen integrierten Schaltkreis unter Verwendung eines Mikro-Wärmetauschers. Das Verfahren umfaßt ein Bestimmen eines Temperaturgradienten, der dem integrierten Schaltkreis zugeordnet ist, ein Bestimmen eines ersten Vektors, der an einem heißen Abschnitt des Siliziumgehäuse-Temperaturprofils beginnt und an einem kalten Abschnitt des Siliziumgehäuse-Temperaturprofils endet, ein Bestimmen einer gerichteten Strömung eines Fluids innerhalb des Mikro-Wärmetauschers, ein Orientieren des Mikro-Wärmetauschers zu dem integrierten Schaltkreis so, daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises gegen die gerichtete Strö mung des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist, wodurch eine Gegenstrom-Ausrichtung gebildet wird, und ein Ankuppeln des Mikro-Wärmetauschers an den integrierten Schaltkreis gemäß der Gegenstrom-Ausrichtung. 3 zeigt ein Beispiel einer solchen Ausrichtung. Die gerichtete Strömung kann der Fluid-Strömung von einem Einlaß-Anschluß des Mikro-Wärmetauschers zu einem Auslaß-Anschluß des Wärmetauschers entsprechen. Die gerichtete Strömung kann einem zweiten Vektor entsprechen, der an dem Einlaß-Anschluß beginnt, und an dem Auslaß-Anschluß des Mikro-Wärmetauschers endet. Eine Einlaßtemperatur des Fluids an dem Einlaß-Anschluß kann kleiner sein als eine Auslaßtemperatur des Fluids an dem Auslaß-Anschluß. Der Einlaß-Anschluß kann an dem kalten Abschnitt des integralen Schaltkreises positioniert sein, und der Auslaß-Anschluß ist an dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert. Eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem vorgegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher kann unterschiedlich zu der gerichteten Strömung sein. Der heiße Abschnitt kann einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entsprechen. Der kalte Abschnitt kann einem kältesten Abschnitt auf dem Temperaturgradienten entsprechen.In one aspect of the present invention, a method cools an integrated circuit using a micro heat exchanger. The method includes determining a temperature gradient associated with the integrated circuit, determining a first vector that begins at a hot portion of the silicon body temperature profile and ends at a cold portion of the silicon body temperature profile, determining a directional flow of fluid within orienting the micro heat exchanger to the integrated circuit so that the first vector of the integrated circuit is aligned with the directional flow of the micro heat exchanger, thereby forming a countercurrent orientation, and coupling the micro heat exchanger to the micro-heat exchanger; Heat exchanger to the integrated circuit according to the counter-current orientation. 3 shows an example of such an orientation. The directed flow may correspond to the fluid flow from an inlet port of the micro heat exchanger to an outlet port of the heat exchanger. The directional flow may correspond to a second vector beginning at the inlet port and terminating at the outlet port of the micro heat exchanger. An inlet temperature of the fluid at the inlet port may be less than an outlet temperature of the fluid at the outlet port. The inlet port may be positioned at the cold portion of the integral circuit and the outlet port is positioned at the hot portion of the integrated circuit. An actual direction of flow of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger may be different than the directional flow. The hot section can be a high tem temperature on the temperature gradient. The cold section may correspond to a coldest section on the temperature gradient.

Unter einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung kühlt ein Verfahren einen integrierten Schaltkreis unter Verwendung eines Mikro-Wärmetauschers. Das Verfahren umfaßt eine Bestimmung eines Temperaturgradienten von heiß nach kalt über den integrierten Schaltkreis, ein Bestimmen eines ersten Vektors, der an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet, ein Bestimmen eines zweiten Vektors, der einer gerichteten Strömung eines Fluids von einem Einlaß zu einem Auslaß innerhalb des Mikro-Wärmetauschers entspricht, und ein Ankuppeln des Mikro-Wärmetauschers an den integrierten Schaltkreis, so daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises rechtwinklig zu dem zweiten Vektor des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist. Die 5 und 6 zeigen Beispiele solcher Ausrichtungen. Eine Einlaß-Temperatur des Fluids an dem Einlaß kann kleiner sein als eine Auslaßtemperatur des Fluids an dem Auslaß. Eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem gegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher kann unterschiedlich zu dem zweiten Vektor sein. Der heiße Abschnitt kann einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entsprechen. Der kalte Abschnitt kann einer kältesten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entsprechen.In another aspect of the present invention, a method cools an integrated circuit using a micro heat exchanger. The method includes determining a temperature gradient from hot to cold across the integrated circuit, determining a first vector that starts at a hot portion of the temperature gradient and ends at a cold portion of the temperature gradient, determining a second vector that is a directional flow Fluid from an inlet to an outlet within the micro-heat exchanger, and coupling the micro-heat exchanger to the integrated circuit, so that the first vector of the integrated circuit is aligned perpendicular to the second vector of the micro-heat exchanger. The 5 and 6 show examples of such alignments. An inlet temperature of the fluid at the inlet may be less than an outlet temperature of the fluid at the outlet. An actual flow direction of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger may be different than the second vector. The hot section may correspond to a highest temperature on the temperature gradient. The cold section may correspond to a coldest temperature on the temperature gradient.

Unter einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine aus einem Mikro-Wärmetauscher und einem integrierten Chip bestehende Anordnung einen integrierten Chip auf, wobei der integrierte Schaltkreis einen zugeordneten Temperaturgradienten aufweist, und ein erster Vektor an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet, und ein Mikro-Wärmetauscher an den integrierten Schaltkreis angekuppelt ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher einen Einlaß-Anschluß zur Aufnahme eines Fluids sowie einen Auslaßanschluß zum Abgeben des Fluids aufweist, wobei ein zweiter Vektor an dem Einlaßanschluß beginnt und an dem Auslaßanschluß endet, und wobei der Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis so orientiert sind, daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises entgegen dem zweiten Vektor des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist. Der zweite Vektor bestimmt bevorzugt eine gerichtete Strömung des Fluids. Die Einlaßtemperatur des Fluids an dem Einlaß-Anschluß kann kleiner sein als eine Auslaßtemperatur des Fluids an dem Auslaß-Anschluß. Der Einlaß-Anschluß kann an dem kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert sein, und der Auslaß-Anschluß ist an dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert. Eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem gegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher kann unterschiedlich zu dem zweiten Vektor sein. Der heiße Abschnitt kann einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entsprechen. Der kalte Abschnitt kann einer kältesten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entsprechen.Under Another aspect of the present invention is characterized a micro heat exchanger and an integrated chip arrangement an integrated Chip on, the integrated circuit having an associated temperature gradient and a first vector at a hot portion of the temperature gradient starts and ends at a cold section of the temperature gradient, and a micro heat exchanger is coupled to the integrated circuit, wherein the micro-heat exchanger an inlet port for receiving a fluid and an outlet port for dispensing of the fluid, with a second vector beginning at the inlet port and ends at the outlet port, and wherein the micro-heat exchanger and the integrated circuit are oriented so that the first Vector of the integrated circuit against the second vector of the micro heat exchanger is aligned. The second vector preferably determines a directed one flow of the fluid. The inlet temperature the fluid at the inlet port may become smaller its as an outlet temperature of the fluid at the outlet port. The inlet connection can positioned in the cold section of the integrated circuit and the outlet connection is on mean the hot Positioned section of the integrated circuit. An actual flow direction of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger may be different from the second vector. The hot section can be one of the highest Temperature on the temperature gradient correspond. The cold section can be a coldest Temperature on the temperature gradient correspond.

Unter einem noch weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung kühlt ein Verfahren einen integrierten Schaltkreis unter Verwendung eines Mikro-Wärmetauschers. Das Verfahren umfaßt ein Bestimmen eines Temperaturgradienten von heiß nach kalt über den integrierten Schaltkreis, ein Bestimmen eines ersten Vektors, der an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt, und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet, ein Bestimmen eines zweiten Vektors, der einer gerichteten Strömung eines Fluids von einem Einlaß zu einem Auslaß innerhalb des Mikro-Wärmetauschers entspricht, und ein Ankuppeln des Mikro-Wärmetauschers an den integrierten Schaltkreis, so daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises zu dem zweiten Vektor des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist. 4 zeigt ein Beispiel einer solchen Ausrichtung. Eine Einlaß-Temperatur des Fluids an dem Einlaß kann kleiner sein als eine Auslaß-Temperatur des Fluids an dem Auslaß. Der Einlaß kann an dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert sein, und der Auslaß ist an dem kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert. Eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem gegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher kann unterschiedlich zu dem zweiten Vektor sein. Der heiße Abschnitt kann einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entsprechen. Der kalte Abschnitt kann einer kältesten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entsprechen.In yet another aspect of the present invention, a method cools an integrated circuit using a micro heat exchanger. The method includes determining a temperature gradient from hot to cold across the integrated circuit, determining a first vector beginning at a hot portion of the temperature gradient and ending at a cold portion of the temperature gradient, determining a second vector of directional flow a fluid from an inlet to an outlet within the micro-heat exchanger, and coupling the micro-heat exchanger to the integrated circuit, so that the first vector of the integrated circuit is aligned with the second vector of the micro-heat exchanger. 4 shows an example of such an orientation. An inlet temperature of the fluid at the inlet may be less than an outlet temperature of the fluid at the outlet. The inlet may be positioned at the hot portion of the integrated circuit and the outlet is positioned at the cold portion of the integrated circuit. An actual flow direction of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger may be different than the second vector. The hot section may correspond to a highest temperature on the temperature gradient. The cold section may correspond to a coldest temperature on the temperature gradient.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenSummary the drawings

1 zeigt eine Seitenansicht eines beispielhaften integrierten Schaltkreises, der an einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher gekuppelt ist. 1 FIG. 12 shows a side view of an exemplary integrated circuit coupled to an exemplary micro heat exchanger. FIG.

2 zeigt eine Draufsicht auf ein Beispiel eines integrierten Chips. 2 shows a plan view of an example of an integrated chip.

3 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis angeordnet ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis gemäß einer bevorzugten Gegenstromorientierung konfiguriert sind. 3 FIG. 12 shows a top view of an exemplary micro-heat exchanger disposed over an exemplary integrated circuit, wherein the micro-heat exchanger and the integrated circuit are configured according to a preferred reverse flow orientation.

4 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis angeordnet ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis gemäß einer ersten alternativen Orientierung konfiguriert sind. 4 shows a top view of an exemplary micro-heat exchanger, which is disposed above an exemplary integrated circuit, wherein the micro-heat exchanger and the integrated Circuit are configured according to a first alternative orientation.

5 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis angeordnet ist, wobei Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis gemäß einer zweiten alternativen Orientierung konfiguriert sind. 5 FIG. 12 shows a top view of an exemplary micro-heat exchanger disposed over an exemplary integrated circuit, wherein micro-heat exchangers and the integrated circuit are configured according to a second alternative orientation.

6 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis angeordnet ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis gemäß einer dritten alternativen Orientierung konfiguriert sind. 6 FIG. 12 shows a top view of an exemplary micro-heat exchanger disposed over an exemplary integrated circuit, wherein the micro-heat exchanger and the integrated circuit are configured according to a third alternative orientation.

Detaillierte Beschreibung der vorliegenden Erfindungdetailed Description of the present invention

Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung sind auf eine Verbesserung der thermischen Wirkungsweise eines Mikro-Wärmetauschers und/oder einer kalten Platte gerichtet. Die thermische Wirkungsweise hängt von verschiedenen Faktoren ab, wie der Strömungsrate des Kühlfluids durch den Mikro-Wärmetauscher, Dimensionen der thermisch leitenden Elemente innerhalb des Mikro-Wärmetauschers, und der Konfiguration des Verteilers, durch welchen das Fluid an die thermisch leitfähigen Elemente geliefert wird. Es wird darauf verwiesen, daß andere Faktoren die thermische Leitfähigkeit eines Mikro-Wärmetauschers beeinflussen können.refinements The present invention is directed to an improvement of the thermal Mode of action of a micro heat exchanger and / or a cold plate. The thermal effect depends on various factors, such as the flow rate of the cooling fluid through the micro heat exchanger, Dimensions of the thermally conductive elements within the micro heat exchanger, and the configuration of the manifold through which the fluid is attached the thermally conductive Elements is delivered. It is pointed out that others Factors the thermal conductivity a micro heat exchanger can influence.

Innerhalb der Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt ein Wärmetauscher verwendet, um Wärme von einem integrierten Schaltkreis, wie einem Mikroprozessor, abzuführen. Es wird darauf verwiesen, daß der Mikro-Wärmetauscher dafür verwendet werden kann, um Wärme von anderen Typen von Wärmequellen abzuführen. In dem Fall, in dem der integrierte Schaltkreis einen nicht-gleichförmigen Wärmefluß aufweist, wird ein Temperaturgradient des integrierten Schaltkreises bestimmt. In den meisten solcher Fälle ist ein Abschnitt bzw. eine Seite des integrierten Schaltkreises heißer als der übrige Abschnitt bzw. eine andere Seite des integrierten Schaltkreises. Der Temperaturgradient ist ein Maß für die sich ändernde Temperatur über den integrierten Schaltkreis. Die Temperatur wird bevorzugt an einer Oberfläche des integrierten Schaltkreises gemessen, wo die Oberfläche des integrierten Schaltkreises die Oberfläche ist, welche in Kontakt mit dem Mikro-Wärmetauscher kommt. Der Temperaturgradient des integrierten Schaltkreises kann entweder als ansteigend von dem kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises zum heißen Abschnitt beschrieben werden, oder als fallend von dem heißen Abschnitt zum kalten Abschnitt. Es wird darauf verwiesen, daß die Begriffe „heiß" und „kalt" in einem relativen Sinne verwendet sind. D.h., daß der „heiße" Abschnitt des integrierten Schaltkreises derjenige Abschnitt ist, der heißer als der verbleibende Abschnitt des integrierten Schaltkreises ist. Ähnlich bzw. entsprechend ist der „kalte" Abschnitt des integrierten Schaltkreises derjenige Abschnitt, der kälter als der übrige Abschnitt des integrierten Schaltkreises ist. Der „kalte" Abschnitt kann auch als „warmer" oder „weniger heißer" Abschnitt bezeichnet werden. Die relative Verwendung des Begriffes „kalt" bezieht sich auf denjenigen Abschnitt des integrierten Schaltkreises, welcher kälter ist als der „heiße" Abschnitt des integrierten Schaltkreises.Within the embodiments of the present invention is preferably one heat exchangers used to heat from an integrated circuit such as a microprocessor. It It is pointed out that the Micro heat exchanger used for it can be to heat from other types of heat sources dissipate. In the case where the integrated circuit has a non-uniform heat flux, a temperature gradient of the integrated circuit is determined. In most such cases For example, a portion or side of the integrated circuit is hotter than the rest Section or another side of the integrated circuit. The temperature gradient is a measure of the changing temperature over the integrated circuit. The temperature is preferably at one surface of the integrated circuit where the surface of the integrated circuit the surface is which in contact with the micro heat exchanger comes. The temperature gradient of the integrated circuit can either as rising from the cold section of the integrated Circuit to the hot Section or as falling from the hot section to the cold section. It should be noted that the terms "hot" and "cold" in a relative Senses are used. That is, the "hot" portion of the integrated Circuit is that section that is hotter than the remaining section of the integrated circuit. Similar or corresponding the "cold" section of the integrated Circuit the section that is colder than the rest of the section of the integrated circuit. The "cold" section can also be called "warmer" or "less hot "section called become. The relative use of the term "cold" refers to that section of the integrated circuit, which is colder than the "hot" section of the integrated circuit Circuit.

Sobald der Temperaturgradient des integrierten Schaltkreises bestimmt worden ist, wird ein Temperaturvektor bestimmt. Der Temperaturvektor ist ein Maß einer allgemeinen Hitze-„Strömung" über den integrierten Schaltkreis. Bei der bevorzugten Ausgestaltung wird der Temperaturvektor als ein gerichteter Vektor gemessen, welcher von dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises zum kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises weist. Es wird darauf verwiesen, daß zahlreiche Heißstellen über den integrierten Schaltkreis verteilt vorhanden sein können. In den meisten Fällen läuft jedoch eine Zusammenstellung aller Temperaturunterschiede über den integrierten Schaltkreis auf einen allgemeinen Temperaturvektor hinaus. D.h., wenn der Temperaturgradient über den gesamten integrierten Schaltkreis gemessen worden ist, wird bei jeglicher nicht-gleichförmiger Wärmebeaufschlagung ein Abschnitt des integrierten Schaltkreises als heißer als ein anderer Abschnitt des integrierten Schalkreises gefunden. Der Temperaturvektor ist ein gerichteter Vektor, der bevorzugt von dem heißen Abschnitt zum kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises gerichtet ist.As soon as the temperature gradient of the integrated circuit has been determined is, a temperature vector is determined. The temperature vector is a measure of one general heat "flow" over the integrated circuit. In the preferred embodiment, the temperature vector is called a directional vector is measured which is from the hot section of the integrated circuit to the cold section of the integrated Circuit points. It is pointed out that numerous Hot spots over the integrated circuit may be present distributed. In most cases runs however a compilation of all temperature differences over the integrated circuit to a general temperature vector out. That is, when the temperature gradient over the entire integrated Circuit is measured at any non-uniform heat load a section of the integrated circuit as hotter than found another section of the integrated circuit. Of the Temperature vector is a directional vector, preferred by the be called Section directed to the cold section of the integrated circuit is.

Der Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises wird sodann dafür verwendet, um den oben auf dem integrierten Schaltkreis angeordneten Mikro-Wärmetauscher ordnungsgemäß zu orientieren. Um die ordnungsgemäße Orientierung zu bestimmen, wird eine gerichtete Strömung des Fluids durch den Mikro-Wärmetauscher bestimmt. Bei einem bevorzugten Mikro-Wärmetauscher tritt die Kühlflüssigkeit in den Mikro-Wärmetauscher an einem Einlaß oder an mehreren Einlässen ein. Die Kühlflüssigkeit verläßt den Mikro-Wärmetauscher an einem Auslaß oder an mehreren Auslässen. Obwohl die Kühlflüssigkeit innerhalb des Mikro-Wärmetauschers in verschiedenen Richtungen strömen kann, wird die gerichtete Strömung bevorzugt als ein gerichteter Vektor bestimmt, welcher allgemein von dem Einlaß zum Auslaß weist, oder als kombinierter Vektor aus einem oder mehreren Einlässen zu einem oder mehreren Auslässen.Of the Temperature vector of the integrated circuit is then used for around the top of the integrated circuit arranged micro-heat exchanger to orient properly. Order the proper orientation to determine a directed flow of the fluid through the micro-heat exchanger certainly. In a preferred micro-heat exchanger, the cooling liquid occurs in the micro-heat exchanger at an inlet or at several inlets one. The coolant leaves the micro heat exchanger at an outlet or at several outlets. Although the coolant inside the micro heat exchanger to flow in different directions can, is the directed flow preferably determined as a directed vector, which generally from the inlet to Has outlet, or as a combined vector from one or more inlets one or more outlets.

Bei der bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist der Mikro-Wärmetauscher, wenn er an die Oberseite des integrierten Schaltkreises gekuppelt ist, so orientiert, daß der gerichtete Vektor der Flüssigkeitsströmung entgegen dem Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises gerichtet ist. Mit anderen Worten, der Einlaß des Mikro-Wärmetauschers wird nahe zu dem kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert, und der Auslaß des Mikro-Wärmetauschers wird nahe zu dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert. Diese bevorzugte Orientierung wird als Gegenstrom-Orientierung bezeichnet. In dem Fall, in dem der integrierte Schaltkreis eine nicht-gleichförmige Wärmeströmung aufweist, kann die thermische Wirksamkeit des Mikro-Wärmetauschers durch Schaffung einer Gegenstromrichtung für die Flüssigkeitsströmung durch den Mikro-Wärmetauscher verbessert werden. Der Einlaß und der Auslaß des Mikro-Wärmetauschers sind in einer Gegenrichtung zu dem Temperaturgradienten (heiß nach kalt) der Wärmeströmung des integrierten Schaltkreises.In the preferred embodiment of the present invention, the micro-heat exchanger, when placed at the top of the integrated circuit is oriented so oriented that the directional vector of the liquid flow is directed against the temperature vector of the integrated circuit. In other words, the inlet of the micro heat exchanger is positioned close to the cold section of the integrated circuit, and the outlet of the micro heat exchanger is positioned close to the hot section of the integrated circuit. This preferred orientation is called countercurrent orientation. In the case where the integrated circuit has a non-uniform heat flow, the thermal efficiency of the micro heat exchanger can be improved by providing a counterflow direction for the liquid flow through the micro heat exchanger. The inlet and the outlet of the micro-heat exchanger are in a direction opposite to the temperature gradient (hot to cold) of the heat flow of the integrated circuit.

1 zeigt eine seitliche Schnittansicht eines beispielhaften integrierten Schaltkreises 20, der an einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher 10 gekuppelt ist. Der integrierte Schaltkreis 20 und der Mikro-Wärmetauscher 10 sind so aneinandergekuppelt, daß sie zwischen sich eine thermische Grenzschicht bzw. Schnittstelle bilden. Ein Fluid strömt durch den Mikro-Wärmetauscher 10 von einem Einlaß 12 zu einem Auslaß 14. Ein Fluidpfad durch den Mikro-Wärmetauscher 10 enthält verschiedene Wechsel bezüglich der Richtung und/oder des Niveaus. Eine insgesamt gerichtete Strömung des Fluids durch den Mikro-Wärmetauscher 10 wird als die Richtung bzw. der Vektor vom Einlaß 12 zum Auslaß 14 bestimmt. Es wird darauf verwiesen, daß in dem Wärmetauscher diskrete Bereiche vorhanden sein können, in welchen das Fluid in irgendeiner Richtung einschließlich einer Richtung entgegen der allgemeinen Fluidstromrichtung fließt. Der Mikro-Wärmetauscher 10 kann von jeglichem konventionellen Typ sein, welcher eine aktive Kühlflüssigkeit verwendet. Bevorzugt ist der Mikro-Wärmetauscher 10 ein Mikro-Wärmetauscher wie er in der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/439 635 vom 16. Mai 2003 "METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOTSPOT COOLING MICROCHANNEL HEATSINKS", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/439 912 vom 16. Mai 2003 „INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICROCHANNEL HEAT EXCHANGERS", der anhängigen U.S. Patentanmeldung S.N. 10/881 980 vom 29. Juni 2004 „INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICROCHANNEL HEAT EXCHANGERS", der anhängigen U.S. Patentanmeldung S.N. 10/882 142 vom 29. Juni 2004 „METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOTSPOT COOLING BY MICROCHANNEL HEATSINKS", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung „APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/680 584 vom 6. Oktober 2003 „METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/698 179 vom 30. Oktober 2003 „METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", oder der anhängigen U.S.-Patentanmeldung S.N. 10/882 132 vom 29. Juni 2004 „METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE" verwendet wird, auf welche hiermit Bezug genommen wird. Da das Fluid durch den Mikro-Wärmetauscher 10 strömt, wird Wärme von dem integrierten Schalt kreis 20 auf das Fluid übertragen. Das erwärmte Fluid tritt aus dem Mikro-Wärmetauscher 10 an dem Auslaß 14 aus. Das am Einlaß 12 eintretende Fluid ist bevorzugt kälter als das an dem Auslaß 14 austretende Fluid. 1 shows a side sectional view of an exemplary integrated circuit 20 That's an exemplary micro heat exchanger 10 is coupled. The integrated circuit 20 and the micro heat exchanger 10 are coupled together so that they form a thermal boundary layer or interface between them. A fluid flows through the micro heat exchanger 10 from an inlet 12 to an outlet 14 , A fluid path through the micro heat exchanger 10 contains various changes in direction and / or level. An overall directed flow of the fluid through the micro-heat exchanger 10 is called the direction or the vector from the inlet 12 to the outlet 14 certainly. It should be understood that discrete regions may be present in the heat exchanger in which the fluid flows in any direction, including direction opposite to the general fluid flow direction. The micro heat exchanger 10 may be of any conventional type that uses an active cooling fluid. The micro-heat exchanger is preferred 10 a micro-heat exchanger as disclosed in pending US Patent Application SN 10/439 635 of May 16, 2003 "METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOTSPOT COOLING MICROCHANNEL HEATSINKS", pending US Patent Application SN 10/439 912 of May 16, 2003 "INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICROCHANNEL HEAT EXCHANGERS", pending US Patent Application SN 10 / 881,980 filed June 29, 2004 "INTERWOVEN MANIFOLDS FOR PRESSURE DROP REDUCTION IN MICROCHANNEL HEAT EXCHANGERS", pending US patent application SN 10/882 142 of June 29, 2004 "METHODS FOR FLEXIBLE FLUID DELIVERY AND HOTSPOT COOLING BY MICROCHANNEL HEATSINKS", pending US patent application "APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", pending US patent application SN 10/680 584 of 6 October 2003 "METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", pending US Patent Application SN 10/698 179 of Oct. 30 2003 "METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE", or pending US patent application SN 10/882 132 of June 29, 2004 "METHOD AND APPARATUS FOR EFFICIENT VERTICAL FLUID DELIVERY FOR COOLING A HEAT PRODUCING DEVICE" is used, which is hereby incorporated by reference. As the fluid passes through the micro-heat exchanger 10 flows, heat is from the integrated circuit 20 transferred to the fluid. The heated fluid exits the micro-heat exchanger 10 at the outlet 14 out. That at the inlet 12 entering fluid is preferably colder than that at the outlet 14 exiting fluid.

2 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften integrierten Chip 30. Die meisten integrierten Schaltkreise weisen eine nicht-gleichförmige Wärmeströmung bzw. -erzeugung auf. Der in 2 gezeigte integrierte Schaltkreis 30 weist zwei Heißstellen auf, nämlich die Heißstellen 32 und 34. Allgemein kann der integrierte Schaltkreis 30 so charakterisiert werden, daß er einen heißen Abschnitt 36 aufweist, welcher die Heißstellen 32 und 34 aufweist, sowie einen kalten Abschnitt 38. Wie oben beschrieben worden ist, werden die Begriffe „heiß" und „kalt" relativ zueinander verwendet. Ein Temperaturgradient wird bestimmt als der Temperaturwechsel über den integrierten Schaltkreis, im vorliegenden Falle den integrierten Schaltkreis 30. Ein Temperaturvektor wird bevorzugt bestimmt als der Vektor von dem heißen Abschnitt 36 des integrierten Schaltkreises 30 zu dem kalten Abschnitt 38 des integrierten Schaltkreises 30. 2 shows a plan view of an exemplary integrated chip 30 , Most integrated circuits have non-uniform heat flow. The in 2 shown integrated circuit 30 has two hot spots, namely the hot spots 32 and 34 , Generally, the integrated circuit 30 be characterized as having a hot section 36 which has the hot spots 32 and 34 and a cold section 38 , As described above, the terms "hot" and "cold" are used relative to each other. A temperature gradient is determined as the temperature change across the integrated circuit, in this case the integrated circuit 30 , A temperature vector is preferably determined as the vector of the hot section 36 of the integrated circuit 30 to the cold section 38 of the integrated circuit 30 ,

3 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher 40, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis 50 angeordnet ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher 40 und der integrierte Schaltkreis 50 gemäß einer bevorzugten Gegenstromorientierung relativ zueinander konfiguriert sind. Wie in 3 gezeigt ist, verläuft die gerichtete Strömung des Fluids durch den Mikro-Wärmetauscher 40 von links nach rechts, d.h. von einem Einlaß des Mikro-Wärmetauschers 40 zu einem Auslaß. Der Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises 50 verläuft von rechts nach links, d.h. von einem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises 50 zu einem kalten Abschnitt. Bei der bevorzugten Gegenstromorientierung ist die gerichtete Strömung des Fluids im wesentlichen parallel jedoch entgegen dem Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises gerichtet. 3 shows a plan view of an exemplary micro-heat exchanger 40 that has an exemplary integrated circuit 50 is arranged, wherein the micro-heat exchanger 40 and the integrated circuit 50 are configured relative to each other according to a preferred countercurrent orientation. As in 3 is shown, the directional flow of the fluid passes through the micro-heat exchanger 40 from left to right, ie from an inlet of the micro-heat exchanger 40 to an outlet. The temperature vector of the integrated circuit 50 runs from right to left, ie from a hot section of the integrated circuit 50 to a cold section. In the preferred countercurrent orientation, the directional flow of the fluid is directed substantially parallel but opposite to the temperature vector of the integrated circuit.

4 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher 60, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis 70 angeordnet ist, wobei der Mikro- Wärmetauscher 60 und der integrierte Schaltkreis 70 gemäß einer ersten alternativen Orientierung konfiguriert sind. Wie in 4 gezeigt ist, erfolgt die gerichtete Strömung des Fluids durch den Mikro-Wärmetauscher 60 von links nach rechts, d.h. von einem Einlaß des Mikro-Wärmetauschers 60 zu einem Auslaß. Der Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises 70 verläuft von links nach rechts, d.h. von einem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises 70 zu einem kalten Abschnitt. Bei dieser ersten alternativen Orientierung verläuft die gerichtete Strömung des Fluids im wesentlichen parallel und in derselben Richtung wie der Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises 70. Diese erste Alternativorientierung des Mikro-Wärmetauschers 60 zu dem integrierten Schaltkreis 70 wird als Parallelstromorientierung bezeichnet. 4 shows a plan view of a playful micro heat exchanger 60 that has an exemplary integrated circuit 70 is arranged, wherein the micro-heat exchanger 60 and the integrated circuit 70 configured according to a first alternative orientation. As in 4 is shown, the directional flow of the fluid through the micro-heat exchanger takes place 60 from left to right, ie from an inlet of the micro-heat exchanger 60 to an outlet. The temperature vector of the integrated circuit 70 runs from left to right, ie from a hot section of the integrated circuit 70 to a cold section. In this first alternative orientation, the directional flow of the fluid is substantially parallel and in the same direction as the temperature vector of the integrated circuit 70 , This first alternative orientation of the micro heat exchanger 60 to the integrated circuit 70 is called parallel current orientation.

5 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher 80, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis 90 angeordnet ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher 80 und der integrierte Schaltkreis 90 gemäß einer zweiten alternativen Orientierung konfiguriert sind. Wie in 5 gezeigt ist, erfolgt die gerichtete Strömung des Fluids durch den Mikro-Wärmetauscher 80 von links nach rechts, d.h. von einem Einlaß des Mikro-Wärmetauschers 80 zu einem Auslaß. Der Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises 90 verläuft von oben nach unten, d.h. von einem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises 90 zu einem kalten Abschnitt. Bei dieser zweiten alternativen Orientierung verläuft die gerichtete Strömung des Fluids im wesentlichen rechtwinklig zu dem Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises 90. Diese zweite alternative Orientierung des Mikro-Wärmetauschers 80 zu dem integrierten Schaltkreis 90 wird als Querströmungsorientierung bezeichnet. 5 shows a plan view of an exemplary micro-heat exchanger 80 that has an exemplary integrated circuit 90 is arranged, wherein the micro-heat exchanger 80 and the integrated circuit 90 configured according to a second alternative orientation. As in 5 is shown, the directional flow of the fluid through the micro-heat exchanger takes place 80 from left to right, ie from an inlet of the micro-heat exchanger 80 to an outlet. The temperature vector of the integrated circuit 90 runs from top to bottom, ie from a hot section of the integrated circuit 90 to a cold section. In this second alternative orientation, the directional flow of the fluid is substantially perpendicular to the temperature vector of the integrated circuit 90 , This second alternative orientation of the micro heat exchanger 80 to the integrated circuit 90 is called cross-flow orientation.

6 zeigt eine Draufsicht auf einen beispielhaften Mikro-Wärmetauscher 100, der über einem beispielhaften integrierten Schaltkreis 110 angeordnet ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher 100 und der integrierte Schaltkreis 110 gemäß einer dritten alternativen Orientierung konfiguriert sind. Wie in 6 gezeigt ist, verläuft die gerichtete Strömung des Fluids durch den Mikro-Wärmetauscher 100 von links nach rechts, d.h. von einem Einlaß des Mikro-Wärmetauschers 100 zu einem Auslaß. Der Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises 110 verläuft von unten nach oben, d.h. von einem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises 110 zu einem kalten Abschnitt. Bei dieser dritten alternativen Orientierung verläuft die gerichtete Strömung des Fluids im wesentlichen rechtwinklig zu dem Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises 110. Diese dritte Alternativorientierung des Mikro-Wärmetauschers 100 zu dem integrierten Schaltkreis 110 wird ebenfalls als Querströmungsorientierung bezeichnet. 6 shows a plan view of an exemplary micro-heat exchanger 100 that has an exemplary integrated circuit 110 is arranged, wherein the micro-heat exchanger 100 and the integrated circuit 110 configured according to a third alternative orientation. As in 6 is shown, the directional flow of the fluid passes through the micro-heat exchanger 100 from left to right, ie from an inlet of the micro-heat exchanger 100 to an outlet. The temperature vector of the integrated circuit 110 runs from bottom to top, ie from a hot section of the integrated circuit 110 to a cold section. In this third alternative orientation, the directional flow of the fluid is substantially perpendicular to the temperature vector of the integrated circuit 110 , This third alternative orientation of the micro heat exchanger 100 to the integrated circuit 110 is also referred to as cross-flow orientation.

Um einen Mikro-Wärmetauscher zu einem integrierten Schaltkreis gemäß der bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung zu orientieren, wird ein Temperaturgradient des integrierten Schaltkreises bestimmt. Der Temperaturgradient wird verwendet, um einen Temperaturvektor zu bestimmen, der bevorzugt eine gerichtete Orientierung von einem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises zu einem kalten Abschnitt anzeigt. Der Mikro-Wärmetauscher zirkuliert bevorzugt ein Kühlfluid, um Wärme aufzunehmen, die von dem integrierten Schaltkreis übertragen worden ist. Eine gerichtete Strömung dieser Kühlflüssigkeit wird bestimmt. Die gerichtete Strömung wird bevorzugt als ein gerichteter Vektor gemessen, der von einem Einlaß des Mikro-Wärmetauschers zu einem Auslaß gerichtet ist. Sobald der Temperaturvektor des integrierten Schaltkreises und die gerichtete Strömung des Mikro-Wärmetauschers bestimmt sind, werden der Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis bevorzugt gemäß einer Gegenstromorientierung ausgerichtet. Die Gegenstromorientierung wird als Temperaturvektor bestimmt, der entgegen der gerichteten Strömung orientiert ist. Mit anderen Worten, der Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis werden so ausgerichtet, daß die Kühlflüssigkeit in den Mikro-Wärmetauscher an einem Punkt eintritt, der im wesentlichen oberhalb des kalten Abschnittes des integrierten Schaltkreises liegt, und daß die Kühlflüssigkeit den Mikro-Wärmetauscher an einem Punkt verläßt, der im wesentlichen über dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises liegt.Around a micro heat exchanger to an integrated circuit according to the preferred embodiment of the present invention becomes a temperature gradient of the integrated circuit. The temperature gradient is used to determine a temperature vector that is preferred a directional orientation of a hot section of the integrated Circuit to a cold section indicates. The micro-heat exchanger preferably circulates a cooling fluid, to absorb heat, which has been transmitted from the integrated circuit. A directed flow this coolant is determined. The directed flow is preferred as a directed vector measured from an inlet of the micro-heat exchanger directed to an outlet is. Once the temperature vector of the integrated circuit and the directed flow of the micro heat exchanger determined are the micro heat exchanger and the integrated circuit preferably according to a countercurrent orientation aligned. The countercurrent orientation is called the temperature vector determined, which is oriented against the directed flow. With others Words, the micro heat exchanger and the integrated circuit are aligned so that the cooling liquid in the micro-heat exchanger occurs at a point that is substantially above the cold Section of the integrated circuit is located, and that the cooling liquid the Micro heat exchanger leaves at a point that essentially over mean the hot Section of the integrated circuit is located.

Die vorliegende Erfindung wurde mit Begriffen spezifischer Ausgestaltungen beschrieben, welche Details enthalten, um das Verständnis der Prinzipien der Konstruktion und Arbeits weise der Erfindung zu ermöglichen. Eine solche Bezugnahme auf spezifische Ausgestaltungen und deren Details soll jedoch den Schutzumfang der beigefügten Ansprüche nicht beschränken. Es ist für Fachleute erkennbar, daß Modifikationen bezüglich der zu Darstellungszwecken gewählten Ausgestaltungen möglich sind, ohne von dem Geist und Umfang der Erfindung abzuweichen.The The present invention has been described in terms of specific embodiments which details are included to help understand the To enable principles of construction and operation of the invention. Such a reference to specific embodiments and their However, details are not intended to limit the scope of the appended claims. It is for Those skilled in the art recognize that modifications in terms of the one chosen for the purposes of illustration Embodiments possible without departing from the spirit and scope of the invention.

ZusammenfassungSummary

Ein Mikro-Wärmetauscher und ein integrierter Schaltkreis sind gemäß einer Gegenstromorientierung orientiert. Um diese Orientierung zu bestimmen, wird ein Temperaturgradient des integrierten Schaltkreises bestimmt. Der Temperaturgradient wird verwendet, um einen Temperaturvektor zu bestimmen, der bevorzugt eine gerichtete Orientierung von einem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises zu einem kalten Abschnitt anzeigt. Der Mikro-Wärmetauscher zirkuliert ein Kühlfluid, welches aus dem integrierten Schaltkreis übertragene Wärme aufnimmt. Eine gerichtete Strömung dieses Kühlfluids wird bestimmt. Die gerichtete Strömung wird als ein gerichteter Vektor von einem Einlaß des Mikro-Wärmetauschers zu einem Auslaß gemessen. Die Gegenstromorientierung wird erreicht, da der Temperaturvektor so orientiert ist, daß er dem Vektor der gerichteten Strömung entgegengerichtet ist.A micro heat exchanger and an integrated circuit are oriented according to a countercurrent orientation. To determine this orientation, a temperature gradient of the integrated circuit is determined. The temperature gradient is used to determine a temperature vector that preferably indicates a directional orientation from a hot portion of the integrated circuit to a cold portion. The micro-heat exchanger circulates a cooling fluid, which absorbs heat transferred from the integrated circuit. A directional flow of this cooling fluid is determined. The directional flow is measured as a directed vector from an inlet of the micro heat exchanger to an outlet. Countercurrent orientation is achieved because the temperature vector is oriented to be opposite to the directional vector.

Claims (26)

Verfahren zum Kühlen eines integrierten Schaltkreises unter Verwendung eines Mikro-Wärmetauschers mit folgenden Verfahrensschritten: a. Bestimmen eines Temperaturgradienten, der dem integrierten Schaltkreis zugeordnet ist; b. Bestimmen eines ersten Vektors, der an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet; c. Bestimmen einer gerichteten Strömung eines Fluids innerhalb des Mikro-Wärmetauschers; d. Orientieren des Mikro-Wärmetauschers zu dem integrierten Schaltkreis so, daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises entgegen der gerichteten Strömung des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist, wodurch eine Gegenstromausrichtung gebildet wird; und e. Kuppeln des Mikro-Wärmetauschers an den integrierten Schaltkreis gemäß der Gegenstromausrichtung.Method for cooling an integrated circuit using a micro heat exchanger with the following process steps: a. Determining a temperature gradient, associated with the integrated circuit; b. Determine a first vector that is at a hot section of the temperature gradient begins and ends at a cold section of the temperature gradient; c. Determining a directional flow a fluid within the micro heat exchanger; d. Orient the micro heat exchanger to the integrated circuit such that the first vector of the integrated Circuit against the directional flow of the micro-heat exchanger is aligned, whereby a countercurrent orientation is formed; and e. Coupling of the micro heat exchanger to the integrated circuit according to the countercurrent orientation. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die gerichtete Strömung der Fluidströmung von einem Einlaß-Anschluß des Mikro-Wärmetauschers zu einem Auslaß-Anschluß des Mikro-Wärmetauschers entspricht.The method of claim 1, wherein the directional flow of fluid flow from an inlet port of the micro heat exchanger to an outlet port of the micro heat exchanger equivalent. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die gerichtete Strömung einem zweiten Vektor entspricht, der an dem Einlaß-Anschluß des Mikro-Wärmetauschers beginnt und an dem Auslaß-Anschluß des Mikro-Wärmetauschers endet.The method of claim 2, wherein the directed flow is one second vector beginning at the inlet port of the micro heat exchanger and at the outlet port of the micro heat exchanger ends. Verfahren nach Anspruch 2, wobei eine Einlaßtemperatur des Fluids an dem Einlaß-Anschluß kleiner ist als eine Auslaßtemperatur des Fluids an dem Auslaß-Anschluß.The method of claim 2, wherein an inlet temperature the fluid at the inlet port smaller is as an outlet temperature of the fluid at the outlet port. Verfahren nach Anspruch 4, wobei der Einlaß-Anschluß an dem kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert ist, und der Auslaß-Anschluß an dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert ist.The method of claim 4, wherein the inlet port on the cold section of the integrated circuit is positioned, and the outlet port on the be called Section of the integrated circuit is positioned. Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem gegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher unterschiedlich zu der gerichteten Strömung ist.The method of claim 1, wherein an actual flow direction of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger is different from the directional flow. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der heiße Abschnitt einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.The method of claim 1, wherein the hot section one highest Temperature on the temperature gradient corresponds. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der kalte Abschnitt einer kältesten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.The method of claim 1, wherein the cold section a coldest Temperature on the temperature gradient corresponds. Verfahren zum Kühlen eines integrierten Schaltkreises unter Verwendung eines Mikro-Wärmetauschers mit folgenden Verfahrensschritten: a. Bestimmen eines Temperaturgradienten von heiß nach kalt über den integrierten Schaltkreis; b. Bestimmen eines ersten Vektors, der an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet; c. Bestimmen eines zweiten Vektors entsprechend einer gerichteten Strömung eines Fluids von einem Einlaß zu einem Auslaß innerhalb des Mikro-Wärmetauschers; und d. Kuppeln des Mikro-Wärmetauschers an den integrierten Schaltkreis so, daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises rechtwinklig zu dem zweiten Vektor des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist.Method of cooling an integrated circuit using a micro heat exchanger with the following process steps: a. Determining a temperature gradient from hot to hot cold over the integrated circuit; b. Determining a first vector, the on a hot Section of the temperature gradient begins and on a cold section the temperature gradient ends; c. Determining a second Vector according to a directed flow of a fluid from an inlet to a Outlet within the micro heat exchanger; and d. Coupling of the micro heat exchanger to the integrated circuit so that the first vector of the integrated Circuit perpendicular to the second vector of the micro-heat exchanger is aligned. Verfahren nach Anspruch 9, wobei eine Einlaßtemperatur des Fluids an dem Einlaß kleiner ist als eine Auslaßtemperatur des Fluids an dem Auslaß.The method of claim 9, wherein an inlet temperature the fluid at the inlet smaller is as an outlet temperature of the fluid at the outlet. Verfahren nach Anspruch 9, wobei eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem gegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher von dem zweiten Vektor abweicht.The method of claim 9, wherein an actual flow direction of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger deviates from the second vector. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der heiße Abschnitt einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.The method of claim 9, wherein the hot section one highest Temperature on the temperature gradient corresponds. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der kalte Abschnitt einer kältesten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.The method of claim 9, wherein the cold section a coldest Temperature on the temperature gradient corresponds. Anordnung mit einem Mikro-Wärmetauscher und einem integrierten Chip, enthaltend: a. einen integrierten Chip, wobei der integrierte Schaltkreis einen ihm zugeordneten Temperaturgradienten aufweist, und ein erster Vektor an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet; und b. einen Mikro-Wärmetauscher, der an den integrierten Schaltkreis gekuppelt ist, wobei der Mikro-Wärmetauscher einen Einlaß-Anschluß zur Zuführung eines Fluids aufweist, sowie einen Auslaß-Anschluß zum Abgeben des Fluids, und wobei ein zweiter Vektor an dem Einlaß-Anschluß beginnt und an dem Auslaß-Anschluß endet, und wobei der Mikro-Wärmetauscher und der integrierte Schaltkreis so orientiert sind, daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises entgegen dem zweiten Vektor des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist.Arrangement with a micro-heat exchanger and an integrated chip, comprising: a. an integrated chip, the integrated circuit having a temperature gradient associated therewith, and a first vector starting at a hot portion of the temperature gradient and terminating at a cold portion of the temperature gradient; and b. a micro-heat exchanger coupled to the integrated circuit, the micro-heat exchanger having an inlet port for supplying a fluid, and an outlet port for discharging the fluid, and wherein a second vector begins at the inlet port and ends at the outlet port, and wherein the micro-heat exchanger and the inte grated circuit are oriented so that the first vector of the integrated circuit is aligned against the second vector of the micro-heat exchanger. Anordnung nach Anspruch 14, wobei der zweite Vektor eine gerichtete Strömung des Fluids bestimmt.Arrangement according to claim 14, wherein the second vector a directed flow of the fluid. Anordnung nach Anspruch 14, wobei eine Einlaßtemperatur des Fluids an dem Einlaß-Anschluß kleiner ist als eine Auslaßtemperatur des Fluids an dem Auslaß-Anschluß.Arrangement according to claim 14, wherein an inlet temperature the fluid at the inlet port smaller is as an outlet temperature of the fluid at the outlet port. Anordnung nach Anspruch 16, wobei der Einlaß-Anschluß an dem kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert ist, und der Auslaß-Anschluß an dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert ist.Arrangement according to claim 16, wherein the inlet connection to the cold section of the integrated circuit is positioned, and the outlet port on the be called Section of the integrated circuit is positioned. Anordnung nach Anspruch 14, wobei eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem gegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher unterschiedlich zu dem zweiten Vektor ist.Arrangement according to claim 14, wherein an actual flow direction of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger is different from the second vector. Anordnung nach Anspruch 14, wobei der heiße Abschnitt einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.Arrangement according to claim 14, wherein the hot section one highest Temperature on the temperature gradient corresponds. Anordnung nach Anspruch 14, wobei der kalte Abschnitt einer kältesten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.Arrangement according to claim 14, wherein the cold section a coldest Temperature on the temperature gradient corresponds. Verfahren zum Kühlen eines integrierten Schaltkreises unter Verwendung eines Mikro-Wärmetauschers mit folgenden Verfahrensschritten: a. Bestimmen eines Temperaturgradienten von heiß nach kalt über den integrierten Schaltkreis; b. Bestimmen eines ersten Vektors, der an einem heißen Abschnitt des Temperaturgradienten beginnt und an einem kalten Abschnitt des Temperaturgradienten endet; c. Bestimmen eines zweiten Vektors entsprechend einer gerichteten Strömung eines Fluids von einem Einlaß zu einem Auslaß innerhalb des Mikro-Wärmetauschers; und d. Kuppeln des Mikro-Wärmetauschers an den integrierten Schaltkreis so, daß der erste Vektor des integrierten Schaltkreises zu dem zweiten Vektor des Mikro-Wärmetauschers ausgerichtet ist.Method of cooling an integrated circuit using a micro heat exchanger with the following process steps: a. Determining a temperature gradient from hot to hot cold over the integrated circuit; b. Determining a first vector, the on a hot Section of the temperature gradient begins and on a cold section the temperature gradient ends; c. Determining a second Vector according to a directed flow of a fluid from an inlet to a Outlet within the micro heat exchanger; and d. Coupling of the micro heat exchanger to the integrated circuit so that the first vector of the integrated Circuit is aligned with the second vector of the micro-heat exchanger. Verfahren nach Anspruch 21, wobei eine Einlaßtemperatur des Fluids an dem Einlaß kleiner ist als eine Auslaßtemperatur des Fluids an dem Auslaß.The method of claim 21, wherein an inlet temperature the fluid at the inlet smaller is as an outlet temperature of the fluid at the outlet. Verfahren nach Anspruch 22, wobei der Einlaß an dem heißen Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert ist, und der Auslaß an dem kalten Abschnitt des integrierten Schaltkreises positioniert ist.The method of claim 22, wherein the inlet at the be called Section of the integrated circuit is positioned, and the Outlet on is positioned in the cold section of the integrated circuit. Verfahren nach Anspruch 21, wobei eine tatsächliche Strömungsrichtung des Fluids an einem gegebenen Punkt in dem Mikro-Wärmetauscher unterschiedlich zu dem zweiten Vektor ist.The method of claim 21, wherein an actual flow direction of the fluid at a given point in the micro-heat exchanger is different from the second vector. Verfahren nach Anspruch 21, wobei der heiße Abschnitt einer höchsten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.The method of claim 21, wherein the hot section one highest Temperature on the temperature gradient corresponds. Verfahren nach Anspruch 21, wobei der kalte Abschnitt einer kältesten Temperatur auf dem Temperaturgradienten entspricht.The method of claim 21, wherein the cold section a coldest Temperature on the temperature gradient corresponds.
DE112005001322T 2004-06-04 2005-05-12 Countercurrent micro heat exchanger with optimum effectiveness Withdrawn DE112005001322T5 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US57726204P 2004-06-04 2004-06-04
US60/577,262 2004-06-04
US10/950,330 2004-09-23
US10/950,330 US20050269691A1 (en) 2004-06-04 2004-09-23 Counter flow micro heat exchanger for optimal performance
PCT/US2005/016875 WO2005121681A2 (en) 2004-06-04 2005-05-12 Counter flow micro heat exchanger for optimal performance

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112005001322T5 true DE112005001322T5 (en) 2007-04-26

Family

ID=35446781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112005001322T Withdrawn DE112005001322T5 (en) 2004-06-04 2005-05-12 Countercurrent micro heat exchanger with optimum effectiveness

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20050269691A1 (en)
JP (1) JP2008502137A (en)
DE (1) DE112005001322T5 (en)
TW (1) TW200541444A (en)
WO (1) WO2005121681A2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8986303B2 (en) 2010-11-09 2015-03-24 Biosense Webster, Inc. Catheter with liquid-cooled control handle
WO2013147240A1 (en) * 2012-03-30 2013-10-03 京セラ株式会社 Flow path member, and heat exchanger and semiconductor device using same
JP6439326B2 (en) 2014-08-29 2018-12-19 株式会社Ihi Reactor

Family Cites Families (102)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US656266A (en) * 1899-07-10 1900-08-21 Harry F Roach System of electrical distribution.
US3524497A (en) * 1968-04-04 1970-08-18 Ibm Heat transfer in a liquid cooling system
US3904262A (en) * 1974-09-27 1975-09-09 John M Cutchaw Connector for leadless integrated circuit packages
US3993123A (en) * 1975-10-28 1976-11-23 International Business Machines Corporation Gas encapsulated cooling module
JPS52117074A (en) * 1976-03-27 1977-10-01 Nippon Intaanashiyonaru Seiriy Cooling circuit for semiconductor device
US4296455A (en) * 1979-11-23 1981-10-20 International Business Machines Corporation Slotted heat sinks for high powered air cooled modules
US4332291A (en) * 1979-12-21 1982-06-01 D. Mulock-Bentley And Associates (Proprietary) Limited Heat exchanger with slotted fin strips
US4474172A (en) * 1982-10-25 1984-10-02 Chevron Research Company Solar water heating panel
FR2538617B1 (en) * 1982-12-28 1986-02-28 Thomson Csf ENCAPSULATION BOX FOR POWER SEMICONDUCTOR WITH IMPROVED INPUT-OUTPUT ISOLATION
US4568431A (en) * 1984-11-13 1986-02-04 Olin Corporation Process for producing electroplated and/or treated metal foil
JPH02213910A (en) * 1989-02-15 1990-08-27 Toshiba Corp Temperature gradient compensating device
US4987996A (en) * 1990-03-15 1991-01-29 Atco Rubber Products, Inc. Flexible duct and carton
US5285347A (en) * 1990-07-02 1994-02-08 Digital Equipment Corporation Hybird cooling system for electronic components
US5105430A (en) * 1991-04-09 1992-04-14 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Thin planar package for cooling an array of edge-emitting laser diodes
US5199487A (en) * 1991-05-31 1993-04-06 Hughes Aircraft Company Electroformed high efficiency heat exchanger and method for making
FR2679729B1 (en) * 1991-07-23 1994-04-29 Alcatel Telspace HEATSINK.
US5239200A (en) * 1991-08-21 1993-08-24 International Business Machines Corporation Apparatus for cooling integrated circuit chips
EP0560259B1 (en) * 1992-03-09 1996-10-30 Sumitomo Metal Industries, Ltd. Heat sink having good heat dissipating characteristics and process for producing the same
US5247800A (en) * 1992-06-03 1993-09-28 General Electric Company Thermal connector with an embossed contact for a cryogenic apparatus
US5275237A (en) * 1992-06-12 1994-01-04 Micron Technology, Inc. Liquid filled hot plate for precise temperature control
US5316077A (en) * 1992-12-09 1994-05-31 Eaton Corporation Heat sink for electrical circuit components
US5520244A (en) * 1992-12-16 1996-05-28 Sdl, Inc. Micropost waste heat removal system
CN1109232C (en) * 1993-12-28 2003-05-21 昭和电工株式会社 Plate heat exchanger
US5424918A (en) * 1994-03-31 1995-06-13 Hewlett-Packard Company Universal hybrid mounting system
JPH07312495A (en) * 1994-05-17 1995-11-28 Hitachi Ltd Cooler for semiconductor
US5811062A (en) * 1994-07-29 1998-09-22 Battelle Memorial Institute Microcomponent chemical process sheet architecture
US5526875A (en) * 1994-10-14 1996-06-18 Lin; Shih-Jen Cooling device for CPU
JP3355824B2 (en) * 1994-11-04 2002-12-09 株式会社デンソー Corrugated fin heat exchanger
DE19514548C1 (en) * 1995-04-20 1996-10-02 Daimler Benz Ag Method of manufacturing a micro cooler
US5761037A (en) * 1996-02-12 1998-06-02 International Business Machines Corporation Orientation independent evaporator
JP3506166B2 (en) * 1996-04-15 2004-03-15 株式会社デンソー Cooling system
US5927390A (en) * 1996-12-13 1999-07-27 Caterpillar Inc. Radiator arrangement with offset modular cores
US5901037A (en) * 1997-06-18 1999-05-04 Northrop Grumman Corporation Closed loop liquid cooling for semiconductor RF amplifier modules
US6049040A (en) * 1997-09-17 2000-04-11 Biles; Scott Douglas Universal cable guide
US5909057A (en) * 1997-09-23 1999-06-01 Lsi Logic Corporation Integrated heat spreader/stiffener with apertures for semiconductor package
US5893726A (en) * 1997-12-15 1999-04-13 Micron Technology, Inc. Semiconductor package with pre-fabricated cover and method of fabrication
US6084178A (en) * 1998-02-27 2000-07-04 Hewlett-Packard Company Perimeter clamp for mounting and aligning a semiconductor component as part of a field replaceable unit (FRU)
JPH11325764A (en) * 1998-05-08 1999-11-26 Fujikura Ltd Cooling device for electron element
US6019165A (en) * 1998-05-18 2000-02-01 Batchelder; John Samuel Heat exchange apparatus
US6086330A (en) * 1998-12-21 2000-07-11 Motorola, Inc. Low-noise, high-performance fan
US6675875B1 (en) * 1999-08-06 2004-01-13 The Ohio State University Multi-layered micro-channel heat sink, devices and systems incorporating same
JP3518434B2 (en) * 1999-08-11 2004-04-12 株式会社日立製作所 Multi-chip module cooling system
US6729383B1 (en) * 1999-12-16 2004-05-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Fluid-cooled heat sink with turbulence-enhancing support pins
JP2001185306A (en) * 1999-12-28 2001-07-06 Jst Mfg Co Ltd Connector for module
US6570764B2 (en) * 1999-12-29 2003-05-27 Intel Corporation Low thermal resistance interface for attachment of thermal materials to a processor die
US6407916B1 (en) * 2000-06-12 2002-06-18 Intel Corporation Computer assembly for cooling high powered microprocessors
US6787052B1 (en) * 2000-06-19 2004-09-07 Vladimir Vaganov Method for fabricating microstructures with deep anisotropic etching of thick silicon wafers
US6366462B1 (en) * 2000-07-18 2002-04-02 International Business Machines Corporation Electronic module with integral refrigerant evaporator assembly and control system therefore
US6469893B1 (en) * 2000-09-29 2002-10-22 Intel Corporation Direct heatpipe attachment to die using center point loading
US6578626B1 (en) * 2000-11-21 2003-06-17 Thermal Corp. Liquid cooled heat exchanger with enhanced flow
US6367543B1 (en) * 2000-12-11 2002-04-09 Thermal Corp. Liquid-cooled heat sink with thermal jacket
JP3607608B2 (en) * 2000-12-19 2005-01-05 株式会社日立製作所 Liquid cooling system for notebook computers
US6459581B1 (en) * 2000-12-19 2002-10-01 Harris Corporation Electronic device using evaporative micro-cooling and associated methods
US6698924B2 (en) * 2000-12-21 2004-03-02 Tank, Inc. Cooling system comprising a circular venturi
US6484521B2 (en) * 2001-02-22 2002-11-26 Hewlett-Packard Company Spray cooling with local control of nozzles
US6449162B1 (en) * 2001-06-07 2002-09-10 International Business Machines Corporation Removable land grid array cooling solution
DE10296928T5 (en) * 2001-06-12 2004-10-07 Liebert Corp Single or double bus heat transfer system
US6536510B2 (en) * 2001-07-10 2003-03-25 Thermal Corp. Thermal bus for cabinets housing high power electronics equipment
US6385044B1 (en) * 2001-07-27 2002-05-07 International Business Machines Corporation Heat pipe heat sink assembly for cooling semiconductor chips
JP3636118B2 (en) * 2001-09-04 2005-04-06 株式会社日立製作所 Water cooling device for electronic equipment
US6942018B2 (en) * 2001-09-28 2005-09-13 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Electroosmotic microchannel cooling system
US6581388B2 (en) * 2001-11-27 2003-06-24 Sun Microsystems, Inc. Active temperature gradient reducer
US6527835B1 (en) * 2001-12-21 2003-03-04 Sandia Corporation Chemical preconcentrator with integral thermal flow sensor
US6700785B2 (en) * 2002-01-04 2004-03-02 Intel Corporation Computer system which locks a server unit subassembly in a selected position in a support frame
US6787899B2 (en) * 2002-03-12 2004-09-07 Intel Corporation Electronic assemblies with solidified thixotropic thermal interface material
TWI234063B (en) * 2002-05-15 2005-06-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Cooling apparatus for electronic equipment
US7209355B2 (en) * 2002-05-15 2007-04-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Cooling device and an electronic apparatus including the same
US6674642B1 (en) * 2002-06-27 2004-01-06 International Business Machines Corporation Liquid-to-air cooling system for portable electronic and computer devices
US20040008483A1 (en) * 2002-07-13 2004-01-15 Kioan Cheon Water cooling type cooling system for electronic device
ES2441413T3 (en) * 2002-08-28 2014-02-04 Wesco Equity Corporation Cable guide sleeve structure
TW578992U (en) * 2002-09-09 2004-03-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Heat sink assembly
DE10243026B3 (en) * 2002-09-13 2004-06-03 Oliver Laing Device for local cooling or heating of an object
US6894899B2 (en) * 2002-09-13 2005-05-17 Hong Kong Cheung Tat Electrical Co. Ltd. Integrated fluid cooling system for electronic components
US6807056B2 (en) * 2002-09-24 2004-10-19 Hitachi, Ltd. Electronic equipment
DE10246990A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-22 Atotech Deutschland Gmbh Microstructure cooler and its use
WO2004042306A2 (en) * 2002-11-01 2004-05-21 Cooligy, Inc. Method and apparatus for achieving temperature uniformity and hot spot cooling in a heat producing device
JP2006522463A (en) * 2002-11-01 2006-09-28 クーリギー インコーポレイテッド Optimal spreader system, apparatus and method for micro heat exchange cooled by fluid
US7000684B2 (en) * 2002-11-01 2006-02-21 Cooligy, Inc. Method and apparatus for efficient vertical fluid delivery for cooling a heat producing device
US6986382B2 (en) * 2002-11-01 2006-01-17 Cooligy Inc. Interwoven manifolds for pressure drop reduction in microchannel heat exchangers
US7210227B2 (en) * 2002-11-26 2007-05-01 Intel Corporation Decreasing thermal contact resistance at a material interface
KR20040065626A (en) * 2003-01-15 2004-07-23 엘지전자 주식회사 Heat exchanger
US6903929B2 (en) * 2003-03-31 2005-06-07 Intel Corporation Two-phase cooling utilizing microchannel heat exchangers and channeled heat sink
US6934154B2 (en) * 2003-03-31 2005-08-23 Intel Corporation Micro-channel heat exchangers and spreaders
US6992891B2 (en) * 2003-04-02 2006-01-31 Intel Corporation Metal ball attachment of heat dissipation devices
US6763880B1 (en) * 2003-06-26 2004-07-20 Evserv Tech Corporation Liquid cooled radiation module for servers
WO2005002307A1 (en) * 2003-06-27 2005-01-06 Nec Corporation Cooler for electronic equipment
US7508672B2 (en) * 2003-09-10 2009-03-24 Qnx Cooling Systems Inc. Cooling system
TWM248227U (en) * 2003-10-17 2004-10-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Liquid cooling apparatus
US7273088B2 (en) * 2003-12-17 2007-09-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. One or more heat exchanger components in major part operably locatable outside computer chassis
US6980435B2 (en) * 2004-01-28 2005-12-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Modular electronic enclosure with cooling design
US6955212B1 (en) * 2004-04-20 2005-10-18 Adda Corporation Water-cooler radiator module
JP4056504B2 (en) * 2004-08-18 2008-03-05 Necディスプレイソリューションズ株式会社 COOLING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE HAVING THE SAME
US7239516B2 (en) * 2004-09-10 2007-07-03 International Business Machines Corporation Flexure plate for maintaining contact between a cooling plate/heat sink and a microchip
US20060067052A1 (en) * 2004-09-30 2006-03-30 Llapitan David J Liquid cooling system
US7243704B2 (en) * 2004-11-18 2007-07-17 Delta Design, Inc. Mechanical assembly for regulating the temperature of an electronic device, having a spring with one slideable end
US7184269B2 (en) * 2004-12-09 2007-02-27 International Business Machines Company Cooling apparatus and method for an electronics module employing an integrated heat exchange assembly
US7327570B2 (en) * 2004-12-22 2008-02-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid cooled integrated circuit module
US7280363B2 (en) * 2005-01-21 2007-10-09 Delphi Technologies, Inc. Apparatus for controlling thermal interface between cold plate and integrated circuit chip
US7254957B2 (en) * 2005-02-15 2007-08-14 Raytheon Company Method and apparatus for cooling with coolant at a subambient pressure
US20060187639A1 (en) * 2005-02-23 2006-08-24 Lytron, Inc. Electronic component cooling and interface system
US7719837B2 (en) * 2005-08-22 2010-05-18 Shan Ping Wu Method and apparatus for cooling a blade server
US20080013283A1 (en) * 2006-07-17 2008-01-17 Gilbert Gary L Mechanism for cooling electronic components

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005121681A3 (en) 2008-06-05
WO2005121681A2 (en) 2005-12-22
TW200541444A (en) 2005-12-16
US20050269691A1 (en) 2005-12-08
WO2005121681B1 (en) 2008-07-31
JP2008502137A (en) 2008-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112005001302T5 (en) Apparatus and method for the efficient supply of liquid for cooling a heat generating device
DE4418611C2 (en) Semiconductor element cooling device
DE112009004714B4 (en) COOLING DESIGN FOR PRINTED CIRCUIT BOARD
DE102012220453B4 (en) Liquid-cooled cooling device and manufacturing method thereof
DE112007002435B4 (en) Cooling structure for heat generating component and drive unit containing them
DE112008000040B4 (en) Cooling structure of a heat sink for a heat generating component and drive unit
DE10393583T5 (en) Ribbed heat exchange system with channel flat plates, device and method
DE112010006084B4 (en) cooler
DE69922984T2 (en) Plate heat exchanger
DE60207766T2 (en) Heat exchanger for fuel cell system
DE102013000223A1 (en) Heat Sink Servo Amplifier, which has two sets of heat dissipating plates that are perpendicular to each other
WO2012072348A1 (en) Device for conducting a cooling fluid, and cooling system for cooling an electrical component
DE69730601T2 (en) Coolant distributor with cooling tips selectively distributed for electronic components
DE112007002451T5 (en) heat exchanger device
DE102004040988B4 (en) Collector for heat exchangers
DE60023394T2 (en) heat exchangers
DE102018203231A1 (en) HEAT EXCHANGERS FOR COOLING SEVERAL LAYERS OF ELECTRONIC MODULES
DE202012002974U1 (en) Fluid heat exchange systems
DE202017101406U1 (en) Cooling system for interface cards
DE102019121398A1 (en) Semiconductor device
DE112005001322T5 (en) Countercurrent micro heat exchanger with optimum effectiveness
DE102017109890A1 (en) Flow distributor and fluid distribution system
DE102017207361A1 (en) Cooler for cooling electrical arrangements
DE102006011794B3 (en) Heat exchanger, has flow guiding unit with flow guiding structures that divert part of fluid, which is guided by substrate surface, where part of fluid is directed towards substrate surface
DE102011079508B4 (en) Cooling structure for a semiconductor element

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee