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Die
vorliegende Erfindung betrifft Leckerfassungssysteme und insbesondere
Verfahren und Einrichtungen zum Kalibrieren und Validieren solcher
Systeme.
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Leckerfassungsinstrumente
werden in einer Vielzahl von Industriezweigen verwendet zum Bestimmen,
ob Produkte in geeigneter Weise hergestellt und zusammengebaut sind.
Leckerfassungsinstrumente werden verwendet zum Prüfen von
Produkten in Bezug auf das Vorhandensein von Lecks, die die Nutzungsfähigkeit
des Produktes während
der Produktnutzungsdauer verschlechtern können. Nicht alle Lecks sind
fatal für
die Nutzungsfähigkeit
eines Produktes und ein maximal akzeptierbares Leck wird häufig für ein Produkt festgelegt.
Folglich müssen
Leckerfassungsinstrumente imstande sein, zwischen Lecken zu unterscheiden, die
oberhalb oder unterhalb des maximal akzeptierbaren Lecks fallen.
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Weil
die Leckerfassungsinstrumente nicht nur Lecke erfassen, sondern
auch den Umfang an Undichtigkeit messen, werden Leckerfassungsinstrumente
kalibriert zum exakten Messen des Umfangs an Durchlässigkeit
in oder aus einem zu prüfenden
Teil. Leckerfassungsinstrumente werden demnach auf einem Leck-Standard
kalibriert. Der Leck-Standard richtet eine bekannte Strömungsrate
oder Druckänderung
ein, die verwendet wird zum Kalibrieren der Erfassungseinrichtung
der eine Undichtigkeit messenden Leckerfassungsausrüstung, hierdurch
sicherstellend, dass die Leckerfassungsausrüstung den in den geprüften Teilen
vorliegenden Umfang an Durchlässigkeit
exakt misst.
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Die
Grundlage bekannter Trockenluftleckerfassungsinstrumente ist entweder
ein Druckdifferenzsensor oder ein Massenstromsensor. Beispiele solcher
Systeme werden in dem U.S. Patent 5,546,789 und dem U.S. Patent
6,279,383 gezeigt, die der Anmelderin der vorliegenden Erfindung
gehören.
Für Qualitätssicherungszwecke
wird die korrekte Nutzungsfähig
(Property) des Instrumentes (nicht einfach von dem Druck- oder Durchflussmessgeber)
periodisch gegenüber
irgendeinem externen Standard validiert. Das meistverbreitete Verfahren
dies zu erreichen ist, ein "kalibriertes
Leck" d.h., eine
kleine Konstriktion oder einen Durchlass, der einen festen Leckstrom
bei dem erforderlichen Probedruck durch lässt, parallel über ein
bekannt gutes Probestück
zu verbinden. Der Durchfluss durch das Probestück wird, falls vorhanden, als "Null"-Leck identifiziert
und wird während
des Leckdetektorkalibrierungsprozesses auf Aus gesetzt. Ein Leckerfassungsinstrument,
welches eine Leckrate in Entsprechung zu dem kalibrierten Leck zeigt,
wird dann als validiert betrachtet. Ein anderes Verfahren, das auf
Druckdifferenzsysteme anwendbar ist, ist, für einen kleinen Kolben einzurichten,
dass er in einem dichten Zylinder über ein bekanntes Hubvolumen
bewegt wird, wie in U.S. Patent 4,811,252 gezeigt. Ein verbessertes
Verfahren ist, einen kalibrierten Präzisionsdurchflusssensor in
Serie mit einem abgleichbaren Nadelventil zu verwenden anstelle
der Konstriktion, wobei das Ventil von Hand abgeglichen wird, bis
der gewünschte
Leckstrom auftritt, wie im U.S. Patent 5,363,689 gezeigt.
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Obwohl
jedes der obigen Systeme seine Nützlichkeit
bewiesen hat, zeigen sie Nachteile in der Produktionsnutzung. Beispielsweise
variiert der pneumatische Widerstand einer kleinen Konstriktion
oder eines Durchlasses mit dem Luftdruck und der Dichte und wird
einer Änderung über die
Zeit unterzogen, wenn es durch Kontaminierung oder Feuchtigkeit
teilweise blockiert wird. Auch kann der Kolben eines Detektors vom Drucktyp,
der sich durch ein Hubvolumen bewegt, bedingt durch die Bewegung
der Dichtungen unter Problemen des Anhaftens und Verschleißes leiden.
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Auch
kann ein Produktionsüberwacher
wünschen,
automatische Validierung des Leckerfassungsinstrumentes einzurichten,
vielleicht pro geprüftem
Teil für
sicherheitskritische Einheiten oder bei geringeren Intervallen oder
einmal pro Schicht oder einmal pro Woche für weniger anspruchsvolle Anwendungen.
Bis jetzt erfordert dies, dass ein Magnetventil durch die automatische
Steuerung zu dem korrekten Zeitpunkt geöffnet wird, um ein Standard-Leck
in das Leckprüfsystem
einzubinden. Das Betätigen
des Ventils bezieht unvermeidlich eine Änderung im Volumen des Systems
ein, welches selbst die Leckmessung stören kann und einen Fehler in
die Validierung, insbesondere in das Prüfen kleiner Teile einfügen kann.
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Es
gibt einen Bedarf für
eine verbesserte Referenzquellenzellenleckstromkalibrierungsquelle,
sowie eine verbesserte Anordnung zum Montieren einer solchen Quelle
in Produktionsprüfausrüstung.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
ein Blockdiagramm eines Unterseitentestsystems einschließlich Kalibrierung;
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2 ist
ein Blockdiagramm eines Oberseitentestsystems einschließlich Kalibrierung;
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3 ist
ein Blockdiagramm einer Kalibrierungsreferenzzelle und die Steuerung
davon;
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4 ist
eine Ansicht eines im Wesentlichen dichten Volumens mit Heiz-/Kühleinrichtungen
und Wärmesenken
daran angebracht;
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5 ist
eine Schnittansicht eines Wärmetauschers
mit einem im Wesentlichen dichten Volumen; und
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6 ist
ein Blockdiagramm einer Temperatursteuereinrichtung.
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BESCHREIBUNG
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Leckerfassungssysteme
umfassen allgemein eine Steuerung (Controller), die die Funktionen
einer Leckprüfung
in einer Abfolge ausführt,
und die ein Gerät
einschließt
zum Bereitstellen eines Leckprüfdurchflusses
oder eines Leckprüfdrucks
(welcher größer als
oder kleiner als der Umgebungsdruck sein kann), für eine geprüfte Einrichtung.
Die Leckprüfsteuerung
schließt
auch ein Gerät
ein zum Messen irgendeines sich aus dem Anwenden des Prüfdurchflusses
oder des Prüfdrucks
ergebenden Lecks. 1 stellt ein Unterseitenleckprüfsystem
dar, welches eine Steuerung 11 einschließt mit einer
Rohrleitung 13 in Strömungskommunikation
mit einer geprüften
Einrichtung, die bei 15 gezeigt ist. In 1 befindet
sich die zu prüfende
Einrichtung in einem dichten Behälter 16,
wie zum Beispiel einer Glasglocke. Eine Rohrleitung 17 verbindet
das Innere des dichten Behälters 16 zurück zu einem
Prüfgerät 19,
das Teil der Steuerung 11 ist. Eine Prüfung der zu prüfenden Einrichtung 15 wird
ausgeführt
durch Anwenden eines Drucks auf die zu prüfende Einrichtung über die
Rohrleitung 13 und Fühlen
einer Änderung
innerhalb des dichten Behälters 16 über die
Rohrleitung 17. Der Gesamtaufbau der 1 wird
als Unterseitenprüfen
bezeichnet, bei welchem eine getrennte Rohrleitung 17 verwendet
wird, zum Prüfen
auf durch Änderungen
im Durchfluss oder im über
die Rohrleitung 13 kommunizierten Druck auftretende Leckstellen. 2 stellt
dar, was als Oberseitenprüfen
bezeichnet wird. In 2 ist die Steuerung 11 mit
der zu prüfenden
Einrichtung über
eine einzelne Rohrleitung 23 verbunden, die verwendet wird
zum Zuführen
eines Drucks und die auch als Prüfrohrleitung
dient zum Verbinden mit einem Prüfgerät 21.
Die Anordnung der 1 und 2 schließen beide
eine Prüfrohrleitung
(13 oder 23) und ein mit der Prüfrohrleitung
verbundenes Prüfgerät (19 oder 21)
ein, welches Änderungen
im Massenstrom oder im Druck, die durch Lecks in der zu prüfenden Einrichtung
auftreten, messen kann.
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Jede
der 1 und 2 schließt einen Kalibrierer 25 ein,
der mit einer jeweiligen Prüfrohrleitung
(17 oder 23) verbunden ist und mit ihr in Strömungskommunikation
steht. In beiden Situationen kann der Kalibrierer 25 permanent
mit seiner Prüfrohrleitung
verbunden bleiben und zur Kalibrierungssteuerung 11 verwendet
werden, wenn durch einen Bediener oder eine Prüfroutine erwünscht.
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3 ist
ein Blockdiagramm zum detaillierteren Darstellen eines Kalibrierers 25.
Eine Referenzzelle 27, die in Strömungskommunikation mit einer
mit 17 oder 23 nummerierten Prüfrohrleitung verbunden ist,
ist eingeschlossen. Die Referenzzelle umfasst ein im Wesentlichen
dichtes Volumen, dessen Fluid-Eigenschaftsumgebung durch eine Kalibrierungssteuerung 29 gesteuert
wird. Die Referenzzelle 27 wird als im Wesentlichen dicht
bezeichnet, weil ihr einziger gedachter Strömungseinlass/Auslass eine Rohrleitung 33 ist,
die mit der Prüfrohrleitung 17 oder 23 verbunden
ist. Die Kalibrierungssteuerung 29 kann über einen
Leiter 35 elektrische Signale empfangen, die den Druck
in dem Volumen der Referenzzelle 27 darstellen. Der Kehrwert
des Drucksignals kann in vorteilhafter Weise in der Kalibrierungssteuerung 29 verwendet
werden zum Erzeugen eines wahren Massenstroms in der Rohrleitung 33.
In ähnlicher
Weise kann die Kalibrierungssteuerung 29 über einen
Leiter 37 elektrische Signale empfangen, die die Temperatur
in dem Volumen der Referenzzelle 27 darstellen. Eingangssignale
werden durch die Kalibrierungssteuerung 29 über einen
Leiter 39 von einer Eingabeeinrichtung 31 empfangen.
Eine Primärfunktion
der Kalibrierungssteuerung 29 ist es, eine Rückkopplungsschleife
für die
Referenzzelle 27 einzurichten durch Reagieren in einer
voreingerichteten Weise zum Senden von Steuersignalen zu der Referenzzelle 27 über einen
Leiter 41. Demnach sendet als Reaktion auf Signale von
dem Eingang 31 die Kalibrierungssteuerung 29 elektrische
Signale auf dem Leiter 41 zur Referenzzelle 27 zum
Steuern der Temperatur ihres Volumens. Der Umfang der Steuerung
auf dem Leiter 41 von der Kalibrierungssteuerung wird ansprechend
auf Rückkopplungssignale
auf den Leitern 35 und 37 angeglichen.
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Die
Kalibrierungssteuerung 29 kann eine digitale oder analoge
Einrichtung sein, die voreingestellt ist zum Ausführen der
Steuerschleifenfunktion. Eine digitale Steuerung kann beispielsweise
einen programmierten Mikroprozessor (nicht dargestellt) mit Komparatoreingängen einschließen, an
welchen ein kommendes Signal, z.B. Temperatur auf dem Leiter 37,
verglichen wird mit einem vorbestimmten Wert und, basierend auf
diesem digitalen Vergleich, wird das Signal auf dem Steuerungsleiter 41 variiert.
Eine solche Steuerungssignalvariation kann durch einen Digital-zu-Analog-Signalwandler erzeugt
werden, der Digitalsignale von dem Mikroprozessor empfängt und
die digitalen in analoge umwandelt, welche auf die Referenzzelle 27 angewendet
werden. Die Eingabe 31 ist als eine separate Einrichtung,
wie zum Beispiel eine benutzerbetriebene Tastatur gezeigt, jedoch
können
die Eingangssignale auf dem Leiter 39 durch eine Systemsteuerung,
wie zum Beispiel die Prüfsteuerung 11 bereitgestellt
werden (1).
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5 stellt
eine Schnittansicht eines im Wesentlichen dichten Volumenabschnittes 48 der
Referenzzelle 27 dar. In der vorliegenden Ausführungsform
ist das Volumen als ein rechteckiger Körper mit einer Oberseite 43,
einer Unterseite 45 und Seiten 47 aufgebaut. Die
Referenzzelle in der vorliegenden Ausführungsform spricht auf zugeführte Wärme an,
um eine Änderung
im Massenstrom oder Druck bereitzustellen, die am Auslass 33 kommuniziert
wird. Um den raschen Wärmetransport
zu dem Fluidum im Volumen zu erleichtern, umfasst das Innere eine
Vielzahl von Wärmeleitplatten 49 und 50,
die das im Wesentlichen dichte Volumen in eine Vielzahl von Untervolumen 51 aufteilen.
Jeweilige Platten 49 haben eine zentral angeordnete Öffnung 55,
um eine Fluid-Kommunikation
von allen Untervolumen 51 zu der Ein-/Auslass-Rohrleitung 33 zuzulassen.
Das dichte Volumen 48 wird aus Platten und Abstandshaltern
aus lötverzinntem
Kupferblech hergestellt. Das dichte Volumen wird durch Einfügen von
Abstandshaltern 53 zwischen angrenzenden Platten erstellt
zum Bilden der Konfiguration der 5. Die Gesamtanordnung
wird dann erwärmt,
um die Lötverzinnung
schmelzen zu lassen, und wird dann abkühlen lassen, um die Verbindung
aller Kontaktteile zu verfestigen. Während des Zusammenbaus wird
ein Temperatursensor, wie zum Beispiel eine Thermokopplung 57 vom
Miniaturtyp T an einer Oberfläche
der Referenzzelle silber-verlötet.
Alternativ kann der Temperatursensor an einer Außenseite 47 des dichten
Volumens 48 befestigt werden.
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In
einer Ausführungsform
sind die Abstandshalter 53 näherungsweise 0,5 mm dick und
die Platten sind näherungsweise
0,12 mm dick. Die Oberflächendimension
der Platten ist näherungsweise
10 mm, so dass von zwei gegenüberliegenden
Seiten 47 zugeführte
Wärme für näherungsweise
5 mm zur Mitte übertragen
wird. Die Größe des Volumens
kann größer gemacht
werden oder kleiner als das in 5 gezeigte
durch Konstruieren von mehr oder weniger Schichten, d.h., Untervolumen 51.
Ein typisches umschlossenes Volumen liegt zwischen 0,2 und 2 cm3 abhängig
von den erforderlichen Durchfluss- oder Druckänderungen und dem Volumen der
geprüften
Einrichung.
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Nach
dem Zusammenbau des im Wesentlichen dichten Volumens 48 der
Referenzzelle 27 wird es an das Gerät angepasst zum Steuern der
Temperatur des Fluidums im Volumen. 4 zeigt
eine Ausführungsform
für ein
rasches Erwärmen
und Abkühlen
des Volumens 48. Zuerst werden zwei thermoelektrische Module 59 individuell
an zwei gegenüber
liegenden Seiten 47 des dichten Volumens angebracht. Eine
Wärmesenke 71 wird
dann an die Außenfläche jedes
der thermoelektrischen Module 59 angebracht. Elektrische
Leiter 41 werden auch von der Kalibrierungssteuerung 29 zu
den thermoelektrischen Modulen 59 verbunden. In vorteilhafter
Weise sind die thermoelektrischen Module 59 Peltier-Einrichtungen,
die Wärme
von einer Außenfläche 73 zu
der anderen 75 bewegen, abhängig von der Richtung und Größe des Stroms
von der Steuerung 29. Demnach führt ein selektives Steuern
der Richtung und Größe des Stroms
im Leiter 41 zu einem selektiven Erwärmen oder Abkühlen dieses
Fluidums im Volumen. Es kann leicht gesehen werden, dass andere
Arten von thermoelektrischen Modulen auch verwendet werden können.
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Wenn
aufgebaut und ausgerüstet,
wie in
4 und
5 gezeigt, ist das dichte Volumen
48 ein
sehr effizienter und rascher Wärmetauscher,
der imstande ist, ein in dem dichten Volumen befindliches Fluidum
sowohl zu erwärmen,
als auch abzukühlen.
Die Peltier-Module
59 fügen
Wärmeenergie
zu der Zelle zu oder nehmen sie von ihr weg, wenn Strom durch sie
fließt,
abhängig
von der Stromrichtung. Die Zelle hat eine einzelne Auslassöffnung
33.
Der Massenstrom in der Auslassöffnung
hängt von
der Änderung
in der durchschnittlichen Zellenfluidumtemperatur folgendermaßen ab:
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Normalerweise
ist eine Änderung
in P (dem Prüfdruck,
der üblicherweise
festgelegt ist auf 1 – 5·P0) vernachlässigbar gegenüber P0 während
eines Leckprüfkalibrierungszyklus.
In diesem Fall gilt für
den Massenstrom mc = –V0·P/P0·d/dt{T0/T}scm3/Min = –V0·P/P0·d/dt{T0(1 – T
+ T2 + ...)}scm3/Min
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Es
ist zweckmäßig, T innerhalb
näherungsweise
10GrdK von T0(298GrdK) zu halten wegen Faktoren wie
der Nutzungsfähigkeit
(Performance) der Peltier-Einrichtung und der verfügbaren Kapazität der Wärmesenke.
In diesem Fall können
Terme oberhalb von T2 ignoriert werden,
ohne die Genauigkeit um mehr als 30 Promille zu beeinträchtigen.
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6 ist
ein Funktionsblockdiagramm der durch die Kalibrierungssteuerung 29 ausgeführten Aktionen zum
Erreichen eines gewünschten
Drucks und/oder Massenstroms von der Zelle 48. Die primäre Beschreibung
der 6 betrifft einen Analogsteueraufbau, jedoch sollte
verstanden werden, dass die offenbarten Funktionen auch in dem Digitalbereich
implementiert werden könnten.
Der Kalibrierungsprozess beginnt, wenn ein Digital/Analog-Umwandler 61 ein
Digitalsignal auf dem Leiter 39 empfängt, welches Signal einen gewünschten
Strom von oder zu dem Volumen 48 identifiziert. Der gewünschte Strom
repräsentiert
das d/dt{T0/T} in der obigen Gleichung.
Der Digital/Analog-Umwandler 61 interpretiert
das kommende Signal als einen Kalibrierungsbefehl und wandelt die
digitale Darstellung des gewünschten
Stroms in einen analogen Spannungspegel um, der auf einen Integrierer 63 angewendet
wird. Die Spannungsausgangsgröße des Digital/Analog-Umwandlers 61 repräsentiert
die gewünschte Änderung
der Temperatur des dichten Volumens 48 zum Erreichen des
gewünschten
Ergebnisses. Der Integrierer 63 spricht auf das Eingeben
durch das Erzeugen eines zeitvarianten Ausgangssignals an, welches
an einen +(Plus)-Eingang eines Differenzverstärkers 64 verbunden
ist. In der vorliegenden Ausführungsform
variiert das Ausgangssignal des Integrierers linear mit der Zeit bis
hoch zu (herunter zu) der gewünschten
Temperatur. Es ist möglich,
dass andere Systeme implementiert werden können, die zum Bereitstellen
eines nicht-linearen (aber wiederholbaren) Ausgangssignals von dem Integrierer 63 eine
abweichende zeitvariante Funktion verwenden können.
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Der –(Minus)-Eingang
des Differenzverstärkers 64 empfängt ein
Signal auf dem Leiter 35, das den Kehrwert von der dann
vorliegenden Temperatur des Volumens 48 darstellt, wie
durch den Temperatursensor 57 erzeugt, und in geeigneter
Weise verstärkt.
Ein den T2-Term darstellendes Signal ist
eingeschlossen, um eine ausreichend nahe Näherung zu 1/T zu liefern, wie
in der letzten Gleichung oben beschrieben. Die Ausgangsgröße des Differenzverstärkers 64 wird
auf die Peltier-Module 59 über einen Verstärkungsblock 65 und einen
Stromtreiber 66 angelegt, welcher ein geschaltetes Standardstrom-IC
LMD18245 sein kann. Das geschaltete Strom-IC speichert Energie in
zwei externen Induktanzen und kann einen größeren Ausgangsstrom bereitstellen
als der Durchschnittseingangsstrom. Die Temperaturänderung
des dichten Volumens 48 wird durch den Temperatursensor 57 und
seinen zugeordneten Verstärker
erfasst und zu dem Differenzverstärker 64 auf dem Leiter 35 zurückgeführt, wie
oben diskutiert. Der beschriebene Betrieb definiert eine hochverstärkende Rückkopplungsschleife
mit einer Verstärkung
von beispielsweise 27dB bei 1Hz.
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Der
Druck des Fluidums bei dem dichten Volumen 48 kann auch
durch einen Drucksensor 56 erfasst werden und umgewandelt
werde in ein inverses elektrisches Signal, welches zu dem Digital/Analog-Umwandler 61 gesendet
wird. Der Digital/Analog-Umwandler 61 kann auf das Drucksignal
ansprechen durch umgekehrtes Modifizieren des gewünschten,
zu dem Integrierer 63 gesendeten, Temperatursignals. Die
Modifikation der gewünschten
Rate der Änderung
des Temperatursignals wird durchgeführt zum Erstellen einer gewünschten
Temperatur, die benötigt
wird zum Erreichen eines gewünschten
Massenstroms bei einem erfassten Druck. In vorteilhafter Weise kann
das inverse elektrische Signal erhalten werden durch eine arithmetische
Divisionsfunktion zum Erzeugen einer wahren 1/n-Teilung. Um dies
bereitzustellen, kann die Signalleitung zwischen dem Drucksensor 56 und
dem Digital/Analog-Umwandler 61 einen optionalen Teilungsblock 58 einschließen.
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Der
Empfang eines Digitalsignals auf dem Leiter 39 veranlasst
eine stabile Änderung
in der Temperatur der Zelle 48, entweder zunehmend (Ausströmung) oder
abnehmend (Einströmung) über eine
Dauer, die lang genug ist für
alle Kupferzellen, und das Fluidum darin, bei der gleichmäßigen Rate
geändert
zu werden, die durch den Digital/Analog-Umwandler 61 gefordert
wird. Diese Dauer kann beispielsweise zwei Sekunden währen. In
Richtung des Endes dieser Dauer werden einer oder mehrere Abtastwertlesevorgänge von
dem Durchflussmesser 19 in das validierte Leckprüfsystem 11 genommen.
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Nach
einer angemessenen Zeit für
das Abtasten des Stroms – zum
Beispiel 0,5 Sekunden, wird der Integrierer 63 zurückgesetzt.
In diesen Zustand übergehend
wird es der Rückkopplungsschleife
ermöglicht,
mit dem maximalen Nennkühlstrom
(oder Heizstrom) auf die Peltier-Einrichtungen 59 angewendet
in die Sättigung zu
gelangen. Dies zwingt die Zellentemperatur, so schnell wie möglich in
ihren Ruhewert zurückzukehren,
was das Starten des nächsten
normalen Leckprüfzyklus
mit dem neuen Prüfteil
sobald wie möglich
zulässt.
Die Erholungszeit ist üblicherweise
zwischen 1 und 9 Sekunden, abhängig
von der Richtung und Magnitude des vorangehenden Kalibrierungsfluidstroms.
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Wenn
ein Druckänderungsleckerfassungssystem
validiert wird, ist es zweckmäßig, eine ähnliche
Abfolge zu verwenden, d.h., das Entwickeln einer exakten Druckänderung
innerhalb des Gesamtsystemvolumens durch Hervorrufen eines festen
Kalibrierungsstroms über
eine vorbestimmte feste Prüfzeit.
Der Vorteil hiervon gegenüber
dem einfachen Hervorrufen einer Änderung
der Zellentemperatur zwischen zwei exakt bekannten Werten ist, dass
es die durch ein reales Leck in dem Prüfteil verursachte Ausströmung simuliert.
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Der
kürzeste
Gesamtzyklus wird erhalten, wenn die Zelle anfangs erwärmt ist
(Kalibrierungsstrom nach außen),
dann während
der Erholungszeit gekühlt
wird. Die Erholungszeit kann in jedem Fall überlappen mit der Zeit, die
erforderlich ist zum Öffnen
der Leckprüfvorrichtung,
das neue Teil einzufügen
und die Vorrichtung zu schließen
vor dem Start der nächsten
Prüfung.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Eine
Leckprüfanordnung
mit einer Leckkalibrierungseinrichtung wird offenbart. Die Kalibrierungseinrichtung
ist in Kommunikation mit der Leckprüfanordnung verbunden und stellt
eine gesteuerte Quelle (Senke) eines Fluidums bei einem vorbestimmten
Betrag bereit. Die Kalibrierung schließt ein im Wesentlichen dichtes Volumen
von Fluidum in Strömungskommunikation
mit der Prüfanordnung
ein und eine Steueranordnung zum Heizen und/oder Kühlen des
Volumens zum Erzeugen der Quelle (Senke) des Kalibrierers.
