DE1086511B - Process for thorough metallization of porous molded bodies by thermal dissociation of a metal compound - Google Patents

Process for thorough metallization of porous molded bodies by thermal dissociation of a metal compound

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DE1086511B
DE1086511B DED25376A DED0025376A DE1086511B DE 1086511 B DE1086511 B DE 1086511B DE D25376 A DED25376 A DE D25376A DE D0025376 A DED0025376 A DE D0025376A DE 1086511 B DE1086511 B DE 1086511B
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diaphragms
metallization
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DED25376A
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Dipl-Chem Dr Ludwig Ziehl
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Evonik Operations GmbH
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Degussa GmbH
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates

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Description

Verfahren zum durchgreifenden Metallisieren poröser Formkörper durch thermische Dissoziation einer Metallverbindung Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum durchgreifenden Metallisieren poröser Formkörper, wie Filter oder Diaphragmen, durch thermische Zersetzung einer Metallverbindung in dem auf deren Zersetzungstemperatur erwärmten Formkörper, wobei die Metallverbindung fortlaufend durch den Formkörper gepumpt wird.Process for thorough metallization of porous moldings thermal dissociation of a metal compound The invention relates to a Process for thorough metallization of porous molded bodies, such as filters or Diaphragms, by thermal decomposition of a metal compound in the one on top of them Decomposition temperature heated moldings, the metal compound continuously is pumped through the shaped body.

Vorliegender Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Filter oder Diaphragmen zu erzeugen, bei denen die Porengröße möglichst gleichmäßig ist. Derartige Diaphragmen werden für die Trennung verschieden schwerer Gase durch Diffusion verwendet, wobei die Porengröße in der Größenordnung der freien Weglänge der Gasmoleküle liegt. Es ergibt sich, daß bei der üblichen Herstellung der Diaphragmen der Anteil der Strömung, der nach dem Poiseuilleschen Gesetz fließt, verhältnismäßig groß ist. Die hierbei wirksame Laminarströmung ermöglicht keine Trennung von Gasen mit unterschiedlichem Molekulargewicht.The present invention is based on the problem of filters or diaphragms to produce in which the pore size is as uniform as possible. Such diaphragms are used for the separation of gases of different weights by diffusion, whereby the pore size is in the order of magnitude of the free path of the gas molecules. It it follows that with the usual manufacture of the diaphragms the proportion of the flow, which flows according to Poiseuille's law is relatively large. The one here effective laminar flow does not allow separation of gases with different Molecular weight.

Es wurde nun gefunden, daß sich eine Homogenisierung des Porenquerschnitts dadurch erreichen läßt, daß unter Anwendung des an sich bekannten Herstellungsverfahrens von Filtern und Diaphragmen die gasförmige Metallverbindung intermittierend in kleinen Portionen durch den Formkörper gesaugt wird. In diesem Fall bewegen sich die durch den Druckabfall bewegten Moleküle, bevorzugt durch die relativ großen Poren, in denen die Strömung dem Poiseuilleschen Gesetz folgt. Dadurch, daß die Wandtemperatur dieser Poren über der Zersetzungstemperatur liegt; scheidet sich das Metall bevorzugt in diesen Poren ab, so daß eine nivellierende Wirkung auf den mittleren Porendurchmesser eintritt. Als Ergebnis erhält man Filter oder Diaphragmen, die eine außerordentlich hohe Gleichmäßigkeit im Porendurchmesser aufweisen.It has now been found that there is a homogenization of the pore cross-section can thereby be achieved that using the production process known per se of filters and diaphragms the gaseous metal compound intermittently in small Portions is sucked through the molding. In this case they move through the pressure drop moving molecules, preferably through the relatively large pores, in which the flow follows Poiseuille's law. Because the wall temperature these pores are above the decomposition temperature; the metal separates preferentially in these pores, so that a leveling effect on the mean pore diameter entry. The result is filters or diaphragms that are extraordinary have high uniformity in pore diameter.

Wünscht man Abscheidungen von Verbindungen, die sich durch Zersetzung flüchtiger Verbindungen nur schwer oder gar nicht herstellen lassen, so kann man durch entsprechende Beimengungen in vielen Fällen Abhilfe schaffen. Zum Beispiel läßt sich die Abscheidung von Kieselsäure aus SiF4 durch Zusätze von Wasserdampf leicht bewirken. Auch zersetzungsbeschleunigende Zusätze können in manchen Fällen gute Dienste leisten.If you want deposits of compounds that result from decomposition Volatile compounds can only be produced with difficulty or not at all, so you can In many cases, remedy the situation by adding appropriate additives. For example The deposition of silica from SiF4 can be achieved by adding water vapor easily effect. Additives that accelerate decomposition can also be used in some cases do good service.

Besondere Bedeutung hat die Erfindung für die Herstellung von Nickeldiaphragmen zur Isotopentrennung von Uran über Uranhexafluorid.The invention is of particular importance for the production of nickel diaphragms for isotope separation of uranium via uranium hexafluoride.

Das nachfolgende Beispiel erläutert anschaulich die einzelnen Verfahrensschritte.The following example clearly explains the individual process steps.

Homogenisierung eines Nickeldiaphragmas zur Verwendung für die Isotopentrennung von Uran- über die Gasphase: Ein Nickeldiaphragma wird im Vakuum auf Temperaturen zwischen 180 und 450° C, z. B. 300° C, gebracht. Dabei ist das Diaphragma so angeordnet, daß es den gesamten Vakuumraum teilt. Vorzugsweise auf der Seite mit kleinerem Volumen wird nun über durch eine Programmscheibe automatisch gesteuerte Magnetventile in Intervallen mit kleinen Mengen eines Gemisches aus Nickeltetracarbonil und inertem Gas, z. B. Argon, beströmt, während auf der anderen Seite durch Abpumpen für ein gleichmäßiges Vakuum gesorgt wird. Die durch den Druckabfall bewegten Moleküle suchen sich dabei bevorzugt ihren Weg durch die relativ zum Mittelwert der Porendurchmesser zu großen Poren. Gleichzeitig zersetzt sich aber das Nickeltetracarbonyl an dem heißen Diaphragma. Aus dem Zusammenwirken dieser beiden Vorgänge resultiert eine nivellierende Wirkung der beschriebenen Behandlung auf die Porendurchmesser. Nach Beendigung der laut Beispiel erfolgten Homogenisierung ist der dem Gesetz von P o i s eu i 11e folgende Strömungsanteil um 72,411/a vermindert. (Ein Maßstab für die Gleichmäßigkeit des Porendurchmessers in der Größenordnung. der freien Weglänge von Gasmolekeln in Diaphragmen ist der Anteil der den Gesetzen von P o i s eu i 11e folgenden Strömung. Im Idealfall müßte dieser Anteil Null werden.) Für die Zwecke der Isotopentrennung von Uran über Uranhexaflorid wird ein so vorbereitetes Diaphragma mit Vorteil noch mit Fluor oder Fluorwässerstoffsäure bei Temperaturen von etwa 60° C behandelt, da sonst bei Inbetriebnahme durch Uränäbscheidungen die Durchlässigkeit der Diaphragmen sofort um über 20°/o abnimmt. Dabei wendet man meist Gasgemische an, deren eine Komponente ein Inertgas ist, worunter in diesem Fall auch Wasserdampf verstanden werden soll.Homogenization of a nickel diaphragm for use in isotope separation from uranium to the gas phase: A nickel diaphragm is heated to temperatures in a vacuum between 180 and 450 ° C, e.g. B. 300 ° C, brought. The diaphragm is arranged in such a way that that it divides the entire vacuum space. Preferably on the smaller volume side is now via a program disc automatically controlled solenoid valves in Intervals with small amounts of a mixture of nickel tetracarbonil and inert Gas, e.g. B. argon, while on the other hand by pumping out for a uniform vacuum is ensured. Find the molecules moved by the pressure drop it prefers its way through the relative to the mean value of the pore diameter too large pores. At the same time, however, the nickel tetracarbonyl decomposes on the called diaphragm. The interaction of these two processes results in one leveling effect of the treatment described on the pore diameter. To The end of the homogenization carried out according to the example is that according to P's law o i s eu i 11e the following flow rate reduced by 72.411 / a. (A benchmark for the uniformity of the pore diameter in the order of magnitude. the free path of gas molecules in diaphragms is the proportion of the laws of P o i s eu i 11e following flow. In the ideal case this proportion should be zero.) For the purposes the isotope separation of uranium via uranium hexafloride is a diaphragm prepared in this way with advantage also with fluorine or hydrofluoric acid at temperatures of about 60 ° C, otherwise the permeability due to uranium deposits during commissioning the diaphragm immediately decreases by more than 20%. In most cases, gas mixtures are used one component of which is an inert gas, among which in this case also water vapor should be understood.

Das Verfahren der Erfindung ist jedoch in seiner Anwendung -keinesfalls auf Metallfilter beschränkt, sondern kann gleichermaßen für Glasfritten oder poröse sinterkeramischeWerkstoffe Anwendung finden. Ebenso umfaßt der Erfindungsgedanke das Arbeiten bei Normaldruck, ja sogar bei erhöhtem Druck, da es letzten Endes nur der Druckdifferenz bedarf, um ein Gas zum Strömen zu veranlassen, jedoch werden die besten Ergebnisse mit evakuierten porösen Körpern erzielt, wobei es im allgemeinen nicht erforderlich ist, über ein technisches Vakuum hinauszugehen.However, the method of the invention is by no means in its application limited to metal filters but can be used equally for glass frit or porous sintered ceramic materials are used. The idea of the invention also includes working at normal pressure, even at increased pressure, since in the end it is only however, the pressure differential required to cause a gas to flow will be obtained the best results with evacuated porous bodies, it being generally it is not necessary to go beyond a technical vacuum.

Mit besonderem Vorteil können nach dem Verfahren der Erfindung poröse Körper und Diaphragmen behandelt werden, die nach anderen Vorschlägen hergestellt worden sind.According to the method of the invention, porous Body and diaphragms are treated made according to other proposals have been.

Claims (7)

PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zum durchgreifenden Metallisieren poröser Formkörper, wie Filter oder Diaphragmen, durch thermische Zersetzung einer Metallverbindung in dem auf deren Zersetzungstemperatur erwärmten Formkörper, wobei die Metallverbindung fortlaufend durch den. Formkörper gepumpt wird, dadurch gekennzeichnet, daß zum gleichzeitigen Homogenisieren der Poren eine gasförmige Metallverbindung intermittierend in kleinen Portionen durch den Formkörper gesaugt wird. PATENT CLAIMS: 1. Process for thorough metallization of porous Shaped bodies, such as filters or diaphragms, by thermal decomposition of a metal compound in the molded body heated to its decomposition temperature, the metal compound continuously through the. Shaped body is pumped, characterized in that for simultaneous homogenization of the pores a gaseous metal compound intermittently is sucked through the molding in small portions. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die flüchtigen Verbindungen .in Mischung mit Inertgasen angewendet werden. 2. The method according to claim 1, characterized in that the volatile compounds .in a mixture with inert gases be applied. 3. Verfahren nach Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß den flüchtigen Verbindungen zersetzungsbeschleunigende Zusätze beigemengt werden. 3. The method according to claims 1 and 2, characterized in that that decomposition-accelerating additives are added to the volatile compounds. 4. Verfahren nach Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Arbeitsdruck Unterdruck angewendet wird. 4. Process according to Claims 1 to 3, characterized in that the working pressure Negative pressure is applied. 5. Verfahren nach Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß insbesondere für Metallformkörper, wie Diaphragmen, als flüchtige Verbindungen eines oder mehrere Metallcarbonyle eingesetzt werden. 5. Process according to Claims 1 to 4, characterized in that that especially for metal moldings, such as diaphragms, as volatile compounds one or more metal carbonyls are used. 6. Verfahren nach Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß, insbesondere bei Nickeldiaphragmen, die Zersetzungstemperatur zwischen 180 und 450' C gewählt wird. 6. The method according to claims 1 to 5, characterized in that, especially in the case of nickel diaphragms, the decomposition temperature between 180 and 450 ° C is chosen. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der homogenisierte Formkörper mit Fluor oder Fluorwasserstoff, gegebenenfalls in Mischung mit inerten Gasen; nachbehandelt wird. In Betracht gezogene Druckschriften: USA.-Patentschrift Nr. 2 409 295.7. The method according to claim 6, characterized in that that the homogenized shaped body with fluorine or hydrogen fluoride, optionally mixed with inert gases; is post-treated. Considered publications: U.S. Patent No. 2,409,295.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3158499A (en) * 1961-07-07 1964-11-24 Union Carbide Corp Method of depositing metal coatings in holes, tubes, cracks, fissures and the like
DE1281224B (en) * 1963-12-12 1968-10-24 Telefunken Patent Process for the production of electrically conductive coatings on the inner walls of very thin channels

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2409295A (en) * 1941-12-08 1946-10-15 Gen Motors Corp Porous metal article

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