-
Die
Erfindung betrifft einen Bewegungsantrieb für eine Ionenstrahlbearbeitungsanlage
zur Oberflächenbehandlung
optischer Linsen, deren gekrümmte
Oberfläche
von einer von dem Antrieb bewegten Ionenquelle bestrahlend überstrichen
wird.
-
Es
ist bekannt, daß die
Ionenstrahlbearbeitung von Festkörperoberflächen eine
Formgebung mit höchster
Qualitätsanforderung
ermöglicht.
-
Bekannt
sind Verfahren zur Ionenstrahlbearbeitung speziell zur Bearbeitung
optischer Komponenten oder elektronischer Bauelemente. Es sind Blendenverfahren,
Bewegungsysteme und Kombination von beiden letzteren bekannt.
-
In
der Patentschrift
DE
41 013 404 C2 wird beschrieben, daß die Beeinflussung des Ionenstrahls über die
Lage, Form- und Öffnungszeitvariation
des aus drei Blenden bestehenden Blendensystems erfolgt.
-
Weiterhin
sind Blendenverfahren bekannt, bei denen die Strahlbegrenzung durch
einschwenkbare Festblenden und/oder Grössenveränderung durch steuerbare, bewegliche
Blenden erreicht wird.
-
In
der Patentschrift
DE
198 16 246 C1 wird ein Verfahren zur Elektronenbestrahlung
von Schichten die auf Oberflächen
von Objekten aufgebracht sind beschrieben, vorwiegend für die Härtung von Anstrichstoffen
die auf Objekten mit dreidimensional geformten Oberflächen aufgebracht
sind.
-
Dabei
tritt aus einem evakuiertem Elektronenstrahlerzeuger der Elektronenstrahl
durch vakuumdichtes Strahlaustritstfenster auf Atmosphärendruck
aus. Die Bestrahlung der Objekte erfolgt in der Regel unter Innertbedingungen,
beispielsweise unter Stickstoff. Die Handlingseinrichtung wird unter
anderem am Beispiel eines Industrieroboters beschrieben. Dabei können zur
optimalen Positionierung von Strahlenquelle und Objekt ein oder
mehrere Roboter zur Anwendung kommen. Der Industrieroboter mit seinen
fünf Bewegungsachsen
erfüllt
in diesem Falle die Funktion des Fünf-Achsen-Systems, das als Stand
der Technik in der Ionenestrahlbearbeitung optischer Linsen zur
Zeit eingesetzt wird.
-
Der
wesentliche Nachteil eines Industrieroboters, in Hinsicht auf die
Positioniergenauigkeit, sind die fünf rotatorischen Bewegungsachsen.
Um optische Linsen bearbeiten zu können, müßten alle fünf rotatorischen Achsen des
Roboters bewegt werden und die Fehler der einzelnen Achsen, würden sich
in der Positioniergenauigkeit summieren. Je nach Verwendungszweck
werden die einzelnen Roboterachsen direkt über Zahnräder oder indirekt über Zahnriemen
angetrieben. Beide Antriebsarten finden ihren Einsatz dort, wo keine
hohe Bewegungspräzision
und permanente Wegmessung erforderlich sind.
-
Bei
der Elektronenbestrahlung von Schichten auf Oberflächen von
Objekten wurde bewußt
auf die Robotertechnik gesetzt, da diese hohe Anzahl von Freiheitsgraden
zur Führung
der Elektronenstrahlerzeuger erlaubt und die Positioniergenauigkeit zu
diesem Zweck ausreichend ist.
-
Im
US Patent 5,852.29 A wird eine Handling-Vorrichtung beschrieben
für die
Herstellung und Montage kleinster Teile unter gleichzeitiger Beobachtung
aus zwei Richtungen durch optische oder Elektronen-Mikroskope.
-
Diverse
Werkzeuge und Apparate sind auf Schlitten befestigt, die sich auf
gekrümmten
Schienen bewegen. Es wurde auf die Möglichkeit hingewiesen, die
Schlittenbewegungen durch Antriebe wie z. B. Motoren kontrolliert
durchzuführen
ohne jedoch die technische Ausführung
der Antriebe näher
zu beschreiben. Weiterhin wurde auf die Möglichkeit hingewiesen, durch
diverse Strahleneinrichtungen Strahlen wie Ionen-Elektronen-, Laserstrahlen und andere
gezielt einzusetzen. Durch die Anordnung der Schlitten auf den gekrümmten Schienen
ist jedoch nur eine Bewegung möglich,
die vom Krümmungsradius
der Schiene abhängig
ist. Für
die Beobachtung der verschiedenen Objekte durch Mikroskope ist dies nicht
von Nachteil und auch Bestrahlen der Objekte durch diverse Strahleneinrichtungen
wäre möglich.
-
Zur
Ionenstrahlbearbeitung optischer Linsen muß jedoch der Ionenstrahl stets
senkrecht und die Strahleinrichtung im gleichen Abstand zu der zu
bearbeitenden Krüm
mungsoberfläche
der Linse gerichtet sein, damit die beste Oberflächengüte erreicht wird. Da die zu
bearbeitenden optischen Linsen unterschiedliche Krümmungen
haben, müßte für jede einzelne
Linse entsprechend gekrümmte
Schiene angefertigt werden, um die Anforderung für die Bearbeitung zu erfüllen. Um
die Schlitten auf den gekrümmtem
Schienen kontrolliert, schnell und mit hoher Präzision bewegen zu können, ist
ein sehr hoher technischer Aufwand erforderlich. Der Einsatz von Antriebsmitteln
wie Zahntriebe etc. mit ihren bekannten Nachteilen macht diese Handling-Vorrichtung für die Bearbeitung
von optischen Linsen nicht anwendbar.
-
Die
vorgeschlagene Lösung
vermeidet alle diese Nachteile.
-
Im
Patent
US 6,172,372
B1 werden mehrere Linear und Drehbewegungssysteme in Verbindung mit
Vakuumkammer mit Ionenquelle und O-Ring-Vakuumdurchführungen
beschrieben. Dabei wird das zu bestrahlende Werkstück an einem
Schaft linear und rotatorisch bewegt, während die Ionenquelle fest installiert
ist.
-
Keine
von den beschriebenen Lösungen wäre jedoch
dazu geeignet, eine optische Linse mit gekrümmter Oberfläche mit
Ionenquelle zu bearbeiten. Ebenfalls ist die vorgeschlagene Vakuumabdichtung
der Bewegungen mit O-Ringen fur Ionenstrahlbearbeitung wegen der
hohen Vakuumanforderung nicht geeignet.
-
In
der Patentschrift
DE
38 02 598 C1 wird ein Rasterelektronenmikroskop, bestehend
aus einer Vakuumkammer und Goniometrieeinrichtung (ferner vergleichbar
mit einem Fünf-Achsen-System)
für Elektronenoptik
und Detektoren beschrieben.
-
Die
Detektoren sind dabei auf einem Schlitten und Winkelführungsbahn
ausgeführt,
und durch nicht näher
beschriebene und dargestellte Antriebsmotoren, Ritzel und Zahnkränze für unterschiedliche Winkelpositionen
ferngesteuert anzufahren.
-
Diese
Goniometrie-Einrichtung ist durchaus mit dem sogenannten Fünf-Achsen-System und deren
Nachteilen vergleichbar, auf den später noch eingegangen wird.
-
In
der Offenlegungsschrift
DE
198 14 760 A1 wird eine Kombination von linearem Bewegungssystem,
Rotationstisch und Blendenbewegungssystem beschrieben.
-
Für die Bearbeitung
optischer Linsen mit gekrümmten,
hoch geöffneten
Oberflächen,
eignet sich die Kombination Blendensystem mit Linearbewegungssysteme
oder Rotationstische nicht, da der Ionenstrahl die beste Bearbeitungshomogenität und die
Oberfläche
bester Güte
erreicht, wenn der Strahl senkrecht zu der zu bearbeitenden Oberfläche steht. Dies
ermöglichen
die sogenannten Fünf-Achsen-Systeme,
beschrieben von L.N. Allen und R. E. Keim, „An Ion Figuring System for
Large Optics Fabrication" in
Current Developments Optical Engineering and Commercial Optics,
SPIE, Vol.1168 pp 33-50, August 1989, die fast ausschließlich zur
Ionenstrahlbearbeitung der konkaven und konvexen Linsen eingesetzt
werden.
-
Bei
bekannten Ionenbearbeitungsanlagen wird der Ionenstrahl in mäanderförmigen Bahnen über eine
zu bearbeitende, stationär
angeordnete optische Linse geführt,
wobei der Ionenstrahl immer rechtwinklig auf die Linsenoberfläche auftrifft
und der Abstand zwischen der Ionenquelle sowie der Linsenoberfläche konstant
gehalten wird. Diese Bewegungsabläufe der Ionenquelle übernimmt
ein Fünf-Achsen-Bewegungsantrieb
einer CNC-Steuerung mit drei zueinander rechtwinkligen translatorischen
Bewegungsachsen X, Y, Z und zwei kardanisch angeordneten rotatorischen Bewegungsachsen
A, B. Dabei führt
die translatorische Bewegungsachse X die Mäanderlängsbahnen aus, während die translatorische
Bewegungsachse Y den Mäanderversatz
bewirkt und die translatorische Bewegungsachse Z den Abstand zwischen
der Ionenquelle sowie der Linsenoberfläche konstant hält. Die
beiden rotatorischen Bewegungsachsen sorgen dafür, daß der Ionenstrahl stets rechtwinklig
auf die Linsenoberfläche
auftrifft.
-
Derartige
Fünf-Achsen-Bewegungsantriebe sind
sehr aufwendig und wegen der rotatorischen Bewegungsachsen relativ
ungenau, weil hierbei Schnecken- und Zahnradgetriebe zur Anwendung
kommen. Die hiermit erzielbare Genauigkeit ist für viele Präzisionsarbeiten, wie bei der
Linsenbearbeitung, zu klein. Demgegenüber sind translatorische Bewegungsachsen
wesentlich einfacher und genauer.
-
Der
vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen
Bewegungsantrieb der im Oberbegriff genannten Art bezüglich der
Anzahl der Bewegungsachsen erheblich zu vereinfachen und so auszubilden,
daß auf
rotatorische Bewegungsachsen verzichtet werden kann und somit große Betriebsgenauigkeiten
erzielbar sind.
-
Zur
Lösung
der gestellten Aufgabe zeichnet sich ein Bewegungsantrieb der im
Oberbegriff von Anspruch 1 genannten Art erfindungsgemäß durch die
im Kennzeichen dieses Anspruchs aufgeführten Merkmale aus, nämlich dadurch,
daß der
Bewegungsantrieb eine erste Pendelhalterung für die zu bearbeitende Linse
und eine zweite Pendelhalterung für die Ionenquelle aufweist,
daß sich
die Pendelachsen der ersten und zweiten Pendelhalterungen rechtwinklig
schneiden, daß jede
Pendelhalte rung mit einem eigenen längenvariablen Linearantrieb
verbunden ist, dessen eines Ende an einer stationären Anlenkung
schwenkbar gehalten ist und dessen anderes Ende an der zugehörigen Pendelhalterung
außerachsig
zu deren Pendelachse angelenkt ist.
-
Infolge
dieser pendelnden Anbringung der Ionenquelle einerseits und der
zu bearbeitenden Linse andererseits kann der Ionenstrahl jeden Bereich der
Linsenoberfläche
rechtwinklig zu dieser überstreichen,
ohne daß wie
bisher hierzu ein zweiachsig rotatorisches Verstellen der Ionenquelle
erforderlich ist. Die Pendelbewegungen können durch zwei längenvariable
Linearantriebe erzielt werden, die bei einfachem sowie preiswertem
Aufbau vergleichsweise sehr genau sein können.
-
Die
weiteren Ausgestaltungen der Ansprüche 2 bis 4 ermöglichen
eine Anpassung des Bewegungsantriebs an die Geometrie der jeweilig
zu bearbeitenden Linse. Die Abstandseinstellungen können durch
einfache mechanische Verstellmittel oder ebenfalls durch Linearantriebe
erfolgen.
-
Durch
die Merkmale von Anspruch 5 ergeben sich einfache Bau- und Betriebsverhältnisse
für die
Linearantriebe.
-
Während die
integrierte Bauform aus Anspruch 6 einen relativ großen Vakuumbehälter erfordert,
kann dieser gemäß den Ansprüchen 7 und
8 durch die Anordnung der Linearantriebe außerhalb des Vakuumbereichs
kostensparend wesentlich kleiner ausgebildet sein. Außerdem können hierdurch einfachere
und preiswertere Linearantriebe benutzt werden.
-
Mit
den Maßnahmen
der Ansprüche
9 und 10 lassen sich konvex gekrümmte
Linsenoberflächen bearbeiten.
Um auch konkav gekrümmte
Linsenoberflächen
bearbeiten zu können,
läßt sich
die Linsenanordnung in einfacher Weise gemäß Anspruch 11 verlagern. Dabei
ist der Abstand der Ionenquelle von der Linsenoberfläche entsprechend
einzustellen.
-
Gemäß Anspruch
12 übernimmt
eine Steuereinheit über
die beiden Linearantriebe alle die für die Linsenbearbeitung erforderlichen
Bewegungsläufe. In
weiterer Ausgestaltung gemäß Anspruch
13 kann die Steuereinheit 12 über zusätzliche Linearantriebe auch
für entsprechende
Abstandssteuerungen sorgen, um einerseits eine Anpassung des Bewegungsantriebs
an die jeweilige Linsengeometrie vorzunehmen und andererseits den
richtigen Abstand zwischen der Ionenquelle sowie der Linsenoberfläche zu erzielen.
-
Die
Steuereinheit läßt sich
gemäß den Ansprüchen 14
bis 16 in einfacher Weise so einrichten und betreiben, daß eine mäanderförmige, spiralförmige oder
koordinatenabhängige
Strahlenabtastung der Linsenoberfläche erfolgt.
-
Die
Steuereinheit kann nach Anspruch 17 einen Mikroprozessor aufweisen.
-
Während es
gemäß Anspruch
18 ohne weiteres möglich
ist, für
die Ionenquelle eine zweiarmige Pendelhalterung vorzusehen, ist
es aus Bedienungsgründen
zweckmäßig, die
Pendelhalterung für
die zu bearbeitende Linse gemäß Anspruch
19 einarmig auszubilden, damit die Linse behinderungsfrei eingesetzt
sowie entnommen werden kann.
-
Die
zum Einsatz kommenden Linearantriebe können verschiedenartig aufgebaut
sein. Vorzugsweise haben sie nach Anspruch 20 einen schlittenartigen
Aufbau. Sie sind gemäß Anspruch
21 elektromagnetisch und gemäß Anspruch
22 als Linearmotoren ausgebildet.
-
Die
Erfindung wird nachfolgend an zeichnerisch dargestellten Ausführungsbeispielen
näher erläutert. Es
zeigen:
-
1 in
einer schematischen Seitenansicht eine zur Bearbeitung konvex gekrümmter Linsenoberflächen eingerichtete
erste Ausführungsform
eines Bewegungsantriebs mit im Vakuumbereich befindlichen Linearantrieben,
-
2 die
erste Ausführungsform
aus 1 in einer um 90 Grad gedrehten schematischen
Seitenansicht,
-
3 die
erste Ausführungsform
in einer 1 entsprechenden detaillierteren
Seitenansicht,
-
4 die
erste Ausführungsform
in einer 2 entsprechenden detaillierteren
Seitenansicht,
-
5 in
einer detaillierteren Seitenansicht eine zur Bearbeitung konvex
gekrümmter
Linsenoberflächen
dienende zweite Ausführungsform
eines Bewegungsantriebs mit außerhalb
des Vakuumbereichs befindlichen Linearantrieben,
-
6 die
zweite Ausführungsform
aus 5 in einer um 90 Grad gedrehten Seitenansicht,
-
7 in
einer schematischen Seitenansicht eine zur Bearbeitung konvex gekrümmter Linsenoberflächen eingerichtete
dritte Ausführungsform
eines Bewegungsantriebs mit im Vakuumbereich befindlichen Linearantrieben,
-
8 die
dritte Ausführungsform
aus 7 in einer um 90 Grad gedrehten Seitenansicht
und
-
9 eine
Steuereinheit des Bewegungsantriebs zum Ansteuern seiner Linearantriebe.
-
Die
ersten und zweiten Ausführungsformen unterscheiden
sich nur durch die Anordnung ihrer Linearantriebe einerseits im
Vakuumbereich und andererseits außerhalb des Vakuumbereichs.
Die dritte Ausführungsform
unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform nur durch eine positionsmäßig geänderte Anordnung
der zu bearbeitenden Linse. Daher bezieht sich die nachfolgende
Beschreibung immer auf alle Ausführungsformen,
sofern hierzu nichts anderes angegeben ist.
-
Gemäß den Darstellungen
sind im Inneren eines Vakuumbehälters 12 eine
zu bearbeitende Linse 14 mit gekrümmter Linsenoberfläche und
eine Ionenquelle 16 pendelnd gelagert. Im Unterschied zum Stand
der Technik sind also die Ionenquelle 16 und die Linse 14 schwenkbeweglich
angeordnet.
-
Die
Linse 14 ist lösbar
an einer im vorliegenden Beispiel einarmigen Pendelhalterung 18 gehalten,
deren Pendelachse 20 sich bei den ersten und zweiten Ausführungsformen
zwischen der konvex gekrümmten
Linse 14 und einer Pendelanlenkung 22 eines Linearantriebs 30 befindet.
Bei der dritten Ausführungsform
befindet sich die konkav gekrümmte Linse 14 zwischen
ihrer Pendelachse 20 und einer Pendelanlenkung 22 eines
Linearantriebs 30.
-
Die
Ionenquelle 16 ist gegebenenfalls lösbar an einer im vorliegenden
Fall zweiarmigen Pendelhalterung 24 gehalten, deren die
Pendelachse 20 rechtwinklig schneidende Pendelachse 26 sich
zwischen der Ionenquelle 16 und einer Pendelanlenkung 28 eines
Linearantriebs 34 befindet.
-
Bei
den ersten und zweiten Ausführungsformen
befinden sich die zu bearbeitende Linse 14 und die bestrahlende
Ionenquelle 16 an einer Seite, im vorliegenden Fall unterhalb,
der sich rechtwinklig schneidenden Pendelachsen 20 und 26.
Der Abstand zwischen der Linse 14 und ihrer Pendelachse 20 wird
so eingestellt, daß die
Pendelachse 20 den Krümmungsmittelpunkt
der Linse 14 schneidet. Der Abstand zwischen der Ionenquelle 16 und
ihrer Pendelachse 26 wird so eingestellt, daß der Abstand
zwischen der Ionenquelle 16 und der zu bearbeitenden Linsenoberfläche den
jeweiligen Betriebsbedingungen entspricht. Diese Abstandseinstellungen
der Linse 14 und der Ionenquelle 16 können durch
nicht dargestellte manuelle Einstellmittel oder durch entsprechende
Linearantriebe erfolgen.
-
Durch
einfache gezielte Pendelbewegungen der Linse 14 einerseits
und der Ionenquelle 16 andererseits kann der Ionenstrahl
jeden Punkt der konvex gekrümmten
Lin senoberfläche
erreichen. Die erwünschten
Pendelbewegungen lassen sich mit den Linearantrieben 30, 34 sehr
einfach erzielen und so durchführen,
daß der
Ionenstrahl beispielsweise eine mäanderförmige, spiralförmige oder
koordinatenabhängige
Strahlenabtastung der zu bearbeitenden Linsenoberfläche durchführt.
-
Die
jeweils mit ihrem einen Ende an den beweglichen Pendelanlenkungen 22 bzw. 28 der
Pendelhalterungen 18 bzw. 24 angelenkten längenveränderlichen
Linearantriebe 30 bzw. 34 sind jeweils mit ihrem
anderen Ende an einer stationären
Anlenkung 32 bzw. 36 schwenkbar gehalten. Die
Linearantriebe 30, 34 sind beim vorliegenden Bespiel
schlittenartig ausgebildet. Sie weisen in nicht näher dargestellter Weise
jeweils einen um die stationäre
Anlenkung 32 bzw. 36 schwenkbaren Grundkörper auf,
an dem ein an der zugehörigen
Pendelhalterung 28 bzw. 24 angelenkten Schlitten
linear beweglich geführt
ist. Der Schlitten kann gegenüber
dem Grundkörper
vorzugsweise durch elektromagnetische Mittel, wie Linearmotoren,
hin- und herbewegt werden. Durch die so bewirkten Längenveränderungen
der Linearantriebe 30, 34 ergeben sich die Pendelbewegungen
der Linse 14 und der Ionenquelle 16.
-
Bei
der zweiten Ausführungsform
aus den 5 und 6 befinden
sich die Linearantriebe 30 und 34 außerhalb
des Vakuumbereichs des Vakuumbehälters 12 in
dem diesen umgebenden atmosphärischen
Bereich. Der Vakuumbereich im Vakuumbehälter 12 wird von der
atmosphärischen
Umgebung durch eine Vakuumdichtung 44 in Form eines längenveränderlichen
Membranbalgs getrennt. Die Vakuumdichtung 44 ist zwischen
den Rändern
eines Wendungsdurchbruchs 42 des Vakuumbehälters 12 und dem
der Pendelhalterung 22 bzw. 28 benachbarten Ende
des schlittenartig verschiebbaren Teils des Linearantriebs 30 bzw. 34 eingespannt.
Die beim längenveränderlichen
Betrieb verschwenkenden Linearantriebe 30 und 34 greifen
jeweils mit Bewegungsspiel durch die Wendungsdurchbrüche 42,
wobei sich die stationären
Anlenkungen 32 und 36 außerhalb des Vakuumbehälters 12 befinden.
Somit befinden sich die Linearantriebe 30 und 34 körperlich
teils innerhalb und teils außerhalb
des Vakuumbehälters 12, drucktechnisch
jedoch vollständig
außerhalb
des Vakuumbereichs des Vakuumbehälters 12.
Das hat erhebliche Vorteile, weil einerseits der Vakuumbehälter 12 dadurch
kleiner ausgebildet sein kann und weil andererseits ein einfaches
Kühlen
der Linearantriebe, wie Linearmotoren, möglich ist. Linearmotoren, die
ohne Kugelgewinde o. dgl. arbeiten, können zwar sehr schnell und äußerst genau
arbeiten, erfordern aber wegen ihrer großen Verlustwärme ein
intensives Kühlen,
was im Vakuum nur sehr schwer durchführbar ist.
-
Bei
der dritten Ausführungsform
aus den 7 und 8 ist im
Unterschied zu den ersten sowie zweiten Ausführungsformen eine konkav gekrümmte Linse 14 zwischen
ihre Pendelachse 20 und ihre Pendelanlenkung 22 nach
oben verlagert. Dabei wird der Abstand zwischen der Linse 14 und
ihrer Pendelachse 20 wiederum so eingestellt, daß die Pendelachse 20 den
Krümmungsmittelpunkt
der zu bearbeitenden konkaven Linsenoberfläche schneidet. Dadurch ist
es möglich,
ohne grundsätzliche
Veränderung
der Anbringung der Ionenquelle 16 mit dieser eine konkave
Linse zu behandeln, wobei lediglich der Abstand zwischen der Ionenquelle 16 und
der Linsenoberfläche
wiederum an die jeweiligen Betriebsbedingungen angepaßt werden
muß.
-
Bei
den dargestellten Ausführungsformen sind
die Linearantriebe 30 bzw. 34 jeweils über wenigstens
eine Steuerleitung 38 bzw. 40 mit einer externen
Steuereinheit 46 aus 9 verbunden,
um hierüber
entsprechend elektrisch bedartsgerecht angesteuert zu werden. Die
Steuereinheit 46 kann einen signalverarbeitenden Mikroprozessor
enthalten und signalzuführende
Eingangsleitungen 48 beispielsweise für irgendwelche Vorgabewerte,
wie die Größe der Linsenkrümmung und
die Lage definierter Unebenheiten der Linsenoberfläche, aufweisen.
Die Steuereinheit 46 kann ferner ausgangsseitige Steuerleitungen 50, 52 beispielsweise
zum Durchführen der
beschriebenen Abstandssteuerungen der Linse 14 und der
Ionenquelle 16 in Abhängigkeit
von der eingegebenen Linsenkrümmung
haben.
-
Da
ein Teil der erforderlichen Relativbewegungen auch von der zu bearbeitenden
Linse 14 übernommen
wird, ist es möglich,
auf rotatorische Bewegungsachsen bzw. -antriebsteile des Bewegungsantriebs
zu verzichten. Je nachdem, wie die Linearantriebe 30, 34 angesteuert
werden, kann die Ionenquelle 16 den Ionenstrahl auf beliebige
Punkte der Linsenoberfläche
richten und diese in der erwünschten
Art und Weise abtasten, wie mäanderförmig, spiralförmig oder
koordinatenbezogen. Der Linsenabtrag des Ionensirahls wird während des
Betriebes durch Regelung der Pendelgeschwindigkeit, also durch geeignete
Ansteuerung der Linearantriebe, entsprechend eingestellt. Dabei
bleibt die Stärke
des Ionenstrahls (Strahlungsintensität) während der Bearbeitung konstant.
Sie wird zuvor durch separate Steuerung der Ionenquelle eingestellt.
Dieses gilt auch für
die Strahlenbreite des Ionenstrahls mit Hilfe verschiedener Blenden.
-
Mit
dem vorliegenden Bewegungsantrieb können außer kugelig kovexen und kugelig
konkaven Linsenoberflächen
grundsätzlich
auch anders geformte Linsen behandelt werden, was jedoch eine entsprechend
modifizierte Bewegungs-, Abstands- sowie Intensitätssteuerung
bzw. -regelung voraussetzt.