DE10347430A1 - Ofen zur Züchtung von Einkristallen aus geschmolzener Kristallrohmasse - Google Patents

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Abstract

Ein Ofen zur Züchtung von Einkristallen aus geschmolzener Kristallrohmasse umfasst eine in einem Ofenkessel (10a) untergebrachte Tiegelbaugruppe (18a) mit einem auf einer Tiegeltragplatte (20a) angeordneten Schmelztiegel zur Aufnahme der Kristallrohmasse. Am Boden des Schmelztiegels ist eine Keimtasche für eine Keimkristall gebildet. Eine Heizanordnung zum Erhitzen des Tiegels umfasst ein unterhalb der Tiegeltragplatte (20a) angeordnetes, sich horizontal erstreckendes und dabei radial über den Schmelzraum hinausreichendes Bodenheizelement (46a). Ferner ist eine Keimtemperiereinheit vorgesehen, die sich von unterhalb des Schmelztiegels her mittig durch das Bodenheizelement (46a) hindurch bis in den Nahbereich der Keimtasche erstreckt. Trotz des beengten Platzes im Kessel (10a) infolge des Bodenheizelements (46a) und der Keimtemperiereinheit kann eine drehbare Lagerung der Tiegelbaugruppe um eine vertikale Tiegelachse (36a) dadurch erreicht werden, dass sich die Tiegeltragplatte (20) radial über das Bodenheizelement (46a) hinaus erstreckt und die Tiegelbaugruppe (18a) ferner eine im radialen Außenbereich der Tiegeltragplatte (20a) an diese anschließende, drehfest mit dieser gekoppelte Stützkonstruktion (82a) umfasst, welche radial außerhalb des Bodenheizelements (46a) axial an diesem vorbei nach unten reicht. An der Stützkonstruktion (82a) greifen Drehlagermittel (92a, 94a, 98a, 100a) an, über welche die Tiegelbaugruppe (18a) relativ zum Ofenkessel (10a) um die ...
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