DE10344643A1 - Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungenm, sowie dabei verwendete Probenträger und Transporthalter - Google Patents

Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungenm, sowie dabei verwendete Probenträger und Transporthalter Download PDF

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Abstract

Ein Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungen, insbesondere mit einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM) umfasst die folgenden Schritte: DOLLAR A a) Ein eine zu präparierende Probe an einer Probenstelle enthaltendes Substrat (10) wird in einer Vakuumkammer (32) bereitgestellt, DOLLAR A b) auf eine Oberfläche der Probenstelle wird eine Schutzschicht (21) aufgebracht, DOLLAR A c) die unter der Schutzschicht (21) befindliche Probe wird durch einen Ionenstrahl (19) von dem Substrat (10) abgetrennt, wobei die Schutzschicht (21) als Maske dient, und DOLLAR A d) die abgetrennte Probe (12) wird in der Vakuumkammer (32) von dem Substrat (10) entfernt.
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