DE10344643A1 - Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungenm, sowie dabei verwendete Probenträger und Transporthalter - Google Patents

Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungenm, sowie dabei verwendete Probenträger und Transporthalter Download PDF

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Abstract

Ein Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungen, insbesondere mit einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM) umfasst die folgenden Schritte: DOLLAR A a) Ein eine zu präparierende Probe an einer Probenstelle enthaltendes Substrat (10) wird in einer Vakuumkammer (32) bereitgestellt, DOLLAR A b) auf eine Oberfläche der Probenstelle wird eine Schutzschicht (21) aufgebracht, DOLLAR A c) die unter der Schutzschicht (21) befindliche Probe wird durch einen Ionenstrahl (19) von dem Substrat (10) abgetrennt, wobei die Schutzschicht (21) als Maske dient, und DOLLAR A d) die abgetrennte Probe (12) wird in der Vakuumkammer (32) von dem Substrat (10) entfernt.
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JP2006526585A JP4628361B2 (ja) 2003-09-17 2004-09-16 電子顕微鏡検査用試料の調製方法ならびにそれに用いる試料支持体および搬送ホルダ
US11/377,495 US7375325B2 (en) 2003-09-17 2006-03-16 Method for preparing a sample for electron microscopic examinations, and sample supports and transport holders used therefor

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2413126A2 (de) 2010-07-30 2012-02-01 Universität Ulm TEM-Lamelle, Verfahren zu deren Herstellung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
DE202011051113U1 (de) 2011-08-26 2012-11-30 Technische Universität Chemnitz Lift-Out-Probenhalter
CN109799253A (zh) * 2019-01-24 2019-05-24 重庆大学 一种基于透射电镜普通样品台同时装载两个样品的方法
CN117804872A (zh) * 2024-02-28 2024-04-02 广州智达实验室科技有限公司 电镜样品制备系统及控制方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6188068B1 (en) * 1997-06-16 2001-02-13 Frederick F. Shaapur Methods of examining a specimen and of preparing a specimen for transmission microscopic examination
US6194720B1 (en) * 1998-06-24 2001-02-27 Micron Technology, Inc. Preparation of transmission electron microscope samples
DE19946525A1 (de) * 1999-09-28 2001-05-03 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zur Aufnahme und Abgabe kleinster Flüssigkeitsmengen
JP2003065905A (ja) * 2001-08-23 2003-03-05 Hitachi Ltd 試料のサンプリング方法及び装置
US6538254B1 (en) * 1997-07-22 2003-03-25 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for sample fabrication
US20030089852A1 (en) * 2001-11-13 2003-05-15 Isao Ochiai Apparatus and method for observing sample using electron beam

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2774884B2 (ja) * 1991-08-22 1998-07-09 株式会社日立製作所 試料の分離方法及びこの分離方法で得た分離試料の分析方法
US6066265A (en) * 1996-06-19 2000-05-23 Kionix, Inc. Micromachined silicon probe for scanning probe microscopy
US6420722B2 (en) * 2000-05-22 2002-07-16 Omniprobe, Inc. Method for sample separation and lift-out with one cut
US6570170B2 (en) * 2001-03-01 2003-05-27 Omniprobe, Inc. Total release method for sample extraction from a charged-particle instrument
EP1468437A2 (de) * 2001-09-24 2004-10-20 FEI Company Elektrostatische manipuliervorrichtung

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6188068B1 (en) * 1997-06-16 2001-02-13 Frederick F. Shaapur Methods of examining a specimen and of preparing a specimen for transmission microscopic examination
US6538254B1 (en) * 1997-07-22 2003-03-25 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for sample fabrication
US6194720B1 (en) * 1998-06-24 2001-02-27 Micron Technology, Inc. Preparation of transmission electron microscope samples
DE19946525A1 (de) * 1999-09-28 2001-05-03 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zur Aufnahme und Abgabe kleinster Flüssigkeitsmengen
JP2003065905A (ja) * 2001-08-23 2003-03-05 Hitachi Ltd 試料のサンプリング方法及び装置
US20030089852A1 (en) * 2001-11-13 2003-05-15 Isao Ochiai Apparatus and method for observing sample using electron beam

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2413126A2 (de) 2010-07-30 2012-02-01 Universität Ulm TEM-Lamelle, Verfahren zu deren Herstellung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
DE102010032894A1 (de) 2010-07-30 2012-02-02 Carl Zeiss Nts Gmbh Tem-Lamelle, Verfahren zu ihrer Herstellung und Vorrichtung zum Ausführen des Verfahrens
US9103753B2 (en) 2010-07-30 2015-08-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh TEM-lamella, process for its manufacture, and apparatus for executing the process
DE202011051113U1 (de) 2011-08-26 2012-11-30 Technische Universität Chemnitz Lift-Out-Probenhalter
CN109799253A (zh) * 2019-01-24 2019-05-24 重庆大学 一种基于透射电镜普通样品台同时装载两个样品的方法
CN117804872A (zh) * 2024-02-28 2024-04-02 广州智达实验室科技有限公司 电镜样品制备系统及控制方法
CN117804872B (zh) * 2024-02-28 2024-05-28 广州智达实验室科技有限公司 电镜样品制备系统及控制方法

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