DE10343997A1

DE10343997A1 - Piezoelectric element

Info

Publication number: DE10343997A1
Application number: DE10343997A
Authority: DE
Inventors: Bertram Sugg
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2003-09-23
Filing date: 2003-09-23
Publication date: 2005-04-14
Also published as: WO2005031885A1

Abstract

Es wird ein piezoelektrisches Element vorgeschlagen, das eine Vielzahl von übereinander angeordneten Schichten (11.1 bis 11.n) aus einem piezoelektrischen Keramikwerkstoff aufweist, die jeweils auf einer Oberfläche mit mindestens einer Elektrode (12.1 bis 12.n) beschichtet sind. Die Elektroden (12.1 bis 12.n) sind alternierend elektrisch miteinander verbunden, wobei die Verbindung mittels einer durch die Schichten (11.1 bis 11.n) geführten Durchkontaktierung (13, 14) realisiert ist. Das piezoelektrische Element ist aus Modulen (10.1, 10.2, 10.3) zusammengesetzt, wobei die elektrische Verbindung zwischen den Modulen (10.1, 10.2, 10.3) mittels einer Steckverbindung (21, 22, 23, 24) realisiert ist.A piezoelectric element is proposed which has a multiplicity of superimposed layers (11.1 to 11.n) of a piezoelectric ceramic material which are each coated on a surface with at least one electrode (12.1 to 12.n). The electrodes (12.1 to 12.n) are electrically connected to one another in an alternating manner, wherein the connection is realized by means of a via (13, 14) guided through the layers (11.1 to 11.n). The piezoelectric element is composed of modules (10.1, 10.2, 10.3), wherein the electrical connection between the modules (10.1, 10.2, 10.3) by means of a plug connection (21, 22, 23, 24) is realized.

Description

Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Element für einen piezoelektrischen Aktor, der insbesondere zur Betätigung eines Brennstoffeinspritzventils verwendbar ist, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The The invention relates to a piezoelectric element for a piezoelectric actuator, in particular for actuating a Fuel injector is used, according to the preamble of claim 1.

Piezoelektrische Aktoren, insbesondere zur Betätigung von Brennstoffeinspritzventilen, sind in vielfältigen Bauformen, beispielsweise aus der DE 195 00 706 A1 bekannt. Die piezoelektrischen Aktoren bestehen aus mehreren übereinander gestapelten piezoelektrischen Schichten, die jeweils an einer Oberfläche mit einer Elektrode beschichtet sind. Dabei bestehen die Piezoaktoren aus mehreren hundert derartig übereinander geschichteten piezoelektrischen Schichten, wobei die zwischen den Schichten ausgebildeten Elektroden alternierend miteinander kontaktiert sind, um in den einzelnen Schichten ein in gleicher Richtung ausgerichtetes elektrisches Feld zu erzeugen. Auf diese Weise wird ein relativ großer Betätigungshub des piezoelektrischen Aktors erreicht.Piezoelectric actuators, in particular for the actuation of fuel injection valves, are available in various designs, for example from the DE 195 00 706 A1 known. The piezoelectric actuators consist of a plurality of stacked piezoelectric layers, which are each coated on a surface with an electrode. In this case, the piezoactuators consist of several hundred piezoelectric layers stacked on top of one another in such a way that the electrodes formed between the layers are alternately contacted with one another in order to produce an electric field oriented in the same direction in the individual layers. In this way, a relatively large actuating stroke of the piezoelectric actuator is achieved.

Aus der DE 197 57 877 A1 ist bereits bekannt, an Stelle einer außenliegenden Kontaktierung der Elektroden eine innenliegende Elektrodenkontaktierung vorzunehmen, wobei in den piezoelektrischen Schichten eine Verbindungsöffnung von Elektrode zu Elektrode vorgesehen ist und wobei alternierend nur in jeder zweiten Schicht mittels einer in die Verbindungsöffnungen eingebrachten elektrisch leitenden Paste eine alternierende Kontaktierung der in der entsprechenden Schicht ausgebildeten Elektrode erfolgt. Die durch die piezoelektrischen Schichten geführte Durchkontaktierung ist jedoch auf eine Anzahl von Schichten beschränkt, so dass mit dieser Ausführungsform kein großer Aktorhub realisierbar ist.From the DE 197 57 877 A1 It is already known, instead of an external contacting of the electrodes to make an internal electrode contacting, wherein in the piezoelectric layers, a connection opening is provided from electrode to electrode and wherein alternately only in every other layer by means of an introduced into the connection openings electrically conductive paste an alternating contact of the takes place in the corresponding layer formed electrode. However, the plated-through hole guided through the piezoelectric layers is limited to a number of layers, so that with this embodiment, no large Aktorhub is feasible.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine piezoelektrisches Element mit innenliegender Kontaktierung der Elektroden für einen piezoelektrischen Aktor zu schaffen, das einen Aktorhub erzeugen, der insbesondere geeignet ist, um Brennstoffeinspritzventile zu betätigen.task It is the object of the present invention to provide a piezoelectric element with internal contacting of the electrodes for a to create a piezoelectric actuator that produce an actuator stroke, which is particularly suitable for fuel injection valves actuate.

Vorteile der ErfindungAdvantages of invention

Das erfindungsgemäße piezoelektrische Element mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, dass ein piezoelektrischer Aktor mit einer sehr großen Gesamtlänge modular zusammengesetzt werden kann. Dadurch lässt sich ein den jeweiligen Anforderungen angepasster Aktorhub realisieren, der den Einsatz des piezoelektrischen Aktors, insbesondere zur Betätigung von Brennstoffventilen ermöglicht.The Piezoelectric element according to the invention with the characterizing features of claim 1 has the advantage that a piezoelectric actuator with a very large overall length modular can be composed. This can be a the respective Requirements adapted Aktorhub realize the use the piezoelectric actuator, in particular for actuating fuel valves allows.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor. Besonders vorteilhaft ist es, eine geeignete Loch-Pin-Anordnung an den Modulen des piezoelektrischen Aktors auszubilden und die elektrische Kontaktierung der Module über eine entsprechende Loch-Pin-Steckverbindung zu realisieren. Dabei können die Kontaktierlöcher beispielsweise in den Grünkörper des keramischen Körpers oder durch eine geeignete Bearbeitung des gesinterten keramischen Körpers eingebracht werden.advantageous Further developments of the invention will become apparent from the dependent claims. It is particularly advantageous to have a suitable hole-pin arrangement form the modules of the piezoelectric actuator and the electrical Contacting the modules via to realize a corresponding hole-pin connector. there can the contact holes, for example in the green body of the ceramic body or by a suitable machining of the sintered ceramic body be introduced.

Die elektrische Kontaktierung der Module wird durch Einstecken der Kontaktierpins bzw. Kontaktstifte in die entsprechenden Kontaktierlöcher des benachbarten Moduls realisiert. Die Kontaktierpins sind dabei entweder in den keramischen Körper eingesintert oder in den fertiggesinterten keramischen Körper in entsprechend vorbereitete Aufnahmelöcher mit geeigneten Maßnahmen elektrisch leitend eingesetzt. Ein elektrischer Kontakt der Kontaktierpins in den Aufnahmelöchern zu der entsprechenden innenliegenden Elektrode oder der Durchkontaktierung kann dabei insbesondere bei der letztgenannten Ausführung zum Beispiel durch einen elektrisch leitenden Kleber hergestellt werden oder durch eine entsprechende Pressverbindung in den Aufnahmelöchern, wobei die Aufnahmelöcher, dann wie die Kontaktierlöcher für die Steckverbindung mit elektrisch leitendem Material ausgekleidet sein können und/oder eine Kontaktstelle über die Stirnfläche der Kontaktierpins erzeugen. Um mechanische Schädigungen, die durch die thermische Ausdehnung auftreten können, zu vermeiden, empfiehlt es sich, sehr duktile, elektrisch leitende Materialien für die Kontaktierpins zu verwenden.The electrical contacting of the modules is by inserting the Kontaktierpins or contact pins in the corresponding contact holes of the adjacent Module realized. The Kontaktierpins are either in the ceramic body sintered or in the finished sintered ceramic body in appropriately prepared receiving holes with suitable measures used electrically conductive. An electrical contact of the Kontaktierpins in the receiving holes to the corresponding internal electrode or the via can in particular in the latter embodiment, for example by a electrically conductive adhesive are produced or by an appropriate Press connection in the receiving holes, the receiving holes, then like the contact holes for the Plug connection be lined with electrically conductive material can and / or one Contact point about the face generate the Kontaktierpins. To mechanical damage caused by the thermal Expansion can occur To avoid, it is recommended, very ductile, electrically conductive Materials for to use the contact pins.

Damit eine elektrisch leitende Kontaktierung zwischen den Modulen über die Loch-Pin-Steckverbindung sichergestellt ist, kann die Zylinderwand der Kontaktierlöcher und/oder die Endfläche der Kontaktierlöcher mit elektrisch leitendem Material ausgekleidet sein, so dass der elektrische Kontakt zwischen Kontaktierpin und Kontaktierloch über die zylindrische Mantelfläche und/oder über die Stirnfläche des eingeführten Pins hergestellt wird. Eine weitere alternative Möglichkeit besteht darin, die Kontaktierung zwischen Kontaktierpin und Kontaktierloch mittels eines elektrisch leitenden Klebers herzustellen.In order to an electrically conductive contact between the modules over the Hole-pin connector is ensured, the cylinder wall of the contact holes and / or the end surface the contact holes be lined with electrically conductive material, so that the electrical contact between Kontaktierpin and Kontaktierloch on the cylindrical surface and / or over the face of the imported Pins is made. Another alternative option is the contact between Kontaktierpin and Kontaktierloch to produce by means of an electrically conductive adhesive.

Zeichnungdrawing

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.One embodiment The invention is illustrated in the drawing and in the following description explained in more detail.

Es zeigenIt demonstrate

1 einen aus einzelnen Modulen aufgebautes piezoelektrische Element und 1 a built-up of individual modules piezoelectric element and

2 zwei einzelne Module des piezoelektrischen Elements gemäß 1. 2 two individual modules of the piezoelectric element according to 1 ,

Ausführungsbeispielembodiment

1 zeigt ein piezoelektrisches Element, das aus beispielsweise drei Modulen 10.1, 10.2 und 10.3 zusammengesetzt ist. Jeder Modul 10.1, 10.2, 10.3 besitzt mehrere übereinander gestapelte piezoelektrische Schichten 11.1 bis 11.n., die einen piezoelektrischen, keramischen Körper bilden. Zwischen den piezoelektrischen Schichten 11.1 bis 11.n sind Elektroden 12.1 bis 12.n angeordnet. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel besitzt jeder Modul 10.1 und 10.2 als Beispiel jeweils zehn piezoelektrische Schichten und jeweils zehn Elektrodenschichten. Die schichtweise angeordneten Elektroden 12.1 bis 12.n sind alternierend mittels einer ersten Durchkontaktierung 13 und einer zweiten Durchkontaktierung 14 elektrisch miteinander verbunden. Die erste Kontaktierung 13 verbindet dabei die ungeradzahligen Elektroden die zweite Durchkontaktierung 14 die geradzahligen Elektroden. 1 shows a piezoelectric element consisting of, for example, three modules 10.1 . 10.2 and 10.3 is composed. Every module 10.1 . 10.2 . 10.3 has several stacked piezoelectric layers 11.1 to 11.n. which form a piezoelectric ceramic body. Between the piezoelectric layers 11.1 to 11.n are electrodes 12.1 to 12 .n arranged. In the present embodiment, each module has 10.1 and 10.2 as an example ten piezoelectric layers and ten electrode layers each. The layered electrodes 12.1 to 12.n are alternating by means of a first via 13 and a second via 14 electrically connected to each other. The first contact 13 connects the odd-numbered electrodes, the second via 14 the even-numbered electrodes.

Zur Herstellung der alternierenden Kontaktierung zwischen den Elektrodenschichten sind in die piezoelektrischen Schichten 11.1 bis 11.n eine erste Verbindungsöffnung 15 und eine zweite Verbindungsöffnung 16 eingebracht. Zur Ausbildung der alternierenden Kontaktierung ist die jeweils benachbarte Elektrode mit einer ersten Aussparung 17 im Bereich der ersten Verbindungsöffnungen 15 und von einer zweiten Aussparung 18 im Bereich der zweiten Verbindungsöffnungen 16 umgeben. Die Verbindungsöffnungen 15, 16 sind durch die zu kontaktierenden Elektroden derart geführt, dass eine elektrische Verbindung der jeweiligen Elektrodenschicht mittels der jeweiligen Durchkontaktierung 13, 14 realisiert wird.For making the alternating contact between the electrode layers are in the piezoelectric layers 11.1 to 11.n a first connection opening 15 and a second connection opening 16 brought in. To form the alternating contact is the respective adjacent electrode with a first recess 17 in the area of the first connection openings 15 and from a second recess 18 in the area of the second connection openings 16 surround. The connection openings 15 . 16 are guided by the electrodes to be contacted such that an electrical connection of the respective electrode layer by means of the respective plated through hole 13 . 14 is realized.

Die Module 10.1 und 10.2 weisen gemäß 2 eine erste Stirnfläche 20.1 und eine zweite Stirnfläche 20.2 auf. In die erste Stirnfläche 20.1 ist ein erstes Kontaktierloch 21 und ein zweites Kontaktierloch 22 eingebracht. Das erste Kontaktierloch 21 führt zu der in der ersten Schichtebene angeordneten ersten Elektrode 12.1 und das zweite Kontaktierloch 22 zu der in der zweiten Schichtebene angeordneten zweiten Elektrode 12.2. An der zweiten Stirnfläche 20.2 sind ein erster Kontaktierpin 23 und ein zweiter Kontaktierpin 24 ausgebildet. Der erste Kontaktierpin 23 ist mit der ersten Durchkontaktierung 13 und der zweite Kontaktierpin mit der zweiten Durchkontaktierung 14 elektrisch leitend verbunden. Die Kontaktierpins 23, 24 sind aus metallischem Materialien ausgeführt und sind beispielsweise in den Grünkörper der Module 10.1, 10.2, 10.3 eingesintert. Es ist aber genauso möglich, die Kontaktierpins 23, 24 nach dem Sintern in die Module 10.1, 10.2 einzusetzen. Um mechanische Schädigungen auf Grund thermischer Ausdehnung zu vermeiden, ist es zweckmäßig, als Kontaktierpins 23, 24 sehr duktile, elektrischleitende Materialien zu verwenden. Ist jedoch auch denkbar, zur Realisierung der Kontaktierpins 23, 24 geeignete Keramik-Metall-Materialen (Cerinet-Material) zu verwenden.The modules 10.1 and 10.2 according to 2 a first face 20.1 and a second end face 20.2 on. In the first face 20.1 is a first contact hole 21 and a second contact hole 22 brought in. The first contact hole 21 leads to the first electrode arranged in the first layer plane 12.1 and the second contact hole 22 to the second electrode arranged in the second layer plane 12.2 , At the second end face 20.2 are a first contact pin 23 and a second contact pin 24 educated. The first contact pin 23 is with the first via 13 and the second contacting pin with the second via 14 electrically connected. The contact pins 23 . 24 are made of metallic materials and are for example in the green body of the modules 10.1 . 10.2 . 10.3 sintered. But it is just as possible, the Kontaktierpins 23 . 24 after sintering in the modules 10.1 . 10.2 use. In order to avoid mechanical damage due to thermal expansion, it is expedient as Kontaktierpins 23 . 24 to use very ductile, electrically conductive materials. However, it is also conceivable for the realization of Kontaktierpins 23 . 24 suitable ceramic-metal materials (Cerinet material) to use.

Zum Einsetzen der Kontaktierpins 23, 24 in die Modul 10.1, 10.2 sind gemäß 2 an der Stirnfläche 20.2 ein erstes Aufnahmeloch 25 für den ersten Kontaktierpin 23 und ein zweites Aufnahmeloch 26 für den zweiten Kontaktierpin 24 vorgesehen. Die Kontaktierpins 23, 24 bilden eine elektrische Verbindung zu der entsprechenden Elektrodenschicht und/oder der entsprechenden Durchkontaktierung 13, 14 aus. Es ist aber genauso denkbar, beispielsweise den zweiten Kontaktierpin 24 in das tiefere, zweite Kontaktierloch 22 des zweiten Moduls 10.2 einzusetzen und im ersten Modul 10.1 das Aufnahmeloch 26 als entsprechendes Kontaktierloch 22 auszubilden.For inserting the contact pins 23 . 24 in the module 10.1 . 10.2 are according to 2 at the frontal area 20.2 a first recording hole 25 for the first contact pin 23 and a second recording hole 26 for the second contacting pin 24 intended. The contact pins 23 . 24 form an electrical connection to the corresponding electrode layer and / or the corresponding via 13 . 14 out. But it is just as conceivable, for example, the second Kontaktierpin 24 into the deeper, second contact hole 22 of the second module 10.2 and in the first module 10.1 the recording hole 26 as a corresponding contact hole 22 train.

Am Modul 10.2 führt das erste Kontaktierloch 21 auf eine Kontaktierfläche 21.1 an der in der ersten Schichtebene angeordneten ersten Elektrode 12.1 und das zweite Kontaktierloch 22 zu einer zweiten Kontaktierfläche 22.2 an der in der zweiten Schichtebene angeordneten zweiten Elektrode 12.2.At the module 10.2 leads the first contact hole 21 on a contact surface 21.1 at the first electrode arranged in the first layer plane 12.1 and the second contact hole 22 to a second contacting surface 22.2 at the second electrode arranged in the second layer plane 12.2 ,

Zum Aufbau des piezoelektrischen Aktors werden gemäß 1 beispielsweise drei gleiche Module 10.1, 10.2 und 10.3 zusammengesetzt. Dabei bilden die Kontaktierpins 23, 24 eine elektrische Steckverbindung aus, die in die entsprechenden Kontaktierlöcher 21, 22 eingesteckt werden. Dazu wird der erste Kontaktierpin 23 des ersten Moduls 10.1 in das erste Kontaktierloch 21 des zweiten Moduls 10.2 und der zweite Kontaktierpin 24 des ersten Moduls 10.1 in das zweite Kontaktierloch 22 des zweiten Moduls 10.2 eingeführt. Die Verbindung zwischen dem zweiten Modul 10.2 und dem dritten Modul 10.3 erfolgt in gleicher Weise, wobei die Kontaktierpins 23, 24 des zweiten Moduls 10.2 in die entsprechenden Kontaktierlöcher 21, 22 des dritten Moduls 10.3 eingesteckt werden.For the construction of the piezoelectric actuator according to 1 for example, three identical modules 10.1 . 10.2 and 10.3 composed. The contact pins form 23 . 24 an electrical connector in the corresponding contact holes 21 . 22 be plugged in. This is the first Kontaktierpin 23 of the first module 10.1 in the first contact hole 21 of the second module 10.2 and the second contact pin 24 of the first module 10.1 in the second contact hole 22 of the second module 10.2 introduced. The connection between the second module 10.2 and the third module 10.3 takes place in the same way, the Kontaktierpins 23 . 24 of the second module 10.2 into the corresponding contact holes 21 . 22 of the third module 10.3 be plugged in.

Zur Realisierung der elektrischen Verbindung zwischen den Elektroden der einzelnen Module 10.1, 10.2., 10.3 sind an den Kontaktierpins 23, 24 und den Kontaktierlöchern 21, 22 entsprechend zusammenwirkende, elektrisch leitende Kontaktflächen ausgebildet. Beispielsweise können die äußeren Stirnflächen der Kontaktierpins 23, 24 genutzt werden, die auf die entsprechenden Kontaktierflächen 22.1 und 22.2 der Kontaktierlöcher 21, 22 drücken. Der notwendige Druck zur Kontaktierung wird durch die unter Vorspannung gehaltene Module 10.1, 10.2 und 10.3 zur Ausbildung des piezoelektrischen Elements für die Aktoranordnung realisiert. Es ist aber genauso denkbar, die Kontaktierpins 23, 24 mittels eines elektrisch leitenden Klebers in die entsprechenden Kontaktierlöcher 21, 22 einzusetzen. Darüber hinaus ist es zur Realisierung der elektrisch leitenden Verbindung zwischen den Kontaktierpins 23, 24 und den Kontaktierlöchern 21, 22 möglich, eine Auskleidung der Kontaktierlöcher 21, 22 mit einem elektrisch leitenden Material vorzusehen. Durch passgerechtes Einfügen der Kontaktierpins 23, 24 in die entsprechenden Kontaktierlöcher 21, 22 wird dann eine an der Zylinderfläche ausgebildete elektrische Verbindung realisiert. Bei dieser Ausführungsform ist es notwendig, dass die elektrisch leitende Auskleidung der Kontaktierlöcher 21, 22 eine elektrisch leitende Verbindung zur entsprechenden Durchkontaktierung 13, 14 und/oder der entsprechenden Elektrodenschicht realisiert. Es ist aber genauso denkbar, eine Kombination von Kontaktierung an der Zylinderfläche und an der Kontaktierfläche 21.1, 22.2 der Kontaktierlöcher 21, 22 vorzunehmen.To realize the electrical connection between the electrodes of the individual modules 10.1 . 10.2 ., 10.3 are at the contact pins 23 . 24 and the contact holes 21 . 22 formed correspondingly cooperating, electrically conductive contact surfaces. For example, the outer faces of the Kontaktierpins 23 . 24 be used on the appropriate contact surfaces 22.1 and 22.2 the contact holes 21 . 22 to press. The pressure required to make contact is maintained by the biased modules 10.1 . 10.2 and 10.3 realized to form the piezoelectric element for the actuator assembly. But it is just as conceivable, the Kontaktierpins 23 . 24 by means of an electrically conductive adhesive in the corresponding contact holes 21 . 22 use. In addition, it is for the realization of the electrically conductive connection between the Kontaktierpins 23 . 24 and the contact holes 21 . 22 possible, a lining of the contact holes 21 . 22 to provide with an electrically conductive material. By fitting the fitting pins 23 . 24 into the corresponding contact holes 21 . 22 Then, an electrical connection formed on the cylinder surface is realized. In this embodiment, it is necessary that the electrically conductive lining of the contacting holes 21 . 22 an electrically conductive connection to the corresponding via 13 . 14 and / or the corresponding electrode layer realized. But it is just as conceivable, a combination of contacting on the cylindrical surface and on the contact surface 21.1 . 22.2 the contact holes 21 . 22 make.

10.1 bis 10.310.1 to 10.3: Modulemodules
11.1 bis 11.n11.1 to 11.n: piezoelektrische Schichtenpiezoelectric layers
12.1 bis 12.n12.1 to 12.n: Elektrodenelectrodes
1313: erste Durchkontaktierungfirst via
1414: zweite Durchkontaktierungsecond via
1515: erste Verbindungsöffnungfirst connecting opening
1616: zweite Verbindungsöffnungsecond connecting opening
1717: erste Aussparungfirst recess
1818: zweite Aussparungsecond recess
20.120.1: erste Stirnflächefirst face
20.220.2: zweite Stirnflächesecond face
2121: erstes Kontaktierlochfirst Kontaktierloch
21.121.1: erste Kontaktierflächefirst bonding pad
2222: zweites Kontaktierlochsecond Kontaktierloch
22.222.2: zweite Kontaktierflächesecond bonding pad
2323: erster Kontaktierpinfirst Kontaktierpin
2424: zweiter Kontaktierpinsecond Kontaktierpin
2525: erstes Aufnahmelochfirst receiving hole
2626: zweites Aufnahmelochsecond receiving hole

Claims

A piezoelectric element having a plurality of stacked layers of a piezoelectric ceramic material, each coated on a surface with at least one electrode, wherein the electrodes are alternately electrically connected to each other, and wherein the electrical connection is formed by means of a guided through the layers through-hole, characterized in that a plurality of layers to a piezoelectric module ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) and that each module ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) Means for electrically contacting the respectively adjacent module ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) having.

Piezoelectric element according to claim 1, characterized in that the means for electrical contacting of the modules ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) are realized by means of a plug connection.

Piezoelectric element according to claim 2, characterized in that the plug-in connection by means of at opposite end faces of the modules ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) trained Kontaktierpins ( 23 . 24 ) and contact holes ( 21 . 22 ) is realized.

Piezoelectric element according to claim 3, characterized in that one in an end face ( 20.1 . 20.2 ) of the one module ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) arranged Kontaktierpin ( 23 . 24 ) in an opposite end face ( 20.1 . 20.2 ) of the adjacent module ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) formed contact hole ( 21 . 22 ) assigned.

Piezoelectric element according to claim 4, characterized in that for realizing the electrically conductive connection between the adjacent modules ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) at the contact pins ( 23 . 24 ) and at the contact holes ( 21 . 22 ) are formed correspondingly cooperating, electrically conductive contact surfaces.

Piezoelectric element according to claim 5, characterized in that the contact surfaces for realizing the electrically conductive connection between the adjacent modules ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) by means of the contact pins ( 23 . 24 ) formed end surfaces are formed with one in the corresponding contact holes ( 21 . 22 ) cooperating contacting surfaces ( 21.1 . 22.2 ) interact.

Piezoelectric element according to claim 5, characterized in that the contact surfaces for realizing the electrically conductive connection between the adjacent modules ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) through a lining of the contact holes ( 21 . 22 ) are formed with an electrically conductive material and that the corresponding contact pins ( 23 . 24 ) fit into the contact holes ( 21 . 22 ) are inserted.

Piezoelectric element according to claim 5, characterized in that the contact surfaces for realizing the electrically conductive connection between the adjacent modules ( 10.1 . 10.2 . 10.3 ) by an electrically conductive adhesive between the Kontaktierpins ( 23 . 24 ) and the contact holes ( 21 . 22 ) are formed.

Piezoelectric element according to one of preceding claims, characterized in that the contacting pins ( 23 . 24 ) consist of a ductile, electrically conductive material.

Piezoelectric element according to one of the preceding claims, characterized in that the contacting pins ( 23 . 24 ) are sintered in the ceramic body.

Piezoelectric element according to one of the preceding claims, characterized in that the contacting pins ( 23 . 24 ) are inserted into the ceramic body.