DE10322935A1 - Separating wall having a gap for dividing process chambers of a vacuum deposition installation comprises measuring devices, evaluating devices, and adjusting devices - Google Patents

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Abstract

Separating wall (1) having a gap (2) comprises measuring devices (6) which acquire the cross-sectional shape of a substrate (3), evaluating devices (7) for evaluating an optimum gap cross-sectional shape from the measured cross-sectional shape, and adjusting devices having automatically operating actuators (5) and producing control signals for the actuators so that the optimum gap cross-sectional shape is adjusted.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine mit einem Spalt versehene Trennwand zwischen zwei hintereinander angeordneten Prozesskammern einer Vakuumbeschichtungsanlage für Substrate, wobei die zu beschichtenden Substrate durch den Spalt von der einen in die folgende Prozesskammer geführt werden, mit Stellmitteln, um die Spaltquerschnittsform dem Querschnitt des Substrates anzupassen.The Invention relates to a partition provided with a gap between two process chambers of a vacuum coating system arranged one behind the other for substrates, the substrates to be coated through the gap from one be guided into the following process chamber, with adjusting devices, to adapt the gap cross-sectional shape to the cross-section of the substrate.

Derartige Trennwände dienen dazu, die Gasatmosphären der einzelnen Prozesskammern einer Vakuumbeschichtungsanlage voneinander zu trennen. Insbesondere die unterschiedlichen Gasatmosphären, wie sie bei reaktiven bzw. metallischen Prozessen eingesetzt werden, dürfen nicht zur Mischung gelangen, um insbesondere die Gefahr von "Picture Frame Effekten" zu minimieren.such partitions serve the gas atmospheres of the individual process chambers of a vacuum coating system from each other to separate. In particular the different gas atmospheres, such as they are used in reactive or metallic processes, allowed to do not mix, in particular to minimize the risk of "picture frame effects".

Die zu beschichtenden Substrate, also z.B. Glasscheiben, werden dazu von Prozesskammer zu Prozesskammer durch Spalte geführt, deren Querschnittsform nicht viel größer sein sollte als der Querschnitt des Substrats bezogen auf die Spaltebene, so dass der beim Durchfahren des Spaltes zwischen dem Substrat und dem Spaltrahmen verbleibende Öffnungsquerschnitt möglichst klein ist. Die zu beschichtenden Substrate, also z.B. die zu beschichtenden Glasscheiben, weisen Dicken zwischen 3 und 19 mm auf. Wenn mit einer festen Spaltgröße gearbeitet wird, muss diese wenigstens ca. 24 mm betragen, so dass auch Glasscheiben mit der Maximalglasdicke von 19 mm problemlos durch den Spalt gelangen. Dies hat aber den Nachteil, dass die verbleibende Querschnittsöffnung bei Glasdicken von nur 3 mm besonders groß wird, so dass es zu einem Austausch der Gasatmosphären in einem nicht erwünschten Maße kommt.The substrates to be coated, e.g. Panes of glass become this led from process chamber to process chamber through gaps, the Cross-sectional shape should not be much larger should be as the cross section of the substrate with respect to the fissure plane, so that when passing through the gap between the substrate and opening gap remaining in the split frame preferably is small. The substrates to be coated, e.g. the ones to be coated Glass panes have thicknesses between 3 and 19 mm. If with one fixed gap size worked , this must be at least approx. 24 mm, so that glass panes easily pass through the gap with the maximum glass thickness of 19 mm. However, this has the disadvantage that the remaining cross-sectional opening at Glass thicknesses of only 3 mm becomes particularly large, making it one Exchange of gas atmospheres in an unwanted Dimensions coming.

Es sind daher schon Anlagen in Betrieb, bei denen die lichte Höhe des Spaltes manuell verstellbar ist. Solche Anordnungen haben aber den Nachteil, dass bei einem Wechsel der Glasdicken der Prozess unterbrochen werden muss, um die manuelle Verstellung vornehmen zu können.It systems are therefore already in operation, in which the clear height of the gap is manually adjustable. However, such arrangements have the disadvantage that that the process is interrupted when the glass thickness changes to be able to make the manual adjustment.

Besonders problematisch wird die Situation, wenn die seitliche Ausdehnung der zu beschichtenden Glasscheiben nicht der Spaltbreite entspricht. In diesem Fall bleiben größere Bereiche des Spaltes frei, was zu einem besonders intensiven, aber nicht gewünschten Gasaustausch führt.Especially The situation becomes problematic when the lateral expansion the glass panes to be coated do not correspond to the gap width. In this case, larger areas remain of the gap free, resulting in a particularly intense but not desired Gas exchange leads.

Die Erfindung beruht somit auf dem Problem, die Beschichtungsqualität von Substraten zu verbessern, d.h. den Gasaustausch zwischen den einzelnen Prozesskammern deutlich zu verringern, und zwar auch dann, wenn die Beschichtungsanlage mit Substraten unterschiedlicher Querschnittsformen beschickt wird.The The invention is therefore based on the problem of the coating quality of substrates to improve, i.e. the gas exchange between the individual process chambers to reduce significantly, even if the coating system is loaded with substrates of different cross-sectional shapes.

Zur Lösung des Problems sieht die Erfindung vor, dass Messmittel die Querschnittsform des Substrates bezogen auf die Spaltebene erfassen, dass Auswertemittel aus der gemessenen Querschnittsform eine optimierte Spaltquerschnittsform ermitteln, dass die Stellmittel automatisch arbeitende Aktuatoren aufweisen und dass Steuermittel bereitgestellt sind, die auf Basis der ermittelten Spaltquerschnittsform Steuersignale für die Aktuatoren bereitstellen, so dass diese die optimierte Spaltquerschnittsform einstellen.to solution The problem of the invention provides that measuring means the cross-sectional shape of the substrate related to the fissure level capture that evaluation means an optimized gap cross-sectional shape from the measured cross-sectional shape determine that the actuator means automatically operating actuators and that control means are provided, which are based the determined gap cross-sectional shape control signals for the actuators provide so that they adjust the optimized gap cross-sectional shape.

Die Erfindung beruht somit auf der Überlegung, die bisher manuell vorgenommene Einstellung automatisch durchzuführen. Dazu bedarf es der zuvor genannten Mittel.The Invention is thus based on the consideration to carry out the previously manually made setting automatically. To the aforementioned means are required.

Bei dieser Ausgestaltung der Trennwand kann die Spaltquerschnittsform laufend den Querschnittsformen des jeweils aktuellen Substrates angepasst werden, so dass der Gasaustausch deutlich minimiert wird. Eine umständliche manuelle Verstellung der Spaltquerschnittsform entfällt.at this configuration of the partition can be the gap cross-sectional shape continuously the cross-sectional shapes of the current substrate be adjusted so that the gas exchange is significantly minimized. A cumbersome manual adjustment of the gap cross-sectional shape is not necessary.

Insbesondere für den Fall, dass Substrate unterschiedlicher Breitenausdehnungen durch den Spalt hindurch geführt werden, wird vorgeschlagen, dass der Spalt in seiner Breite in mehrere Abschnitte unterteilt ist, die jeweils wenigstens von einem Stellschieber einseitig begrenzt sind, wobei die einzelnen Stellschieber unabhängig voneinander verstellbar sind und dass dazu jedem Stellschieber ein Aktuator zugeordnet ist.In particular for the Case that substrates of different widths by passed through the gap it is proposed that the gap be divided into several in width Sections is divided, each of at least one adjusting slide are limited on one side, the individual setting slides being independent of one another are adjustable and that each actuator is assigned an actuator is.

In diesem Fall werden, wenn sich die Dicke des Substrats ändert, alle Stellschieber gleichmäßig verstellt. Sollte sich die Breitenausdehnung ändern, können einzelne Stellschieber in ihrem Bereich den Spalt vollständig schließen, so dass die effektive Spaltbreite der Breitenausdehnung des Substrates angepasst werden kann. Die Anpassung ist natürlich um so feiner, je mehr Stellschieber eingesetzt werden.In In this case, when the thickness of the substrate changes, all of them Adjustment slide adjusted evenly. Should the width change, individual setting slides can close the gap completely in their area so that the effective gap width the width of the substrate can be adjusted. The Adaptation is of course around the finer the more slide valves are used.

Der Strömungswiderstand eines Spaltes wird nicht allein durch die Querschnittsfläche der eine Blende bildenden Spaltmündung, sondern insbesondere auch durch die Spaltlänge bestimmt, die damit einen entsprechenden Einfluss auf den Trennfaktor erhält. Um eine ausreichende Trennung der beiden Prozessräume zu gewährleisten, benötigt der Spalt somit eine deutliche Ausdehnung in Transportrichtung. Ein solcher Spalt kann z.B. durch einen vorn und hinten offenen, flachen Kasten dargestellt werden, dessen obere und untere Wand jeweils durch eine sich parallel zum Substrat erstreckende Platten gebildet sind.The flow resistance of a gap is determined not only by the cross-sectional area of the gap mouth forming a diaphragm, but in particular also by the gap length, which thus has a corresponding influence on the separation factor. In order to ensure adequate separation of the two process rooms, the gap therefore requires a significant expansion in the direction of transport. Such a gap can be represented, for example, by a flat box open at the front and rear the whose upper and lower walls are each formed by a plate extending parallel to the substrate.

Um die Spalthöhe über die Länge des Spaltes der Dicke des Substrates anzupassen, kann z.B. die obere Platte gegenüber der unteren Platte mittels Aktuatoren abgesenkt werden. Wie oben schon erwähnt kann der Spalt in mehrere Abschnitte unterteilt sein, um die Breite des Spaltes an die Breite des Substrates anpassen zu können. Bei einem in Längsrichtung ausgedehnten Spalt besteht demnach die obere Platte aus mehreren einzeln sich in der Länge des Spaltes erstreckenden Streifen, die einzeln auf ihrer gesamten Länge abgesenkt werden können. Damit dabei an den stufigen Übergängen zwischen zwei benachbarten unterschiedlich stark abgesenkten Streifen keine Durchlässe entstehen, weisen die Streifen eine gewisse Höhe auf, so dass ihre Seitenwände sich unabhängig von der individuellen Höheneinstellung stets überlappen.Around the gap height over the Length of Adjusting the gap to the thickness of the substrate can e.g. the upper Plate opposite the lower plate can be lowered using actuators. As above already mentioned the gap can be divided into several sections by the width to be able to adapt the gap to the width of the substrate. at one in the longitudinal direction extended gap, the upper plate consists of several individually in the length of the Gap extending strips that are individually lowered along their entire length can be. In order to doing so at the step transitions between two there are no openings in the adjacent, differently lowered strips, the stripes have a certain height, so that their side walls are aligned independently from the individual height adjustment always overlap.

Des Weiteren besteht das Problem, dass das Substrat innerhalb eines sich in Längsrichtung ausgedehnten Spaltes nicht durch Transportrollen unterstützt werden kann so dass es dort zur Durchbiegung insbesondere von dünnen Gläsern (ca. 3 mm) bezogen auf die Längsausdehnung des Substrates kommt. Diese sind zwar nicht sehr groß, müssen aber ebenfalls bei der Festlegung der Spalthöhe berücksichtigt werden. Daher sind die obere und/oder untere Platte bzw. Streifen biegbar gestaltet und mit Aktuatoren versehen, die das Längsprofil der Platte oder der Streifen an die Durchbiegung anzupassen vermögen.Of There is also the problem that the substrate within a itself in the longitudinal direction extended gap can not be supported by transport rollers it can be used to deflect thin glasses (approx. 3 mm) based on the longitudinal expansion of the substrate comes. These are not very big, but they have to also be taken into account when determining the gap height. Therefore are the upper and / or lower plate or strip designed to be bendable and provided with actuators that the longitudinal profile of the plate or Stripes can adapt to the deflection.

Die Dichtwirkung des Spaltes lässt sich daher noch weiter verbessern, wenn zusätzlich Blenden am Ein- und/oder Ausgang des Spaltes vorgesehen werden, die aus einer durchgehenden Lippe aus einem elastisch verformbaren Material bestehen, die in Kontakt mit dem Substrat gelangen können, ohne dieses zu beschädigen. Hierbei kann es sich z.B. um einen dünnen flexiblen Vorhang handeln, der sich ggf. aus mehreren sich überlappenden Segmenten zusammensetzt.The Sealing effect of the gap leaves therefore improve even further if additional panels on the input and / or Output of the gap are provided, which consist of a continuous Lip made of an elastically deformable material that is in contact can get with the substrate without damaging it. This can e.g. a thin flexible curtain, which may consist of several overlapping Segments.

Im Folgenden wird anhand zweier Ausführungsbeispiele die Erfindung näher erläutert werden. Dazu zeigen:in the The invention is described below using two exemplary embodiments are explained in more detail. To demonstrate:

1 eine erste Ausführungsform eines Spaltes variabler Querschnittsform, 1 a first embodiment of a gap of variable cross-sectional shape,

2 eine zweite Ausführungsform hierzu, 2 a second embodiment of this,

3 eine Seitensicht eines in Längsrichtung ausgedehnten Spaltes, 3 a side view of a longitudinally extended gap,

4 eine Seitenansicht eines in Längsrichtung ausgedehnten Spaltes mit einer durchbiegbaren oberen Begrenzung und 4 a side view of a longitudinally extended gap with a deflectable upper limit and

5 eine Draufsicht auf eine Blende, die aus mehreren sich überlappenden Lamellen zusammengesetzt ist. 5 a plan view of an aperture, which is composed of several overlapping slats.

Zunächst wird auf die 1 Bezug genommen. Diese zeigt in Draufsicht eine Trennwand 1 mit einem Spalt 2, in dem sich ein Substrat 3 befindet. Die obere Begrenzung des Spaltes 2 besteht aus mehreren Stellschiebern 4, die von je einem Aktuator 5 betätigbar sind.First, the 1 Referred. This shows a partition in plan view 1 with a gap 2 in which there is a substrate 3 located. The upper limit of the gap 2 consists of several slide valves 4 by one actuator each 5 can be operated.

Jedem Stellschieber 4 ist außerdem ein Abstandssensor 6 zugeordnet. Die Sensorsignale werden einer kombinierten Auswerte- und Steuereinheit 7 zugeführt. Diese ermittelt aus den ihr zur Verfügung gestellten Daten eine optimale Querschnittsform für den Spalt 2 und steuert die Aktuatoren 5 entsprechend an, so dass der verbleibende Öffnungs querschnitt möglichst klein wird und Kontakte des Substrates 3 mit den Stellschiebern 4 vermieden werden.Every slide valve 4 is also a distance sensor 6 assigned. The sensor signals are a combined evaluation and control unit 7 fed. This determines an optimal cross-sectional shape for the gap from the data made available to it 2 and controls the actuators 5 accordingly, so that the remaining opening cross section is as small as possible and contacts of the substrate 3 with the slide valves 4 be avoided.

Bei einem Substrat 3, das in seiner Breite den Spalt 2 vollständig ausfüllt, werden die einzelnen Stellschieber 4 in etwa gleichmäßig verstellt. Ist das Substrat 3 in der Breite verkürzt, wie dies in 1 dargestellt ist, können einzelne Stellschieber 4, im vorliegenden Fall der äußerst rechts dargestellte Stellschieber 4, vollständig in den Spalt 2 eingefahren werden, so dass die effektive Spaltbreite entsprechend der Breite des Substrates 3 reduziert ist. Der Spalt besitzt, um einen ausreichend großen Trennfaktor zu realisieren, eine nicht zu kleine Längsausdehnung. Daher ist jeder Stellschieber durch einen sich in Längsrichtung des Spaltes erstreckenden Streifen dargestellt.With a substrate 3 , the width of the gap 2 the individual slide valves are completely filled 4 adjusted approximately evenly. Is the substrate 3 shortened in width like this in 1 can be shown, individual slide valves 4 , in the present case the slide valve shown on the extreme right 4 , completely in the gap 2 be retracted so that the effective gap width corresponds to the width of the substrate 3 is reduced. In order to achieve a sufficiently large separation factor, the gap has a longitudinal expansion that is not too small. Therefore, each slide valve is represented by a strip extending in the longitudinal direction of the gap.

3 zeigt eine Seitenansicht eines solchen Spaltes 2, wobei der Richtungspfeil 9 die Transportrichtung des Substrates 3 angibt. Die obere Wand des kastenförmig ausgebildeten Spaltes 2 ist als absenkbare Platte 10 dargestellt. 3 shows a side view of such a gap 2 , with the directional arrow 9 the direction of transport of the substrate 3 indicates. The top wall of the box-shaped gap 2 is as a lowerable plate 10 shown.

4 zeigt ebenfalls eine Seitenansicht eines solchen Spaltes 2, wobei das Substrat 3 vor und hinter dem Spalt 2 durch Transportrollen 11 unterstützt wird, so dass es im Spalt leicht durchhängt. Die Durchbiegung ist um so größer, je dünner das Substrat 3 ist. Um dies auszugleichen, kann wenigstens die obere Platte 10 flexibel sein und mittels eines Aktuators 5 durchgebogen werden, so dass die Kontur der Platte 10 an die Kontur des Längsschnittes des Substrates im Längsschnitt angepasst ist. Wenn die Platte aus mehreren Streifen besteht, ist jeder einzelne Streifen mit einem Aktuator 5 gekoppelt. 4 also shows a side view of such a gap 2 , the substrate 3 in front of and behind the gap 2 through transport rollers 11 is supported so that it sags slightly in the gap. The thinner the substrate, the greater the deflection 3 is. To compensate for this, at least the top plate 10 be flexible and by means of an actuator 5 be bent so that the contour of the plate 10 is adapted to the contour of the longitudinal section of the substrate in the longitudinal section. If the plate consists of several strips, each individual strip is with an actuator 5 coupled.

In der 2 ist eine weitere Ausführungsform einer Trennwand 1 mit einem Spalt 2 dargestellt. Diese Ausführung zielt im Wesentlichen darauf ab, die Durchbiegungen des Substrates 3 bezogen auf die Breite des Spaltes, die hier etwas übertrieben dargestellt sind, auszugleichen. Dazu sind die sich in der Breite des Spaltes erstreckenden Spaltbegrenzungen jeweils aus einer biegsamen Lippe 8 dargestellt, z.B. aus einem Federstahlblech oder einem anderen elastischen Material bestehend. Diese werden im dargestellten Ausführungsbeispiel jeweils durch zwei Aktuatoren 5 in eine Form gebracht, die der Durchbiegung des Substrates 3 entspricht, so dass der Abstand zwischen Substrat 3 und den Lippen 8 über die gesamte Breite des Spaltes 2 in etwa konstant ist. Falls dies notwendig ist, können auch eine größere Anzahl von Aktuatoren 5 eingesetzt werden.In the 2 is another execution form a partition 1 with a gap 2 shown. This design essentially aims to deflect the substrate 3 to compensate for the width of the gap, which are shown somewhat exaggerated here. For this purpose, the gap boundaries extending in the width of the gap are each made of a flexible lip 8th shown, consisting for example of a spring steel sheet or another elastic material. In the exemplary embodiment shown, these are each provided by two actuators 5 brought into a shape that the deflection of the substrate 3 corresponds so that the distance between substrate 3 and the lips 8th across the entire width of the gap 2 is approximately constant. If this is necessary, a larger number of actuators can also be used 5 be used.

Mit Sensoren 6 wird die Durchbiegung des Substrates erfasst. Die Steuerung der Aktuatoren erfolgt mit Hilfe einer kombinierten Auswerte- und Steuereinheit 7, die die Sensorsignale auswertet und entsprechende Steuersignale an die Aktuatoren leitet.With sensors 6 the deflection of the substrate is recorded. The actuators are controlled with the aid of a combined evaluation and control unit 7 , which evaluates the sensor signals and sends corresponding control signals to the actuators.

Eine weitere Möglichkeit, die Gastrennung zu erhöhen, ist in 5 dargestellt und besteht aus ein oder mehreren Blenden 12. Hierbei handelt es sich um Spalte, deren Strömungswiderstand im Wesentlichen von ihrer Querschnittsfläche und nicht auch durch ihre Länge bestimmt wird. Die Blenden bestehen aus einem elastischen Material, das in Kontakt mit dem Substrat gelangen kann, ohne dieses zu beschädigen. Solche Blenden können in Kombination mit einem eine Längsausdehnung besitzenden Spalt realisiert sein. Eine solche Blende besteht z.B. aus mehreren herabhängenden, sich überlappenden, biegsamen Lamellen 13, die einen Vorhang bilden.Another way to increase gas separation is in 5 shown and consists of one or more panels 12 , These are gaps, the flow resistance of which is essentially determined by their cross-sectional area and not by their length. The screens are made of an elastic material that can come into contact with the substrate without damaging it. Such diaphragms can be implemented in combination with a gap having a longitudinal extent. Such an aperture consists, for example, of several hanging, overlapping, flexible slats 13 that form a curtain.

11
Trennwandpartition wall
22
Spaltgap
33
Substratsubstratum
44
Stellschieberlock slider
55
Aktuatoractuator
66
Sensorsensor
77
Steuer- und AuswerteeinheitTax- and evaluation unit
88th
Lippelip
99
Richtungspfeilarrow
1010
Platteplate
1111
Transportrolletransport roller
1212
Blendecover
1313
Lamellenslats

Claims (6)

Mit einem Spalt (2) versehene Trennwand (1) zwischen zwei hintereinander angeordneten Prozesskammern einer Vakuumbeschichtungsanlage, wobei die zu beschichtenden Substrate (3) durch den Spalt (2) von der einen in die folgende Prozesskammer geführt werden, mit Stellmitteln (4, 8, 5, 7), um die Spaltquerschnittsform dem Querschnitt des Substrates (3) anzupassen, dadurch gekennzeichnet, dass Messmittel (6) die Querschnittsform des Substrates (3) bezogen auf die Spaltebene erfassen, dass Auswertemittel (7) aus der gemessenen Querschnittsform eine optimierte Spaltquerschnittsform ermitteln, dass die Stellmittel automatisch arbeitende Aktuatoren (5) aufweisen und dass Steuermittel (7) bereitgestellt sind, die auf Basis der ermittelten Spaltquerschnittsform Steuersignale für die Aktuatoren (5) bereitstellen, so dass diese die optimierte Spaltquerschnittsform einstellen.With a gap ( 2 ) provided partition ( 1 ) between two process chambers of a vacuum coating system arranged one behind the other, the substrates to be coated ( 3 ) through the gap ( 2 ) are led from one into the following process chamber, using adjusting devices ( 4 . 8th . 5 . 7 ) to the gap cross-sectional shape the cross-section of the substrate ( 3 ), characterized in that measuring equipment ( 6 ) the cross-sectional shape of the substrate ( 3 ) in relation to the column level, record that evaluation means ( 7 ) determine from the measured cross-sectional shape an optimized gap cross-sectional shape that the actuating means automatically operating actuators ( 5 ) and that control means ( 7 ) are provided which, based on the determined gap cross-sectional shape, control signals for the actuators ( 5 ) so that they adjust the optimized gap cross-sectional shape. Trennwand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt (2) in mehrere Abschnitte unterteilt ist, die jeweils von einem Stellschieber (4) wenigstens einseitig begrenzt sind, wobei die einzelnen Stellschieber (4) unabhängig voneinander verstellbar sind, und dass dazu jeder Stellschieber (4) mit einem Aktuator (5) verbunden ist.Partition according to claim 1, characterized in that the gap ( 2 ) is divided into several sections, each with a slide valve ( 4 ) are limited at least on one side, whereby the individual setting slides ( 4 ) can be adjusted independently of each other and that each slide valve ( 4 ) with an actuator ( 5 ) connected is. Trennwand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Begrenzung des Spaltes (2) aus einer durchgehenden Lippe (8) aus einem elastisch verformbaren Material besteht und dass an der Lippe (8) wenigstens zwei Aktuatoren (5) angreifen.Partition according to claim 1, characterized in that a limitation of the gap ( 2 ) from a continuous lip ( 8th ) consists of an elastically deformable material and that on the lip ( 8th ) at least two actuators ( 5 ) attack. Trennwand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt (2) eine Längsausdehnung aufweist und seine Längskontur dem Durchhang des Substrates (3) im Spalt mittels Aktuatoren (5) angepasst werden kann.Partition according to claim 1, characterized in that the gap ( 2 ) has a longitudinal extent and its longitudinal contour corresponds to the sag of the substrate ( 3 ) in the gap using actuators ( 5 ) can be adjusted. Mit einem Spalt (2) versehene Trennwand (1) zwischen zwei hintereinander angeordneten Prozesskammern einer Vakuumbeschichtungsanlage, wobei die zu beschichtenden Substrate (3) durch den Spalt (2) von der einen in die folgende Prozesskammer geführt werden, mit Stellmitteln (4, 8, 5, 7), um die Spaltquerschnittsform dem Querschnitt des Substrates (3) anzupassen, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt eine Blende (12) ist, die aus mehreren herabhängenden, flexiblen Lamellen (13) gebildet ist, die sich an das Substrat (3) anlegen.With a gap ( 2 ) provided partition ( 1 ) between two process chambers of a vacuum coating system arranged one behind the other, the substrates to be coated ( 3 ) through the gap ( 2 ) are led from one into the following process chamber, using adjusting devices ( 4 . 8th . 5 . 7 ) to the gap cross-sectional shape the cross-section of the substrate ( 3 ), characterized in that the gap is an aperture ( 12 ), which consists of several hanging, flexible slats ( 13 ) is formed, which adheres to the substrate ( 3 ) invest. Trennwand nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Lamellen (13) sich überlappen.Partition according to claim 5, characterized in that the individual slats ( 13 ) overlap.
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