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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf Hochfrequenzresonatoren,
vorzugsweise Drucksensoren, die einen Hochfrequenzresonator aufweisen.
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Drucksensoren
nach dem Stand der Technik weisen beispielsweise Dehnungsmessstreifen
oder einen Kondensator auf. Die Eigenschaften der in diesen Fällen verwendeten
Membran bestimmen die Überlastfähigkeit,
die Toleranzen und die thermischen Abhängigkeiten des Drucksensors
in starkem Maße.
Bei einer dünnen
Membran wird ein großes elektrisches
Ausgangssignal erhalten, wird aber andrerseits die Überlastfähigkeit
der Membran verringert.
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Aus
dem US-Patent 2.494.570 ist ein in 1 gezeigter
Drucksensor mit einem Hohlraum 1 bekannt, dessen Eigenfrequenz
durch seine Länge mitbestimmt
wird. Ein Endabschnitt des Hohlraums 1 ist durch eine Membran 2 verschlossen.
In Abhängigkeit
von der durch den Druck bewirkten Membranauslenkung ändert sich
die Länge
des Hohlraums 1 und damit die Eigenfrequenz von diesem.
Ein von einem Oszillator erzeugtes Hochfrequenzsignal wird über ein
erstes Kopplungselement 3 in den Hohlraum 1 eingeleitet. Über ein
zweites Kopplungselement 4 wird das Hochfrequenzsignal
aus dem Hohlraum 1 entkoppelt und einem Detektor zur weiteren
Verarbeitung zugeführt.
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Von
Nachteil bei diesem genannten Stand der Technik ist, dass sich bei
einer Änderung
der Temperatur des Hohlraums 1 die Eigenfrequenz und somit
das Messergebnis ändert.
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Aus
den Druckschriften
US 4.604.898 und
US 3.927.369 sind Drucksensoren
auf der Basis von Hochfrequenzresonatoren bekannt, bei denen die Temperaturdrift
ebenfalls nicht in ausreichendem Maße Beachtung findet.
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Eine
Lösung
des Problems der Temperaturdrift von Oszillatoren bei induktiven
Drucksensoren ist in der Patentschrift
EP 0 060 256 offenbart. Hierbei werden
die als Dünnschichtelemente
ausgeführten
Oszillatoren baugleich vorgesehen und räumlich dicht beinander angeordnet.
Die frequenzbestimmenden Spulen der Oszillatoren sind an jeweils
einer Druckmessdose vorgesehen, die jeweils über eine Leitungen mit der
jeweiligen Druckquelle in Verbindung steht. Eine hohe Genauigkeit
der Druckerfassung verbunden mit einer guten Überlastfähigkeit lassen sich mit den
Drucksensoren aus der Patentschrift
EP
0 060 256 nicht realisieren.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht nun darin, die Nachteile
vom Stand der Technik zu beseitigen und einen Hochfrequenzresonator
vorzusehen, über
den der Druck messbar ist, der auch bei Membranen mit höherer Dicke
eine hohe Empfindlichkeit hat und bei dem möglichst große Nutzsignale möglichst
geringe Toleranzen aufweisen.
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Diese
Aufgabe wird durch einen Hochfrequenzresonator nach Anspruch 1 gelöst.
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Erfindungsgemäß wird ein
Hochfrequenzresonator mit zwei Hohlraumresonatoren vorgesehen, wobei
die Eigenfrequenz des einen Hohlraumresonators durch eine Änderung
des an diesen angelegten Drucks änderbar
ist und der zwei Hohlraumresonator mit dem ersten Hohlraumresonator
thermisch gekoppelt ist. Die aus den zweite Hohlraumresonatoren
erhaltenen Hochfrequenzsignale werden in einer Auswerteeinrichtung
in einer solchen Weise gemischt, dass ein die Druckänderung
am ersten Hohlraumresonator anzeigendes Signal erhalten wird. Durch eine
derartige Gestaltung lässt
sich ein Druck mit hoher Empfindlichkeit messen, wobei der Einfluss
der Temperatur auf das Messergebnis aufgrund der Einbeziehung der
Eigenfrequenz des zweiten Hohlraumresonators im wesentlichen ausgeschaltet
wird.
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Eine Änderung
des Drucks am ersten Hohlraumresonator bewirkt vorzugsweise eine Änderung der
Länge des
Hohlraums von diesem. Auf diese Weise hat der erste Hohlraumresonator
eine hohe Empfindlichkeit. Die Längenänderung
wird dabei über
eine Membran bewirkt, wodurch auch bei dicken Membranen eine erfassbare
Druckänderung
im ersten Hohlraumresonator in Bezug auf die Eigenfrequenz des ersten
Hohlraumresonators verzeichnet werden kann.
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Entsprechend
einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung lässt sich
die Eigenfrequenz des zweiten Hohlraumresonators über einen
an diesen angelegten Druck ändern.
Damit lässt
sich eine Differenzdruckmessung mit hoher Empfindlichkeit umsetzen.
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Das
die Druckänderung
anzeigende Signal ist vorzugsweise ein niederfrequentes Signal,
so dass im Gegensatz zu hochfrequenten Signalen, bei denen eine
Störung
des Flugfunkes, der Polizei und der Rettungsdienste verhindert werden
muss, eine geringere Abhängigkeit
von behördlichen
Vorschriften besteht.
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In
der Auswerteeinrichtung wird vorzugsweise eine Differenz der Eigenfrequenzem
vom ersten und zweiten Hohlraumresonator erhalten, was einen direkten
Schluss auf die Druckänderung
am ersten Hohlraumresonator ermöglicht.
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Die
Hohlraumresonatoren sind vorzugsweise so gestaltet, dass jeder eine Übertragungsleitung zu
einem Oszillator und eine Übertragungsleitung
zu einem Detektor aufweist. Bei einer derartigen Gestaltung lässt sich über Änderungen
der durch den Detektor aufgenommenen Energie auf die Eigenfrequenz
des Hohlraumresonators schließen.
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In
einer alternativen Ausgestaltung weist jeder der Hohlraumresonatoren
ein T-förmiges
Kopplungselement auf, dass mit einem Oszillator und einem Detektor
verbunden ist. Auf diese Weise dient der Hohlraum als Abstimmkreis
des Oszillators. Durch eine solche Beschränkung der Anzahl der Ausnehmungen
im Hohlraumresonator tritt eine geringere Beeinflussung der Eigenfrequenz
durch geometrische Besonderheiten des Hohlraumresonators auf, wodurch
ein genaueres Messergebnis erzielt werden kann.
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Erfindungsgemäße Weiterbildungen
sind Gegenstand der Unteransprüche.
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Nachfolgend
wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben,
in denen
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1 einen Hohlraumresonator
nach dem Stand der Technik zeigt,
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2 einen erfindungsgemäßen Hohlraumresonator
entsprechend dem ersten Ausführungsbeispiel
zeigt, und
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3 einen erfindungsgemäßen Hohlraumresonator
entsprechend dem zweiten Ausführungsbeispiel
zeigt.
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In 2 ist ein Hochfrequenzresonator
entsprechend dem ersten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung gezeigt, bei dem in einem Gehäuse 30 ein
erster Hohlraumresonator 10 und ein zweiter Hohlraumresonator 20 vorgesehen
sind. Der erste Hohlraumresonator 10 und der zweite Hohlraumresonator 20 sind
thermisch miteinander gekoppelt. Beispielsweise ist das gemeinsame
Gehäuse 30 aus
einem Material mit guter Wärmeleitfähigkeit,
wie z.B. Metall, hergestellt.
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Die
Hohlraumresonatoren 10 und 20 sind vorzugsweise
zylinderförmig
ausgebildet und haben entlang der Mittelachse eine Längsausdehnung
l1 bzw. l2, durch
die neben den sonstigen Innenabmessungen der Hohlraumresonatoren
die jeweilige Eigenfrequenz bestimmt wird.
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Der
Hohlraumresonator 10 ist an einer Stirnseite mit einer
Membran 12 versehen, die sich vorzugsweise über die
gesamte Querausdehnung des Hohlraumresonators 10 erstreckt.
Auf die Membran 12 ist über
einen Anschluss 31 ein zu messender Druck p1 von
außerhalb
des Gehäuses 3C aufbringbar.
Bei einer Auslenkung der Membran 12 entlang der Mittelachse
des Hohlraumresonators 10 ändert sich die Länge und
somit auch das Volumen des ersten Hohlraumresonators 10,
was sich in einer Änderung
seiner Eigenfrequenz niederschlägt.
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Der
vorzugsweise zylindrische, zweite Hohlraumresonator 20 ist
vorzugsweise parallel zum ersten Hohlraumresonator 10 angeordnet,
weist jedoch im Unterschied zum ersten Hohlraumresonator 10 keine
Membran auf. Die Eigenfrequenz des zweiten Hohlraumresonators 20 wird
auch durch die Länge
l2 entlang seiner Mittelachse bestimmt.
Da sich diese Länge
außer
durch thermische Ausdehnung nicht verändert, bildet die Eigenfrequenz
des zweiten Hohlraumresonators 20 einen Referenzwert. Die Durchmesser
des ersten und zweiten Hohlraumresonators sind vorzugsweise gleich.
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Aus
dem Stand der Technik ist bekannt, dass sich bei einer Änderung
der Eigenfrequenz eines Schwingkreises mit einem Kondensator und
einer Spule die Impedanz des Schwingkreises bei einer vorgegebenen
Frequenz ändert.
Dieses Phänomen tritt
in ähnlicher
Form auch bei Hochfrequenzresonatoren von dem vorstehend beschriebenen
Typ auf.
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Zur
Messung der Eigenfrequenz eines Drucksensor-Hohlraums stehen zwei Verfahren zur Verfügung.
- A) Entsprechend dem ersten Verfahren dient
der Hohlraum als Abstimmkreis eines Oszillators. Der Oszillator
gibt ein Frequenzsignal ab, das von der Eigenfrequenz des Hohlraumresonators
und somit vom zu messenden Druck abhängt.
- B) Dem Hohlraumresonator wird eine Erregungsfrequenz eines Ozillators
zugeführt
und es wird die vom Hohlraum aufgenommene bzw. weitergeleitete Energie
gemessen.
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Beim
in 2 gezeigten ersten
Ausführungsbeispiel
ist eine Struktur unter Verwendung des vorstehenden Verfahrens A)
gezeigt, wobei ein erster Hochfrequenzoszillator 11 in
einer solchen Weise mit dem ersten Hohlraumresonator 10 in
Verbindung steht, dass durch den ersten Hohlraum eine Frequenzabstimmung
des ersten Oszillators 11 vorgenommen wird. Ein zweiter
Hochfrequenzoszillator 21 steht in einer solchen Weise
mit dem zweiten Hohlraumresonator 20 in Verbindung, dass
durch den zweiten Hohlraum eine Frequenzabstimmung des zweiten Oszillators 21 vorgenommen
wird. Die Ausgangssignale der Oszillatoren 11 und 21 werden
einer Auswerteeinrichtung 40, beispielsweise einem Mischer,
zugeführt.
In der Auswerteeinrichtung 40 wird beispielsweise ein die
Differenz der Eigenfrequenzen des ersten und zweiten Hohlraumresonators
anzeigendes Signal erzeugt, das anschließend einer Frequenz-Spannungsumwandlung
unterzogen wird. Alternativ dazu können in der Auswerteeinrichtung
die Eigenfrequenzen des ersten und zweiten Hohlraumresonators anzeigenden
Signale direkt mit Rechnertechnik nach dem Stand der Technik in
gewünschter
Weise verarbeitet und ausgewertet werden.
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Vorzugsweise
erfolgt die Auswertung derart, dass am Ausgang der Auswerteeinrichtung 40 ein niederfrequentes
Signal anliegt, das im Gegensatz zu hochfrequenten Signalen störungssicherer übertragbar
ist.
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Somit
sind beim ersten Ausführungsbeispiel die
Hohlraumresonatoren 10 und 20 gleichen thermischen
Bedingungen ausgesetzt. Der auf die Membran 12 aufgebrachte
Druck p1 bewirkt eine Auslenkung der Membran 12,
die sich in einer Änderung
der Länge
l1 des ersten Hohlraumresonators 10 und
einer Änderung
der Eigenfrequenz von diesem niederschlägt. Die Eigenfrequenz des ersten
Hohlraumresonators bestimmt die Frequenz des Oszillators 11 und
wird im Ausgangssignal des ersten Oszillators 11 widergespiegelt,
das zusammen mit einem Signal, das die Eigenfrequenz des zweiten
Hohlraumresonators 20, der den gleichen thermischen Bedingungen wie
der erste Hohlraumresonator 20 ausgesetzt ist, an dem jedoch
nicht der Druck p1 anliegt, in der Auswerteeinrichtung 40 ausgewertet
wird. Am Ausgang der Auswerteeinrichtung 40 werden Informationen über die
Höhe des
Drucks p1 an der Membran 12 erhalten.
Diese Informationen sind aufgrund des Referenz-Hohlraumresonators von thermischen Einflussgrößen bereinigt,
so dass trotz der Gestaltung der Membran 12 mit großen Dicken
ein großes
Nutzsignal mit geringen Toleranzen erhalten werden kann.
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Entsprechend
einer ersten Weiterbildung des ersten Ausführungsbeispiels, bei der das
vorstehend genannte Verfahren B) zum Einsatz gelangt, sind statt
der Oszillatoren 11 und 21 Detektoren vorgesehen.
Der erste Detektor ist dem ersten Hohlraumresonator 10 zugeordnet
und der zweite Detektor ist dem zweiten Hohlraumresonator 20 zugeordnet.
Am vorzugsweise in Querrichtung zum ersten Detektor gegenüberliegenden
Abschnitts des ersten Hohlraumresonators 10 ist ein erstes
Kopplungselement vorgesehen, das an einen ersten Oszillator gekoppelt
ist. In gleicher Weise ist ein zweites Kopplungselement, das an
einen zweiten Oszillator gekoppelt ist, in Querrichtung zum zweiten
Detektor gegenüberliegenden
Abschnitts des zweiten Hohlraumresonators 20 vorgesehen.
Der erste und der zweite Oszillator sind mit einer Auswerteeinrichtung
verbunden. Der sonstige Aufbau der ersten Abwandlung des ersten
Ausführungsbeispiels ähnelt vom
Prinzip her dem des ersten Ausführungsbeispiels.
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Dem
ersten Hohlraumresonator 10 wird eine Erregungsfrequenz
des ersten Ozillators zugeführt und
es wird durch den ersten Detektor die vom ersten Hohlraum aufgenommene
bzw. weitergeleitete Energie gemessen. Diese Energie hängt von
der Eigenfrequenz des ersten Hohlraums, die durch den an der Membran 12 anliegenden
Druck bestimmt wird, ab. In gleicher Weise wird dem zweiten Hohlraumresonator 20 eine
Erregungsfrequenz des zweiten Ozillators zugeführt und durch den zweiten Detektor
die vom zweiten Hohlraum aufgenommene bzw. weitergeleitete Energie
gemessen. Durch eine geeignete Auswertung über die Auswerteeinrichtung,
in der die Ausgangssignale des ersten und zweiten Detektors ausgewertet
werden, lässt sich
durch die erste Abwandlung des ersten Ausführungsbeispiels eine genaue
Druckmessung selbst bei größeren Membrandicken
bereinigt von Ungenauigkeiten, die sich durch Änderung der thermischen Bedingungen
ergeben, vornehmen.
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Das
zweite Ausführungsbeispiel
entsprechend der vorliegenden Erfindung unterscheidet sich vom ersten
Ausführungsbeispiel
darin, dass auch der zweite Hohlraumresonator 120 mit einer
Membran 122 versehen ist, an die über einen Anschluss 132 ein
Druck p2 anlegbar ist. Die sonstigen Einrichtungen
des zweiten Ausführungsbeispiels
entsprechend denen des ersten Ausführungsbeispiels, wobei den Bezugszeichen
des zweiten Ausführungsbeispiels eine "1" vorangestellt ist. Der zweite Hohlraumresonator 120 hat
die gleiche Funktionsweise wie der erste Hohlraumresonator 110,
wobei eine Auslenkung der Membran 122 entlang der Mittelachse
des zweiten Hohlraumresonators eine Änderung der Länge l2 bewirkt, was sich in einer Änderung
der Eigenfrequenz des zweiten Hohlraumresonators 120 widerspiegelt.
Eine Auswertung der Signale aus dem ersten und zweiten Hohlraumresonator 110, 120 erfolgt wie
beim ersten Ausführungsbeispiel
in einer Auswerteeinrichtung 140.
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Somit
erfolgt mit dem Hochfrequenzresonator entsprechend dem zweiten Ausführungsbeispiel eine
Bestimmung der Differenz der Drücke
p1 und p2. Dabei
ist der Druck p2 vorzugsweise ein bekannter Referenzdruck.
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Entsprechend
einer ersten Weiterbildung des zweiten Ausführungsbeispiels erfolgt die
Bestimmung der Eigenfrequenz nach dem vorstehend beschriebenen Verfahren
B), wodurch beide Hohlraumresonatoren 110, 120 sowohl
Detektoren als auch Oszillatoren aufweisen.
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Bei
der vorliegenden Erfindung kann der Hochfrequenzteil des Hochfrequenzresonators
in einem hochfrequenzdichten Gehäuse
untergebracht sein, wobei beispielsweise nur ein niederfrequentes Messsignal
aus dem Gehäuse
des Hochfrequenzresonators zu leiten ist. Das der Auswerteeinrichtung nachgeordnete
System bestimmt, ob ein niederfrequentes Messsignal durch die Auswerteeinrichtung erzeugt
wird, oder ob beispielsweise ein f/U-gewandeltes Signal zugeleitet
wird. Aufgrund der Entwicklung der Rechnertechnik lassen sich Frequenzsignale
ohne großen
Aufwand verarbeiten, wodurch auf die f/U- und die anschließende A/D-Wandlung
verzichtet werden kann. Dieses Frequenzsignal kann auch störungssicherer übertragen
werden.
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Bei
Oszillatorfrequenzen von beispielsweise 24 GHz ergeben sich praktikable
Abmessungen für den
Hochfrequenzresonator. Vorteilhaft ist eine Eigenfrequenz im Bereich
von 1 bis 100 GHz, vorzugsweise im Bereich von 20 und 30 GHz.
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Die
vorliegende Erfindung ist dort einsetzbar, wo eine hohe Überlastfähigkeit
der Membran gefordert wird, beispielsweise bei der Druckmessung
bei Hydraulikanwendungen.
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Die
Membranen bei der vorliegenden Erfindung sind aus beliebigen Werkstoffen
herstellbar, beispielsweise Metall, Glas oder Keramik. Ist der Werkstoff
elektrisch nicht leitend, so muss er mit einer elektrisch gut leitenden
Schicht beschichtet sein.
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Entsprechend
der vorliegenden Erfindung wird somit ein Hochfrequenzresonator
mit zwei Hohlraumresonatoren vorgesehen, wobei die Eigenfrequenz
des einen Hohlraumresonators durch eine Änderung des an diesen angelegten
Drucks änderbar ist
und der zweite Hohlraumresonator mit dem ersten Hohlraumresonator
thermisch gekoppelt ist. Die aus den zweite Hohlraumresonatoren
erhaltenen Hochfrequenzsignale werden in einer Auswerteeinrichtung in
einer solchen Weise gemischt, dass ein die Druckänderung am ersten Hohlraumresonator
anzeigendes Signal erhalten wird. Durch eine derartige Gestaltung
lässt sich
ein Druck mit hoher Empfindlichkeit messen, wobei der Einfluss der
Temperatur auf das Messergebnis aufgrund der Einbeziehung der Eigenfrequenz
des zweiten Hohlraumresonators verringert ist.
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- 1
- Hohlraum
- 2
- Membran
- 3
- erstes
Kopplungselement
- 4
- zweites
Kopplungselement
- 10,
110
- erster
Hochfrequenzresonator
- 11,
111
- erster
Oszillator
- 12,
112
- Membran
- 122
- Membran
- 20,
120
- zweiter
Hochfrequenzresonator
- 21,
121
- zweiter
Oszillator
- 30,
130
- gemeinsames
Gehäuse
- 31,
131
- Anschluss
- 132
- Anschluss
- 40,
140
- Auswerteeinrichtung