DE10301818A1 - Linear drive for optical equipment used in semiconductor manufacture, includes piezoelectric actuator sections operating longitudinally and in shear with anisotropic connection - Google Patents

Linear drive for optical equipment used in semiconductor manufacture, includes piezoelectric actuator sections operating longitudinally and in shear with anisotropic connection Download PDF

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Abstract

The actuator stacks are supported on carriers (12, 13) and have sections (15, 16) operating longitudinally and in shear. Their drive is stepped, to alternately clamp, move and release a runner (7) in sequence, causing controlled motion. Between the shear actuator (16) and longitudinal actuator (15) of a stack, there is a connector (18). This is soft in the longitudinal direction of the actuator sections, but rigid in the direction of motion of the runner.

Description

Die Erfindung betrifft einen Piezo-Linearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer antreiben.The invention relates to a piezo linear drive with a group of piezo stack actuators, one in one guide drive the existing runner.

Aus der nicht vorveröffentlichten deutschen Anmeldung mit dem Titel "Piezo-Linearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren sowie Verfahren zum Betreiben eines solchen Antriebs" und dem Aktenzeichen 101 28 497.7 sind derartige Piezo-Linearantriebe bekannt. Dabei ist innerhalb eines solchen Stapels, von einem für mehrere der Stapel gemeinsamen Substrat als Trägermaterial ausgehend, ein erstes Stapelteil als Longitudinal- und eine zweites Stapelteil als Scheraktor ausgebildet.From the unpublished German application entitled "Piezo linear actuator with a group of piezo stack actuators and method for operating one Drive "and the file number 101 28 497.7 such piezo linear drives are known. there is within such a stack, one common to several of the stacks Substrate as a carrier material proceeding, a first stack part as a longitudinal and a second Stack part designed as a shear actuator.

In einer idealen Ausgestaltung dieses Piezo-Linearantriebes sind nun jeweils mehrere der Stapel auf einem der Trägerelemente angeordnet sind, z.B. jeweils vier der Stapel auf einem gemeinsamen Trägerelement auf jeder Seite eines anzutreibenden geführten Läufers. Für die Funktionsweise der Piezo-Linearantriebe ist dabei ein Abstand zwischen den benachbarten Stapeln auf jedem der Trägerelemente erforderlichen. Bei sehr hohen mechanischen Anforderungen können durch die vergleichsweise große longitudinale Ausdehnung der Stapel parasitäre Bewegungen in Richtung der gewünschten Antriebsrichtung durch eine Verformung der Stapel auftreten. Für spezielle Anwendungsfälle mit sehr hohen Anforderungen an die Aktuatoren können diese parasitären Bewegungen störend sein.In an ideal embodiment of this Piezo linear drives are now several of the stacks on one of the support elements are arranged, e.g. four each of the stacks on a common carrier element on each side of a guided runner to be driven. For the functionality of the piezo linear drives is a distance between the adjacent stacks on each of the support elements . required With very high mechanical requirements, the comparatively large longitudinal extension of the stack parasitic movements in the direction of the desired Drive direction occur due to a deformation of the stack. For special use cases With very high demands on the actuators, these parasitic movements can disturbing his.

Aus der deutschen Patentanmeldung 102 25 266.1, welche ebenfalls nicht vorveröffentlicht ist, gehen entsprechende Anwendungsfälle für derartige Aktuatortypen hervor. Diese speziellen Anwendungsfälle, welche entsprechend hohe Anforderungen an die Aktuatoren stellen, sind dabei im Bereich der Manipulation von optischen Elementen in der Mikrolithographie zu suchen und unterstreichen die oben geäußerten Anwendungen mit hohen An- Die Aufgabe der Erfindung besteht nun darin, einen Piezo-Linearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren, welche nach dem oben genannten Funktionsprinzip einen in einer Führung befindlichen Läufer antreiben, dahingehend zu optimieren, dass das Auftreten von parasitären Bewegungen, insbesondere von parasitären Bewegungen in Antriebsrichtung, minimiert wird.From the German patent application 102 25 266.1, which is also not prepublished, go accordingly use cases for such actuator types out. These special use cases, which are correspondingly high The demands placed on the actuators are in the area of Manipulation of optical elements in microlithography too search and underline the above-mentioned applications with high The task of the invention is now a piezo linear actuator with a group of piezo stack actuators, which according to the above mentioned operating principle drive a runner located in a guide to that effect optimize that the occurrence of parasitic movements, in particular of parasitic Movements in the drive direction is minimized.

Die oben genannte Aufgabe wird durch einen Piezo-Linearantrieb gelöst, bei welchem zwischen dem ersten Stapelteil, welcher als Longitudinalaktor ausgebildet ist, und dem wenigstens einen zweiten Stapelteil, welcher als Scheraktor ausgebildet ist, wenigstens ein Verbindungselement angeordnet ist, welches jeweils zumindest einen Teil der Stapel untereinander verbindet, wobei die Verbindung in Aktorrichtung der Longitudinalaktoren weich und in Bewegungsrichtung des Läufers steif ausgebildet ist.The above task is accomplished by solved a piezo linear actuator, in which between the first stack part, which is designed as a longitudinal actuator and the at least one second stack part, which acts as a shear actuator is formed, at least one connecting element is arranged, which connects at least some of the stacks to each other, the connection in the actuator of the longitudinal actuators is soft and in the direction of movement of the rotor is rigid.

Durch das erfindungsgemäße Verbindungselement wird in vorteilhafter Weise erreicht, dass die Verformungen der einzelnen Stapel minimiert werden. Durch die steife Anbindung im Bereich zwischen dem Scheraktor und dem Longitudinalaktor, bei der Verwendung von zwei Stapelteilen also in etwa in der Mitte eines jeden Stapels, wird die Neigung der Stapel zur Verformung minimiert und somit die Steifigkeit des gesamten Piezo-Linearantriebs in der Bewegungsrichtung des Läufers verbessert.Through the connecting element according to the invention is achieved in an advantageous manner that the deformations of the individual stacks can be minimized. Due to the rigid connection in the Area between the shear actuator and the longitudinal actuator when in use of two parts of the stack, approximately in the middle of each stack, the tendency of the stack to deform is minimized and thus the Rigidity of the entire piezo linear drive in the direction of movement of the runner improved.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung lassen sich den Unteransprüchen entnehmen und sind in den anhand der Zeichnung nachfolgend dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.Further advantageous configurations the invention can be found in the dependent claims and are in the embodiments shown below with reference to the drawing explained in more detail.

Es zeigt:It shows:

1 eine Prinzipdarstellung einer Projektionsbelichtungs anlage für die Mikrolithographie, welche zur Belichtung von Strukturen auf mit photosensitiven Materialien beschichtete Wafer verwendbar ist; 1 a schematic diagram of a projection exposure system for microlithography, which can be used to expose structures on wafers coated with photosensitive materials;

2 einen Piezo-Linearantrieb in einer schematischen Darstellung, mit stark überzeichneten Problemen hinsichtlich der Steifigkeit; 2 a piezo linear actuator in a schematic representation, with greatly exaggerated problems with the rigidity;

3 einen Piezo-Linearantrieb mit dem erfindungsgemäßen Verbindungselement; 3 a piezo linear drive with the connecting element according to the invention;

4 eine Möglichkeit der Ausführung eines Verbindungselements; und 4 a possibility of executing a connecting element; and

5 einen Piezo-Linearantrieb mit dem erfindungsgemäßen Verbindungselement in einer alternativen Ausführungsform. 5 a piezo linear drive with the connecting element according to the invention in an alternative embodiment.

In 1 ist eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie dargestellt. Diese dient zur Belichtung von Strukturen auf mit photosensitiven Materialien beschichtetes Substrat, welches im allgemeinen überwiegend aus Silizium besteht und als Wafer 2 bezeichnet wird, zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, wie z.B. Computerchips.In 1 is a projection exposure system 1 shown for microlithography. This serves for the exposure of structures on a substrate coated with photosensitive materials, which generally consists predominantly of silicon and as a wafer 2 is referred to for the production of semiconductor components, such as computer chips.

Die Projektionsbelichtungsanlage 1 besteht dabei im wesentlichen aus einer Beleuchtungseinrichtung 3, einer Einrichtung 4 zur Aufnahme und exakten Positionierung einer mit einer gitterartigen Struktur versehenen Maske, einem sogenannten Reticle 5, durch welches die späteren Strukturen auf dem Wafer 2 bestimmt werden, einer Einrichtung 6 zur Halterung, Bewegung und exakten Positionierung eben dieses Wafers 2 und einer Abbildungseinrichtung nämlich einem Projektionsobjektiv 7 mit mehreren optischen Elementen, wie z.B. Linsen 8, die über Fassungen 9 in einem Objektivgehäuse 10 des Projektionsobjektives 7 gelagert sind.The projection exposure system 1 consists essentially of a lighting device 3 , a facility 4 for recording and exact positioning of a mask with a grid-like structure, a so-called reticle 5 , through which the later structures on the wafer 2 be determined, a facility 6 for holding, moving and exact positioning of this wafer 2 and an imaging device namely a projection lens 7 with several optical elements, such as lenses 8th who have versions 9 in a lens housing 10 of the projection lens 7 are stored.

Das grundsätzliche Funktionsprinzip sieht dabei vor, dass die in das Reticle 5 eingebrachten Strukturen auf den Wafer 2 mit einer Verkleinerung der Strukturen belichtet werden.The basic principle of operation is that the reticle 5 introduced structures on the wafer 2 can be exposed with a reduction in the size of the structures.

Nach einer erfolgten Belichtung wird der Wafer 2 in Pfeilrichtung weiterbewegt, so dass auf demselben Wafer 2 eine Vielzahl von einzelnen Feldern, jeweils mit der durch das Reticle 5 vorgegebenen Struktur, belichtet wird. Aufgrund der schrittweisen Vorschubbewegung des Wafers 2 in der Projektionsbelichtungsanlage 1 wird diese häufig auch als Stepper bezeichnet.After exposure is complete, the wafer 2 moved in the direction of the arrow so that on the same wafer 2 a variety of individual fields, each with the one through the reticle 5 given structure, is exposed. Due to the gradual feed movement of the wafer 2 in the projection exposure system 1 this is often referred to as a stepper.

Die Beleuchtungseinrichtung 3 stellt einen für die Abbildung des Reticles 5 auf dem Wafer 2 benötigten Projektionsstrahl 11, beispielsweise Licht oder eine ähnliche elektromagnetische Strahlung, bereit. Als Quelle für diese Strahlung kann ein Laser oder dergleichen Verwendung finden. Die Strahlung wird in der Beleuchtungseinrichtung 3 über optische Elemente so geformt, dass der Projektionsstrahl 11 beim Auftreffen auf das Reticle 5 die gewünschten Eigenschaften hinsichtlich Durchmesser, Polarisation, Form der Wellenfront und dergleichen aufweist.The lighting device 3 provides one for mapping the reticle 5 on the wafer 2 required projection beam 11 , for example light or a similar electromagnetic radiation. A laser or the like can be used as the source for this radiation. The radiation is in the lighting device 3 shaped over optical elements so that the projection beam 11 when hitting the reticle 5 has the desired properties with regard to diameter, polarization, shape of the wavefront and the like.

Über den Projektionsstrahl 11 wird ein Bild des Reticles 5 erzeugt und von dem Projektionsobjektiv 7 entsprechend verkleinert auf den Wafer 2 übertragen, wie bereits vorstehend erläutert wurde. Das Projektionsobjektiv 7 weist eine Vielzahl von einzelnen refraktiven und/oder diffraktiven optischen Elementen, wie z.B. Linsen, Spiegeln, Prismen, Abschlussplatten und dergleichen auf.About the projection beam 11 becomes an image of the reticle 5 generated and from the projection lens 7 reduced accordingly to the wafer 2 transferred, as already explained above. The projection lens 7 has a large number of individual refractive and / or diffractive optical elements, such as, for example, lenses, mirrors, prisms, end plates and the like.

Die oben bereits angesprochene Lagerung der optischen Elemente, wie z.B. den Linsen 8, in den Fassungen 9, kann in dem Projektionsobjektiv 7 dabei so ausgeführt sein, dass über entsprechende Antriebseinrichtungen eine Manipulation der optischen Elemente 8 möglich wird. Diese Manipulation der optischen Elemente 8 ist in vielfältigen Anwendungsbeispielen durch die oben bereits erwähnte, nicht vorveröffentlichte deutschen Anmeldung mit dem Aktenzeichen 102 25 266.1 beschrieben. Die dafür eingesetzten Antriebseinrichtungen sind in idealer Weise Piezo-Linearantriebe 12, wie sie beispielsweise durch die US 6,150,750 oder in einer verbesserten Ausführung davon durch die oben bereits erwähnte, nicht vorveröffentlichte deutsche Anmeldung mit dem Aktenzeichen 101 28 497.7 beschrieben sind.The storage of the optical elements, such as the lenses, already mentioned above 8th , in the versions 9 , can in the projection lens 7 be designed so that manipulation of the optical elements by means of appropriate drive devices 8th becomes possible. This manipulation of the optical elements 8th is described in diverse application examples by the above-mentioned, not previously published German application with the file number 102 25 266.1. The drive devices used for this are ideally piezo linear drives 12 , as for example through the US 6,150,750 or in an improved version thereof by the above-mentioned, not previously published German application with the file number 101 28 497.7.

In 2 ist nun ein derartiger Piezo-Linearantrieb 12 in einer Ausführung gemäß der 101 28 497.7 dargestellt. Dabei zeigt der Piezo-Linearantrieb 12 mehrere auf einem gemeinsamen Trägerelement 13 befindliche Piezostapelaktuatoren 14 bzw. Stapel 14, von welchen lediglich einer mit Bezugszeichen versehen ist.In 2 is such a piezo linear drive 12 shown in an embodiment according to 101 28 497.7. The piezo linear drive shows 12 several on a common support element 13 located piezo stack actuators 14 or stack 14 , of which only one is provided with reference numerals.

Jeder dieser Stapel 14 setzt sich in dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel aus einem Longitudinalaktor 15 und einem Scheraktor 16 zusammen. Durch das gezielte Zusammenspiel der einzelnen Stapel 14 wird ein Läufer 17 gemäß dem durch die oben genannte Patentanmeldung 101 28 497.7 beschriebenen Prinzip bewegt.Each of these piles 14 is composed of a longitudinal actuator in the exemplary embodiment shown here 15 and a shear actuator 16 together. Through the targeted interaction of the individual stacks 14 becomes a runner 17 moved according to the principle described by the above-mentioned patent application 101 28 497.7.

In der Darstellung gemäß 2 ist die eingangs bereits angesprochene Problematik hinsichtlich der mangelnden Steifigkeit der einzelnen Stapel 14 in sich in einer extrem überzeichneten Form dargestellt. Die Problematik ist jedoch nur so zu erkennen. Gemäß der Darstellung in 2 und auch in der Praxis ergeben sich Steifigkeitseinbußen aufgrund von Bewegungen bzw. Verformungen der einzelnen Stapel 14 in sich und aufgrund von einer sich durch die Bewegungen der Stapel 14 verringernden Reibfläche zwischen den Scherpiezos 16 und dem Läufer 17.According to the representation 2 is the problem already mentioned at the beginning with regard to the insufficient rigidity of the individual stacks 14 presented in an extremely exaggerated form. However, the problem can only be recognized in this way. As shown in 2 and also in practice there is a loss of rigidity due to movements or deformations of the individual stacks 14 in itself and due to one of the movements of the stack 14 reducing friction surface between the shear piezos 16 and the runner 17 ,

In 3 ist nun eine Variante des Piezo-Linearantriebs 12 dargestellt, bei welcher zwischen den Scheraktoren 16 und den Longitudinalaktoren 15 Verbindungselemente 18 angeordnet sind. Die Verbindungselemente 18 sind dabei in Richtung der Bewegungsrichtung des Läufers 17 vergleichsweise steif und in Richtung der Bewegungsrichtung bzw. Aktorrichtung der Longitudinalaktoren 15 vergleichsweise weich ausgebildet. Somit wird die Tätigkeit der Longitudinalaktoren 15 nicht eingeschränkt und die Funktionsweise des Piezo-Linearantriebs 12 bleibt weiterhin aufrecht erhalten. Durch die höhere Steifigkeit der Verbindungselemente 18 in Bewegungsrichtung des Läufers 17 wird jedoch ein Verformen der einzelnen Stapel 14 minimiert, so dass die Steifigkeit des Piezo-Linearantriebs 12 insgesamt ansteigt.In 3 is now a variant of the piezo linear drive 12 shown, in which between the shear actuators 16 and the longitudinal actuators 15 fasteners 18 are arranged. The fasteners 18 are in the direction of the direction of movement of the runner 17 comparatively stiff and in the direction of the direction of movement or actuator of the longitudinal actuators 15 comparatively soft. Thus the activity of the longitudinal actuators 15 not restricted and the mode of operation of the piezo linear drive 12 remains maintained. Due to the higher rigidity of the connecting elements 18 in the direction of movement of the runner 17 however, there is a deformation of the individual stacks 14 minimized, so the rigidity of the piezo linear actuator 12 overall increases.

In 4 ist nun ein derartiges Verbindungselement 18 nochmals dargestellt. Das Verbindungselement 18 kann direkt zwischen die Scheraktoren 16 und die Longitudinalaktoren 15 eingebracht, z.B. eingeklebt, werden. Das Verbindungselement 18 wird dabei entweder aus einem dünnen Blech oder einer Keramikscheibe bestehen. Über die in 4 erkennbaren Entlastungsschnitte 19 lässt sich das Verhältnis von Steifigkeit in Bewegungsrichtung des Läufers 17 und Weichheit in Bewegungsrichtung der Longitudinalaktoren 15 gezielt beeinflussen, so dass die Steifigkeit des Piezo-Linearantriebs 12 über das Verbindungselement 18 ideal ausgelegt werden kann.In 4 is now such a connecting element 18 shown again. The connecting element 18 can directly between the shear actuators 16 and the longitudinal actuators 15 introduced, for example glued. The connecting element 18 will consist of either a thin sheet or a ceramic disc. About the in 4 recognizable relief cuts 19 the ratio of stiffness in the direction of movement of the rotor 17 and softness in the direction of movement of the longitudinal actuators 15 selectively influence, so that the rigidity of the piezo linear drive 12 via the connecting element 18 can be ideally designed.

Selbstverständlich sind auch Aufbauten denkbar, bei denen die Stapel 14 mehrere der Stapelteile aufweisen, wobei dann jeweils eins oder mehrere der Verbindungselemente 18 eingesetzt werden können.Of course, structures are also conceivable in which the stacks 14 have several of the stack parts, in which case one or more of the connecting elements 18 can be used.

Eine weitere Ausgestaltung des Piezo-Linearantriebs 12 ist in 5 dargestellt. Dabei ist das Verbindungselement 18 jeweils in Bewegungsrichtung des Läufers 17 steif mit dem Trägerelement 13 bzw. gemäß der schematischen Darstellung gemäß der 5 mit einem Teil des Trägerelementes 13' verbunden. Durch diese in Bewegungsrichtung des Läufers 17 steifen Anbindungen des Verbindungselements 18 an dem Trägerelement 13 bzw. 13' kann die Steifigkeit des Piezo-Linearantriebs 12 gemäß dem oben genannten Prinzip weitergesteigert werden, da hierdurch vermieden wird, dass sich der gesamte Aufbau aus mehreren der Stapel 14 gegenüber dem Trägerelement 13 verformt.Another embodiment of the piezo linear drive 12 is in 5 shown. Here is the connecting element 18 each in the direction of movement of the runner 17 stiff with the support element 13 or according to the schematic representation according to the 5 with part of the carrier element 13 ' connected. Through this in the direction of movement of the runner 17 stiff connections of the connecting element 18 on the support element 13 respectively. 13 ' can the rigidity of the piezo linear actuator 12 be further increased according to the above-mentioned principle, since this avoids that the entire structure consists of several of the stacks 14 opposite the carrier element 13 deformed.

Das Verbindungselement 18 kann, wie in der prinzipmäßigen Dar stellung gemäß der 3 und 5 gezeigt, über spezielle Zwischenelemente zwischen den einzelnen Stapelteilen befestigt sein, es ist jedoch auch denkbar, dass das Verbindungselement 18 einfach zwischen die beiden Stapelteile eingeklebt ist. Bei der Verwendung eines Verbindungselements 18 aus Keramik wäre es auch denkbar, dass bei der Herstellung der Piezostapel eine durchgehende Keramikschicht eingebracht wird, welche dann als Verbindungselement 18 Verwendung finden kann. Dieses dann als dünne Keramikscheibe ausgebildete Verbindungselement 18 kann entweder so dimensioniert sein, dass die Bewegungen der einzelnen Stapel ungehindert stattfinden können, oder es kann in einer derartigen Dicke ausgebildet sein, dass die Weichheit in Richtung der Bewegung der Longitudinalaktoren 15 über die oben bereits angesprochenen Entlastungsschnitte 19 in der gewünschten Weise hergestellt werden kann.The connecting element 18 can, as in the principle representation according to the 3 and 5 shown, be fastened via special intermediate elements between the individual stack parts, but it is also conceivable that the connecting element 18 is simply glued between the two stack parts. When using a connector 18 made of ceramic, it would also be conceivable for one to go through during the manufacture of the piezo stack de ceramic layer is introduced, which then as a connecting element 18 Can be used. This then designed as a thin ceramic disc connecting element 18 can either be dimensioned such that the movements of the individual stacks can take place unhindered, or it can be designed in such a thickness that the softness in the direction of the movement of the longitudinal actuators 15 about the relief cuts already mentioned above 19 can be produced in the desired manner.

Claims (7)

Piezo-Linearantrieb (12) mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren, welche einen in einer Führung befindlichen Läufer (17) antreiben, wobei die Aktuatoren mehrere auf einem gemeinsamen Trägerelement (13) befindliche Stapel (14) aufweisen, wobei innerhalb eines Stapels (14) ausgehend vom Trägerelement (13) ein erstes Stapelteil (15) als Longitudinal- und wenigstens ein zweites Stapelteil (16) als Scheraktor ausgebildet ist, wobei die einzelnen Stapel (14) in Klemm- und/oder Scherkontakt mit dem Läufer (17) stehen, wobei die einzelnen Stapel (14) in einem Schrittbetrieb wechselseitig Klemm- und Vorschubbewegungen ausführen, und wobei zwischen dem ersten Stapelteil (15), welcher als Longitudinalaktor ausgebildet ist, und dem wenigstens einen zweiten Stapelteil (16), welcher als Scheraktor ausgebildet ist, wenigstens ein Verbindungselement (18) angeordnet ist, welches jeweils zumindest einen Teil der Stapel (14) untereinander- verbindet, wobei die Verbindung in Aktorrichtung der Longitudinalaktoren (15) weich und in Bewegungsrichtung des Läufers (17) steif ausgebildet ist.Piezo linear actuator ( 12 ) with a group of piezo stack actuators, which are a runner in a guide ( 17 ) drive, the actuators several on a common support element ( 13 ) stack ( 14 ), whereby within a stack ( 14 ) starting from the support element ( 13 ) a first stack part ( 15 ) as a longitudinal and at least one second stack part ( 16 ) is designed as a shear actuator, the individual stacks ( 14 ) in clamping and / or shear contact with the rotor ( 17 ), with the individual stacks ( 14 ) perform clamping and feed movements alternately in one step operation, and whereby between the first stack part ( 15 ), which is designed as a longitudinal actuator, and the at least one second stack part ( 16 ), which is designed as a shear actuator, at least one connecting element ( 18 ) is arranged, which in each case at least a part of the stack ( 14 ) connects with each other, the connection in the actuator of the longitudinal actuators ( 15 ) soft and in the direction of movement of the runner ( 17 ) is rigid. Piezo-Linearantrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (18) eine Verbindung mit dem Trägerelement (13) in Bewegungsrichtung des Läufers (17) aufweist.Piezo linear drive according to claim 1, characterized in that the connecting element ( 18 ) a connection to the carrier element ( 13 ) in the direction of movement of the rotor ( 17 ) having. Piezo-Linearantrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (18) als dünnes Blech mit seiner flächigen Ausdehnung im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsrichtung der Longitudinalaktoren (15) ausgebildet ist.Piezo linear drive according to claim 1 or 2, characterized in that the connecting element ( 18 ) as a thin sheet with its areal extension essentially perpendicular to the direction of movement of the longitudinal actuators ( 15 ) is trained. Piezo-Linearantrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (18) als dünne Keramikscheibe mit ihrer flächigen Ausdehnung im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsrichtung der Longitudinalaktoren (15) ausgebildet ist.Piezo linear drive according to claim 1 or 2, characterized in that the connecting element ( 18 ) as a thin ceramic disc with its areal extension essentially perpendicular to the direction of movement of the longitudinal actuators ( 15 ) is trained. Piezo-Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (18) Entlastungsschnitte (19) im Bereich zwischen und neben den einzelnen Stapeln (14) aufweist.Piezo linear drive according to one of claims 1 to 4, characterized in that the connecting element ( 18 ) Relief cuts ( 19 ) in the area between and next to the individual stacks ( 14 ) having. Piezo-Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Stapel (14) mit dem Verbindungselement (18) verklebt sind.Piezo linear drive according to one of claims 1 to 5, characterized in that the stack ( 14 ) with the connecting element ( 18 ) are glued. Piezo-Linearantrieb nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (18) zwischen die Stapelteile (15, 16) eingeklebt ist.Piezo linear drive according to claim 6, characterized in that the connecting element ( 18 ) between the stack parts ( 15 . 16 ) is glued in.
DE2003101818 2003-01-20 2003-01-20 Linear drive for optical equipment used in semiconductor manufacture, includes piezoelectric actuator sections operating longitudinally and in shear with anisotropic connection Withdrawn DE10301818A1 (en)

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