DE102730T1 - Verfahren zur detektion thermischer wellen in einem pruefling. - Google Patents

Verfahren zur detektion thermischer wellen in einem pruefling.

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ANSPRÜCHE
1. Verfahren zum Detektieren von Wärmeschwingungen in einer Probe, die mit einer periodischen lokalisierten Erwärmung an einem Fleck auf der Oberfläche der Probe erzeugt werden, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
ein Energiestrahl trifft auf einen Teil des erwärmten Bereiches auf der Oberfläche der Probe in der Weise auf, daß der Strahl von der Oberfläche reflektiert wird, und
die Winkelablenkung des reflektierten Strahls wird überwacht, wobei die Ablenkung von der lokalen Winkeländerung in den Oberflächenbedingungen der Probe durch die Wärmeschwingungen resultiert, so daß die Ablenkung des reflektierten Strahls zum Detektieren der Wärmeschwingungen verwendet werden kann.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Energiestrahl auf eine Hälfte des erwärmten Bereiches auf der Oberfläche der Probe auftrifft.
.3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Energiestrahl, der von der Oberfläche der Probe weg reflektiert wird, durch elektromagnetische Strahlung gebildet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die elektromagnetische Strahlung durch Licht gebildet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht von einem Laser erzeugt und kohärent ist.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Energiestrahl, der von der Oberfläche der Probe weg reflektiert wird, durch einen Partikel strom definiert ist.
...Il
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Partikel
in dem Strahl Elektronen sind.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Winkelablenkung des reflektierten Strahls unter Verwendung eines gespaltenen Detektors überwacht wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Winkelablenkung des reflektierten Strahls mit einem Quadrantendetektor überwacht wird.
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