DE10261672B4 - LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips - Google Patents

LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips Download PDF

Info

Publication number
DE10261672B4
DE10261672B4 DE10261672A DE10261672A DE10261672B4 DE 10261672 B4 DE10261672 B4 DE 10261672B4 DE 10261672 A DE10261672 A DE 10261672A DE 10261672 A DE10261672 A DE 10261672A DE 10261672 B4 DE10261672 B4 DE 10261672B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
led chip
radiation
matrix material
leadframe
optoelectronic component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10261672A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10261672A1 (de
Inventor
Volker Dr. Härle
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ams Osram International GmbH
Original Assignee
Osram Opto Semiconductors GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osram Opto Semiconductors GmbH filed Critical Osram Opto Semiconductors GmbH
Priority to DE10261672A priority Critical patent/DE10261672B4/de
Publication of DE10261672A1 publication Critical patent/DE10261672A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10261672B4 publication Critical patent/DE10261672B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • H01L33/501Wavelength conversion elements characterised by the materials, e.g. binder
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/56Materials, e.g. epoxy or silicone resin
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/85909Post-treatment of the connector or wire bonding area
    • H01L2224/8592Applying permanent coating, e.g. protective coating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/0041Processes relating to semiconductor body packages relating to wavelength conversion elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • H01L33/505Wavelength conversion elements characterised by the shape, e.g. plate or foil

Abstract

LED-Chip mit einem Konversionsstoff (24) zum Konvertieren einer vom LED-Chip ausgesandten Strahlung einer ersten Wellenlänge in Strahlung einer zweiten Wellenlänge, der in einem Matrixmaterial eingebettet ist, das für Strahlung der ersten Wellenlänge und Strahlung der zweiten Wellenlänge zumindest teilweise durchlässig ist, wobei das Matrixmaterial (22) ein Material aufweist, das bei einer von dem LED-Chip (18) emittierten Strahlung härtend ist; dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial (22) eine Masseverteilung um den LED-Chip besitzt, welche der Abstrahlcharakteristik des LED-Chips (18) entspricht.

Description

  • LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips.
  • Die Erfindung betrifft einen LED-Chip nach dem Oberbegriff des Anspruches 1, ein optoelektronisches Bauelement, insbesondere ein oberflächenmontierbares optoelektronisches Bauelemente, nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 5, 11 oder 15, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines LED-Chips mit Konversionsstoff und ein Verfahren zur Herstellung eines Bauelementes, das einen solchen enthält.
  • Oberflächenmontierbare optoelektronische Bauelemente sind in verschiedensten Ausführungsformen bekannt. Aus dem Stand der Technik ist es ebenfalls bekannt, einer strahlungsdurchlässigen Vergussmasse für den LED-Chip einen Konversionsstoff beizumengen, der einen Teil der von dem LED-Chip ausgesendeten Strahlung absorbiert und eine gegenüber der absorbierten Strahlung längerwellige Strahlung emittiert, so dass insgesamt vom Bauelement mischfarbiges Licht aus Primärlicht des LED-Chips und Sekundärlicht des Konversionsstoffes emittiert wird. Ein Beispiel eines derartigen optoelektronischen Bauelements mit einer solchen wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse ist zum Beispiel aus der WO 98/12757 A1 bekannt. Das aus diesem Dokument bekannte optoelektronische Bauelement weist auf: Ein Gehäuse mit wenigstens einer Ausnehmung, einen Leadframe mit in die Ausnehmung hinein ragenden Leadframeanschlüssen, einen in der Ausnehmung des Gehäuses angeordneten und auf dem Leadframe montierten und mit den Leadframeanschlüssen elektrisch verbundenen LED-Chip und eine den LED-Chip in der Ausnehmung einbettende Vergussmasse aus einem transparenten Material. Bei der Vergussmasse handelt es sich um eine wellenlängenkonvertierende Vergussmasse auf der Basis eines transparenten Reaktionsharzes, in dem ein anorganisches Leuchtstoffpigmentpulver mit speziellen Leuchtstoffpigmenten dispergiert ist.
  • Ein weiteres optoelektronisches Bauelement mit einer wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse ist aus der WO 01/50540 A1 bekannt. Bei der aus dieser Druckschrift bekannten Bauart weist das optoelektronische Bauelement einen Leadframe mit Leadframeanschlüssen, einen auf dem Leadframe montierten und mit den Leadframeanschlüssen elektrisch verbundenen LED-Chip und einen Formkörper aus einem transparenten Material auf, der den Leadframe und den LED-Chip derart umformt, dass die Leadframeanschlüsse aus dem Formkörper herausragen. Der Kunststoff-Pressmasse des Formkörpers ist ein organischer oder anorganischer Konversionsstoff beigemengt, welcher die Wellenlänge der von dem LED-Chip ausgesendeten elektromagnetischen Strahlung in der oben beschriebenen Weise konvertiert.
  • In DE 196 40 006 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelementes bekannt, wobei z.B. ein LED-Chip auf einer Trägerplatte befestigt und mit einer Vergussmasse versehen wird. Die Vergussmasse wird hierbei mit Hilfe elektromagnetischer Strahlung ausgehärtet.
  • Den oben genannten herkömmlichen optoelektronischen Bauelementen mit wellenlängenkonvertierender Vergussmasse ist gemeinsam, dass die Vergussmasse nicht an eine in der Regel winkelabhängig inhomogene Abstrahlcharakteristik, d.h. lokal unterschiedliche Intensitätsverteilung der ausgesendeten Strahlung, angepasst ist. Die Kombination einer inhomogenen Primärstrahlung des LED-Chips und der Strahlung des Konversionsstoffes in der Vergussmasse ruft oftmals ungewünschte „Farbringe" der kombinierten Strahlung hervor. Zum Beispiel kann eine Kombination einer blauen Primärstrahlung des LED-Chips und einer gelben Sekundärstrahlung des Konversionsstoffes zu einer weißen Strahlung unterschiedlicher Farbtemperatur führen.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen gattungsgemäßen LED-Chip und ein gattungsgemäßes optoelektronisches Bauelement zur Verfügung zu stellen, bei dem das oben angegebene Problem vermindert ist. Weiterhin soll ein Verfahren zum Herstellen eines solchen LED-Chips und eines solchen optoelektronischen Bauelements angegeben werden.
  • Diese Aufgabe wird durch einen LED-Chip bzw. ein optoelektronisches Bauelement mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 bzw. des Patentanspruches 5, 11 oder 15 gelöst. Verfahren zum Herstellen solcher LED-Chips bzw. Bauelemente sind in den Ansprüchen 18 bzw. 9 und 14 angegeben.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Bei einem gattungsgemäßen LED-Chip gemäß der Erfindung weist das Matrixmaterial ein Material auf, das bei einer von dem LED-Chip emittierten Strahlung härtend ist und das eine Masseverteilung um den LED-Chip besitzt, welche der Abstrahlcharakteristik des LED-Chips entspricht. Der Konversionsstoff kann ein organischer oder ein anorganischer Leuchtstoff oder eine Mischung davon sein.
  • Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung des LED-Chips enthält der Konversionsstoff eine Mehrzahl von unterschiedlichen organischen und/oder anorganischen Leuchtstoffen, die bei unterschiedlichen Wellenlängen absorbieren und/oder reemittieren.
  • Das Matrixmaterial enthält vorzugsweise ein Reaktionsharz, besonders bevorzugt ein Epoxidharz.
  • Ein LED-Chip gemäß der Erfindung läßt sich sowohl in Radial-LED-Bauformen als auch in oberflächenmontierbaren LED-Bauformen mit Vorteil einsetzen.
  • Ein bevorzugtes optoelektronisches Bauelement weist auf:
    • – einen Grundkörper bzw. ein Gehäuse mit wenigstens einer Ausnehmung,
    • – einen Leadframe mit in die Ausnehmung hinein ragenden Leadframeanschlüssen,
    • – wenigstens einen in der Ausnehmung des Gehäuses angeordneten und mit den Leadframeanschlüssen elektrisch verbundenen LED-Chip und
    • – wenigstens eine den LED-Chip zumindest teilweise bedeckende Matrixmaterialschicht aus einem strahlungsdurchlässigen Material, in das ein Konversionsstoff eingebettet ist und das strahlungshärtend ist. Der Konversionsstoff dient zum Konvertieren einer vom LED-Chip ausgesandten Strahlung einer ersten Wellenlänge in Strahlung einer zweiten Wellenlänge.
  • Erfindungsgemäß ist das Matrixmaterial ein bei einer von dem LED-Chip emittierten Strahlung härtendes Material und besitzt das Matrixmaterial eine über den LED-Chip lokal variierende Masseverteilung, die der winkelabhängig variierenden Abstrahlcharakteristik des LED-Chips entspricht.
  • Die wellenlängenkonvertierende Schicht auf dem LED-Chip trägt damit der inhomogenen Abstrahlcharakteristik des LED-Chips Rechnung. Mit anderen Worten wird an Stellen höherer Strahlungsintensität des LED-Chips mehr Matrixmaterial mit Konversionsstoff zum Aushärten gebracht als an Stellen niedrigerer Strahlungsintensität, so dass sich die wellenlängenkonvertierende Materialschicht in Abhängigkeit von der jeweiligen lokalen Abstrahlcharakteristik des LED-Chips automatisch einstellt. Auf diese Weise wird eine homogenere Abstrahlcharakteristik des optoelektronischen Bauelements bei gleichzeitig vergleichsweise niedrigem technischen Aufwand möglich. Das Prinzip der Erfindung trifft sowohl für weiße als auch für andere mischfarbig emittierende optoelektronische Bauelemente mit wellenlängenkonvertierender Masse zu.
  • Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung eines LED-Chips umfasst die Schritte:
    • – Aufbringen von Matrixmaterial mit Konversionsstoff auf den LED-Chip;
    • – Betreiben des LED-Chips, so dass dieser Strahlung emittiert und das Matrixmaterial härtet; und
    • – Entfernen des verbleibenden, nicht gehärteten Matrixmaterials inklusive darin enthaltenem Konversionsstoff.
  • Ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements gemäß der Erfindung umfasst die Schritte:
    • – Bereitstellen eines Leadframes mit Leadframeanschlüssen;
    • – Ausbilden eines Grundkörpers bzw. Gehäuses mit wenigstens einer Ausnehmung, in welche die Leadframeanschlüsse hinein ragen;
    • – Montieren wenigstens eines LED-Chips auf den Leadframe in der Ausnehmung und elektrisches Verbinden des wenigstens einen LED-Chips mit den Leadframeanschlüssen;
    • – Einfüllen eines Matrixmaterials mit darin dispergiertem Konversionsstoff in die Ausnehmung;
    • – Betreiben des LED-Chips, so dass dieser Strahlung emittiert und das Matrixmaterial teilweise härtet; und
    • – Entfernen der verbleibenden, nicht-gehärteten Vergussmasse.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Seitenwände der Ausnehmung in dem Gehäuse als Reflektoren ausgebildet. Außerdem ist in der Ausnehmung des Gehäuses vorzugsweise eine Vergussmasse aus einem strahlungsdurchlässigen Material vorgesehen, welche den LED-Chip einschließlich Matrixmaterial in der Ausnehmung einbettet.
  • Der Konversionsstoff im Matrixmaterial kann ein organischer oder anorganischer Leuchtstoff oder eine Mischung davon sein. Die strahlungsdurchlässige Vergussmasse ist zum Beispiel ein Epoxidharz, ein Silikonharz oder ein anderes geeignetes Reaktionsharz.
  • Das optoelektronische Bauelement gemäß dieser Ausführungsform weist auf:
    • – einen Leadframe mit Leadframeanschlüssen,
    • – wenigstens einen auf dem Leadframe montierten und mit den Leadframeanschlüssen elektrisch verbundenen LED-Chip und
    • – einen Formkörper aus einem transparenten Material, der den Leadframe und den wenigstens einen LED-Chip derart umformt, dass die Leadframeanschlüsse aus dem Formkörper herausragen.
  • Erfindungsgemäß ist der wenigstens eine LED-Chip mit einer Matrixmaterialschicht aus einem strahlungsdurchlässigen Material eingebettet, die einen Konversionsstoff zum Umwandeln der Wellenlänge der von dem wenigstens einen LED-Chip erzeugten Strahlung enthält. Das Matrixmaterial besteht aus einem bei der von dem LED-Chip erzeugten Strahlung härtenden Material und weist eine lokal variierende Masseverteilung entsprechend der lokal variierenden Abstrahlcharakteristik des LED-Chips auf.
  • Die Grundform des optoelektronischen Bauelements entspricht somit der zum Beispiel aus der WO 01/50540 A1 bekannten Konstruktion. Das Prinzip dieser Ausführungsform bezüglich der wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse entspricht dem oben anhand der ersten Ausführungsform erläuterten Prinzip.
  • Das Verfahren zur Herstellung dieses optoelektronischen Bauelements umfasst die Schritte:
    • – Bereitstellen eines Leadframes mit Leadframeanschlüssen;
    • – Montieren des LED-Chips auf dem Leadframe und elektrisches Verbinden des LED-Chips mit den Leadframeanschlüssen;
    • – Beschichten des LED-Chips mit einem Matrixmaterial aus einem strahlungsdurchlässigen Material, in dem Konversionsstoff dispergiert ist und das bei einer von dem LED-Chip erzeugten Strahlung härtet;
    • – Betreiben des LED-Chips, so dass dieser Strahlung emittiert und das Matrixmaterial härtet;
    • – Entfernen des verbleibenden, nicht gehärteten Matrixmaterials;
    • – Umformen des Leadframes und des in das Matrixmaterial eingebetteten LED-Chips mit einer strahlungsdurchlässigen Kunststoff-Pressmasse derart, dass die Leadframeanschlüsse aus dem so geformten Formkörper heraus ragen.
  • Ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von LED-Chips gemäß der Erfindung umfasst die Schritte:
    • – Bereitstellen eines Wafers mit einer Halbleiterschichtfolge mit strahlungserzeugender aktiver Zone, auf dem vorderseitig mehrere elektrische Kontaktflächen vorgesehen sind;
    • – Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Materials auf die elektrischen Kontaktflächen;
    • – Aufbringen eines strahlungsdurchlässigen Matrixmaterials, das Konversionsstoff enthält und das bei einer von der aktiven Zone der Halbleiterschichtfolge erzeugten Strahlung härtet, auf den Wafer;
    • – Härten des Matrixmaterials entsprechend der lokal variierenden Abstrahlcharakteristik der Halbleiterschichtfolge; und
    • – Entfernen des verbleibenden nicht gehärteten Matrixmaterials.
  • Bevorzugt wird nachfolgend der Wafer mit einer strahlungsdurchlässigen Masse beschichtet, die danach, falls erforderlich, mindestens bis zur Freilegung des elektrisch leitfähigen Materials abgetragen wird. Gemäß diesem Aspekt wird die wellenlängenkonvertierende Vergussmasse somit im „Wafer-Level" auf die LED-Chips aufgebracht. Ein solches Verfahren des Aufbringens einer Beschichtung auf Wafer-Level ist Gegenstand einer älteren, zum Anmeldezeitpunkkt noch nicht veröffentlichten deutschen Patentanmeldung DE 102 57 664 A1 der Anmelderin zur vorliegenden Erfindung. Ein weiteres Verfahren zum Aufbringen von Matrixmaterial mit Konversionsstoff ist in der zum Anmeldezeitpunkt noch nicht veröffentlichten deutschen Patentanmeldung DE 10258193 A1 der Anmelderin zur vorliegenden Erfindung offenbart.
  • Den verschiedenen Lösungsaspekten der vorliegenden Erfindung ist gemeinsam, dass die wellenlängenkonvertierende Masse (Matrixmaterial + Konversionsstoff) eine lokal variierende Massen- bzw. Volumenverteilung besitzt, die der inhomogenen Abstrahlcharakteristik des in dem Matrixmaterial eingebetteten LED-Chips entspricht. Auf diese Weise wird letztlich eine homogenere Abstrahlcharakteristik des optoelektronischen Bauelements erzielt.
  • Das Prinzip der vorliegenden Erfindung ist sowohl für weiße als auch für andere mischfarbig emittierende optoelektronische Bauelemente mit wellenlängenkonvertierender Vergussmasse anwendbar. Ferner ist das Prinzip der vorliegenden Erfindung auch auf verschiedene herkömmliche Bauarten von optoelektronischen Bauelementen, wie oben gemäß den verschiedenen Aspekten beschrieben, anwendbar. Außerdem ist die vorliegende Erfindung nicht auf spezielle Konversionsstoffe in dem transparenten Matrixmaterial beschränkt.
  • Die obigen sowie weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den im Folgenden in Verbindung mit den 1 bis 3f erläuterten Ausführungsbeispielen. Darin zeigen:
  • 1 eine schematische Schnittdarstellung des Grundaufbaus eines optoelektronischen Bauelements mit wellenlängenkonvertierender Vergussmasse gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel;
  • 2 eine schematische Schnittdarstellung des Grundaufbaus eines optoelektronischen Bauelements mit wellenlängenkonvertierender Vergussmasse gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel; und
  • 3a bis 3e schematische Schnittdarstellungen eines Wafers in verschiedenen Verfahrensstadien bei der Herstellung eines optoelektronischen Bauelements mit wellenlängenkonvertierender Vergussmasse gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel.
  • In den verschiedenen Ausführungsbeispielen sind gleiche oder gleichwirkende Bestandteile jeweils mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • Die 1 zeigt den grundsätzlichen Aufbau eines optoelektronischen Bauelements, insbesondere eines oberflächenmontierbaren optoelektronischen Bauelements gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • Ein Grundkörper 12 für ein optoelektronisches Bauelement 10 wird durch Umspritzen eines Leadframes 14 mit einem geeigneten Kunststoffmaterial, zum Beispiel ein gefülltes Epoxidharz, unter Formung eines Gehäuses gebildet. Das Gehäuse 12 weist von einer Vorderseite her eine Ausnehmung 16 auf, in der ein LED-Chip 18 angeordnet und mit den elektrischen Anschlüssen 14A, 14B des Leadframes 14 (den Leadframe- anschlüssen) elektrisch leitend verbunden wird. Der LED-Chip ist beispielsweise mittels eines elektrisch leitenden Klebstoffes mit einem seiner Kontakte auf das Leadframe geklebt. Ein zweiter Kontakt ist mittels eines Bonddrahtes 20 mit dem Leadframe elektrisch verbunden.
  • Innenflächen 16A der Ausnehmung 16 des Gehäuses 12 sind vorzugsweise schräg ausgebildet, wie dies in 1 gezeigt ist. Durch die Auswahl eines geeigneten Materials für den Grundkörper 12 mit einem hohen Reflexionsvermögen können diese schrägen Innenflächen 16A zudem als Reflektoren dienen, um die Abstrahlleistung des optoelektronischen Bauelements zu erhöhen und/oder die Abstrahlcharakteristik wunschgemäß zu gestalten.
  • Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung nicht nur auf die in 1 dargestellte Toplooker-Konstruktion des ersten Ausführungsbeispiels beschränkt ist. Insbesondere können alternativ auch optoelektronische Bauelemente mit Sidelooker-Konstruktion unter Verwendung der erfindungsgemäßen Maßnahme aufgebaut werden.
  • Der LED-Chip 18 ist in einer für eine vom LED-Chip ausgesandten elektromagnetischen Strahlung durchlässigen, wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse 22 (strahlungsdurchlässiges Matrixmaterial + Konverterstoff) eingebettet. Die Vergussmasse 22 besitzt eine lokal variierende Masseverteilung, die ei ner inhomogenen Abstrahlcharakteristik des LED-Chips 18 angepasst ist. Dies wird bei der Herstellung des optoelektronischen Bauelements 10 auf die folgende Weise erreicht:
    Für die Vergussmasse 22 wird ein transparentes Material gewählt, das bei der von dem LED-Chip 18 emittierten Strahlung härtet. Die transparente Vergussmasse enthält ferner Konversionsstoff zur Umwandlung der Wellenlänge einer von dem LED-Chip 18 emittierten Strahlung. Die Konversionsstoffe sind in der transparenten Vergussmasse vorzugsweise gleichmäßig verteilt. Ferner können der transparenten Vergussmasse auch weitere Füllstoffe und dergleichen beigemengt sein.
  • Als Konversionsstoff wird zum Beispiel ein anorganischer oder organischer Leuchtstoff oder eine Mischung davon verwendet.
  • Insbesondere kann in einem strahlungsdurchlässigen Epoxidharz als Matrixmaterial ein anorganisches Leuchtstoffpigmentpulver mit Leuchtstoffpigmenten der allgemeinen Zusammensetzung A3B5X12:M, wie Y3Al5O12:Ce, Tb3Al5O12:Ce, (Y, Tb)3Al5O12:Ce, (Y, Gd)3Al5O12:Ce etc. dispergiert sein. Die vorliegende Erfindung ist aber keineswegs auf diese speziellen Materialien beschränkt; vielmehr können der transparenten Vergussmasse. grundsätzlich beliebige für den jeweiligen Zweck geeignete Konversionsstoffe beigemengt sein.
  • Die vorbereitete Vergussmasse 22 mit dem/den Konversionsstoff/en 24 wird in die Ausnehmung 16 des Gehäuses 12 gefüllt. Anschließend wird der LED-Chip 18 über die Leadframeanschlüsse 14A, 14B betrieben, so dass er Strahlung emittiert und die Vergussmasse 22 härtet. Hierbei erfolgt die Härtung automatisch entsprechend der lokal variierenden inhomogenen Abstrahlcharakteristik des LED-Chips 18, so dass eine lokal variierende Masseverteilung der Vergussmasse 22 entsteht, die der Abstrahlcharakteristik des LED-Chips 18 entspricht. Nach dem Härten der Vergussmasse 22 werden verbleibende, nicht ge härtete Anteile der Vergussmasse 22 entfernt. Dies kann zum Beispiel mittels Lösungsmitteln, Oxidation, thermischer Umwandlung oder dergleichen erfolgen.
  • Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, dass die in 1 dargestellte lokal variierende Masseverteilung der wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse 22 über dem LED-Chip 18 stark schematisiert dargestellt ist, um das Grundprinzip der vorliegenden Erfindung zu veranschaulichen. Die gezeigte Verteilung entspricht im allgemeinen nicht der tatsächlichen Masseverteilung der Vergussmasse 22 bzw. der tatsächlichen Abstrahlcharakteristik des LED-Chips 18. Änderungen der Masseverteilung entstehen zum Beispiel durch verschiedene Chipkonstruktionen oder durch verschiedene Konstruktionen der reflektierenden Seitenwände 16A der Ausnehmung 16.
  • Nach dem Entfernen der verbleibenden, nicht gehärteten Vergussmasse 22 wird in die Ausnehmung 16 des Gehäuses 12 eine weitere Vergussmasse 26 aus einem strahlungsdurchlässigen Material eingefüllt, so dass die weitere Vergussmasse 26 den LED-Chip mit der Vergussmasse 22 in der Ausnehmung 16 umhüllt. Die weitere Vergussmasse 26 besteht vorzugsweise wie die Vergussmasse 22 beispielsweise aus einem Epoxidharz oder aus Silikonharz. Durch das Vorsehen der weiteren Vergussmasse 26 wird die inhomogene Schichtdicke der Vergussmasse 22 auf dem LED-Chip ausgeglichen und eine bessere optische Abstrahlcharakteristik des optoelektronischen Bauelements erzielt. Weiterhin werden hierdurch optische Effekte verringert.
  • Anhand von 2 wird nun ein zweites Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Bauelements mit wellenlängenkonvertierender Vergussmasse gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Grundform des optoelektronischen Bauelements dieses Ausführungsbeispiels ist zum Beispiel aus der eingangs bereits genannten WO 01/50540 A1 bekannt. In dieser Druck schrift wird auch ein Verfahren zur Herstellung des optoelektronischen Bauelements, insbesondere das Bilden des Kunststoff-Formkörpers beschrieben.
  • Das optoelektronische Bauelement 10' weist einen Leadframe 14 mit zwei Leadframeanschlüssen 14A und 14B auf. Auf einen Leadframeanschluss 14A wird ein LED-Chip 18 elektrisch leitend montiert, und der LED-Chip 18 wird durch einen Bonddraht 20 mit dem anderen Leadframeanschluß 14B elektrisch leitend verbunden. Der LED-Chip 18 ist mit einer strahlungsdurchlässigen Vergussmasse 22 mit Konversionsstoff 24 beschichtet. Der Aufbau, die Zusammensetzung und die Ausbildung der wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse 22 entsprechen denen des oben anhand von 1 beschriebenen ersten Ausführungsbeispiels, weshalb an dieser Stelle auf eine nochmalige Erläuterung verzichtet wird.
  • Der Leadframe 14 und der in der wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse 22 eingebettete LED-Chip 18 sind mit einer transparenten Kunststoff-Pressmasse 28 umformt, die dem Formkörper des herkömmlichen Bauelements entspricht und aus der je ein Leadframeanschluss 14A, 14B an zwei gegenüberliegenden Seitenflächen heraus ragt. Innerhalb der transparenten Kunststoff-Pressmasse 28 weist jeder der Leadframeanschlüsse 14A, 14B vorzugsweise eine S-artige Biegung auf, wie dies in 2 dargestellt ist, um eine bessere Montierbarkeit des optoelektronischen Bauelements zu erzielen.
  • Alternativ kann ein LED-Chip 18 anstatt auf einem Leadframe auf einem elektrisch isolierenden Träger mit auf diesem aufgebrachten elektrischen Leiterbahnen angeordnet sein, wobei der LED-Chip 18 mit den elektrischen Leiterbahnen elektrisch verbunden ist, mit einer oben beschriebenen Vergussmasse 22 mit Konversionsstoff nach der oben beschriebenen Weise zumin dest teilweise beschichtet ist und der LED-Chip 18 einschließlich Vergussmasse 22 mit einem strahlungsdurchlässigen Umhüllungsmaterial, beispielsweise einem Epoxidharz oder einem Silikonharz umhüllt ist. Der Aufbau, die Zusammensetzung und die Ausbildung der wellenlängenkonvertierenden Vergussmasse 22 entsprechen denen des oben anhand von 1 beschriebenen ersten Ausführungsbeispiels, weshalb an dieser Stelle auf eine nochmalige Erläuterung verzichtet wird.
  • Als drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird schließlich anhand der 3a bis 3e ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements beschrieben, bei der das Aufbringen der Vergussmasse auf „Wafer-Level" erfolgt.
  • Dieses anhand von 3 beschriebene Verfahren der vorliegenden Erfindung ist eine Weiterentwicklung der Beschichtung auf Wafer-Level, die in der weiter oben bereits genannten deutschen Patentanmeldung DE 10257664 A1 der Anmelderin zur vorliegenden Erfindung beschrieben ist.
  • 3a zeigt einen Wafer 30, der ein Substrat 32 und eine epitaktische Halbleiterschichtfolge 34 mit einer strahlungsemittierenden aktiven Zone umfasst. Auf dem Wafer 30 sind in einem Chipraster jeweils vorderseitig elektrische Kontaktflächen 36 aufgebracht. Im Verfahrensschritt von 3b wird eine Erhöhung der elektrischen Kontakte erreicht, indem ein elektrisch leitfähiges Material 38 auf die elektrische Kontaktfläche 36 aufgebracht wird. Das elektrisch leitfähige Material 38 ist beispielsweise etwa ellipsoidförmig und kann zum Beispiel aus Gold bestehen.
  • Anschließend wird auf den Wafer 30 eine transparente wellenlängenkonvertierende Vergussmasse 22'' aufgebracht. Diese transparente Vergussmasse 22'' enthält Konversionsstoff(e) 24'' und entspricht in Zusammensetzung und Wirkungsweise der oben anhand des ersten Ausführungsbeispiels von 1 beschriebenen transparenten Vergussmasse 22.
  • Nach dem Entfernen der verbleibenden, nicht-ausgehärteten Vergussmasse 22'' zum Beispiel in der oben angegebenen Weise wird der Wafer 30, wie in 3d dargestellt, mit einer weiteren Vergussmasse 26'' beschichtet. Nach dem Härten auch der weiteren Vergussmasse 26'' werden die aufgebrachten Schichten zum Beispiel mittels Schleifen (40) abgedünnt, wie in 3e veranschaulicht. Sobald das elektrisch leitende Material 38 durch das Abdünnen freigelegt ist, ist eine gezielte elektrische Kontaktierung und Anlegen einer Spannung an Bereiche einzelner LED-Chips 10'' möglich. Dies ermöglicht ein Ermitteln des Farbortes der ausgesendeten Strahlung mittels eines Spektrometers, woraufhin LED-Chips 10'' aus dem Waferverbund 30 entlang von Trennungslinien vereinzelt und sortiert werden können.

Claims (18)

  1. LED-Chip mit einem Konversionsstoff (24) zum Konvertieren einer vom LED-Chip ausgesandten Strahlung einer ersten Wellenlänge in Strahlung einer zweiten Wellenlänge, der in einem Matrixmaterial eingebettet ist, das für Strahlung der ersten Wellenlänge und Strahlung der zweiten Wellenlänge zumindest teilweise durchlässig ist, wobei das Matrixmaterial (22) ein Material aufweist, das bei einer von dem LED-Chip (18) emittierten Strahlung härtend ist; dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial (22) eine Masseverteilung um den LED-Chip besitzt, welche der Abstrahlcharakteristik des LED-Chips (18) entspricht.
  2. LED-Chip nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Konversionsstoff (24) eine Mehrzahl von unterschiedlichen organischen und/oder anorganischen Leuchtstoffen enthält, die bei unterschiedlichen Wellenlängen absorbieren und/oder reemittieren.
  3. LED-Chip nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 2. dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial ein Reaktionsharz enthält.
  4. LED-Chip nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial ein Epoxidharz enthält.
  5. Optoelektronisches Bauelement (10), mit einem Grundkörper oder Gehäuse (12) mit wenigstens einer Ausnehmung (16), einem Leadframe (14) mit in die Ausnehmung (16) hinein ragenden Leadframeanschlüssen (14A, 14B), wenigstens einem in der Ausnehmung (16) des Gehäuses (12) angeordneten und auf dem Leadframe (14) montierten und mit den Leadframeanschlüssen (14A, 14B) elektrisch verbundenen LED-Chip (18) und einem den wenigstens einen LED-Chip (18) in der Ausnehmung (16) einbettenden Matrixmaterial (22) aus einem für Strahlung des LED- Chips zumindest teilweise durchlässigen Material, wobei das Matrixmaterial (22) mindestens einen Konversionsstoff (24) zum Umwandeln der Wellenlänge der von dem wenigstens einen LED-Chip 18 erzeugten Strahlung enthält, das Matrixmaterial (22) ein bei der von dem LED-Chip (18) erzeugten Strahlung härtendes Material aufweist; dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial (22) eine über den LED-Chip lokal variierende Masseverteilung besitzt, welche der lokal variierenden Abstrahlcharakteristik des wenigstens einen LED-Chips (18) entspricht.
  6. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenwände (16A) der Ausnehmung (16) in dem Gehäuse (12) als Reflektoren ausgebildet sind.
  7. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass in der Ausnehmung (16) des Gehäuses (12) eine weitere Vergussmasse (26) aus einem strahlungsdurchlässigen Material vorgesehen ist, welches das Matrixmaterial (22) mit dem Konversionsstoff in der Ausnehmung (16) umhüllt.
  8. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial (22) ein Reaktionsharz, insbesondere ein Epoxidharz enthält.
  9. Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements (10), mit den Schritten: – Bereitstellen eines Leadframes (14) mit Leadframeanschlüssen (14A, 14B); – Ausbilden eines Grundkörpers oder Gehäuses (12) mit wenigstens einer Ausnehmung (16), in welche die Leadframeanschlüsse (14A, 14B) hinein ragen; – Montieren wenigstens eines LED-Chips (18) auf dem Leadframe (14) in der Ausnehmung (16) und elektrisches Verbinden des wenigstens einen LED-Chips mit den Leadframeanschlüssen (14A, 14B); – Einfüllen von Matrixmaterial (22) aus einem strahlungsdurchlässigen und bei einer von dem LED-Chip (18) emittierten Strahlung härtenden Material in die Ausnehmung(16), wobei das Matrixmaterial (22) einen Konversionsstoff (24) zum Umwandeln der Wellenlänge der von dem wenigstens einen LED-Chip (18) erzeugten Strahlung enthält; – Betreiben des wenigstens einen LED-Chips (18), so dass dieser Strahlung emittiert und das Matrixmaterial (22) härtet; und – Entfernen des verbleibenden nicht-gehärteten Matrixmaterials.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Entfernen des verbleibenden, nicht-gehärteten Matrixmaterials in die Ausnehmung (16) ein weiteres Vergussmaterial (26) aus einem strahlungsdurchlässigen Material derart gefüllt wird, dass das weitere Vergussmaterial (26) den LED-Chip einschließlich Matrixmaterial mit Konversionsstoff in der Ausnehmung (16) einbettet.
  11. Optoelektronisches Bauelement (10'), mit einem Leadframe (14) mit Leadframeanschlüssen (14A, 14B), wenigstens einem auf dem Leadframe (14) montierten und mit den Leadframeanschlüssen (14A, 14B) elektrisch verbundenen LED-Chip (18), und einem Formkörper (28) aus einem strahlungsdurchlässigen Material, der den Leadframe (14) und den wenigstens einen LED-Chip (18) derart umformt, dass die Leadframeanschlüsse (14A, 14B) aus dem Formkörper (28) heraus ragen, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine LED-Chip (18) mit einem Matrixmaterial (22) aus einem strahlungsdurchlässigen Material beschichtet ist, wobei das Matrixmaterial einen Konversionsstoff (24) zum Umwandeln der Wellenlänge einer von dem LED-Chip (18) emittierten Strahlung enthält und ein bei einer von dem LED-Chip (18) erzeugten Strahlung härtendes Material aufweist, und eine lokal variierende Masseverteilung entsprechend der lokal variierenden Abstrahlcharakteristik des LED-Chips (18) besitzt.
  12. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper (28) aus einer Kunststoff-Pressmasse gefertigt ist.
  13. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 11. bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial (22) ein Reaktionsharz, insbesondere ein Epoxidharz oder ein Silikonharz enthält.
  14. Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements (10'), mit den Schritten: – Bereitstellen eines Leadframes (14) mit Leadframeanschlüssen (14A, 14B); – Montieren wenigstens eines LED-Chips (18) auf dem Leadframe (14) und elektrisches Verbinden des wenigstens einen LED-Chips (18) mit den Leadframeanschlüssen (14A, 14B); – Umhüllen des LED-Chips (18) mit einem Matrixmaterial (22). aus einem strahlungsdurchlässigen und bei einer von dem LED-Chip (18) erzeugten Strahlung härtenden Material, wobei das Matrixmaterial (22) einen Konversionsstoff (24) zum Umwandeln der Wellenlänge einer von dem LED-Chip (18) erzeugten Strahlung enthält; – Betreiben des LED-Chips (18), sodass dieser Strahlung emittiert und das Matrixmaterial (22) härtet; – Entfernen eines verbleibenden, nicht gehärteten Matrixmaterials (22); – Umformen des Leadframes (14) und des wenigstens einen in dem Matrixmaterial (22) eingebetteten LED-Chips (18) mit einer transparenten Kunststoff-Pressmasse derart; dass die Leadframeanschlüsse (14A, 14B) aus dem so geformten Körper heraus ragen.
  15. Optoelektronisches Bauelement (10'), mit einem Trägerkörper mit elektrischen Leiterbahnen, wenigstens einem auf dem Trägerkörper oder einer Leiterbahn montierten und mit den Leiterbahnen elektrisch verbundenen LED-Chip (18), und einem Formkörper (28) aus einem strahlungsdurchlässigen Material, der den LED-Chip (8) umhüllt, wobei der wenigstens eine LED-Chip (18) mit einem Matrixmaterial (22) aus einem strahlungsdurchlässigen Material beschichtet ist und das Matrixmaterial einen Konversionsstoff (24) zum Umwandeln der Wellenlänge einer von dem LED-Chip (18) emittierten Strahlung enthält und ein bei einer von dem LED-Chip (18) erzeugten Strahlung härtendes Material aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Matrixmaterial eine über den LED-Chip (8) lokal variierende Masseverteilung entsprechend der lokal variierenden Abstrahlcharakteristik des LED-Chips (18) besitzt.
  16. Optoelektronisches Bauelement nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper (28) aus einer Kunststoff-Pressmasse gefertigt ist.
  17. Optoelektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 15 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Vergussmasse (22) ein Reaktionsharz, insbesondere ein Epoxidharz oder ein Silikonharz enthält.
  18. Verfahren zur Herstellung von LED-Chips mit den Schritten: – Bereitstellen eines Wafers (30) mit einer Halbleiterschichtfolge (34) mit strahlungserzeugender aktiver Zone, auf dem vorderseitig mehrere elektrische Kontaktflächen (36) vorgesehen sind; – Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Materials (38) auf die elektrischen Kontaktflächen (36); – Aufbringen eines Matrixmaterials (22'') aus einem strahlungsdurchlässigen und bei einer von der Halbleiterschichtfolge (34) emittierten Strahlung aushärtenden Material, wobei das Matrixmaterial (22'') einen Konversionsstoff (24'') zum Umwandeln der Wellenlänge einer von der Halbleiterschichtfolge (34) emittierten Strahlung enthält, auf den Wafer (30); – Härten des Matrixmaterials (22'') entsprechend der lokal variierenden Abstrahlcharakteristik der Halbleiterschichtfolge (34); – Entfernen des verbleibenden, nicht gehärteten Matrixmaterials (22''); – Beschichten des Wafers (30) mit einem weiteren strahlungsdurchlässigen Material (26''); und – Abtragen des weiteren strahlungsdurchlässigen Materials (26'') mindestens bis zur Freilegung des elektrisch leitfähigen Materials (38).
DE10261672A 2002-12-31 2002-12-31 LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips Expired - Fee Related DE10261672B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10261672A DE10261672B4 (de) 2002-12-31 2002-12-31 LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10261672A DE10261672B4 (de) 2002-12-31 2002-12-31 LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10261672A1 DE10261672A1 (de) 2004-07-22
DE10261672B4 true DE10261672B4 (de) 2005-11-24

Family

ID=32519511

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10261672A Expired - Fee Related DE10261672B4 (de) 2002-12-31 2002-12-31 LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10261672B4 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004047727B4 (de) * 2004-09-30 2018-01-18 Osram Opto Semiconductors Gmbh Lumineszenzdiodenchip mit einer Konverterschicht und Verfahren zur Herstellung eines Lumineszenzdiodenchips mit einer Konverterschicht

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997050132A1 (de) * 1996-06-26 1997-12-31 Siemens Aktiengesellschaft Lichtabstrahlendes halbleiterbauelement mit lumineszenzkonversionselement
WO1998012757A1 (de) * 1996-09-20 1998-03-26 Siemens Aktiengesellschaft Wellenlängenkonvertierende vergussmasse, deren verwendung und verfahren zu deren herstellung
DE19640006A1 (de) * 1996-09-27 1998-04-02 Siemens Ag Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements
WO2001050540A1 (de) * 1999-12-30 2001-07-12 Osram Opto Semiconductors Gmbh Oberflächenmontierbare leuchtdioden-lichtquelle und verfahren zur herstellung einer leuchtdioden-lichtquelle
DE10257664A1 (de) * 2002-12-10 2004-07-08 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Leuchtdioden-Lichtquelle mit Lumineszenz-Konversionselement
DE10258193A1 (de) * 2002-12-12 2004-07-15 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen von Leuchtdioden-Lichtquellen mit Lumineszenz-Konversionselement

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10006738C2 (de) * 2000-02-15 2002-01-17 Osram Opto Semiconductors Gmbh Lichtemittierendes Bauelement mit verbesserter Lichtauskopplung und Verfahren zu seiner Herstellung
JP3589187B2 (ja) * 2000-07-31 2004-11-17 日亜化学工業株式会社 発光装置の形成方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997050132A1 (de) * 1996-06-26 1997-12-31 Siemens Aktiengesellschaft Lichtabstrahlendes halbleiterbauelement mit lumineszenzkonversionselement
WO1998012757A1 (de) * 1996-09-20 1998-03-26 Siemens Aktiengesellschaft Wellenlängenkonvertierende vergussmasse, deren verwendung und verfahren zu deren herstellung
DE19640006A1 (de) * 1996-09-27 1998-04-02 Siemens Ag Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements
WO2001050540A1 (de) * 1999-12-30 2001-07-12 Osram Opto Semiconductors Gmbh Oberflächenmontierbare leuchtdioden-lichtquelle und verfahren zur herstellung einer leuchtdioden-lichtquelle
DE10257664A1 (de) * 2002-12-10 2004-07-08 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Leuchtdioden-Lichtquelle mit Lumineszenz-Konversionselement
DE10258193A1 (de) * 2002-12-12 2004-07-15 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen von Leuchtdioden-Lichtquellen mit Lumineszenz-Konversionselement

Also Published As

Publication number Publication date
DE10261672A1 (de) 2004-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102010053362B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines strahlungsemittierenden Halbleiterchips, strahlungsemittierender Halbleiterchip und strahlungsemittierendes Bauelement
EP2282354B1 (de) Licht abstrahlendes Halbleiterbauelement mit Lumineszenzkonversionselement
EP1259990B1 (de) Verfahren zur herstellung eines lichtabstrahlenden halbleiterkörpers mit lumineszenzkonversionselement
EP1917686B1 (de) Verfahren zum herstellen eines lumineszenzdiodenchips und lumineszenzdiodenchip
DE10258193B4 (de) Verfahren zum Herstellen von Leuchtdioden-Lichtquellen mit Lumineszenz-Konversionselement
DE102013207308B4 (de) Verfahren zum Herstellen einer optoelektronischen Baugruppe und optoelektronische Baugruppe
DE10131698A1 (de) Oberflächenmontierbares strahlungsemittierendes Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102010063760B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements und optoelektronisches Bauelement
DE10301676A1 (de) Beschichteter Phosphorfüllstoff und Verfahren zum Bilden eines beschichteten Phosphorfüllstoffs
WO2019145422A9 (de) Optoelektronischer halbleiterchip, optoelektronisches bauelement und dessen verfahren zur herstellung
EP1700349B1 (de) Verfahren zum herstellen einer mehrzahl strahlungsemittierender und/oder strahlungsempfangender halbleiterbauelemente
WO2002052615A2 (de) Strahlungsemittierendes halbleiterbauelement mit lumineszenzkonversionselement
WO2019034737A1 (de) Herstellung einer halbleitervorrichtung
EP2486604B1 (de) Kontaktierung eines optoelektronischen halbleiterbauteils durch konversionselement
DE202004005228U1 (de) Strahlungsemittierendes und/oder strahlungsempfangendes Halbleiterbauelement
DE102014114914A1 (de) Herstellung eines optoelektronischen Bauelements
DE102013220674A1 (de) Leuchtvorrichtung
EP2195863B1 (de) Verfahren zum herstellen eines optoelektronischen bauelements und optoelektronisches bauelement
DE10261672B4 (de) LED-Chip mit Konversionsstoff, optoelektronisches Bauelement mit einem derartigen LED-Chip und Verfahren zum Herstellen eines derartigen LED-Chips
WO2018215268A1 (de) Strahlungsemittierendes bauelement und verfahren zur herstellung eines strahlungsemittierenden bauelements
WO2019011863A1 (de) Verfahren zur herstellung eines optoelektronischen bauelements und optoelektronisches bauelement
DE10257664A1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Leuchtdioden-Lichtquelle mit Lumineszenz-Konversionselement
WO2012175385A1 (de) Led-leuchtvorrichtung und verfahren zum herstellen einer led-leuchtvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee