DE10245870A1

DE10245870A1 - Measurement table, especially for coordinate measurement device, has plane surface with first region(s) with attachment points and second non-metallic cast material region(s) with no attachment points

Info

Publication number: DE10245870A1
Application number: DE2002145870
Authority: DE
Inventors: Jörg Walther; Gerhard Band
Original assignee: Carl Zeiss AG
Current assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Priority date: 2002-09-30
Filing date: 2002-09-30
Publication date: 2004-04-01

Abstract

The measurement table (12) has a plane surface with at least one attachment point (23,24) for positional accurate fixing of a workpiece. The plane surface has at least one first region (13a,13b) consisting of a first material with at least some the attachment points and at least one second region (25a-25c) with no attachment points of non-metallic cast material. AN Independent claim is also included for the following a method of manufacturing an inventive measurement table.

Description

Die Erfindung betrifft einen Messtisch für ein Messgerät, insbesondere für ein Koordinatenmessgerät, umfassend eine plane Oberfläche und hierin vorgesehene Befestigungsstellen zur lagegenauen Fixierung eines Werkstückes.The invention relates to a measuring table for a measuring device, in particular for a Coordinate measuring machine, comprising a flat surface and fastening points provided here for precise positioning of a workpiece.

Ein derartiges Koordinatenmessgerät ist aus dem Stand der Technik bereits hinlänglich bekannt. Beispielsweise zeigt die DE 195 26 773 A1 ein solches Koordinatenmessgerät mit einem Messtisch, an dessen Seite Führungen befestigt sind, die eine Ständermechanik entlang der Seite des Messtisches führen. Das Koordinatenmessgerät ist hierbei in einer sogenannten Unterflurversion ausgeführt, bei der der Messtisch in einer Aussparung eines Hallenbodens vorgesehen ist, so dass die Oberfläche des Messtisches, auf der das zu vermessende Werkstück angeordnet wird, bündig mit dem restlichen Hallenboden abschließt und damit begehbar ist. Auch wenn dies nicht explizit dargestellt ist, sind in dem betreffenden Messtisch Befestigungsstellen zur lagegenauen Fixierung eines Werkstückes vorgesehen. Derartige Befestigungsstellen sind üblicherweise Gewinde, die in der Messtischoberfläche vorgesehen sind. An den Gewinden können hierbei unterschiedliche Mechanismen zur Fixierung eines Werkstückes angeschraubt werden. Beispielsweise können Ständerungen fixiert werden, auf denen das zu vermessende Werkstück, wie beispielsweise eine tiefgezogene Autotür, befestigt werden kann. U einem anderen Ausführungsbeispiel kann eine Platte festgeschraubt werden, auf der dann speziell für das Betreffende zu vermessende Werkstück entsprechende Befestigungsvorrichtungen vorgesehen sind.Such a coordinate measuring machine is already well known from the prior art. For example, the DE 195 26 773 A1 such a coordinate measuring machine with a measuring table, on the side of which guides are attached which guide a stand mechanism along the side of the measuring table. The coordinate measuring machine is designed in a so-called underfloor version, in which the measuring table is provided in a recess in a hall floor, so that the surface of the measuring table on which the workpiece to be measured is arranged is flush with the rest of the hall floor and can therefore be walked on. Even if this is not explicitly shown, fastening points are provided in the relevant measuring table for the precise fixing of a workpiece. Such attachment points are usually threads that are provided in the surface of the measuring table. Different mechanisms for fixing a workpiece can be screwed onto the threads. For example, changes can be fixed on which the workpiece to be measured, such as a deep-drawn car door, can be attached. In another exemplary embodiment, a plate can be screwed on, on which corresponding fastening devices are then provided specifically for the workpiece to be measured.

Die Befestigung eines solchen herkömmlichen Messtisches ist rein schematisch in 2 gezeigt. Wie hieraus zu sehen, wird zunächst ein Fundament (1) über entsprechende Schwingungsdämpfer (2) auf dem Boden einer Aussparung (3) eines Hallenbodens (4) gelagert. Auf dem Fundament (1) wird dann über höhenverstellbare Fixatoren (5) ein aus Stahl hergestellter Messtisch (6) befestigt, wobei die Fixatoren hierbei derart in der Höhe eingestellt werden, dass der betreffende Messtisch (6) weitgehend plan mit dem umgebenden Hallenboden (4) abschließt und nahezu horizontal ausgerichtet ist. Um einen Messtisch (6) derartig aufstellen zu können sind erhebliche Nacharbeiten bei der Ausrichtung über die höhenverstellbaren Fixatoren (5) am Einsatzort erforderlich.The attachment of such a conventional measuring table is purely schematic in 2 shown. As can be seen from this, first a foundation ( 1 ) via appropriate vibration dampers ( 2 ) on the bottom of a recess ( 3 ) of a hall floor ( 4 ) stored. On the foundation ( 1 ) is then adjusted using height-adjustable fixators ( 5 ) a measuring table made of steel ( 6 ) attached, the fixators being adjusted in height so that the relevant measuring table ( 6 ) largely flat with the surrounding hall floor ( 4 ) completes and is aligned almost horizontally. Around a measuring table ( 6 ) To be able to set up in this way is considerable reworking of the alignment using the height-adjustable fixators ( 5 ) required on site.

Hiervon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen entsprechenden Messtisch mit Befestigungselementen oben angegebener Art anzugeben, der erheblich einfacher hergestellt werden kann, sowie ein zugehöriges Herstellungsverfahren für einen solchen Messtisch anzugeben.The invention is based on this based on the task of a corresponding measuring table with fasteners Specify above type, which is made much easier can be, as well as an associated Manufacturing process for to specify such a measuring table.

Die Aufgabe wird gelöst durch einen Messtisch gemäß dem unabhängigen Anspruch 1 und ein zugehöriges Herstellungsverfahren gemäß Anspruch 7 zur Herstellung eines solchen Messtisches. Die Besonderheit des Messtisches ist hierbei darin zu sehen, dass die plane Oberfläche des Messtisches wenigstens einen ersten Bereich aus einem ersten Material umfasst, in dem zumindest ein Teil der Befestigungsstellen vorgesehen ist und die plane Oberfläche des Messtisches ferner wenigstens einen zweiten Bereich umfasst, der keine Befestigungsstellen aufweist, wobei dieser zweite Bereich aus einem zweiten, nichtmetallischen Vergussmaterial hergestellt ist.The task is solved by a measuring table according to the independent claim 1 and an associated one Manufacturing method according to claim 7 for the production of such a measuring table. The peculiarity of the The measuring table can be seen in the fact that the flat surface of the Measuring table at least a first area made of a first material comprises, in which at least part of the fastening points is provided is and the flat surface of the measuring table further comprises at least one second area, which has no attachment points, this second area made from a second, non-metallic potting material is.

Obwohl man aus praktische Gründen üblicherweise mehrere Bauteile verwenden wird, in denen auch jeweils mehrere Befestigungsstellen zur Befestigung eines Werkstückes vorgesehen sind, reicht prinzipiell zur Ausführung der Erfindung auch nur ein einziges Bauelement mit nur einer einzigen Befestigungsstelle.Although usually for practical reasons will use several components, each of which also has several attachment points for fastening a workpiece are in principle only sufficient to carry out the invention a single component with only a single attachment point.

Durch die besagte Maßnahme vereinfacht sich die Herstellung des Messtisches ganz erheblich, da hierbei nur noch diejenigen Bauelemente exakt ausgerichtet werden müssen, die die Befestigungsstellen aufweisen. Diese werden so ausgerichtet, dass diese sich in einer horizontalen Ebene befinden. Die verbleibenden gegenüber der besagten Ebene tiefer liegenden Bereiche des Messtisches, an denen dann kein Bauelement mit Befestigungsstellen vorgesehen ist, müssen hingegen nur noch mit dem Vergussmaterial aufgefüllt werden. Auf Grund der Schwerkraft ergibt sich hierbei eine nahezu ideal ebene, horizontal ausgerichtete Oberfläche des Messtisches. Da die ausgegossenen Bereiche nicht der lagegenauen Fixierung von Werkstücken dienen, spielt es hierbei keinerlei Rolle, wenn diese Bereiche nicht ganz exakt gefertigt sind.The measure mentioned simplifies the production of the measuring table quite considerably, since only this those components must be exactly aligned have the attachment points. These are aligned so that they are in a horizontal plane. The remaining across from areas of the measuring table lying lower then no component with attachment points is provided, have to however, only be filled with the potting material. Due to gravity This results in an almost ideally level, horizontally aligned surface of the measuring table. Since the poured areas are not the exact location Fixation of workpieces serve, it doesn't matter if these areas don't are made exactly.

Dieser besagte erste Bereich, der nicht aus einem Vergussmaterial gefertigt ist, ist hierbei vorzugsweise aus einem Metall, wie beispielsweise Stahl oder Aluminium gefertigt. Alternativ könnte dieser besagte erste Bereich auch aus Stein, wie beispielsweise Granit oder aus kohlefaserverstärktem Kunststoff hergestellt sein. Die besagten Befestigungsstellen werden hierbei vorzugsweise als Gewinde ausgestaltet. Alternativ könnte es sich beispielsweise auch um Bohrungen handeln, in denen Stifte ähnlich wie Befestigungsdübel verankert werden können.This said first area, the is not made of a potting material, is preferred here made of a metal such as steel or aluminum. Alternatively, could this said first area also made of stone, such as Granite or made of carbon fiber reinforced plastic be made. The said attachment points are here preferably designed as a thread. Alternatively, it could are, for example, holes in which pins similar to fixing plugs can be anchored.

Der besagte zweite Bereich könnte beispielsweise aus Mineralguss oder Kunststoffguss gefertigt sein. Besonders geeignet hierzu ist die Vergussmasse, die für Industriefußböden verwendet wird, da diese einerseits relativ kostengünstig ist und andererseits relativ widerstandsfähig ist.The said second area could for example be made of mineral casting or plastic casting. Particularly suitable the potting compound used for industrial floors is because this is relatively inexpensive on the one hand and on the other hand relatively tough is.

Damit der Messtisch, wie beschrieben, gegossen werden kann, müssen die Bauelemente, in denen die Befestigungsstellen vorgesehen sind, auf einer Unterlage fixiert werden, damit das Vergussmaterial in die verbleibenden Zwischenräume eingefüllt werden kann. Man kann hierfür im Prinzip beispielsweise eine Platte vorsehen, auf der zunächst die mit den Befestigungselementen versehenen Bauteile befestigt und ausgerichtet werden und dann nach einer entsprechenden Verschalung die zwischen den Bauteilen mit den Befestigungselementen vorgesehenen Zwischenräume mit dem Vergussmaterial aufgefüllt werden. In einer vorteilhaften Weiterbildung des Messtisches können die die Befestigungselemente enthaltenden Bauteile direkt auf einem in den Hallenboden eingelassenen Fundament befestigt und ausgerichtet werden und die verbleibenden Zwischenräume nach entsprechender Verschalung mit der Vergussmasse aufgefüllt werden.So that the measuring table can be cast as described, the components in which the fastening points are provided must be fixed on a base so that the potting material can be filled into the remaining spaces. In principle, for example, a plate can be provided for this purpose, on which the plate with the components provided with the fastening elements are fastened and aligned and then, after a corresponding formwork, the spaces provided between the components with the fastening elements are filled with the potting material. In an advantageous development of the measuring table, the components containing the fastening elements can be fastened and aligned directly on a foundation embedded in the hall floor, and the remaining spaces can be filled with the casting compound after appropriate cladding.

Vorteilhafterweise ist die Unterlage, insbesondere das Fundament über Dämpfungselemente schwingungsgedämpft gelagert.The pad is advantageously especially the foundation over Damping elements mounted vibration damped.

Auch wenn sich der erfindungsgemäße Messtisch und das zugehörige Herstellungsverfahren besonders vorteilhaft für Messgeräte einsetzten lässt, die als Unterflurversion ausgestaltet sind, ist es selbstverständlich auch möglich, den erfindungsgemäßen Messtisch auf dem normalen Fußbodenniveau zu lagern. In diesem Fall wird vorteilhaft die Unterlage, auf der unter anderem die die Befestigungselemente enthaltenden Bauteile und die Vergussmasse vorgesehen werden, unmittelbar auf dem Hallenboden gelagert.Even if the measuring table according to the invention and the associated Manufacturing process can be used particularly advantageously for measuring devices that are designed as an underfloor version, it is of course also possible, the measuring table according to the invention at the normal floor level to store. In this case, the pad on which is advantageous among other things, the components containing the fasteners and the potting compound are provided, directly on the hall floor stored.

Weitere Vorteile und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus der Figurenbeschreibung. Hierin zeigt:Further advantages and further training the invention result from the description of the figures. Herein shows:

1: Ein Koordinatenmessgerät mit einem erfindungsgemäßen Messtisch (12) 1 : A coordinate measuring machine with a measuring table according to the invention ( 12 )

2: Ein herkömmlicher Aufbau eines Messtisches 2 : A conventional structure of a measuring table

3 , Ein erfindungsgemäßer Aufbau eines Messtisches (12) 3 , An inventive construction of a measuring table ( 12 )

4: Schematische Darstellung, wie die Bauelemente (13a, 13b) auf dem Fundament (11) befestigt und ausgerichtet werden 4 : Schematic representation of how the components ( 13a . 13b ) on the foundation ( 11 ) are attached and aligned

5: Schematische Darstellung eines Herstellungsverfahrens zur Herstellung eines Messtisches (12) 5 : Schematic representation of a manufacturing process for manufacturing a measuring table ( 12 )

1 zeigt ein Koordinatenmessgerät mit einem erfindungsgemäßen Messtisch (12). Der Messtisch (12) des Koordinatenmessgerätes ist hierbei in einer Aussparung (7) eines Hallenbodens (4) angeordnet, so dass die Oberfläche des Messtisches (12) bündig mit dem restlichen Hallenboden (4) abschließt und somit begehbar ist. Der Hallenboden (4) ist hierbei derart aufgerissen gezeichnet, dass der Messtisch (12) und die hieran beweglich geführte Mechanik (30) zu sehen ist. 1 shows a coordinate measuring machine with a measuring table according to the invention ( 12 ). The measuring table ( 12 ) of the coordinate measuring machine is in a recess ( 7 ) of a hall floor ( 4 ) arranged so that the surface of the measuring table ( 12 ) flush with the rest of the hall floor ( 4 ) completes and is therefore accessible. The hall floor ( 4 ) is drawn in such a way that the measuring table ( 12 ) and the mechanically guided mechanics ( 30 ) you can see.

Bevor der erfindungsgemäße Aufbau des Messtisches (12) beschrieben wird, soll zunächst die Funktion des Koordinatenmessgerätes beschrieben werden. So sind seitlich am Messtisch (12) zwei Führungen (14) und (15) auf einer am Messtisch (12) befestigten Abschlussplatte (26) fixiert, an denen in Richtung des Pfeiles (x) ein Fuß (17) einer Ständermechanik (30) beweglich gelagert ist. Der Fuß (17) trägt eine Säule (18), an der wiederum ein Kreuzschieber (19) in der mit dem Pfeil (z) bezeichneten Richtung beweglich geführt ist. Der Kreuzschieber (19) wiederum lagert einen horizontal auskragenden Messarm (20) in der mit dem Pfeil (y) bezeichneten Richtung beweglich. Am Ende des Messarms (20) ist ein Messtaster (21) befestigt, mit dem die Antastung an einem Werkstück detektiert werden kann. In den Bewegungsrichtungen (x, y, z) sind hierbei jeweils Maßstäbe vorgesehen, über die die Position des Fußes (17) in der mit dem Pfeil (x) bezeichneten Richtung, die Position des Kreuzschiebers (19) in der mit dem Pfeil (z) bezeichneten Richtung und die Position des Messarms (20) in der mit dem Pfeil (y) bezeichneten Richtung abgegriffen werden kann. Bei Berührung der Werkstückoberfläche mit dem Messtaster (21) wird hierbei ein Signal ausgelöst, das die Maßstabswerte der entsprechenden Maßstäbe ausliest und als Positionsmesswerte an einen hier nicht näher gezeigten Auswerterechner übergibt.Before the construction of the measuring table ( 12 ), the function of the coordinate measuring machine should first be described. So on the side of the measuring table ( 12 ) two tours ( 14 ) and (15) on one at the measuring table ( 12 ) attached end plate ( 26 ) on which a foot (in the direction of the arrow (x) ( 17 ) a stand mechanism ( 30 ) is movably supported. The foot ( 17 ) carries a pillar ( 18 ), on which in turn a cross slide ( 19 ) is movably guided in the direction indicated by the arrow (z). The cross slide ( 19 ) in turn supports a horizontally projecting measuring arm ( 20 ) movable in the direction indicated by arrow (y). At the end of the measuring arm ( 20 ) is a probe ( 21 ) with which the probing on a workpiece can be detected. In the directions of movement (x, y, z), scales are provided to determine the position of the foot ( 17 ) in the direction indicated by the arrow (x), the position of the cross slide ( 19 ) in the direction indicated by arrow (z) and the position of the measuring arm ( 20 ) can be tapped in the direction indicated by the arrow (y). When touching the workpiece surface with the probe ( 21 ) a signal is triggered which reads the scale values of the corresponding scales and transfers them as position measurement values to an evaluation computer (not shown here).

Im folgenden soll nunmehr der erfindungsgemäße Aufbau des Messtisches (12) auch unter der Bezugnahme auf 3 beschrieben werden, die rein schematisch den Aufbau nur des Messtisches (12) in der Aussparung (7) eines Hallenbodens (4) zeigt. Der Messtisch (12) weist ein Fundament (11) auf, welches aus Beton hergestellt ist und über drei Schwingungsdämpfer (9a, 9b, 9c) schwingungsgedämpft auf dem Boden (8) der Aussparung (7) im Hallenboden (4) gelagert ist. Der dritte Schwingungsdämpfer (9c) ist hierbei nicht zu sehen und befindet sich unter der rechten hinteren Ecke des Messtisches (12). Auf dem Fundament (11) sind hierbei zwei metallische Bauelemente (13a) und (13b) gelagert, in denen Befestigungsstellen (23, 24) vorgesehen sind, die hier beispielhaft als Gewinde ausgeführt sind und zur lagegenauen Fixierung eines Werkstückes dienen. Die Zwischenräume zwischen den Bauelementen (13a) und (13b) sind hierbei mit einem zweiten nichtmetallischen Vergussmaterial (25a), (25b) und (25c) aufgefüllt, welches näherungsweise eben mit der Oberseite der Bauteile (13a) und (13b) abschließt. Die Herstellung eines derartigen Messtisches erfolgt hierbei wie folgt (siehe auch 5): The structure of the measuring table according to the invention ( 12 ) also with reference to 3 are described, which are purely schematic of the structure of only the measuring table ( 12 ) in the recess ( 7 ) of a hall floor ( 4 ) shows. The measuring table ( 12 ) has a foundation ( 11 ), which is made of concrete and has three vibration dampers ( 9a . 9b . 9c ) vibration dampened on the floor ( 8th ) the recess ( 7 ) in the hall floor ( 4 ) is stored. The third vibration damper ( 9c ) is not visible here and is located under the right rear corner of the measuring table ( 12 ). On the foundation ( 11 ) are two metallic components ( 13a ) and ( 13b ) in which attachment points ( 23 . 24 ) are provided, which are designed here as threads and serve to fix a workpiece in the correct position. The gaps between the components ( 13a ) and ( 13b ) are combined with a second non-metallic potting material ( 25a ), ( 25b ) and ( 25c ) which is approximately level with the top of the components ( 13a ) and ( 13b ) completes. Such a measuring table is manufactured as follows (see also 5 ):

In einem ersten Schritt (27) wird das bereits fertig gegossene Fundament (11) über entsprechende Schwingungsdämpfer (9a, 9b, 9c) in der vorgefertigten Aussparung (7) im Hallenboden (4), beispielsweise einer Fertigungshalle, aufgestellt. In einem zweiten Schritt (28) werden auf dem Fundament (11) die Bauteile (13a) und (13b) mit den Befestigungsstellen (23, 24) zur lagegenauen Fixierung eines Werkstückes befestigt und ausgerichtet. Dazu werden die betreffenden Bauteile (13a) und (13b), wie 4 dies rein schematisch für das Bauteil (13a) an einem Ausschnitt darstellt, über Schrauben (32), die gleichmäßig über die Länge des Bauteils (13a, 13b) verteilt sind, in entsprechenden im Fundament (11) vorgesehenen Gewinden (35) festgezogen, wobei der Abstand der Bauteile (13a) und (13b) vom Fundament (11) über Stellschrauben (31) eingestellt werden kann, die mit in den Bauteilen (13a, 13b) vorgesehenen Gewinden (34) zusammenwirken. Über diese Stellschrauben (31) kann an einer Vielzahl von Punkten die exakte Höhe der Bauteile (13a und 13b) eingestellt werden, so dass die Bauteile (13a und 13b) so zueinander ausgerichtet werden können, dass deren Oberflächen näherungsweise in einer gemeinsamen horizontalen Ebene liegen. Hierdurch kann hochpräzise ein zu vermessendes Werkstück fixiert werden. In einem dritten Schritt (29) (siehe wieder 5) werden dann die verbleibenden tieferliegenden Bereiche neben den Bauelementen (13a) und (13b) mit einem nichtmetallischen Vergussmaterial (25a, 25b, 25c) aufgegossen und zwar derart, dass diese näherungsweise plan mit den Oberseiten der Bauelemente (13a) und (13b) fluchten. Dazu müssen zunächst die vier begrenzenden Seiten des Messtisches verschalt werden. Danach kann das Vergussmaterial eingefüllt werden, wobei sich die horizontale Lage völlig von selbst ergibt, da die Schwerkraft das Vergussmaterial in eine horizontale Lage bewegt.In a first step ( 27 ) the already finished foundation ( 11 ) via appropriate vibration dampers ( 9a . 9b . 9c ) in the prefabricated recess ( 7 ) in the hall floor ( 4 ), for example a production hall. In a second step ( 28 ) are on the foundation ( 11 ) the components ( 13a ) and ( 13b ) with the attachment points ( 23 . 24 ) fixed and aligned for precise positioning of a workpiece. The relevant components ( 13a ) and ( 13b ), how 4 this is purely schematic for the component ( 13a ) on a cutout, using screws ( 32 ) that are uniform over the length of the component ( 13a . 13b ) are distributed in corresponding in the foundation ( 11 ) provided threads ( 35 ) tightened, the distance between the components ( 13a ) and ( 13b ) from the foundation ( 11 ) via set screws ( 31 ) who set the one that can be found in the components ( 13a . 13b ) provided threads ( 34 ) work together. About these set screws ( 31 ) the exact height of the components ( 13a and 13b ) can be set so that the components ( 13a and 13b ) can be aligned so that their surfaces are approximately in a common horizontal plane. This allows a workpiece to be measured to be fixed with high precision. In a third step ( 29 ) (see again 5 ) the remaining lower areas next to the components ( 13a ) and ( 13b ) with a non-metallic potting material ( 25a . 25b . 25c ) poured in such a way that they are approximately flat with the tops of the components ( 13a ) and ( 13b ) align. To do this, the four delimiting sides of the measuring table must first be connected. The potting material can then be filled in, the horizontal position resulting completely automatically, since gravity moves the potting material into a horizontal position.

An dem so gefertigten Messtisch (12) kann dann beispielsweise die Ständermechanik (30) (siehe 1) befestigt werden, indem die Abschlussplatte (26) mit den vorfixierten Führungen (14 und 15) hieran festgeschraubt wird und die Ständermechanik (30) danach auf die Führungen (14 und 15) aufgesetzt wird. Natürlich können auch andere Mechaniken wie z.B. eine Portalmechanik oder eine Mechanik mit Drehgelenken hieran befestigt werden.At the measuring table ( 12 ) the stand mechanics ( 30 ) (please refer 1 ) are attached by the end plate ( 26 ) with the pre-fixed guides ( 14 and 15 ) is screwed onto this and the stand mechanism ( 30 ) then on the guided tours ( 14 and 15 ) is put on. Of course, other mechanisms such as a portal mechanism or a mechanism with swivel joints can also be attached to it.

Claims

Measuring table ( 12 ) for a measuring device, in particular a coordinate measuring device, comprising a flat surface with at least one fastening point provided therein ( 23 . 24 ) for precise location of a workpiece, characterized in that the flat surface of the measuring table - at least a first area ( 13a . 13b ) made of a first material, which at least a part of the total provided attachment points ( 23 . 24 ) and - at least one second area ( 25a . 25b . 25c ) which has no fastening points, this second region being produced from a second, non-metallic potting material.

Measuring table according to claim 1, characterized in that the first area is made of a metal.

Measuring table according to one of claims 1 or 2, characterized in that the fastening points ( 23 . 24 ) Are threads.

Measuring table according to one of the preceding claims, characterized characterized that the potting material mineral casting or a plastic casting is

Measuring table according to one of the preceding claims, characterized in that the first area and the second area on a common foundation ( 11 ) lie on.

Measuring table according to one of the preceding claims, characterized in that the foundation on damping elements ( 9a . 9b . 9c ) rests.

Method of making a measuring table ( 12 ) comprising the following process steps: - storage of a base on an underlying floor ( 8th ) - fastening and aligning at least one component ( 13a . 13b ) with at least one attachment point provided here ( 23 . 24 ) on the base in such a way that the top of the component lies in a horizontal plane - filling the areas of the measuring table that are lower than the plane with a non-metallic potting material.

A method according to claim 7, characterized in that before refilling the measuring table is connected with the potting material

Method according to one of claims 7 or 8, characterized in that the base is a foundation ( 11 ) is

A method according to claim 9, characterized in that the foundation vibration-damped on the underlying floor ( 8th ) is stored

Method according to one of the preceding claims 7 to 10, characterized in that the base, in particular the foundation ( 11 ) on one opposite the hall floor ( 4 ) lower ground ( 8th ) is stored.