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Die Erfindung betrifft ein Verfahren
zur Herstellung eines einen elektrischen Antrieb enthaltenden Mikroventils.
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Aus der
EP 0485739 A1 geht ein mehrschichtig
aufgebautes Mikroventil hervor, das einen Schichtkörper aufweist,
der sich aus mehreren aufeinanderliegenden Schichten zusammensetzt.
Unter den Schichten befinden sich mindestens eine eine Ventilöffnung aufweisende Öffnungsschicht
und eine ein bewegliches Ventilglied aufweisende Steuerschicht.
Durch integrierte Elektrodenflächen
wird ein elektrostatischer Antrieb gebildet, mit dem das Ventilglied
relativ zur Ventilöffnung
bewegt werden kann. Als Anschlusskontakte für die Elektroden dienen Elektrodenzuleitungen,
die als strukturierte Metallisierung ausgebildet sind, beispielsweise
durch Aufdampfen oder Sputtern von Aluminium. Die einzelnen Schichten
des Schichtkörpers
sind mittels bekannter Strukturierungsverfahren der Mikrosystemtechnik
hergestellt.
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Das bekannte Mikroventil besteht
im Wesentlichen aus dem erwähnten
Schichtkörper.
Es ist jedoch ein Aufbau anzustreben, bei dem der Schichtkörper in
einem Gehäuse
platziert ist, so dass die einzelnen Schichten geschützt sind
und auch elektrische und fluidische Anschlussmaßnahmen besser durchgeführt werden
können.
Dabei stellt sich allerdings das Problem, die für die Betätigung des Mikroventils erforderlichen
Anschlusskontakte auf einfache und präzise Weise bereitzustellen.
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Es ist die Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines Mikroventils vorzuschlagen,
mit dem die benötigten
Anschlusskontakte einfach und präzise
realisiert werden können.
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Gelöst wird diese Aufgabe durch
ein Verfahren zur Herstellung eines einen elektrischen Antrieb enthaltenden
Mikroventils, wobei das Mikroventil einen aus mehreren aufeinanderliegenden
Schichten bestehenden, mit einem eine Ventilelektronik aufweisenden
Elektronik-Chip bestückten
Schichtkörper enthält, der
in einem Ventilgehäuse
aufgenommen ist, aus dem zur elektrischen Kontaktierung des Mikroventils
dienende elektrische Anschlusskontakte herausragen, unter denen
sich mindestens ein körperlich
getrennt vom Schichtkörper
ausgebildeter erster Anschlusskontakt befindet, der ein im Innern des
Ventilgehäuses
fixiertes und durch elektrische Kontaktmittel mit dem Schichtkörper oder
dem Elektronik-Chip kontaktiertes Befestigungsende aufweist, wobei
man zur Realisierung des mindestens einen ersten Anschlusskontaktes
eine partiell außerhalb des
Ventilgehäuses
verlaufende Leiterstruktur vorsieht, die an einem Ende einstückig mit
einer elektrisch leitfähigen
Schicht des Schichtkörpers
ausgebildet ist und an einem anderen Ende zur Bildung des Befestigungsendes
im Ventilgehäuse
fixiert wird und die man nach dem Fixieren des Befestigungsendes in
dem außerhalb
des Ventilgehäuses
liegenden Bereich durchtrennt.
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Auf diese Weise kann ein Mikroventil
bereitgestellt werden, dessen einen Mehrschichtaufbau besitzender
Schichtkörper
geschützt
in einem Ventilgehäuse
untergebracht ist und wobei gleichzeitig eine sehr einfache Realisierung
der für
die elektrische Kontaktierung erforderlichen Anschlusskontakte vorgenommen
werden kann. Um einen oder mehrere getrennt vom Schichtkörper ausgebildete
Anschlusskontakte zu realisieren, greift man auf einen Schichtkörper zurück, der
wenigstens eine elektrisch leitfähige
Schicht aufweist, mit der einstückig
eine ein- oder mehrfach frei endende Leiterstruktur verbunden ist.
Die Leiterstruktur ist so gestaltet, dass sie entlang eines Teils
ihrer Länge
außerhalb
des Ventilgehäuses
verläuft,
jedoch wenigstens ein freies Ende aufweist, das innerhalb des Ventilgehäuses liegt. Nach
dem Einsetzen des Schichtkörpers
in das Ventilgehäuse
und dem gehäuseseitigen
Fixieren des oder der besagten Enden der Leiterstruktur – Letzteres
kann beispielsweise durch Ausgießen des Innenraumes des Ventilgehäuses geschehen – wird die Leiterstruktur
in dem außerhalb
des Ventilgehäuses liegenden
Bereich durchtrennt, so dass sich wenigstens ein elektrisch leitfähiger Anschluss kontakt
ergibt, der sowohl körperlich
als auch elektrisch von der die Leiterstruktur ursprünglich tragenden
Schicht getrennt ist. Der Anschlusskontakt ist nun mit einem Befestigungsende
im Ventilgehäuse
fixiert und ragt mit einem Anschlussende aus dem Ventilgehäuse heraus.
Das Befestigungsende wird beliebig mit dem Schichtkörper oder
dem am Schichtkörper
platzierten Elektronik-Chip kontaktiert, was beispielsweise durch Drahtbonden
erfolgt.
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Ein wesentlicher Vorteil dieser Herstellungsweise
besteht darin, dass die elektrischen Anschlusskontakte nicht individuell
eingesetzt und ausgerichtet werden müssen, sondern beim Einsetzen des
Schichtkörpers
bzw. der einzelnen Schichten des Schichtkörpers automatisch an Ort und
Stelle platziert werden. Erst nach der gehäuseseitigen Fixierung wird
die Leiterstruktur so vereinzelt, dass die gewünschten, nun bereits lagefixierten
Anschlusskontakte entstehen. Die elektrische Kontaktierung der Befestigungsenden
kann anschließend
erfolgen, wird jedoch vorzugsweise noch vor dem Fixieren der Befestigungsenden
durchgeführt,
insbesondere wenn die Fixierung durch eine Gießmasse erfolgt.
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Vorteilhafte Weiterbildungen der
Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
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Auf die geschilderte Art und Weise
können ohne
weiteres mehrere vom Schichtkörper
getrennte Anschlusskontakte realisiert werden. Auch besteht die
Möglichkeit,
die Leiterstruktur so auszubilden, dass sie mehrere im Ventilgehäuse fixierbare
Befestigungsenden aufweist, so dass durch mehrfaches Durchtrennen
mehrere elektrisch und körperlich
getrennte Anschlusskontakte hergestellt werden können.
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Es besteht ferner die Möglichkeit,
mehrere Leiterstrukturen vorzusehen, die mit ein und derselben Schicht
oder mit unterschiedlichen Schichten des Schichtkörpers integral
ausgebildet sind und die jeweils zur Realisierung eines oder mehrerer
Anschlusskontakte herangezogen werden können.
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Bei der Herstellung der separat vom
Schichtkörper
ausgebildeten Anschlusskontakte besteht die vorteilhafte Möglichkeit,
den nach dem Durchtrennen der Leiterschicht weiterhin fest mit dem
Schichtkörper
verbundenen Abschnitt der Leiterstruktur als weiteren Anschlusskontakt
zu verwenden, der nun körperlich
und elektrisch mit dem Schichtkörper
verbunden ist.
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Es besteht ferner die Möglichkeit,
an mindestens einer der Schichten einen Schichtfortsatz vorzusehen,
der zur Bildung eines weiteren Anschlusskontaktes aus dem Ventilgehäuse herausgeführt wird und
dadurch, ohne die beschriebenen Trennmaßnahmen, einen mit einer Schicht
körperlich
und elektrisch verbundenen Anschlusskontakt bildet. Ein solcher
Anschlusskontakt kann beispielsweise als Null-Leiter verwendet werden.
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Als Material für die die Leiterstrukturen
aufweisenden Schichten des Schichtkörpers wird zweckmäßigerweise
Metall verwendet, insbesondere Nickel-Material. Auf diese Weise
erreicht man problemlos die gewünschte
elektrische Leitfähigkeit
und gewährleistet
ferner ein gewisses Verformungsvermögen, das es ermöglicht,
die Anschlusskontakte außerhalb
des Ventilgehäuses
so zu biegen, dass sie in eine gewünschte Richtung ragen.
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Es kann insbesondere vorgesehen werden, die
Anschlusskontakte außerhalb
des Ventilgehäuses
in die gleiche Richtung um 90° so
umzubiegen, dass ihre Anschlussenden zu einer gemeinsamen Anschlussseite
ragen, mit der voraus das Mikroventil an einem Anschlusskörper montiert
werden kann. Bevorzugt befinden sich an dieser Anschlussseite auch
die Ausmündungen
der Ventilkanäle
des Mikroventils, so dass der elektrische Anschluss und der fluidische
Anschluss von ein und derselben Seite her erfolgen können.
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Nachfolgend wird die Erfindung anhand
der beiliegenden Zeichnung näher
erläutert.
Es zeigen im Einzelnen:
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1 ein
nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
hergestelltes Mikroventil im fertiggestellten, an einem Anschlusskörper installierten
Zustand in einer Blickrichtung etwa gemäß Pfeil I aus 3,
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2 einen
Querschnitt durch das Mikroventil aus 1 etwa
gemäß Schnittlinie
II-II aus 1 und 3, wobei allerdings der Anschlusskörper nicht
dargestellt und das Ventilgehäuse
mit einer gestrichelten Linie lediglich angedeutet ist, und
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3 einen
weiteren Schnitt durch das Mikroventil gemäß Schnittlinie III-III aus 2.
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Sämtliche
Darstellungen sind als schematische Darstellungen zu verstehen,
wobei die Darstellung der einzelnen Schichten in 2 und 3 geringfügig voneinander
abweicht und wobei in der 3 die
aufeinanderliegenden Schichten zur besseren Sichtbarmachung leicht
versetzt zueinander abgebildet sind. Außerdem ist in 3 der an dem Schichtkörper angeordnete Elektronik-Chip
aus Gründen
der besseren Übersichtlichkeit
als auf dem Schichtkörper sitzend
gezeigt, obgleich er gemäß 2 an der Unterseite der
Abdeckschicht platziert ist.
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Die 1 zeigt
ein in seiner Gesamtheit mit Bezugsziffer 1 bezeichnetes
Mikroventil 1, das an einem beispielsweise als Leiterplatte
ausgebildeten Anschlusskörper 2 montiert
ist. Die 2 und 3 zeigen das Mikroventil 1 jeweils
in schematischer Einzeldarstellung im Schnitt.
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Das Mikroventil 1 enthält einen
Schichtkörper 3,
der im Innenraum eines ihn vorzugsweise komplett umschließenden Ventilgehäuses 4 untergebracht
ist. In 2 und 3 ist das Ventilgehäuse 4 durch
eine gestrichelte Linie verdeutlicht.
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Der Schichtkörper 3 ist das Herz
des Mikroventils. Er setzt sich aus einer Mehrzahl über eine ebene
Ausdehnung verfügender
Schichten 5 zusammen, die in einer Schichtungsrichtung 6 aufeinanderliegend
angeordnet sind. Jeweils benachbarte Schichten 5 sind durch
Bonden oder Verkleben fluiddicht fest miteinander verbunden.
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Im Innern des Schichtkörpers 3 befindet
sich eine Ventilkammer 7, in der ein Ventilglied 8 angeordnet
ist, das eine durch einen Doppelpfeil angedeutete Schaltbewegung 12 ausführen kann.
Die Schaltbewegung 12 erfolgt relativ zu einer ersten und
einer zweiten Ventilöffnung 13, 14,
wobei je nach Schaltstellung eine fluidische Verbindung zwischen
den beiden Ventilöffnungen 13, 14 über die
Ventilkammer 7 hinweg vorhanden ist (Offenstellung) oder
wenigstens eine der Ventilöffnungen 13, 14 durch
das Ventilglied 8 abgedichtet wird (Schließstellung),
so dass ein Fluidübertritt
zwischen den beiden Ventilöffnungen 13, 14 nicht
möglich
ist.
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Gezeigt ist im Ausführungsbeispiel
ein 2/2-Wegeventil. Möglich
wäre allerdings
auch eine Gestaltung mit höherer
Funktionalität,
beispielsweise mit einer weiteren, in die Ventil kammer 7 ausmündenden
Ventilöffnung
in Verbindung mit einem 3/2-Wegeventil.
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Die Ventilöffnungen 13, 14 sind
Bestandteil einer plattenartigen Schicht 5, die wegen des
Vorhandenseins der Öffnungen 13, 14 als Öffnungsschicht 16 bezeichnet
wird. An die Öffnungsschicht 16 schließt sich
an einer Seite, unter Zwischenschaltung einer elektrisch isolierenden
Isolationsschicht 17, eine Steuerschicht 18 an,
die das Ventilglied 8 als einstückigen Bestandteil enthält. Im Einzelnen
verfügt
die Steuerschicht 18 über
einen vorzugsweise rechteckförmig
konturierten Rahmenabschnitt 23, der eine fensterartige
Durchbrechung 24 umgrenzt, in die das Ventilglied 8 hineinragt. Über mindestens einen
Verformungsbereich 25 ist das Ventilglied 8 derart
beweglich an dem Rahmenabschnitt 23 aufgehängt, dass
es die Schaltbewegung 12 relativ zur Öffnungsschicht 16 ausführen kann.
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Zum Hervorrufen der Schaltbewegung 12 ist das
Mikroventil 1 mit einem elektrischen Antrieb 26 ausgestattet,
bei dem es sich vorzugsweise um einen elektrostatischen Antrieb
handelt. Dabei bilden die Öffnungsschicht 16 und
das platten- oder zungenartige Ventilglied 8 der Steuerschicht 18 einander
zugewandte Elektrodenflächen,
an die eine Ansteuerspannung angelegt werden kann, die ein elektrostatisches
Feld hervorruft, das das Ventilglied 8 gegen die Öffnungsschicht 16 heranzieht.
Werden die Elektrodenflächen
entladen, schaltet das Ventilglied 8 durch den anstehenden
Fluiddruck aus der Schließstellung in
die Offenstellung zurück.
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Die Ventilkammer 7 ist an
der Unterseite von der Öffnungsschicht 16 begrenzt.
An der in der Schichtungsrichtung 6 gegenüberliegenden
Oberseite erfolgt ihre Begrenzung durch eine Abdeckschicht 20,
die unter Zwischenschaltung einer Distanzschicht 19 auf
den Rahmenabschnitt 23 der Steuerschicht 18 aufgesetzt
ist. Die beispielsweise von Klebstoff gebildete Distanzschicht 19 gewährleistet
einen die Schaltbewegung 12 ermöglichenden ausreichenden Abstand
zwischen der Öffnungsschicht 16 und
der Abdeckschicht 20. Zur Gewährleistung dieses Abstandes
könnte
auch auf eine gesonderte Distanzschicht 19 verzichtet und
die Abdeckschicht 20 an ihrer Innenseite mit einer entsprechenden
Aussparung versehen werden.
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Die Öffnungsschicht 16 sitzt
mit ihrer der Steuerschicht 18 entgegengesetzten Unterseite
auf einer Grundschicht 15. Die Öffnungsschicht 16 und die
Grundschicht 15 sind von zwei Ventilkanälen 27, 28 durchsetzt,
die einenends die Ventilöffnungen 13, 14 bilden
und andernends, an der Unterseite der Grundschicht 15,
mit Anschlussöffnungen 32 ausmünden.
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Der Schichtkörper 3 ist mit einem
Elektronik-Chip 33 bestückt,
der eine Ventilelektronik der für den
Anwendungsfall erforderlichen Art beinhaltet. Die Ventilelektronik
kann beispielsweise eine Spannungswandlerschaltung und/oder eine
La de-/Entladeschaltung enthalten, kann aber auch über eine Sensorfunktionalität verfügen, die
eine Diagnose des Mikroventils, insbesondere die Überwachung
bestimmter Ventilzustände,
ermöglicht.
Die Ventilelektronik ist vorzugsweise als ASIC aufgebaut.
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Beim Ausführungsbeispiel sitzt der Elektronik-Chip 33 an
der den anderen Schichten zugewandten Unterseite der Abdeckschicht 20,
die zu diesem Zweck mit einem über
die anderen Schichten hinausragenden Trägerfortsatz 34 ausgestattet
ist.
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Aus dem Ventilgehäuse 4 ragen mehrere
Anschlusskontakte 35 heraus, die zur elektrischen Kontaktierung
des Mikroventils 1 dienen. Sie ermöglichen das Zuführen und
Abführen
betriebsrelevanter Signale, beispielsweise das Anlegen einer Ansteuerspannung
und das Abführen
von Sensorsignalen.
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Wie aus 1 hervorgeht, sind die Anschlusskontakte 35 anfänglich mit
einem parallel zu den Ausdehnungsebenen der Schichten 5 verlaufenden
Befestigungsabschnitt 36 aus dem Ventilgehäuse 4 herausgeführt, wobei
sie ein Stück
außerhalb des
Ventilgehäuses 4 an
einer Biegestelle 37 so umgebogen sind, dass der sich anschließende Anschlussabschnitt 38 winkelig
zum Befestigungsabschnitt 36 verläuft. Bevorzugt beträgt der Biegewinkel 90°, so dass
die Anschlussabschnitte 38 rechtwinkelig zur Ausdehnungsebene
der einzelnen Schichten 5 verlaufen. Alle Anschlussabschnitte 38 weisen
zu ein und der selben Seite des Mikroventils 1, die als
Anschlussseite 42 bezeichnet sei. Die Anschlussabschnitte 38 laufen
dabei jeweils mit einem Anschlussende 43 aus.
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Die Wandung des Ventilgehäuses 4 verfügt über mit
den Anschlussöffnungen 32 kommunizierende
Durchbrechungen, die an der der Anschlussseite 42 zugewandten
Unterseite des Ventilgehäuses 4 mit Anschlussöffnungen 44 ausmünden.
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Das Mikroventil 1 ist, mit
der Anschlussseite 42 voraus, an den Anschlusskörper 2 angesetzt.
Die Anschlussenden 43 sind mit nicht näher dargestellten Leiterbahnen
des Anschlusskörpers 2 kontaktiert. Diese
Kontaktierung kann an der als Bestückungsfläche 45 bezeichneten
Fläche
des Anschlusskörpers 2 erfolgen,
an der das Mikroventil 1 angesetzt ist. Beim Ausführungsbeispiel
erfolgt die Kontaktierung auf der entgegengesetzten Seite, wobei
die Anschlusskontakte 35 den plattenartigen Anschlusskörper 2 durchsetzen.
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Der Anschlusskörper 2 ist von Anschlusskanälen 41 durchsetzt,
die an der Bestückungsfläche 45 so
ausmünden,
dass sie jeweils mit einer der Anschlussöffnungen 44 kommunizieren.
Zur Abdichtung ist zwischen dem Ventilgehäuse 4 und der Bestückungsfläche 45 ein
den jeweiligen Übergangsbereich
umschließender
Dichtungskranz 47 platziert, der insbesondere als Kunststoff-Wulst
ausgebildet ist. Da diesem Kunststoff-Wulst die erforderliche Druckfestigkeit
fehlt, wird zusätzlich
der gesamte Bereich zwischen dem Ventilgehäuse 4 und der Bestükkungsfläche 45 außerhalb
des Dichtungskranzes 47 mit einem Underfiller 46 gefüllt. Dieser
ansonsten in der sogenannten Flip-Chip-Technik eingesetzte Kleber
niedriger Viskosität
wird auf einer Seite des Spaltes dosiert und durch Kapillarkräfte unter
die gesamte Fläche
des Ventilgehäuses
verteilt. Der Dichtungskranz 47 verhindert dabei ein Eintreten
des Underfillers 46 in den Bereich der Fluidkanäle.
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Unter den Anschlusskontakten 35 befinden sich
mehrere erste Anschlusskontakte 35a, die getrennt von dem
Schichtkörper 3 ausgebildet
sind und die innerhalb des Ventilgehäuses 4 mit einem vom Endbereich
des Befestigungsabschnittes 36 gebildeten Befestigungsende 48 unabhängig vom
Schichtkörper 3 fixiert
sind. Die Fixierung erfolgt durch eine Gießmasse 51, insbesondere
ein Kunstharz, mit dem der Innenraum des Ventilgehäuses 4 ausgegossen wird,
nachdem der Schichtkörper 3 und
die Befestigungsenden 48 im Ventilgehäuse 4 platziert worden sind.
Dabei wird zweckmäßigerweise
der gesamte Innenraum des Ventilgehäuses 4 ausgegossen.
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Die ersten Anschlusskontakte 35a sind durch
erste elektrische Kontaktmittel 52 mit dem Elektronik-Chip 33 kontaktiert.
Die Kontaktierung erfolgt an den Befestigungsenden 48,
insbesondere durch Drahtbonden.
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Über
zweite elektrische Kontaktmittel 53 ist der Elektronik-Chip 33 zum
einen mit der Öffnungsschicht 16 und
zum andern mit der Steuerschicht 18 kontaktiert. Auch diese
Kontaktierung geschieht zweckmäßigerweise
durch Drahtbonden.
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Somit können elektrische Betätigungssignale,
die an den ersten Anschlusskontakten 35a angelegt werden,
zum Elektronik-Chip 33 und
von dort zum elektrostatischen Antrieb 26 gelangen.
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Die ersten Anschlusskontakte 35a sind
in einer ganz besonderen Weise realisiert. Den Ausgangspunkt stellt
eine elektrisch leitfähige
Leiterstruktur 54 dar, die mit ihrem einen Ende 55 einstückig mit
einer elektrisch leitfähigen
Schicht 5 des Schichtkörpers 3 verbunden
ist. Beim Ausführungsbeispiel
ist die Leiterstruktur 54 einstückig mit der Abdeckschicht 20 ausgebildet,
die bevorzugt aus Metall besteht, insbesondere aus Nickel-Material.
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Im Ausgangszustand hat die Leiterstruktur 54 beispielsweise
die in 3 gezeigte Gestalt,
einschließlich
des strichpunktiert angedeuteten Abschnittes, der als Überschussabschnitt 56 bezeichnet sei.
Die Leiterstruktur 54 ist selbsttragend und relativ starr,
wobei sie wie abgebildet zum einen einstückig mit der Abdeckschicht 20 ausgebildet
ist und zum andern mehrere frei endende Äste aufweisen kann. Diese mehreren Äste sind
jeweils von einem der ersten Anschlusskontakte
35a gebildet,
die also zunächst ein
integraler Bestandteil der Leiterstruktur 54 sind. Die
Leiterstruktur 54 ist dabei so gestaltet, dass im in das
Ventilgehäuse 4 eingesetzten
Zustand des Schichtkörpers 3 die
Leiterstruktur 54 ausgehend von dem am Schichtkörper 3 fixierten
einen Ende 55 aus dem Ventilgehäuse 4 austritt, entlang
eines Längenabschnittes
außerhalb
des Ventilgehäuses 4 verläuft und
mit denjenigen Endabschnitten wieder in das Ventilgehäuse 4 eintritt,
die die Befestigungsenden 48 bilden.
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Die Befestigungsenden 48 werden
zweckmäßigerweise
vor dem Einsetzen des Schichtkörpers 3 in
das Ventilgehäuse 4 mit
dem Elektronik-Chip 33 kontaktiert. In Abhängigkeit
von der realisierten elektrischen Schaltung besteht allerdings auch
die Möglichkeit,
eines oder mehrere der Befestigungsenden 48 unmittelbar
mit dem Schichtkörper 3 und
insbesondere einer der elektrisch leitfähigen Schichten 5 zu
kontaktieren.
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Nachdem die Kontaktierung erfolgt
und der Schichtkörper 3 in
das Ventilgehäuse 4 eingesetzt
ist, wird der Innenraum des Ventilgehäuses 4, um den Schichtkörper 3 und
die Befestigungsenden 48 herum, mit der Gießmasse 51 ausgegossen.
Dadurch werden sowohl der Schichtkörper 3 als auch die
Befestigungsenden 48 im Ventilgehäuse 4 festgelegt. Somit
ist die Leiterstruktur 54 an den Befestigungsenden 48 durch
Einbettung in die Gießmasse 51 gehäusefest
fixiert.
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In einem nächsten Schritt wird die Leiterstruktur 54 in
dem außerhalb
des Ventilgehäuses 4 liegenden
Bereich durchtrennt. Eine mögliche
Trennlinie ist in 3 bei 57 angedeutet.
Der Trennvorgang bewirkt, dass der strichpunktiert angedeutete Überschussabschnitt 56 entfernt
wird und somit die elektrische und auch körperliche Verbindung zwischen
der die Leiterstruktur 54 tragenden Abdeckschicht 20 und
denjenigen Abschnitten dieser Leiterstruktur 54 unterbrochen
wird, die mit den Befestigungsenden 48 im Ventilgehäuse 4 fixiert
sind. Diese letztgenannten Abschnitte bilden nun die ersten Anschlusskontakte 35a,
die unabhängig
voneinander einzeln aus dem Ventilgehäuse 4 herausragen.
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Die ersten Anschlusskontakte 35a sind
anschließend
nur noch, soweit erforderlich, an der in 3 gestrichelt angedeuteten Biegestelle 37 in
der anhand der 1 geschilderten
Weise abzubiegen, wenn die angewandte Anschlusstechnik dies erforderlich
oder wünschenswert
macht.
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Durch die geschilderte Herstellungstechnik sind
beim Ausführungsbeispiel
mehrere, nämlich
drei erste Anschlusskontakte 35a gebildet worden. Dabei wurde
die Leiterstruktur 54 im Bereich der Trennlinie 57 mehrfach
durchtrennt. Die Anzahl der realisierten ersten Anschlusskontakte 35a ist
variabel und kann, je nach Anwendungsfall, mehr oder weniger als
die beim Ausführungsbeispiel
vorgesehene Dreizahl beinhalten.
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Anstelle nur einer zur Bildung erster
Anschlusskontakte 35a herangezogenen Leiterstruktur 54 können auch
mehrere solche Leiterstrukturen vorgesehen werden. Dabei können mehrere
Leiterstrukturen einstöckiger
Bestandteil ein und derselben Schicht 5 oder unterschiedlicher
Schichten 5 sein.
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Beim Ausführungsbeispiel ist die mindestens eine
Leiterstruktur 54 einstückig
mit der Abdeckschicht 20 verbunden. Mindestens eine Leiterstruktur 54 könnte allerdings
auch an einer anderen Schicht 5 vorgesehen werden, beispielsweise
an der Öffnungsschicht 16 oder
an der Steuerschicht 18. Auch diese Schichten bestehen
zweckmäßigerweise
aus elektrisch leitfähigem
Material, vorzugsweise aus Metall.
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Beim Ausführungsbeispiel wird die Leiterstruktur 54 so
durchtrennt, dass zusätzlich
zu den körperlich
von der Abdeckschicht 20 getrennten ersten Anschlusskontakten 35a ein
weiterer, zweiter Anschlusskontakt 35b entsteht, der einstückig mit
der Abdeckschicht 20 verbunden ist und verbunden bleibt.
Es handelt sich dabei um denjenigen Längenabschnitt der Leiterstruktur 54,
der sich an das eine Ende 55 anschließt und von dort aus aus dem
Ventilgehäuse 4 herausragt. Über ihn
kann bei Bedarf eine direkte elektrische Kontaktierung der Abdeckschicht 20 oder
daran angeordneter elektronischer Komponenten erfolgen.
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Das Durchtrennen der Leiterstruktur 54 erfolgt
beispielsweise im Rahmen eines Stanzvorganges.
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Mindestens eine Schicht 5 des
Schichtkörpers 3 – beim Ausführungsbeispiel
ist dies exemplarisch die Öffnungsschicht 16 – kann mindestens
einen einstöckig
angeformten Fortsatz enthalten, der als Schichtfortsatz 58 bezeichnet
sei und der zur Bildung eines weiteren, dritten Anschlusskontaktes 35c aus
dem Ventilgehäuse 4 herausgeführt ist.
Dieser Schichtfortsatz 58 kann innerhalb des Ventilgehäuses 4 einen
dahingehenden Verlauf haben, dass er relativ einfach zur elektrischen
Kontaktierung der zugehörigen
Schicht 5, 16 herangezogen werden kann. In 3 ist exemplarisch gezeigt,
dass der Elektronik-Chip 33 zur Kontaktierung mit der Öffnungsschicht 16 über die
zweiten Kontaktmittel 53 mit dem elektrisch leitenden Schichtfortsatz 58 verbunden
ist.
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Um die elektrische Kontaktierung
des Mikroventils 1 an der Anschlussseite 42 zu
ermöglichen,
ist der dritte Anschlusskontakt 35c ebenfalls an einer Biegestelle 37 um
90° aus
der Ausdehnungsebene der zugeordneten Schicht 5, 16 ausgebogen.