DE10227840C1 - Resistive Strombegrenzervorrichtung mit mehreren elektrisch zusammengeschalteten Begrenzermodulen - Google Patents

Abstract

Die Strombegrenzervorrichtung (2) umfasst mehrere Begrenzermodule (M1, M1'), die jeweils auf einem Trägerkörper (3, 3') eine Leiterbahn (4, 4') mit einer Supraleitungsschicht (4a, 4a') und einen Shuntteil (4b, 4b') aufweisen. Zwischen der Supraleitungsschicht und dem Shuntteil ist ein erhöhter Übergangswiderstand vorhanden. Zur elektrischen Verbindung der Module untereinander sind sowohl eine Verbindung ihrer Supraleitungsschichten (4a, 4a') über ein erstes Verbindungselement (7a) als auch eine zusätzliche Verbindung ihrer Shuntteile (4b, 4b') über ein zweites Verbindungselement (7b) vorgesehen.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine resistive Strombegrenzer­ vorrichtung mit mehreren Begrenzermodulen, die

• - jeweils wenigstens eine auf einem elektrisch nicht- leitenden Trägerkörper angeordnete Leiterbahn mit einer supraleitenden Supraleitungsschicht und einem zugeordneten nicht-supraleitenden Shuntteil aufweisen

und

• - in Endbereichen untereinander mittels Verbindungselementen elektrisch zusammengeschaltet sind.

Eine derartige Strombegrenzervorrichtung geht aus der EP 0 829 101 B1 hervor.

Der Aufbau und die Funktionsweise von resistiven supraleiten­ den Strombegrenzern in der Energietechnik sind prinzipiell bekannt (vgl. die vorgenannte EP-B-Schrift. Ein entsprechender Strombegrenzer mit einer Leiterbahn aus Nie­ der- oder vorzugsweise Hochtemperatursupraleitermaterial (HTS-Material) als Dünn- oder Dickfilm sowie mit parallel da­ zu im flächigem Kontakt stehendem metallischen Shunt­ teil, z. B. aus Ag, Au oder Cu, wird in Serienschaltung in einen zu schützenden Stromkreis eingefügt und trägt betriebsmäßige Ströme widerstandslos. In einem Fehlerfall, insbesondere bei Kurzschluss, übersteigt der Strom den kritischen Strom I_c des Supraleitermaterials, das dadurch einen endlichen elektri­ schen Widerstand annimmt (sogenannter "Quench"). Die dabei entstehende Stromwärme erwärmt das Supraleitermaterial schnell über die Sprungtemperatur T_c hinaus, wobei der nun­ mehr hohe normalleitende Widerstand des Supraleitermaterials den Fehlerstrom auf einen niedrigen Wert begrenzt.

Bei entsprechenden bekannten Strombegrenzervorrichtungen va­ riiert der kritische Strom I_c unvermeidlich entlang der sup­ raleitenden Leiterbahn. Dies hat zur Folge, dass Stellen bzw. Bereiche mit geringem I_c zuerst normalleitend werden und des­ halb den Fehlerstrom soweit reduzieren, dass Abschnitte mit höherem I_c nicht mehr über die Sprungtemperatur T_c gelangen können, d. h. keinen elektrischen Widerstand entwickeln. Die gesamte Spannung fällt so allein über diskrete normalleitende Stellen ab. Der Widerstand der Strombegrenzervorrichtung ist dann zu klein und der begrenzte Fehlerstrom ist unter Umstän­ den so hoch, dass diese diskreten Stellen bis zum vollständi­ gen Abschalten über normalerweise vorhandene mechanische Lasttrenner sich unzulässig erwärmen und so beschädigt wer­ den. Der bei bekannten Strombegrenzervorrichtungen mit der Supraleitungsschicht in flächigem, leitendem Kontakt ste­ hende Shuntteil ist niederohmiger als die normalleitend ge­ wordene Supraleitungsschicht, übernimmt folglich den größten Teil des Fehlerstroms und verringert die Wärmeerzeugung pro Fläche und das Risiko einer Schädigung in sogenannten "Hotspots" (des jeweiligen gequenchten Bereichs). Ein solcher Shuntteil erfordert aber für eine gegebene Spannung und einen bestimmten Fehlerstrom eine verhältnismäßig große Länge der supraleitenden Schaltstrecke, also einen entsprechend hohen Aufwand an supraleitendem und normalleitendem Leitermaterial für die Strombegrenzervorrichtung. Dabei ist zu berücksichti­ gen, dass bei den bekannten Strombegrenzervorrichtungen die Wärmeausbreitung entlang der Schaltstrecke verhältnismäßig träge ist.

Zur Verbesserung der Wärme- bzw. Quenchausbreitung in re­ sistiven Strombegrenzervorrichtungen wurde als Maßnahme vor­ geschlagen, den Übergangswiderstand zwischen der Supralei­ tungsschicht einer Leiterbahn und dem zugeordneten Shuntteil auf einen verhältnismäßig hohen Wert von insbesondere mindes­ tens 0,1 Ω.cm² bis beispielsweise 50 Ω.cm² einzustellen (vgl. die DE-Patentanmeldung 101 63 008.5 vom 20.12.2001 mit dem Titel "Resistive Strombegrenzereinrichtung mit mindestens einer Leiterbahn mit supraleitendem und normalleitendem Mate­ rial"). Dabei wurde von der Überlegung ausgegangen, dass mit einer solchen Bemessung des auf die Flächeneinheit bezogenen Übergangswiderstandes (bei Betriebstemperatur des Supralei­ termaterials von beispielsweise 77 K) die erwünschte Wärme­ ausbreitung deutlich zu fördern ist. Die hier verwendete phy­ sikalische Größe "Übergangswiderstand" wird in Ohm.cm² (Ω.cm²) oder in Ohm.m² angegeben. Sie wird vielfach auch als "Kontaktflächenwiderstand" bezeichnet (vgl. z. B. EP 0 315 460 A2). Dieser Übergangswiderstand stellt dabei den elektrischen (ohmschen) Widerstand R (gemessen in Ω) einer flächigen Verbindung mit 1 cm² bzw. 1 m² Über­ trittsfläche A zwischen zwei elektrisch leiten­ den Teilen dar. Das Produkt R.A ist von der Übertrittsfläche unabhängig. Es kennzeichnet die Güte einer elektrischen flä­ chenhaften Verbindung zwischen zwei verbundenen Teilen wie z. B. bei einer Lötverbindung zwischen zwei Leitern oder bei einer Kontaktierung eines Schalters zwischen dessen Kontakt­ stücken. Als entsprechend geeignete Maßnahme hierzu wurde eine Zwischenschicht aus einem elektrisch verhältnismäßig schlecht leitenden Material zwischen der Supraleitungsschicht und einer Shuntschicht vorgeschlagen. Ferner wurde vorge­ schlagen, einen Shuntteil nur punktweise mit einer Supralei­ tungsschicht zu kontaktieren. Hierzu kann beispielsweise ein aus graphitierten Kohlefasern oder -stücken bestehendes Ge­ bilde wie z. B. ein Geflecht oder ein Vlies verwendet werden (vgl. die DE-Patentanmeldung 102 26 390.6 vom 13.06.2002 mit dem Titel "Resistive Strombegrenzereinrichtung mit supralei­ tender Leiterbahn und nicht-supraleitendem Shunt"). Als wei­ tere Maßnahme zur Erhöhung des Übergangswiderstandes kann auch ein Wellen- oder zickzackförmiges Shuntelement vorgese­ hen werden, das nur im Bereich der Wellentäler an der Supra­ leitungsschicht anliegt (vgl. DE-Patentanmeldung 102 26 393.0 vom 13.06.2002 mit dem Titel "Strombegrenzereinrichtung vom resistiven Typ mit supraleitender Leiterbahn und Shuntteil").

Für höhere Betriebsspannungen und/oder höhere Nennströme lässt sich gemäß der eingangs genannten EP 0 829 101 B1 eine Strombegrenzervorrichtung aus mehreren Modulen aufbauen, die in Endbereichen mittels besonderer Verbindungselemente elekt­ risch zusammengeschaltet werden. Dabei wurde bisher ange­ strebt, die Stromtragfähigkeit der Supraleitungsschichten der einzelnen Module durch konstante Herstellungsbedingungen mög­ lichst gleichförmig zu gestalten. Ferner werden die Module so zusammengestellt, dass der kritische Summenstrom paralleler Module von in Serie geschalteter Gruppen möglichst gleich groß ist. Dabei ist jedoch bei bekannten Strombegrenzervor­ richtungen mit elektrisch verschalteten Modulen eine er­ wünschte Quenchfortschaltung von einem Modul zum nächsten über die üblichen Verbindungselemente behindert. Folglich können einige Module supraleitend bleiben, so dass der Ge­ samtwiderstand einer Serienschaltung zu niedrig und der be­ grenzte Strom zu hoch ist, wobei gequenchte Teilabschnitte sich als Hotspots unzulässig stark erwärmen können.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, die Strom­ begrenzervorrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen da­ hingehend auszugestalten, dass sich eine Erwärmung über die Sprungtemperatur und das damit verbundene Normalleitendwerden in einem Teilbereich schnell, insbesondere in einem Zeitraum von unter 1 Millisekunde bis zu einigen Millisekunden, von einem Modul zum nächsten ausbreiten können. Damit sollen sich der gesamte elektrisch Widerstand entwickeln, der Fehlerstrom auf den bestimmungsgemäßen Wert begrenzt werden und die Tem­ peratur nirgendwo einen unzulässig hohen Wert annehmen kön­ nen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den in Anspruch 1 an­ gegebenen Maßnahmen gelöst. Dementsprechend soll eine Strom­ begrenzervorrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen Mo­ dule enthalten, bei denen zwischen der Supraleitungsschicht und dem Shuntteil ein mittlerer Übergangswiderstand von min­ destens 0,01 Ω.cm² und höchstens 100 Ω.cm², vorzugsweise zwi­ schen 0,1 Ω.cm² und höchstens 50 Ω.cm², ausgebildet ist und bei denen sowohl Verbindungselemente zu einem diskreten Ver­ binden der Supraleitungsschichten zweier Module als auch Ver­ bindungselemente zu einem diskreten Verbinden der Shuntteile verwendet werden.

Es wurde erkannt, dass so der Bereich des Stromübergangs Sup­ raleiter → Shunt nahe einer Grenze Normal-Supraleitung teil­ weise auf einen eventuell noch supraleitenden Nachbarmodul verlagert wird und dort einen Teilquench in der Umgebung der Kontaktzone auslöst. Zusammen mit der Maßnahme zur Förderung der Quenchausbreitung auf Grund des besonders gewählten Über­ gangswiderstandes auf einem Modul wird somit die gesamte Strombegrenzervorrichtung verhältnismäßig schnell normallei­ tend. Die Anforderungen an eine gleichmäßige Stromtragfähig­ keit der Module sind dementsprechend geringer. Ein vollstän­ diges Schalten ist dabei auch beim Ansprechen bei geringerer als der Nennspannung gewährleistet.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Strom­ begrenzervorrichtung gehen aus den von Anspruch 1 abhängigen Ansprüchen hervor.

So können insbesondere als Verbindungselemente elektrische Leiter, insbesondere in Draht- oder Bandform, in Litzenform oder Netzform, aus elektrisch gut leitendem Material, wie Ag oder Cu oder Legierungen dieser Materialien, verwendet werden.

Als vorteilhafte Maßnahme zur Förderung einer Wärme- bzw. Quenchausbreitung kann der mittlere Übergangswiderstand mit­ tels einer Zwischenschicht aus einem Material mit einem er­ höhtem spezifischen elektrischen Widerstand zwischen dem als Shuntschicht ausgebildeten Shuntteil und der Supraleitungs­ schicht eingestellt sein. Ebenso gut ist es jedoch auch mög­ lich, dass der Übergangswiderstand durch eine nur punktweise Kontaktierung eines Shuntteils mit der Supraleitungsschicht eingestellt ist. Eine solche punktweise Kontaktierung ist insbesondere bei einem Wellen- oder zickzackförmig ausgebil­ deten Shuntteil gegeben. Oder der Shuntteil kann als ein Ge­ bilde aus Faser oder Faserstücken ausgebildet sein.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung an Hand besonderer Ausführungsbeispiele noch weiter erläutert. Es zeigen jeweils schematisch als Längsschnitt deren Fig. 1 bis 3 verschiedene Strombegrenzervorrichtungen mit einer Ver­ bindung zweier Begrenzermodule.

Dabei sind in den Figuren sich entsprechende Teile jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen.

Bei der in Fig. 1 nur teilweise ausgeführten, allgemein mit 2 bezeichneten Strombegrenzervorrichtung wird von einer Aus­ führungsform ausgegangen, die mit der erwähnten DE-Patent­ anmeldung 101 63 008.5 vorgeschlagen wurde. Die Vorrichtung enthält wenigstens zwei Begrenzermodule M1 und M1', die im allgemeinen zumindest weitgehend gleich ausgebildet sind. In der Figur sind sich in beiden Modulen entsprechende Teile mit denselben Bezugsziffern und -buchstaben gekennzeichnet, wo­ bei jedoch die sich auf das zweite Modul M1' beziehenden Tei­ le mit eingestrichenen Bezugszeichen versehen sind.

Jedes Modul weist einen Trägerkörper 3 bzw. 3' mit wenigstens einer darauf ausgebildeten Stromleiterbahn 4 bzw. 4' auf. Der Trägerkörper besteht vollständig aus einem elektrisch isolierenden Material oder sein der Leiterbahn zugewandter Teil besteht aus einem solchen Material, während für den abgewandten Teil ein anderes Material gewählt werden kann. Die Leiterbahn 4 bzw. 4' umfasst eine auf dem Träger­ körper oder einer darauf befindlichen Pufferschicht abge­ schiedene Schicht 4a bzw. 4a' aus Supraleitermaterial, für das ein bekanntes metallisches Niedrig-T_c-Supraleitermaterial oder bevorzugt ein metalloxidisches Hoch-T_c-Supraleiterma­ terial, wie z. B. YBCO (YBa₂Cu₃O_x), gewählt wird. Ferner ist als ein Shuntteil 4b bzw. 4b' eine normalleitende Shuntschicht vorhanden. Zwischen dieser Shuntschicht und der Supralei­ tungsschicht 4a bzw. 4a' soll sich eine besondere resistive Zwischenschicht 4c bzw. 4c' befinden. Mit dieser Zwischen­ schicht soll ein Übergangswiderstand R_ü zwischen 0,01 und 100 Ω.cm², vorzugsweise zwischen 0,1 und 50 Ω.cm² (bei der Betriebstemperatur des Supraleitermaterials von insbesondere 77 K), ausgebildet sein.

Für die Zwischenschicht kommen elektrisch schlecht-leitende, gegebenenfalls auch nicht-metallische Werkstoffe, wie bei­ spielsweise metalloxidische Isolationsmaterialien oder Halb­ leitermaterialien, in Frage. Diese Materialien haben einen mittleren spezifischen elektrischen Widerstand bei der Be­ triebstemperatur des Supraleitermaterials, der gegenüber dem von elektrisch gut-leitenden Materialien, wie Ag oder Cu, deut­ lich erhöht ist.

Für die Shuntschicht wird ein Material gewählt, das einen ge­ genüber dem Material der Zwischenschicht vergleichsweise ge­ ringeren mittleren spezifischen elektrischen Widerstand bei der Betriebstemperatur des Supraleitermaterials hat. So kom­ men insbesondere Materialien mit einem mittleren spezifischen elektrischen Widerstand zwischen 0,2 und 50 µΩ.cm, vorzugs­ weise zwischen 0,5 und 10 µΩ.cm, in Frage.

Wie aus Fig. 1 hervorgeht, ist in einem Endbereich 5 der Leiterbahn 4 des ersten Moduls M1 auf, dessen Supraleitungs­ schicht 4a in bekannter Weise eine Kontaktfläche (Kontaktpad) 6 aufgebracht, die einen niederohmigen Übergang auf ein ers­ tes Verbindungselement 7a gewährleistet. Dieses Element ist in entsprechender Weise mit einer Kontaktfläche 6' der Supra­ leitungsschicht 4a' des zweiten Moduls M1' elektrisch verbun­ den.

Gemäß der Erfindung soll eine diskrete, d. h. zusätzli­ che, von der Supraleitungsschichtverbindung unabhängige Ver­ bindung zwischen den Shuntschichten 4b und 4b' der benachbar­ ten Module M1 und M1' vorhanden sein. Demgemäss führt ein besonderes (zweites) Verbindungselement 7b vom Ende der Shuntschicht 4b des ersten Moduls zur Shuntschicht 4b' des zweiten Moduls. Die Kontaktierung dieses Verbindungselementes ist ebenfalls in bekannter Weise an den jeweiligen Enden vor­ genommen. Dabei ist dafür gesorgt, dass die elektrische Ver­ bindung zwischen den Verbindungselementen 7a und 7b unterein­ ander in dem Anschlussbereich 5 (ebenso entsprechend im Be­ reich 5') nur über die Kontaktfläche 6, die Supraleitungs­ schicht 4a, die Zwischenschicht 4c und die Shuntschicht 4b erfolgt.

Als Verbindungselemente 7a und 7b kommen elektri­ sche Leiter aus elektrisch gut leitendem Material, wie insbe­ sondere aus Ag oder Cu oder einer Legierung aus diesen Mate­ rialien, in Frage. Die Leiter können dabei eine Draht- oder Bandform haben oder als Litzen oder Netze ausgebildet sein.

Quencht nun ein in Fig. 1 durch besondere Schraffur angedeu­ teter Bereich 9, z. B. am Ende der Supraleitungsschicht 4a' des zweiten Moduls M1', so kann der Strom I über die Zwi­ schenschicht 4c' in die Shuntschicht 4b' übertreten und ge­ langt so über das Verbindungselement 7b zunächst in die Shuntschicht 4b des ersten Moduls M1. Wegen des mittels der Zwischenschicht 4c gewährleisteten verhältnismäßig großen Übergangswiderstandes zwischen der Supraleitungsschicht 4a und der Shuntschicht 4b wird jedoch der Strom I in einem ge­ genüber einem Übergangsbereich b' des Moduls M1' verbreiter­ ten Bereich b in die Supraleitungsschicht 4a zurückgelangen und führt dort zu einer Erwärmung bzw. eventuellen Quenchaus­ lösung und damit zu einer Übertragung des Quenchbereichs in diesen eventuell noch nicht gequerichten Modul.

Abweichend von der Ausführungsform der Module M1 und M1' nach Fig. 1 weisen die in Fig. 2 dargestellten beiden Module M2 und M2' einer Strombegrenzervorrichtung 12 jeweils als Shunt­ teil statt einer Doppelschicht aus einer schlecht leitenden Zwischenschicht und einer Shuntschicht ein Fasergebilde 14 bzw. 14' in Form eines Gitters oder Gewebes oder Netzes oder Geflechtes oder Gespinstes oder Vlieses oder einer Matte aus Fasern oder Faserstücken auf. Dabei ist als Fasermaterial graphitierter Kohlenstoff vorgesehen. Es besteht dabei nur ein punktweiser und/oder linienartiger Kontakt zwischen den Fasern untereinander und zwischen den Fasern mit der jeweili­ gen Supraleitungsschicht. Ein entsprechender Aufbau ist Ge­ genstand der erwähnten DE-Patentanmeldung 102 26 390.6. Auf diese Weise ist auch hier der angestrebte höhere mittlere Übergangswiderstand realisiert.

Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform der Strombegren­ zervorrichtung 12 ist zu der gewünschten diskreten Kontaktie­ rung ihrer Shuntteile in den Anschlussbereichen 5 und 5' das jeweilige Ende der Fasergebilde 14 und 14' gegenüber der zu­ geordneten Supraleitungsschicht 4a bzw. 4a' über eine Isola­ tionsfläche (oder ein -pad) 15 und 15' elektrisch isoliert. Dort erfolgt die Kontaktierung mit dem Verbindungselement 7b mittels Kon­ taktierungselementen 16 und 16', beispielsweise einer spe­ ziellen Ag-Leitpaste.

Gemäß Fig. 3 kann bei einer Strombegrenzervorrichtung 22 in Abweichung gegenüber der Ausführungsform nach Fig. 2 statt eines Fasergebildes auch ein Wellen- oder zickzackförmiger Shuntteil 24 bzw. 24' von Begrenzermodulen M3 bzw. M3' vorge­ sehen sein. Ein entsprechender Aufbau ist Gegenstand der er­ wähnten DE-Patentanmeldung 102 26 393.0. Ein solcher Shunt­ teil liegt jeweils nur im Bereich seiner Biegungen punkt- oder linien- oder streifenförmig an der Oberfläche der jewei­ ligen Supraleitungsschicht 4a bzw. 4a' an. Wegen der somit nur kleinflächigen Verbindung zwischen diesen Shuntteilen und der jeweils zugeordneten Supraleitungsschicht wird auch hier eine Erhöhung des Übergangswiderstandes zwischen diesen Tei­ len bewirkt.

Claims (9)

1. Resistive Strombegrenzervorrichtung (2; 12; 22) mit mehre­ ren Begrenzungsmodulen (M1, Ml'; M2, M2'; M3, M3'), die
jeweils wenigstens eine auf einem elektrisch nicht- leitenden Trägerkörper (3, 3') angeordnete Leiterbahn (4, 4') mit einer supraleitenden Supraleitungsschicht (4a, 4a') und einem zugeordneten nicht-supraleitenden Shuntteil (4b, 4c, 4b', 4c'; 14, 14'; 24, 24') aufweisen, wobei je­ weils zwischen der Supraleitungsschicht (4a, 4a') und dem zugeordneten Shuntteil (4b, 4c, 4b', 4c' bzw. 14, 14' bzw. 24, 24') ein mittlerer Übergangswiderstand von 0,01 bis 100 Ω.cm² ausgebildet ist
und
in Endbereichen (5, 5') untereinander zusammengeschaltet sind, indem die Supraleitungsschichten (4a, 4a') zweier Begrenzermodule (M1, M1' bzw. M2, M2' bzw. M3, M3') mit­ tels wenigstens eines ersten Verbindungselementes (7a) als auch die Shuntteile (4b, 4c, 4b', 4c' bzw. 14, 14' bzw. 24, 24') dieser beiden Module mittels wenigstens eines zweiten Verbindungselementes (7b) jeweils diskret mitein­ ander elektrisch verbunden sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen mittleren Übergangswiderstand zwischen der Supra­ leitungsschicht (4a, 4a') und dem zugeordneten Shuntteil (4b, 4c, 4b', 4c' bzw. 14, 14' bzw. 24, 24') von 0,1 bis 50 Ω.cm².

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der mittlere Übergangs­ widerstand mittels einer Zwischenschicht (4c, 4c') aus einem Material mit einem erhöhten spezifischen elektrischen Wider­ stand zwischen einer Shuntschicht (4b, 4b') und der Supralei­ tungsschicht (4a, 4a') eingestellt ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der mittlere Übergangs­ widerstand durch punkt-, linien- oder streifenförmige Kon­ taktzonen zwischen dem Shuntteil (14, 14'; 24, 24') und der Supraleitungsschicht (4a, 4a') eingestellt ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der Shuntteil (14, 14') aus einem Fasergebilde aus Kohlenstofffasern oder -stücken ausge­ bildet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein Fasergebilde in Form eines Gitters oder Gewebes oder Netzes oder Geflechtes oder Gespinstes oder Vlieses oder einer Matte aus den Fasern oder Faserstücken.

7. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der Shuntteil (24, 24') durch ein Wellen- oder zickzackförmiges Shuntelement ausge­ bildet ist.

8. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Ver­ bindungselemente (7a, 7b) elektrische Leiter aus elektrisch gut leitendem Material verwendet werden, wobei die Leiter insbesondere Draht- oder Band- oder Litzen- oder Netzform aufweisen und wobei das elektrisch gut leitende Material der Leiter insbesondere Ag oder Cu oder eine Legierung dieser Ma­ terialien ist.

9. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Ma­ terial der Supraleitungsschicht (4a, 4a') ein metalloxidi­ sches Hoch-T_c-Supraleitermaterial ist.